DE19923287A1 - Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung einer Keramikgrünschicht - Google Patents

Abstract

Die vorliegende Erfindung schafft ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Herstellen einer Keramikgrünschicht, welche in der Lage sind, eine dünne Schicht zu erhalten, ohne daß ein wäßriges oder organisches Lösungsmittel verwendet wird. Das Verfahren zum Herstellen einer Keramikgrünschicht umfaßt einen ersten Schritt des negativen Aufladens einer Trägerschicht, die einen PET-Film aufweist, mit einer Koronaladeeinrichtung, einen zweiten Schritt des Anbringens eines aufladbaren Pulvers, das positiv geladen ist, d. h. das mit einer Polarität geladen ist, die der der Trägerschicht entgegengesetzt ist, auf der Oberfläche der Trägeschicht durch elektrostatische Kräfte, und einen dritten Schritt des Zuführens von Wärme durch die Strahlung einer Blitzlampe zu dem aufladbaren Pulver, das auf der Oberfläche der Trägerschicht durch elektrostatische Kräfte angebracht ist, um das aufladbare Pulver auf der Oberfläche der Trägerschicht zu befestigen.

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Herstellung einer Keramikgrünschicht zur Verwendung in einem elektronischen Keramikbauteil, das eine Schaltung für ein elektronisches Gerät umfaßt.

Üblicherweise wird eine Keramikgrünschicht, die in einem elektronischen Keramikbauteil verwendet wird, das durch einen laminierten Kondensator, einen laminierten Konduktor, ein laminiertes LC-Filter und ein Mehrschichtsubstrat darge­ stellt ist, mit einer bekannten Herstellungsvorrichtung her­ gestellt, indem eine Mischung eines wässrigen oder organi­ schen Lösungsmittels, in dem ein Keramikpulver, wie z. B. Bariumtitanat und Ferrit gelöst ist, eines Polymerbindemit­ tels, wie z. B. Polymethyl-Methacrylat (PMMA), Polyvinyl­ butylal (PVB) und Polyvinylalkohol (PVA) mit einer Hochge­ schwindigkeitsmischvorrichtung oder einer Kugelmühle gekne­ tet, wonach der erhaltene Keramikbrei auf die Oberfläche einer Trägerschicht, wie z. B. eines Polyethylen-Terephtha­ lat-(PET-)Films durch ein Abstreifverfahren oder ein Roll­ verfahren bis zu einer Dicke von einigen 100 µm bis zu meh­ reren 10 µm aufgebracht wird, wonach derselbe getrocknet und gewendet wird.

Fig. 7 ist ein Konfigurationsdiagramm einer Herstellungsvor­ richtung für eine Keramikgrünschicht, die bei dem herkömmli­ chen Verfahren zum Herstellen einer Keramikgrünschicht ver­ wendet wird. Wie es in Fig. 7 gezeigt ist, wird eine Träger­ schicht 51, auf der ein Flüssigformlösemittel aufgebracht ist, aus einer Abgabevorrichtung 52 ausgegeben und zwischen ein Paar von Rollenteilen 53a, 53b plaziert, um horizontal bewegt zu werden. Die Oberfläche 511 der Trägerschicht 51 ist mit einem Keramikbrei 55 versehen, der durch eine Auf­ bringeinrichtung 54 eingefüllt wird, wenn derselbe unmit­ telbar unter der Aufbringeinrichtung 54 vorbeiläuft. Der Keramikbrei 55 kann durch Hinzufügen eines Polymerbindemit­ tels in ein wässriges oder organisches Lösungsmittel, in dem ein Keramikpulver verteilt ist, und durch Kneten, wie oben erwähnt, erhalten werden. Die Aufbringeinrichtung 54 ist mit einer Abstreifklinge 57 versehen, die auf eine Höhe bezüg­ lich eines Basisteils 56 zum Tragen der hinteren Oberfläche 512 der Trägerschicht 51 eingestellt ist, so daß die Dicke des Keramikbreis 55 auf der Oberfläche der Trägerschicht 51 durch Gleichmachen des Keramikbreis 55 auf der Oberfläche 511 der Trägerschicht 51 mit der Abstreifklinge 57 homogen gemacht werden kann. Dann wird der Keramikbrei 55 auf der Oberfläche 511 der Trägerschicht 51 ausreichend getrocknet, während dieselbe unmittelbar unter einer Trocknungseinrich­ tung 58 vorbeiläuft. Dieselbe wird dann von einer Wendeein­ richtung 60 als eine Keramikgrünschicht 59 mit der Träger­ schicht 51 aufgenommen, wie es in dem gestrichelten Kreis in Fig. 7 gezeigt ist.

Obwohl es in der Figur nicht gezeigt ist, wird die aufgenom­ mene Keramikgrünschicht 59 mit der Trägerschicht 51 umge­ wendet, zu einer erwünschten Breite geschnitten und dann von der Trägerschicht 51 entfernt. Nach dem Bilden einer Elek­ trodenstruktur durch Drucken einer leitfähigen Paste auf diese Keramikgrünschichten durch ein Siebdruckverfahren, wird eine Wärme- und Druckbehandlung angewendet, um ein la­ miniertes Keramikprodukt zu erhalten. Durch Brennen des der­ art erhaltenen laminierten Keramikprodukts, um einen Chip zu erhalten, und durch Bilden einer äußeren Elektrode an dem Endteil kann ein elektronisches Keramikbauteil erhalten wer­ den.

Wie es oben erwähnt wurde, wird bei einem herkömmlichen Ver­ fahren zum Herstellen einer Keramikgrünschicht ein Keramik­ brei, der durch Kneten einer Mischung eines wässrigen oder organischen Lösungsmittels mit Keramikpulvern, die in dem­ selben verteilt sind, und eines Polymerbindemittels erhalten wird, verwendet.

Wenn jedoch ein wässriges Lösungsmittel verwendet wird, be­ steht ein Problem darin, obwohl eine Einrichtung zum verhin­ dern eines explosionsartigen Schocks nicht in der Trock­ nungseinrichtung zum Trocknen des Keramikbreis notwendig ist, daß, da das Polyinerbindemittel nicht gut in Wasser ver­ teilt werden kann und somit in dem Zustand feiner Partikel existiert, daß es schwierig ist, eine Keramikgrünschicht mit homogener Dichte zu bilden. Dieses Verfahren ist somit nicht dafür geeignet, eine dünne Keramikgrünschicht zu erhalten.

Wenn ferner ein organisches Lösungsmittel verwendet wird, kann zwar das Bindemittel gut verteilt werden, und es ist somit einfach, eine dünne Keramikgrünschicht zu erhalten. Ein Problem besteht jedoch darin, daß eine Einrichtung zum Verhindern eines explosionsartigen Schocks in einer Trock­ nungseinrichtung zum Trocknen des Keramikbreis notwendig ist. Somit wird eine teure Produktionsausrüstung benötigt.

Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Herstellen einer Keramik­ grünschicht zu schaffen, die einerseits zuverlässig und an­ dererseits sicher sind.

Diese Aufgabe wird durch ein Verfahren zum Herstellen einer Keramikgrünschicht nach Patentanspruch 1 und durch eine Vor­ richtung zum Herstellen einer Keramikgrünschicht nach Pa­ tentanspruch 7 gelöst.

Ein Vorteil der vorliegenden Erfindung besteht darin, daß ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Herstellen einer Ke­ ramikgrünschicht geschaffen werden, die in der Lage sind, eine dünne Schicht zu schaffen, ohne daß ein wässriges oder ein organisches Lösungsmittel verwendet wird.

Ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfin­ dung schafft ein Verfahren zum Herstellen einer Keramikgrün­ schicht, das den Schritt des Anbringens eines aufladbaren Pulvers, das ein Keramikpulver enthält, eines Ladungssteue­ rungsmittels und eines thermoplastischen Harzes auf die Oberfläche einer Trägerschicht durch elektrostatische Kräfte umfaßt.

Gemäß dem oben beschriebenen Verfahren muß kein Keramikbrei, der ein wässriges oder organisches Lösungsmittel enthält, verwendet werden, da im Gegensatz zum herkömmlichen Naßtyp­ verfahren zum Herstellen einer Keramikgrünschicht ein auf­ ladbares Pulver, das ein Keramikpulver enthält, ein Ladungs­ steuerungsmittel und ein thermoplastisches Harz auf der Oberfläche einer Trägerschicht durch elektrostatische Kräfte aufgebracht werden. Daher muß die Keramikgrünschicht nicht getrocknet werden, und es wird keine Einrichtung zum Verhin­ dern eines explosionsartigen Schocks bei der Herstellungs­ vorrichtung benötigt. Damit kann die Herstellungsvorrichtung preisgünstig realisiert werden, wodurch die Produktionsko­ sten verringert werden können.

Das oben beschriebene Verfahren kann folgende Schritte um­ fassen: einen ersten Schritt zum homogenen Aufladen der Trä­ gerschicht; einen zweiten Schritt zum Anbringen des auflad­ baren Pulvers, das mit einer Polarität geladen ist, die der der Trägerschicht entgegengesetzt ist, auf der Oberfläche der Trägerschicht; und einen dritten Schritt des Befestigens des aufladbaren Pulvers auf der Oberfläche der Trägerschicht durch Erwärmen des aufladbaren Pulvers, das an der Oberflä­ che der Trägerschicht angebracht ist.

Da das aufladbare Pulver, das ein Keramikpulver enthält, das homogen positiv geladen ist, gemäß dem oben beschriebenen Verfahren auf der Oberfläche der Trägerschicht, die homogen negativ geladen ist, angebracht wird, kann das aufladbare Pulver auf der Oberfläche der Trägerschicht dünn und homogen angebracht werden. Daher können eine dünne Schicht und eine Homogenität für die Keramikgrünschicht realisiert werden.

Bei dem oben beschriebenen Verfahren kann ein Zwischen­ medium, das eine isolierende Substanz umfaßt, als Einrich­ tung zum Anbringen des aufladbaren Pulvers auf der Oberflä­ che der Trägerschicht in dem zweiten Schritt verwendet wer­ den.

Da ein Zwischenmedium, das eine isolierende Substanz auf­ weist, als Einrichtung zum Anbringen des aufladbaren Pulvers auf die Oberfläche der Trägerschicht in dem zweiten Schritt verwendet wird, kann gemäß dem oben beschriebenen Verfahren ferner eine dünne Schicht auf der Keramikgrünschicht reali­ siert werden, indem der Abstand zwischen dem Zwischenmedium und der Trägerschicht gesteuert wird.

Bei dem oben beschriebenen Verfahren kann eine Heizrolle als Einrichtung zum Befestigen des aufladbaren Pulvers auf der Oberfläche der Trägerschicht durch Erwärmen des aufladbaren Pulvers, das auf der Oberfläche der Trägerschicht angebracht ist, in dem dritten Schritt verwendet werden.

Gemäß dem oben beschriebenen Verfahren kann die Oberfläche der Keramikgrünschicht durch Drücken derselben durch die Heizrollen von oben glatt gemacht werden.

Ein weiteres bevorzugtes Ausführungsbeispiel der vorliegen­ den Erfindung schafft eine Vorrichtung zum Herstellen einer Keramikgrünschicht, die folgende Merkmale aufweist: eine Aufladungseinrichtung zum Aufladen einer Trägerschicht; eine Anbringungseinrichtung zum Streuen eines aufladbaren Pul­ vers, das mit einer Polarität geladen ist, die der der Trä­ gerschicht entgegengesetzt ist, auf die Oberfläche der Trä­ gerschicht zum Anbringen durch elektrostatische Kräfte; und eine Befestigungseinrichtung zum Befestigen des angebrachten aufladbaren Pulvers auf der Oberfläche der Trägerschicht.

Da eine Befestigungseinrichtung zum Befestigen des auflad­ baren Pulvers, das auf der Oberfläche der geladenen Träger­ schicht durch elektrostatische Kräfte angebracht ist, durch Wärme vorgesehen ist, wird keine Antiexplosionsmaßnahme für die Befestigungseinrichtung benötigt. Daher kann die Her­ stellungsvorrichtung preisgünstig realisiert werden, wodurch die Produktionskosten verringert werden können.

Bevorzugte Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung werden nachfolgend bezugnehmend auf die beiliegenden Zeich­ nungen detailliert erläutert. Es zeigen:

Fig. 1A bis 1C Diagramme, die den Prozeß eines ersten bevor­ zugten Ausführungsbeispiels für ein Verfahren zum Herstellen einer Keramikgrünschicht gemäß der vor­ liegenden Erfindung zeigen;

Fig. 2 eine Querschnittsansicht eines aufladbaren Pul­ vers, das bei dem Verfahren zum Herstellen einer Keramikgrünschicht der Fig. 1A bis 1C verwendet werden kann;

Fig. 3 ein Konfigurationsdiagramm für eine Herstellungs­ vorrichtung, die für das Verfahren zum Herstellen einer Keramikgrünschicht der Fig. 1A bis 1C ver­ wendet werden kann;

Fig. 4 ein Konfigurationsdiagramm einer weiteren Herstel­ lungsvorrichtung, die für das Verfahren zum Her­ stellen einer Keramikgrünschicht der Fig. 1A bis 1C verwendet werden kann;

Fig. 5A bis 5C Diagramme, die den Prozeß gemäß einem zweiten bevorzugten Ausführungsbeispiel für ein Verfahren zum Herstellen einer Keramikgrünschicht gemäß der vorliegenden Erfindung zeigen;

Fig. 6 ein Konfigurationsdiagramm einer Herstellungsvor­ richtung, die für das Verfahren zum Herstellen einer Keramikgrünschicht der Fig. 5A bis 5C ver­ wendet werden kann; und

Fig. 7 ein Konfigurationsdiagramm einer Herstellungsvor­ richtung, die für das herkömmliche Verfahren zum Herstellen einer Keramikgrünschicht verwendet wer­ den kann.

Die Fig. 1A bis 1C sind Diagramme, die den Prozeß des ersten bevorzugten Ausführungsbeispiels für ein Verfahren zum Her­ stellen einer Keramikgrünschicht gemäß der vorliegenden Er­ findung zeigen. Wie es in Fig. 1A gezeigt ist, wird eine Trägerschicht 11, die einen PET-Film aufweist, mit einer Ko­ ronaladeeinrichtung 12 in dem ersten Schritt negativ gela­ den.

Wie es in Fig. 1B gezeigt ist, wird in dem zweiten Schritt ein aufladbares Pulver 13, das positiv geladen ist, d. h. das mit der Polarität geladen ist, die zu der der Träger­ schicht 11 entgegengesetzt ist, auf der Oberfläche 111 der Trägerschicht 11 durch elektrostatische Kräfte angebracht.

Dann wird, wie es in Fig. 1C gezeigt ist, in dem dritten Schritt durch die Strahlung einer Blitzlampe 14 auf das aufladbare Pulver 13, das auf der Oberfläche 111 der Trä­ gerschicht 11 durch elektrostatische Kräfte angebracht ist, Wärme zugeführt, um das aufladbare Pulver 13 auf der Ober­ fläche 111 der Trägerschicht 11 zu befestigen.

Gemäß den oben gezeigten Schritten kann eine Keramikgrün­ schicht 15 mit der Trägerschicht 11 erhalten werden.

Fig. 2 ist eine Querschnittsansicht eines aufladbaren Pul­ vers, das bei dem Verfahren zum Herstellen einer Keramik­ grünschicht der Fig. 1A bis 1C verwendet werden kann. Das aufladbare Pulver 13 kann durch Mischen eines Keramikpulvers 16, das aus Bariumtitanat besteht, eines Ladungssteuerungs­ mittels 17, das aus einem Azo-Metall-Farbstoff besteht, und eines thermoplastischen Harzes 18, das aus einem Styren- Acryl-Copolymer besteht, in einem Gewichtsverhältnis von 90 : 1 : 9 erhalten werden, um das Keramikpulver 16 und das La­ dungssteuerungsmittel 17 in dem thermoplastischen Harz 18 homogen zu verteilen.

Fig. 3 ist ein Konfigurationsdiagramm einer Herstellungsvor­ richtung, die für das Verfahren zum Herstellen einer Kera­ mikgrünschicht der Fig. 1A bis 1C verwendet werden kann. Wie es in Fig. 3 gezeigt ist, wird die Trägerschicht 11, die aus einer Abgabeeinrichtung 19 ausgegeben wird, zwischen einem Paar von Rolleneinrichtungen 20a, 20b plaziert, um horizon­ tal bewegt zu werden. Die Trägerschicht 11 wird durch die Koronaladeeinrichtung 12 negativ geladen, wenn sie unter der Koronaladeeinrichtung 12 hindurchläuft.

Wenn die Oberfläche 111 der Trägerschicht 11, die negativ geladen ist, unter einer Einrichtung 21 zum Zuführen eines aufladbaren Pulvers hindurch läuft, wird ein aufladbares Pulver 13, das positiv geladen ist, d. h. das mit der Pola­ rität geladen ist, die der der Trägerschicht 11 entgegen­ gesetzt ist, und das in die Einrichtung 21 zum Zuführen des aufladbaren Pulvers gefüllt ist, auf die Trägerschicht ge­ streut, so daß das aufladbare Pulver 13 auf der Oberfläche der Trägerschicht 11 durch elektrostatische Kräfte ange­ bracht wird.

Dann wird das aufladbare Pulver auf der Oberfläche 111 der Trägerschicht 11 befestigt, indem das aufladbare Pulver 13, das auf der Oberfläche der Trägerschicht 11 durch elektro­ statische Kräfte angebracht worden ist, durch die Strahlung einer Blitzlampe 14 erwärmt wird, wenn dieselbe unter einer Blitzlampe 14 zum Schmelzen des thermoplastischen Harzes 18, das das aufladbare Pulver 13 aufweist, durchläuft. Wie es in einer vergrößerten Ansicht in dem gestrichelten Kreis von Fig. 3 gezeigt ist, wird eine Keramikgrünschicht 15, bei der die Trägerschicht 11 entsprechend erhalten worden ist, durch eine Wendungseinrichtung 22 aufgenommen.

Es sei darauf hingewiesen, daß die Dicke der Keramikgrün­ schicht 15, die durch die in Fig. 3 gezeigte Herstellungs­ vorrichtung erhalten wird, etwa 15 µm beträgt.

Fig. 4 ist ein Konfigurationsdiagramm für eine Herstellungs­ vorrichtung, die für das Verfahren zum Herstellen einer Ke­ ramikgrünschicht der Fig. 1A bis 1C verwendet werden kann. Die Herstellungsvorrichtung unterscheidet sich von der Her­ stellungsvorrichtung in Fig. 3 darin, daß ein aufladbares Pulver 13, das positiv geladen ist, auf der Oberfläche der Trägerschicht 11 über ein Zwischenmedium, das eine isolie­ rende Substanz, wie z. B. Polyurethan, Polypropylen oder dergleichen, aufweist, durch elektrostatische Kräfte ange­ bracht wird.

Wie es in Fig. 4 gezeigt ist, wird die Trägerschicht 11, die aus der Abgabeeinrichtung 19 ausgegeben wird, zwischen einem Paar der Rolleneinrichtungen 20a, 20b plaziert, um horizon­ tal bewegt zu werden. Die Trägerschicht 11 wird durch die Koronaladeeinrichtung 12 negativ geladen, wenn sie unter der Koronaladeeinrichtung 12 hindurch läuft.

Dann wird ein aufladbares Pulver, das positiv geladen ist, von einer Einrichtung 25 zum Zuführen eines aufladbaren Pul­ vers auf die Oberfläche eines Zwischenmediums 23 zugeführt, das durch eine Koronaladeeinrichtung 24 negativ geladen ist. Das aufladbare Pulver 13 wird auf der Oberfläche der Träger­ schicht 11 durch elektrostatische Kräfte angebracht, wenn die Trägerschicht 11, die negativ geladen ist, unter dem Zwischenmedium 23 vorbeiläuft.

Dann wird das aufladbare Pulver auf der Oberfläche 111 der Trägerschicht 11 befestigt, indem das aufladbare Pulver 13, das auf der Oberfläche der Trägerschicht 11 durch elektro­ statische Kräfte angebracht ist, durch die Strahlung der Blitzlampe 14 erwärmt wird, wenn dieselbe unter einer Blitz­ lampe 14 zum Schmelzen des thermoplastischen Harzes 18 hin­ durch läuft, das das aufladbare Pulver 13 aufweist. Wie es in einer vergrößerten Ansicht in dem gestrichelten Kreis von Fig. 4 gezeigt ist, wird eine Keramikgrünschicht 15, bei der die Trägerschicht 11 entsprechend erhalten worden ist, durch eine Windungseinrichtung 22 aufgenommen.

Gemäß dem oben erwähnten ersten Ausführungsbeispiel des Ver­ fahrens zum Herstellen einer Keramikgrünschicht muß kein Keramikbrei verwendet werden, der ein wässriges oder orga­ nisches Lösungsmittel enthält, wie es beim herkömmlichen Naßtypverfahren zum Herstellen einer Keramikgrünschicht durchgeführt werden muß. Dies ist der Fall, da ein auflad­ bares Pulver, das ein Keramikpulver, eine Ladungssteuerungs­ einrichtung und ein thermoplastisches Harz aufweist, auf der Oberfläche der Trägerschicht durch elektrostatische Kräfte angebracht wird. Daher kann die Herstellungsvorrichtung preisgünstig realisiert werden, wodurch die Herstellungs­ kosten verringert werden können, da die Keramikgrünschicht nicht getrocknet werden muß, und da keine Antiexplosionsmaß­ nahme für die Herstellungsvorrichtung gebraucht wird.

Da ferner das aufladbare Pulver, das ein Keramikpulver ent­ hält, und das positiv geladen ist, auf der Oberfläche der Trägerschicht, die negativ geladen ist, homogen angebracht ist, kann das aufladbare Pulver auf der Oberfläche der Trä­ gerschicht dünn und homogen angebracht werden. Daher können eine dünne Schicht und eine Homogenität für die Keramikgrün­ schicht realisiert werden.

Wie es in Fig. 4 gezeigt ist, kann weiterhin eine dünne Schicht als Keramikgrünschicht realisiert werden, indem der Abstand zwischen dem Zwischenmedium und der Trägerschicht gesteuert wird, wenn ein Zwischenmedium als Einrichtung zum Anbringen des aufladbaren Pulvers auf der Keramikgrünschicht in dem zweiten Schritt verwendet wird. Die Dicke der Kera­ mikgrünschicht 15, die durch die Herstellungsvorrichtung von Fig. 4 erhalten wird, beträgt etwa 5 µm.

Da die Herstellungsvorrichtung für eine Keramikgrünschicht, die in den Fig. 3 und 4 gezeigt ist, ferner eine Befesti­ gungseinrichtung zum Befestigen des aufladbaren Pulvers, das auf der Oberfläche der geladenen Trägerschicht durch elek­ trostatische Kräfte angebracht ist, durch Wärme, aufweist, wird keine Antiexplosionsmaßnahme bei der Befestigungsein­ richtung benötigt. Daher kann die Herstellungsvorrichtung preisgünstig hergestellt werden, wodurch die Produktions­ kosten verringert werden können.

Die Fig. 5A bis 5C sind Diagramme, die den Prozeß eines zweiten bevorzugten Ausführungsbeispiels für ein Verfahren zum Herstellen einer Keramikgrünschicht gemäß der vorliegen­ den Erfindung darstellen. Das Herstellungsverfahren unter­ scheidet sich von dem Verfahren zum Herstellen des ersten Ausführungsbeispiels, das in den Fig. 1A bis 1C gezeigt ist, darin, daß das aufladbare Pulver 13, das auf der Oberfläche der Trägerschicht 11 angebracht ist, an der Oberfläche der Trägerschicht 11 durch Wärme von Heizrollen 26 in dem drit­ ten Schritt 5C befestigt wird.

Da der erste und der zweite Schritt dem ersten bzw. dem zweiten Schritt des ersten Ausführungsbeispiels des Verfah­ rens zum Herstellen einer Keramikgrünschicht, das in den Fig. 1A bis 1C gezeigt ist, ähnlich sind, wird hier keine erneute detaillierte Erklärung gegeben.

Fig. 6 ist ein Konfigurationsdiagramm für die Herstellungs­ vorrichtung, die für das Verfahren zum Herstellen einer Ke­ ramikgrünschicht der Fig. 5A bis 5C verwendet werden kann. Die Herstellungsvorrichtung unterscheidet sich von der Her­ stellungsvorrichtung von Fig. 3 darin, daß die Wärmerollen 26 anstatt der Blitzlampe (Fig. 3) als Einrichtung zum Befe­ stigen des aufladbaren Pulvers 13 auf der Oberfläche der Trägerschicht 11 durch Erwärmen des aufladbaren Pulvers 13, das auf der Oberfläche der Trägerschicht 11 angebracht ist, verwendet werden.

Das heißt, daß das aufladbare Pulver 13 auf der Oberfläche der Trägerschicht 11 befestigt wird, indem die Trägerschicht 11, auf deren Oberfläche das aufladbare Pulver 13 angebracht ist, zwischen den Heizrollen 26 hindurch geführt wird, um das aufladbare Pulver 13, das auf der Oberfläche der Träger­ schicht 11 angebracht ist, zum Schmelzen des thermoplasti­ schen Harzes 18, das das aufladbare Pulver 13 aufweist, zu erwärmen.

Wie bei der Herstellungsvorrichtung von Fig. 4 kann ein Zwi­ schenmedium, das eine isolierende Substanz aufweist, in dem zweiten Schritt als Einrichtung zum Anbringen des aufladba­ ren Pulvers 13 auf der Oberfläche der Trägerschicht 11 ver­ wendet werden.

Gemäß dem oben erwähnten zweiten bevorzugten Ausführungsbei­ spiel des Verfahrens zum Herstellen einer Keramikgrünschicht kann die Oberfläche der Keramikgrünschicht eben gemacht wer­ den, da die Heizrollen in dem dritten Schritt als Einrich­ tung zum Befestigen des aufladbaren Pulvers auf der Träger­ schicht durch Schmelzen des thermoplastischen Harzes, das das aufladbare Pulver aufweist, durch Erwärmen des auflad­ baren Pulvers, das an der Oberfläche der Trägerschicht ange­ bracht ist, verwendet werden.

Bei der Herstellungsvorrichtung für eine Keramikgrünschicht, die in Fig. 6 gezeigt ist, wird keine Antiexplosionsmaßnahme in der Befestigungseinrichtung benötigt, da eine Befesti­ gungseinrichtung zum Befestigen durch Wärme des aufladbaren Pulvers, das auf der Oberfläche der geladenen Trägerschicht durch elektrostatische Kräfte angebracht ist, vorgesehen ist. Daher kann die Herstellungsvorrichtung preisgünstig realisiert werden, wodurch die Produktionskosten verringert werden können.

Obwohl der Fall des Aufladens der Trägerschicht durch die Koronaladeeinrichtung von oben zum Zeitpunkt des homogenen Ladens der Trägerschicht in dem ersten Schritt bei den oben erwähnten Herstellungsverfahren für eine Keramikgrünschicht des ersten und zweiten Ausführungsbeispiels erklärt worden ist, kann der gleiche Effekt erreicht werden, indem die Trä­ gerschicht durch die Koronaladeeinrichtung von unten geladen wird.

Ferner kann in dem Fall des Anbringens des aufladbaren Pul­ vers auf der Oberfläche der Trägerschicht über einem Zwi­ schenmedium, das eine isolierende Substanz aufweist, wie es bezüglich der Herstellungsvorrichtung von Fig. 4 erklärt worden ist, der gleiche Effekt erreicht werden, indem die Koronaladeeinrichtung zum Laden der Trägerschicht unmittel­ bar unter dem Zwischenmedium mit dazwischenliegender Trä­ gerschicht angeordnet wird, um im wesentlichen gleichzeitig die Trägerschicht zu laden und das aufladbare Pulver auf der Trägerschicht anzubringen.

Obwohl ferner der Fall des Anbringens des aufladbaren Pul­ vers auf der Oberfläche der Trägerschicht über das Zwischen­ medium, das eine isolierende Substanz aufweist, bezüglich der Herstellungsvorrichtung von Fig. 4 erklärt worden ist, kann der gleiche Effekt mit einem Zwischenmedium erreicht werden, das ein anorganisches Material, wie z. B. Selen-Tel­ lur, amorphes Silizium oder dergleichen, oder ein photo­ empfindliches Bauglied aufweist, das ein organisches Photo­ leitermaterial (OPC-Material; OPC = Organic Photo Conductor) umfaßt.

Claims (5)

1. Verfahren zum Herstellen einer Keramikgrünschicht mit folgendem Schritt:
Anbringen eines aufladbaren Pulvers (13), das ein Ke­ ramikpulver (16), ein Ladungssteuerungsmittel (17) und ein thermoplastisches Harz (18) aufweist, auf der Oberfläche einer Trägerschicht (11) durch elektrosta­ tische Kraft.

2. Verfahren gemäß Anspruch 1, das folgende Schritte auf­ weist:
einen ersten Schritt des homogenen Ladens der Träger­ schicht (11);
einen zweiten Schritt des Anbringens des aufladbaren Pulvers (13), das mit einer Polarität geladen ist, die der der Trägerschicht (11) entgegengesetzt ist, auf der Oberfläche der Trägerschicht (11); und
einen dritten Schritt des Befestigens des aufladbaren Pulvers (13) auf der Oberfläche der Trägerschicht (11) durch Erwärmen des aufladbaren Pulvers (13), das auf der Oberfläche der Trägerschicht (11) angebracht ist.

3. Verfahren gemäß Anspruch 2, bei dem in dem zweiten Schritt ein Zwischenmedium (23), das eine isolierende Substanz aufweist, als Mittel zum Anbringen des auf­ ladbaren Pulvers (13) auf der Oberfläche der Träger­ schicht (11) verwendet wird.

4. Verfahren gemäß Anspruch 2, bei dem in dem dritten Schritt eine Heizrolle (26) als Mittel zum Befestigen des aufladbaren Pulvers (13) auf der Oberfläche der Trägerschicht (11) durch Erwärmen des aufladbaren Pulvers (13), das auf der Oberfläche der Trägerschicht (11) angebracht ist, verwendet wird.

5. Vorrichtung zum Herstellen einer Keramikgrünschicht mit folgenden Merkmalen:
einer Aufladungseinrichtung (12) zum Laden einer Trä­ gerschicht (11);
einer Anbringungseinrichtung (23) zum Streuen eines aufladbaren Pulvers (13), das mit einer Polarität ge­ laden ist, die der der Trägerschicht (11) entgegen­ gesetzt ist, auf die Oberfläche der Trägerschicht (11) zum Anbringen durch elektrostatische Kraft; und
einer Befestigungseinrichtung (14) zum Befestigen des aufladbaren Pulvers (13), das auf der Oberfläche der Trägerschicht (11) angebracht ist.