DE19820345A1 - Verfahren zur Herstellung fester, gut lötfähiger und planer Lotdepots auf Leiterplatten - Google Patents
Verfahren zur Herstellung fester, gut lötfähiger und planer Lotdepots auf LeiterplattenInfo
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Abstract
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung fester, gut lötfähiger und planer Lotdepots (11) auf Leiterplatten mit voneinander getrennten freiliegenden metallischen Leiterzügen (3) und Metallflächen (1, 2), die ihrerseits auf einem isolierenden Träger (5) angeordnet sind und einen Oberflächenschutz (4) für die nicht zu behandelnden Metallflächen aufweisen, indem die Lotdepots (11) galvanisch mittels Strom abgeschieden werden, bei dem DOLLAR A a) auf der gesamten Oberfläche der Leiterplatte eine zusätzliche Verbundschicht (6, 7) aufgebracht wird, DOLLAR A b) die zusätzliche Verbundschicht (6, 7) aus einer elektrisch leitfähigen Schicht (6) und einer dielektrischen Schicht (7) besteht, wobei die leitfähige Schicht (6) aus einer polymeren Matrix und elektrisch leitfähigen Partikeln und die dielektrische Schicht (7) aus einem Polymer besteht, DOLLAR A c) die Verbundschicht (6, 7) im gesamten Volumen fotosensitiv ist, daß sie mit üblichen Verfahren in einem Schritt durch einen fotolithografischen Prozeß so entfernt werden kann, daß über den Metallflächen Kavitäten entstehen, DOLLAR A d) in die bei Schritt c) gebildeten Kavitäten galvanotechnisch unter Stromleitung durch die leitfähige Schicht (6) ein oder mehrere Schichten aufzutragender galvanisch abscheidbarer Materialien abgeschieden werden, DOLLAR A e) die Verbundschicht (6, 7) in einem Arbeitsgang vollständig von der Leiterplatte entfernt wird, wobei die Lotdepots (8) auf den Metallflächen verbleiben, DOLLAR A nach DE 19716044.1, wobei für die ...
Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung fester, gut lötfähiger und planer Lotdepots auf
Leiterplatten nach DE 197 16 044.1 A1 gemäß dem Oberbegriff des Anspruches 1.
Leiterplatten enthalten auf ihrer Oberfläche Pads (Kupferflächen), auf die unter Verwendung von
Zinn-Blei-Lot Bauelemente aufgelötet werden. Beim Aufschmelzlöten oberflächenmontierter
Bauelemente muß das notwendige Lot in Form eines Depots zur Verfügung gestellt werden. Die
Menge des Lotes muß sehr hoch sein, damit der Bauelementeanschluß gut umhüllt wird.
Für die Bestückung ausgelieferte Leiterplatten bestehen aus voneinander elektrisch getrennten
metallischen Leiterzügen und Metallflächen (Pads) auf isolierendem Träger. Die Leiterzüge sind
meist durch einen Oberflächenschutz (Lötstopplack), der sich mit Ausnahme der Pads über die
gesamte Leiterplattenfläche zieht, geschützt.
Der Auftrag der notwendigen Materialmenge des Lotes kann bekannterweise durch
galvanotechnische Verfahren erfolgen. Dazu muß jedoch die Oberfläche der Leiterplatte mit einer
leitfähigen Schicht, die wiederum strukturiert durch ein Dielektrikum abgedeckt werden muß,
überzogen werden.
In einem bekannten Verfahren (EP 0 726 698 A2) wird zur Herstellung von Lotbeschichtungen auf
Pads von Mikroleiterplatten die gesamte Leiterplatte mit einer leitfähigen Metallschicht überzogen.
Diese Metallschicht kann durch chemisch/galvanische Abscheidung von Metallen, wie Kupfer,
Gold u. a. oder durch Vakuumbedampfung (u. a. mit Aluminium) hergestellt werden. Nach einer
Abdeckung mit einem Dielektrikum und dessen Strukturierung, gegebenenfalls der strukturierten
Entfernung der Leitschicht wird galvanisch Zinn-Blei oder ein anderes Lot so abgeschieden, daß die
Menge nach dem Aufschmelzen den Raum zwischen der Lötabdeckung um das Pad ausfüllt und der
Meniskus über das Niveau der Lötabdeckung ragt. Zur Verbesserung der Wirtschaftlichkeit wird
nach DE 197 16 044.1 A1 die Leitschicht mittels metallgefüllter Polymere hergestellt. Dazu werden
zwei Varianten beschrieben. Eine Variante arbeitet mittels metallgefülltem Lack, bei der sich nach
dem Auftrag auf die Leiterplatte die Metallpartikel absetzen und damit die Oberfläche der
Leiterplatte elektrisch leitfähig machen, die Lackoberfläche jedoch dielektrisch isolierend bleibt.
Bei dieser Variante ist die Lackschichtdicke begrenzt, so daß zur Herstellung genügend hoher
Lotdepots über den Rand der dielektrischen Oberfläche des Lackes abgeschieden werden muß. Bei
der zweiten Variante des Verfahrens nach DE 197 16 044.1 A1 wird die Anwendung eines
vorkonfektionierten Fotofestresistes mit leitfähiger Unterseite vorgeschlagen. Die Anwendung
dieses Resistes ermöglicht hohe Lotdepot-Abscheidungen, ist aber an die Bereitstellung eines
vorkonfektionierten Spezialresistes gebunden.
Die Aufgabe der Erfindung besteht nun darin, ein Verfahren anzugeben, das mit handelsüblichen
Materialien den Aufbau einer strukturierbaren Leit- und dielektrischen Verbundschicht ermöglicht,
die gleichzeitig genügend Höhe zur Herstellung hoher Lotdepots hat und die Nachteile der
Bereitstellung teurer Spezialresiste vermeidet.
Erfindungsgemäß wird die Aufgabe durch die im Ansprach 1 angegebenen Verfahrensschritte
gelöst.
Auf die gesamte Oberfläche der strukturierten und mit Lötstopplack abgedeckten Leiterplatte wird
eine fotostrukturierbare Leitschicht als Paste aufgebracht. Damit werden die Pads auf der
Leiterplatte elektrisch kurzgeschlossen. Diese Paste besteht aus in einer Fotopolymermatrix
gelagerten elektrisch gut leitfähigen Feststoffpartikeln (z. B. Pulver aus Metallen, wie Silber,
Kupfer, Nickel o. ä., Kohlenstoff oder sonstigen leitfähigen Materialien). Sie kann durch Mischung
von Feststoffpulver und flüssigem Fotolack unmittelbar vor Anwendung selbst mit geringem
Aufwand vorbereitet werden. Der Fotolack muß die gleichen Fotoeigenschaften, wie der
nachfolgende Festresist haben (z. B. negativ arbeitend, wäßrig-alkalische Basis). Der Auftrag dieser
Paste kann durch übliche Schichttechnologien, wie Gießen, Spritzen, Rakeln oder ganzflächiges
Siebdrucken erfolgen. Diese Schicht wird zum Verdunsten des Lösungsmittels in geeigneter Form
getrocknet oder vorgehärtet. Auf diese Schicht wird danach in einem zweiten Arbeitsschritt ein
handelsüblicher Fotofestresist der notwendigen Dicke in üblicher Weise auflaminiert. Ein weiterer
Vorteil dieses Verfahrens ist, daß durch die in pastöser Form aufgebrachte Leitschicht bereits die
typischen Unebenheiten der Leiterplattenoberfläche weitgehend ausgeglichen werden können, so
daß Fotofestresist sich gut anpassen kann. Hohlräume zwischen Leiterplatte und Schichtaufbau
können dann nicht auftreten.
Beide Schichten werden dann, wie in DE 197 16 044.1 A1 beschrieben, durch den bekannten
fotolithografischen Prozeß in einem Arbeitsschritt strukturiert. Dabei wird durch Belichtung mit
UV-Licht sowohl der Fotofestresist, als auch das Matrixpolymer der Leitschicht so verändert, daß
durch ein geeignetes Lösemittel an den vorgesehenen Stellen beide Teile der Schicht entfernt und
die Leitpartikel abgeschwemmt werden. In die entstandenen Kavitäten werden dann nach den in DE
197 16 044.1 A1 beschriebenen Verfahren galvanotechnisch eine oder mehrere Schichten der
aufzutragenden Materialien abgeschieden. Damit entsteht das feste Lotdepot, das entsprechend der
vorgegebenen Dicke des Fotofestresistes einen hohen Aufbau mit geraden Flanken hat.
Leit- und Deckschicht können danach ebenfalls wie nach DE 197 16 044.1 A1 in einem
Arbeitsgang durch milde Löseverfahren (Strippverfahren) wieder entfernt werden. Die so
behandelte Leiterplatte enthält auf den Pads freistehende Lotdepots mit planer Oberfläche aus den
galvanisch abgeschiedenen Materialien und wird dann direkt ihrer Bestimmung (Bestückung,
Löten) zugeführt.
Im Gegensatz zu den bekannten Lösungen können mit dem erfindungsgemäßen Verfahren mit
einem geringen Arbeitsaufwand und handelsüblichen Fotoresistmaterialien feste Lotdepots mit
hohen Abmessungen hergestellt werden. Eine Abhängigkeit von zu entwickelnden Spezialresisten
entfällt. Selbst das notwendige Mischen des Materials der Leitschicht kann vom Anwender selbst
durchgeführt werden. Das Verfahren zeichnet sich damit im Gegensatz zu den bekannten Lösungen
durch wenige Arbeitsschritte (Auftrag der Leitschicht, Lamination des Festresistes,
fotolithografische Strukturierung, Galvanisierung, Strippen des Gesamtaufbaues) bei gleichzeitige
guter Verfügbarkeit der Ausgangsmaterialien aus. Das Verfahren ist ebenfalls geeignet, andere
galvanisch herstellbare Materialaufbauten auf vereinzelt liegenden Metallflächen zu realisieren.
Die Erfindung wird zunächst nachstehend anhand der Zeichnung erläutert:
In den Fig. 1-6 wird die Abfolge des erfindungsgemäßen Verfahrens bis zum Vorliegen der erfindungsgemäßen Leiterplatte dargestellt.
In den Fig. 1-6 wird die Abfolge des erfindungsgemäßen Verfahrens bis zum Vorliegen der erfindungsgemäßen Leiterplatte dargestellt.
Fig. 1 zeigt zunächst eine typische Leiterplatte im Querschnitt, auf der die zu galvanisierenden
Metallflächen (Pads 1) für die Aufnahme der Lotdepots 11 und nicht zu galvanisierende
Metallflächen 2 bzw. durch Lötstopplack 4 abgedeckte Leiterzüge 3 auf dem Träger 5 dargestellt
sind.
Fig. 2 stellt die Ablagerung der strukturierbaren Leitschicht 6 in Form einer Paste dar. Diese Paste
besteht aus einer Matrix aus Fotopolymer, in die leitfähige Partikel so eingebettet sind, daß durch
die Berührungsstellen eine Stromleitung erfolgen kann. Die leitfähigen Partikel können aus
Metallpartikeln, wie z. B. Silber, Kupfer, Nickel, oder aus sonstigen leitfähigen Partikeln, wie Ruß,
Graphit bestehen, wie sie in üblichen Leitlacken, Dickschichtpasten o. ä. verwendet werden. Der
Auftrag der Schicht erfolgt durch Gießen, Rakeln, Spritzen oder Siebdruck.
In Fig. 3 wird zusätzlich der Fotofestresist 7, mit einer vor der Entwicklung abziehbaren Schutzfolie
8 dargestellt. Dieser Fotofestresist 7 wird in Pfeilrichtung auf die mit der Leitschicht 6 präparierte
Leiterplatte auflaminiert.
In Fig. 4 wurden die Leitschicht 6 und der Fotofestresist 7 in einem fotolithografischen Prozeß
(Belichten Entwickeln) so strukturiert, daß über den zu galvanisierenden Pads 1 beide Schichten
entfernt wurden. Die beiden fotosensitiven Schichten 6, 7 werden so mit UV-Licht durch eine
Fotovorlage belichtet, daß durch nachfolgende Entwicklung die zu galvanisierenden Flächen
freigelegt werden. Dabei löst sich die dielektrische Schicht und auch die Polymermatrix der
Leitschicht 6 an diesen Stellen. Die Leitschichtpartikel werden durch den Entwickler weggespült.
Es entstehen Kavitäten 9, in die später die Lotdepots eingebracht werden. Metallflächen oder Teile
davon, die nicht galvanisch beschichtet werden sollen 2, bleiben bedeckt, wenn dies bei der
Belichtung berücksichtigt wird. Die Fotovorlage muß so gestaltet sein, daß ein schmaler
Randbereich des Pads mit Leitschicht bedeckt bleibt 10. Damit ist gewährleistet, daß eine
Stromleitung während des Galvanisierens möglich ist.
Fig. 5 stellt die galvanische Abscheidung der Zinn-Blei-Legierung bzw. des Lotdepots 11 in die
Kavitäten 9 dar. Die mögliche Höhe der Beschichtung richtet sich nach der Dicke des Festresistes.
An Stelle eines Metalles oder einer Metallegierung (Zinn/Blei-Lot für Reflow-Lötverfahren) kann
auch ein sandwichartiger Metallaufbau aus verschiedenen galvanischen abscheidbaren Materialien
in die Kavitäten eingebracht werden, wie z. B. ein Aufbau aus Kupfer mit oberflächlicher Nickel-
Gold Abscheidung als Bondfläche oder palladiumbeschichtete Kontakte.
Fig. 6 stellt die fertige Leiterplatte im Querschnitt dar. Die Reste der Leitschicht und des
Fotofestresistes wurden durch einen Löseprozeß (Strippen) rückstandslos entfernt (gelöst, chemisch
zerstört bzw. abgeschwemmt). Die damit freistehenden Lotdepots haben eine ausreichende Höhe,
um die problemlose Kontaktierung der Bauelemente 12 zu ermöglichen. Überhänge, die dann
entstehen, wenn die Resistschichtdicke nicht ausreicht, um genügend hohe Lotdepots zu erzeugen,
existieren nicht. Diese Lotdepots eignen sich besonders gut zum optimalen Aufsetzen vielpoliger
Finepitch-SMD-Bauelemente, die dann durch Reflow-Löten kontaktiert werden sollen.
Nachfolgend wird die Erfindung anhand eines Ausführungsbeispieles noch näher erläutert.
Auf die Leiterplatte wird ein mit 80% Metallpulver gefüllter wäßrig-alkalisch entwickelbarer
Negativ-Fotolack, wie er üblicherweise z. B. zur Strukturierung von Innenlagen in der
Multilayertechnik verwendet wird, mit einem Rakel aufgetragen. Diese Schicht wird 30 min an der
Luft getrocknet. Danach wird bei einer Temperatur von 110°C ein handelsüblicher Fotofestresist 7
der Dicke 40 bis 50 µm laminiert. Beide Schichten 6, 7 werden gleichzeitig mit UV-Licht durch
eine Fotoschablone belichtet. Durch Entwicklung mittels alkalisch-wäßrigen Entwickler (1%ige
Sodalösung) werden Kavitäten 9 über den Pads 1 so freigelegt, daß an ihrer Basis die
Kupferoberfläche des Pads 1 frei liegt. In diese Kavitäten 9 kann dann durch Anlegen eines
elektrischen Stromes an den Außenkanten der Leiterplatte, in der in DE 197 16 044.1 A1
beschriebenen Art, eine Zinn-Blei-Legierung abgeschieden werden. Durch einen milden
Fotolackstripper (3-5% KOH, Triäthanolamin o. ä.) werden die Fotoresiste (die Negativ-
Fotolackmatrix und der Fotofestresist) gleichzeitig entfernt und damit auch das Metallpulver
abgeschwemmt, die Leiterplatte durch Spülen mit Wasser gereinigt und getrocknet. Diese
Leiterplatte kann dann direkt mit SMD-Bauelementen im Reflow-Verfahren bestückt werden.
1
Pad
2
Metallfläche
3
Leiterzug
4
Lötstopplack
5
Träger
6
Leitschicht
7
Fotofestresist
8
Schutzfolie
9
Kavität
10
Padrand
11
Lotdepot
12
Bauelement
Claims (1)
- Verfahren zur Herstellung fester, gut lötfähiger und planer Lotdepots (11) auf Leiterplatten mit voneinander getrennten freiliegenden metallischen Leiterzügen (3) und Metallflächen (1, 2), die ihrerseits auf einem isolierenden Träger (5) angeordnet sind und einen Oberflächenschutz (4) für die nicht zu behandelnden Metallflächen aufweisen, indem die Lotdepots (11) galvanisch mittels Strom abgeschieden werden, bei dem
- a) auf der gesamten Oberfläche der Leiterplatte eine zusätzliche Verbundschicht (6, 7) aufgebracht wird,
- b) die zusätzliche Verbundschicht (6, 7) aus einer elektrisch leitfähigen Schicht (6) und einer dielektrischen Schicht (7) besteht, wobei die leitfähige Schicht (6) aus einer polymeren Matrix und elektrisch leitfähigen Partikeln und die dielektrische Schicht (7) aus einem Polymer besteht,
- c) die Verbundschicht (6, 7) im gesamten Volumen fotosensitiv ist, daß sie mit üblichen Verfahren in einem Schritt durch einen fotolithografischen Prozeß so entfernt werden kann, daß über den Metallflächen Kavitäten entstehen,
- d) in die bei Schritt c) gebildeten Kavitäten galvanotechnisch unter Stromleitung durch die leitfähige Schicht (6) ein oder mehrere Schichten aufzutragender galvanisch abscheidbarer Materialien abgeschieden werden,
- e) die Verbundschicht (6, 7) in einem Arbeitsgang vollständig von der Leiterplatte entfernt wird, wobei die Lotdepots (8) auf den Metallflächen verbleiben,
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE1998120345 DE19820345C2 (de) | 1997-04-17 | 1998-05-07 | Verfahren zum selektiven galvanischen Aufbringen von Lotdepots auf Leiterplatten |
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE1997116044 DE19716044C2 (de) | 1997-04-17 | 1997-04-17 | Verfahren zum selektiven galvanischen Aufbringen von Lotdepots auf Leiterplatten |
| DE1998120345 DE19820345C2 (de) | 1997-04-17 | 1998-05-07 | Verfahren zum selektiven galvanischen Aufbringen von Lotdepots auf Leiterplatten |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE19820345A1 true DE19820345A1 (de) | 1999-11-25 |
| DE19820345C2 DE19820345C2 (de) | 2000-05-25 |
Family
ID=26035849
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE1998120345 Expired - Fee Related DE19820345C2 (de) | 1997-04-17 | 1998-05-07 | Verfahren zum selektiven galvanischen Aufbringen von Lotdepots auf Leiterplatten |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| DE (1) | DE19820345C2 (de) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102011050722A1 (de) * | 2011-05-30 | 2012-12-06 | Karlsruher Institut für Technologie | Verfahren zur Herstellung von mikrostrukturierten Oberflächen |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0726698A2 (de) * | 1995-02-13 | 1996-08-14 | International Business Machines Corporation | Verfahren zum selektiven Auftragen von Lötmetall auf Schaltungspackungen |
-
1998
- 1998-05-07 DE DE1998120345 patent/DE19820345C2/de not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0726698A2 (de) * | 1995-02-13 | 1996-08-14 | International Business Machines Corporation | Verfahren zum selektiven Auftragen von Lötmetall auf Schaltungspackungen |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102011050722A1 (de) * | 2011-05-30 | 2012-12-06 | Karlsruher Institut für Technologie | Verfahren zur Herstellung von mikrostrukturierten Oberflächen |
| DE102011050722B4 (de) * | 2011-05-30 | 2013-11-28 | Karlsruher Institut für Technologie | Verfahren zur Herstellung eines mehrschichtigen Aufbaus mit einer mikrostrukturierten Oberfläche |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE19820345C2 (de) | 2000-05-25 |
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