DE19916932C1

DE19916932C1 - Einrichtung zur Handhabung eines Gegenstandes für die Be- und Entladung eines Reinstraumes

Info

Publication number: DE19916932C1
Application number: DE19916932A
Authority: DE
Inventors: Andreas Mages; Andreas Birkner; Alfred Schulz; Klaus Schultz
Original assignee: Jenoptik Jena GmbH; Jenoptik AG
Current assignee: Brooks Automation GmbH
Priority date: 1999-04-09
Filing date: 1999-04-09
Publication date: 2000-10-12
Anticipated expiration: 2019-04-10
Also published as: WO2000061471A1

Abstract

Bei einer Einrichtung zur Handhabung eines Gegenstandes für die Be- und Entladung eines Reinstraumes besteht die Aufgabe, die gerätetechnischen Aufwände für Verstelleinrichtungen und für lufttechnische Maßnahmen unter Beibehaltung ergonomischer Vorteile zu verringern und die Reinstraumbedingungen in der Einrichtung weiter zu verbessern. DOLLAR A Die Einrichtung enthält einen feststehenden äußeren Teil eines Gehäuses sowie einen aus diesem teleskopartig ausfahrbaren inneren Teil und ein Aufnahmeelement für den Gegenstand im Deckbereich des inneren Teiles. Zum teleskopartigen Ausfahren des inneren Teiles und zum Absenken des Aufnahmeelementes in das innere Teil sind eine gemeinsame Führungsschiene und ein gemeinsamer Antrieb vorgesehen. Das mit dem Antrieb verbundene Aufnahmeelement greift zum teleskopartigen Ausfahren des inneren Teiles durch vertikale Aufwärtsbewegung an einem Mitnehmer des inneren Teiles an und ist nach Erreichen einer Zugriffsebene, in der eine Fixierung des inneren Teiles erfolgt, in das innere Teil absenkbar. Das innere Teil ist im Bereich einer jeden Ebene von einer, aus dem Reinstraum austretenden Luftströmung durchsetzt. DOLLAR A Die Einrichtung dient zum Be- und Entladen von Reinsträumen mit Objekten, die in einem Behälter zu transportieren sind.

Description

Die Erfindung betrifft eine Einrichtung zur Handhabung eines Gegenstandes für die Be- und Entladung eines Reinstraumes mit einem zu dem Reinstraum hin offenen Gehäuse, das aus einem feststehenden äußeren Teil sowie einem aus diesem teleskopartig ausfahrbaren inneren Teil besteht, welches ein Aufnahmeelement für den Gegenstand in seinem Deckbereich enthält, das zwischen mindestens zwei übereinanderliegenden Ebenen verstellbar und in das innere Teil absenkbar ist, wobei eine Ebene zur ergonomischen Bestückung mit dem Gegenstand und jede andere einem Zugriff auf den Gegenstand bei der Be- und Entladung des Reinstraumes dient und das äußere wie auch das innere Teil des Gehäuses in der von dem Reinstraum abgewandten Gehäusewand mit Öffnungen zum Luftaustritt versehen sind.

Eine derartige Einrichtung ist beispielsweise aus der DE 44 25 208 C2 bekannt.

Bei den bevorzugt zur Herstellung von Halbleiterchips als Magazinbehälter eingesetzten SMIF-Boxen ist für die Handhabung der in diesen Boxen enthaltenen Wafermagazine zunächst immer eine Öffnung der Boxen vor der Entnahme der Magazine und am Schluß des Bearbeitungsprozesses deren Rückführung und der Boxenverschluß erforderlich. Die seit langem dafür bekannte technische Lösung sieht das Aufsetzen der Box auf einen Öffnungsmechanismus eines Gehäuses vor, das einen lokalen Reinstraum umschließt. Box und Öffnungsmechanismus besitzen einander angepaßte Verschlußelemente, die übereinanderliegend sich gleichzeitig öffnen lassen, so daß außen auf den Ver schlußelementen aufliegende Staubpartikel dazwischenliegend eingeschlossen werden, wenn das Wafermagazin zusammen mit den beiden Verschlußelementen in die Einhausung hinein abgesenkt wird. Die Box selbst umschließt die entstehende Öffnung in der Einhausung.

Andere Öffnungsmechanismen für derartige SMIF-Boxen heben die Boxenhaube an, um das innen liegende Magazin für einen Zugriff freizugeben. Der um das Magazin entstehende Freiraum wird zur Verhinderung des Partikelzutrittes von mitbewegten Seitenwandteilen bis auf eine Zugriffsöffnung umschlossen.

So ist es nach der DE 43 32 657 C2 bekannt, die Boxenhaube der SMIF-Box mit einer rahmenförmigen Hubplatte eines Hubwerkes anzuheben und wieder aufzusetzen. In die Rahmenöffnung, die so ausgebildet ist, daß sie den Boxenboden der Transportbox aufnehmen kann, ist eine ortsfeste Stützplatte eingesetzt, auf die der Boxenboden der Transportbox auflegbar ist.

Es ist von Nachteil, daß die in dieser Patentschrift beschriebene Verdrängungsströmungsanordnung nicht den geforderten hohen Reinstraumerfordernissen gerecht wird, da die Durchströmung des Hubwerk- und Schleusenbereiches mit Reinstluft nicht mit der Effektivität gewährleistet ist, wie sie für eine ausreichende Partikelabfuhr bei erhöhten Reinstraumanforderungen notwendig wäre. Eine ständige Umspülung der Spindel ist eher ausgeschlossen. Da die vertikale Aufwärtsbewegung des Hubgliedes eine Luftverdrängung und damit verbundene Verwirbelungen verursacht, werden die Reinstraumverhältnisse durch eine weitgehend unkontrollierte Partikelausbreitung negativ beeinflußt. So können besonders im unteren Spindelbereich generierte Partikel von den Wirbeln erfaßt werden und in den Reinstraum gelangen. Der vorhandene Überdruck wirkt dieser negativen Erscheinung kaum entgegen. Der am Ort zwischen den beiden Räumen vorgesehene, zeitlich und örtlich auf die Spindel begrenzt wirkende Schlitz ist nicht in der Lage, effektiv die entstandenen Partikel entweichen zu lassen, zumal im gesamten Hubwerkbereich Zonen relativer Ruhe entstehen, so daß sich die Partikel wieder ablagern können.

Weiterhin kann es von Nachteil sein, daß die SMIF-Box immer in Höhe der Be- und Entladeöffnung abzustellen ist. Befindet sich die Be- und Entladeöffnung in einer ungünstigen Höhe, so ist ein ergonomisches Arbeiten nicht mehr gewährleistet.

Demgegenüber im Vorteil ist eine Einrichtung nach der DE 44 25 208 C2, mit der die Magazinentnahme aus der SMIF-Box durch Absenken des Magazins aus der geöffneten SMIF-Box in einen Mini-Reinstraum erfolgt. Die Einrichtung ist außerdem mit einer Greifereinrichtung zum Umsetzen des Magazins ausgestattet.

Der Mini-Reinstraum wird von einem inneren Teil eines Gehäuses gebildet, das teleskopartig aus einem feststehenden äußeren Teil des Gehäuses ausfahrbar ist und das ein Aufnahmeelement für eine Be- und Entladeeinrichtung enthält. Das Aufnahmeelement ist zwischen mindestens zwei übereinanderliegenden Ebenen verstellbar. Jeweils auf der von dem Reinstraum abgewandten Rückwand sind die Be- und Entladeeinrichtung mit einer ein Filter und ein Gebläse umfassenden Einheit und das äußere wie auch das innere Teil des Gehäuses mit Öffnungen versehen.

Die lufttechnischen Maßnahmen dieser bekannten Einrichtung gewährleisten eine aktive horizontale turbulenzarme Luftströmung während des Beschickungsvorganges.

Von Nachteil sind jedoch die relativ hohen gerätetechnischen Aufwände für die aktiven lufttechnischen Maßnahmen, die Vertikalverstellung des Aufnahmeelementes der Be- und Entladestation und für die Absenkvorrichtung des Magazins.

Auch die US 5 810 537 beschreibt eine Öffnungsvorrichtung, mit der die Boxenhaube mittels eines Rahmens angehoben und wieder abgesenkt werden kann. Im Unterschied zur DE 43 32 657 C2 wird der um das Magazin entstehende Freiraum beim Anheben der Boxenhaube von flexiblen Seitenwandteilen, vorzugsweise in Form eines Faltenbalges umschlossen, der mit dem Rahmen und der Aufnahmeplatte für den Boxenboden verbunden ist.

Von Nachteil ist auch hier das nicht zufriedenstellend gelöste Problem der Gewährleistung von Reinstraumerfordernissen.

Der aufgezogene "Sack" bildet bis auf die Zugriffsöffnung einen geschlossenen Raum, der durch den in der Bearbeitungsanlage zumeist herrschenden Überdruck unkontrolliert von Luftwirbeln durchsetzt wird, so daß sich in dem Luftstrom mitgeführte Partikel innerhalb der Seitenwandumgrenzung ablagern. Besonders problematisch wirkt es sich aus, wenn die Seitenwandfläche zusätzlich durch Vorsprünge des verwendeten Faltenbalges vergrößert ist.

Aufgabe der Erfindung ist es, die gerätetechnischen Aufwände für die Vertikalverstellung des Aufnahmeelementes der Be- und Entladestation, die Absenkvorrichtung des Magazins und für die lufttechnischen Maßnahmen unter Beibehaltung der ergonomischen Vorteile zu verringern und die Reinstraumbedingungen in dem Mini-Reinstraum weiter zu verbessern.

Erfindungsgemäß wird die Aufgabe durch eine Einrichtung zur Handhabung eines Gegenstandes für die Be- und Entladung eines Reinstraumes gelöst mit einem zu dem Reinstraum hin offenen Gehäuse, das aus einem feststehenden äußeren Teil sowie einem aus diesem teleskopartig ausfahrbaren inneren Teil besteht, welches ein Aufnahmeelement für den Gegenstand in seinem Deckbereich enthält, das zwischen mindestens zwei übereinanderliegenden Ebenen verstellbar und in das innere Teil absenkbar ist. Während eine Ebene zur ergonomischen Bestückung mit dem Gegenstand vorgesehen ist, dient jede andere einem Zugriff auf den Gegenstand bei der Be- und Entladung des Reinstraumes. Sowohl das äußere als auch das innere Teil des Gehäuses ist in der von dem Reinstraum abgewandten Gehäusewand mit Öffnungen zum Luftaustritt versehen. Zum teleskopartigen Ausfahren des inneren Teiles und zum Absenken des Aufnahmeelementes in das innere Teil sind eine gemeinsame Führungsschiene und ein gemeinsamer Antrieb für das innere Teil und das Aufnahmeelement vorgesehen, wobei der Antrieb mit dem Aufnahmeelement verbunden ist und das Aufnahmeelement zum teleskopartigen Ausfahren des inneren Teiles durch vertikale Aufwärtsbewegung an einem Mitnehmer des inneren Teiles angreift und nach Erreichen einer Ebene für den Zugriff auf den Gegenstand, in der eine Fixierung des inneren Teiles mit einem Riegelmechanismus erfolgt, in das innere Teil absenkbar ist. Das innere Teil des Gehäuses ist im Bereich einer jeden der übereinanderliegenden Ebenen mit der dem Reinstraum zugewandten offenen Seite benachbart zu mindestens einer Öffnung für einen Luftdurchtritt angeordnet, die in ein als Schnittstelle zu dem Reinstraum vorgesehenes Wandelement eingearbeitet ist.

Auf der Führungsschiene sind Führungselemente gelagert, von denen jeweils eines in einem, dem Wandelement zugewandten unteren und oberen Bereich des inneren Teiles befestigt ist. Ein weiteres, auf der Führungsschiene zwischen diesen beiden Führungselementen angeordnetes Führungselement ist mit dem Aufnahmeelement verbunden, wobei das im oberen Bereich des inneren Teiles befestigte Führungselement als Mitnehmer dient.

Besonders vorteilhaft ist es, wenn der als Spindelantrieb ausgebildete gemeinsame Antrieb eine rohrförmige Schutzhülle enthält, die das innere Teil von einem Bereich, in dem Rollreibung durch Umlaufen einer Spindelmutter um eine Spindel entsteht, trennt.

Zum Luftaustritt aus dem Reinstraum sind außer einer Be- und Entladeöffnung weitere Luftdurchtrittsöffnungen unterhalb der Be- und Entladeöffnung in Höhe des feststehenden äußeren Teiles des Gehäuses in das Wandelement eingearbeitet.

An dem inneren Teil sind Schilde zum Verschluß der Be- und Entladeöffnung und der weiteren Luftdurchtrittsöffnungen vorgesehen, wobei ein Verschluß einer Öffnung im Bereich einer Ebene erfolgt, wenn das innere Teil benachbart zu einer Öffnung im Bereich der anderen Ebene angeordnet ist.

Vorteilhafterweise ist das Aufnahmeelement horizontal mit einer Schlittenführung verschiebbar, die von einer Halterung getragen wird, die mit dem Führungselement des Aufnahmeelementes und mit dem Spindelantrieb verbunden ist.

Es ist auch von Vorteil, wenn die Verschiebung des Aufnahmeelementes mit Hilfe von Endlagenschaltern gesteuert und überwacht ist.

Mit der Erfindung wird unter Verwendung eines vorteilhaften Gehäuseaufbaus ein Mini-Reinstraum zur Verfügung gestellt, der mit geringem technischen Aufwand an verschiedene Arbeitshöhen angepaßt werden kann und dessen Reinstraumbedingungen, im Gegensatz zu den bekannten technischen Lösungen, effektiv allein durch die in dem Reinstraum der Bearbeitungsstation bereits vorhandenen reinraumtechnischen Mittel bei jeder Arbeitshöhe gewährleistet sind. Die Durchströmung des Mini-Reinstraumes erfolgt in einer Weise, daß Bereiche relativer Ruhe innerhalb dieses Raumes weitgehend ausgeschlossen sind.

Die Erfindung soll nachstehend anhand der schematischen Zeichnung näher erläutert werden. Es zeigen:

Fig. 1 eine perspektivische Darstellung einer Handhabungseinrichtung angekoppelt an einen Be- und Entladebereich eines Reinstraumes und mit eingefahrenem inneren Teil des Gehäuses zur ergonomischen Bestückung

Fig. 2 eine perspektivische Darstellung der angekoppelten Handhabungseinrichtung mit teleskopartig ausgefahrenem inneren Teil des Gehäuses

Fig. 3 eine teilweise im Schnitt dargestellte Seitenansicht auf die Handhabungseinrichtung mit eingefahrenem inneren Teil des Gehäuses

Fig. 4 die Handhabungseinrichtung nach Fig. 3 mit teleskopartig ausgefahrenem inneren Teil des Gehäuses Fig. 5 die Handhabungseinrichtung mit teleskopartig ausgefahrenem inneren Teil des Gehäuses und mit abgesenktem Aufnahmeelement und einem darauf befindlichen Magazin

Fig. 6 die Handhabungseinrichtung mit abgesenktem und an die Be- und Entladeöffnung herangerücktem Magazin

Fig. 7 eine perspektivische Ansicht eines Verstellmechanismus für das Aufnahmeelement in einem Verstellzustand, bei dem das Magazin an die Be- und Entladeöffnung herangerückt ist

Fig. 8 eine perspektivische Ansicht eines Verstellmechanismus für das Aufnahmeelement in einem Verstellzustand, bei dem das Magazin vertikal bewegt werden kann

Fig. 9 eine perspektivische Darstellung der Handhabungseinrichtung aus der Sicht des Reinstraumes mit eingefahrenem inneren Teil des Gehäuses und verschlossener Be- und Entladeöffnung

Fig. 10 eine perspektivische Darstellung der Handhabungseinrichtung aus der Sicht des Reinstraumes mit teleskopartig ausgefahrenem inneren Teil des Gehäuses und geöffneter Be- und Entladeöffnung.

Die in Fig. 1 bis 4 dargestellte Handhabungseinrichtung enthält zur Gewährleistung einer vorteilhaften Transportfähigkeit auf einem fahrbaren Gestell 1 ein Gehäuse 2, das aus einem feststehenden äußeren Teil 3 und einem für eine Be- und Entladung eines Reinstraumes teleskopartig ausfahrbaren inneren Teil 4 besteht. Das innere Teil 4 umschließt einen Mini-Reinstraum, zu dessen Reinhaltung das äußere Teil 3 wie auch das innere Teil 4 des Gehäuses 2 in der von dem Reinstraum abgewandten Gehäusewand mit Öffnungen 5, 6 zum Luftaustritt versehen sind. Die dem Reinstraum zugewandte Vorderseite der Gehäuseteile 3 und 4 ist vollständig offen und liegt bei der Kopplung an den Reinstraum an einem als Schnittstelle vorgesehenen Wandelement 7 an, in dem eine Be- und Entladeöffnung 8 eingearbeitet ist. An dem inneren Teil 4 ist ein erstes Schild 9 befestigt, das die Be- und Entladeöffnung 8 verschließt, wenn das innere Teil 4 in das äußere Teil 3 eingetaucht ist. Im teleskopartig ausgefahrenen Zustand wird das Schild 9 mit angehoben und gibt die Be- und Entladeöffnung 8 zum Durchgriff frei. In dem Deckbereich des inneren Teiles 4 ist ein als Türrahmen 10 ausgebildeter, als weitere Schnittstelle dienender Abstellbereich für einen Transportbehälter 11, der vorzugsweise in Form einer SMIF-Box bei eingefahrenem inneren Teil 4 ergonomisch vorteilhaft aufgesetzt werden kann. Eine in den Türrahmen 10 eingesetzte, in das innere Teil 4 absenkbare Tür 12 dient als Aufnahmeelement für den Gegenstand, zu dessen Handhabung die Einrichtung benutzt werden soll. Im vorliegenden Fall der Verwendung einer SMIF-Box wird der Gegenstand ein Magazin 13 sein, in das scheibenförmige Objekte, wie z. B. Halbleiterwafer eingeschoben sind. Der Türrahmen 10 und die Tür 12 sind in bekannter Weise mit standardisierten Elementen versehen, mit denen der Boxenboden 14 der SMIF-Box zur Boxenhaube 15 hin ent- bzw. verriegelt werden kann.

Zum teleskopartigen Ausfahren des inneren Teiles 4 und zum Absenken des Aufnahmeelementes in das innere Teil 4, wodurch der auf dem Aufnahmeelement aufsitzende Boxenboden 14 zusammen mit dem Magazin 13 aus der SMIF-Box in den Mini-Reinstraum befördert wird, dient eine gemeinsame vertikal gerichtete Führungsschiene 16. Zwischen Führungselementen 17, 18, die im unteren beziehungsweise oberen Bereich des inneren Teiles 4 angebracht sind, wird von der Führungsschiene 16 ein Führungselement 19 für das Aufnahmeelement getragen. Zur Erzeugung der vorgesehenen Vertikalbewegungen ist ein Spindelantrieb 20 vorgesehen, dessen nicht dargestellte Spindelmutter von einer rohrförmigen Schutzhülle 201 umschlossen ist. Die rohrförmige Schutzhülle 201, die zur Kraftübertragung an dem Aufnahmeelement angreift, dient gleichzeitig als Partikelschutz für den Mini-Reinstraum, indem dieser bei allen auszuführenden vertikalen Bewegungen von dem Bereich, in dem Rollreibung entsteht (Spindel 202 und Spindelmutter), getrennt wird.

Selbstverständlich kann der Mini-Reinstraum durch Ausnutzung der Erfindung noch an weitere als die in diesem Ausführungsbeispiel dargestellten Arbeitshöhen angepaßt werden.

Für die Arbeitsweise der Einrichtung ist folgender Funktionsablauf vorgesehen:

In einer Ausgangslage (Fig. 3), bei der das innere Teil 4 in das äußere Teil 3 eingefahren ist, wodurch sich das innerhalb des Türrahmens 10 angeordnete Aufnahmeelement in einer ersten Ebene E₁ - E₁ in einer ergonomisch vorteilhaften Höhe befindet, wird zunächst ein Transportbehälter 11 in den Abstellbereich gebracht und dort ausgerichtet abgestellt. Anschließend wird das innere Teil 4 teleskopartig aus dem äußeren Teil 3 ausgefahren, indem das Aufnahmeelement durch vertikale Aufwärtsbewegung mit seinem Führungselement 19 an dem, als Mitnehmer wirkenden oberen Führungselement 18 des inneren Teiles 4 angreift. Die Aufwärtsbewegung erfolgt solange, bis das Aufnahmeelement eine zweite Ebene E₂ - E₂ erreicht hat, von der aus das Magazin 13 durch Absenken aus dem Transportbehälter 11 bis vor die Be- und Entladeöffnung 8 gebracht werden kann. Ist die zweite Ebene E₂ - E₂ erreicht, wird das innere Teil 4 mit Hilfe eines Riegelmechanismus 21 in dieser Höhe fixiert (Fig. 4). Der an dem Aufnahmeelement befestigte Spindelantrieb 20 erzeugt nunmehr eine vertikale Abwärtsbewegung, wodurch der auf dem Aufnahmeelement aufsitzende Boxenboden 14 unter vorheriger Entriegelung von der Boxenhaube 15 zusammen mit dem Magazin 13 aus der SMIF-Box heraus in den Mini- Reinstraum befördert wird (Fig. 5).

Häufig ist es erforderlich, daß das Magazin 13, wie in Fig. 6 dargestellt, näher an die Be- und Entladeöffnung 8 herangerückt werden muß. Auch eine teilweise oder vollständige Hindurchführung durch die Be- und Entladeöffnung 8 kann erforderlich sein. Zu diesem Zweck ist das Aufnahmeelement in der entsprechenden horizontalen Richtung mit Hilfe einer Schlittenführung 22 gemäß den Fig. 7 und 8 verschiebbar. Die Schlittenführung 22 wird von einer, mit dem Führungselement 19 und dem Spindelantrieb 20 verbundenen Halterung 23 getragen, an der ein Motor 24 befestigt ist. Auf der Antriebswelle des Motors 24 sitzt ein Hebel 25 mit einer an einem Hebelarmende drehbar gelagerten Koppel 26, die an der Unterseite des Aufnahmeelementes angreift. Die sich drehende Antriebswelle versetzt das schlittengeführte Aufnahmeelement mit Hilfe des Hebels 25 und der Koppel 26 in die durch den Pfeil gekennzeichnete Bewegung entlang der Schlittenführung 22.

Vorteilhafterweise vereinfacht die Verwendung eines Kurbelantriebes die Antriebsansteuerung. Die beiden Endlagen werden durch die Totpunkte der Kurbel bestimmt. Der Kurbelantrieb sorgt bei konstanter Drehzahl des Antriebes für eine sinusförmige Änderung der Geschwindigkeit und damit für einen optimalen Bewegungsablauf. Die jeweilige Wegänderung ergibt sich aus der Kurbellänge. Zur Erkennung der beiden Endlagen sind ein erster und ein zweiter Endlagenschalter 27, 28 vorgesehen. Während der erste Endlagenschalter 27 bei jeder halben Umdrehung des Hebels 25 von einem der Hebelarme betätigt wird und so jeweils eine der Endlagen signalisiert, dient der zweite Endlagenschalter 28 zur Unterscheidung der Endlagen bzw. der Position. Durch die entsprechende Gestaltung des Betätigungselementes für den Endlagenschalter 28 kann erreicht werden, daß dieser neben der Endlage auch die Position signalisiert, aus der eine gefahrlose Vertikalbewegung möglich ist. Für diese Ausführung ist eine Drehrichtung des Antriebes ausreichend.

In einer anderen Ausführung können die Endlagenschalter 27, 28 eindeutig jeweils einer Endlage zugeordnet sein. Wird der Antrieb in zwei Drehrichtungen angesteuert, dann kann durch Verschieben der Endlagenschalter 27, 28 das Erreichen der jeweiligen Endposition verhindert werden, wodurch Anpassungen an die Geräteumgebung möglich sind.

In den Fig. 9 und 10 sind technische Details erkennbar, mit denen die Reinstraumbedingungen innerhalb des Mini- Reinstraumes ohne einen zusätzlichen Einsatz aktiver Mittel, wie einer Filter-Lüfter/Gebläse-Einheit wesentlich verbessert werden können. Unterhalb der Be- und Entladeöffnung 8, die neben ihrem Zweck der Gewährleistung der Handhabung von Gegenständen auch als Öffnung zum Luftdurchtritt dient, sind weitere Luftdurchtrittsöffnungen 29 in das Wandelement 7 eingearbeitet. Die Funktionsweise der Durchströmung des Mini-Reinstraumes mit einem horizontalen verwirbelungsarmen Luftstrom ist derart konzipiert, daß das innere Teil 4 sowohl in der eingefahrenen unteren Position als auch im teleskopartig ausgefahrenen Zustand im Bereich einer jeden der übereinanderliegenden Ebenen jeweils Öffnungen zum Luftdurchtritt an der Schnittstelle zu dem Reinstraum benachbart ist. Befindet sich das innere Teil 4 in der eingefahrenen unteren Position vor den Luftdurchtrittsöffnungen 29, ist die Be- und Entladeöffnung 8 mit dem ersten Schild 9 verschlossen, währenddessen ein durch die weiteren Luftdurchtrittsöffnungen 29 in das Gehäuse 2 eintretender Luftstrom das gesamte Gehäuse 2 in waagerechter Richtung durchsetzt und über die Öffnungen 5, 6 nach außen tritt. Dagegen sind die Luftdurchtrittsöffnungen 29 durch ein mit dem inneren Teil 4 verbundenes zweites Schild 30 verschlossen, wenn sich das innere Teil 4 im teleskopartig ausgefahrenen Zustand befindet. Der Luftstromeintritt in den Mini-Reinstraum erfolgt über die Be- und Entladeöffnung 8 und der Luftaustritt über die Öffnungen 6. Mit einem derartigen Durchströmungskonzept werden Verwirbelungen weitgehend ausgeschlossen und mit geringem Aufwand ein hoher Reinheitsgrad gewährleistet.

Bezugszeichenliste

1

fahrbares Gestell

2

Gehäuse

3

äußerer Teil

4

innerer Teil

5

,

6

Öffnungen

7

Wandelement

8

Be- und Entladeöffnung

9

erstes Schild

10

Türrahmen

11

Transportbehälter

12

Tür

13

Magazin

14

Boxenboden

15

Boxenhaube

16

Führungsschiene

17

,

18

,

19

Führungselemente

20

Spindelantrieb

21

Riegelmechanismus

22

Schlittenführung

23

Halterung

24

Motor

25

Hebel

26

Koppel

27

,

28

Endlagenschalter

29

Luftdurchtrittsöffnungen

30

zweites Schild

Claims

1. Einrichtung zur Handhabung eines Gegenstandes für die Be- und Entladung eines Reinstraumes mit einem zu dem Reinstraum hin offenen Gehäuse, das aus einem feststehenden äußeren Teil sowie einem aus diesem teleskopartig ausfahrbaren inneren Teil besteht, welches ein Aufnahmeelement für den Gegenstand in seinem Deckbereich enthält, das zwischen mindestens zwei übereinanderliegenden Ebenen verstellbar und in das innere Teil absenkbar ist, wobei eine Ebene zur ergonomischen Bestückung mit dem Gegenstand und jede andere einem Zugriff auf den Gegenstand bei der Be- und Entladung des Reinstraumes dient und das äußere wie auch das innere Teil des Gehäuses in der von dem Reinstraum abgewandten Gehäusewand mit Öffnungen zum Luftaustritt versehen sind, dadurch gekennzeichnet, daß zum teleskopartigen Ausfahren des inneren Teiles (4) und zum Absenken des Aufnahmeelementes in das innere Teil (4) eine gemeinsame Führungsschiene (16) und ein gemeinsamer Antrieb für das innere Teil (4) und das Aufnahmeelement vorgesehen sind, wobei der Antrieb mit dem Aufnahmeelement verbunden ist und das Aufnahmeelement zum teleskopartigen Ausfahren des inneren Teiles (4) durch vertikale Aufwärtsbewegung an einem Mitnehmer des inneren Teiles (4) angreift und nach Erreichen einer Ebene für den Zugriff auf den Gegenstand (E₂ - E₂), in der eine Fixierung des inneren Teiles (4) mit einem Riegelmechanismus (21) erfolgt, in das innere Teil (4) absenkbar ist, und daß das innere Teil (4) des Gehäuses (2) im Bereich einer jeden der übereinanderliegenden Ebenen (E₁ - E₁, E₂ - E₂) mit der dem Reinstraum zugewandten offenen Seite benachbart zu mindestens einer Öffnung für einen Luftdurchtritt angeordnet ist, die in ein als Schnittstelle zu dem Reinstraum vorgesehenes Wandelement (7) eingearbeitet ist.

2. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß auf der Führungsschiene (16) Führungselemente (17, 18, 19) gelagert sind, von denen jeweils eines in einem, dem Wandelement (7) zugewandten unteren und oberen Bereich des inneren Teiles (4) befestigt ist und ein weiteres, auf der Führungsschiene (16) zwischen diesen beiden Führungselementen (17, 18) angeordnetes Führungselement (19) mit dem Aufnahmeelement verbunden ist, wobei das im oberen Bereich des inneren Teiles (4) befestigte Führungselement (17) als Mitnehmer dient.

3. Einrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der als Spindelantrieb (20) ausgebildete gemeinsame Antrieb eine rohrförmige Schutzhülle (201) enthält, die das innere Teil (4) von einem Bereich, in dem Rollreibung durch Umlaufen einer Spindelmutter um eine Spindel (202) entsteht, trennt.

4. Einrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß zum Luftaustritt aus dem Reinstraum außer einer Be- und Entladeöffnung (8) weitere Luftdurchtrittsöffnungen (29) unterhalb der Be- und Entladeöffnung (8) in Höhe des feststehenden äußeren Teiles (3) des Gehäuses (2) in das Wandelement (7) eingearbeitet sind.

5. Einrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß an dem inneren Teil (4) Schilde (9, 30) zum Verschluß der Be- und Entladeöffnung und der weiteren Luftdurchtrittsöffnungen (29) vorgesehen sind, wobei ein Verschluß einer Öffnung im Bereich einer Ebene (E₁ - E₁ oder E₂ - E₂) erfolgt, wenn das innere Teil (4) benachbart zu einer Öffnung im Bereich der anderen Ebene (E₁ - E₁ oder E₂ - E₂) angeordnet ist.

6. Einrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß das Aufnahmeelement horizontal mit einer Schlittenführung (22) verschiebbar ist, die von einer Halterung (23) getragen wird, die mit dem Führungselement (19) des Aufnahmeelementes und mit dem Antrieb (20) verbunden ist.

7. Einrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Verschiebung des Aufnahmeelementes mit Hilfe von Endlagenschaltern (27, 28) gesteuert und überwacht ist.