DE202004010834U1

DE202004010834U1 - Controlled temperature treatment vessel comprises cylindrical work chamber ringed by annular chamber fitted with tube to heat or cool incoming compressed air and direct air into main chamber in selected direction.

Info

Publication number: DE202004010834U1
Application number: DE202004010834U
Authority: DE
Original assignee: Dockweiler AG
Current assignee: Dockweiler AG
Priority date: 2004-06-18
Filing date: 2004-06-18
Publication date: 2004-09-23
Anticipated expiration: 2014-06-19

Abstract

The cylindrical chamber (12) is ringed inside or outside by an annular chamber (14) as in turn ringed inside or out by a tubular element (20) to run right up along the chamber (14). The outside wall of the tube element (20) has a narrow slit extending axi-parallel to the tube (20). One end of the tube connects to a compressed air source (24) and the incoming air is heated or cooled by a device (22) inside the tube. A guide element in the slit feeds the temperature-controlled air into the chamber (14) in the given direction. The chamber has an air outlet (30) and a heating device (32) to heat the incoming air.

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zur Temperierung eines Gutes in einer zylindrischen Kammer nach dem Patentanspruch 1.The Invention relates to a device for tempering a Good in a cylindrical chamber according to claim 1.

Es besteht ein Bedürfnis, Gefäße, in denen aggressive und/oder ultrareine Medien aufbewahrt werden, in gewünschter Weise zu temperieren. Zu diesen Gefäßen gehören zum Beispiel sogenannte Bubbler für chemische Bedampfungsverfahren. Hierzu gehören auch Gefäße zur Aufnahme hochreiner Gase.It there is a need Vessels in which aggressive and / or ultra pure media can be stored in the desired Way to temper. These vessels include so-called bubblers, for example for chemical Vapor deposition. This includes also receptacles high purity gases.

Gefordert wird eine saubere und genaue Temperaturüberwachung.Required becomes a clean and accurate temperature monitor.

Es sind verschiedene Verfahren zur Temperierung bekannt geworden, beispielsweise mit Hilfe von Wasser, Öl, Glykol, mit Hilfe von Peltier-Kühleinheiten, elektrischen Heizelementen und so weiter. Neben der erforderlichen Genauigkeit und Reinheit soll der Aufwand für Herstellung und Betrieb möglichst gering sein. Ferner sollen keine Umweltbeeinträchtigungen stattfinden.It Various methods of tempering have become known, for example with the help of water, oil, Glycol, with the help of Peltier cooling units, electric heating elements and so on. In addition to the required The effort for production and operation should be as accurate and clean as possible be small. Furthermore, there should be no environmental damage.

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung zur Temperierung eines Gutes in einer zylindrischen Kammer zu schaffen, die genau und wirksam arbeitet, einen geringen Betriebsaufwand erfordert und für ein Kühlen oder Heizen gleichermaßen geeignet ist.The The invention is therefore based on the object of a device for To temper a good in a cylindrical chamber, that works accurately and effectively, requires little operating effort and for a cooling or heating alike suitable is.

Diese Aufgabe wird durch die Merkmale des Patentanspruchs 1 gelöst.This Object is solved by the features of claim 1.

Bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung ist ein Ringraum vorgesehen, der an die Innen- oder Außenseite der zylindrischen Kammer angrenzt. Ein rohrförmiges Element grenzt seinerseits an die Ringkammer an und erstreckt sich nahezu über die Länge der Ringkammer. Innerhalb des rohrförmigen Elements ist eine Heiz- oder Kühlvorrichtung angeordnet, welche in der Lage ist, unter Druck eintretende Luft zu erwärmen oder zu kühlen. Die erwärmte oder gekühlte Luft tritt über einen achsparallelen länglichen Schlitz in den Ringraum ein, wobei der Schlitz so ausgebildet oder angeordnet ist, oder dem Schlitz ein Leitmittel zugeordnet ist derart, dass die temperierte Luft in eine vorgegebene Richtung in die Ringkammer eintritt und in diesem kreisförmig umgewälzt wird. Am oberen oder unteren Ende der Ringkammer ist eine Austrittsöffnung für Luft vorgesehen.at the device according to the invention an annular space is provided which is on the inside or outside of the cylindrical Chamber adjoins. A tubular one Element in turn borders on the annular chamber and extends almost over the length of the Ring chamber. Inside the tubular Elements is a heating or cooling device arranged, which is able to pressurized air to warm up or to cool. The warmed or chilled Air overflows an axially parallel elongated Slot into the annular space, the slot being so formed or is arranged, or a guide means is assigned to the slot such that that the tempered air in a given direction in the annular chamber enters and in this circular is circulated. An outlet opening for air is provided at the upper or lower end of the annular chamber.

Bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung wird mithin das Gut in der zylindrischen Kammer über die Wandung der zylindrischen Kammer temperiert. Die Wandung der zylindrischen Kammer ist daher vorzugsweise über Umfang und Länge von gleicher Dicke und aus gut wärmeleitendem Material. Die temperierte Luft wird in den Ringraum so eingeführt, dass sie in diesem umgewälzt wird, sodass eine gleichmäßige Erwärmung oder Kühlung der Wand der Kammer stattfindet. Dadurch, dass die temperierte Luft über die gesamte Höhe des Ringraums in diesen eintritt, ist die Temperatur über die Höhe der Ringkammer im Wesentlichen konstant.at the device according to the invention is therefore the good in the cylindrical chamber over the wall of the cylindrical Chamber tempered. The wall of the cylindrical chamber is therefore preferably about Extent and length of the same thickness and of good thermal conductivity Material. The tempered air is introduced into the annulus so that it circulated in this so that even heating or cooling the wall of the chamber takes place. The fact that the tempered air over the total height of the annulus enters it, the temperature is above height of Annulus essentially constant.

Der Aufwand für die erfindungsgemäße Vorrichtung ist relativ gering. Insbesondere ist der Betriebsaufwand gering. Ist eine gewünschte Temperatur in der Kammer erreicht, wird nur relativ wenig Luft und Energie benötigt, um die Temperatur aufrecht zu erhalten. Druckluft steht zumeist an den Aufstellorten von Gefäßen zur Aufnahme von kritischem Gut zur Verfügung. Eine Regelung der Temperatur kann dadurch erfolgen, dass die Temperatur im Gut gemessen und die Zufuhr von Luft über ein Ventil eingestellt wird.The Effort for the device according to the invention is relatively small. In particular, the operating effort is low. Is a desired one Temperature in the chamber is reached, there is relatively little air and Energy needed to maintain the temperature. Compressed air is mostly there at the locations of vessels for Critical goods available. A regulation of the temperature can be done by measuring the temperature in the material and the Supply of air over a valve is set.

Falls eine Erwärmung gewünscht ist, kann nach einer Ausgestaltung der Erfindung die Heizvorrichtung ein längliches elektrisches Heizelement sein, das in dem rohrförmigen Element so angeordnet ist, dass die an einem Ende des rohrförmigen Elements eintretende Luft erwärmt wird, wenn sie an den Heizelementen entlang strömt. Das eigentliche elektrische Widerstandselement kann zum Beispiel in einem keramischen Element eingebettet sein, das seinerseits im rohrförmigen Element angeordnet ist.If a warming required is, according to one embodiment of the invention, the heating device an elongated be electrical heating element arranged in the tubular element is that entering at one end of the tubular member Air warmed becomes when it flows along the heating elements. The real electrical Resistance element can for example be in a ceramic element be embedded, which in turn is arranged in the tubular element.

Alternativ kann die Heiz- oder Kühlvorrichtung von einem Wirbelrohr gebildet sein, das zwischen einem konischen Rohrabschnitt und einem länglichen Rohrabschnitt ein Strömungsleitmittel zur Erzeugung eines Wirbels angeordnet ist, wobei die warme oder kalte Luft über eine Öffnung in einen achsparallelen oder ringförmigen Zwischenraum im rohrförmigen Element strömt, der über seine Länge mit dem Schlitz verbunden ist. Der Wirbelrohreffekt (Ranque-Effekt) ist an sich bekannt. Der im Rohr angefachte Wirbel ist im Kern kalt und im Mantel warm. Das kalte Gas kann relativ nahe der Eintrittsdüse durch eine Blende abgezogen werden. Das warme Gas entströmt dem entgegengesetzten Ende des Rohres. Im vorliegenden Fall tritt das kalte Gas über den konischen Abschnitt aus, während das warme Gas am Ende eines längeren Rohrabschnitts austritt. Es wird über eine Öffnung in den Zwischenraum eingeleitet, von wo es dann über den Schlitz in den Ringraum eintritt. Es versteht sich, dass ein derartiges Wirbelrohr auch umgekehrt angeordnet werden kann, um kalte Luft in die Ringkammer zu leiten.alternative can the heating or cooling device be formed by a vortex tube that is between a conical Pipe section and an elongated Pipe section a flow guide is arranged to generate a vortex, the warm or cold air over an opening in an axially parallel or annular space in the tubular element flows, the over its length with the slot is connected. The vortex tube effect (ranque effect) is known per se. The vortex fanned in the tube is cold at the core and warm in the coat. The cold gas can pass through relatively close to the inlet nozzle an aperture can be removed. The warm gas flows out of the opposite End of the pipe. In the present case, the cold gas passes over the conical section while the warm gas at the end of a longer one Pipe section emerges. It will have an opening in the gap initiated from where it is then over the slot enters the annulus. It is understood that a such vortex tube can also be arranged the other way around to conduct cold air into the annular chamber.

Die Anordnung des rohrförmigen Elements beziehungsweise seines Schlitzes ist derart, dass die austretende temperierte Luft in Umwälzrichtung in den Ringraum geleitet wird derart, dass dahinter ein Bereich mit Unterdruck entsteht, durch welchen die Strömungsgeschwindigkeit und damit die pro Zeiteinheit umzuwälzende Luftmenge verstärkt werden kann. Zu diesem Zweck kann zum Beispiel der Schlitz zwischen einem Flügelelement und einer länglichen Öffnung des rohrförmigen Elements gebildet sein, wobei die Außenseite des Flügelelements annähernd radial zum Ringraum verläuft. Mit Hilfe eines zweiten Flügelelements, das etwa im 90° Abstand tangential angebracht ist, kann dann die entlang der zylindrischen Fläche des rohrförmigen Elements strömende Luft anschließend in die Ringkammer gelenkt werden.The arrangement of the tubular element or its slot is such that the exiting tempered air is directed into the annular space in the direction of circulation in such a way that an area with negative pressure is created behind it, through which the flow velocity and thus the per time air volume to be circulated can be increased. For this purpose, for example, the slot can be formed between a wing element and an elongated opening of the tubular element, the outer side of the wing element running approximately radially to the annular space. The air flowing along the cylindrical surface of the tubular element can then be directed into the annular chamber with the aid of a second wing element, which is attached approximately tangentially at a 90 ° distance.

Die Erfindung soll nachfolgend anhand eines in Zeichnungen dargestellten Ausführungsbeispiels näher erläutert werden.The In the following, the invention is to be illustrated using a drawing Embodiment will be explained in more detail.

1 zeigt schematisch ein Gefäß zur Aufbewahrung eines Gutes mit einer Vorrichtung nach der Erfindung. 1 shows schematically a vessel for storing a good with a device according to the invention.

2 zeigt in Explosionsdarstellung ein rohrförmiges Element für die Heiz- oder Kühlvorrichtung des Gefäßes nach 1. 2 shows an exploded view of a tubular element for the heating or cooling device of the vessel 1 ,

3 zeigt eine Draufsicht auf das rohrförmige Element nach 2. 3 shows a plan view of the tubular element according to 2 ,

4 zeigt in Draufsicht die Anordnung des rohrförmigen Elements nach 3 an dem Ringraum des Gefäßes nach 1. 4 shows the top view of the arrangement of the tubular element 3 on the annulus of the vessel 1 ,

5 zeigt in Seitenansicht das rohrförmige Element nach 2. 5 shows the side view of the tubular element 2 ,

In 1 ist ein zylindrisches Gefäß 10 zu erkennen, in dem eine zylindrische Kammer 12 gebildet ist zur Aufnahme eines nicht weiter dargestellten Gutes, das auf eine gewünschte Temperatur gebracht und auf dieser gehalten werden soll. Die zylindrische Kammer 12 ist von einer Ringkammer 14 umgeben, die außen durch eine Wand 16 begrenzt ist. Die Wand 16 ist von einer Isolierung 18 relativ großer Dicke umgeben. Mit Ausnahme der erwähnten Ringkammer 16 sind derartige Gefäße allgemein bekannt, zum Beispiel als sogenannte Bubbler zur Aufbewahrung eines Gutes, zum Beispiel unter Vakuum.In 1 is a cylindrical vessel 10 to recognize in which a cylindrical chamber 12 is formed for receiving a good, not shown, which is to be brought to a desired temperature and kept there. The cylindrical chamber 12 is from an annular chamber 14 surrounded by a wall outside 16 is limited. The wall 16 is of an insulation 18 surrounded relatively large thickness. With the exception of the ring chamber mentioned 16 such vessels are generally known, for example as so-called bubblers for storing a good, for example under vacuum.

In einer achsparallelen Bohrung der Wandung des zylindrischen Gefäßes 10 erstreckt sich ein rohrförmiges Element 20, das eine längliche Heiz- oder Kühlvorrichtung 22 aufnimmt. Das rohrförmige Element 20 ist in seinem unteren Ende mit einer Druckluftquelle 24 verbunden, die Luft in das rohrförmige Element 20 einleitet. Über annähernd die Höhe der Ringkammer 14 wird aus dem rohrförmigen Element 20 temperierte Luft in die Ringkammer eingeleitet, wie durch die Pfeile 26 angedeutet. Die Luft zirkuliert in der Ringkammer 14 wie durch die Pfeile 28 angedeutet. Die Luft tritt aus der Ringkammer 14 über einen mittigen unteren Kanal 30 aus, wie durch den Pfeil 32 angedeutet.In an axially parallel bore of the wall of the cylindrical vessel 10 extends a tubular element 20 which is an elongated heating or cooling device 22 receives. The tubular element 20 is in its lower end with a source of compressed air 24 connected, the air into the tubular element 20 initiates. About the height of the ring chamber 14 becomes from the tubular element 20 tempered air is introduced into the annular chamber, as by the arrows 26 indicated. The air circulates in the ring chamber 14 like through the arrows 28 indicated. The air emerges from the annular chamber 14 via a central lower channel 30 out as by the arrow 32 indicated.

Das rohrförmige Element 20 ist perspektivisch in 2 dargestellt. Es nimmt entweder einen keramischen Heizstab 32 auf, der in das Innere 34 des rohrförmigen Elements 20 eingeschoben wird und der einen seitlichen Stutzen 36 aufweist für die Verbindung mit der Druckluftquelle 24. Oder das Innere 34 des rohrförmigen Elements 20 nimmt eine Wirbelrohranordnung 40 auf, die in auseinandergezogener Darstellung auf der linken Seite von 2 gezeigt ist. Sie weist ein erstes unteres Teil 42 auf mit einem konischen Kanal 44, der sich nach oben verengt und einen Wirbelerzeuger 46, der zwischen dem Teil 42 und einem oberen länglichen Rohrabschnitt 48 angeordnet ist. Ein Wirbel erzeugt in der zusammengesetzten Anordnung der Teile eine warme Luftströmung, die durch das Rohr 48 nach oben strömt und eine kalte Strömung, die über den konischen Kanal 44 nach unten strömt. Am oberen Ende des Rohrabschnitts 48 ist eine Hülse 50 angebracht mit einer radialen Bohrung 52, über welche die Luft in das Innere 34 des rohrförmigen Elements 20 treten kann. Mit Hilfe einer Stellschraube 54 kann der Querschnitt der Bohrung 52 eingestellt werden.The tubular element 20 is in perspective in 2 shown. It either takes a ceramic heater 32 on the inside 34 of the tubular element 20 is inserted and a side nozzle 36 has for connection to the compressed air source 24 , Or the inside 34 of the tubular element 20 takes a vortex tube arrangement 40 on the exploded view on the left side of 2 is shown. It has a first lower part 42 on with a conical channel 44 that narrows upwards and a vortex generator 46 between the part 42 and an upper elongated pipe section 48 is arranged. A vortex creates a warm air flow through the tube in the assembled arrangement of the parts 48 flows upwards and a cold current flows over the conical channel 44 flows down. At the top of the pipe section 48 is a sleeve 50 attached with a radial bore 52 , through which the air inside 34 of the tubular element 20 can kick. With the help of a set screw 54 can the cross section of the hole 52 can be set.

Zwischen den Teilen 42 und 48 befindet sich im rohrförmigen Element 20 ein Ringraum (siehe später 5). Dieser Ringraum ist mit einem Schlitz 56 verbunden, der zwischen einem ersten Flügelelement 58 und der Außenseite des rohrförmigen Elements 20 gebildet ist. Die austretende warme Luft strömt gemäß den Pfeilen 60 zunächst entlang eines zylindrischen Umfangsabschnitts 62 des rohrförmigen Elements 20 und anschließend entlang der Außenseite eines zweiten Flügelabschnitts 64, wie durch die Pfeile 66 angedeutet.Between the parts 42 and 48 is in the tubular element 20 an annulus (see later 5 ). This annulus is with a slot 56 connected between a first wing element 58 and the outside of the tubular member 20 is formed. The emerging warm air flows according to the arrows 60 initially along a cylindrical circumferential section 62 of the tubular element 20 and then along the outside of a second wing section 64 as by the arrows 66 indicated.

In 5 ist zu erkennen, dass zwischen der Wirbelrohranordnung 40 und der inneren Wand des rohrförmigen Elements ein Ringraum 68 existiert, in welchen die aus der Öffnung 52 austretende temperierte Luft eintritt. Am oberen Ende ist das rohrförmige Element 20 durch einen Stopfen 70 verschlossen. Im rohrförmigen Element 20 befindet sich mithin temperierte Luft unter Druck, die, wie bereits erwähnt, in der Ringkammer 14 strömt. Dies ist anhand der 3 und 4 besser zu erkennen.In 5 it can be seen that between the vortex tube arrangement 40 and the inner wall of the tubular member an annulus 68 exists in which the one from the opening 52 escaping tempered air enters. At the top is the tubular element 20 through a stopper 70 locked. In the tubular element 20 is therefore temperature-controlled air under pressure, which, as already mentioned, in the annular chamber 14 flows. This is based on the 3 and 4 easier to see.

Bei der Darstellung nach 4 ist der Ringraum 68 zwischen dem Inneren 34 und der Heiz- oder Kühlvorrichtung, hier der Wirbelrohranordnung 40, nicht näher dargestellt. Man erkennt, dass das Innere des rohrförmigen Elements 20 über eine einzige oder mehrere radiale Öffnungen 72 mit einem Spalt 74 in Verbindung steht, der zwischen einer Abflachung 76 des rohrförmigen Elements 20 und dem flügelartigen Element 58 gebildet ist. Die Größe des Spaltes kann durch eine Unterlegscheibe 76 eingestellt werden. Die Breite des Spaltes beträgt nur den Bruchteil eines Millimeters, und der Spalt oder Schlitz erstreckt sich über die ganze Länge des rohrförmigen Elements 20. Im 90° Umfangsabstand ist das zweite Flügelelement 64 an dem rohrförmigen Element 24 angebracht. Während das erste Flügelelement 58, wie aus 4 hervorgeht, annähernd radial zur Kammer 12 beziehungsweise Ringkammer 14 ist, verläuft das zweite Flügelelement 64 annähernd tangential dazu. Der Spalt 74 hat, wie hier in 4 zu erkennen, einen gewissen Abstand zur äußeren Seite der Ringkammer 14, wobei zwischen dem Spalt 74 und der Außenseite der Ringkammer 14 im Querschnitt ein Zwickel 78 gebildet ist. Man erkennt, dass aufgrund der Strömungsbedingungen im Zwickel 78 ein Unterdruck erzeugt wird, der zu einer Verstärkung der Zirkulation der im Ringraum 14 strömenden temperierten Luft führt. Die aus dem Spalt 74 austretende temperierte Luft strömt zunächst entlang des äußeren Umfangs 62 des rohrförmigen Elements 24 und dann entlang der Außenseite des zweiten Flügelelements 64, wie in den 3 und 4 zu erkennen.In the presentation after 4 is the annulus 68 between the inside 34 and the heating or cooling device, here the vortex tube arrangement 40 , not shown in detail. It can be seen that the inside of the tubular element 20 through a single or multiple radial openings 72 with a gap 74 communicates between a flattening 76 of the tubular element 20 and the wing-like element 58 is formed. The size of the gap can be changed using a washer 76 can be set. The width of the gap is only that Fraction of a millimeter, and the gap or slot extends the entire length of the tubular element 20 , The second wing element is at a circumferential distance of 90 ° 64 on the tubular element 24 appropriate. During the first wing element 58 how out 4 emerges, approximately radial to the chamber 12 or ring chamber 14 is the second wing element 64 almost tangential to it. The gap 74 has, like here in 4 to recognize a certain distance from the outer side of the ring chamber 14 , being between the gap 74 and the outside of the annulus 14 a gusset in cross section 78 is formed. It can be seen that due to the flow conditions in the gusset 78 a negative pressure is generated, which increases the circulation of the in the annulus 14 flowing tempered air leads. The one from the gap 74 escaping tempered air initially flows along the outer circumference 62 of the tubular element 24 and then along the outside of the second wing member 64 as in the 3 and 4 to recognize.

Wird, wie in den Figuren dargestellt, eine Wirbelrohranordnung 20 für die Temperierung verwendet, kann ein Teil der erwärmten, über den Kanal 30 austretenden Luft in einen Kanal 80 gelenkt werden, zur Erwärmung des Teils 42 der Wirbelrohranordnung 20. Dadurch wird vermieden, dass dieser Teil vereist, was für den Betrieb der Heiz- oder Kühlvorrichtung nachteilig wäre.As shown in the figures, becomes a vortex tube arrangement 20 used for the tempering, part of the heated, over the channel 30 escaping air into a duct 80 be directed to heat the part 42 the vortex tube arrangement 20 , This prevents this part from icing up, which would be disadvantageous for the operation of the heating or cooling device.

Claims

Device for tempering a good in a cylindrical chamber, with the following features: - on the inner or outer wall of the cylindrical chamber ( 12 ) borders an annular chamber ( 14 ), - a tubular element ( 20 ) extends parallel to the longitudinal axis over approximately the length of the annular chamber ( 14 ) and is next to the inner or outer wall of the ring chamber ( 14 ) arranged, - the tubular element ( 20 ) has a slot in its outer wall ( 74 ) which is parallel to the tubular element ( 20 ) extends - a compressed air source ( 24 ) is with one end of the tubular element ( 20 ) connected, - in the tubular element ( 20 ) is a heating or cooling device ( 22 ) which heats or cools the incoming air, - the slot ( 74 ) or a guide means assigned to the slot is arranged in such a way that the tempered air flows into the annular chamber in a predetermined direction ( 14 ) occurs and - at the lower or upper end of the ring chamber ( 14 ) is an outlet opening ( 30 ) intended for the air.

Device according to claim 1, characterized in that the heating device comprises an elongated electrical heating element ( 32 ), which in the tubular element ( 20 ) is arranged so that the in the tubular element ( 20 ) incoming air is heated.

Device according to claim 2, characterized in that the air heated by the electrical heating element at the other end via an opening in an axially parallel or annular space in the tubular element ( 20 ) flows, which is connected to the slot over its length.

Device according to claim 1, characterized in that the heating or cooling device has a vortex tube arrangement ( 40 ), in which between a conical pipe section ( 42 ) and an elongated pipe section ( 48 ) a flow guide ( 46 ) is arranged to generate a vortex and the warm or cold air via an opening ( 52 ) in an axially parallel or annular space ( 68 ) flows along its length with the slot ( 74 ) connected is.

Device according to one of claims 1 to 4, characterized in that the annular chamber ( 14 ) facing outer surface section ( 62 ) of the tubular element ( 20 ) is cylindrical, which means that from the slot ( 74 ) emerging air first the cylindrical peripheral section ( 62 ) follows before entering the annulus ( 14 ) entry.

Device according to one of claims 1 to 4, characterized in that the slot ( 74 ) between a first axially parallel elongated wing element ( 58 ) and an axially parallel elongated opening in the tubular element ( 20 ) is formed, the outside of the first wing element ( 58 ) almost radial to the ring chamber ( 14 ) runs.

Apparatus according to claim 5 and 6, characterized in that a second elongated axially parallel wing element ( 64 ) on the outside of the tubular element ( 20 ) almost tangential to the tubular element ( 20 ) or to the annulus ( 14 ) is arranged, the outer surface of which on the cylindrical peripheral portion ( 62 ) air flowing along in the direction of circulation of the annular chamber ( 14 ) directs.

Device according to claim 3 or 4, characterized in that the opening ( 52 ) the flow cross-section is adjustable.

Apparatus according to claim 4, characterized in that part of the from the annular chamber ( 14 ) exiting warm air the conical section ( 42 ) of the vortex tube arrangement ( 40 ) is supplied to heat it.