DE19821627A1 - Mikrostrukturierte Folien - Google Patents
Mikrostrukturierte FolienInfo
- Publication number
- DE19821627A1 DE19821627A1 DE1998121627 DE19821627A DE19821627A1 DE 19821627 A1 DE19821627 A1 DE 19821627A1 DE 1998121627 DE1998121627 DE 1998121627 DE 19821627 A DE19821627 A DE 19821627A DE 19821627 A1 DE19821627 A1 DE 19821627A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- foils
- films
- module
- channel
- film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 title description 7
- 238000003018 immunoassay Methods 0.000 title 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims abstract description 16
- 229920006254 polymer film Polymers 0.000 claims abstract description 6
- 239000011888 foil Substances 0.000 claims description 48
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims description 36
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims description 26
- 238000003466 welding Methods 0.000 claims description 26
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 20
- 238000004080 punching Methods 0.000 claims description 14
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 claims description 10
- 239000003153 chemical reaction reagent Substances 0.000 claims description 9
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 claims description 8
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 claims description 8
- 238000004026 adhesive bonding Methods 0.000 claims description 5
- 238000000608 laser ablation Methods 0.000 claims description 5
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 5
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 5
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 4
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 4
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 claims description 4
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 claims description 3
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 3
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 3
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 3
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 3
- 239000001923 methylcellulose Substances 0.000 claims description 3
- 235000010981 methylcellulose Nutrition 0.000 claims description 3
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 claims description 2
- 150000003973 alkyl amines Chemical class 0.000 claims description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 2
- 239000003599 detergent Substances 0.000 claims description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 2
- 239000001866 hydroxypropyl methyl cellulose Substances 0.000 claims description 2
- 229920003088 hydroxypropyl methyl cellulose Polymers 0.000 claims description 2
- 235000010979 hydroxypropyl methyl cellulose Nutrition 0.000 claims description 2
- UFVKGYZPFZQRLF-UHFFFAOYSA-N hydroxypropyl methyl cellulose Chemical compound OC1C(O)C(OC)OC(CO)C1OC1C(O)C(O)C(OC2C(C(O)C(OC3C(C(O)C(O)C(CO)O3)O)C(CO)O2)O)C(CO)O1 UFVKGYZPFZQRLF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229920000609 methyl cellulose Polymers 0.000 claims description 2
- 229920002401 polyacrylamide Polymers 0.000 claims description 2
- 229940051841 polyoxyethylene ether Drugs 0.000 claims description 2
- 229920000056 polyoxyethylene ether Polymers 0.000 claims description 2
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 claims description 2
- 235000000346 sugar Nutrition 0.000 claims description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 79
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 66
- 239000000872 buffer Substances 0.000 description 19
- 239000000463 material Substances 0.000 description 9
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 8
- 230000008569 process Effects 0.000 description 6
- 239000004433 Thermoplastic polyurethane Substances 0.000 description 5
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 5
- 229920002803 thermoplastic polyurethane Polymers 0.000 description 5
- 230000002745 absorbent Effects 0.000 description 4
- 239000002250 absorbent Substances 0.000 description 4
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 4
- 241000700605 Viruses Species 0.000 description 3
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 3
- 238000001746 injection moulding Methods 0.000 description 3
- 229920006289 polycarbonate film Polymers 0.000 description 3
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 3
- 230000036316 preload Effects 0.000 description 3
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 3
- BTBUEUYNUDRHOZ-UHFFFAOYSA-N Borate Chemical compound [O-]B([O-])[O-] BTBUEUYNUDRHOZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000007983 Tris buffer Substances 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 2
- 238000001723 curing Methods 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 230000007717 exclusion Effects 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 238000001499 laser induced fluorescence spectroscopy Methods 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 2
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 2
- 238000003752 polymerase chain reaction Methods 0.000 description 2
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 2
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 2
- -1 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 2
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 2
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 description 2
- 102000004169 proteins and genes Human genes 0.000 description 2
- 108090000623 proteins and genes Proteins 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- LENZDBCJOHFCAS-UHFFFAOYSA-N tris Chemical compound OCC(N)(CO)CO LENZDBCJOHFCAS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 241000894006 Bacteria Species 0.000 description 1
- 238000007400 DNA extraction Methods 0.000 description 1
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical group [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004677 Nylon Substances 0.000 description 1
- 229920012266 Poly(ether sulfone) PES Polymers 0.000 description 1
- 238000000862 absorption spectrum Methods 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002390 adhesive tape Substances 0.000 description 1
- 230000000712 assembly Effects 0.000 description 1
- 238000000429 assembly Methods 0.000 description 1
- 244000052616 bacterial pathogen Species 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000005251 capillar electrophoresis Methods 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000003486 chemical etching Methods 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 1
- 239000013039 cover film Substances 0.000 description 1
- 229920001887 crystalline plastic Polymers 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000010292 electrical insulation Methods 0.000 description 1
- 239000003480 eluent Substances 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 238000002795 fluorescence method Methods 0.000 description 1
- 239000003365 glass fiber Substances 0.000 description 1
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 1
- 229920003063 hydroxymethyl cellulose Polymers 0.000 description 1
- 239000007943 implant Substances 0.000 description 1
- 239000003014 ion exchange membrane Substances 0.000 description 1
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 1
- 239000003550 marker Substances 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 238000010309 melting process Methods 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 238000004452 microanalysis Methods 0.000 description 1
- 238000000520 microinjection Methods 0.000 description 1
- 230000005012 migration Effects 0.000 description 1
- 238000013508 migration Methods 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 102000039446 nucleic acids Human genes 0.000 description 1
- 108020004707 nucleic acids Proteins 0.000 description 1
- 150000007523 nucleic acids Chemical class 0.000 description 1
- 239000002773 nucleotide Substances 0.000 description 1
- 125000003729 nucleotide group Chemical group 0.000 description 1
- 229920001778 nylon Polymers 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 238000000016 photochemical curing Methods 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 229920006255 plastic film Polymers 0.000 description 1
- 239000002985 plastic film Substances 0.000 description 1
- 229920002492 poly(sulfone) Polymers 0.000 description 1
- 229920000058 polyacrylate Polymers 0.000 description 1
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 239000000550 preparative sample Substances 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- 239000002594 sorbent Substances 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 239000010421 standard material Substances 0.000 description 1
- 150000008163 sugars Chemical class 0.000 description 1
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
- 238000000108 ultra-filtration Methods 0.000 description 1
- 238000003631 wet chemical etching Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F28—HEAT EXCHANGE IN GENERAL
- F28D—HEAT-EXCHANGE APPARATUS, NOT PROVIDED FOR IN ANOTHER SUBCLASS, IN WHICH THE HEAT-EXCHANGE MEDIA DO NOT COME INTO DIRECT CONTACT
- F28D9/00—Heat-exchange apparatus having stationary plate-like or laminated conduit assemblies for both heat-exchange media, the media being in contact with different sides of a conduit wall
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
- B01L3/00—Containers or dishes for laboratory use, e.g. laboratory glassware; Droppers
- B01L3/50—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes
- B01L3/502—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures
- B01L3/5027—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures by integrated microfluidic structures, i.e. dimensions of channels and chambers are such that surface tension forces are important, e.g. lab-on-a-chip
- B01L3/502707—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures by integrated microfluidic structures, i.e. dimensions of channels and chambers are such that surface tension forces are important, e.g. lab-on-a-chip characterised by the manufacture of the container or its components
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B27/00—Layered products comprising a layer of synthetic resin
- B32B27/06—Layered products comprising a layer of synthetic resin as the main or only constituent of a layer, which is next to another layer of the same or of a different material
- B32B27/08—Layered products comprising a layer of synthetic resin as the main or only constituent of a layer, which is next to another layer of the same or of a different material of synthetic resin
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
- B01L2200/00—Solutions for specific problems relating to chemical or physical laboratory apparatus
- B01L2200/06—Fluid handling related problems
- B01L2200/0689—Sealing
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
- B01L2200/00—Solutions for specific problems relating to chemical or physical laboratory apparatus
- B01L2200/12—Specific details about manufacturing devices
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
- B01L2300/00—Additional constructional details
- B01L2300/08—Geometry, shape and general structure
- B01L2300/0887—Laminated structure
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F28—HEAT EXCHANGE IN GENERAL
- F28F—DETAILS OF HEAT-EXCHANGE AND HEAT-TRANSFER APPARATUS, OF GENERAL APPLICATION
- F28F2260/00—Heat exchangers or heat exchange elements having special size, e.g. microstructures
- F28F2260/02—Heat exchangers or heat exchange elements having special size, e.g. microstructures having microchannels
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F28—HEAT EXCHANGE IN GENERAL
- F28F—DETAILS OF HEAT-EXCHANGE AND HEAT-TRANSFER APPARATUS, OF GENERAL APPLICATION
- F28F2275/00—Fastening; Joining
- F28F2275/06—Fastening; Joining by welding
- F28F2275/065—Fastening; Joining by welding by ultrasonic or vibration welding
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Dispersion Chemistry (AREA)
- Hematology (AREA)
- Clinical Laboratory Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Thermal Sciences (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
- Lining Or Joining Of Plastics Or The Like (AREA)
- Heat-Exchange Devices With Radiators And Conduit Assemblies (AREA)
- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
- Rigid Pipes And Flexible Pipes (AREA)
Abstract
Die Erfindung betrifft ein Modul aus Polymermaterialien, das beliebige Mikrokanalsysteme enthält und ein Verfahren zur Herstellung eines solchen Moduls. Das erfindungsgemäße Modul mit Mikrokanälen besteht aus einer Polymer-Folie, deren Stärke der gewünschten Kanaltiefe entspricht mit Aussparungen in Form der gewünschten Mikrokanalstruktur. Eine obere und eine untere Abdeckschicht dichten diese mikrostrukturierte Folie auf beiden Seiten ab. Die Abdeckschichten sind auf der Seite, die der strukturierten Folie zugewandt ist, planar und bilden die Oberseite und die Unterseite der Kanäle. Mindestens eine der beiden Abdeckschichten verfügt über mindestens zwei Zugänge zum Mikrokanalsystem in der mikrostrukturierten Folie. Ein Verfahren zur Herstellung eines Moduls aus Polymermaterialien mit einem Mikrokanalsystem umfaßt das Strukturieren von einer oder mehreren Folien mit den Mikrokanälen und das Verbinden der einen Folie mit den beiden Abdeckschichten, so daß die Mikrokanäle abgedichtet sind.
Description
Die Erfindung betrifft ein Modul aus Polymermaterialien, das beliebige Mikrokanal
systeme enthält und ein Verfahren zur Herstellung eines solchen Moduls.
Ein Mikrokanal ist ein Kanal, der in einer oder in zwei Raumrichtungen (Breite und
Tiefe) Abmessungen kleiner als 1 mm hat (Mikrometerbereich). Er hat in einer
anderen Raumrichtung (Länge) eine Abmessung, die einem Vielfachen der Abmes
sung in die Raumrichtung mit der kleinsten Abmessung, entspricht. Mehrere mitein
ander verbundene Mikrokanäle bilden ein Mikrokanalsystem. Ein Modul ist ein
Träger, der ein oder mehrere durch Zugänge befüllbare und entleerbare Mikrokanal
systeme und gegebenenfalls weitere Elemente wie z. B. Membranen enthält.
Module mit Mikrokanalsystemen kommen in einer Vielzahl von technischen Bereichen
zum Einsatz. Sie werden als Mischer, Wärmeübertrager, Reaktoren, Mikrosensoren in
Prozeßapparaturen und als miniaturisierte Analysensysteme, z. B. in der molekularen
Diagnostik eingesetzt. Die Miniaturisierung von Baugruppen ist vorteilhaft, da durch
die geringen Abstände in den Mikrokanalsystemen Prozesse sehr schnell ablaufen
können. Außerdem fördert das große Verhältnis von Oberfläche zu Volumen einen
effizienten Wärmeaustausch und ermöglicht eine gezielte, schnelle Temperatur
steuerung. Auf Grund ihrer geringen Größe können eine Vielzahl von Modulen mit
Mikrokanalsystemen parallel eingesetzt werden und insgesamt zu einem hohen Durch
satz führen. In Mikrokanälen kann der Stofftransport durch die Kanäle mittels
elektrischer Spannungen, die an die Kanäle angelegt werden, gezielt gesteuert werden.
Dabei wird eine Überschußladung der Stoffe in den Kanälen und/oder der
endoosmotische Effekt, der durch die Wanderung von Oberflächenladungen verur
sacht wird, ausgenutzt. Bei Anwendungen im diagnostische Bereich ist der sparsame
Reagenzien- und Eluentenverbrauch in Mikrokanalsystemen von Vorteil.
Für die Strukturierung von Polymermaterialien mit Mikrokanälen wurden bisher ver
schiedene Verfahren vorgeschlagen, die alle darauf beruhen, daß in ein Substrat eine
Mikrostruktur, die die Unterseite und die Kanalwände bildet, als Tiefenprofil eingear
beitet wird. Der Kanal wird dann an der offenen Seite durch eine planare Deckschicht,
die die Zugänge zum darunter liegenden Mikrokanalsystem enthält, abgeschlossen.
Beim Silikongießverfahren wird die gewünschte Kanalstruktur aus Silikon durch das
Ausgießen einer entsprechenden Form hergestellt (C.S. Effenhauser et al., 2nd
International Symposium on Minlaturized Total Analysis Systems mTAS '96,
Analytical Methods and Instrumentation, Basel 1996). Nachteilig ist dabei die auf
wendige Herstellung der Gießschablone und die komplizierte Einstellung des Drucks
der planaren Deckschicht auf die in das Silikon eingearbeiteten nicht abgeschlossenen
Kanäle. Der Druck muß so eingestellt sein, daß die Kanäle im Silikon einerseits abge
dichtet und andererseits nicht zugedrückt werden.
Bei einem anderen Herstellverfahren mittels Mikrospritzgußtechnik wird eine
Urmatrix in einem Silizium-Substrat hergestellt. Von diesem werden Nickel-Formen
abgeformt, in denen mit Spritzguß die Acryl-Substrate mit den Mikrokanälen herge
stellt werden (R.M. McCormick et al., Anal. Chem. 1997, 69, 2626-2630). Der Nach
teil dieses Verfahrens ist, daß erst zwei Generationen von Matrizen hergestellt werden
müssen, bevor die eigentliche Struktur hergestellt werden kann. Das ist sehr auf
wendig und schränkt die Flexibilität bei der Gestaltung der Strukturen stark ein
(Ch. Ziegmann, "Spritzgießen mikrostrukturierter Bauteile", 19. IKV-Kolloquium
Aachen 1998).
Weiterhin wurde die Herstellung von Mikrostrukturen durch Laserablation von poly
merischen oder keramischen Substraten z. B. mit einem Excimer-Laser vorgeschlagen
(US-Patent 5,500,071). Für große Stückzahlen ist die Laserablation jedoch wegen des
großen Zeitaufwandes nicht geeignet.
Aus der Halbleitertechnik sind zur Herstellung von Mikrostrukturen die Photolito
graphie und naßchemische Ätzverfahren bekannt. Sie werden aber ausschließlich auf
Silizium, Quarz, Glas (S.C. Terry et al., IEEE Trans. Electron. Devices, ED-26, 1979,
1880; A. Manz et al., J. Chromatogr. 593, 1992, 253-258) und andere Halbleiter
materialien angewendet. Diese Materialien sind auf Grund der großen Adsorption an
ihrer Oberfläche zumindestens für biologische Anwendungen schlecht geeignet.
Außerdem ist diese Art der Herstellung von Mikrostrukturen für eine Massenpro
duktion von einmal verwendbaren Modulen zu aufwendig.
Aus metallischen Werkstoffen werden mikrostrukturierte Stapelstrukturen vorzugs
weise als hocheffiziente Wärmeübertrager hergestellt. Die Strukturen werden dabei
entweder spanabhebend oder mit chemischen Ätzverfahren (US-Patent 4,516,632)
ausgebildet. Die einzelnen Mikrokanäle werden nicht als individuelle Prozeßeinheiten,
sondern als integrale Bestandteile eines makroskopischen Bausteins eingesetzt. Die
Mikrokanäle dienen in erster Linie einer Oberflächenvergrößerung (B. Sundén et al.
Adv. Eng. Heat Transf., Proc. Balt. Heat Transf. Conf, 1995).
Die Anforderungen an ein Modul mit Mikrokanälen sind vielfältig und variieren je
nach Einsatzbereich. Allgemein gilt, daß die Kanäle in den Modulen 10-100 µm tief
und 10 µm bis 5 mm breit sein sollen. Sie können beliebig lang sein.
Die Kanäle müssen weiterhin über Zugänge mit Proben-, Reagenzien- und Puffer
reservoires verbunden sein, um sie befüllen und entleeren zu können.
Die Kanalstrukturen müssen abgedichtet werden können und sie müssen eine
effiziente Wärmezufuhr und Wärmeabfuhr gewährleisten. Eine effiziente Wärmeab
fuhr ist insbesondere nötig, um die Joulsche Wärme abzuführen, die entsteht wenn
elektrische Spannungen an die Mikrokanäle angelegt werden und elektrische Ströme
fließen.
Für viele Anwendungen ist es wünschenswert, Trennmembranen in das Kanalsystem
des Moduls einzubringen, um so beispielsweise eine Größenselektion von Molekülen
vorzunehmen.
Für manche Anwendungen wie z. B. die Kapillar-Elektrophorese müssen die Kanal
strukturen elektrisch isoliert sein, so daß ein elektrolytischer Stromtransport in den
Kanälen stattfinden kann.
Für viele Anwendungen, speziell im analytisch-diagnostischen Bereich, müssen die
Mikrokanäle einer optischen Detektion zugänglich sein.
Für die Anwendung als Prozeßapparatur, als Mikrosensor oder Mikroanalysensystem
im medizinisch/biologischen Umfeld ist eine gute Biokompatibilität erwünscht. Bio
kompatibilität heißt, daß sich beispielsweise wegen entsprechender Oberflächeneigen
schaften keine Proteine in den Kanälen anlagern.
Im Hinblick auf eine breite Nutzung sollen die mikrostrukturierten Module in hoher
Stückzahl mit niedrigen Kosten herstellbar sein und einfach entsorgt werden können.
Das erfindungsgemäße Modul mit Mikrokanälen besteht aus einer Polymer-Folie,
deren Stärke der gewünschten Kanaltiefe entspricht mit Aussparungen in Form der
gewünschten Mikrokanalstruktur. Eine obere und eine untere Abdeckschicht dichten
diese mikrostrukturierte Folie auf beiden Seiten ab. Die Abdeckschichten sind auf der
Seite, die der strukturierten Folie zugewandt ist, planar und bilden die Oberseite und
die Unterseite der Kanäle. Mindestens eine der beiden Abdeckschichten verfügt über
mindestens zwei Zugänge zu mindestens einem Mikrokanal in der mikrostrukturierten
Folie.
Neben diesem einfachsten Aufbau mit einer mikrostrukturierten Folie zwischen den
beiden Abdeckschichten, können die Module auch mehrere übereinander gestapelte
mikrostrukturierte Folien zwischen den beiden Abdeckschichten enthalten. Die Mikro
kanäle liegen dann in unterschiedlichen Ebenen und haben senkrecht zur Folienebene
gesehen Überlappungsbereiche. Diese erlauben den Übergang von einer Ebene in die
nächste. Auf diese Weise lassen sich beliebig verknüpfte, dreidimensionale Kanal
strukturen aufbauen.
Als Polymermaterial für die Folien sind kristalline oder teilkristalline Kunststoffe
geeignet. Transparente Kunststoffe wie Polycarbonat oder Polymethylmethacrylat
sind besonders geeignet. Es können auch Folien eingesetzt werden, die in bestimmten
optischen oder infraroten Wellenlängenbereichen eine starke Absorption aufweisen.
Ein Modul kann Folien aus unterschiedlichen Materialien enthalten.
Jede Folie kann aus unterschiedlichen Schichten aufgebaut sein. Die einzelnen
Schichten können verschiedene Funktionen, wie Klebefunktion oder Abdichtungs
funktionen durch elastische Verformbarkeit, erfüllen. Einzelne Schichten können auch
verschiedene Absorptionsspektren aufweisen. In einer Folie kann z. B. ein nicht
absorbierender Kern von absorbierenden Deckschichten eingerahmt sein.
Die Oberflächeneigenschaft der Kanäle bezüglich Adsorption oder Oberflächen
potential kann durch eine Beschichtung der die Kanalwände bildenden Abdeck
schichten oder der Folien gezielt auf eine Anwendung angepaßt werden. Mögliche
Beschichtungen sind Polyacrylamid, Polyvinylalkohol, oligomere Alkylamine, nicht
ionische Detergenzien wie Polyoxyethylenether und polymere Zucker wie Hydroxy
propylmethylcellulose oder Methylcellulose.
Die Tiefe der Kanäle entspricht der Folienstärke oder deren Vielfaches, wenn mehrere
gleich strukturierte Folien übereinander gestapelt werden. Tiefere Kanäle ermöglichen
einen höheren Durchsatz. Die mikrostrukturierten Folien haben eine Stärke von 10 bis
1000 µm, vorzugsweise 10 bis 100 µm. Besonders geeignet sind Folienstärken von 25
bis 75 µm.
Die Länge der Kanäle in der mikrostrukturierten Folie beträgt bevorzugt 1 mm bis
100 mm, besonders bevorzugt sind 5 bis 50 mm. Die Kanalbreite kann maximal der
Breite der Folie abzüglich eines Abdichtrandes entsprechen. Sie beträgt vorzugsweise
1 µm bis 5 mm und kann über die Kanallänge konstant sein oder variieren.
Die Kanäle können jede beliebige Orientierung zueinander und zur Folienbegrenzung
annehmen. Neben Kanälen mit rechteckiger Grundform können auch Kanäle mit ge
krümmten Seiten realisiert werden. Durch Stapelung von entsprechend strukturierten
Folien können auch senkrechte Kanäle, bei denen die Aussparungen übereinander
liegen, oder diagonale Kanäle, bei denen die Aussparungen versetzt übereinander
liegen, hergestellt werden.
Die obere und die untere Abdeckschicht dienen zur Abdichtung der Kanalstruktur der
dazwischen liegenden Folie. Die Abdeckschichten können durch Folien, deren Stärke
bei 50 bis 500 µm liegt, oder durch Platten mit einer Stärke größer als 500 µm ge
bildet werden. Mindestens eine der Abdeckschichten verfügt über mindestens zwei
Zugänge zu mindestens einem Mikrokanal. Entsprechende Öffnungen sind in einer
oder beiden Abdeckschichten vorhanden. Die Abdeckschichten können transparent
sein.
Proben-, Reagenzien- und/oder Puffergefäße sind auf der Außenseite mindestens einer
Abdeckschicht über den Zugängen zu den darunter liegenden Mikrokanälen ange
bracht. Über die Proben-, Reagenzien- und Puffergefäße werden die Kanäle befüllt.
Über die Proben-, Reagenzien- und Puffergefäße können auch Druckdifferenzen er
zeugt oder elektrische Potentiale angelegt werden, um einen Stofftransport in den
Kanälen zu bewirken. Die Proben-, Reagenzien- und Puffergefäße können bei Ver
wendung von planaren Platten auch in die äußere Oberfläche der Platten als Makro
struktur eingearbeitet sein.
In das Modul können Membranen eingebaut werden. Für die Trennung von Makro
molekülen, Teilchen, Bakterien, Zellen oder Viren ist häufig eine Membran geeignet,
die nach dem Größenausschlußprinzip arbeitet (Ultrafiltrationsmembran). Die Spann
weite von Membranen reicht von einem Molekulargewicht von 3000 Dalton für kleine
Proteine oder Nukleotide, über Größenausschlußbereiche im unteren nm-Bereich für
große Nukleinsäuren und Viren, bis hin zu 0,45 µm für Zellen. Bei den Membranen
handelt es sich um mikrostrukturierte Polymere, vorzugsweise um Polyethersulfon
(PES), Polyester, vliesgestützten Acrylpolymer, Polytetrafluorethylen (PTFE), Poly
sulfon, Polypropylen (PP), Glasfaser, Nylon oder Polycarbonat. Zusätzlich können
Ionenaustauschmembranen und Adsorptionsphasen eingesetzt werden. Die Wahl der
Membran richtet sich nach der Art des gewünschten Moleküls und ist mikrostruktur
unabhängig.
Die Membranen können zwischen einer Abdeckschicht und einer mikrostrukturierten
Folie und/oder zwischen zwei Folien eingesetzt sein. Sie können auch auf der Außen
seite der Abdeckschichten zwischen Abdeckschicht und Proben-, Reagenzien- oder
Puffergefäß angebracht sein.
Die Membranen können als zusätzliche Schicht in das Modul eingebracht sein. Ist die
Membran ganzflächig, so tritt ihre Membraneigenschaft nur an den durchströmten Be
reichen in Funktion. Sie kann aber auch nur an den Überlappungsbereichen der Kanäle
über Membraneigenschalten verfügen.
Membranen können auch als Stücke, die nur den durchströmten Kanalbereich an den
Überlappungsbereichen der Kanalstrukturen zwischen zwei Folien abdecken oder im
Übergangsbereich zwischen den Zugängen der Abdeckschicht und den darunter
liegenden Kanälen, eingesetzt sein. Eine weitere Möglichkeit ist, daß sich die
Membranen direkt in den Zugängen zu den Mikrokanälen in der Abdeckschicht be
finden.
Die Wärmezufuhr oder -abfuhr am Modul, kann über die Abdeckschichten durch
Kontakt-, Luft- oder Flüssigkühlung der Abdeckschichten erfolgen. Ein besonders
intensiver Wärmeaustausch kann über eine Folie erreicht werden, die über viele
parallele Mikrokanäle verfügt, durch die ein Flüssigkeits- oder Gasstrom zum Wärme
austausch geleitet werden kann.
Ein Verfahren zur Herstellung eines Moduls aus Polymermaterialien mit einem Mikro
kanalsystem umfaßt das Strukturieren von einer oder mehreren Folien mit den Mikro
kanälen und das Verbinden der einen Folie mit den beiden Abdeckschichten oder das
Verbinden von mehreren übereinandergestapelten Folien untereinander und mit den
beiden Abdeckschichten, so daß die Mikrokanäle abgedichtet sind.
Vor der Bearbeitung oder vor dem Zusammenfügen des Moduls können die Folien
beschichtet werden. Es können auch Membranen in das Modul eingefügt werden.
Die Mikrostrukturierung der Folien kann durch Ätzverfahren, Laserablation oder
Stanzen erfolgen.
Vorteilhaft ist jedoch ein erfindungsgemäßes Schneideverfahren.
Die zu strukturierende Folie wird auf einer formstabilen und elastischen Unterlage
fixiert.
Zum Schneiden können das Schnittwerkzeug und die Aufnahmeeinheit der zu
schneidenden Folie in allen drei Raumrichtungen gegeneinander bewegt werden. In
einer besonders vorteilhaften Ausführung des Schneideverfahrens wird die Folie auf
einer drehbaren Walze in einem vorgespannten Zustand befestigt.
Elastische Folien werden je nach Herstellungsverfahren und Spannungsstruktur des
Materials parallel zur Schnittlinie oder quer zur Schnittlinie vorgespannt, um den
Schneidevorgang zu optimieren. Der Grad der Vorspannung richtet sich nach dem
Elastizitätsmodul der zu schneidenden Folie.
Das Schnittwerkzeug kann fest oder als drehendes Rundmesser angeordnet sein. Das
Rundmesser übt eine schneidende Walzbewegung aus, wobei die Folie unter dem
Messer fixiert und nicht verformt wird. Dies ist bei Kunststofffolien mit niedrigem
Elastizitätsmodul vorteilhaft. Ein feststehendes Schnittwerkzeug ist vorteilhaft, um
exakte Konturen aus einem Material zu schneiden.
Ein Kanal kann vorteilhaft mit zwei parallel angeordneten Messern entlang seiner
Kanten geschnitten werden, wobei der Abstand der Messer der Kanalbreite entspricht.
Dieses Vorgehen liefert exakte Schnittflächen und sollte insbesondere gewählt
werden, wenn die erforderlichen Kanalbreiten unter 500 µm liegen oder wenn nicht im
90°-Winkel zur Folienoberfläche geschnitten wird, so daß der Kanalquerschnitt von
der Rechteckform abweicht. Durch den Parallelschnitt wird die zu schneidende Folie
stabilisiert und eine Verschiebung der Folie verhindert.
Es können durch eine Vielzahl von parallel stehenden Messer viele parallele Kanäle
und auch die parallelen Außenbegrenzungen der Folien gleichzeitig geschnitten
werden. Durch die vielfachen Parallelschnitte wird eine schnelle Strukturierung von
Folien mit einer Vielzahl von Kanälen erreicht.
Sind die Abdeckschichten feste Platten, so können sie durch Spritzguß oder mit
anderen gängigen Herstellverfahren für Strukturen aus Polymermaterialien hergestellt
werden. Dabei können Proben- und Puffergefäße in einem Stück mit der Abdeckplatte
hergestellt werden.
Die Verbindung der mikrostrukturierten Folien untereinander und mit den Abdeck
schichten zu einem Modul kann durch Druck, Kleben oder Schweißen erfolgen.
Eine dichte Verbindung durch Druck kann nur mit festen Platten als Abdeckschichten
erreicht werden. Der Druck wird von außen auf die beiden Abdeckplatten ausgeübt.
Sie werden gegeneinander und auf die dazwischenliegenden Folien gedrückt. Dadurch
werden die Kanäle der mikrostrukturierten Folien abgedichtet.
Abdeckplatten zeigen auf den Oberflächen mikroskopische Unebenheiten, die in die
dazwischenliegenden Folien geprägt werden und zu Leckströmen führen können.
Durch die Verwendung von besonders elastischen Folien wie Folien aus thermo
plastischem Polyurethan (TPU) oder mit einer klebstoffartigen Ausgleichsmasse be
schichteten Folien können die Undichtigkeiten verhindert werden. Die elastische Folie
und die Ausgleichsmasse passen sich den Unebenheiten der Oberfläche an und ver
schließen sie.
Die Stärke des Drucks auf die dazwischenliegenden Folien richtet sich nach den
elastischen Eigenschaften des verwendeten Folienmaterials. Günstig ist ein Druck der
eine Vorspannung der Folie von 5-50%, besonders vorteilhaft von 5-25% der
Foliendicke bewirkt. Die Vorspannung wird über die Längenveränderung der Folie
gegenüber dem ungespannten Zustand gemessen.
Der Druck auf die Abdeckplatten des Moduls wird durch lösbare oder unlösbare Ver
bindungen aufrechterhalten. Lösbare Verbindungen sind Schrauben, Clips oder
Spannelemente. Unlösbare Verbindungen werden durch Nieten oder durch Ver
schweißen der beiden Abdeckplatten an ihren äußeren Rändern hergestellt. Beim Ver
schweißen werden die eine oder mehrere Folien zwischen den Abdeckplatten passiv
fixiert.
Die Folien und Abdeckschichten können durch Kleben dicht miteinander verbunden
werden. Der Klebstoff kann selbsthärtend, thermischhärtend oder photohärtend sein.
Besonders vorteilhaft sind unlösbare Verbindungen, die durch Verschweißen der
Folien und Abdeckschichten direkt an den Rändern der Kanäle entstehen. Das
Problem der Undichtigkeiten durch Unebenheiten in den Abdeckplatten tritt nicht auf.
Die Abdeckschichten müssen nicht formstabil sein. Sie können auch Folien sein.
Es gibt verschiedene Methoden für die Verschweißung der Folien untereinander und
mit der Abdeckschicht.
Beim Heißprägen wird durch einseitige Erhitzung mit direktem Kontakt der ge
wünschte Bereich aufgeschmolzen.
Beim Heizelementschweißen erfolgt im Gegensatz zum Heißprägen der Wärme
kontakt beidseitig.
Das Infrarotstrahlungsschweißen kann einseitig oder von beiden Seiten erfolgen. Dazu
muß mindestens eine der Folien über eine infrarotabsorbierende Schicht verfügen.
Beim Laserschweißen muß mindestens eine der Folien über eine Schicht verfügen, die
das Laserlicht absorbiert. Beim Durchstrahlungsschweißen wird die gesamte ab
sorbierende Schicht geschmolzen. Beim Stumpfschweißen wird nur die Oberfläche
aufgeschmolzen. Das Stumpfschweißen kann einseitig oder beidseitig durchgeführt
werden.
Beim Ultraschallschweißen wird die erforderliche Energiedichte zum Verschweißen
durch Ultraschallwellen erzeugt. Bei Gesamtdicken des Moduls bis zu 1 mm kann mit
handelsüblichen Ultraschallschweißgeräten auf den Einsatz von Energierichtungs
gebern verzichtet werden, da die Energiemenge pro Materialvolumen auch ohne eine
Maßnahme zur Bündelung der Energie ausreicht.
Beim Hochfrequenzschweißen wird ein elektrisches Wechselfeld hoher Frequenz ein
gestrahlt. Ein Teil der Energie des elektrischen Wechselfeldes wird im Kunststoff in
Wärme umgewandelt. Eine Verschweißung des Moduls aus Polymermaterialien er
folgt, wenn der dielektrische Verlustfaktor tan δ des Polymers größer 0,01 ist, also ein
genügend hoher Anteil der Energie des Feldes abgezogen und in Wärme umgesetzt
wird.
Als besonders vorteilhaft haben sich das Laser- und Infrarotschweißen herausgestellt.
Durch Verwendung einer insgesamt oder in einzelnen Schichten absorbierenden,
mikrostrukturierten Folie und von transparenten Abdeckschichten kann die Folie
selektiv aufgeschmolzen und mit den Abdeckschichten dauerhaft verbunden werden.
Mehrere übereinander gestapelte Folien werden auf diese Weise auch untereinander
verbunden. Die Mikrokanalstrukturen sind nicht absorbierend, so daß die Energie
großflächig eingestrahlt werden kann und die Kontour der Kanäle nicht exakt nachge
fahren werden muß. Durch Einsatz von unterschiedlich absorbierenden Folien und
sukszessivem Aufschmelzen können auch komplexe Schichtstrukturen und damit
Kanalstrukturen aufgebaut werden.
Die Oberflächen der Folien, die zur Ausbildung einer Kanalstruktur beitragen und
auch die kanalseitigen Flächen der Abdeckschicht können vor dem Schneiden oder
vor dem Zusammenfügung beschichtet werden, um Oberflächeneigenschaften wie
Biokompatibilität und Oberflächenpotential zu verändern.
Die Fixierung von Membranen erfolgt zusammen mit der Verbindung der Folien und
Abdeckschichten durch Verpressen, Kleben oder Schweißen. Werden einzelne
Membranstücke im Bereich eines Zugangs zu einem Kanal zwischen einer Abdeck
schicht und einer Folie oder zwischen zwei Folien eingebracht, so muß die Membran
in die Richtungen, in die der Kanal sich fortsetzt, mit der Abdeckschicht oder mit der
Folien die nicht den Kanal trägt, verbunden werden.
Die erfindungsgemäßen Module mit Mikrokanälen zeichnen sich einerseits durch den
Aufbau aus einfachen Standardmaterialien (Polymer-Folien) aus. Die verwendeten
Polymermaterialien wie Polycarbonat oder Polymethylmethacrylat sind für eine Viel
zahl von Anwendungen einsetzbar, da sie die Eigenschaften Inertanz, Biokompatibili
tät, elektrische Isolation und Transparenz auf sich vereinigen.
Andererseits ist das Herstellungsverfahren für die erfindungsgemäßen Module einfach
und flexibel. Im Vergleich zu den bekannten Silikongießverfahren und Mikrospritz
gußverfahren werden keine Urformen hergestellt, die dann jeweils nur eine Aus
führungsform der Mikrokanalstruktur ergeben. Statt dessen können die Folien durch
die bekannten Verfahren Ätzen, Laserablation, Stanzen oder besonders vorteilhaft mit
dem erfindungsgemäßen Schneideverfahren einfach strukturiert werden. Beim
Schneiden werden mit einfachen Schneidewerkzeugen, wie z. B. Rasiermessern be
liebige Strukturen geschnitten.
Auch die Verbindung der Folien zum Modul, insbesondere durch die vorgeschlagenen
Laser- und Infrarotschweißverfahren, ist schnell und einfach durchzuführen.
Somit sind die erfindungsgemäßen Module für die automatisierte Massenfertigung ge
eignet und können auch wegen der preiswerten Materialien kostengünstig hergestellt
werden. Polymermaterialien sind außerdem unproblematisch zu entsorgen. Damit
lohnt es sich, sie als einmal verwendbare Module zum einmaligen Gebrauch herzu
stellen. Einmal verwendbare Module haben insbesondere im medizinischen Bereich
den Vorteil, daß es nicht zur Verschleppung von Keimen und Verunreinigungen
kommen kann, und ihr Einsatz deshalb exaktere Analysen erlaubt und die Sicherheit
von Personal und Patient erhöht.
Der Wärmeaustausch ist wegen der geringen Wandstärken der Folien noch effizienter
als mit herkömmlichen Systemen mit Mikrokanälen.
Ein Modul aus Polymermaterialien, das beliebige Mikrokanalsysteme enthält, ist ge
eignet für viele Arten von Anwendungen für Mikrokanalstrukturen. Beispiele für An
wendungen sind das chemische Labor, Polymerase Kettenreaktion (PCR), Immun
diagnostik, Virusanalytik und DNA-Analytik auf dem Chip, Implantate, Dosierein
richtungen und die Analytik mit miniaturisierten Totalanalysensystemen oder mit
mikropräparativen Probenvorbereitungsmodulen für die DNA-Extraktion.
Die Stoffe in den Mikrokanälen können mit optischen Methoden detektiert werden.
Dabei können Absorptions- und Fluoreszenzverfahren genutzt werden. Wegen ihrer
hohen Empfindlichkeit wird die laserinduzierte Fluoreszenzdetektion häufig einge
setzt.
Es zeigen
Fig. 1 Schichtaufbau eines Moduls mit einer mikrostrukturierten Folie.
Fig. 2 Schichtaufbau eines Moduls mit mehreren mikrostrukturierten Folien.
Fig. 3 Einführung von Trennmembranen in den Schichtaufbau.
Fig. 4 Schichtaufbau eines Moduls mit Gefäßen an einer Abdeckschicht.
Fig. 5 Anordnung zum Schneiden der Folien.
Fig. 6 Modul, das durch Druck verbunden ist.
Fig. 7 Manuelle Schneidapparatur zur Mikrostrukturierung von Polymer
folien.
Fig. 8 Fotokopie des lasergeschweißten Schichtaufbaus eines Moduls.
Fig. 9 Elektrophoretischer Transport in einer Mikrokanalstruktur.
Fig. 1 zeigt eine Folie 2 mit einer Mikrokanalstruktur 1. Die Stärke der Folie 2 ent
spricht der Kanaltiefe. Die Folie 2 wird von der unteren Abdeckschicht 3 und der
oberen Abdeckschicht 4 eingeschlossen. Die Abdeckschichten bilden die obere und
untere Kanalwand. Die Abdeckschicht 4 verfügt über die Zugänge 5 zu der Mikro
kanalstruktur 1 in der Folie 2.
In Fig. 2 befinden sich zwei unterschiedlich mikrostrukturierte Folien 2a und 2b mit
den Mikrostrukturen 1a und 1b zwischen den Abdeckschichten 3 und 4. Beim Stapeln
der Folien entsteht ein Überlapp 11 der beiden Mikrokanäle 1a und 1b. Die Zugänge
5b' und 5b zum Mikrokanal 1b in der unteren Folie 2b befinden sich in der Folie 2a
und der Abdeckschicht 4. Die Zugänge 5a zum Mikrokanal 1a in der oberen Folie 2a
befinden sich in der Abdeckschicht 4.
Verschiedene Möglichkeiten der Einführung der Membranen 6a, 6b und 6c in den
Schichtaufbau sind in Fig. 3 dargestellt. Die Membran 6b befindet sich über dem Zu
gang 5 oberhalb der Abdeckschicht 4. Die Membran 6a befindet sich zwischen der
Folie 2 und der Abdeckschicht 4 im Bereich eines Zugangs 5 zu den Mikrokanälen 1
der Folie 2. Die Membran 6c bildet den Durchgang in der Abdeckschicht 4 zu den
Mikrokanälen 1 in der Folie 2.
Fig. 4 zeigt ein Modul bestehend aus einer Folie 2 mit Mikrokanälen 1 und den Ab
deckschichten 3 und 4. Auf der Abdeckschicht 4 über den Zugängen 5 befinden sich
Proben-, Reagenzien- und Puffergefäße 7.
Fig. 5 zeigt eine Anordnung zum Schneiden der Folien. Auf dem Schneidtisch 10 be
findet sich die zu strukturierende Folie 9 unter dem Schneidmesser 8. Die zu struktu
rierenden Folie 9 wird durch eine Kraft 81 in eine Vorspannung gebracht.
Fig. 6 zeigt ein Modul, bei dem die strukturierte Folie 13 zwischen zwei formsteifen
Abdeckplatten 14 und 15 fixiert ist. Der Druck, durch den die Mikrokanäle in der
Folie dicht durch die Abdeckplatten abgeschlossen werden, wird durch die Schraube
12 und/oder die Niete 16 ausgeübt. Zwischen die Abdeckplatten 14 und 15 könnten
auch mehrere Folien übereinander gestapelt werden.
Fig. 7a zeigt eine Schneidapparatur zur Mikrostrukturierung von Polymerfolien. Fig.
7b zeigt eine milcrostrukturierte Folie wie sie mit einer Schneidapparatur nach Fig. 7a
hergestellt werden kann. Die Schneidapparatur besteht aus einer drehbaren Walze 18
zur Aufnahme der Folie, einem Handrad mit Rastpositionen 19, einem Paar von
Schneidmessern 20 für das Schneiden der seitlichen Begrenzung der Mikrostruktur
folie. Die beiden Schneidmesserpaare 21 werden für das Schneiden der Längskanäle a
und b der Mikrostruktur verwendet. Die Stanzmesseraufnahme 22 kann verschiedene
Stanzmesser zum Stanzen des Querkanals c, zum Stanzen der Strukturbegrenzungen e
und zum Stanzen der Folienbegrenzungen aufnehmen.
Die Führung 23 dient zur Ausführung der mit g bezeichneten Positionsbohrungen.
Fig. 8 ist eine Fotokopie eines Moduls. In eine 100 µm dicke, schwarz pigmentierte
Folie 2 aus Polycarbonat wurden mit der manuellen Schneidapparatur aus Fig. 7
Mikrokanäle 1, 3 und 4 geschnitten. Die strukturierte Folie wurde zwischen zwei
transpararente Folien aus Polycarbonat von 400 µm Stärke gelegt und großflächig um
die Kanalstruktur herum mit den transparenten Folien durch einen Infrarotlaser ver
schweißt (dunkler Bereich). Das so dauerhaft verbundene Modul verfügt über intakte
Kanalstrukturen.
Fig. 9a zeigt wie der elektrophoretische Transport von fluoreszenzmarkierter DNA im
lasergeschweißten Schichtmodul aus Fig. 8 erfolgt. In Fig. 9b ist das Fluoreszenz
signal bei einer Wellenlänge von 520 nm, wie es im dünnen Kanal am Detektor 24
detektiert wird, dargestellt. Unter dem Einfluß der Spannung 25a wird die DNA
elektrokinetisch in den breiten Kanal transportiert (Fig. 9a-(a)). Dann wird die
Spannung 25b zwischen dem breiten und schmalen Kanal angelegt und die DNA wird
mit dem Strom in den Querkanal geleitet (Fig. 9a-(b)). Dort bewegt sie sich unter dem
Einfluß der Spannung 25c am schmalen Kanal elektrokinetisch am Detektor 24 vorbei
(Fig. 9a-(c)). In Fig. 9b tritt ein Detektorsignal erst in der in Fig. 9a-(c) dargestellten
Phase auf.
Zur Herstellung einer mikrostrukturierten Folie mit einer manuellen Schneidapparatur
aus Fig. 7 wird zunächst ein passendes Stück 100 µm starker Folie mittels Klebeband
auf der drehbaren Walze 18 fixiert. Durch Einklappen der beiden Schneidmesserpaare
21 und Drehen des Handrades 19 werden gleichzeitig die Längsschnitte für den
Mikrokanal a mit 2 mm Breite mit dem entsprechenden Messerabstand von 2 mm und
für den Mikrokanal b mit 100 µm Breite mit dem entsprechenden Messerabstand von
100 µm in die Folie geschnitten. Die Begrenzung der Schnittlänge auf 55 mm erfolgt
durch zwei Rastpositionen des Handrades. Durch Einklappen der beiden Schneid
messer 20 und Drehen des Handrades 19 werden die Längsbegrenzungen der Folie
mit einen Abstand von 20 mm geschnitten. Die Schnittbegrenzung nach 91 mm erfolgt
ebenfalls durch zwei Rastpositionen des Handrades. Das Stanzen der Querschnitte er
folgt nach Einsetzen der jeweiligen Stanzmesser in die Stanzmesseraufnahme 22 durch
das Einklappen der Stanzmesser auf die Walze 18 und die darauf befindliche Folie.
Auf diese Weise werden der Querkanal c, die obere und untere Begrenzung der
Mikrokanäle d und e und die obere und untere Begrenzung der Folie f gestanzt. Für
jede Stanzposition existiert eine Rastposition des Handrades. Genauso werden die
Justierungsbohrungen g mittels Lochstanzer 23 und zwei Rastpositionen des Hand
rades erzeugt. Die so hergestellten mikrostrukturierte Folie mit definierten Außen
maßen enthält einen schmalen Kanal b von 100 µm Breite und 55 mm Länge, einen
breiten Kanal a von 2 mm Breite und 55 mm Länge und einen schmalen Querkanal c
von 100 µm Breite und 4 mm Länge. Die Außenmaße der Folie betragen 20 mm
Breite und 91 mm Länge.
Das Ergebnis des Schneidverfahrens ist in der Fotokopie für eine schwarze
Polycarbonat-Folie als Photokopie in Fig. 8 dargestellt.
Es wurde ein Modul mit einer elastischen, mikrostrukturierten Folie aus thermo
plastischem Polyurethan (TPU) von 75 µm Stärke und einer Abdichtung durch An
preßdruck hergestellt.
Die Mikrokanalstruktur wurde entsprechend dem Beispiel 1 hergestellt. Die elastische
Folie wurde zwischen zwei Platten aus Polycarbonat gelegt und mit 19 Schrauben
fixiert. Die spanabhebend gefertigten Platten waren jeweils 6 mm stark und die obere
Platte enthielt 4 Bohrungen die jeweils an den Kanalenden in der mikrostrukturierten
Folie endeten. Oberhalb dieser Bohrungen befanden sich kleine Pufferreservoirs.
Durch festes Anziehen der Schrauben wurde die elastische TPU-Folie so zusammen
gepreßt, daß sie transparent erschien. In die Pufferreservoirs wurde Tris/Borat-Puffer,
der 0.1 molar war und einen pH-Wert von 8.5 hatte, eingefüllt und das gesamte
Modul im Vakuum entlüftet. In die Pufferreservoirs wurden Elektroden eingeführt.
Das gesamte Modul wurde über Kontaktkühlung mit thermostatisierten Metallflächen
auf 10°C abgekühlt. Über die Elektroden wurde zunächst entlang des breiten Kanals
eine Spannung von 700 V angelegt und ein Strom von 350 µA gemessen. Beim An
legen einer Spannung von 1 kV wurde entlang des schmalen Kanals ein Strom von 25 µA
gemessen. Das Verhältnis der gemessenen Ströme entspricht dem Verhältnis
der Kanalquerschnitte von schmalem und breitem Kanal. Das zeigt, daß die
elektrische Leitung ausschließlich über die puffergefüllten Kanäle verläuft und das
Modul ansonsten elektrisch isolierend ist.
Es wurde ein Modul mit einer schwarz pigmentierten Infrarot-absorbierenden mikro
strukturierten Polycarbonat-Folie von 100 µm Stärke hergestellt. Die Abdichtung des
Moduls erfolgte durch Laserschweißen.
Die Mikrokanalstruktur wurde in der Polycarbonat-Folie im wesentlichen ent
sprechend dem Beispiel 1 hergestellt. Der Unterschied zum Verfahren aus Beispiel 1
bestand lediglich darin, daß der schmale Kanal mit einer Breite von 200 µm geschnit
ten wurde. Die mikrostrukturierte Folie wurde zwischen zwei weitere transparente
Folien von 400 µm Stärke gelegt, wobei eine der Folien über 4 runde Löcher jeweils
an Positionen, die den Enden der langen Kanäle in der mikrostrukturierten Folie ent
sprechen, verfügt. Die Löcher, die dem schmalen Kanal zugeordnet werden können,
haben einen Durchmesser von 400 µm, die dem breiten Kanal entsprechenden Löcher
einen Durchmesser von 3 mm. Die Folien wurden mit einer Glasplatte auf einem fe
sten Untergrund zusammengedrückt und mit einem Nd:YAG-Laserstrahl mit einer
effektiven Leistung von 8 W großflächig um die Mikrostruktur abgetastet. Der La
serstrahl hatte am Ort der Folien einen Durchmesser von 2,2 mm und die Abtastge
schwindigkeit betrug 18 mm/s. Die bestrahlten Bereiche sind in Fig. 8 am intensiveren
Schwarz zu erkennen. Obwohl nur von einer Seite bestrahlt wurde, sind die drei Fo
lien dauerhaft und fest verschmolzen. Durch den Schmelzvorgang verengte sich der
schmale Kanal von 200 µm auf 120 µm.
Das Modul aus Beispiel 3 wurde mit der Seite, auf der sich die Löcher tragende Folie
befindet, mit schnell härtendem Klebstoff gegen eine spanabhebend gefertigte Platte
aus Polycarbonat geklebt. Die Platte verfügt über vier Puffergefäße mit Bohrungen
von 2 mm Durchmesser, die sich über den Löchern in der Abdeckfolie des Moduls be
finden. In die Pufferreservoirs wurde Tris/Borat-Puffer, der 0.1 molar war, 0,1%
Methylcellulose enthielt und einen pH-Wert von 8.5 hatte eingefüllt und das gesamte
Modul im Vakuum entlüftet. In die Pufferreservoirs wurden Elektroden eingeführt.
Das gesamte Modul wurde über Kontaktkühlung mit thermostatisierten Metallflächen
auf 10°C abgekühlt. Über die Elektroden wurde zunächst entlang des breiten Kanals
eine Spannung von 1 kV angelegt und ein Strom von 270 µA gemessen. Entlang des
schmalen Kanals wurde ebenfalls eine Spannung von 1 kV angelegt und ein Strom
von 25 µA gemessen. Das zeigt, daß die elektrische Leitung ausschließlich über die
puffergefüllten Kanäle verläuft und das Modul ansonsten elektrisch isolierend ist.
Das so präparierte Modul wurde mit dem Versuchsaufbau gemäß Fig. 9 getestet. Da
zu wurde zusätzlich ein laserinduzierter Fluoreszenzdetektor 24 oberhalb der Mikro
struktur positioniert. Das Laserlicht eines Argon-Ionen-Lasers mit 488 nm Wellen
länge wurde mit einem Lichtleiter in einem Winkel von 45° auf die Moduloberfläche
eingestrahlt. Ein zweiter Lichtleiter wurde so positioniert, daß er unter einem Winkel
von 90° zur Moduloberfläche emittiertes Licht, dem Detektor 24 zuleitete. In ein
Pufferreservoir des breiten Kanals wurde mit einem Fluoreszenzmarker interkalierte
DNA, das 10 mikromolar war, gefüllt. Durch Anlegen einer Spannung von 700 V
wurde die DNA entlang des breiten Kanals transportiert (Fig. 9a-(a)). Nach 3 min
wurde eine Spannung von 1 kV für 10 Sekunden zwischen breitem und schmalem
Kanal angelegt, um die DNA über den Querkanal zu transportieren (Fig. 9a-(b)).
Nach Umschalten der Spannung auf 1 kV entlang des schmalen Kanals wurde die
DNA über ihre Fluoreszenzwellenlänge bei 520 nm nachgewiesen. Das Nachweis
signal ist bei (c) in Fig. 9b zu erkennen.
Claims (20)
1. Modul aus Polymermaterialien mit einem Mikrokanalsystem, bestehend aus
einer oder mehreren übereinanderliegenden Polymer-Folien mit Aussparungen
in Form der Mikrokanalstruktur, wobei die offenen Kanäle auf der Ober- und
Unterseite der Folie oder des Folienstapels durch eine obere und eine untere
Abdeckschicht abgeschlossen werden und mindestens eine der Abdeck
schichten mindestens zwei Zugänge zu mindestens einem Mikrokanal enthält.
2. Modul nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Abdeckschichten
und/oder Folien transparent sind.
3. Modul nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Folien Strahlung
mit Wellenlängen im optischen oder Infrarot-Bereich absorbieren.
4. Modul nach einem der Ansprüche 1, dadurch gekennzeichnet, daß Folien aus
Polycarbonat oder Polymethymethacrylat verwendet werden.
5. Modul nach einem der Ansprüche 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Folien
aus unterschiedlichen Schichten aufgebaut sind, von denen mindestens eine
Schicht Klebefunktion, Absorptionsfunktion oder elastische Abdichtungs
funktion hat.
6. Modul nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die
Folien und/oder die die Kanalwände bildenden Abdeckplatten auf der kanalzu
gewandten Seite beschichtet sind.
7. Modul nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß zur Beschichtung Poly
acrylamid, Polyvinylalkohol, oligomere Alkylamine, nichtionische Detergen
zien wie Polyoxyethylenether oder polymere Zucker wie Hydroxypropyl
methylcellulose oder Methylcellulose verwendet werden.
8. Modul nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die
Folien eine Stärke von 10-1000 µm, vorzugsweise 10-100 µm, besonders
bevorzugt von 25-75 µm haben.
9. Modul nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß
Kanallängen 1 mm bis 100 mm, bevorzugt 5-50 mm und die Kanalbreiten
vorzugsweise 1 µm bis 5 mm betragen.
10. Modul nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß sich
auf der kanalabgewandten Seite von einer oder beiden Abdeckschichten über
den Zugängen zu den Mikrokanälen Proben-, Reagenzien- und/oder Pufferge
fäße befinden.
11. Modul nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß sich
eine oder mehrere Trennmembranen im Zugangsbereich zum Mikrokanal
zwischen einer äußeren Abdeckschicht und einer Folie oder zwischen zwei
Folien im Überlappungsbereich der Mikrokanäle oder direkt in den Zugängen
in der Abdeckschicht befinden.
12. Verfahren zur Herstellung eines Moduls aus Polymermaterialien nach An
spruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß eine oder mehrere Folien mikro
strukturiert werden und die eine mikrostrukturierte Folie mit den Abdeck
schichten verbunden wird oder mehrere übereinander liegende mikro
strukturierte Folien untereinander und mit den Abdeckschichten verbunden
werden, so daß die Kanäle in der oder den mikrostrukturierten Folien abge
dichtet werden.
13. Verfahren nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Mikro
strukturierung der Folien durch Ätzen, Laserablation, Stanzen und/oder
Schneiden erfolgt.
14. Verfahren nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Folien vorge
spannt werden und die einzelnen Kanäle in Längsrichtung durch zwei parallel
angeordnete Messer geschnitten werden, wobei der Abstand der Messer der
Kanalbreite entspricht und die Begrenzung der Kanäle in Querrichtung durch
Schneiden oder Stanzen erfolgt.
15. Verfahren nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Folien und die
Abdeckschichten durch Druck, Kleben oder Verschweißen miteinander ver
bunden werden.
16. Verfahren nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß als Abdeckschicht
feste Platten verwendet werden, die durch Schrauben, Clips, Spannelemente,
Nieten oder Verschweißen verbunden werden und Druck auf die zwischen den
Abdeckschichten befindlichen Folien ausüben.
17. Verfahren nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß die Folien und die
Abdeckschichten durch Heißprägen, Heizelementschweißen, Infrarotstrah
lungsschweißen, Laserschweißen, Ultraschallschweißen oder Hochfrequenz
schweißen miteinander verbunden werden.
18. Verfahren nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, daß die Abdeck
schichten transparent sind und die eine oder mehrere mikrostrukturierten
Folien im optischen oder Infrarot-Bereich absorbieren und die unverbundene
Anordnung mit Strahlung in einer Wellenlänge, die der Ab
sorptionswellenlänge der Folien entspricht, bestrahlt und zu einem Modul ver
schmolzen wird.
19. Verfahren zur Herstellung eines Moduls nach einem der Ansprüche 12 bis 18,
dadurch gekennzeichnet, daß die Abdeckschichten auf der kanalzugewandten
Seite und/oder die Folien vor dem Schneiden beschichtet werden.
20. Verfahren zur Herstellung eines Moduls nach einem der Ansprüche 12 bis 19,
dadurch gekennzeichnet, daß vor dem Verbinden der Folien und der Abdeck
schichten Trennmembranen eingesetzt werden.
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE1998121627 DE19821627A1 (de) | 1998-05-14 | 1998-05-14 | Mikrostrukturierte Folien |
| AU40358/99A AU4035899A (en) | 1998-05-14 | 1999-04-21 | Microstructured films |
| JP2000549457A JP2002515351A (ja) | 1998-05-14 | 1999-05-03 | ミクロ構造化されたフィルム |
| PCT/EP1999/002971 WO1999059810A2 (de) | 1998-05-14 | 1999-05-03 | Mikrostrukturierte folien |
| EP99923506A EP1079928A2 (de) | 1998-05-14 | 1999-05-03 | Mikrostrukturierte folien |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE1998121627 DE19821627A1 (de) | 1998-05-14 | 1998-05-14 | Mikrostrukturierte Folien |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE19821627A1 true DE19821627A1 (de) | 1999-11-18 |
Family
ID=7867754
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE1998121627 Withdrawn DE19821627A1 (de) | 1998-05-14 | 1998-05-14 | Mikrostrukturierte Folien |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP1079928A2 (de) |
| JP (1) | JP2002515351A (de) |
| AU (1) | AU4035899A (de) |
| DE (1) | DE19821627A1 (de) |
| WO (1) | WO1999059810A2 (de) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002103268A3 (en) * | 2000-07-28 | 2003-05-01 | Honda Motor Co Ltd | Multi-purpose microchannel micro-component |
| DE102005007707A1 (de) * | 2004-09-27 | 2006-03-30 | Powerfluid Gmbh | Rekuperator, Mikrokanal-Rekuperator, Folie, Verwendung einer Folie und Verfahren zum Herstellen sowie zum Betreiben eines Rekuperators |
| DE102006010956A1 (de) * | 2006-03-06 | 2007-09-13 | Directif Gmbh | Ventil |
| EP2175220A2 (de) | 2008-10-09 | 2010-04-14 | Bleckmann GmbH & Co. KG | Plattenwärmeübertrager und eine Anordnung aus einem solchen und einer Fluidheizung |
| DE102018003495A1 (de) * | 2018-04-30 | 2019-10-31 | I.G. Bauerhin Gmbh | Sitzbelegungserfassungselement |
Families Citing this family (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002174610A (ja) * | 2000-12-08 | 2002-06-21 | Nec Corp | バイオセンサ及びバイオセンサを用いた液体試料の測定方法 |
| GB2372464B (en) * | 2001-02-22 | 2003-05-14 | Vivascience Ltd | Method of isolating a charged compound |
| GB0126281D0 (en) * | 2001-11-01 | 2002-01-02 | Astrazeneca Ab | A chemical reactor |
| US8128889B2 (en) * | 2002-04-30 | 2012-03-06 | Arkray, Inc. | Analyzing article, analyzer and method of analyzing a sample using the analyzing article, and a method of forming an opening in the analyzing article |
| US7279134B2 (en) * | 2002-09-17 | 2007-10-09 | Intel Corporation | Microfluidic devices with porous membranes for molecular sieving, metering, and separations |
| JP4683538B2 (ja) * | 2004-05-06 | 2011-05-18 | セイコーインスツル株式会社 | 分析用マイクロチップを含む分析システムと分析方法 |
| CN101263077B (zh) * | 2005-09-09 | 2011-11-09 | 皇家飞利浦电子股份有限公司 | 一种制造具有间隔的微系统的方法 |
| US8133629B2 (en) | 2007-03-21 | 2012-03-13 | SOCIéTé BIC | Fluidic distribution system and related methods |
| CA2680888A1 (en) * | 2007-03-21 | 2008-09-25 | Angstrom Power Incorporated | Fluid manifold and method therefor |
| WO2012001972A1 (ja) * | 2010-06-30 | 2012-01-05 | 株式会社メタボスクリーン | マイクロ化学チップ、その製造方法、及びその使用方法 |
| JP6057166B2 (ja) * | 2013-01-18 | 2017-01-11 | 大日本印刷株式会社 | 構造物、構造物の製造方法、及び成形品の製造方法 |
| JP5685630B2 (ja) * | 2013-07-19 | 2015-03-18 | Jfeエンジニアリング株式会社 | マイクロチップ |
| EP4115978A1 (de) | 2015-01-14 | 2023-01-11 | Pixcell Medical Technologies Ltd. | Wegwerfpatrone für probenflüssigkeitsanalyse |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2184536A1 (en) * | 1972-05-19 | 1973-12-28 | Anvar | Very low temperature heat exchangers - partic suitable for helium 3 and helium 4 |
| EP0484278B1 (de) * | 1990-11-01 | 1995-04-12 | Ciba-Geigy Ag | Vorrichtung zur Aufbereitung oder Vorbereitung von flüssigen Proben für eine chemische Analyse |
| US5500071A (en) * | 1994-10-19 | 1996-03-19 | Hewlett-Packard Company | Miniaturized planar columns in novel support media for liquid phase analysis |
| DE19652823A1 (de) * | 1996-12-18 | 1998-03-26 | Guenter Prof Dr Fuhr | Strukturierter Polytetrafluorethylen-Spacer |
-
1998
- 1998-05-14 DE DE1998121627 patent/DE19821627A1/de not_active Withdrawn
-
1999
- 1999-04-21 AU AU40358/99A patent/AU4035899A/en not_active Abandoned
- 1999-05-03 EP EP99923506A patent/EP1079928A2/de not_active Withdrawn
- 1999-05-03 JP JP2000549457A patent/JP2002515351A/ja active Pending
- 1999-05-03 WO PCT/EP1999/002971 patent/WO1999059810A2/de not_active Ceased
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002103268A3 (en) * | 2000-07-28 | 2003-05-01 | Honda Motor Co Ltd | Multi-purpose microchannel micro-component |
| US6946113B2 (en) | 2000-07-28 | 2005-09-20 | Honda Motor Co., Ltd. | Method for processing fluid flows in a micro component reformer system |
| DE102005007707A1 (de) * | 2004-09-27 | 2006-03-30 | Powerfluid Gmbh | Rekuperator, Mikrokanal-Rekuperator, Folie, Verwendung einer Folie und Verfahren zum Herstellen sowie zum Betreiben eines Rekuperators |
| DE102006010956A1 (de) * | 2006-03-06 | 2007-09-13 | Directif Gmbh | Ventil |
| EP2175220A2 (de) | 2008-10-09 | 2010-04-14 | Bleckmann GmbH & Co. KG | Plattenwärmeübertrager und eine Anordnung aus einem solchen und einer Fluidheizung |
| DE102008051091B3 (de) * | 2008-10-09 | 2010-06-10 | Bleckmann Gmbh & Co. Kg | Plattenwärmeübertrager und eine Anordnung aus einem solchen und einer Fluidheizung |
| DE102018003495A1 (de) * | 2018-04-30 | 2019-10-31 | I.G. Bauerhin Gmbh | Sitzbelegungserfassungselement |
| DE102018003495B4 (de) * | 2018-04-30 | 2020-10-22 | I.G. Bauerhin Gmbh | Sitzbelegungserfassungselement |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2002515351A (ja) | 2002-05-28 |
| AU4035899A (en) | 1999-12-06 |
| WO1999059810A2 (de) | 1999-11-25 |
| EP1079928A2 (de) | 2001-03-07 |
| WO1999059810A3 (de) | 2000-03-16 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DE19821627A1 (de) | Mikrostrukturierte Folien | |
| DE10228767B4 (de) | Mikrovorrichtung und Verfahren für eine Komponententrennung in einem Fluid | |
| DE19952764C2 (de) | Mikroanalysevorrichtung | |
| DE19947495C2 (de) | Mikrofluidischer Mikrochip | |
| DE10227593B4 (de) | Strömungsschaltungs-Mikrobauelemente | |
| DE60208235T2 (de) | Mikrofluidische vorrichtungen mit verteilungseinlässen | |
| DE60105979T2 (de) | Verfahren zur herstellung von mikrostrukturen mit verschiedenen oberflächeneigenschaften in einem multischichtkörper durch plasmaätzen | |
| EP2576065B1 (de) | Flusszelle mit hohlraum und diaphragma | |
| DE69532741T2 (de) | Miniaturisierte vollintegrierte planare flüssigkeitsprobenhandhabungs- und analysevorrichtung | |
| EP1216141B1 (de) | Verfahren zum fremdstofffreien verbinden von zwei werkstücken aus kunststoff | |
| DE10309583A1 (de) | Mikroplatte mit einem integrierten mikrofluidischen System zum parallelen Verarbeiten winziger Fluidvolumen | |
| EP3143119B1 (de) | Vorrichtung und verfahren zum aufbereiten einer biologischen probe und analysesystem zum analysieren einer biologischen probe | |
| DE102012206042A1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur gezielten Prozessführung in einem Mikrofluidik-Prozessor mit integrierten aktiven Elementen | |
| EP2248588B1 (de) | Montier- und demontierbares Mikrofluidiksystem und Verfahren zur Flutung des Systems | |
| DE19910392B4 (de) | Mikrosäulenreaktor | |
| LU505730B1 (de) | Eine zellelektrofusionschipvorrichtung und präparationsverfahren basierend auf einer anordnung von gepaarten strukturen mit bilateralen flussfeldern | |
| EP1333937B1 (de) | Verfahren zum verbinden von kunststoffteilen | |
| DE19851644B4 (de) | Verfahren zum Verbinden von mikrostrukturierten Werkstücken aus Kunststoff sowie Verwendung des Verfahrens zur Herstellung von Bauteilen | |
| DE102004037059B4 (de) | Prozessleitmodul für die Mikroverfahrenstechnik | |
| EP2525225B1 (de) | Vorrichtung und Verfahren zur Untersuchung der Differenzierung von Zellen | |
| EP1579982B1 (de) | Verfahren zum flächigen Quellschweissen eines Kunststoffkörpers mit einem weiteren Körper | |
| WO2022175361A1 (de) | Mikrofluidisches system aus einer gefalteten folie und herstellungsverfahren | |
| DE10153663B4 (de) | Mikroanalytische Vorrichtung zum Erfassen von Nahe-Infrarot-Strahlung emittierenden Molekülen | |
| DE19652823A1 (de) | Strukturierter Polytetrafluorethylen-Spacer | |
| EP2769767A2 (de) | Nicht-planarer Formkörper, Verfahren zu seiner Herstellung, seine Verwendung, Verfahren zur Herstellung eines Mikrogerüsts und dessen Verwendung |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| 8139 | Disposal/non-payment of the annual fee |