DE69621954T2

DE69621954T2 - Vibrationsdämpfer für koordinatenmessmaschine

Info

Publication number: DE69621954T2
Application number: DE69621954T
Authority: DE
Inventors: W. Carrier; A. Macmanus
Original assignee: UTVECKLINGS URANIENBORG NAC AB
Current assignee: Hexagon Metrology AB
Priority date: 1995-01-27
Filing date: 1996-01-16
Publication date: 2003-01-23
Anticipated expiration: 2016-01-17
Also published as: WO1996024025A2; DE69621954D1; ATE219574T1; EP0909371A2; EP0909371A4; US5535524A; WO1996024025A3; EP0909371B1

Description

Gebiet der Erfindung

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Koordinatenmessmaschine sowie auf ein entsprechendes Verfahren zum Verbessern der Genauigkeit und des Durchsatzes.

Hintergrund der Erfindung

Koordinatenmessmaschinen (KMMs) sind Maschinen mit hoher Genauigkeit, die zum Vermessen von Objekten, wie z. B. Karosserieteilen von Kraftfahrzeugen, verwendet werden. Die KMM prüft das Objekt, um sicherzustellen, dass dieses eine korrekte, gewünschte Formgebung und Größe innerhalb einer definierten Toleranz aufweist, die bis zu mehreren Zehntausendstel Inch hinabgehen kann. Typische KMMs weisen drei Motor betriebene Schienen auf, deren jede unter einer Computersteuerung entlang von einer von drei zueinander orthogonalen Achsen beweglich ist. Eine Sonde ist an dem Ende von einer der Schienen positioniert. Die Sonde wird rasch zu einer Position in der Nähe des Objekts bewegt, zu einem Stopp gebracht und dann langsam mit einer nahezu konstanten Geschwindigkeit bewegt, bis sie das Objekt berührt, was als "Landen eines Treffers" bezeichnet wird. Somit werden die Schienen und daher die Sonde beschleunigt und verzögert, bevor sie wiederum auf eine niedrige Geschwindigkeit gebracht werden, um den Treffer zu landen.
Ein Typ einer derzeit verfügbaren KMM weist einen horizontalen Tisch, auf dem das Objekt angebracht wird, sowie eine einzige vertikale Säule auf, die seitlich des Tisches angebracht ist. Eine Motor getriebene Antriebsanordung bewegt die Säule entlang einer Seite des Tisches in einer Richtung, die als x-Achse definiert ist. Ein Schlitten ist an der vertikalen Säule angebracht und bewegt sich vertikal in einer zu dem Tisch rechtwinkligen Richtung, die als z-Achse definiert ist. Der Schlitten besitzt einen Motor zum Bewegen einer horizontalen Schiene über den Tisch entlang der y-Achse. Der Schlitten kann entlang einer Säule bewegt werden, wobei die Säule vertikal festgelegt ist, oder der Schlitten kann oben auf der Säule angebracht werden, während die eigentliche Säule durch einen Motor angehoben und abgesenkt wird.
Wenn die Schienen der KMM bewegt werden und insbesondere wenn diese gestoppt und gestartet werden, treten Vibrationen auf. Zum Gewährleisten der Messgenauigkeit, müssen diese Vibrationen ausreichend gedämpft werden, bevor eine Messung durchgeführt wird. Während man diese Dämpfung in einfacher Weise erzielen kann, indem man auf das Auslaufen der Vibrationen wartet, führt dieser Weg zu einer starken Verminderung des Durchsatzes bei der Messung.
In den US-Patenten Nr. 5,042,162 und 4,958,437 ist eine KMM vom Portal-Typ dargestellt und beschrieben. Bei einer derartigen KMM bewegt sich ein umgekehrt U-förmiges Portal entlang eines horizontalen Tisches, wobei es von einem Motor angetrieben wird, der auf einer Seite des Tisches positioniert ist. Diese Patente beschreiben ausführlich Drehmomente und somit Vibrationsquellen, die bei einer KMM des Portal-Typs auftreten, sowie einen Typ von Vibrationsdämpfer, der den Durchsatz durch Dämpfen von Vibrationen erhöht, wodurch Messungen rascher nacheinander ausgeführt werden können. Bei der in diesen Patenten beschriebenen KMM ist ein Dämpfer an dem Portal positioniert, ein Dämpfer ist an einer vertikalen z-Schiene positioniert, die eine Sonde aufweist, und ein Dämpfer ist unter dem Tisch positioniert. Der Dämpfer an dem Portal ist sowohl in vertikaler Richtung als auch in horizontaler Richtung so weit wie möglich von dem x-Schienenantrieb entfernt positioniert. Bei dieser KMM werden die Schienen mittels eines Motors und eines Mehrfach-V-Riemens angetrieben, der gleichmäßig läuft und wenig Vibration aufweist.

Kurzbeschreibunci der Erfindung

Die vorliegende Erfindung besteht in einer Vorrichtung und einem Verfahren zum Reduzieren von Vibrationen bei einer KMM sowie zum Steigern sowohl des Durchsatzes als auch der Messgenauigkeit. Vibrationsdämpfer sind derart positioniert, dass sie sowohl vorübergehende Vibrationen mit großer Amplitude, die aufgrund von Beschleunigung und Verzögerung auftreten, als auch kleinere dauernde Vibrationen dämpfen, die aufgrund der Verwendung einer Antriebsanordung mit einem Motor und einer Zahnstangen- und Ritzelanordnung selbst bei konstanter Geschwindigkeit auftreten. Solche dauernden Vibrationen, die in erster Linie durch die Effekte von Motorhemmnissen und abgenutzte Lager, Eingriff zwischen Verzahnungen sowie Hemmnissen bei dem Zeitsteuerriemen bedingt sind, weisen eine sinusförmige Wellenform auf, die der vorübergehenden Schwingung mit großer Amplitude überlagert ist. In Abhängigkeit davon, wann die Messung vorgenommen wird, kann die dauernde Vibration dazu führen, dass die Messung in einem Ausmaß ungenau ist, das im Vergleich zu einer definierten Toleranz für die Messung des Objekts signifikant ist.
Gemäß der vorliegenden Erfindung weist eine KMM eine vertikale Säule auf, die als z-Schiene dient und an ihrer Basis angrenzend an den horizontalen Tisch angebracht ist. Die z-Schiene kann entweder selbst vertikal beweglich sein, oder sie kann einen Schlitten aufweisen, der sich vertikal entlang der Säule bewegt. In dem Schlitten ist eine Antriebsanordung untergebracht, die einen Motor und eine Zahnstangen- und Ritzelanordnung zum Ausfahren einer y-Schiene horizontal über den Tisch aufweist. Die Sonde ist an dem Ende der y-Schiene angebracht. Für Referenzzwecke ist die y-Richtung vorliegend als horizontal über den Tisch verlaufend definiert, so dass y = 0 an dem Zentrum der Säule ist und so dass die Sonde stets in einer Position ist, die größer ist als Null (es ist darauf hinzuweisen, dass die die KMM steuernde Software die Ebene y = 0 anders definieren kann und diese Definition im vorliegenden Fall nur für Referenzzwecke dient).
Ein erster Vibrationsdämpfer ist über der z-Schiene positioniert und dabei in = y-Richtung derart positioniert, dass die Säule in y-Richtung zwischen dem Dämpfer und der Sonde angeordnet ist. Der erste Dämpfer beinhaltet einen Block aus Blei, der bevorzugte Abmessungen von ca. 8 · 4 · 4,3 Inch (20 · 10 · 11 cm³) hat und ca. 60 Ibs (27 kg) wiegt. Ein zweiter Vibrationsdämpfer ist an dem Ende der y-Schiene in der Nähe der Sonde angeordnet, und dabei handelt es sich um einen Block aus Blei mit einem Gewicht von ca. 4, 5 Ib (2 kg). Diese Blöcke liegen jeweils auf Abstützungen auf, bei denen es sich vorzugsweise um Polymermaterial handelt und die geeignet abgestimmt sind. Der Dämpfer beträgt vorzugsweise ca. 4-8% des Gesamtgewichts der Säule, des Schlittens, der y-Schiene und der Sonde.
Die vorliegende Erfindung beinhaltet auch ein Verfahren zum Erhöhen des Durchsatzes und der Genauigkeit einer KMM, die geeignet positionierte Vibrationsdämpfer zum Reduzieren sowohl von vorübergehenden Vibrationen mit großer Amplitude als auch zum Reduzieren von dauernden Vibrationen aufweist. Die Dämpfer sind vorzugsweise in der vorstehend beschriebenen Weise positioniert, so dass ein erster Dämpfer über der z-Schiene in der -y-Richtung angebracht ist und ein zweiter Dämpfer an dem Ende der y-Schiene vorgesehen ist.

Kurzbeschreibung der Zeichnungen

Weitere Merkmale und Vorteile ergeben sich aus der nachfolgenden ausführlichen Beschreibung in Verbindung mit den Begleitzeichnungen; darin zeigen:
Fig. 1 eine Perspektivansicht einer KMM gemäß der vorliegenden Erfindung;
Fig. 2 eine vergrößerte, teilweise weggeschnittene Ansicht eines Bereichs der KMM der Fig. 1;
Fig. 3 eine Seitenansicht eines weiteren Typs einer KMM gemäß der vorliegenden Erfindung; und
Fig. 4 bis 7 grafische Darstellungen von Testergebnissen zur Veranschaulichung von Vibrationen mit und ohne Dämpfer.

Ausführliche Beschreibung

Wie unter Bezugnahme auf Fig. 1 zu sehen ist, weist bei einem ersten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung eine KMM 10 eine einzelne vertikale Säule 12 auf, die als z-Schiene dient. Die Säule 12 ist an ihrer Basis 14 an einem ebenen, horizontalen Tisch 16 angebracht, auf dem ein zu vermessendes Objekt (nicht gezeigt) festgeklemmt wird. Der Tisch 16 liegt in der x-y-Ebene, wobei z = 0 ist. Eine erste Antriebsanordung 18 bewegt die Säule relativ entlang der Seite des Tisches 16 entlang einer x-Achse. An der Säule 12 ist ein Schlitten 24 angebracht, der mit einer zweiten Antriebsanordung (nicht gezeigt) für eine vertikale Bewegung relativ zu der Säule gekoppelt ist. Der Schlitten 24 trägt ferner eine y-Schiene 26 und beinhaltet eine dritte Antriebsanordung (nicht gezeigt), die die y-Schiene 26 irr y-Richtung antriebsmäßig über den Tisch bewegt. Das Zentrum der Säule 12 ist im vorliegenden Fall für Referenzzwecke als der Ort definiert, an dem y = 0 beträgt. An dem Ende der y-Schiene tritt eine computergesteuerte Sonde 28 mit dem Objekt in Berührung. Jede der Antriebsanordungen beinhaltet einen Motor und eine Zahnstangen- und Ritzelanordnung (nicht separat dargestellt). Eine KMM dieses allgemeinen Typs ist derzeit von der Mora Fabrik für Messgeräte h. Freund GmbH, einer Firma mit Sitz in Deutschland, erhältlich und wird als Teil eines integrierten Systems von dem Begünstigten der vorliegenden Erfindung unter der Bezeichnung "ORYZO" vertrieben. Die Mora-KMM besitzt eine kleine Abdeckung an der Oberseite der z- Schiene, die mit einem Stützbalken gekoppelt ist und zum Umschließen einer mechanischen Schraubenanordnung dient, die Biegen in der Säule kompensiert.
Wie auch unter Bezugnahme auf Fig. 2 zu sehen ist, sind bei einer KMM gemäß der vorliegenden Erfindung die kleine Abdeckung und die mechanische Schraubenanordnung, die bei der Mora-Maschine zu finden sind, eliminiert und durch eine größere Abdeckanordnung 30 ersetzt, die über der Säule 12 positioniert ist und in der ein erster Vibrationsdämpfer 36 untergebracht ist und die ferner eine Verbindung mit einem Stützbalken 32 abstützt. Der erste Dämpfer 36 ist über der Säule 12 positioniert, und zwar in Richtung auf eine Seite der Säule 12, so dass der erste Dämpfer 36 sein Zentrum an einer Position y = -y&sub0; hat, wobei y&sub0; vorzugsweise ca. 4,5 Inch (9,5 cm) beträgt. Der Dämpfer 36 beinhaltet eine Bleimasse 38, die ungefähr ca. 8 · 4 · 4,5 Inch (20 · 10 · 11 cm³) groß ist und ca. 60 lbs. (27 kg) wiegt. Die Masse 38 ist mittels eines Montagehalters 40 angebracht und liegt auf sechs Abstützkissen 42 auf, die vorzugsweise aus einem Polymer, wie z. B. "AXIDYNE", hergestellt sind, wobei es sich um ein Erzeugnis handelt, das von Polymer Dynamics, Inc. erhältlich ist. Der Dämpfer 36 ist geeignet abgestimmt, um die Leistungseigenschaften zu verbessern.
Die Säule 12 ist ca. 135 Inch (3,4 m) hoch, und zwar von der Oberseite des Tisches bis zu den Abstützkissen, und wiegt ca. 820 Ib (375 kg) einschließlich Schlitten 24, y-Schiene 26 und Sonde 28. Somit beträgt yo ca. 3, 3% der Höhe der Säule 12, und die Masse 38 beträgt ca. 7,3% des Gewichts der Säule 12.
Ein zweiter Dämpfer 48, der ebenfalls eine Masse aufweist, die auf vorzugsweise aus einem Polymer hergestellten Abstützungen (nicht separat dargestellt) angebracht ist, ist in der Nähe des Endes der y-Schiene der Sonde benachbart angeordnet und wiegt ca. 4,5 Ib (2 kg).
Es hat sich herausgestellt, dass wenigstens zwei verschiedene Vibrationsursachen vorliegen, wenn dieser Typ von KMM in Betrieb ist. Eine erste Ursache ist die Beschleunigung und Verzögerung der x-Schiene, wenn ein Motor für die erste Antriebsanordung 18 stoppt und startet. Da sich die y-Schiene 26 entweder über den Tisch 16 erstreckt und ein Massezentrum in der positiven y-Richtung aufweist oder aber zurückgezogen ist, so dass das Massezentrum in der negativen y-Richtung angeordnet ist, wird in der Säule 12 eine Biege- und Verdrehbewegung hervorgerufen, und in der y-Schiene 26 wird eine Biegebewegung hervorgerufen. Diese erste Ursache führt zu Vibrationen, die vorübergehende Schwingungen mit großer Amplitude aufweisen, die von den Dämpfern 36, 48 gedämpft werden.
Eine zweite Vibrationsursache sind die Antriebsanordungen, insbesondere aufgrund der Motoren und der Zahnstangen- und Ritzelanordnungen, die die Schienen bewegen und im spezielleren durch den Motor und die Zahnstangen- und Ritzelanordnung in der ersten Antriebsanordung 18. Eine derartige Ursache ist bei den KMMs vom Portal-Typ des Standes der Technik nicht in den Vordergrund getreten, da diese KMMs Riemen besaßen, die glatter sind als eine Zahnstangen- und Ritzelanordnung mit Verzahnungseinrichtungen. Diese zweite Vibrationsursache tritt dann in Erscheinung, wenn sich die Säule 12 mit einer nahezu konstanten Geschwindigkeit langsam bewegt. Bei niedrigen Geschwindigkeiten können Motorhemmnisse, Eingriff der Verzahnungseinrichtungen und Hemmnisse des Zeitsteuerriemens nicht vermieden werden. Das Problem wird noch stärker, wenn eine Frequenz von der Antriebsanordung 18 bei oder in der Nähe einer Eigenfrequenz der Konstruktion der KMM liegt. Diese zweite Ursache ruft eine allgemein sinusförmige Vibration hervor, die den durch die erste Ursache bedingten vorübergehenden Vibrationen mit großer Amplitude überlagert ist.
Da der Treffer bzw. das Auftreffen irgendwo entlang der sinusförmigen Wellenform stattfinden kann, kann die Messung an dem Messpunkt beträchtlich variieren. Wenn die Sinuskurve eine ausreichende Amplitude aufweist, kann die Spanne der Amplitude im Vergleich zu der gewünschten Toleranz der Messung für das Objekt beträchtlich sein. Durch Reduzieren der Amplitude dieser sinusförmigen Wellenform können die Messpunkte rascher und exakter aufgegriffen werden. Aufgrund dieser zweiten Ursache rufen die Vibrationen Drehmomente hervor, die denen ähnlich sind, die durch die erste Ursache, d. h. die Beschleunigung der Schienen, bedingt sind.
Bei Positionierung gemäß der vorliegenden Erfindung dämpfen die Dämpfer beide Vibrationsursachen. Der erste Dämpfer 36 an der Oberseite der Säule 12 trägt zum Dämpfen von Vibrationen in der Säule 12 bei. Die Positionierung des zweiten Dämpfers 48 an dem Ende der y- Schiene 26 ist zum Dämpfen von Vibrationen von Hilfe, die durch Verdrehen der Säule 12 bedingt sind, wenn die y-Schiene 26 über den Tisch 16 ausgefahren wird und die erste Antriebsanordung 18 eine Beschleunigung oder Verzögerung ausführt. Wenn die y-Schiene 26 jedoch zurückgezogen wird, erfolgt die Verdrehung relativ zu einem Punkt, der über dem Tisch 16 liegt, da das Massezentrum der y-Schiene 26 nun in -y-Richtung angeordnet ist. In diesem Fall trägt die Positionierung des ersten Dämpfers 36 in der -y-Richtung zum Dämpfen von solchen Verdreh-Vibrationen bei.
Unter Bezugnahme auf Fig. 3 weist bei einem weiteren Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung eine KMM 100 eine vertikale Säule 102 (z-Schiene) auf, die an einem horizontalen Tisch 104 angebracht ist und mittels einer ersten Antriebsanordung 106 entlang der Seite des Tisches antriebsmäßig bewegt wird. Bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel weist die vertikale Säule 102 im Gegensatz zu dem Ausführungsbeispiel der Fig. 1 eine Balgeinrichtung auf und wird an sich in einer zu der x-y- Ebene des Tisches 104 rechtwinkligen Richtung antriebsmäßig bewegt, so dass die Position des Schlittens 118 und der vertikalen Säule 102 relativ zueinander festgelegt sind. Eine Abdeckung 110 ist an der Oberseite der Säule angeordnet, um die Zahnräder für eine y-Schiene 112 aufzunehmen. Wie bei dem Ausführungsbeispiel der Fig. 1 ist an dem Ende der y-Schiene eine Sonde 114 angeordnet.
Ein erster Dämpfer 119 ist unmittelbar unterhalb der Oberseite der Abdeckung 114 sowie an dem von der Sonde am weitesten entfernten Bereich der Abdeckung 110 positioniert und an einem Punkt zentriert, wo y = -Y&sub1;, wobei Y&sub1; vorzugsweise ca. 16 Inch (40 cm) beträgt. Der erste Dämpfer 119 besitzt eine Masse 120 mit einer Größe von ungefähr ca. 6 · 7 · 3 Inch (15 · 18 · 8 cm³), die auf acht Abstützungen aufliegt, die vorzugsweise aus Polymer hergestellt sind. Die Abstützungen liegen auf einer Unterlage (nicht gezeigt) auf.
Ein zweiter Dämpfer 122 ist an dem Ende der y-Schiene 112 angeordnet und hat Abmessungen von ca. 3,5 · 2 · 2 Inch und wiegt ca. 8,25 Ibs (3,7 kg).
Die maximale Höhe der Säule 102 beträgt ca. 77,75 Inch von der Oberseite des Tisches bis zu den Abstützkissen 124, und das Gewicht beträgt ca. 750 Ib (340 kg). Somit beträgt Y&sub1; ca. 20% der Höhe, und die Masse beträgt ca. 4% des Gewichts der Säule 102.
Somit besitzen dieses Ausführungsbeispiel sowie das Ausführungsbeispiel der Fig. 1 eine allgemein ähnliche Platzierung der Dämpfer, wobei sich der eine an dem Ende der y-Schiene an einer Stelle in der Nähe der Sonde befindet und der andere in einer Abdeckung über der z-Schiene in einer Position in -y-Richtung untergebracht ist. Dieser Typ von KMM ist unter der Modellbezeichnung "SMPCR" von dem Begünstigten der vorliegenden Erfindung erhältlich.
Die Fig. 4 bis 7 zeigen grafische Darstellungen von sinusförmigen Vibrationen für KMMs mit und ohne Vibrationsdämpfer bei Positionierung derselben gemäß der vorliegenden Erfindung. Die Fig. 4 und 5 zeigen grafische Darstellungen von Messungen, die auf einer KMM wie der in dem Ausführungsbeispiel der Fig. 3 dargestellten mit einem Messwertaufnehmer an der y-Schiene vorgenommen worden sind, wobei die y-Schiene auf 80% nach außen über den Tisch in +y-Richtung ausgefahren ist, die z-Schiene auf ca. 80% ihrer maximalen Höhe ausgefahren ist und sich die Säule mit einer konstanten Geschwindigkeit von ca. 1% oder 5 mm/s entlang der x-Achse bewegt. Durch Bewegen der Säule in konstanter Weise über eine Zeitdauer wird die erste Vibrationsursache eliminiert, da die vorübergehenden Schwingungen Zeit haben, sich abzuschwächen.
Wie in Fig. 4 gezeigt ist, beträgt ohne Vibrationsdämpfer der Spannungsbereich der Vibration von Spitze zu Spitze ca. 730 mV bei einer Frequenz von ca. 5,6 Hz, wobei es sich in etwa um eine Eigenfrequenz der KMM handelt. Wie in Fig. 5 gezeigt ist, ist mit Vibrationsdämpfern der Spannungsbereich auf ca. 216 mV reduziert. Somit beträgt das Verhältnis des Spannungsbereichs ohne Dämpfung zu dem Spannungsbereich mit Dämpfung ca. 3,4. Da jede Division bzw. Teilung ca. 18 m darstellt, werden Schwankungen in der Messung von einem Bereich von mindestens ca. 60 m auf weniger als 20 m reduziert.
Wie unter Bezugnahme auf die Fig. 6 und 7 zu sehen ist, wurden diese Messungen ohne bzw. mit Dämpfern mit einer auf 80% ausgefahrenen y-Schiene sowie mit in der Nähe der Basis angeordneter z-Schiene bei einer konstanten Geschwindigkeit von 3% oder 15 mm/s ausgeführt. Wie in den grafischen Darstellungen zu sehen ist, beträgt die Spitzenspannung ohne Dämpfer 1008 mV und mit Dämpfern 472 mV bei einem Verhältnis von 2,14. Die Verbesserung in den beiden letztgenannten Figuren ist geringer als in den beiden zuvor genannten, da die Frequenz nicht so nahe bei einer Resonanzfrequenz der Maschine lag.
Wenn ein Motor mit einer Zahnstangen- und Ritzelanordnung zum Bewegen von Schienen einer KMM verwendet, kann somit die sinusförmige dauernde Vibration um ein beträchtliches Ausmaß reduziert werden, indem ein erster Vibrationsdämpfer an der vertikalen Säule an einer Stelle in der -y-Richtung positioniert wird und ein zweiter Vibrationsdämpfer an der y-Schiene in der Nähe der Sonde positioniert wird. Der vertikal angeordnete Dämpfer trägt auch zum Entfernen von durch die erste Ursache bedingten Vibrationen bei, wodurch der Durchsatz verbessert wird. Durch Reduzieren der durch die zweite Ursache bedingten Vibrationen werden sowohl der Durchsatz als auch die Genauigkeit der Messung verbessert.

Claims

1. Koordinatenmessmaschine, aufweisend:

einen allgemein horizontalen Tisch (16);

eine allgemein vertikale Säule (12), die mit dem Tisch zur Ausführung einer Relativbewegung in einer ersten Richtung in bezug auf den Tisch gekoppelt ist;

einen Schlitten (24), der an der Säule (12) angeordnet ist, wobei der Schlitten in einer zweiten Richtung rechtwinklig zu dem Tisch beweglich ist und der Schlitten eine Schiene (26) trägt, die in einer dritten Richtung beweglich ist, wobei die erste, zweite und dritte Richtung zueinander orthogonal sind;

eine an der Schiene (26) angebrachte Sonde (28); und

einen ersten Vibrationsdämpfer (36), der über der Säule (12) positioniert ist sowie auf einer der Sonde (28) entgegengesetzten Seite der Säule (12) angeordnet ist, so daß sich die Säule (12) in der dritten Richtung zwischen dem ersten Vibrationsdämpfer (36) und der Sonde (28) befindet, wobei der erste Vibrationsdämpfer (36) die Amplitude von Vibrationen vermindert, die bei Bewegung der Säule entstehen.

2. Koordinatenmessmaschine nach Anspruch 1, wobei sich der Schlitten entlang sowie relativ zu der Säule in der zweiten Richtung bewegt und wobei die Säule in der zweiten Richtung stationär ist.

3. Koordinatenmessmaschine nach Anspruch 1, wobei der Schlitten oben auf der Säule angebracht ist, wobei die Säule sich in der zweiten Richtung bewegt und wobei der Schlitten relativ zu der Säule feststehend ist.

4. Koordinatenmessmaschine nach einem der Ansprüche 1 bis 3, weiterhin mit einem zweiten Vibrationsdämpfer (48), der in der Nähe der Sonde an der Schiene angebracht ist.

5. Koordinatenmessmaschine nach Anspruch 1, wobei der erste Dämpfer (36) eine Masse aufweist, die auf einem Satz von Abstützungen aufliegt, wobei die Masse wenigstens ca. 60 lbs. (27 kg) wiegt.

6. Koordinatenmessmaschine nach Anspruch 1, wobei der erste Dämpfer (36) eine Masse aufweist, wobei das Zentrum der Masse in der zweiten [y-] Richtung wenigstens ca. 4,5 Inch (9,5 cm) von dem Zentrum der Säule entfernt ist.

7. Koordinatenmessmaschine nach Anspruch 1, wobei der erste Dämpfer (36) eine Abstützung und eine auf der Abstützung aufliegende Masse aufweist, wobei die Masse ca. 4-8% des Gewichts der Säule (12) wiegt.

8. Koordinatenmessmaschine nach Anspruch 5, wobei die Abstützungen aus einem Polymer gebildete Kissen aufweisen.

9. Koordinatenmessmaschine nach Anspruch 4, wobei der zweite Vibrationsdämpfer (48) eine Masse aufweist, die auf Abstützungen gelagert ist.

10. Koordinatenmessmaschine nach Anspruch 9, wobei die Abstützungen aus einem Polymer gebildete Kissen aufweisen.

11. Verfahren zum Verbessern der Genauigkeit und des Durchsatzes einer Koordinatenmessmaschine, die folgendes aufweist:

einen Tisch (16);

eine Säule (12), die mit dem Tisch zur Ausführung einer Relativbewegung in einer ersten Richtung in bezug auf den Tisch gekoppelt ist;

einen Schlitten (24), der an der Säule (12) angeordnet ist und in einer zu dem Tisch (16) rechtwinkligen Richtung beweglich ist, wobei der Schlitten (24) eine Schiene (26) trägt, die in einer dritten Richtung beweglich ist, wobei die erste, zweite und dritte Richtung zueinander orthogonal sind; und

eine an der Schiene (26) angebrachte Sonde (28);

wobei das Verfahren folgenden Schritt aufweist:

Positionieren eines ersten Vibrationsdämpfers (36) über der Säule (12) auf einer der Sonde (28) in der dritten Richtung entgegengesetzten Seite der Säule angeordnet ist, so daß sich die Säule (12) in der dritten Richtung zwischen dem ersten Vibrationsdämpfer (36) und der Sonde (28) befindet, wodurch die Amplitude von dauernden Vibrationen vermindert wird, wenn die Sonde (28) relativ zu dem Tisch (16) bewegt wird.

12. Verfahren nach Anspruch 1, bei dem weiterhin ein zweiter Vibrationsdämpfer (48) in der Nähe der Sonde in der Schiene positioniert wird.

13. Verfahren nach Anspruch 11, wobei der Positionierschritt die Positionierung des ersten Dämpfers (36) mit einer Masse von ca. 4 bis 8% des Gewichts der Säule (12), des Schlittens (24), der Schiene (26) und der Sonde (28) beinhaltet.