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DE20164885T1 - Vibrationssensor mit niederfrequenter dämpfungsreaktionskurve - Google Patents

Vibrationssensor mit niederfrequenter dämpfungsreaktionskurve Download PDF

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DE20164885T1
DE20164885T1 DE20164885.4T DE20164885T DE20164885T1 DE 20164885 T1 DE20164885 T1 DE 20164885T1 DE 20164885 T DE20164885 T DE 20164885T DE 20164885 T1 DE20164885 T1 DE 20164885T1
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DE
Germany
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vibration sensor
pressure
pcb
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mems microphone
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DE20164885.4T
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Raymond Mögelin
Peter Christiaan Post
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Sonion Nederland BV
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Sonion Nederland BV
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Publication date
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Abstract

Vibrationssensor umfassend1) eine Druckerfassungsanordnung, welche ausgestaltet ist, erzeugte Druckveränderungen zu erfassen und ein Ausgangssignal als Antwort auf die erfassten Druckveränderungen bereitzustellen, und2) eine Druckerzeugungsanordnung, welche ausgestaltet ist, Druckveränderungen als Antwort auf Bewegungen davon zu erzeugen, wobei ein Zwischenvolumen zwischen der Druckerfassungsanordnung und der Druckerzeugungsanordnung vorhanden ist.

Claims (15)

  1. Vibrationssensor umfassend 1) eine Druckerfassungsanordnung, welche ausgestaltet ist, erzeugte Druckveränderungen zu erfassen und ein Ausgangssignal als Antwort auf die erfassten Druckveränderungen bereitzustellen, und 2) eine Druckerzeugungsanordnung, welche ausgestaltet ist, Druckveränderungen als Antwort auf Bewegungen davon zu erzeugen, wobei ein Zwischenvolumen zwischen der Druckerfassungsanordnung und der Druckerzeugungsanordnung vorhanden ist.
  2. Vibrationssensor nach Anspruch 1, wobei die Druckerzeugungsanordnung ein Aufhängungselement und eine daran befestigte bewegliche Masse umfasst.
  3. Vibrationssensor nach Anspruch 2, wobei die Druckerfassungsanordnung eine Mikrofoneinheit umfassend eine Mikrofonkapsel und eine Signalverarbeitungseinheit umfasst.
  4. Vibrationssensor nach Anspruch 3, wobei die Mikrofoneinheit eine eigenständige und in sich geschlossene MEMS Mikrofoneinheit umfassend eine MEMS Mikrofonkapsel und die Signalverarbeitungseinheit umfasst.
  5. Vibrationssensor nach Anspruch 4, wobei die eigenständige und in sich geschlossene MEMS Mikrofoneinheit eine erste PCB umfasst, wobei die MEMS Mikrofonkapsel und die Signalverarbeitungseinheit mit der ersten PCB elektrisch verbunden sind.
  6. Vibrationssensor nach Anspruch 4 oder 5, wobei die eigenständige und in sich geschlossene MEMS Mikrofoneinheit eine zweite PCB umfasst, welche mehrere Kontaktzonen darauf angeordnet umfasst, wobei die zweite PCB relativ zu der ersten PCB gegenüberliegend angeordnet ist.
  7. Vibrationssensor nach Anspruch 5 oder 6, wobei das Zwischenvolumen zwischen einer Außenfläche der ersten PCB der MEMS Mikrofoneinheit und einer Fläche des Aufhängungselements vorhanden ist.
  8. Vibrationssensor nach Anspruch 7, wobei die erste PCB eine durchgehende Öffnung umfasst, welche akustisch mit dem Zwischenvolumen verbunden ist.
  9. Vibrationssensor nach Anspruch 7 oder 8, wobei das Zwischenvolumen kleiner als 5 mm3, zum Beispiel kleiner als 2 mm3, zum Beispiel kleiner als 1 mm3, zum Beispiel kleiner als 0,75 mm3, zum Beispiel kleiner als 0,5 mm3, zum Beispiel kleiner als 0,25 mm3, zum Beispiel kleiner als 0,1 mm3 ist.
  10. Vibrationssensor nach einem der Ansprüche 2 bis 9, wobei die Fläche des Aufhängungselements größer als 0,5 mm2, zum Beispiel größer als 1 mm2, zum Beispiel größer als 2 mm2, Beispiel größer als 4 mm2, zum Beispiel größer als 6 mm2, zum Beispiel größer als 8 mm2, zum Beispiel größer als 10 mm2 ist.
  11. Vibrationssensor nach einem der Ansprüche 2 bis 10, wobei die Masse der beweglichen Masse größer als 0,004 mg, zum Beispiel größer als 0,04 mg, zum Beispiel größer als 0,4 mg, zum Beispiel größer als 1 mg, zum Beispiel größer als 2 mg, zum Beispiel näherungsweise 4 mg ist.
  12. Vibrationssensor umfassend 1) eine Druckerfassungsanordnung, welche ausgestaltet ist, erzeugte Druckveränderungen zu erfassen und ein Ausgangssignal als Antwort auf die erfassten Druckveränderungen bereitzustellen, und 2) eine Druckerzeugungsanordnung, welche ausgestaltet ist, Druckveränderungen als Antwort auf Bewegungen davon zu erzeugen, 3) ein Zwischenvolumen, welches ausgestaltet ist, erzeugte Druckveränderungen von der Druckerzeugungsanordnung zu der Druckerfassungsanordnung zu übertragen.
  13. Vibrationssensor nach Anspruch 12, wobei die Druckerzeugungsanordnung ein Aufhängungselement und eine daran befestigte bewegliche Masse umfasst.
  14. Vibrationssensor nach Anspruch 12 oder 13, wobei die Druckerfassungsanordnung eine Mikrofoneinheit umfassend eine Mikrofonkapsel und eine Signalverarbeitungseinheit umfasst.
  15. Vibrationssensor nach Anspruch 14, wobei die Mikrofoneinheit eine eigenständige und in sich geschlossene MEMS Mikrofoneinheit umfassend eine MEMS Mikrofonkapsel und die Signalverarbeitungseinheit umfasst.
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