DE19750897A1 - Halbleitereinrichtung und zugehöriges Herstellungsverfahren - Google Patents

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Halbleiterein­ richtung und ein zugehöriges Herstellungsverfahren, und insbe­ sondere auf einen Bipolartransistor mit isoliertem Gate (später einfach bezeichnet als "IGBT", Insulated Gate Bipolar Transi­ stor) eines senkrechten Typs mit einer planaren Gatestruktur.

Im allgemeinen wurde ein IGBT weit verbreitet als ein Element zum Kontrollieren eines Motors oder zum Schalten eines Inver­ ters oder dergleichen genutzt. Ein IGBT ist ein Spannungstrei­ berelement, das sowohl die Eigenschaft einer niedrigen Sätti­ gungsspannung des Bipolartransistors als auch die Eigenschaft eines Hochgeschwindigkeitsschaltens des MOSFET hat. Ein IGBT ist darin charakterisiert, daß der Verlust an Treiberleistung und der Verlust bei einem AN/AUS-Schalten klein ist. In der letzten Zeit wurde ein IGBT weit verbreitet benutzt, da er eine Ein­ richtungsstruktur hat, die es erlaubt, eine AN-Spannung zu ver­ ringern durch Miniaturisieren des MOSFET, der an der Chip- Oberfläche gebildet ist, und den Grad der Integration des MOS- FET zu verbessern.

Ein IGBT des senkrechten Typs mit einer planaren Gatestruktur ist hier erwähnt als ein Beispiel eines herkömmlichen IGBT und die zugehörige Struktur wird im folgenden beschrieben. Fig. 15 ist eine Querschnittsansicht, die einen n-Kanal-IGBT mit einer herkömmlichen planaren Gatestruktur zeigt.

Es wird auf die Fig. 15 Bezug genommen; ein n-Driftbereich 1 ist auf einer Seite einer ersten Hauptoberfläche 14a eines Halbleitersubstrats 14 gebildet, und ein p-Basisbereich 2 ist selektiv in einem n-Driftbereich 1 gebildet. Ein n-Emitter­ bereich 3 ist selektiv in dem p-Basisbereich 2 gebildet. Ein Bereich, der nach Sandwichart zwischen dem n-Driftbereich 1 und dem n-Emitterbereich 3 eingeschlossen ist, sich innerhalb des p-Basisbereichs 2 befindet und die erste Hauptoberfläche 14a erreicht, wird als ein Kanalbildungsbereich 4 bezeichnet. Eine dielektrische Gateschicht 5 ist auf der ersten Hauptoberfläche 14a gebildet zum Bedecken des Kanalbildungsbereichs 4. Die di­ elektrische Gateschicht 5 erstreckt sich von einem Abschnitt oberhalb des n-Emitterbereiches 3 zu einem Abschnitt oberhalb des n-Driftbereiches 1.

Der p-Basisbereich 2 und der n-Emitterbereich 3 sind durch eine Metallelektrodenschicht 8 (Emitterelektrode) kurzgeschlossen. Der p-Basisbereich 2 und die Metallelektrodenschicht 8 wie auch der Emitterbereich 3 und die Metallelektrodenschicht 8 stehen in ohmschen Kontakt zueinander. Ein p-Kollektorbereich 10 ist auf einer Seite einer zweiten Hauptoberfläche 14b des Halblei­ tersubstrats 14 gebildet. Eine Metallelektrodenschicht (Kollektorelektrode) 11 ist auf der zweiten Hauptoberfläche 14b derart gebildet, daß die Metallelektrodenschicht 11 in ohmschen Kontakt mit dem p-Kollektorbereich 10 steht.

Ein Betrieb eines n-Kanal-IGBT mit der oben beschriebenen Struktur wird nun beschrieben. Vier Vorgänge, insbesondere ein Übergangsvorgang von einem ausgeschalteten (AUS-) Zustand zu einem Leitungs-(AN) Zustand, ein Gleichgewichtszustand und ein Übergangsvorgang von dem AN-Zustand zu dem AUS-Zustand werden entsprechend im folgenden beschrieben.

(1) Der Übergangsvorgang vom AUS-Zustand zum AN-Zustand

Eine positive (+) Spannung wird an die Gateelektrode 6 ange­ legt, während eine Spannung, die relativ zur Spannung an der Emitterelektrode 8 positiv ist, an die Kollektorelektrode 11 angelegt wird. Demgemäß wird ein Kanal, der in den n-Typ inver­ tiert (umgekehrt) ist, am Kanalbildungsbereich 4 gebildet, der sich im p-Basisbereich 2 befindet. Durch diesen n-Kanal wird ein Elektron als einer der Ladungsträger vom n-Emitterbereich 3 in den n-Driftbereich 1 injiziert und das Elektron fließt zum p-Kollektorbereich 10. Wenn das Elektron den p-Kollektorbereich 10 erreicht, wird ein Loch als einer der Ladungsträger vom p-Kollektorbereich 10 in den n-Driftbereich 1 injiziert. Das Loch fließt zum n-Emitterbereich 3, an dem eine relativ negative Spannung angelegt ist, und das Loch erreicht einen Ort, an dem der n-Kanal mit dem n-Driftbereich 1 in Kontakt steht. Dieser Vorgang wird als ein Speichervorgang bezeichnet, und die Zeit, die für diesen Vorgang benötigt wird, wird als eine Einschalt­ verzögerungszeit (td(AN)) bezeichnet. Der Verlust an elektri­ scher Leistung in diesem Vorgang ist extrem klein und vernach­ lässigbar.

Genügend Ladungsträger werden danach gemäß dem Potential, das zwischen der Emitterelektrode 8 und der Kollektorelektrode 11 angelegt ist, gespeichert und ein Zustand niedrigen Widerstan­ des, der als Leitfähigkeits-Modulation bezeichnet wird, stellt sich aufgrund eines Elektronlochpaares ein. Demgemäß vervoll­ ständigt sich der Einschalt-Betrieb. Dieser Vorgang wird ein Anstiegsvorgang genannt und die Zeit, die für diesen Vorgang benötigt wird, wird Anstiegszeit (t(Anstieg)) genannt. Der Ver­ lust an elektrischer Leistung in diesem Vorgang ist relativ groß.

(2) Gleichgewichtszustand

Der Gleichgewichtszustand nach dem Vervollständigen des Ein­ schaltbetriebs wird AN-Zustand genannt und die Spannung, die auftritt, wenn ein Strom von 100 A/cm² fließt, wird AN-Spannung genannt. Der Leistungsverlust in diesem Zustand wird AN-Verlust oder Gleichgewichtsverlust genannt und wird durch das Produkt des Vorwärtsspannungsabfalls, der durch eine Widerstandskompo­ nente verursacht wird, und dem Leitungsstrom ausgedrückt. Der Leistungsverlust im AN-Zustand ist im allgemeinen außergewöhn­ lich groß. Die Widerstandskomponente im AN-Zustand wird durch die Summe der zugehörigen Widerstandskomponenten erhalten, die am Stromweg der Einrichtung oder zwischen der Emitterelektrode 8 und der Kollektorelektrode 11 existieren. Der Stromweg der Einrichtung ist in die Querschnittsansicht des IGBT in Fig. 15 eingefügt und gemeinsam in Fig. 16 gezeigt.

Es wird auf Fig. 16 Bezug genommen; O, E und G dieser Figur re­ präsentieren entsprechend Enden von Elektroden des Kollektors, des Emitters und des Gates. Ferner repräsentieren Ic, Ih und Ie entsprechend den Kollektorstrom des IGBT, den Lochstrom, der vom n-Driftbereich 1 in den p-Basisbereich 2 fließt, und den Elektronenstrom, der vom n-Driftbereich 1 in den n-Emitter­ bereich 3 durch den Kanalbildungsbereich 4 fließt. Wie in Fig. 16 gezeigt ist, kann die Gesamtwiderstandskomponente R, die die AN-Spannung beeinflußt, durch die folgende Gleichung ausge­ drückt werden.

R = Rcn + Rn + Rch + Ra + R_JFET + Rd + Rdiode + Rs + Rcp

In der oben erwähnten Gleichung ist Rcn der Kontaktwiderstand zwischen dem n-Emitterbereich 3 und der Metallelektrodenschicht 8, Rn ist der Widerstand des n-Emitterbereichs 3, Rch ist der Widerstand des Kanals, Ra ist der Widerstand der Speicher­ schicht, R_JFET ist eine Widerstandskomponente, die auf dem JFET (Junction-FET, Übergangs-FET)-Effekt zurückzuführen ist, Rd ist der Widerstand des n-Driftbereichs 1, Rdiode ist der Vorwärts­ spannungsabfall der Diode zwischen dem p-Kollektorbereich 10 und dem n-Driftbereich 1, Rs ist der Widerstand des p-Kollektorbereichs 10 und Rcp ist der Kontaktwiderstand zwischen dem p-Kollektorbereich 10 der Metallelektrodenschicht 11.

(3) Übergangsvorgang vom AN-Zustand zum AUS-Zustand

Der AUS-Zustand wird verursacht durch das Anlegen einer Span­ nung maximal einer Größe der Schwellenspannung, wie zum Bei­ spiel einer negativen (-) Spannung an die Gateelektrode 6. Wenn das Potential an der Gateelektrode 6 gleich groß wie oder klei­ ner als die Schwellenspannung ist, verschwindet der n-Kanal, der im AN-Zustand gebildet ist. Demgemäß hört die Lieferung von Elektronen vom n-Emitterbereich 3 zum n-Driftbereich 1 auf. Dieser Vorgang wird als Speichervorgang bezeichnet und die Zeit, die für diesen Vorgang benötigt wird, wird Speicherzeit oder Ausschaltverzögerungszeit (td(AUS)) genannt. Der Lei­ stungsverlust während dieses Vorgangs ist extrem klein und ver­ nachlässigbar. Da die Lieferung von Elektronen beendet wird, nimmt die Dichte von Elektronen allmählich ab, von einem Be­ reich in der Nachbarschaft des n-Emitterbereichs 3 ausgehend. Demgemäß nimmt auch die Anzahl der Löcher ab, die in den n-Driftbereich 1 zum Aufrechterhalten eines elektrisch neutralen Zustands injiziert werden.

Da sich der p-Basisbereich 2 und der n-Driftbereich 1 in einem Sperrspannungszustand befinden, beginnt sich eine Verarmungs­ schicht an einer Grenzfläche zwischen dem p-Basisbereich 2 und dem n-Driftbereich 1 auszubreiten. Die Verarmungsschicht hat eine Dicke, die einer Spannung entspricht, welche zwischen der Kollektorelektrode 11 und der Emitterelektrode 8 angelegt ist. Dieser Vorgang wird Abnahmevorgang genannt, die Zeit, die für diesen Vorgang benötigt wird, wird Abnahmezeit genannt und der Leistungsverlust während dieses Vorgangs wird Abnahmeverlust genannt. Der Leistungsverlust während dieses Zeitraums ist gleich groß wie oder größer als der Einschaltverlust und der Gleichgewichtszustandsverlust. Löcher, die sich unter den La­ dungsträgern außerhalb des Verarmungsbereiches befinden, wan­ dern durch den Verarmungsbereich, wandern durch einen p⁺- Kontaktbereich mit einer hohen Konzentration im p-Basisbereich 2, der elektrisch kurzgeschlossen mit dem n-Emitterbereich 3 ist, und erreichen die Emitterelektrodenschicht 8. Daher ver­ schwinden alle Ladungsträger und das Ausschalten vervollstän­ digt sich. Dieser Vorgang wird ein Auslaufvorgang genannt, die Zeit, die für diesen Vorgang benötigt wird, wird Auslaufzeit genannt (t(Auslauf)) und der Leistungsverlust in diesem Vorgang wird Auslaufverlust genannt. Der Leistungsverlust während die­ ses Vorgangs ist extrem groß.

(4) AUS-Zustand

Der Gleichgewichtszustand nach dem Beenden des Ausschaltens wird AUS-Zustand genannt. Der Leistungsverlust, der durch das Produkt des Leckstroms in diesem Zustand und der Spannung zwi­ schen der Kollektorelektrode 11 und der Emitterelektrode 8 aus­ gedrückt wird, ist extrem klein im Vergleich zu anderen Lei­ stungsverlusten und ist vernachlässigbar.

Verschiedene Leistungsverluste treten in entsprechenden Vorgän­ gen des Leitens/Ausschaltens im herkömmlichen IGBT, wie oben beschrieben, auf. Um eine hohe Leistungsfähigkeit eines IGBT zu erreichen, ist die Verringerung eines jeden der genannten Ver­ luste erwünscht. Die Erfinder der Gegenstände dieser Anmeldung lenken die Aufmerksamkeit auf den Leistungsverlust im AN-Zustand mit einem extrem hohen Wert im Vergleich zu anderen Verlusten. Es ist ausreichend, die AN-Spannung zu verkleinern, um den Leistungsverlust im AN-Zustand zu verringern.

Im herkömmlichen IGBT des planaren Gatetyps, der in Fig. 15 ge­ zeigt ist, kann die AN-Spannung etwas reduziert werden durch ein maßstabsgetreues Verkleinern des IGBT. Der Grund dafür ist, daß jede Komponente des IGBT hauptsächlich in senkrechter Rich­ tung mit Bezug auf die Fig. 16 durch das maßstabsgetreue Ver­ kleinern verkürzt wird, was zu einer Verringerung der Wider­ standskomponente führt. Jedoch ist das maßstabsgetreue Verklei­ nern begrenzt und eine ausreichende Verringerung der AN-Spannung ist schwierig.

Ein anderes Verfahren zum Reduzieren der AN-Spannung ist das Verkleinern der Konzentration des p-Basisbereichs 2. Jedoch könnte die Erscheinung des unerwünschten Sperrens (Latch-up) auftreten durch das Verringern der Konzentration des p-Basisbereichs 2. Wenn die Erscheinung des unerwünschten Sper­ rens auftritt, werden Elektronen direkt vom n-Emitterbereich 3 in den p-Basisbereich 2 injiziert, falls der Spannungsabfall, wenn der Lochstrom Ih vom n-Driftbereich 1 zum p-Basisbereich 2 fließt, die Kontaktspannung des npn-Bipolartransistors über­ schreitet, der aus dem n-Emitterbereich 3, dem p-Basisbereich 2 und dem n-Driftbereich 1 besteht. Sobald das unerwünschte Sper­ ren auftritt, kann der Strom, der durch den IGBT aufgrund der an der Gateelektrode 6 angelegten Spannung fließt, nicht kon­ trolliert werden und der IGBT kann beschädigt werden.

Das Verringern der AN-Spannung ohne Verursachen der Erscheinung des unerwünschten Sperrens ist schwierig in der herkömmlichen Halbleitereinrichtung, wie sie oben beschrieben ist. Die vor­ liegende Erfindung ist gemacht, um dieses Problem zu lösen.

Eine Aufgabe dieser Erfindung ist es, eine Halbleitereinrich­ tung und ein zugehöriges Herstellungsverfahren anzugeben, die es ermöglichen, die AN-Spannung effektiv zu verringern, ohne das unerwünschte Sperren zu verursachen.

Diese Aufgabe wird gelöst durch eine Halbleitereinrichtung nach Anspruch 1 und ein zugehöriges Herstellungsverfahren nach An­ spruch 8 bzw. 9.

Weiterbildungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen ange­ geben.

Eine Halbleitereinrichtung gemäß einer Ausführungsform der Er­ findung hat eine Struktur, in der eine erste und eine zweite Hauptoberfläche entgegengesetzt zueinander vorgesehen sind und der Strom, der zwischen der ersten und der zweiten Hauptober­ fläche fließt, geleitet/gesperrt wird. Die Halbleitereinrich­ tung gemäß einer Ausführungsform dieser Erfindung weist folgen­ des auf: Ein Halbleitersubstrat mit einer ersten und einer zweiten Hauptoberfläche; einen ersten Dotierstoffbereich eines ersten Leitungstyps (z. B. n-Typ); einen zweiten Dotierstoffbe­ reich eines zweiten Leitungstyps (z. B. p-Typ); einen dritten Dotierstoffbereich des ersten Leitungstyps; einen Kanalbil­ dungsbereich; eine dielektrische Gateschicht; eine Gateelektro­ de; ein Vorwärts-Vorspannungsmittel; und einen vierten Dotier­ stoffbereich des Leitungstyps. Der erste Dotierstoffbereich ist derart geformt, daß er sich von der ersten Hauptoberfläche in das Halbleitersubstrat erstreckt. Der zweite Dotierstoffbereich ist derart geformt, daß er sich von der ersten Hauptoberfläche in den ersten Dotierstoffbereich erstreckt. Der dritte Dotier­ stoffbereich ist derart geformt, daß er sich von der ersten Hauptoberfläche in den zweiten Dotierstoffbereich erstreckt. Der Kanalbildungsbereich befindet sich in dem zweiten Dotier­ stoffbereich und erreicht die erste Hauptoberfläche. Die di­ elektrische Gateschicht ist auf der ersten Hauptoberfläche der­ art geformt, daß sie den Kanalbildungsbereich bedeckt. Die Ga­ teelektrode hat einen Abschnitt entgegengesetzt zu dem Kanal­ bildungsbereich mit der dielektrischen Gateschicht dazwischen. Das Vorwärts-Vorspannungsmittel legt eine Vorwärts-Vorspannung am pn-Übergang zwischen dem zweiten und dem dritten Dotier­ stoffbereich während des Leitens an. Der vierte Dotierstoffbe­ reich ist derart geformt, daß er sich von der zweiten Haupt­ oberfläche in das Halbleitersubstrat erstreckt.

Das Vorwärts-Vorspannungsmittel, das für die Halbleitereinrich­ tung gemäß einer Ausführungsform der Erfindung vorgesehen ist, ermöglicht es, eine Vorwärts-Vorspannung an den pn-Übergang zwischen dem zweiten und dem dritten Dotierstoffbereich während des Leitens anzulegen. Demgemäß kann das Potential des zweiten Dotierstoffbereiches vergrößert werden, und das Injizieren von Elektronen vom dritten Dotierstoffbereich in den zweiten Do­ tierstoffbereich kann gefördert werden. Das vergrößerte Poten­ tial des zweiten Dotierstoffbereiches vergrößert auch das Po­ tential des pn-Übergangs zwischen dem ersten und dem zweiten Dotierstoffbereich. Ferner kann das Injizieren von Löchern von dem viertem Dotierstoffbereich in den zweiten Dotierstoffbe­ reich durch den ersten Dotierstoffbereich gefördert werden. Als eine Folge kann die Konzentration der Ladungsträger in dem er­ sten und dem zweiten Dotierstoffbereich vergrößert werden. Der Widerstand der Halbleitereinrichtung während des Leitens kann auf diese Weise verringert werden, wobei die AN-Spannung der Halbleitereinrichtung verringert wird.

Vorzugsweise ist die Spannung, die an den pn-Übergang zwischen dem zweiten und dritten Dotierstoffbereich durch das Vorwärts- Vorspannungsmittel angelegt ist, kleiner als die Kontaktspan­ nung des pn-Übergangs.

Falls die Spannung, die an den pn-Übergang zwischen dem zweiten und dem dritten Dotierstoffbereich durch das Vorwärts-Vorspan­ nungsmittel angelegt ist, kleiner ist als die Kontaktspannung des pn-Übergangs, kann ein unerwünschtes Sperren effektiv ver­ hindert werden.

Die Halbleitereinrichtung gemäß einer Ausführungsform der Er­ findung kann ferner eine erste Elektrodenschicht, eine zweite Elektrodenschicht, eine Gleichstromquelle und eine dritte Elek­ trodenschicht aufweisen. Die erste Elektrodenschicht ist elek­ trisch mit dem zweiten Dotierstoffbereich verbunden und auf der ersten Hauptoberfläche des Halbleitersubstrats gebildet. Die zweite Elektrodenschicht ist elektrisch mit dem dritten Dotier­ stoffbereich verbunden und auf der ersten Hauptoberfläche des Halbleitersubstrats gebildet. Die Gleichstromquelle ist elek­ trisch mit der ersten und der zweiten Elektrodenschicht verbun­ den, funktioniert als das Vorwärts-Vorspannungsmittel und hält das Potential des zweiten Dotierstoffbereiches auf einem rela­ tiv höheren Niveau als das Potential des dritten Dotierstoffbe­ reiches. Die dritte Elektrodenschicht ist elektrisch mit dem vierten Dotierstoffbereich verbunden und auf der zweiten Hauptoberfläche gebildet.

Falls die erste Elektrodenschicht, die elektrisch mit dem zwei­ ten Dotierstoffbereich verbunden ist, wie auch die zweite Elek­ trodenschicht, die elektrisch mit dem dritten Dotierstoffbe­ reich verbunden ist, gebildet sind und eine Gleichstromlei­ stungsversorgungseinheit, die elektrisch mit der ersten und der zweiten Elektrodenschicht verbunden ist, vorgesehen ist, kann die Gleichstromleistungsversorgungseinheit als Vorwärts- Vorspannungsmittel, das oben beschrieben ist, verwendet werden. Demgemäß kann die AN-Spannung verringert werden.

Vorzugsweise besteht die erste Elektrodenschicht aus einer Me­ tallschicht, die derart gebildet ist, daß sie in ohmschen Kon­ takt mit der Oberfläche des zweiten Dotierstoffbereiches steht. Die zweite Elektrodenschicht besteht vorzugsweise aus einer Me­ tallschicht, die derart gebildet ist, daß sie in ohmschen Kon­ takt mit der Oberfläche des dritten Dotierstoffbereiches steht. Zwischen der ersten und der zweiten Elektrodenschicht ist vor­ zugsweise eine dielektrische Schicht derart gebildet, daß sie sich von einem Abschnitt oberhalb der ersten Hauptoberfläche erstreckt.

Wenn eine dielektrische Schicht zwischen der ersten und der zweiten Elektrodenschicht vorgesehen ist, kann die erste und die zweite Elektrodenschicht durch Isolieren getrennt werden. Als eine Folge kann das Potential des zweiten Dotierstoffberei­ ches vergrößert werden unter Verwenden der Gleichstromlei­ stungsversorgungseinheit, wobei die AN-Spannung der Halblei­ tereinrichtung verringert wird.

Die Halbleitereinrichtung gemäß einer Ausführungsform der Er­ findung kann ferner eine erste und eine zweite Elektroden­ schicht und ein Spannungsabfall-Mittel aufweisen. Die erste Elektrodenschicht ist elektrisch mit dem zweiten Dotierstoffbe­ reich verbunden und auf der ersten Hauptoberfläche gebildet. Das Spannungsabfall-Mittel funktioniert als das Vorwärts- Vorspannungsmittel und ist zwischen der ersten Elektroden­ schicht und dem zweiten Dotierstoffbereich angeordnet. Die zweite Elektrodenschicht ist elektrisch mit dem vierten Dotier­ stoffbereich verbunden und auf der zweiten Hauptoberfläche ge­ bildet.

Falls das Spannungsabfall-Mittel zwischen der ersten Elektro­ denschicht und dem zweiten Dotierstoffbereich vorgesehen ist, tritt ein Spannungsabfall auf, wenn ein Strom durch einen Ab­ schnitt, der dieses Spannungsabfall-Mittel aufweist, während des Leitens der Halbleitereinrichtung fließt. Das Potential des zweiten Dotierstoffbereiches kann auf einen höheren Wert ver­ größert werden als dasjenige des dritten Dotierstoffbereiches, und das Injizieren von Elektronen vom dritten Dotierstoffbe­ reich in den zweiten Dotierstoffbereich kann gefördert werden. Ferner kann das Injizieren von Löchern in den zweiten Dotier­ stoffbereich gefördert werden, wobei die Konzentration von La­ dungsträgern innerhalb des ersten und des zweiten Dotierstoff­ bereiches vergrößert wird. Als eine Folge kann der Widerstand der Halbleitereinrichtung während des Leitens verringert werden und die AN-Spannung der Halbleitereinrichtung kann verkleinert werden.

Eine Widerstandsschicht mit einem Widerstandswert, der größer ist als der Flächenwiderstandswert des zweiten Dotierstoffbe­ reiches, kann als das Spannungsabfall-Mittel eingesetzt sein.

Ein Schottky-Übergangsbereich kann zwischen dem zweiten Dotier­ stoffbereich und der ersten Elektrodenschicht als das Span­ nungsabfall-Mittel gebildet sein.

Eine Widerstandsschicht mit einem Widerstandswert, der größer ist als der Flächenwiderstandswert des zweiten Dotierstoffbe­ reiches, oder ein Schottky-Übergangsbereich können als das Spannungsabfall-Mittel, wie oben beschrieben, eingesetzt sein. Durch Vorsehen der Widerstandsschicht oder des Schottky-Über­ gangsbereiches, kann die AN-Spannung der Halbleitereinrichtung verringert werden, während das unerwünschte Sperren kontrol­ liert wird.

Die vorliegende Erfindung gibt eine Herstellungsmethode einer Halbleitereinrichtung mit einer Struktur an, in der eine erste und eine zweite Hauptoberfläche entgegengesetzt zueinander vor­ gesehen sind und ein Strom zwischen der ersten und der zweiten Hauptoberfläche geleitet/gesperrt wird. Das Herstellungsverfah­ ren einer Halbleitereinrichtung gemäß eines Aspektes der Erfin­ dung weist folgende Schritte auf. Ein Halbleitersubstrat mit einer ersten und einer zweiten Hauptoberfläche wird vorgesehen. Ein erster Dotierstoffbereich eines ersten Leitungstyps wird derart gebildet, daß er sich von der ersten Hauptoberfläche in das Halbleitersubstrat erstreckt. Ein zweiter Dotierstoffbe­ reich eines zweiten Leitungstyps wird derart gebildet, daß er sich von der ersten Hauptoberfläche in den ersten Dotierstoff­ bereich erstreckt. Ein dritter Dotierstoffbereich des ersten Leitungstyps wird derart gebildet, daß er sich von der ersten Hauptoberfläche in den zweiten Dotierstoffbereich erstreckt. Ein vierter Dotierstoffbereich des zweiten Leitungstyps wird derart vorgesehen, daß er sich von der zweiten Hauptoberfläche in das Halbleitersubstrat erstreckt. Eine dielektrische Gate­ schicht wird derart gebildet, daß sie einen Kanalbildungsbe­ reich bedeckt, der sich in dem zweiten Dotierstoffbereich be­ findet und die erste Hauptoberfläche erreicht. Eine Gateelek­ trode mit einem Abschnitt entgegengesetzt zum Kanalbildungsbe­ reich wird vorgesehen mit der dielektrischen Gateschicht dazwi­ schen. Eine erste Elektrodenschicht wird auf der ersten Haupt­ oberfläche derart gebildet, daß sie elektrisch mit dem zweiten Dotierstoffbereich verbunden ist. Die Oberfläche des dritten Dotierstoffbereiches wird durch Bemustern der ersten Elektro­ denschicht freigelegt. Eine dielektrische Schicht ist derart vorgesehen, daß sie die bemusterte erste Elektrodenschicht be­ deckt. Eine zweite Elektrodenschicht wird auf der dielektri­ schen Schicht und auf der Oberfläche des dritten Dotierstoffbe­ reiches gebildet. Eine dritte Elektrodenschicht wird auf der Oberfläche des vierten Dotierstoffbereiches gebildet. Eine Gleichstromleistungsversorgungseinheit wird derart vorgesehen, daß sie elektrisch mit der ersten und der zweiten Elektroden­ schicht verbunden ist.

In dem Herstellungsverfahren der Halbleitereinrichtung gemäß eines Aspektes der Erfindung werden die erste und die zweite Elektrodenschicht in getrennten Schritten gebildet und die die­ lektrische Schicht wird dazwischen vorgesehen. Die Gleichstrom­ leistungsversorgungseinheit kann derart angeordnet werden, daß sie elektrisch mit der ersten und der zweiten Elektrodenschicht verbunden ist. Demgemäß wird eine Halbleitereinrichtung, in der das unerwünschte Sperren vermieden wird und die AN-Spannung verringert werden kann, erhalten.

In einem Herstellungsverfahren einer Halbleitereinrichtung ge­ mäß eines anderen Aspektes der Erfindung werden folgende Schritte ausgeführt. Ein Halbleitersubstrat mit einer ersten und einer zweiten Hauptoberfläche wird vorgesehen. Ein erster Dotierstoffbereich eines ersten Leitungstyps wird derart gebil­ det, daß er sich von der ersten Hauptoberfläche in das Halblei­ tersubstrat erstreckt. Ein zweiter Dotierstoffbereich eines zweiten Leitungstyps wird derart geformt, daß er sich von der ersten Hauptoberfläche in den ersten Dotierstoffbereich er­ streckt. Ein dritter Dotierstoffbereich des ersten Leitungstyps wird derart vorgesehen, daß er sich von der ersten Hauptober­ fläche in dem zweiten Dotierstoffbereich erstreckt. Ein vierter Dotierstoffbereich des zweiten Leitungstyps wird derart vorge­ sehen, daß er sich von der ersten Hauptoberfläche in das Halb­ leitersubstrat erstreckt. Eine dielektrische Gateschicht wird derart gebildet, daß sie einen Kanalbildungsbereich bedeckt, der sich innerhalb des zweiten Dotierstoffbereiches befindet und die erste Hauptoberfläche erreicht. Eine Gateelektrode mit einem Abschnitt entgegengesetzt zum Kanalbildungsbereich wird gebildet mit der dielektrischen Gateschicht dazwischen. Ein Spannungsabfall-Abschnitt wird an der Oberfläche des zweiten Dotierstoffbereiches vorgesehen zum Verursachen des Spannungs­ abfalls. Eine erste Elektrodenschicht wird derart gebildet, daß sie sich von einem Abschnitt auf einer Oberfläche des dritten Dotierstoffbereiches zu einem Abschnitt auf dem Spannungsab­ fall-Abschnitt erstreckt. Eine zweite Elektrodenschicht wird auf der Oberfläche des vierten Dotierstoffbereiches gebildet.

In dem Herstellungsverfahren einer Halbleitereinrichtung gemäß des anderen Aspektes des Erfindung, wie oben beschrieben, wird der Spannungsabfall-Abschnitt an der Oberfläche des zweiten Do­ tierstoffbereiches vorgesehen. Eine Polysiliziumschicht, die Dotierstoffe niedriger Konzentration enthält, oder ein Schott­ ky-Übergangsbereich können als der Spannungsabfallabschnitt eingesetzt werden. Durch Vorsehen eines derartigen Spannungsab­ fall-Abschnittes kann eine Halbleitereinrichtung erhalten wer­ den, in der die Verringerung der AN-Spannung möglich ist. Da die Bildung der ersten und der zweiten Elektrodenschicht auf der ersten Hauptoberfläche in getrennten Schritten unnötig ist, wie sie in dem Verfahren gemäß des ersten Aspektes der Erfin­ dung erforderlich ist, kann der Vorgang im Vergleich zu demje­ nigen des ersten Aspektes der Erfindung vereinfacht werden.

Weitere Merkmale und Zweckmäßigkeiten der vorliegenden Erfin­ dung ergeben sich aus der folgenden Beschreibung von Ausfüh­ rungsformen der vorliegenden Erfindung unter Bezugnahme auf die beiliegenden Figuren. Von den Figuren zeigen:

Fig. 1 eine Querschnittsansicht, die einen n-Kanal-IGBT mit einer planaren Gatestruk­ tur zeigt, gemäß der ersten Ausführungs­ form der Erfindung;

Fig. 2 eine perspektivische Ansicht der Gleich­ stromleistungsversorgungseinheit gemäß der ersten Ausführungsform, die als ein Beispiel angegeben wird;

Fig. 3 bis 10 Querschnittsansichten, die entsprechend den ersten bis achten Schritt der Her­ stellung des in Fig. 1 gezeigten IGBT zeigen;

Fig. 11 einen Querschnitt, der einen n-Kanal-IGBT mit einer planaren Gatestruktur zeigt ge­ mäß der zweiten Ausführungsform der Er­ findung;

Fig. 12 eine Querschnittsansicht des in Fig. 11 gezeigten IGBT, welche einen charakteri­ stischen Vorgang der Herstellung des IGBT zeigt;

Fig. 13 eine Querschnittsansicht, die einen n-Kanal-IGBT mit einer planaren Gatestruk­ tur zeigt gemäß der dritten Ausführungs­ form;

Fig. 14 einen Querschnitt eines in Fig. 13 ge­ zeigten IGBT, welcher einen charakteri­ stischen Herstellungsvorgang veranschau­ licht;

Fig. 15 einen Querschnitt eines n-Kanal-IGBT mit einer herkömmlichen planaren Gatestruk­ tur, die als ein Beispiel angegeben wird;

Fig. 16 einen Stromweg des IGBT, der in Fig. 15 gezeigt ist.

Erste Ausführungsform

Es wird auf Fig. 1 bis 10 Bezug genommen; eine Beschreibung der ersten Ausführungsform der Erfindung wird nun gegeben. Fig. 1 ist ein Querschnitt, der einen n-Kanal-IGBT mit einer planaren Gatestruktur gemäß der ersten Ausführungsform zeigt.

Es wird auf Fig. 1 Bezug genommen; ein n-Driftbereich 1 ist auf einer Seite einer ersten Hauptoberfläche 14a eines Halbleiter­ substrats 14 vorgesehen. Das Halbleitersubstrat 14 kann ein Substrat aus einem intrinsischen Halbleiter sein oder kann aus einer Mehrzahl von Halbleiterschichten bestehen. Ein p-Basis­ bereich 2 ist derart gebildet, daß er sich von der ersten Hauptoberfläche 14a des Halbleitersubstrats 14 in den n-Driftbereich 1 erstreckt. Der p-Basisbereich 2 ist selektiv in dem n-Driftbereich 1 gebildet. Der n-Driftbereich 1 hat einen Abschnitt, der die erste Hauptoberfläche 14a erreicht.

Ein n-Emitterbereich 3 ist derart gebildet, daß er sich von der ersten Hauptoberfläche 14a in den p-Basisbereich 2 erstreckt. Der n-Emitterbereich 3 ist selektiv in dem p-Basisbereich 2 ge­ bildet. Ein Bereich, der zwischen dem n-Driftbereich 1 und dem n-Emitterbereich 3 nach Sandwichart eingeschlossen ist und ei­ nen Teil der ersten Hauptoberfläche 14a in dem p-Basisbereich 2 aufweist, ist im folgenden als ein Kanalbildungsbereich 4 be­ zeichnet. Eine dielektrische Gateschicht 5 ist derart vorgese­ hen, daß sie die erste Hauptoberfläche 14a auf dem Kanalbil­ dungsbereich 4 bedeckt und sowohl mit dem n-Driftbereich 1 als auch mit dem n-Emitterbereich 3 in Kontakt steht. Die dielek­ trische Gateschicht 5 besteht zum Beispiel aus einer dielektri­ schen Schicht, wie beispielsweise eine Siliziumoxidschicht. Ein p-Kollektorbereich 10 ist derart gebildet, daß er sich von ei­ ner zweiten Hauptoberfläche 14b in das Halbleitersubstrat 14 erstreckt.

Eine Gateelektrode 6 ist auf der dielektrischen Gateschicht 5 derart gebildet, daß sie einen Abschnitt entgegengesetzt zum Kanalbildungsbereich 4 hat mit der dielektrischen Gateschicht 5 dazwischen. Die Gateelektrode 6 besteht beispielsweise aus Po­ lysilizium, das mit Phosphor dotiert ist.

Eine dielektrische Schicht 7 ist auf der ersten Hauptoberfläche 14a zum Bedecken der Gateelektrode 6 gebildet. Ein Kontaktloch 7a, das alles oder einen Teil der Oberfläche des n-Emitter­ bereichs 3 freilegt, wie auch ein Kontaktloch 7b, das einen Teil des p-Basisbereichs 2 freilegt, sind an der dielektrischen Schicht 7 vorgesehen. Eine erste Metallelektrode 8a ist derart gebildet, daß sie sich vom Kontaktloch 7b auf die dielektrische Schicht 7 erstreckt. Eine Zwischenschicht-Dielektrizitäts- Schicht 13 ist zum Bedecken der ersten Metallelektrodenschicht 8a vorgesehen.

Eine zweite Metallelektrodenschicht 8b ist derart gebildet, daß sie sich vom Kontaktloch 7a auf die dielektrische Schicht 7 und die Zwischenschicht-Dielektrizitäts-Schicht 13 erstreckt. Die erste Metallelektrodenschicht 8a steht in ohmschen Kontakt zum p-Basisbereich 2 und die zweite Metallelektrodenschicht 8b steht in ohmschen Kontakt mit dem n-Emitterbereich 3. Anderer­ seits ist eine dritte Metallelektrodenschicht 11a auf der zwei­ ten Hauptoberfläche 14b derart gebildet, daß sie in ohmschen Kontakt mit dem p-Kollektorbereich 10 steht.

Eine Gleichstromleistungsversorgungseinheit 12, die als ein Vorwärts-Vorspannungsmittel dient, ist derart vorgesehen, daß die Einheit elektrisch mit den ersten und zweiten Metallelek­ trodenschichten 8a und 8b verbunden ist. Die positive Elektro­ denseite der Gleichstromleistungsversorgungseinheit 12 ist mit der ersten Metallelektrodenschicht 8a verbunden und ihre nega­ tive Seite ist mit der zweiten Metallelektrodenschicht 8b ver­ bunden. Die Zwischenschicht-Dielektrizitäts-Schicht 13 trennt die erste und zweite Metallelektrodenschicht 8a und 8b durch Isolieren. Demgemäß kann eine Potentialdifferenz eines er­ wünschten Wertes zwischen dem n-Emitterbereich 3, der mit der zweiten Metallelektrodenschicht 8b verbunden ist, und dem p-Basisbereich 2, der mit der ersten Metallelektrodenschicht 8a verbunden ist, erhalten werden. Zu diesem Zeitpunkt wird eine Potentialdifferenz von maximal der Kontaktspannung an dem pn-Übergang zwischen dem n-Emitterbereich 3 und dem p-Basisbereich 2 erzeugt. Als eine Folge kann eine Vorwärts-Vorspannung an den pn-Übergang zwischen dem n-Emitterbereich 3 und dem p-Basis­ bereich 2 während des Leitens angelegt werden. Das Potential des p-Basisbereichs 2 kann erhöht werden und das Injizieren von Elektronen von dem n-Emitterbereich 3 in den p-Basisbereich 2 kann gefördert werden. Ferner kann das Potential des pn-Übergangs zwischen dem n-Driftbereich 1 und dem p-Basisbereich 2 erhöht werden durch Erhöhen des Potentials des p-Basisbereichs 2. Das Injizieren von Löchern vom p-Kollektorbereich 10 in den p-Basisbereich 2 durch den n-Driftbereich 1 kann gefördert wer­ den. Die Ladungsträgerkonzentration in dem n-Driftbereich 1 und in dem p-Basisbereich 2 kann erhöht werden. Als eine Folge kann der Widerstand des IGBT während des Leitens verkleinert werden und die AN-Spannung des IGBT kann verringert werden. Ferner kann, falls die Spannung, die an den pn-Übergang zwischen dem p-Basisbereich 2 und dem n-Emitterbereich 3 angelegt ist, klei­ ner ist als die Kontaktspannung des pn-Übergangs, das uner­ wünschte Sperren effektiv vermieden werden. Die AN-Spannung des IGBT kann daher verringert werden, ohne das unerwünschte Sper­ ren zu verursachen.

Es wird auf Fig. 2 Bezug genommen; ein spezielles Verfahren zum Anordnen der Gleichstromleistungsversorgungsquelle 12 wird be­ schrieben. Fig. 2 ist eine perspektivische Ansicht der Gleich­ stromleistungsversorgungseinheit 12 und zeigt ein Beispiel des Verfahrens zum Vorsehen der Einheit.

Es wird auf Fig. 2 Bezug genommen; Metallelektrodenplatten 16, 17, 18, 19 und 20 werden entsprechend an einem Isoliersubstrat 15 angebracht, das aus Keramik oder dergleichen gebildet ist. Die Metallelektrodenplatte 20 und die Metallelektrodenplatte 16 sind elektrisch verbunden und ein IGBT 21, wie er oben be­ schrieben ist, wird mit der Metallelektrodenplatte 20 verbun­ den, wobei seine dritte Metallelektrodenschicht 11a nach unten gerichtet ist. Die Metallelektrodenplatte 16 wird dann elek­ trisch mit dem p-Kollektorbereich 10 des IGBT 21 verbunden. Die Metallelektrodenplatte 17 wird elektrisch mit der Gateelektrode 6 des IGBT 21 über eine Kontaktierungsverdrahtung 22 verbunden. Die Metallelektrodenplatte 19 wird elektrisch mit der ersten Metallelektrodenschicht 8a über die Kontaktierungsverdrahtung 22 verbunden. Die Metallelektrodenplatte 18 wird mit der zwei­ ten Metallelektrodenschicht 8b durch die Kontaktierungsverdrah­ tung 22 verbunden. Die Gleichstromleistungsversorgungseinheit 12 wird auf dem Isoliersubstrat 15 derart angeordnet, daß sie elektrisch mit den Metallelektrodenplatten 18 und 19 verbunden ist.

Als nächstes wird auf Fig. 3 bis 11 Bezug genommen; ein Her­ stellungsverfahren des n-Kanal-IGBT mit einer planaren Ga­ testruktur, wie sie in Fig. 1 gezeigt ist, wird beschrieben. Die Fig. 3 bis 10 sind Querschnitte, die den ersten bis achten Schritt des Herstellungsverfahrens des n-Kanal-IGBT mit einer planaren Gatestruktur veranschaulichen.

Es wird auf Fig. 3 bis 5 Bezug genommen; der n-Driftbereich 1, der p-Basisbereich 2 und der n-Emitterbereich 3 werden entspre­ chend an einer Seite der ersten Hauptoberfläche 14a des Substrats 14 gebildet und der p-Kollektorbereich 10 wird an ei­ ner Seite der zweiten Hauptoberfläche 14b des Substrats 14 durch Ionenimplantations- und thermische Diffusions-Verfahren gebildet.

Es wird auf Fig. 6 Bezug genommen; eine dielektrische Schicht wird auf der ersten Hauptoberfläche 14a gebildet unter Verwen­ den eines thermischen Oxidationsverfahrens oder dergleichen. Die dielektrische Schicht ist derart geformt, daß sie sich so­ wohl oberhalb des n-Driftbereiches 1 als auch des n-Emitter­ bereiches 3 erstreckt. Auf der dielektrischen Schicht wird eine Polysiliziumschicht, die mit Phosphor dotiert ist, abgeschieden unter Verwenden eines CVD-(Chemical Vapor Deposition, Chemische Dampfphasenabscheidung) Verfahrens oder dergleichen. Durch Bemu­ stern der Polysiliziumschicht und der dielektrischen Schicht werden die dielektrische Schicht 5 und die Gateelektrode 6 vor­ gesehen.

Es wird auf Fig. 7 Bezug genommen; die dielektrische Schicht 7 wird auf der ersten Hauptoberfläche 14a gebildet zum Bedecken der Gateelektrode 6 unter Verwenden des CVD-Verfahrens oder dergleichen. Das Kontaktloch 7a, das mindestens einen Teil der Oberfläche des n-Emitterbereiches 3 freilegt, wie auch das Kon­ taktloch 7b, das einen Teil der Oberfläche des p-Basisbereiches 2 freilegt, werden entsprechend durch Ätzen der dielektrischen Schicht 7 gebildet. Eine Öffnung kann an der dielektrischen Schicht 7 vorgesehen werden zum Bilden einer leitenden Schicht, die elektrisch mit der Gateelektrode 6 verbunden ist.

Es wird auf Fig. 8 Bezug genommen; die erste Metallelektroden­ schicht 8a ist derart vorgesehen, daß sie sich von dem Kontakt­ loch 7b auf die dielektrische Schicht 7 erstreckt. Als nächstes wird auf Fig. 9 Bezug genommen; nach dem Bemustern der ersten Metallelektrodenschicht 8a durch selektives Ätzen wird die Zwi­ schenschicht-Dielektrizitäts-Schicht 13 gebildet. Die Zwischen­ schicht-Dielektrizitäts-Schicht 13 wird durch selektives Ätzen bemustert. Mindestens ein Teil der Oberfläche des n-Emitter­ bereiches 3 wird auf diese Weise freigelegt.

Es wird auf Fig. 10 Bezug genommen; die zweite Metallelektrode 8b ist derart gebildet, daß sie sich vom Kontaktloch 7a auf die Zwischenschicht-Dielektrizitäts-Schicht 13 erstreckt. Die zwei­ te Metallelektrodenschicht 8b wird in einer Richtung bemustert, die senkrecht auf einer Ebene dieses Dokumentes steht. Die er­ ste und die zweite Metallelektrodenschicht 8a und 8b werden ge­ trennt gebildet.

Die dritte Metallelektrodenschicht 11a wird auf der zweiten Hauptoberfläche 14b derart gebildet, daß sie in ohmschen Kon­ takt mit der Oberfläche des p-Kollektorbereiches 10 steht. Die Gleichstromleistungsversorgungseinheit 12, die elektrisch mit der ersten und zweiten Metallelektrodenschicht 8a und 8b ver­ bunden ist, wird angeordnet. Durch die Schritte, die oben be­ schrieben sind, wird der IGBT mit einer planaren Gatestruktur, die in Fig. 1 gezeigt ist, produziert.

Zweite Ausführungsform

Es wird auf Fig. 11 und 12 Bezug genommen; die zweite Ausfüh­ rungsform der Erfindung wird nun beschrieben. Fig. 11 zeigt ei­ nen Querschnitt eines IGBT gemäß der zweiten Ausführungsform der Erfindung.

Es wird auf Fig. 11 Bezug genommen; gemäß der zweiten Ausfüh­ rungsform ist eine Widerstandsschicht 24 auf der Oberfläche des p-Basisbereiches 2 gebildet. Die Widerstandsschicht 24 besteht aus nicht-dotiertem Polysilizium oder Polysilizium, das mit Phosphor in niedriger Konzentration dotiert ist. Ein Widerstand der Widerstandsschicht 24 ist vorzugsweise derart festgelegt, daß er einen höheren Wert hat als der Flächenwiderstand des p-Basisbereiches 2. Die Metallelektrodenschicht 8 ist auf der er­ sten Hauptoberfläche 14a derart gebildet, daß sie die Wider­ standsschicht 24 bedeckt. Die Metallelektrodenschicht 8 steht in ohmschen Kontakt mit dem n-Emitterbereich 3 und ist elek­ trisch mit dem p-Basisbereich 2 über die Widerstandsschicht 24 verbunden. Weitere Strukturen sind fast ähnlich zu denjenigen, die der ersten Ausführungsform entsprechen.

Das Vorsehen der Widerstandsschicht 24 verursacht einen Span­ nungsabfall, wenn der Strom durch die Widerstandsschicht 24 im leitenden Zustand des IGBT wandert. Demgemäß kann das Potential des p-Basisbereichs 2 weiter erhöht werden als dasjenige des n-Emitterbereichs 3 und eine Vorwärts-Vorspannung kann an den pn-Übergang zwischen dem p-Basisbereich 2 und dem n-Emitterbereich 3 angelegt werden. Als eine Folge kann das Injizieren von Elek­ tronen vom n-Emitterbereich 3 in den p-Basisbereich 2 gefördert werden. Ferner kann das Injizieren von Löchern in den p-Basis­ bereich 2 gefördert werden, wobei die Ladungsträgerdichte in dem n-Driftbereich 1 und in dem p-Basisbereich 2 vergrößert wird. Der Widerstand des IGBT während des Leitens und die AN-Spannung des IGBT können verringert werden.

Insbesondere kann, falls ein Strom mit der Dichte von 100 A/cm² durch eine Zelle einer Größe von 5 µm×5 µm fließt, die AN-Spannung verbessert werden um ungefähr maximal 0,17 V durch Setzen des Widerstandswertes der Widerstandsschicht 24 auf un­ gefähr 2×10³(Ω) bis 2×10⁵(Ω).

Der Grund wird unten erklärt. Ein Strom von 2,5×10⁻⁵ A, der durch die folgende Gleichung (1) ermittelt wird, fließt durch die oben beschriebene Zelle.

100×(5×10⁻⁴)×(5×10⁻⁴) = 2,5×10⁻⁵ (A) (1).

Wenn der Betrag des maximalen Spannungsabfalls auf 0,5 V gesetzt wird, kann ein Widerstandswert R durch die folgende Gleichung (2) ermittelt werden.

Da der Löcherstrom im AN-Zustand ein Drittel des Elektronen­ stroms ist, kann die AN-Spannung verbessert werden um einen Wert, der durch die folgende Gleichung (3) ermittelt wird.

Demgemäß wird eine Verringerung der AN-Spannung um ungefähr 0,17 V möglich.

Vorzugsweise wird der Betrag des Spannungsabfalls, der durch die Widerstandsschicht 24 verursacht wird, so eingestellt, daß er kleiner wird als die Kontaktspannung des pn-Überganges zwi­ schen dem p-Basisbereich 2 und dem n-Emitterbereich 3. Das un­ erwünschte Sperren kann demgemäß vermieden werden.

Als nächstes wird auf Fig. 12 Bezug genommen; ein Herstellungs­ verfahren des IGBT gemäß der zweiten Ausführungsform wird nun beschrieben. Die Fig. 12 ist eine Querschnittsansicht, die ei­ nen charakteristischen Herstellungsvorgang des IGBT gemäß der zweiten Ausführungsform zeigt.

Es wird auf Fig. 12 Bezug genommen; der IGBT wird bis zur Ga­ teelektrode 6 vervollständigt durch Schritte, die ähnlich den­ jenigen der ersten Ausführungsform sind. Die Isolierschicht 7 wird durch das Verfahren gebildet, das ähnlich demjenigen der ersten Ausführungsform ist, und eine dielektrische Schicht 7 wird zu einer vorgeschriebenen Form bemustert. Zu diesem Zeit­ punkt ist die gesamte Oberfläche des p-Basisbereiches 2, der nicht mit der Gateelektrode 6 bedeckt ist, freigelegt.

Nachdem eine Polysiliziumschicht, die mit Phosphor dotiert ist, auf der ersten Hauptoberfläche 14a abgeschieden wird unter Ver­ wenden des CVD oder dergleichen, wird die Polysiliziumschicht derart bemustert, daß sie eine vorgeschriebene Form hat. Die Widerstandsschicht 24 wird derart geformt, daß sie sich von ei­ nem Abschnitt dem p-Basisbereich 2 bis auf einen Teil der Ober­ fläche des n-Emitterbereichs 3 erstreckt. Die Metallelektroden­ schicht 8 wird danach derart geformt, daß sie die Widerstands­ schicht 24 und den n-Emitterbereich 3 bedeckt. Andere Komponen­ ten werden danach durch Schritte gebildet, die ähnlich denjeni­ gen der ersten Ausführungsform sind und der IGBT, der in Fig. 11 gezeigt ist, wird vervollständigt.

Dritte Ausführungsform

Es wird auf Fig. 13 und 14 Bezug genommen; die dritte Ausfüh­ rungsform der Erfindung wird nun beschrieben. Die Fig. 13 ist eine Querschnittsansicht, die einen IGBT gemäß der dritten Aus­ führungsform zeigt.

Es wird auf Fig. 13 Bezug genommen; gemäß der dritten Ausfüh­ rungsform ist ein Schottky-Übergangsbereich 25 an der Oberflä­ che des p-Basisbereiches 2 gebildet. Der Schottky-Übergangs­ bereich 25 kann durch zum Beispiel Setzen der Konzentration von Dotierstoffen in dem p-Basisbereich 2 an einem Kontaktabschnitt zwischen der Metallelektrodenschicht 8 und dem p-Basisbereich 2 auf einen niedrigeren Wert gebildet sein. Da der n-Emitter­ bereich 3 n-Typ-Dotierstoffe hoher Konzentration (z. B. 10¹⁹ cm⁻³ oder mehr) enthält, kann der n-Emitterbereich 3 in ohmschen Kontakt mit der Metallelektrodenschicht 8 stehen. Jedoch kann eine Energiebarriere an dem Kontaktabschnitt zwischen der Me­ tallelektrodenschicht 8 und dem p-Basisbereich 2 vorgesehen sein durch Setzen der Konzentration von p-Typ-Dotierstoffen am Kontaktabschnitt zwischen dem p-Basisbereich 2 und der Metalle­ lektrodenschicht 8 auf einen niedrigen Wert. Als eine Folge wird der Schottky-Übergang zwischen dem p-Basisbereich 2 und der Metallelektrodenschicht 8 möglich.

Ein Material, das eine Energiebarriere zu einem n-Typ-Dotier­ stoffbereich erzeugt, welche in ausreichendem Maße niedriger ist als die Energiebarriere zu einem p-Typ Dotierstoffbereich, kann als ein Material für die Metallelektrodenschicht 8 ausge­ wählt werden. Eine Energiebarriere zwischen dem p-Basisbereich 2 und der Metallelektrodenschicht 8 kann höher gemacht werden als diejenige zwischen der Metallelektrodenschicht 8 und dem n-Emitterbereich 3, und der Schottky-Übergangsbereich 25 kann wie der oben beschriebene Fall gebildet werden.

Verschiedene Materialien für die Elektrode können für den n-Emitterbereich 3 und den p-Basisbereich 2 eingesetzt werden. Wie in Fig. 1 gezeigt ist, können insbesondere die erste Metal­ lelektrodenschicht 8a und die zweite Metallelektrodenschicht 8b aus verschiedenen Materialien gebildet sein. In diesem Fall wird ein Material, das eine Energiebarriere zum n-Emitter­ bereich 3 erzeugt, welche so niedrig wie möglich ist, als ein Material für die zweite Metallelektrodenschicht 8b ausgewählt, und ein Material, das eine Energiebarriere zum p-Basisbereich 2 erzeugt, welche höher ist als diejenige, die durch die zweite Metallelektrodenschicht 8b erzeugt wird, wird als ein Material für die erste Metallelektrodenschicht 8a eingesetzt. Der Schottky-Übergangsbereich 25 kann auf diese Weise produziert werden. Diese oben beschriebenen Prinzipien können geeignet kombiniert werden.

Durch Vorsehen des Schottky-Übergangsbereiches 25 ist ein Span­ nungsabfall im Schottky-Übergangsbereich 25 möglich wie in dem Fall der zweiten Ausführungsform, und die AN-Spannung des IGBT kann verringert werden. Vorzugsweise ist die Potentialdifferenz zwischen dem p-Basisbereich 2 und dem n-Emitterbereich 3, die auf den Schottky-Übergangsbereich 25 zurückzuführen ist, klei­ ner als die Kontaktspannung des pn-Überganges zwischen dem p- Basisbereich 2 und dem n-Emitterbereich 3 in der dritten Aus­ führungsform, wie auch in der zweiten Ausführungsform. Das un­ erwünschte Sperren kann auf diese Weise verhindert werden.

Es wird auf Fig. 14 Bezug genommen; ein Herstellungsverfahren des IGBT gemäß der dritten Ausführungsform wird nun beschrie­ ben. Fig. 14 ist ein Querschnitt des IGBT, der einen charakte­ ristischen Herstellungsschritt gemäß der dritten Ausführungs­ form zeigt.

Es wird auf Fig. 14 Bezug genommen; der IGBT wird bis zur die­ lektrischen Schicht 7 vervollständigt durch Schritte, die ähn­ lich denjenigen der zweiten Ausführungsform sind. Der Schottky- Übergangsbereich 25 wird an der Oberfläche des p-Basisbereiches 2 gebildet. Der Schottky-Übergangsbereich 25 kann zum Beispiel durch Setzen der Konzentration von p-Typ-Dotierstoffen, die in der Oberfläche des p-Basisbereiches 2 enthalten sind, auf einen niedrigen Wert gebildet werden durch Kontrollieren der Konzen­ tration in der Oberfläche des p-Basisbereichs 2. Insbesondere wird der Betrag des Dotierens mit p-Typ-Dotierstoffen für den Kontakt mit der Metallelektrodenschicht 8 kontrolliert oder das Dotieren wird unterlassen. Der in Fig. 13 gezeigte IGBT ist da­ nach vervollständigt durch Schritte, die ähnlich denjenigen der zweiten Ausführungsform sind.

Die vorliegende Erfindung kann auf eine Einrichtung angewendet werden, in der der n-Typ durch den p-Typ in jeder Ausführungs­ form ersetzt ist. Die erste bis dritte Ausführungsform können geeignet miteinander kombiniert werden.

Obwohl die vorliegende Erfindung im Detail beschrieben und il­ lustriert wurde, ist es selbstverständlich, daß dasselbe nur zum Zwecke der Illustration und des Beispiels dient und keine Limitierung darstellt.

Claims (9)

1. Halbleitereinrichtung mit einer Struktur, in der eine er­ ste und eine zweite Hauptoberfläche (14a, 14b) entgegengesetzt zueinander vorgesehen sind, und ein Strom, der zwischen der er­ sten und der zweiten Hauptoberfläche (14a, 14b) fließt, gelei­ tet/gesperrt wird, mit:
einem Halbleitersubstrat (14) mit der ersten und der zweiten Hauptoberfläche (14a, 14b);
einem ersten Dotierstoffbereich (1) eines ersten Leitungstyps, der derart gebildet ist, daß er sich von der ersten Hauptober­ fläche (14a) in das Halbleitersubstrat (14) erstreckt;
einem zweiten Dotierstoffbereich (2) eines zweiten Leitung­ styps, der derart gebildet ist, daß er sich von der ersten Hauptoberfläche (14a) in den ersten Dotierstoffbereich (1) er­ streckt;
einem dritten Dotierstoffbereich (3) des ersten Leitungstyps, der derart gebildet ist, daß er sich von der ersten Hauptober­ fläche (14a) in den zweiten Dotierstoffbereich (2) erstreckt;
einem Kanalbildungsbereich (4), der sich in dem zweiten Dotier­ stoffbereich (2) befindet und die erste Hauptoberfläche (14a) erreicht;
einer dielektrischen Gateschicht (5), die auf der ersten Hauptoberfläche (14a) derart gebildet ist, daß sie den Kanal­ bildungsbereich (4) bedeckt;
einer Gateelektrode (6) mit einem Abschnitt, der dem Kanalbil­ dungsbereich (4) mit der dielektrischen Gateschicht (5) dazwi­ schen gegenüberliegt;
einem Vorwärts-Vorspannungsmittel (12, 24, 25) zum Anlegen ei­ ner Vorwärts-Vorspannung an einen pn-Übergang zwischen dem zweiten und dem dritten Dotierstoffbereich (2, 3) während des Leitens; und
einem vierten Dotierstoffbereich (10) des zweiten Leitungstyps, der derart gebildet ist, daß er sich von der zweiten Hauptober­ fläche (14b) in das Halbleitersubstrat (14) erstreckt.

2. Halbleitereinrichtung nach Anspruch 1, in der eine Spannung, die an den pn-Übergang zwischen dem zwei­ ten und dem dritten Dotierstoffbereich (2, 3) durch das Vor­ wärts-Vorspannungsmittel (12, 24, 25) angelegt ist, kleiner ist als die Kontaktspannung des pn-Übergangs.

3. Halbleitereinrichtung nach Anspruch 1 oder 2, ferner mit:
einer ersten Elektrodenschicht (8a), die auf der ersten Haupto­ berfläche (14a) des Halbleitersubstrats (14) derart gebildet ist, daß sie elektrisch mit dem zweiten Dotierstoffbereich (2) verbunden ist;
einer zweiten Elektrodenschicht (8b), die auf der ersten Hauptoberfläche (14a) des Halbleitersubstrats (14) derart ge­ bildet ist, daß sie elektrisch mit dem dritten Dotierstoffbe­ reich (3) verbunden ist;
einer Gleichstromleistungsversorgung (12) als das Vorwärts- Vorspannungsmittel (12, 24, 25), die elektrisch mit der ersten und der zweiten Elektrodenschicht (8a, 8b) verbunden ist zum Halten eines Potentials des zweiten Dotierstoffbereichs (2) auf einem vergleichsweise höheren Niveau als das Potential des dritten Dotierstoffbereichs (3); und
einer dritten Elektrodenschicht (11a), die auf der zweiten Hauptoberfläche (14b) derart gebildet ist, daß sie elektrisch mit dem vierten Dotierstoffbereich (10) verbunden ist.

4. Halbleitereinrichtung nach Anspruch 3, in der
die erste Elektrodenschicht (8a) eine Metallschicht aufweist, die derart gebildet ist, daß sie in ohmschen Kontakt mit einer Oberfläche des zweiten Dotierstoffbereiches (2) steht,
die zweite Elektrodenschicht (8b) eine Metallschicht aufweist, die derart gebildet ist, daß sie in ohmschen Kontakt mit einer Oberfläche des dritten Dotierstoffbereiches (3) steht, und
eine dielektrische Schicht (13) zwischen der ersten und der zweiten Elektrodenschicht (8a, 8b) derart gebildet ist, daß sie sich von einem Abschnitt auf der ersten Hauptoberfläche (14a) erstreckt.

5. Halbleitereinrichtung nach Anspruch 1, ferner mit:
einer ersten Elektrodenschicht (8), die auf der ersten Haupto­ berfläche (14a) derart gebildet ist, daß sie elektrisch mit dem zweiten Dotierstoffbereich (2) verbunden ist;
einem Spannungsabfall-Mittel (24, 25), das als das Vorwärts- Vorspannungsmittel (12, 24, 25) zwischen der ersten Elektroden­ schicht (8) und dem zweiten Dotierstoffbereich (2) vorgesehen ist; und
einer zweite Elektrodenschicht (11), die auf der zweiten Hauptoberfläche (14b) derart gebildet ist, daß sie elektrisch mit dem vierten Dotierstoffbereich (10) verbunden ist.

6. Halbleitereinrichtung nach Anspruch 5, die eine Wider­ standsschicht (24) als das Spannungsabfall-Mittel (24, 25) mit einem Widerstandswert, der größer ist als ein Flächenwider­ standswert des zweiten Dotierstoffbereiches (2), aufweist.

7. Halbleitereinrichtung nach Anspruch 5, die einen Schottky- Übergangsbereich (25) als das Spannungsabfall-Mittel (24, 25) aufweist, welches zwischen dem zweiten Dotierstoffbereich (2) und der ersten Elektrodenschicht (8) gebildet ist.

8. Herstellungsverfahren einer Halbleitereinrichtung mit ei­ ner Struktur, in der eine erste und eine zweite Hauptoberfläche (14a, 14b) entgegengesetzt zueinander vorgesehen sind und ein Strom, der zwischen der ersten und der zweiten Hauptoberfläche (14a, 14b) fließt, geleitet/gesperrt wird, mit den Schritten:
Vorsehen eines Halbleitersubstrats (14) mit der ersten und der zweiten Hauptoberfläche (14a, 14b);
Bilden eines ersten Dotierstoffbereiches (1) eines ersten Lei­ tungstyps zum Erstrecken von der ersten Hauptoberfläche (14a) in das Halbleitersubstrat (14);
Bilden eines zweiten Dotierstoffbereiches (2) eines zweiten Leitungstyps zum Erstrecken von der ersten Hauptoberfläche (14a) in den ersten Dotierstoffbereich (1);
Bilden eines dritten Dotierstoffbereiches (3) des ersten Lei­ tungstyps zum Erstrecken von der ersten Hauptoberfläche (14a) in den zweiten Dotierstoffbereich (2);
Bilden eines vierten Dotierstoffbereiches (10) des zweiten Lei­ tungstyps zum Erstrecken von der zweiten Hauptoberfläche (14b) in das Halbleitersubstrat (14);
Bilden einer dielektrischen Gateschicht (5) zum Bedecken eines Kanalbildungsbereiches (4), der sich in dem zweiten Dotier­ stoffbereich (2) befindet und die erste Hauptoberfläche (14a) erreicht;
Bilden einer Gateelektrode (6) mit einem Abschnitt, der dem Ka­ nalbildungsbereich (4) mit der dielektrischen Gateschicht (5) dazwischen gegenüberliegt;
Bilden einer ersten Elektrodenschicht (8a) auf der ersten Hauptoberfläche (14a) derart, daß sie elektrisch mit dem zwei­ ten Dotierstoffbereich (2) verbunden ist;
Freilegen einer Oberfläche des dritten Dotierstoffbereiches (3) durch Bemustern der ersten Elektrodenschicht (8a);
Bilden einer dielektrischen Schicht (13) zum Bedecken der bemu­ sterten ersten Elektrodenschicht (8a);
Bilden einer zweiten Elektrodenschicht (8b) sowohl auf der di­ elektrischen Schicht (13) als auch auf der Oberfläche des drit­ ten Dotierstoffbereiches (3);
Bilden einer dritten Elektrodenschicht (11a) auf der Oberfläche des vierten Dotierstoffbereiches (10); und
Anordnen einer Gleichstromleistungsversorgungseinheit (12) der­ art, daß sie elektrisch mit der ersten und der zweiten Elektro­ denschicht (8a, 8b) verbunden ist.

9. Herstellungsverfahren einer Halbleitereinrichtung mit ei­ ner Struktur, in der eine erste und eine zweite Hauptoberfläche (14a, 14b) entgegengesetzt zueinander vorgesehen sind und ein Strom, der zwischen der ersten und der zweiten Hauptoberfläche (14a, 14b) fließt, geleitet/gesperrt wird, mit den Schritten:
Vorsehen eines Halbleitersubstrats (14) mit der ersten und der zweiten Hauptoberfläche (14a, 14b);
Bilden eines ersten Dotierstoffbereiches (1) eines ersten Lei­ tungstyps zum Erstrecken von der ersten Hauptoberfläche (14a) in das Halbleitersubstrat (14);
Bilden eines zweiten Dotierstoffbereiches (2) eines zweiten Leitungstyps zum Erstrecken von der ersten Hauptoberfläche (14a) in den ersten Dotierstoffbereich (1);
Bilden eines dritten Dotierstoffbereiches (3) des ersten Lei­ tungstyps zum Erstrecken von der ersten Hauptoberfläche (14a) in den zweiten Dotierstoffbereich (2);
Bilden eines vierten Dotierstoffbereiches (10) des zweiten Lei­ tungstyps zum Erstrecken von der zweiten Hauptoberfläche (14b) in das Halbleitersubstrat (14);
Bilden einer dielektrische Gateschicht (5) zum Bedecken eines Kanalbildungsbereiches (4), der sich in dem zweiten Dotier­ stoffbereich (2) befindet und die erste Hauptoberfläche (14a) erreicht;
Bilden einer Gateelektrode (6) mit einem Abschnitt, der dem Ka­ nalbildungsbereich (4) mit der dielektrischen Gateschicht (5) dazwischen gegenüberliegt;
Bilden eines Spannungsabfall-Abschnittes (24, 25) zum Erzeugen eines Spannungsabfalls an einer Oberfläche des zweiten Dotier­ stoffbereiches (2);
Bilden einer ersten Elektrodenschicht (8) zum Erstrecken von einem Abschnitt auf einer Oberfläche des dritten Dotierstoffbe­ reiches (3) auf den Spannungsabfall-Abschnitt (24, 25); und
Bilden einer zweiten Elektrodenschicht (11) auf einer Oberflä­ che des vierten Dotierstoffbereiches (10)