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DE19927325A1 - Stigmatic imaging toroidal mirror-plane grid-monochromator for electromagnetic radiation forms image of input aperture stigmatically on output aperture over entire range of wavelengths - Google Patents

Stigmatic imaging toroidal mirror-plane grid-monochromator for electromagnetic radiation forms image of input aperture stigmatically on output aperture over entire range of wavelengths

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DE19927325A1
DE19927325A1 DE1999127325 DE19927325A DE19927325A1 DE 19927325 A1 DE19927325 A1 DE 19927325A1 DE 1999127325 DE1999127325 DE 1999127325 DE 19927325 A DE19927325 A DE 19927325A DE 19927325 A1 DE19927325 A1 DE 19927325A1
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Abstract

The monochromator has fixed defined input and output apertures (2,3) and incident and output beam axes, a plane reflection grid (5), a toroidal mirror (4) or an ellipsoidal mirror approximating to it and an optional further plane mirror (7). An image of the input aperture (2) is formed stigmatically on the output aperture (3) over the entire range of wavelengths of the monochromator.

Description

Das Reflexionsvermögen der für Spiegel und Reflexionsgitter benutzten Materialien hat im Bereich des Vakuum-Ultravioletts (VUV) für Einfallswinkel zwischen 0° und ca. 60° typischerweise Werte zwischen 0,05 und 0,5. In VUV-Monochromatoren werden deshalb häufig Reflexionsgitter mit kugel- oder toroidförmigen Oberflächen verwendet, welche die dispergierenden und abbildenden Eigenschaften in einem optischen Element vereinen und so die bei mehrfacher Reflexion auftretenden hohen Intensitätsverluste vermeiden. Bei dem bekannten Seya-Namioka-Monochromator, der ein Rowland-Gitter mit kugelförmiger Ober­ fläche benutzt, tritt allerdings starker Astigmatismus auf, welcher die Auflösung begrenzt und zu Intensitätsverlusten führt.The reflectivity of the materials used for mirrors and reflection gratings has in the field of vacuum ultraviolet (VUV) for angles of incidence between 0 ° and approx. 60 ° typically values between 0.05 and 0.5. Therefore, in VUV monochromators frequently used reflection grids with spherical or toroidal surfaces, which the combine dispersing and imaging properties in one optical element and so avoid the high intensity losses that occur with multiple reflections. In which well-known Seya-Namioka monochromator, which is a Rowland grating with a spherical upper area, strong astigmatism occurs, which limits the resolution and leads to loss of intensity.

Ein Beispiel für einen VUV-Plangitter-Monochromator, der bei nahezu streifender Inzidenz und damit geringen Reflexionsverlusten arbeitet, hat H. Petersen in der am 20. 01. 1983 veröffentlichten Patentschrift DE 30 45 931 C2 angegeben. Das Gerät arbeitet mit ortsfesten Eintritts- und Austrittsblenden und erzeugt an der Austrittsblende einen meridionalen Fokus. Der Einfallswinkel auf dem zur Abbildung verwendeten Rotations­ ellipsoidspiegel ist der für die stigmatische Abbildung des einen Brennpunktes in den anderen erforderliche Sollwinkel; der durch die nichtparallele Beleuchtung des Gitters verursachte Astigmatismus wird damit nicht kompensiert, der sagittale Fokus liegt deshalb weit hinter der Austrittsblende. Ein weiterer Schwachpunkt dieses Monochromators ist der Ellipsoidspiegel, dessen Mittelpunkt weit vom Scheitelkreis des Rototionsellipsoids entfernt ist. Solche Oberflächen sind nur schwer mit der erforderlichen Genauigkeit herzustellen, sie lassen sich außerdem nur in sehr grober Näherung durch die erheblich leichter zu fertigenden toroidalen Oberflächen ersetzen.An example of a VUV plan grid monochromator that is almost grazing Incidence and thus low reflection losses, H. Petersen in the January 20, 1983 published patent DE 30 45 931 C2 specified. The device is working with fixed inlet and outlet panels and creates one at the outlet panel meridional focus. The angle of incidence on the rotation used for the illustration The ellipsoid mirror is used for the stigmatic imaging of one focus in the other required target angle; due to the non-parallel lighting of the grid This does not compensate for the astigmatism caused, so the sagittal focus lies far behind the outlet aperture. Another weak point of this monochromator is that Ellipsoid mirror, the center of which is far from the vertex of the rotationsellipsoid is. Such surfaces are difficult to manufacture with the required accuracy, they can also only be approximated by the considerably easier to manufacture Replace toroidal surfaces.

Im Gegensatz zum Petersen-Monochromator verwendet der hier vorgestellte Monochromator gemäß Anspruch 1 einen Toroidspiegel, dessen Mittelpunkt auf dem Scheitelkreis des durch ihn sehr gut angenäherten Rotationsellipsoids liegt; die Verwendung eines dort sehr viel leichter mit hoher Genauigkeit herstellbaren Rotationsellipsoids ist ebenso möglich. Außerdem wird als Einfallswinkel auf dem Toroidspiegel gerade nicht der Sollwinkel τ0 = arccos[(ρ1/ρ2)1/2] gewählt, welcher die stigmatische 1 : 1 Abbildung der Brennpunkte durch das Rotationsellipsoids bewirkt, dessen Halbachsen a0 und b0 über ρ1 = b0 und ρ2 = a 2|0b0 mit den Radien ρ2 < ρ1 des Toroids verknüpft sind. Für einen Einfallswinkel τ ≠ τ0 wird die meridionale Abbildung von der in der Meridionalebene liegenden Ellipse mit den Halbachsen a und b bestimmt, die durch ρ2 = a2/b und cos(τ) = b/a festgelegt sind, während für die sagittale Abbildung nach wie vor der Radius ρ1 = b0 maßgebend ist. Der damit für τ ≠ τ0 vom Toroidspiegel erzeugte Astigmatismus wird gemäß Anspruch 1 gerade so gewählt, daß er den am Reflexionsgitter entstehenden Astigmatismus für alle Wellenlängen innerhalb des Wellenlängenbereichs des Monochromators kompen­ siert. Der Astigmatismus des Gitters ist durch die Beziehung |r/r'| = [cos(ϕ ± ε)/cos(ϕ ∓ ε)]2 gegeben, wobei das obere bzw. untere Vorzeichen für konvergente bzw. divergente Beleuchtung des Gitters gilt und |r| der Abstand des virtuellen meridionalen Fokus vom Gittermittelpunkt ist, r' der entsprechende Abstand des reellen meridionalen Fokus.In contrast to the Petersen monochromator, the monochromator presented here uses a toroid mirror, the center of which lies on the vertex of the ellipsoid of revolution that it approximates very well; it is also possible to use a rotational ellipsoid that is much easier to produce there with high accuracy. In addition, the target angle τ 0 = arccos [(ρ 1 / ρ 2 ) 1/2 ] is not chosen as the angle of incidence on the toroidal mirror, which causes the stigmatic 1: 1 mapping of the focal points by the ellipsoid of revolution, whose semiaxes a 0 and b 0 are connected to the radii ρ 2 <ρ 1 of the toroid via ρ 1 = b 0 and ρ 2 = a 2 | 0b 0 . For an angle of incidence τ ≠ τ 0 , the meridional image is determined by the ellipse lying in the meridional plane with the semiaxes a and b, which are determined by ρ 2 = a 2 / b and cos (τ) = b / a, while for the sagittal image the radius ρ 1 = b 0 is still decisive. The astigmatism thus generated for τ ≠ τ 0 by the toroidal mirror is chosen in accordance with claim 1 such that it compensates for the astigmatism arising on the reflection grating for all wavelengths within the wavelength range of the monochromator. The astigmatism of the grid is due to the relationship | r / r '| = [cos (ϕ ± ε) / cos (ϕ ∓ ε)] 2 , where the upper or lower sign applies to convergent or divergent illumination of the grating and | r | is the distance of the virtual meridional focus from the center of the grating, r 'is the corresponding distance of the real meridional focus.

Der Anspruch 2 betrifft eine für die Fertigung und die Anwendung bedeutsame näherungsweise Verwirklichung der erfindungsgemäß erforderlichen Bewegung der opti­ schen Elemente. In Anspruch 3 wird ein Beispiel für einen Monochromator nach Anspruch 1 vorgestellt, der nur das Toroid und das Gitter als reflektierende Komponenten enthält, und dieser Monochromator wird in Anspruch 4 so modifiziert, daß durch Hinzunahme eines orts­ festen Planspiegels die Achsen des einfallenden und des ausfallenden Strahlenbündels zusammenfallen. In Anspruch 5 wird ein Monochromator nach den Ansprüchen 1 und 2 mit zusammenfallenden Achsen des einfallenden und des ausfallenden Bündels spezifiziert, in welchem der Toroidspiegel ortsfest bleibt und die allgemeineren Bewegungen des Refle­ xionsgitters und des Planspiegels durch Drehungen um Achsen senkrecht zur Meridio­ nalebene ersetzt werden, die nicht durch die Mittelpunkte der beiden Elemente gehen. Die in den angegebenen Beispielen erfüllte Bedingung gw ≈ bw zwischen Gegenstands- und Bildweite bewirkt, daß die bei stärkerem Abweichen vom 1 : 1 Abbildungsverhältnis am Toroid auftretenden Abbildungsfehler vernachlässigbar bleiben. Die Transmission der angegebenen Monochromatoren wird außerdem durch die in den Wellenlängenbereich fallende Blazewellenlänge optimiert.The claim 2 relates to an important realization for the manufacture and application of the realization of the movement of the optical elements required according to the invention. In claim 3 an example of a monochromator according to claim 1 is presented, which contains only the toroid and the grating as reflecting components, and this monochromator is modified in claim 4 so that the axes of the incident and the incident are added by adding a fixed plane mirror Beam collapse. In claim 5, a monochromator is specified according to claims 1 and 2 with coinciding axes of the incident and the emerging bundle, in which the toroidal mirror remains stationary and the more general movements of the reflection grid and the plane mirror are replaced by rotations about axes perpendicular to the meridional plane, that don't go through the centers of the two elements. The condition g w ≈ b w between the object and image width fulfilled in the examples given has the effect that the imaging errors occurring on the toroid in the event of a greater deviation from the 1: 1 imaging ratio remain negligible. The transmission of the specified monochromators is also optimized by the blaze wavelength falling in the wavelength range.

Claims (5)

1. Ein Monochromator für elektromagnetische Strahlung mit fest vorgegebenen Positionen der Eintritts- und der Austrittsblende sowie ebenfalls fest vorgegebenen Achsen des einfallenden und des ausfallenden Strahlenbündels, der ein ebenes Reflexionsgitter mit der Gitterkonstanten d und dem Blazewinkel εb, einen durch die Radien ρ2 < ρ1 bestimmten Toroidspiegel oder einen von ihm angenäherten, durch die Krümmungsradien ρ2 < ρ1 festgelegten Rotationsellipsoidspiegel sowie als Option einen weiteren Planspiegel enthält. Die Einfallsebenen der genannten optischen Elemente fallen in der Meridionalebene zusammen, die Striche des Reflexionsgitters stehen senkrecht auf der Meridionalebene, welche auch die Mittelpunkte der genannten optischen Elemente sowie die Rotationsachse des Ellipsoid- bzw. Toroidspiegels enthält. Die in der Meridionalebene entlang der Bündelachsen gemes­ senen Lichtwege zwischen dem Mittelpunkt des Toroid- oder Ellipsoidspiegels und der Eintritts- bzw. Austrittsblende sind die Gegenstands- bzw. Bildweiten gw und bw. Die Blazewellenlänge λb, die sich in der Beugungsordnung m aus der Gittergleichung mλ = 2dcos(ϕ)sin(ε) für ε = εb ergibt, fällt in den Wellenlängenbereich des Monochromators, wobei ϕ+ ε der von der Gitternormalen gemessene Einfallswinkel ist und ϕ- ε der entsprechende Ausfallswinkel. Dieser Monochromator ist dadurch gekennzeichnet, daß im gesamten Wellenlängenbereich des Monochromators die Eintrittsblen­ de stigmatisch auf die Austrittsblende mit gw ≈ bw abgebildet wird, indem mit der zur Einstellung der Wellenlänge λ erforderlichen Rotation des Reflexionsgitters um eine Achse, welche senkrecht auf der Meridionalebene steht und welche den Mittelpunkt des Gitters enthält, zweckentsprechend analoge Rotationen der anderen sowie Trans­ lationen der Mittelpunkte aller optischen Elemente in der Meridionalebene verknüpft werden, wobei sich die zweckentsprechenden Bewegungen der zwei bzw. drei ge­ nannten optischen Elemente unter Beachtung der oben aufgeführten geometrischen Bedingungen aus der für die erfindungsgemäße stigmatische Abbildung erforderlich­ en Kompensation des bei nichtparalleler Beleuchtung am Gitter entstehenden Astig­ matismus mit dem für den Einfallswinkel τ ≠ arccos[(ρ1/ρ2)1/2] vom Toroidspie­ gel erzeugten Astigmatismus ergeben. Der Astigmatismus des Gitters ist durch die Beziehung |r/r'| = [cos(ϕ ± ε)/cos(ϕ ∓ ε)]2 gegeben, wobei das obere bzw. untere Vorzeichen für konvergente bzw. divergente Beleuchtung des Gitters gilt und |r| der Abstand des virtuellen meridionalen Fokus vom Gittermittelpunkt ist, r' der entspre­ chende Abstand des reellen meridionalen Fokus. Für τ ≠ τ0 wird die meridionale Abbildung des Toroidspiegels durch 2/a = 1/gw + 1/bm mit ρ2 = a2/b und b/a = cosτ beschrieben, seine sagittale Abbildung durch 2cosτ/ρ1 = 1/gw + 1/bs, wobei die Bildweiten bm und bs den Abstand der meridionalen und sagitalen Bildpunkte auf der Achse des reflektierten Bündels vom Mittelpunkt des Toroidspiegels angeben.1. A monochromator for electromagnetic radiation with fixed positions of the entrance and exit diaphragm and also fixed axes of the incoming and outgoing beams, which has a flat reflection grating with the grating constant d and the blaze angle ε b , one through the radii ρ 2 < ρ 1 determined toroidal mirror or a rotation ellipsoid mirror approximated by it, determined by the radii of curvature ρ 2 <ρ 1, and optionally contains a further plane mirror. The planes of incidence of the optical elements mentioned coincide in the meridional plane, the lines of the reflection grating are perpendicular to the meridional plane, which also contains the centers of the optical elements mentioned and the axis of rotation of the ellipsoid or toroid mirror. The light paths measured in the meridional plane along the bundle axes between the center of the toroid or ellipsoid mirror and the entrance or exit diaphragm are the object or image widths g w and b w . The blaze wavelength λ b , which results in the diffraction order m from the grating equation mλ = 2dcos (ϕ) sin (ε) for ε = ε b , falls within the wavelength range of the monochromator, where ϕ + ε is the angle of incidence measured by the grating normal and ϕ- ε the corresponding angle of reflection. This monochromator is characterized in that in the entire wavelength range of the monochromator the entrance baffles de are stigmatically imaged onto the exit aperture with g w ≈ b w , by rotating the reflection grating about an axis which is perpendicular to the meridional plane to adjust the wavelength λ and which contains the center of the grating, appropriately analog rotations of the other and translations of the centers of all optical elements in the meridional plane are linked, the appropriate movements of the two or three named optical elements taking into account the geometric conditions listed above from the required for the stigmatic imaging according to the invention en compensation of the astigmatism arising in the case of non-parallel illumination on the grating with the astigmatism generated by the toroid mirror for the angle of incidence τ ≠ arccos [(ρ 1 / ρ 2 ) 1/2 ]. The astigmatism of the grid is due to the relationship | r / r '| = [cos (ϕ ± ε) / cos (ϕ ∓ ε)] 2 , where the upper or lower sign applies to convergent or divergent illumination of the grating and | r | is the distance of the virtual meridional focus from the center of the grating, r 'the corresponding distance of the real meridional focus. For τ ≠ τ 0 the meridional mapping of the toroidal mirror is described by 2 / a = 1 / g w + 1 / b m with ρ 2 = a 2 / b and b / a = cosτ, its sagittal mapping by 2cosτ / ρ 1 = 1 / g w + 1 / b s , the image widths b m and b s indicating the distance between the meridional and sagital image points on the axis of the reflected bundle from the center of the toroid mirror. 2. Ein Monochromator nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die zweckentsprechende Kombination der Drehung um eine senkrecht zur Meridionalebene stehende und den Mittelpunkt des betreffenden optischen Elements enthaltende Achse mit einer Verschiebung dieses Mittelpunkts in der Meridional­ ebene für den Wellenlängenbereich des Monochromators näherungsweise ersetzt wird durch eine reine Drehung um eine senkrecht zur Meridionalebene stehende Achse, welche den Mittelpunkt des betreffenden optischen Elements nicht enthält.2. A monochromator according to claim 1, characterized, that the appropriate combination of rotation about a perpendicular to Meridional plane and the center of the optical element in question containing axis with a shift of this midpoint in the meridional plane is approximately replaced for the wavelength range of the monochromator by a simple rotation around an axis perpendicular to the meridional plane, which does not contain the center of the optical element in question. 3. Ein Monochromator nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß die Achse des einfallenden Strahlenbündels durch den Mittelpunkt des durch ρ1 = 174,4 mm und ρ2 = 697.4 mm gekennzeichneten Toroidspiegels geht und daß für die Werte mλ = 265,3 nm, 150 nm und 127,9 nm die Gegenstandsweiten gw = 347.8 mm, 383.7 mm und 410.7 mm und die dazugehörigen Einfallswinkel τ = 63,38°, 62,97° und 62,09° betragen,
daß die Strahlung vom Toroidspiegel auf das Reflexionsgitter mit der Gitter­ konstanten d = 833,3 nm fällt, wobei sich beim Verdrehen des Gitters dessen Mittel­ punkt entlang der raumfesten Achse des ausfallenden Strahlenbündels bewegt, daß für die drei angegebenen Werte von mλ der Abstand h seines Mittelpunktes von der Achse des einfallenden Strahls die Werte h = 82,64 mm, 60,00 mm und 43,31 mm annimmt, daß die dazugehörigen Winkel die Werte ϕ= 37,30°, 36,89° und 36,01° so­ wie ε = 11,55°, 8,63° und 5,44° haben, daß wegen des 8,63° betragenden Blazewinkels des Gitters die Blazewellenlänge des Monochromators durch mλb = 200,0 nm gegeben ist, daß für mλ = 200,0 nm außerdem gw = bw gilt, wodurch auch die im Gegensatz zum Gittermittelpunkt ortsfeste Lage der Austrittsblende spezifiziert ist
und daß dieser Monochromator erfindungsgemäß innerhalb des Wellen­ längenbereichs von mλ = 128 nm bis mλ = 265 nm für jede eingestellte Wellenlänge an der Austrittsblende ein stigmatisches Bild der Eintrittsblende erzeugt.3. A monochromator according to claim 1, characterized in that
that the axis of the incident beam passes through the center of the toroidal mirror identified by ρ 1 = 174.4 mm and ρ 2 = 697.4 mm and that for the values mλ = 265.3 nm, 150 nm and 127.9 nm the object widths g w = 347.8 mm, 383.7 mm and 410.7 mm and the associated angles of incidence τ = 63.38 °, 62.97 ° and 62.09 °,
that the radiation from the toroidal mirror falls onto the reflection grating with the grating constant d = 833.3 nm, the center point of which moves along the fixed axis of the emerging beam bundle when the grating is rotated, that for the three specified values of mλ the distance h of its The center of the axis of the incident beam assumes the values h = 82.64 mm, 60.00 mm and 43.31 mm, so that the associated angles have the values ϕ = 37.30 °, 36.89 ° and 36.01 ° as ε = 11.55 °, 8.63 ° and 5.44 ° have that because of the blaze angle of the grating being 8.63 °, the blaze wavelength of the monochromator is given by mλ b = 200.0 nm that for mλ = 200 , 0 nm also applies g w = b w , which also specifies the position of the outlet orifice, which is stationary in contrast to the center of the grating
and that this monochromator according to the invention produces a stigmatic image of the inlet aperture within the wavelength range from mλ = 128 nm to mλ = 265 nm for each wavelength set at the outlet aperture. 4. Ein Monochromator nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß zusätzlich ein ortsfester Planspiegel eingeführt wird, dessen Mittelpunkt mit dem Schnittpunkt der Achsen des einfallenden und des ausfallenden Strahlenbün­ dels zusammenfällt und der die Strahlung in die dann auf der Verlängerung der Achse des einfallenden Strahlenbündels in der Bildweite bw montierte Austrittsblende leitet.4. A monochromator according to claim 3, characterized in that in addition a fixed plane mirror is introduced, the center of which coincides with the intersection of the axes of the incident and the outgoing radiation beam and which then emits the radiation onto the extension of the axis of the incoming radiation beam in the image width b w guides the mounted outlet panel. 5. Ein Monochromator nach den Ansprüchen 1 und 2, dadurch gekennzeichnet,
daß die Mittelpunkte der Eintrittsblende (2) und der Austrittsblende (3) auf der Achse des einfallenden Strahlenbündels liegen und einem Abstand von 816,4 mm voneinander haben,
daß die Achse des einfallenden Strahlenbündels durch den Mittelpunkt des durch ρ1 = 174,4 mm und ρ2 = 697.4 mm gekennzeichneten Toroidspiegels (4) geht und daß die Gegenstandsweite gw = 422.7 mm, d. h. der Abstand des Mittelpunktes dieses Toroidspiegels von der Eintrittsblende (2) ebenso unabhängig von der eingestellten Wellenlänge ist wie der Einfallswinkel τ = 65.64° der Achse des auf ihn treffenden Bündels,
daß die Strahlung vom Toroidspiegel auf das Reflexionsgitter (5) mit der Gitterkonstanten d = 833,3 nm fällt und daß dieses Gitter entsprechend der einzustel­ lenden Wellenlänge um eine Achse verdreht wird, welche durch den Punkt (6) in der Meridionalebene geht und auf dieser Ebene senkrecht steht, wobei die parallel zur Achse des einfallenden Bündels und senkrecht dazu zur Seite des Gitters hin gemes­ senen Abstände des Punktes (6) von der Eintrittsblende 388,4 mm und 73, 7 betragen,
daß die Strahlung vom Reflexionsgitter auf den Planspiegel (7) fällt, der durch eine an die Drehung des Gitters gekoppelte Rotation um die durch den Punkt (8) in Meridionalebene gehende und senkrecht auf ihr stehende Achse so verdreht wird, daß für das eingestellte λ die Achse des von ihm zur Austrittsblende (3) hin reflektierten Strahlenbündels mit der Achse des einfallenden Bündels zusammenfällt und daß die wie oben gemessenen Abstände des Punktes (8) von der Eintrittsblende 408,1 mm und 32,0 mm betragen,
daß für mλ = 150 nm der Mittelpunkt des Reflexionsgitters einen Abstand von 43,0 mm von der Achse des einfallenden Bündels hat,
daß die Winkel ϕund ε für mλ = 251,1 nm, 150,0 nm und 100,5 nm die Werte ϕ= 42,56°, 53,14° und 60,24° sowie ε = 11,80°, 8,63° und 6,98° annehmen, daß wegen des 8,63° betragenden Blazewinkels des Gitters die Blazewellenlänge des Monochromators durch das Produkt mλb = 150,0 nm gegeben ist, daß für mλ = 150,0 nm außerdem gw = bw gilt
und daß dieser Monochromator erfindungsgemäß innerhalb des Wellen­ längenbereichs von mλ = 100 nm bis mλ = 250 nm für jede eingestellte Wellenlänge an der Austrittsblende ein stigmatisches Bild der Eintrittsblende erzeugt.5. A monochromator according to claims 1 and 2, characterized in
that the center points of the entrance aperture ( 2 ) and the exit aperture ( 3 ) lie on the axis of the incident beam and are at a distance of 816.4 mm from one another,
that the axis of the incident beam passes through the center of the toroidal mirror (ρ 1 = 174.4 mm and ρ 2 = 697.4 mm) ( 4 ) and that the object distance g w = 422.7 mm, ie the distance between the center of this toroidal mirror and the entrance aperture ( 2 ) is just as independent of the set wavelength as the angle of incidence τ = 65.64 ° of the axis of the bundle hitting it,
that the radiation from the toroidal mirror falls onto the reflection grating ( 5 ) with the grating constant d = 833.3 nm and that this grating is rotated according to the wavelength to be set around an axis which passes through point ( 6 ) in the meridional plane and on this plane is perpendicular, wherein the amount parallel to the axis of the incident beam and perpendicular to the side of the grid toward gemes Senen distances of the point (6) from the entrance aperture 73 and 388.4 mm, 7,
that the radiation falls from the reflection grating onto the plane mirror ( 7 ), which is rotated by a rotation coupled to the rotation of the grating around the axis going through point ( 8 ) in the meridional plane and perpendicular to it, so that for the set λ the Axis of the beam of rays reflected by it towards the exit diaphragm ( 3 ) coincides with the axis of the incident bundle and that the distances of the point ( 8 ) from the inlet diaphragm measured as above are 408.1 mm and 32.0 mm,
that for mλ = 150 nm the center of the reflection grating is 43.0 mm from the axis of the incident beam,
that the angles ϕ and ε for mλ = 251.1 nm, 150.0 nm and 100.5 nm have the values ϕ = 42.56 °, 53.14 ° and 60.24 ° and ε = 11.80 °, 8, 63 ° and 6.98 ° assume that because of the 8.63 ° blaze angle of the grating the blaze wavelength of the monochromator is given by the product mλ b = 150.0 nm, that for mλ = 150.0 nm also g w = b w applies
and that this monochromator according to the invention generates a stigmatic image of the inlet aperture within the wavelength range from mλ = 100 nm to mλ = 250 nm for each wavelength set at the outlet aperture.
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