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DE19736291A1 - Vorrichtung zur Leitung von Druckluft und flüssigem oder überkritischem Kohlendioxid oder Distickstoffmonoxid in einem Schlauch - Google Patents

Vorrichtung zur Leitung von Druckluft und flüssigem oder überkritischem Kohlendioxid oder Distickstoffmonoxid in einem Schlauch

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Publication number
DE19736291A1
DE19736291A1 DE19736291A DE19736291A DE19736291A1 DE 19736291 A1 DE19736291 A1 DE 19736291A1 DE 19736291 A DE19736291 A DE 19736291A DE 19736291 A DE19736291 A DE 19736291A DE 19736291 A1 DE19736291 A1 DE 19736291A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
carbon dioxide
hose
liquid
nitrous oxide
supercritical carbon
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
DE19736291A
Other languages
English (en)
Inventor
Roland Henneborn
Wolfgang Volker
Johannes Luebbering
Rudolf Mense
Axel Wiemann
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Messer Griesheim GmbH
Original Assignee
Messer Griesheim GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Messer Griesheim GmbH filed Critical Messer Griesheim GmbH
Priority to DE19736291A priority Critical patent/DE19736291A1/de
Priority to PCT/EP1998/004842 priority patent/WO1999010692A1/de
Priority to KR1020007001577A priority patent/KR20010022969A/ko
Priority to EP98939653A priority patent/EP1005623A1/de
Priority to ZA987334A priority patent/ZA987334B/xx
Publication of DE19736291A1 publication Critical patent/DE19736291A1/de
Ceased legal-status Critical Current

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    • F25B41/00—Fluid-circulation arrangements
    • F25B41/40—Fluid line arrangements
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Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Leitung von Druckluft und flüssigem oder überkritischem Kohlendioxid oder Distickstoffmonoxid in einem Verbindungsschlauch von einer Quelle für die Druckluft und einer Quelle für das flüssige oder überkritische Kohlendioxid oder Distickstoffmonoxid zu einer oder mehreren Maschine(n), vorzugsweise einer oder mehreren Maschine(n) zur Oberflächenbearbeitung. Ferner bezieht sich die Erfindung auf eine Maschine zum Schleifen und/oder Polieren und auf eine Anordnung zur Leitung von Druckluft und flüssigem oder überkritischem Kohlendioxid oder Distickstoffmonoxid.
Unter dem Begriff "flüssiges oder überkritisches Kohlendioxid oder Distickstoffmonoxid" ist hier flüssiges oder überkritisches Kohlendioxid oder flüssiges oder überkritisches Distickstoffmonoxid gemeint.
Flüssiges Kohlendioxid besitzt eine Temperatur von ca. 194 K bis ca. 304 K und einen Druck von ca. 1 bar bis ca. 74 bar. Überkritisches Kohlendioxid hat eine Temperatur größer ca. 304 K und einen Druck größer ca. 74 bar.
Distickstoffmonoxid in flüssiger Form besitzt eine Temperatur von ca. 184 K bis ca. 310 K und einen Druck von ca. 1 bar bis ca. 73 bar und das überkritische Distickstoffmonoxid liegt bei einer Temperatur größer ca. 310 K und einem Druck größer ca. 73 bar vor.
Unter dem Begriff "warmes flüssiges Kohlendioxid oder Distickstoffmonoxid" ist hier Kohlendioxid oder Distickstoffmonoxid in flüssiger Form bei einer Temperatur von größer ca. 283 K (10°C) zu verstehen, so besitzt beispielsweise warmes flüssiges Kohlendioxid eine Temperatur von ca. 283 K bis ca. 304 K und einen Druck von ca. 44 bis ca. 74 bar.
In vielen Bereichen werden heute mit Druckluft betriebene Maschinen eingesetzt. Die dazu benötigte Druckluft wird in der Regel zentral an einem bestimmten Ort erzeugt und eine oder mehrere Maschinen werden über ein Schlauchsystem mit Druckluft versorgt.
Ferner ist es bekannt, insbesondere im Bereich der Oberflächenbearbeitung, wie beispielsweise das Schleifen und Polieren, den örtlichen Bereich des Eingriffs des Bearbeitungswerkzeugs der Maschine zu kühlen. Es ist bekannt, die Kühlung mit Hilfe eines flüssigen Gases, beispielsweise Luft, Stickstoff oder Kohlendioxid vorzunehmen.
Aus der DE 39 10 590 A1 ist eine Poliermaschine bekannt, welche eine Polierscheibe und eine Kaltgaszufuhr zur Kühlung der zu polierenden oder zu schleifenden Oberfläche umfaßt, wobei die Kaltgaszufuhr vorzugsweise in einen Gasaustritt, der in der Rotationsachse der Polierscheibe angeordnet ist, mündet. Das Gerät wird bevorzugt mit Stickstoff als Kaltgas betrieben, der in flüssiger Form bevorratet, verdampft und über die Kaltgaszufuhr dem Gasaustritt zugeführt wird. Um eine optimale Betriebstemperatur des Kaltgases, die im wesentlichen von den Materialeigenschaften der zu behandelnden Oberfläche abhängt zu gewährleisten, muß der Stickstoff aufwendig temperiert werden. Es ist auch bekannt, eine solche Vorrichtung mit Kohlendioxid als Kaltgas zu betreiben, das bei der Entspannung von flüssigem Kohlendioxid eine Temperatur von -78°C (195 K) aufweist. Diese Temperatur ist für den Betrieb solcher Poliermaschinen vorteilhaft, da sie in der Regel den Erfordernissen an Kältebedarf genau gerecht wird.
Aus einer noch nicht veröffentlichten Patentanmeldung der Anmelderin ist ferner eine Maschine zum Polieren und/oder Schleifen mit einem eine Relativbewegung gegenüber dem Werkstück ausführenden Bearbeitungswerkzeug bekannt, bei dem Bearbeitungswerkzeug Mittel zur Zufuhr von flüssigem oder überkritischem Kohlendioxid zugeordnet sind und bei dem die Mittel zur Zufuhr des flüssigen oder überkritischen Kohlendioxids ein Ventil zur Regulierung der Durchflußmenge des Kohlendioxids mit einer Entspannungsdüse für das flüssige oder überkritische Kohlendioxid umfassen und bei dem das Ventil innerhalb der Maschine angeordnet ist.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung, eine Anordnung und Mittel zu schaffen, um ein insbesondere für Kühlungszwecke verwendetes flüssiges oder überkritisches Kohlendioxid oder Distickstoffmonoxid relativ gefahrlos von einer Quelle für dieses flüssige oder überkritische Kohlendioxid oder Distickstoffmonoxid zu einer vorzugsweise mit Druckluft betriebenen Maschine zu leiten.
Die Aufgabe wird erfindungsgemäß durch eine Vorrichtung mit den im Anspruch 1 angegebenen Merkmalen gelöst und ferner durch eine Maschine zum Schleifen und/oder Polieren gemäß Anspruch 23 und eine Anordnung zur Leitung von Druckluft und flüssigem oder überkritischem Kohlendioxid oder Distickstoffmonoxid gemäß den Ansprüchen 24 und 25 gelöst.
Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen angegeben.
Der Begriff "Schlauch" bzw. "Schlauchteil" ist hier nicht auf einen Schlauch im engeren Sinne beschränkt. Die erfindungsgemäße Vorrichtung umfaßt ebenso Leitungen und rohrartige Verbindungen zwischen der Quelle für die Druckluft und das flüssige oder überkritische Kohlendioxid oder Distickstoffmonoxid und dem mit Druckluft und unter Verwendung des flüssigen oder überkritischen Kohlendioxids oder Distickstoffmonoxids betriebenen Werkzeug. Aus Gründen der leichteren Handhabung des Werkzeugs sind hier aber Schläuche mit einer gewissen Flexibilität bevorzugt.
Nach der Erfindung ist es vorgesehen, daß als Werkstoff(e) für den zweiten, äußeren Schlauchteil ein Kunststoff und/oder ein Elastomer, vorzugsweise ein Verbund bestehend aus einer Innenschicht (Seele) und einer Außendecke aus synthetischem Gummi und einem zwischen Seele und Außendecke angeordneten Garngeflecht als Druckträger, eingesetzt wird. Das erste, innere Schlauchteil ist nach der Erfindung aus einem Kunststoff und/oder einem Elastomer gefertigt, wobei bevorzugt ein Verbund bestehend aus einer Innenschicht aus Polyamid, einem Druckträger aus hochreißfester Synthesefaser und einer Außenschicht aus Polyamid oder Polyurethan eingesetzt wird und wobei der Druckträger zwischen Innenschicht und Außenschicht angeordnet ist. Der Innendurchmesser des ersten, inneren Schlauchteils beträgt besonders bevorzugt 2 bis 2,5 mm und der Außendurchmesser 4,5 bis 6 mm für den ersten, inneren Schlauchteil. Durch die Verwendung derartiger Schlauchteile für den Verbindungsschlauch ist zum einen eine relativ gute Flexibilität des Verbindungsschlauches sichergestellt und auf der anderen Seite ist eine sichere Leitung von Druckluft in dem äußeren Schlauchteil und von dem flüssigen oder überkritischen Kohlendioxid oder Distickstoffmonoxid in dem inneren Schlauchteil gewährleistet.
Nach der Erfindung wird vorzugsweise warmes flüssiges Kohlendioxid oder Distickstoffmonoxid, besonders bevorzugt aber warmes flüssiges Kohlendioxid mit einer Temperatur von ca. 284 K bis ca. 304 K und mit einem Druck von ca. 44 bar bis ca. 74 bar, eingesetzt. Bei einer Verwendung von überkritischem Kohlendioxid oder Distickstoffmonoxid ist der Bereich von unter ca. 100 bar für das überkritische Gas besonders bevorzugt. Die Erfindung ist aber nicht auf die genannten Gase beschränkt. Vielmehr kann jedes Gas oder Gasgemisch verwendet werden, daß ähnliche physikalische Eigenschaften wie Kohlendioxid oder Distickstoffmonoxid besitzt und die Anforderungen des Einsatzes, insbesondere des Einsatzes für Kühlungszwecke einer zu bearbeitenden Oberfläche, erfüllt.
Die erfindungsgemäße Vorrichtung wird nun anhand von drei Abbildungen (Fig. 1, Fig. 2 und Fig. 3) beispielhaft näher erläutert.
Fig. 1 zeigt beispielhaft die erfindungsgemäße Vorrichtung zur sicheren Leitung von Druckluft in einem äußeren Schlauchteil und von flüssigem oder überkritischem Kohlendioxid oder Distickstoffmonoxid in einem inneren Schlauchteil.
Fig. 2 zeigt beispielhaft verschiedene Möglichkeiten der Ausgestaltung des Verbindungsschlauches.
In Fig. 3 ist beispielhaft ein Flansch zur Verbindung des Verbindungsschlauches mit der Maschine und/oder mit der Schlauchsicherungseinheit dargestellt.
Bei der in Fig. 1 dargestellten Vorrichtung wird einer Maschine zum Schleifen und/oder Polieren (1) über einen Verbindungsschlauch (2) das flüssige oder überkritische Kohlendioxid oder Distickstoffmonoxid für Kühlungszwecke und Druckluft zum Antrieb der Maschine zugeführt. Der Verbindungsschlauch (2) weist zwei koaxial ineinander liegende Schlauchteile (3, 4) auf, wobei in einem ersten, inneren Schlauchteil (3) das flüssige oder überkritische Kohlendioxid oder Distickstoffmonoxid geleitet wird und in einem zweiten, äußeren Schlauchteil (4) die Druckluft geleitet wird. Der Verbindungsschlauch (2) ist über einen Flansch (5) an der Maschine und über einen Flansch (6) an einer Schlauchsicherungseinheit (7) angeschlossen. Die Schlauchsicherungseinheit (7) weist eine Bruchsicherung (8) auf, welche, beispielsweise mit Hilfe eines Ventils (hier nicht dargestellt), bei einem langsamen oder plötzlichen Entweichen des flüssigen oder überkritischen Kohlendioxids oder Distickstoffmonoxids aus dem ersten, inneren Schlauchteil (3) die Zufuhr des flüssigen oder überkritischen Kohlendioxids oder Distickstoffmonoxids und gegebenenfalls zusätzlich die Zufuhr der Druckluft unterbricht. Diese Unterbrechung erfolgt bei Überschreitung eines bestimmten Grenzwerts für den Durchfluß der Druckluft bei der hier dargestellten Form des Verbindungsschlauches (2) oder aber bei einer bestimmten Druckerhöhung in einem dritten Schlauchteil (hier nicht dargestellt) eines an der Schlauchsicherungseinheit (7) angeschlossenen Verbindungsschlauches (8) einer hier nicht dargestellten Ausführungsform, bei der der Verbindungsschlauch (8) mindestens drei Schlauchteile aufweist, wobei in mindestens einem ersten Schlauchteil das flüssige oder überkritische Kohlendioxid oder Distickstoffmonoxid geleitet wird und in mindestens einem zweiten Schlauchteil Druckluft geleitet wird und bei der der erste Schlauchteil und der zweite Schlauchteil nebeneinanderliegend koaxial innerhalb des dritten Schlauchteils angeordnet sind. Die Schlauchsicherungseinheit (7) weist ferner eine Rückschlagklappe (9) auf, die in Verbindung steht einem Stutzen (10), über den die Druckluft über eine Leitung (11) aus der Quelle für die Druckluft (10) zugeführt wird. Im Falle einer Erhöhung des Druckes im Verbindungsschlauch (2) über den Druck der der Schlauchsicherungseinheit (7) zugeführten Druckluft wird damit die Zufuhr der Druckluft unterbrochen. Das flüssige oder überkritische Kohlendioxid oder Distickstoffmonoxid wird in einem Tank (13) oder in Druckgasflaschen (hier nicht dargestellt) bevorratet und der Schlauchsicherungseinheit (7) über eine Leitung (14) und über einen Stutzen (15) zugeführt. An dem Stutzen (15) ist eine Berstscheibe (16) angeordnet, die in Verbindung steht mit dem Tank (13) bzw. der Leitung (14) des flüssigen oder überkritischen Kohlendioxids oder Distickstoffmonoxids und wodurch im Falle einer Erhöhung des Druckes des zugeleiteten flüssigen oder überkritischen Kohlendioxids oder Distickstoffmonoxids über einen bestimmten Druck die Zufuhr in den Verbindungsschlauch (2) unterbrochen wird. Die Berstscheibe (16) ist vorzugsweise so ausgelegt daß die Zufuhr in den Verbindungsschlauch (2) bei einem Druck von ca. 100 bar unterbrochen wird.
Fig. 2 zeigt Ausführungsformen des Verbindungsschlauches mit zwei Schlauchteilen (Fig. 2.1), drei Schlauchteilen (Fig. 2.2), 6 Schlauchteilen (Fig. 2.3) und eine weitere Variante mit drei Schlauchteilen (Fig. 2.4).
Der in Fig. 2.1 dargestellte Verbindungsschlauch weist zwei koaxial ineinander liegende Schlauchteile (3, 4) auf, wobei in dem ersten, inneren Schlauchteil (3) das flüssige oder überkritische Kohlendioxid oder Distickstoffmonoxid geleitet wird und in dem zweiten, äußeren Schlauchteil (4) Druckluft geleitet wird. In dem Verbindungsschlauch in Fig. 2.2 sind drei Schlauchteile (3, 4, 17) angeordnet, wobei das erste Schlauchteil (3), in dem das flüssige oder überkritische Kohlendioxid oder Distickstoffmonoxid geleitet wird und das zweite Schlauchteil (4), in welchem Druckluft geleitet wird, nebeneinanderliegend koaxial innerhalb eines dritten Schlauchteils (17) angeordnet sind. In Fig. 2.3 ist ein der Fig. 2.2 entsprechender Verbindungsschlauch (2) dargestellt, wobei hier ein erstes Schlauchteil (3) und vier zweite Schlauchteile (4a, 4b, 4c, 4d) koaxial innerhalb eines dritten Schlauchteils (17) angeordnet sind. Der in Fig. 2.4 dargestellte Verbindungsschlauch (2) ist eine Variante des in Fig. 2.2 dargestellten Verbindungsschlauches (2). Hier sind die drei Schlauchteile (3, 4, 17) so angeordnet, daß das erste Schlauchteil (3), in dem das flüssige oder überkritische Kohlendioxid oder Distickstoffmonoxid geleitet wird und das zweite Schlauchteil (4), in welchem Druckluft geleitet wird, nebeneinander liegen, wobei das erste Schlauchteil (3) koaxial innerhalb eines dritten Schlauchteils (17) angeordnet ist. Es ist möglich, den Verbindungsschlauch (2) auch gewendelt auszubilden, wie hier in Abb. 2.4 dargestellt ist. Dies hat den Vorteil, daß der Verbindungsschlauch (2) auch in Längsrichtung elastisch ist, daß heißt er kann gedehnt werden, ohne daß große Spannungen entstehen, welche die Führung der Maschine (1) beeinträchtigen können.
Der in Fig. 3.1 dargestellte Flansch (18) dient zur Verbindung des Verbindungsschlauches (2) mit der Maschine (1) und/oder mit der Schlauchsicherungseinheit (7). Der Verbindungsschlauch (2) besteht in diesem Fall aus zwei koaxial ineinander liegenden Schlauchteilen (3, 4), wobei in dem ersten, inneren Schlauchteil (3) das flüssige oder überkritische Kohlendioxid oder Distickstoffmonoxid geleitet wird und in dem zweiten, äußeren Schlauchteil (4) Druckluft geleitet wird. Der Verbindungsschlauch ist an dem Flansch (18) angeordnet, welcher aus zwei koaxial ineinander liegenden Rohrabschnitten (20, 21) am verbindungsschlauchseitigen Ende und einer Lochscheibe (22) an der maschinen- oder schlauchsicherungseinheitsseitigen Seite besteht und welcher Mittel (23, 24, 25, 26) aufweist, um den Flansch (18) an der Maschine (1) bzw. Schlauchsicherungseinheit (7) anzuordnen und abzudichten. Der erste, innere Rohrabschnitt (20) stellt den Anschluß zu dem dem ersten, inneren Schlauchteil (3) her. Der Außendurchmesser des ersten, inneren Rohrabschnitts (20) ist daher so bemessen, daß die innere Mantelfläche des ersten, inneren Schlauchteils (3) im formschlüssigen Kontakt mit der äußeren Mantelfläche dieses ersten, inneren Rohrabschnitts (20) ist. Mit Hilfe des zweiten, äußeren Rohrabschnitt (21) wird die Verbindung zur Druckluft ermöglicht, wobei der Außendurchmesser des zweiten, äußeren Rohrabschnitts (21) so bemessen ist, daß innere Mantelfläche des zweiten, äußeren Schlauchteils (4) im formschlüssigen Kontakt mit der äußeren Mantelfläche dieses zweiten, äußeren Rohrabschnitts (21) ist. Durch die zwei koaxial ineinander liegenden Rohrabschnitte (20, 21) werden das flüssige oder überkritische Kohlendioxid oder Distickstoffmonoxid und die Druckluft zur Lochscheibe (22) geleitet. Die Lochscheibe (22) weist eine Öffnung (27) für das flüssige oder überkritische Kohlendioxid oder Distickstoffmonoxid und Öffnungen (28), vorzugsweise vier Öffnungen, für die Druckluft auf. Die Öffnungen (28) sind zentrisch um die zentrale Öffnung (27) für das flüssige oder überkritische Kohlendioxid oder Distickstoffmonoxid herum angeordnet sind und führen die Druckluft in einem eingeschlossenen Winkel (a) von 15 bis 45, bezogen auf die Längsachse des Flansches (18), zu der Maschine (1) bzw. der Schlauchsicherungseinheit (7). Der Flansch (18) wird mit Hilfe einer Verschraubung an der Maschine (1) bzw. an der Schlauchsicherungseinheit (7) befestigt. Dazu sind in der Lochscheibe (22) Öffnungen (23) angeordnet, durch welche die Schrauben oder Stehbolzen geführt werden (hier nicht dargestellt). Vorzugsweise sind vier dieser Öffnungen (23) zentrisch um die zentrale Öffnung (27) für das flüssige oder überkritische Kohlendioxid oder Distickstoffmonoxid herum angeordnet sind. Es ist ebenso vorgesehen, den Flansch (18) über die Lochscheibe (22) mit Hilfe einer Überwurfmutter (hier nicht dargestellt) an der Maschine (1) bzw. an der Schlauchsicherungseinheit (7) zu befestigen. Zur Abdichtung des Flansches (18) und damit der Verbindung zwischen Verbindungsschlauch (2) und Maschine (1) bzw. Schlauchsicherungseinheit (7), weist die Lochscheibe (22) einen am maschinenseitigen bzw. am schlauchsicherungseinheitsseitigen Ende angeordneten rohrabschnittsartigen Stutzen (26) auf, an dessen äußerer Mantelfläche elastisches Dichtmaterial (25) angeordnet ist. Zusätzlich ist an der Lochscheibe (22) an deren maschinenseitigen bzw. schlauchsicherungseinheitsseitigen Stirnfläche elastisches Dichtmaterial (24) angeordnet.

Claims (25)

1. Vorrichtung zur Leitung von Druckluft und flüssigem oder überkritischem Kohlendioxid oder Distickstoffmonoxid in einem Verbindungsschlauch von einer Quelle für die Druckluft und einer Quelle für das flüssige oder überkritische Kohlendioxid oder Distickstoffmonoxid zu einer oder mehreren Maschine(n), vorzugsweise einer oder mehreren Maschine(n) zur Oberflächenbearbeitung, bei der die Druckluft und das flüssige oder überkritische Kohlendioxid oder Distickstoffmonoxid einer Schlauchsicherungseinheit zugeführt wird und von der Schlauchsicherungseinheit über einen oder mehrere Verbindungsschlauch/Verbindungsschläuche, der/die mindestens zwei Schlauchteile aufweist/aufweisen, wobei in mindestens einem ersten Schlauchteil das flüssige oder überkritische Kohlendioxid oder Distickstoffmonoxid geleitet wird und in mindestens einem zweiten Schlauchteil Druckluft geleitet wird und bei der der Schlauchsicherungseinheit Mittel zugeordnet sind, wodurch bei einem langsamen oder plötzlichen Entweichen des flüssigen oder überkritischen Kohlendioxids oder Distickstoffmonoxids aus einem ersten Schlauchteil die Zufuhr des flüssigen oder überkritischen Kohlendioxids oder Distickstoffmonoxids und gegebenenfalls zusätzlich die Zufuhr der Druckluft unterbrochen wird.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, bei der der/die Verbindungsschlauch/Verbindungsschläuche mindestens drei Schlauchteile aufweist/aufweisen, wobei in mindestens einem ersten Schlauchteil das flüssige oder überkritische Kohlendioxid oder Distickstoffmonoxid geleitet wird und in mindestens einem zweiten Schlauchteil Druckluft geleitet wird und bei der der erste Schlauchteil und der zweite Schlauchteil innerhalb eines dritten Schlauchteils angeordnet sind.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, bei der die Zufuhr des flüssigen oder überkritischen Kohlendioxids oder Distickstoffmonoxids und gegebenenfalls zusätzlich die Zufuhr der Druckluft unterbrochen wird bei einem gegenüber den Normalbedingungen um mindestens das zehnfache überschreitenden Druck und/oder Durchfluß der Druckluft und/oder des flüssigen oder überkritischen Kohlendioxids oder Distickstoffmonoxids.
4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, bei der der/die Verbindungsschlauch/Verbindungsschläuche mindestens zwei koaxial ineinander liegende Schlauchteile aufweist/aufweisen, wobei in mindestens einem ersten, inneren Schlauchteil das flüssige oder überkritische Kohlendioxid oder Distickstoffmonoxid geleitet wird und in mindestens einem zweiten, äußeren Schlauchteil Druckluft geleitet wird.
5. Vorrichtung nach Anspruch 4, bei der der erste, innere Schlauchteil einen Innen-Durchmesser von 1 bis 6 mm und der zweite, äußere Schlauchteil einen Innen-Durchmesser von 6 bis 20 mm aufweist.
6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 4 oder 5, bei der als Werkstoff(e) für den ersten, inneren Schlauchteil ein Kunststoff und/oder ein Elastomer verwendet wird/werden und als Werkstoff(e) für den zweiten, äußeren Schlauchteil ein Kunststoff und/oder ein Elastomer verwendet wird/werden.
7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 6, bei der der zweite, äußere Schlauchteil aus mehreren, vorzugsweise 1 bis 4 einzelnen Schlauchteilen besteht, welche konzentrisch um den ersten inneren Schlauchteil angeordnet sind.
8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, bei der die Zufuhr des flüssigen oder überkritischen Kohlendioxids oder Distickstoffmonoxids und gegebenenfalls zusätzlich die Zufuhr der Druckluft unterbrochen wird bei einem Druck in einem Bereich von 10 bis 30 bar im zweiten, von Druckluft durchströmten Schlauchteil.
9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, bei der der Schlauchsicherungseinheit mindestens ein Ventil, eine Rückschlagklappe und eine Bruchsicherung zugeordnet sind, wobei die Bruchsicherung bei einem langsamen oder plötzlichen Entweichen des flüssigen oder überkritischen Kohlendioxids oder Distickstoffmonoxids aus einem ersten Schlauchteil die Zufuhr des flüssigen oder überkritischen Kohlendioxids oder Distickstoffmonoxids und gegebenenfalls zusätzlich die Zufuhr der Druckluft bei einem bestimmten Grenzwert des Durchflusses an der Schlauchsicherungseinheit unterbricht durch Schließen eines Ventils, welches in Verbindung mit der Quelle bzw. der Zuleitung des flüssigen oder überkritischen Kohlendioxids oder Distickstoffmonoxids steht und wobei die Rückschlagklappe in Verbindung steht mit der Quelle bzw. der Zuleitung der Druckluft und im Falle einer Erhöhung des Druckes im/in Verbindungsschlauch/Verbindungsschläuchen über den Druck der der Schlauchsicherungseinheit zugeführten Druckluft die Zufuhr der Druckluft unterbricht.
10. Vorrichtung nach Anspruch 9, bei der zusätzlich eine Berstscheibe angeordnet ist, die in Verbindung steht mit der Quelle bzw. der Zuleitung des flüssigen oder überkritischen Kohlendioxids oder Distickstoffmonoxids und wodurch im Falle einer Erhöhung des Druckes des zugeleiteten flüssigen oder überkritischen Kohlendioxids oder Distickstoffmonoxids über einen bestimmten Druck die Zufuhr in den/die Verbindungsschlauch/Verbindungsschläuche unterbrochen wird.
11. Vorrichtung nach Anspruch 10, bei der die Berstscheibe so ausgelegt ist, daß die Zufuhr in den/die Verbindungsschlauch/Verbindungsschläuchen unterbrochen wird bei einem Druck von ca. 100 bar.
12. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 9 bis 11, bei der die Schlauchsicherungseinheit ein mechanisch betätigtes Ventil aufweist, wobei der/die zweite(n), von Druckluft durchströmte(n) Teil(e) des/der Verbindungsschlauch/Verbindungsschläuche in Verbindung steht mit einem Element, welches aus elastischen Material besteht oder eine elastische Lagerung aufweist, wodurch das Ventil bei einem bestimmten Grenzwert für den Druck in dem/den ersten Verbindungsschlauch/Verbindungsschläuche, welcher durch ein langsames oder plötzliches Entweichen des flüssigen oder überkritischen Kohlendioxids oder Distickstoffmonoxids aus einem ersten Schlauchteil verursacht ist, die Zufuhr des flüssigen oder überkritischen Kohlendioxids oder Distickstoffmonoxids und gegebenenfalls zusätzlich die Zufuhr der Druckluft unterbricht.
13. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 3 bis 12, bei der der/die Verbindungsschlauch/Verbindungsschläuche an einem Flansch angeordnet ist/sind, welcher aus einer Lochscheibe und zwei koaxial ineinander liegenden Rohrabschnitten am verbindungsschlauchseitigen Ende mit einem ersten, inneren Rohrabschnitt und einem zweiten, äußeren Rohrabschnitt besteht und welcher Mittel aufweist, um den Flansch an der Maschine und/oder der Schlauchsicherungseinheit anzuordnen und abzudichten, wobei die Lochscheibe mindestens eine Öffnung für das flüssige oder überkritische Kohlendioxid oder Distickstoffmonoxid und mindestens eine Öffnung für die Druckluft aufweist und wobei der Außendurchmesser des ersten, inneren Rohrabschnitts so bemessen ist, daß die innere Mantelfläche des ersten, inneren Schlauchteils, in welchem das flüssige oder überkritische Kohlendioxid oder Distickstoffmonoxid geleitet wird, im formschlüssigen Kontakt mit der äußeren Mantelfläche dieses ersten, inneren Rohrabschnitt ist und wobei der Außendurchmesser des zweiten, äußeren Rohrabschnitts so bemessen ist, daß innere Mantelfläche des zweiten, äußeren Schlauchteils, in welchem die Druckluft geleitet wird, im formschlüssigen Kontakt mit der äußeren Mantelfläche dieses zweiten, äußeren Rohrabschnitts ist.
14. Vorrichtung nach Anspruch 13, bei der der Flansch eine mittlere, zentral angeordnete Öffnung für das flüssige oder überkritische Kohlendioxid oder Distickstoffmonoxid und vier Öffnungen für die Druckluft aufweist, welche zentrisch um die zentrale Öffnung für das flüssige oder überkritische Kohlendioxid oder Distickstoffmonoxid herum angeordnet sind und welche in einem eingeschlossenen Winkel (a) von 15 bis 45°, bezogen auf die Längsachse des Flansches, angeordnet sind.
15. Vorrichtung nach Anspruch 13 oder 14, bei der der Flansch einen am maschinenseitigen und/oder schlauchsicherungseinheitsseitigen Ende angeordneten rohrabschnittsartigen Stutzen aufweist, an dessen äußerer Mantelfläche elastisches Dichtmaterial angeordnet ist und bei der der Flansch an dessen Stirnfläche zusätzlich elastisches Dichtmaterial aufweist.
16. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 15, bei der das flüssige oder überkritische Kohlendioxid oder Distickstoffmonoxid einen Druck im/in ersten Schlauchteile(n) von 40 bis 80 bar aufweist.
17. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 16, bei der die Quelle für das flüssige oder überkritische Kohlendioxid oder Distickstoffmonoxid eine Quelle für flüssiges Kohlendioxid, vorzugsweise warmes flüssiges Kohlendioxid, ist.
18. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 17, bei der flüssiges oder überkritisches Kohlendioxid oder Distickstoffmonoxid aus einer Rohrleitung zugeführt wird oder in einem Niederdrucktank, einem Mitteldrucktank oder in einer Flasche bevorratet ist, wobei zwischen Niederdrucktank und Schlauchsicherungseinheit eine Druckerhöhungseinheit angeordnet ist.
19. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 18, bei der die Maschine eine Maschine zum Schleifen und/oder Polieren ist mit einem eine Relativbewegung gegenüber dem Werkstück ausführenden Bearbeitungswerkzeug.
20. Vorrichtung nach Anspruch 19, bei der der Maschine Mittel zur Zufuhr von flüssigem oder überkritischem Kohlendioxid oder Distickstoffmonoxid zugeordnet sind, die einen Austritt für das flüssige oder überkritische Kohlendioxid oder Distickstoffmonoxid umfassen, welcher in unmittelbarer Nähe des Bearbeitungswerkzeugs angeordnet ist.
21. Vorrichtung nach Anspruch 20, bei der die Mittel zur Zufuhr von flüssigem oder überkritischem Kohlendioxid oder Distickstoffmonoxid in der Rotationsachse eines rotierenden oder oszillierenden Bearbeitungswerkzeugs angeordnet sind.
22. Vorrichtung nach Anspruch 21, bei der die Mittel ein Ventil zur Regulierung der Durchflußmenge des flüssigen oder überkritischen Kohlendioxids oder Distickstoffmonoxids mit einer Entspannungsdüse für das flüssige oder überkritische Kohlendioxid oder Distickstoffmonoxid umfassen, wobei das Ventil innerhalb der Maschine angeordnet ist.
23. Maschine zum Schleifen und/oder Polieren bei der der Maschine Mittel zur Zufuhr von flüssigem oder überkritischem Kohlendioxid oder Distickstoffmonoxid und eine Schlauchsicherungseinheit zugeordnet sind, wodurch bei einem langsamen oder plötzlichen Entweichen des flüssigen oder überkritischen Kohlendioxids oder Distickstoffmonoxids aus einem Verbindungsschlauch zwischen Schlauchsicherungseinheit und Maschine die Zufuhr des flüssigen oder überkritischen Kohlendioxids oder Distickstoffmonoxids unterbrochen wird.
24. Anordnung zur Leitung von Druckluft und flüssigem oder überkritischem Kohlendioxid oder Distickstoffmonoxid von einer Quelle für die Druckluft und einer Quelle für das flüssige oder überkritische Kohlendioxid oder Distickstoffmonoxid zu einer Maschine mit Hilfe einer Vorrichtung, insbesondere nach Anspruch 1, bei der Druckluft und das flüssige oder überkritische Kohlendioxid oder Distickstoffmonoxid einer Schlauchsicherungseinheit zugeführt wird und anschließend von der Schlauchsicherungseinheit über einen Verbindungsschlauch einer Maschine zugeführt wird.
25. Anordnung zur Leitung von Druckluft und flüssigem oder überkritischem Kohlendioxid oder Distickstoffmonoxid von einer Quelle für die Druckluft und einer Quelle für das flüssige oder überkritische Kohlendioxid oder Distickstoffmonoxid zu zwei oder mehreren, vorzugsweise zwei bis zehn Maschinen mit Hilfe einer Vorrichtung, insbesondere nach Anspruch 1, bei der Druckluft und das flüssige oder überkritische Kohlendioxid oder Distickstoffmonoxid einer Schlauchsicherungseinheit zugeführt wird und anschließend von der Schlauchsicherungseinheit über zwei oder mehrere Verbindungsschläuche den Maschinen zugeführt wird.
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