DE19731005A1

DE19731005A1 - Tastkopf für Koordinatenmeßgerät

Info

Publication number: DE19731005A1
Application number: DE1997131005
Authority: DE
Inventors: Jan Dr Neumann
Original assignee: Leitz Brown and Sharpe Messtechnik GmbH
Current assignee: Hexagon Metrology GmbH
Priority date: 1997-07-18
Filing date: 1997-07-18
Publication date: 1999-02-11

Description

Die Erfindung betrifft einen Tastkopf für ein Koordi natenmeßgerät.

Tastköpfe für den Einsatz an Koordinatenmeßgeräten sind grundsätzlich bekannt. Man unterscheidet schaltende Tastköpfe, die bei Werkstückberührung ein Antastsignal ab geben und messende Tastköpfe, bei denen bei Berührung des Werkstückes eine Kennlinie aufgenommen wird, aus der der Antastpunkt berechnet wird. Unter den messenden Tastköpfen werden passive Tastköpfe, bei denen die Antastkraft durch Federn erzeugt wird und aktive Tastköpfe, bei denen die An tastkraft elektromagnetisch über elektronisch geregelte Meßkraftgeneratoren erzeugt wird, unterschieden.

Einzelne Meßpunkte auf der Werkstückoberfläche können sowohl mit einem schaltenden als auch mit einem messenden Tastkopf aufgenommen werden. Messende Tastköpfe können dar über hinaus auch zum Scannen, das heißt zur kontinuierli chen Aufnahme von Meßpunkten beim Abfahren der Werkstück oberfläche eingesetzt werden. Hierbei tritt in erheblich größerem Maße als bei der Einzelpunktantastung das Problem von Schwingungen auf, da beim Abfahren der Werkstückober fläche von der Oberfläche selbst und von den Achsen des Koordinatenmeßgerätes Schwingungen eingekoppelt werden, die ein breites Frequenzspektrum umfassen.

Zur Lösung dieses Problems sind Dämpfungseinrichtungen am Tastkopf bekannt. So wird in der DE 44 24 225 A1 be schrieben, daß die bei einem aktiven Tastkopf ohnehin not wendige elektronische Meßkraftregelung als dämpfende Rege lung ausgelegt werden kann. Bei einer solchen Dämpfung tritt jedoch oft das Problem einer frequenzabhängigen Pha senbeziehung zwischen Geschwindigkeit und Dämpfungskraft auf. Zusätzlich wird in der DE 44 24 225 A1 beschrieben, daß im Spulenkörper des Meßkraftgenerators, der auch der Abführung der im Meßkraftgenerator entstehenden Verlust wärme zu einem Kühlsystem dient, gleichzeitig Wirbelströme erzeugt werden, die ebenfalls dämpfende Wirkung haben. Dieses Gesamtsystem ist sehr kompliziert und aufgrund der elektronischen Komponenten nur schwer langzeitstabil zu halten.

An einen Tastkopf mit Dämpfungseinrichtung, der wirt schaftlich herzustellen sein soll, ist in der Praxis noch eine weitere Aufgabe gestellt:
Ein und derselbe Tastkopftyp muß zumindest an ver schiedenen Baugrößen desselben Typs eines Koordinatenmeßge rätes, oft sogar an grundverschiedenen Typen von Koordina tenmeßgeräten einsetzbar sein. Da jedoch die Schwingungs eigenschaften verschiedener Baugrößen und Typen von Koordi natenmeßgeräten teilweise sogar individuell sehr unter schiedlich sein können, sind eine optimale Funktion und eine wirtschaftliche Fertigung nur gewährleistet, wenn die Dämpfungscharakteristik des Tastkopfes bei der Montage oder Inbetriebnahme des Koordinatenmeßgerätes auf dessen Schwin gungsverhalten eingestellt werden kann. Dasselbe gilt bei Koordinatenmeßgeräten mit Tastkopfwechsel für die Anpassung an unterschiedliche Tastkopfkombinationen.

Bekannte Dämpfungseinrichtungen in Tastköpfen sind nicht auf die Eigenschaften des Koordinatenmeßgerätes oder der Taststiftkombination einstellbar. Bei der in der DE 44 24 225 A1 beschriebenen Dämpfungseinrichtung ist zwar die elektronische Meßkraftregelung, nicht jedoch die para sitäre Wirbelstrombremse einstellbar. Bei der konstruktiven Auslegung des Spulenkörpers, in dem der Wirbelstromeffekt auftritt, müssen ganz andere Bedingungen erfüllt werden, insbesondere mechanische (als Spulenkörper), thermische (zur Ableitung der Verlustwärme der Spule) und elektrische Bedingungen (Unterdrückung von Wirbelströmen, die vom Spulenstrom verursacht werden)

Das der Erfindung zugrunde liegende technische Problem liegt darin, einen Tastkopf anzugeben mit einer einfachen, an verschiedene Koordinatenmeßgeräte oder Taststiftkombina tionen anpaßbaren Dämpfungseinrichtung.

Dieses technische Problem wird durch die Merkmale des Anspruches 1 gelöst.

Der erfindungsgemäße Tastkopf, der mit einer Wirbel strombremse ausgebildet ist, deren Dämpfungskonstante ein stellbar ist, hat den Vorteil einer bis zu sehr hohen Fre quenzen streng konstanten Phasenbeziehung zwischen Ge schwindigkeit und Dämpfungskraft. Die Wirbelstrombremse hat gegenüber anderen bekannten Dämpfungsprinzipien, wie Fest körper- oder Flüssigkeitsreibung, die weiteren Vorteile, daß keine Restauslenkung bei verschwindender Geschwindig keit verbleibt, und daß keine Gefahr durch Verharzung oder Undichtigkeit des Flüssigkeitsbehälters beziehungsweise Reibung in den Dichtungen des Flüssigkeitsbehälters be steht. Beide Eigenschaften sind wichtig für eine langzeit stabile hohe Genauigkeit.

Die wenigstens eine Wirbelstrombremse, die in dem er findungsgemäßen Tastkopf vorgesehen ist, dämpft die Bewe gungen des beweglichen Teils des Tastkopfes in jeder ein zelnen Richtung.

Erfindungsgemäß ist für jede Raumrichtung eine eigene Wirbelstrombremse vorgesehen, die gegebenenfalls für jede Raumrichtung unterschiedlich dimensioniert beziehungsweise eingestellt ist.

Es ist aber auch möglich, für mehrere Raumrichtungen nur eine Wirbelstrombremse vorzusehen. Darüber hinaus be steht auch die Möglichkeit, nur eine einzige Wirbelstrom bremse für sämtliche Raumrichtungen vorzusehen.

Zur Wirbelstrombremse gehören jeweils mindestens ein Magnet, gegebenenfalls mit zusätzlichen Flußführungsele menten, und mindestens ein metallisch leitendes Teil, vor zugsweise ein Kupferblech. Der Magnet kann am festen Teil einer Tastkopfschaukel angebracht sein und das Kupferblech am beweglichen Teil. Es ist auch der umgekehrte Aufbau mög lich. Da die drei Tastkopfschaukeln in der Regel aufeinander aufbauen, kann die Masse des beweglichen Teils in jeder Raumrichtung unterschiedlich sein. Aus diesem Grund kann eine jeweils unterschiedliche Dimensionierung oder Einstellung erforderlich sein.

Das elektrisch leitfähige Metallteil ist erfindungsge mäß als Blech oder als eine Platte aus einem Material mit einem geringen elektrischen Widerstand, zum Beispiel Kup fer, Silber oder mit Silber beschichtetes Kupfer ausgebil det.

Die Dämpfungskonstante ist einstellbar durch Verände rung des magnetischen Flußkreises oder durch Veränderung der Geometrie der Anordnung von Magnet und Blech, insbeson dere durch Veränderung der Luftspalte oder der Eintauch tiefe. Es kann aber auch durch die Auswahl von Magnet und Blech, insbesondere nach Material und Dicke des Bleches, eine Einstellung beziehungsweise Voreinstellung der erforderlichen Dämpfung vorgenommen werden.

Bei der Einstellung der Dämpfung sind folgende Grenzen zu beachten:
Eine zu schwache Dämpfung verhindert nicht das Auf treten von Resonanzen, wenn von der Werkstückoberfläche oder aus den Antrieben des Koordinatenmeßgerätes die Eigen frequenz der Schwingung des beweglichen Teils des Tast kopfes eingekoppelt wird. Wird im geregelten Modus ge scannt, bei dem die Tastkopf-Auslenkung auf einen Sollwert geregelt wird, so kann auch der Scanregler selbst noch zu diesen Resonanzen beitragen.

Andererseits verursacht eine zu hohe Dämpfung hohe Kräfte auf den Taststift, da das bewegliche Teil des Tastkopfes einer von der Werkstückoberfläche erzwungenen Auslenkungsänderung nur gegen die Dämpfungskraft folgen kann. Diese Kräfte führen jedoch zu einer Biegung des Tast stiftes, die auch bei gängigen Taststiftkombinationen von ähnlicher Größe wie die Tastkopf-Auslenkung sein kann. Diese Biegung kann nach bekannten Verfahren korrigiert wer den, wenn die biegungserzeugende Kraft zur Tastkopf-Auslen kung proportional ist. Dies ist bei der Dämpfungskraft je doch nicht der Fall; daher erfolgt auch keine entsprechende Korrektur. Dies äußert sich darin, daß bei einem zu stark gedämpften Tastkopf mit einem weichen Taststift beim Scannen an Oberflächenstrukturen, die die Taststift-Auslen kung rasch verändern, auch etwa an scharfen Kanten, große Meßfehler entstehen.

In einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung ist es vorgesehen, auch solche Biegungsfehler rechnerisch zu kor rigieren.

Die Dämpfungskonstante sollte daher nicht größer sein, als für ein bestimmtes Koordinatenmeßgerät beziehungsweise eine bestimmte Taststiftkombination erforderlich ist. In der Regel ist eine Einstellung nahe oder unterhalb der kri tischen Dämpfung optimal. Der optimale Wert der Dämpfungs konstanten kann auch von der beim Scannen oder beim Anta sten verlangten Leistung, das heißt Genauigkeit und Ge schwindigkeit, abhängen.

In der Praxis kann die Einstellung der optimalen Dämp fung beispielsweise durch Scannen mit vorgegebener Ge schwindigkeit an einem Wellennormal oder an einem Werkstück mit einer scharfen Kante erfolgen, wobei die Fähigkeit des Tastkopfes, plötzlichen Auslenkungsänderungen zu folgen und die maximale Schwingungsamplitude an einer glatten Kontur bewertet werden. Je nach Ergebnis des Tests wird eine niedrigere oder höhere Dämpfung gewählt. Diese Einstellung erfolgt bei der Typprüfung eines Koordinatenmeßgerätes, bei der Inbetriebnahme eines Koordinatenmeßgerätes oder, bei Koordinatenmeßgeräten mit Tastkopfwechsel, beim ersten Ein satz einer Taststiftkombination an einem Tastkopf.

Die einzelnen Wirbelstrombremsen sind untereinander und/oder gegen andere Subsysteme des Tastkopfes abge schirmt. Vorteilhaft sind wesentliche Elemente des Tast kopfes aus unmagnetischem Material ausgebildet, insbeson dere die Hauptteile der Schaukeln, die Anbringungsteile für die Wegaufnehmersysteme und die Taststiftaufnahme.

Vorteilhaft ist eine Kapselung der Wirbelstrombremse oder des gesamten Tastkopfes vorgesehen, um das Festsetzen von ferromagnetischen Staubteilchen oder Spänen am Magneten zu verhindern. Am "Ausgang" der Kapselung, das heißt an der Taststiftaufnahme, kann zusätzlich ein Fangmagnet ange bracht sein.

Wird eine erfindungsgemäße Dämpfungseinrichtung an ei nem passiven Tastkopf, wie er beispielsweise in der deut schen Patentanmeldung 196 47 514.7-52 beschrieben wird, eingesetzt, so erhält man ein überaus einfaches System mit einstellbaren und langzeitstabilen Dämpfungseigenschaften. Ein solcher Tastkopf hat darüber hinaus noch die weiteren Vorteile eines passiven Tastkopfes, nämlich, daß die An tastkraft automatisch senkrecht auf der Werkstückoberfläche steht, und daß keine wesentliche Verlustwärme im Tastkopf frei wird. Damit sind keine aufwendigen Zusatzeinrichtungen zur Kompensation dieser Effekte notwendig. Die geringe Zahl von notwendigen Versorgungsleitungen kann problemlos auch über eine automatisch trennbare und verbindbare Schnitt stelle geführt werden, so daß ein automatischer Tastkopf wechsel ermöglicht wird, was für bestimmte Anwendungen vor teilhaft ist. In diesem Fall trägt jeder Tastkopf eine fe ste Taststiftkombination.

Die beschriebenen Maßnahmen zur Einstellung der Dämp fung des Tastkopfes sind unumgänglich beim Scannen, sind aber auch bei der Einzelpunktantastung mit einem messenden oder auch schaltenden Tastkopf vorteilhaft.

Vorteilhaft wird eine rechnerische Korrektur der Tastkopfkennlinie oder eine Filterung von Meßdaten zur Eliminierung von Schwingungen vorgenommen.

Weitere Einzelheiten der Erfindung können den Unteran sprüchen entnommen werden.

Auf der Zeichnung ist ein Ausführungsbeispiel der Er findung dargestellt, und zwar zeigen:

Fig. 1 zwei erfindungsgemäße Dämpfungsvorrichtungen für zwei Raumrichtungen;

Fig. 2 eine erfindungsgemäße Dämpfungsvorrichtung für zwei Raumrichtungen;

Fig. 3 einen Tastkopf;

Fig. 4 ein Diagramm zur Wirkungsweise der erfin dungsgemäßen Vorrichtung.

Fig. 1 zeigt einen Teil eines Tastkopfes (1) mit Par allelogramm-Federblechen (2, 3; 4, 5) . Ein Teil (6) ist über die Parallelogramm-Federbleche (2, 3) gegenüber einem Teil (7) in X-Richtung auslenkbar. Das Teil (7) ist über die Parallelogramm-Federbleche (4, 5) gegenüber einem Teil (8) auslenkbar gelagert.

An dem Teil (6) ist ein Blech (9) fest angeordnet, welches durch ein zeitlich konstantes Magnetfeld eines Ma gneten (10) geführt ist. Der Magnet (10) ist als Hufeisen magnet ausgebildet.

Durch den Magneten (10) und das Blech (2) erfolgt eine Dämpfung in X-Richtung. Eine Verstellmöglichkeit zur Ein stellung der Dämpfung durch Veränderung der Eintauchtiefe ist durch ein Langloch (33) gegeben. Es ist aber auch mög lich, beispielsweise eine Verstellschraube vorzusehen.

Das Teil (7) ist über die Parallelogramm-Federbleche (4, 5) gegenüber dem Teil (8) in Y-Richtung auslenkbar ge lagert. An dem Teil (7) ist ein Magnet (11) fest angeord net, in dessen Magnetfeld ein Blech (12) angeordnet ist, welches wiederum fest beziehungsweise einstellbar fest mit dem Teil (8) verbunden ist.

Der Magnet (11) und das Blech (12) stellen eine Dämp fungsvorrichtung für die Y-Richtung dar.

Der dargestellte Teil des Tastkopfes (1) weist für die X- und die Y-Richtung jeweils eine Dämpfungsvorrichtung (9, 10; 11, 12) auf. Für die Z-Richtung ist die Dämpfungsvor richtung nicht dargestellt. Sie funktioniert aber analog.

Fig. 2 zeigt einen Tastkopf (13) mit einer Taststift aufnahme (14). Der Tastkopf (13) weist eine Dämpfungsvor richtung (15) auf, die gleichzeitig in X- und Z-Richtung dämpft. Die Dämpfungsvorrichtung besteht aus einem Magneten (16) und einem Blech (17).

Gemäß Fig. 3 weist der Tastkopf (13) drei Tastkopf schaukeln auf. Die erste Schaukel besteht unter anderem aus den Parallelogramm-Federblechen (23, 24), die in Z-Richtung auslenkbar sind. Zu der ersten Schaukel gehören Teile (18, 19).

Zu der zweiten Schaukel gehören Parallelogramm-Feder bleche (25, 26) sowie Teile (20, 21, 22).

Zu der dritten Schaukel gehören Parallelogramm-Feder bleche (27, 28) sowie Teile (29, 30) und die Taststiftauf nahme (14).

Darüber hinaus weist der Tastkopf (13) Meßwertgeber (31, 32) für die X- und Z-Richtung auf. Der Meßwertgeber für die Y-Richtung ist nicht dargestellt.

Die Dämpfungsvorrichtung (15) der Fig. 2 ist in Fig. 3 nicht dargestellt. Das Blech (17) der Dämpfungsvorrichtung (15) der Fig. 2 ist an der ersten Schaukel an dem Teil (18) und der Magnet (16) ist an der dritten Schaukel an dem Teil (30) befestigt. Hierdurch wird eine Dämpfung in zwei Rich tungen, nämlich in der X- und der Z-Richtung, erreicht. Die Dämpfung in der Y-Richtung ist nicht dargestellt.

Fig. 4 zeigt, daß mit der Dämpfung eines beweglichen Teiles (34) des Tastkopfes nur die Dämpfung eines schwin gungsfähigen Teilsystems vorgenommen wird. Schwingungsfähig ist auch ein maschinenfester Teil (35) des Tastkopfes, der über die Maschinenstruktur (Pinole, Schlitten, Portal) mit dem Werkstücktisch verbunden ist. Mit (36) ist das Werk stück beziehungsweise der Werkstücktisch bezeichnet.

D₁ stellt die Federkonstante der Maschinenstruktur dar, D₂ die Federkonstante der Tastkopffedern und D₃ die Federkonstante des Taststiftes.

Die Federkonstanten weisen beispielsweise folgende Größenordnungen auf:

D₁ ≈ 1 N/µm,
D₂ ≈ 0,01 N/µm ≈ D₃.

Die Dämpfung gemäß der erfindungsgemäßen Vorrichtung wirkt parallel zu D₂. Gemäß der erfindungsgemäßen Vorrich tung wird nur eine Dämpfung eines schwingungsfähigen Teil systems, nämlich des beweglichen Teils (34) des Tastkopfes vorgenommen. Hierdurch erfolgt aber, zumindest bei Regel kreisschwingungen, auch eine indirekte Dämpfung des maschi nenfesten Teils (35) des Tastkopfes. Das bedeutet, daß bei der Dämpfung des beweglichen Teils (34) des Tastkopfes beim geregelten Scanverfahren andere Teile durch diese Dämpfung beeinflußt werden.

Eine Einstellung der Dämpfungskonstanten nahe oder un terhalb der kritischen Dämpfung wird als optimal angesehen.

Geht man davon aus, daß die Masse des beweglichen Teils (34) des Tastkopfes beispielsweise bei 300 g liegt, ist als Richtwert für die kritische Dämpfung folgender Wert der Dämpfungskonstante anzugeben: 0,1 N/(mm/s).

Bezugszeichenliste

1

Teil eines Tastkopfes

2

bis

5

Parallelogramm-Federbleche

6

bis

8

Teile

9

Blech

10

Magnet

11

Magnet

12

Blech

13

Tastkopf

14

Taststiftaufnahme

15

Dämpfungsvorrichtung

16

Magnet

17

Blech

18

,

19

Teile der ersten Schaukel

20

,

21

,

22

Teile der zweiten Schaukel

23

bis

28

Parallelogramm-Federbleche

29

,

30

Teile der dritten Schaukel

31

,

32

Meßwertgeber

33

Langloch

34

beweglicher Teil des Tastkopfes

35

maschinenfester Teil des Tastkopfes

36

Werkstück beziehungsweise -tisch
D₁

Federkonstante Maschinenstruktur
D₂

Federkonstante Tastkopffedern
D₃

Federkonstante Taststift

Claims

1. Tastkopf für ein Koordinatenmeßgerät mit einem festen und wenigstens einem beweglichen Teil, dadurch gekennzeichnet, daß zur Dämpfung der Bewegung des wenigstens einen beweglichen Teils des Tastkopfes (13) wenigstens eine Wirbelstrombremse vorgesehen ist, deren Dämpfungskonstante einstellbar ist.

2. Tastkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Tastkopf als ein schaltender Tastkopf oder als ein im schaltenden Modus betriebener messender Tastkopf ausge bildet ist.

3. Tastkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Tastkopf (13) als ein messender Tastkopf ausgebil det ist.

4. Tastkopf nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Tastkopf als ein passiver messender Tastkopf (13) mit Federn (23 bis 28) zur Erzeugung der Meßkraft ausgebil det ist.

5. Tastkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß für jede Raumrichtung je eine Wirbelstrombremse vorge sehen ist.

6. Tastkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß für wenigstens zwei Raumrichtungen eine Wirbelstrom bremse vorgesehen ist.

7. Tastkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß eine Wirbelstrombremse für alle Raumrichtungen vorgese hen ist.

8. Tastkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Wirbelstrombremse wenigstens einen Magneten (10, 11) und wenigstens ein elektrisch leitfähiges Metallteil (9, 12) aufweist.

9. Tastkopf nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß der Magnet (10, 11) als Hufeisenmagnet und/oder als Stabmagnet ausgebildet ist.

10. Tastkopf nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß das elektrisch leitfähige Metallteil (10, 11) ein Blech oder eine Platte aus einem Material mit geringem elektri schen Widerstand ist.

11. Tastkopf nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Dämpfungskonstante als eine durch Veränderung des magnetischen Flußkreises oder der Geometrie der Anordnung von Magnet (10, 11) und Blech (9, 12) einstellbare Dämp fungskonstante ausgebildet ist.

12. Tastkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Dämpfungskonstante durch Wahl der Komponenten der Wirbelstrombremse verändert wird, ohne andere Funktionen des Tastkopfes (13) zu verändern.

13. Tastkopf nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Dämpfungskonstante durch Wahl von Dicke, Breite oder Material des Bleches (9, 12) verändert werden kann.

14. Tastkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Wirbelstrombremsen untereinander und/oder gegen an dere Subsysteme des Tastkopfes (13) abgeschirmt ausgebildet sind.

15. Tastkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß wesentliche Elemente des Tastkopfes (13) aus unmagne tischem Material ausgebildet sind.

16. Tastkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Tastkopf gekapselt ist und eine Einrichtung zum Verhindern des Eindringens magnetischer Späne aufweist.

17. Tastkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß eine Korrektur der Tastkopfkennlinie zur Eliminierung von Schwingungen oder eine Filterung der Meßdaten vornehm bar ist.

18. Tastkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Dämpfungskonstante an das Schwingungsverhalten des Koordinatenmeßgerätes angepaßt einstellbar ist.

19. Tastkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Dämpfungskonstante an das Schwingungsverhalten des Koordinatenmeßgerätes mit einer bestimmten Taststiftkombi nation angepaßt einstellbar ist.

20. Tastkopf nach Anspruch 18 oder 19, dadurch gekenn zeichnet, daß die Dämpfungskonstante aufgrund des Ergebnis ses eines Scan-Meßlaufs an einer Oberfläche mit definierten Wellen einstellbar ist.

21. Tastkopf nach Anspruch 18 oder 19, dadurch gekenn zeichnet, daß die Dämpfungskonstante aufgrund des bei einer Antastung aufgenommenen Antastsignals einstellbar ist.

22. Tastkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Tastkopf für einen automatischen Tastkopfwechsel vorgesehen ist.

23. Tastkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß eine rechnerische Korrektur der Biegung, die der Tast stift oder andere Elemente des Koordinatenmeßgerätes auf grund der durch Dämpfung oder Beschleunigung des beweg lichen Teils des Tastkopfes auf den Taststift ausgeübten Kräfte erfährt, vorgesehen ist.

24. Tastkopf nach Anspruch 23, dadurch gekennzeichnet, daß eine Meßeinheit für die Messung der auf den Taststift ausgeübten Kraft vorgesehen ist.

25. Tastkopf nach Anspruch 23, dadurch gekennzeichnet, daß die Biegungskorrektur von der Tastkopf-Auslenkung und von der ersten und/oder zweiten zeitlichen Ableitung der Tastkopf-Auslenkung abhängig ist.