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Die
Erfindung betrifft eine Reinigungsvorrichtung zur Reinigung von
verstopften oder zugesetzten Sichtrohren, insbesondere zu prozessseitigen
Reinigung von Sichtrohren zum Einblick in Prozesskammern, Reaktoren
oder Behältern,
wobei das Sichtrohr eine offene Verbindung zur Prozesskammer aufweist.
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In
industriellen Anlagen der verschiedensten Art ist es oft notwendig,
Prozesse zu beobachten, die innerhalb von Prozesskammern, Raktoren
o. gl. Ablaufen. Diese Beobachtung dient der Kontrolle der Prozessabläufe und
muss entweder ständig
oder in vorgegebenen Intervallen erfolgen. Die Kontrolle der Prozessabläufe erfolgt
dabei durch direkte Inaugenscheinnahme oder durch entsprechend geeignete Sensoren.
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Üblicherweise
werden für
den Zweck der Kontrolle Sichtrohre verwendet, die sich durch die Wand
des Reaktors oder der Prozesskammer erstrecken und somit einen ungehinderten
Einblick gewährleisten.
Dieser ungehinderte Einblick wird bei Prozessen, die keine Rückstände oder
Partikel als Reaktionsprodukte erzeugen, nicht weiter behindert. Bei
Prozessen, bei denen Partikel beliebiger Art als Reaktionsprodukte
entstehen, ist oft mit Problemen zu rechnen, wenn diese Partikel
an der inneren Öffnung
des Sichtrohres vorbei strömen.
In diesem Fall können
sich die Partikel am Rand der Öffnung
des Sichtrohres ablagern, was nach längerer Prozessdauer zum vollständigen
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Zusetzen
der Öffnung
führen
kann.
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Die
Folge sind dann aufwändige
Reinigungsarbeiten, bei denen der Prozess unterbrochen werden muss.
Außerdem
ist es dazu erforderlich, die Anlage zumindest teilweise zu demontieren,
um das Sichtrohr zu reinigen.
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Durch
diese notwendigen Wartungsarbeiten verteuert sich der gesamte Produktionsprozess,
da oft auch vorgelagerte Prozessschritte mit betroffen werden.
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Beispielsweise
sind Abgasreingungsanlagen bekannt geworden, in denen toxische Abgase
aus Prozessen der Halbleiterherstellung nachbehandelt und danach
entgiftet in die Umgebung abgegeben werden können. Diese Nachbehandlung
erfolgt in einer Brennkammer, wobei durch die Oxidation der Reaktionsprodukte
auch Siliziumoxidstaub erzeugt wird. Dieser Siliziumoxidstaub lagert
sich am Rand der Öffnung
des Sichtrohres ab.
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Dieser
Vorgang läuft
so lange ab, bis die Önnung
ganz zugesetzt ist. Infolge der hohen Prozesstemperaturen haften
diese Ablagerungen außerdem fest
aneinander und lassen sich dadurch nicht einfach entfernen.
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Wenn
das Sichtrohr zugesetzt ist, muss die Abgasreinigungsanlage abgeschaltet
werden und die erforderliche Wartung vorgenommen werden, indem das
Sichtrohr nach teilweiser Demontage der Abgasreinigungsanlage manuell
gereinigt wird. Außerdem muss
muss das aus dem Prozess der Halbleiterherstellung stammende toxische
Abgas entweder in eine andere Abgasreinigungsanlage umgeleitet oder
ungereinigt in die Atmosphäre
abgegeben werden, was in jedem fall mit Nachteilen verbunden ist.
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Aus
der
GB 22 20 732 A ist
ein Mittel zum Reinigen einer Sichtöffnung eine Vorrichtung zum Beobachten
von Flammen bekannt geworden. Die Reinigungsvorrichtung besteht
aus einem hauptsächlich
zylindrischen Gehäuse,
das in einer Sichtöffnung
in einer Behälterwand
befestigt ist. Zentrisch in diesem Gehäuse befindet sich ein Sichtrohr,
welches durch eine hohle Kolbenstange umgeben ist. Die Kolbenstange
ist mittels eines Kolbens axial in die Sichtöffnung bewegbar, wobei Ablagerungen
auf der Innenseite des Behälters
im Bereich der Sichtöffnung entfernbar
sind.
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Der
Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung zur Reinigung
von verstopften oder zugesetzten Sichtrohren zu schaffen, mit der
eine schnelle und einfache Reinigung auch während eines weiter laufenden
Prozesses ermöglicht
wird.
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Die
der Erfindung zugrundeliegende Aufgabenstellung wird bei einer Reinigungsvorrichtung
der eingangs genannten Art dadurch gelöst, daß das Sichtrohr auf der Prozeßseite mit
einer dessen Öffnungsquerschnitt
teilweise verschließenden
Abdeckung versehen ist, daß innerhalb
des Sichtrohres ein gegenüber
diesem axial verschieb- und verdrehbares Innenrohr angeordnet ist
und daß an
dem Innenrohr an seiner Stirnseite auf der Prozeßseite eine in den Rohrquerschnitt
hineinragende und mit dem verbleibenden freien Querschnitt des Sichtrohres formgleiche
Scherplatte befestigt ist.
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Mit
dieser besonders einfach aufgebauten Vorrichtung ist es auch während eines
ablaufenden Prozesses innerhalb einer Brennkammer problemlos möglich, das
Sichtrohr zu reinigen. Damit wird eine ständige Überwachung eines auf der Prozeßseite ablaufenden
Prozesses ermöglicht,
auch wenn während
dieses Prozesses Partikel entstehen, die sich auf der Prozeßseite des
Sichtrohres ablagern.
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Die
Bedienung der erfindungsgemäßen Vorrichtung
ist sehr einfach. In der Grundstellung des Innenrohres ist dieses
so ausgerichtet, daß ein
Teil des Querschnittes, eine Einblicköffnung bildend, freigehalten
ist. Die Scherplatte und die Abdeckung liegen in diesem Fall hintereinander.
Soll die Einblicköffnung von
abgesetzten Partikeln befreit werden, so ist das Innenrohr zunächst um
180° zu
drehen und in dieser Stellung anschließend in Richtung zur Prozeßseite zu
schieben. Dabei dringt die Scherplatte durch den von der Abdeckplatte
freigehaltenen Querschnitt und stößt die in diesem Bereich befindlichen
Ablagerungen ab. Anschließend
ist das Innenrohr wieder zurückzuziehen
bis die Scherplatte unmittelbar hinter der Abdeckung liegt. Zur
Beseitigung der auf der Scherplatte befindlichen Ablagerungen ist
das Innenrohr nachfolgend dann um 180° zurückzudrehen, so daß diese
durch die Scherplatte abgestriffen werden.
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Zweckmäßigerweise
deckt die Abdeckung die untere Hälfte
des Öffnungsquerschnittes
des Sichtrohres ab, so daß die
obere Hälfte
als Einblicköffnung
verwendet werden kann.
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In
einer Fortbildung der Erfindung weist die Abdeckung eine Halbkreisform
auf und ist am unteren Rand des Querschnittes des Sichtrohres mit
einer Reinigungsöffnung
versehen. Diese Reinigungsöffnung
dient dazu, Partikel die während
des Reinigungsvorganges hinter die Abdeckung gelangen, leicht entfernen
zu können.
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Die
Scherplatte sollte ebenfalls eine Halbkreisform aufweisen, wobei
die Fläche
der Scherplatte dem von der Abdeckung freigehaltenen Öffnungsquerschnitt
des Sichtrohres entspricht. Damit läßt sich der gesamte Querschnitt
der Einblicköffnung
in einem Arbeitsgang reinigen.
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Um
eine begrenzte Verschiebbarkeit des Innenrohres gegenüber dem
Sichtrohr zu erreichen, ist das Innenrohr an seiner Stirnseite gegenüber der Scherplatte über seinen
halben Querschnitt in axialer Richtung mit einer das Innenrohr verkürzenden
Aussparung versehen.
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Weiterhin
ist es von Vorteil, wenn im Bereich der Aussparung ein Schieberteil
aus dem Innenrohr hervorsteht, dessen Querschnitt der Reinigungsöffnung entspricht.
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In
einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung ist die Abdeckung mit
einer Scherkante versehen, so daß die Ablagerungen sehr leicht
von der Scherplatte abgelöst
werden können,
wobei die Scherkante bevorzugt mit einer eine Schneidenfläche bildenden
Abschrägung
versehen ist. Die Schneidenfläche
sollte eine Abschrägung
von ca. 4° besitzen.
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Weiterhin
kann die Scherkante gehärtet
oder mit einer Hartstoffschicht versehen sein, um eine möglichst
große
Lebensdauer zu gewährleisten.
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In
einer besonderen erfindungsgemäßen Fortbildung
ist das Innenrohr mit einer Führungseinrichtung
zu dessen Zwangsführung
gegenüber
dem Sichtrohr gekoppelt, so daß der
Reinigungsvorgang besonders einfach erfolgen kann.
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Diese
Zwangsführung
kann am besten durch eine Kulissenführung realisiert werden.
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Hierzu
ist eine Halterung vorgesehen, in der das Sichtrohr fest eingespannt
ist, wobei zur Zwangsführung
an der Halterung ein das Sichtrohr koaxial fortsetzendes Kulissendrehteil
ortsfest verdrehbar angeordnet ist, welches das Innenrohr umgibt.
Das Innenrohr ist mit dem Kulissendrehteil gekoppelt.
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In
einer Ausgestaltung der Erfindung ist das Innenrohr über einen
in einer Gewindekulisse im Kulissendrehteil geführten ersten Mitnehmer mit
dem Kulissendrehteil gekoppelt, was eine einfache Kraftübertragung
und Führung
ermöglicht.
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Der
erste Mitnehmer ist weiterhin in der Gewindekulisse zwischen zwei
Endanschlägen
bewegbar und der erste Mitnehmer im zweiten Endanschlag gegenüber der
Gewindekulisse blockierbar. Dadurch wird einerseits eine Begrenzung
der Drehbewegung des Innenrohres gemeinsam mit der Drehkulisse erreicht
und gleichzeitig nach der Blockierung die Ausführung der notwendigen Axialbewegung
des Innenrohres durch Weiterdrehen der Drehkulisse bei festgelegtem
Innenrohr realisiert. Die Axialbewegung wird dann durch die mit
der Drehkulisse gedrehte Gewindekulisse veranlagt, die ein Steilgewinde
aufweisen sollte.
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Der
erste Mitnehmer ist durch einen entgegen einer Federkraft wirkenden
zweiten Mitnehmer am Anschlag blockierbar, so daß die gewünschte Axialbewegung nur nach
Betätigung
des zweiten Mitnehmers aktivierbar ist. Der Anschlag ist gleichzeitig als
Axialführung
für einen
Verfahrweg des Innenrohres gegenüber
dem Sichtrohr ausgebildet.
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Das
Innenrohr und/oder das Kulissendrehteil können über Hebel betätigt werden,
oder mit einer Antriebsvorrichtung gekoppelt sein. Als Antriebsvorrichtungen
kommen beliebige pneumatische oder elektrische Antriebe bzw. Drehantriebe
in Betracht.
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Die
Erfindung soll nachfolgend anhand von Ausführungsbeispielen näher erläutert werden.
In den zugehörigen
Zeichnungen zeigen:
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1:
die Anordnung eines erfindungsgemäß ausgestalteten Sichtrohres
mit prozessseitiger Abdeckung;
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2:
eine Darstellung des Sichtrohres nach 1 von der
Prozessseite gesehen;
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3:
das Sichtrohr nach 1 mit eingesetztem Innenrohr
in der Ausgangsposition zur Reinigung des Sichtrohres;
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4:
das Sichtrohr mit eingesetztem Innenrohr in der Reinigungsposition;
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5:
die erfindungsgemäße Reinigungsvorrichtung
in der Scherposition;
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6:
die erfindungsgemäße Reinigungsvorrichtung
nach 5 von der Prozessseite gesehen;
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7:
die erfindungsgemäße Vorrichtung mit
eingesetztem Innenrohr in der Position des freien Durchblickes zur
Prozessseite;
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8:
die Ansicht der Vorrichtung aus 7 von der
Prozessseite aus gesehen;
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9:
eine Seitenansicht der erfindungsgemäßen Reinigungsvorrichtung mit
zugehöriger
Kulissenführung;
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10:
eine Rückansicht
der Vorrichtung nach 9 in der Ausgangsstellung; und
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11:
eine Seitenansicht der Vorrichtung nach 9 am Beginn
der Horizontalbewegung des Innenrohres nach beendeter Drehbewegung.
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Das
Grundprinzip der erfindungsgemäßen Reinigungsvorrichtung
geht aus den 1–8 hervor.
Entsprechend 1 besteht die Reinigungsvorrichtung
aus einem Sichtrohr 1, welches durch eine Wand 2 einer
Prozesskammer 3 hindurchgeführt und dort befestigt ist.
Das Sichtrohr 1 ragt ein Stück in die Prozesskammer 3 hinein
und ist auf der Prozessseite 4 mit einer Abdeckung 5 in
der Weise versehen, daß die
untere Hälfte
des Sichtrohres 1 auf der Prozessseite 4 zumindest
größtenteils
abgedeckt ist. Der obere freigehaltene Teil des Sichtrohres 1 kann
damit als Einblicköffnung 6 genutzt
werden.
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Um
zu vermeiden, daß sich
Partikel, die bei einem in der Prozesskammer 3 ablaufenden
Prozeß entstehen
können,
auch hinter der Abdeckung im Übermaß ablagern,
ist am unteren Rand des Querschnittes des Sichtrohres 1 eine
Reinigungsöffnung 7 vorgesehen,
durch die abgelagerte Partikel in Richtung zur Prozessseite herausgeblasen
oder herausgeschoben werden können
(2, 4).
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Die
während
eines Prozesses in der Prozesskammer 3 entstehenden Partikel
können
sich auf der Prozessseite 4 des Sichtrohres 1 an
dessen Stirnseite ablagern, bis zumindest die Einblicköffnung 6 vollständig verschlossen
ist. Dieser Zustand ist in 3 ersichtlich.
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Um
die im Bereich der Einblicköffnung 6 befindlichen
Ablagerungen entfernen zu können,
ist innerhalb des Sichtrohres 1 ein Innenrohr 8 vorgesehen,
welches sowohl verdrehbar, als auch axial in Längsrichtung des Sichtrohres 1 verschiebbar
ist. Die prozessseitige Stirnseite des Innenrohres 8 ist mit
einer Scherplatte 9 versehen, deren halbkreisförmiger Querschnitt
der Form der Einblicköffnung 6 entspricht.
Bei der in 3 dargestellten Position des Innenrohres 8 kann
durch axiales Vorschieben in Richtung Prozessseite durch die Ein blicköffnung 6 erreicht
werden, daß dabei
die Ablagerungen 10 abgestoßen werden. Des Ende des Hubweges
des Innenrohres 4 ist in 4 dargestellt
bei dem die ursprünglich
vorhandenen Ablagerungen 10 abgestoßen worden sind. Um die nötige Axialbewegung
in Richtung zur Prozessseite zu ermöglichen, ist das Innenrohr 8 an
seiner Stirnseite gegenüber
der Scherplatte 9 über
seinen halben Querschnitt in axialer Richtung mit einer das Innenrohr 8 verkürzenden Aussparung 11 versehen.
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Zum
Ausstoßen
von Ablagerungen hinter der Abdeckung 5 ist im Bereich
der Aussparung 11 ein Schieberteil 12 vorgesehen,
das aus dem Innenrohr 8 in Richtung zur Prozessseite 4 hervorsteht,
wobei dessen Querschnitt der Größe der Reinigungsöffnung 7 entsprechen
sollte. Damit ist es möglich,
beim axialen Vorschieben des Innenrohres 8 nicht nur die Ablagerungen 10 aus
der Einblicköffnung
zu entfernen, sondern gleichzeitig die Ablagerungen, die sich eventuell
hinter der Abdeckung 5 angesammelt haben.
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Aus 5 ist
die Reinigungsvorrichtung in der sogenannten Scherposition dargestellt,
in der bei nachfolgendem Drehen des Innenrohres 8 ein Abstreifen
der Ablagerungen auf der Scherplatte 9 erfolgt. Dazu befindet
sich die Stirnfläche
der Scherplatte 9 exakt in der Ebene der Innenfläche 13 der Abdeckung 5.
Die Oberkante der Abdeckung 5 ist zur Erleichterung des
Abstreifens mit einer Scherkante 14 versehen, an die sich
in Richtung zur Prozessseite 4 eine Schneidenfläche 15 anschließt, die
in einem Winkel von ca. 4° abgeschrägt ist.
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Die
erfindungsgemäße Reinigungsvorrichtung
erlaubt eine einfache Reinigung der Einblicköffnung 6, ohne daß hierzu
der in der Prozesskammer 3 ablaufende Prozess gestoppt
werden müßte. In
der Grundstellung entsprechend 7, 8 ist
das Innenrohr 8 so ausgerichtet, daß die Einblicköffnung 6 freigehalten
ist. Die Scherplatte 9 und die Abdeckung 5 liegen
in diesem Fall hintereinander. Soll die Einblicköffnung 6 von vorhandenen
Partikeln befreit werden, so ist das Innenrohr 8 zunächst um
180 Grad zu drehen und in dieser Stellung anschließend in Richtung
zur Prozessseite 4 längs
zu verschieben. Dabei dringt die Scherplatte 9 durch den
von der Abdeckplatte 5 freigehaltenen Querschnitt und stößt die in diesem
Bereich befindlichen Ablagerungen 10 ab. Nachfolgend wird
das Innenrohr wieder zurückgezogen,
bis die Scherplatte 9 in der Ebene der Innenfläche 13 der
Abdeckung 5 positioniert ist. Zur Beseitigung der auf der
Scherplatte 9 befindlichen Ablagerungen ist dann das Innenrohr 8 um
180° zurückzudrehen,
so daß diese
durch die Scherplatte 9, bzw. die Scherkante 14 in
Verbindung mit der Schneidenfläche 15 abgestriffen
werden.
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In
den 9–11 ist
eine Kulissenführung
dargestellt, mit deren Hilfe die vorstehend beschriebenen Bewegungsabläufe auf
besonders einfache Weise realisiert werden können.
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In 9 ist
eine Halterung H dargestellt, in die das aus der Prozesskammer 3 ragende
Ende des Sichtrohres 1 eingeklemmt ist. Die Halterung H
dient zur Aufnahme eines Kulissendrehteiles KD, welches an der Halterung
mit Hilfe einer Kugellagerung, bestehend aus den Kugellagern K1,
K2 und K3, verdrehbar gehalten ist. Innerhalb des Kulissendrehteiles
KD ist das Innenrohr 8 gegenüber dem Kulissendrehteil KD
verdreh- und verschiebbar geführt,
und ragt wie bereits beschrieben, in das Sichtrohr 1 hinein.
Das Kulissendrehteil KD ist mit einer Gewindekulisse GK in Form
eines Steilgewindes versehen, mit dem eine Axialbewegung des Innenrohres 8 innerhalb
des Sichtrohres 1 erzeugt werden kann. Zu diesem Zweck
ist ein Mitnehmer M1 vorgesehen, der mit dem Innenrohr 8 fest
verbunden ist und dessen freies Ende in die Gewindekulisse GK hineinragt.
Das Kulissendrehteil KD ist zwischen zwei Anschlägen AS1 und AS2 um 180° verdrehbar
und ist in 9 in der Endstellung E dargestellt,
in der das Innenrohr 8 so gedreht ist, daß die Einblicköffnung 6 freiliegt.
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Zum
Drehen des Kulissendrehteiles KD sind Hebel H1, H2 vorgesehen, wobei
bei Erreichen des Anschlages AS2 in der um 180° gedrehten Reinigungsposition
ein Weiterdrehen des Kulissendrehteiles KD zunächst nicht möglich ist,
da dieses durch einen Mitnehmer M2, der mit dem Hebel H1 fest verbunden
ist, und entgegen der Kraft der Feder F mit Hilfe des Griffes G
betätigt
werden kann. Wird der Griff G entgegen der Federkraft herausgezogen,
so wird der Mitnehmer M1 in der Gewindekulisse GK frei und das Kulissendrehteil
KD kann um weitere 180° weiter
gedreht werden. In Folge des feststehenden Anschlages AS2 wird dabei
das Innenrohr 8 in der erreichten Drehposition gehalten
und in Folge des Steilgewindes der Gewindekulisse GK auf der Bahn Y
des Anschlages AS2 zur Prozessseite 4 vorgeschoben.
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Der
Antrieb der Reinigungsvorrichtung erfolgt hier von Hand. Selbstverständlich kann
der Antrieb auch mit Hilfe geeigneter Antriebe pneumatisch oder
elektrisch erfolgen.
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Die
in 9 dargestellte Position der Reinigungsvorrichtung
ist die Ausgangsposition, wenn noch keine Ablagerungen vorhanden
sind. Soll ein Reinigungsvorgang durchgeführt werden, so ist wie folgt
zu verfahren.
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Von
der normalen Ausgangslage der Reinigungsvorrichtung kann der Hebel
H1 nur nach oben betätigt
werden. Der Hebel H2 dient nur zum Nachfassen, wenn der Hebel H1
die 180° Drehposition
erreicht hat. Wird nur der Hebel H1 nach oben bewegt, so wird die
Kraft über
den Mitnehmer M2 auf den Mitnehmer M1 übertragen. Da der Mitnehmer
M1 fest mit dem Innenrohr 8 verbunden ist und außerdem am Ende
des Steilgewindes der Gewindekulisse GK anliegt, wird das Innenrohr 8 und
das Kulissendrehteil KD mitgenommen. Die Drehbewegung des Kulissendrehteiles
KD erfolgt auf dem in der Halterung H fest eingespannten Sichtrohr 1,
wobei das Drehteil KD durch die Kugellager K1, K2, K3 auf der Halterung
H fixiert wird. Die Lager K1, K2 und K3 sind um jeweils 120° voneinander
versetzt. Auch bei herausgenommenen Sichtrohr 1 bleibt
die fixierte Lagerung des Kulissendrehteiles KD erhalten. Das Sichtrohr 1 ist für die Führung des
Kulissendrehteiles KD nicht notwendig.
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Durch
die Bewegung des Hebels H1 wird das Kulissendrehteil KD und damit
das Innenrohr 8 bis zum Anschlag AS2 (11)
bewegt. Das Innenrohr 8 und damit die Scherplatte 9,
hat damit die Position zum Ausstoßen vorhandener Partikel aus
der Einblicköffnung 6 erreicht.
In dieser Stellung ist vorübergehend
kein Durchblick durch das Sichtrohr 1 und das Innenrohr 8 in
die Prozesskammer 3 möglich.
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Nach
dem der Mitnehmer M1 am Anschlag AS2 anliegt, kann durch Zurückziehen
des Griffes G des Mitnehmers M2 dieser vom Mitnehmer M1 entfernt
werden. Er kann dann wieder losgelassen werden, wenn sich der Mitnehmer
M2 hinter dem Anschlag AS2 befindet. (Position X in 11)
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Da
der Mitnehmer M1 jetzt am Anschlag AS2 anliegt, kann er bei Weiterdrehen
des Kulissendrehteiles KD nicht weiter mitgenommen werden. Allerdings
kann sich jetzt das Kulissendrehteil KD weiterdrehen, wodurch das
Steilgewinde der Gewindekulisse GK eine Bewegung des Mitnehmers
M1 in Rohrlängsrichtung
in Richtung zur Prozessseite 4 veranlaßt. Dabei dient der Anschlag
AS2 selbst als Kulisse für
den Mitnehmer M1, der sich entlang der Bahn Y bewegen kann. Am Ende
dieser Bewegung wird die Hubbewegung begrenzt. Das Innenrohr 8 hat
nun die Position zum Durchstoßen
der Ablagerungen 10 erreicht (entsprechend 5).
Mit dem Erreichen des Endes des Steilgewindes der Gewindekulisse
GK ist der Reinigungsvorgang der Einblicköffnung 6 beendet.
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Das
Zurückdrehen
des Kulissendrehteiles KD erfolgt wieder mit dem Hebel H1 bis zum
Anschlag AS2. Dabei fährt
der Mitnehmer M1 wieder auf der Bahn Y zurück. Der Mitnehmer M2 ist nun
wieder an seinem Griff G zurückzuziehen,
bis er wieder vor dem Anschlag AS2 steht.
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Wird
die Gewindekulisse GK dann weiter zurückgedreht, so führt das
Innenrohr 8 dann nur noch eine reine Drehbewegung aus,
durch die die Scherplatte 9 an der Scherkante 14 der
Abdeckung 5 vorbeigeführt
wird, wobei die auf der Scherplatte 9 noch befindlichen
Ablagerungen dann entfernt werden. Mit Erreichen des Anschlages
AS1 ist dann die weitere Drehbewegung beendet und der Reinigungsvorgang der
Einblicköffnung 6 abgeschlossen.
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- 1
- Sichtrohr
- 2
- Wand
- 3
- Prozesskammer
- 4
- Prozessseite
- 5
- Abdeckung
- 6
- Einblicköffnung
- 7
- Reinigungsöffnung
- 8
- Innenrohr
- 9
- Scherplatte
- 10
- Ablagerungen
- 11
- Aussparung
- 12
- Schieberteil
- 13
- Innenfläche
- 14
- Scherkante
- 15
- Schneidenfläche
- H1
- Hebel
- H2
- Hebel
- M1
- Mitnehmer
- M2
- Mitnehmer
- AS1
- Anschlag
- AS2
- Anschlag
- KD
- Kulissendrehteil
- H
- Halterung
- K1
- Kugellager
- K2
- Kugellager
- K3
- Kugellager
- GK
- Gewindekulisse
- G
- Griff
- E
- Endstellung
- F
- Feder
- Y
- Bahn