DE19703735A1

DE19703735A1 - Längenveränderliches Element

Info

Publication number: DE19703735A1
Application number: DE1997103735
Authority: DE
Inventors: Winfried Dr Fugmann; Jan Dr Neumann; Rene Dr Theska
Original assignee: Leitz Brown and Sharpe Messtechnik GmbH
Current assignee: Hexagon Metrology GmbH
Priority date: 1997-01-31
Filing date: 1997-01-31
Publication date: 1998-08-06
Anticipated expiration: 2017-02-01
Also published as: DE19703735C2

Description

Die Erfindung betrifft ein längenveränderliches Ele ment mit einem Maßstabssystem zur Messung der Länge oder Längenänderung des Elementes.

In verschiedenen Bereichen der Technik sind Mechanis men bekannt, bei denen die Position einer Plattform mit Hilfe mehrerer längenveränderlicher Elemente bestimmt oder die Plattform mit Hilfe dieser längenveränderlichen Ele mente meßbar bewegt wird.

Gemäß der DE 35 04 464 C1 und DD 141 061 wird die Überprüfung der Position eines Meßkopfes eines Koordinaten meßgerätes durch passive längenveränderliche Elemente aus geführt, das heißt Elemente, die keinen eigenen Antrieb haben, wobei die Positionierung durch das Koordinaten meßgerät selbst vorgenommen wird.

Gemäß der Zeitschrift "Spektrum der Wissenschaft", Mai 1991, Seiten 18 bis 22, wird ein Teleskopspiegel, gemäß der Zeitschrift "Schweizer Maschinenmarkt", Nr. 17/1995, Seiten 26 bis 29, die Bearbeitungsplattform einer Werkzeugmaschi ne, gemäß der DE 296 07 680 U1 der an einem Ausleger der Plattform angebrachte Tastkopf eines Koordinatenmeßgerätes durch jeweils sechs aktive längenveränderliche Elemente be wegt. Die aktiven längenveränderlichen Elemente weisen ei nen Antrieb auf. Die Messung der Position der Plattform kann durch die Längenmessung der längenveränderlichen Ele mente ausgeführt werden.

Gemäß diesem Stand der Technik tritt, im Gegensatz zu konventionellen kartesischen Aufbauten, das Problem einer veränderlichen Durchbiegung der längenveränderlichen Ele mente auf, die die Längenmessung der Elemente nicht ver fälschen darf. Diese Durchbiegung entsteht grundsätzlich durch das Eigengewicht der längenveränderlichen Elemente unter der beim Betrieb veränderlichen Neigung, Orientierung und Länge der Elemente. Um eine Rückwirkung der Durchbie gung auf die Längenmessung zu verhindern, ist es gemäß WO 95/14905 und WO 91/03145 bekannt, den Meßweg eines Laserinterferometers innerhalb der mechanischen Antriebs elemente des längenveränderlichen Elementes, beispielsweise einer Stange oder einer Spindel, anzuordnen.

Diese zum Stand der Technik gehörende Anordnung, bei der ein Maßstab, insbesondere der Meßweg eines Laserinter ferometers innerhalb eines Antriebselementes angeordnet ist, hat mehrere Nachteile:

1. Durch Reibung oder durch Kontakt mit Motoren erwärmen sich alle Antriebselemente, wodurch die Länge des Maß stabs, insbesondere die Eigenschaften des Mediums bei einem Laserinterferometer, verändert werden. Innerhalb der Antriebselemente ist eine effektive Kühlung nur mit sehr großem Aufwand möglich.
2. Die Verwendung hohler Spindeln, Stangen oder Luftlager ist aufwendig und teuer.
3. Vibrationen, die im Antriebssystem entstehen, übertragen sich direkt auf das Maßstabssystem und können zu Meß fehlern oder Störungen führen.
4. Die Zugänglichkeit des Maßstabssystems ist einge schränkt, insbesondere sind Montage und die Nachjustie rung des Maßstabs beziehungsweise des Laserinterferome ters stark erschwert.
5. Das Fehlen geeigneter, beispielsweise nicht mit einer Spindel mitrotierender Anbringungspunkte erschwert die Anbringung der Interferometer-Elemente beziehungsweise der Maßstäbe und Geber.

Das der Erfindung zugrunde liegende technische Problem besteht darin, eine Anordnung eines Meßsystems zur Messung der Länge eines längenveränderlichen Elementes anzugeben, die einen von der Neigung des längenveränderlichen Elemen tes unabhängigen Meßwert liefert, ohne die beschriebenen Nachteile der zum Stand der Technik gehörenden Lösungen aufzuweisen.

Dieses technische Problem wird durch die Merkmale des Anspruches 1 gelöst.

Dadurch, daß das Maßstabssystem außerhalb der An triebs-, Führungs- und/oder Stützstrukturen des längenver änderlichen Elementes und symmetrisch zur Verbindungslinie zwischen den Anlenkpunkten des längenveränderlichen Elemen tes angeordnet ist, wirkt sich eine neigungs-, orientie rungs- und längenabhängige Durchbiegung des längenverän derlichen Elementes in erster Näherung nicht auf die wirk same Länge des längenveränderlichen Elementes aus. Die wirksame Länge des längenveränderlichen Elementes ist bei Hexapoden und verwandten Strukturen der Abstand zwischen den Anlenkpunkten des Elementes, da die Abstände zwischen diesen Punkten die Lage und Orientierung der Plattform ein deutig festlegen. Die neigungs-, orientierungs- und län genabhängige Durchbiegung des Elementes wirkt sich deshalb in erster Näherung nicht auf die wirksame Länge des Elemen tes aus, da die Längenverkürzung auf der "oberen" Seite durch eine in erster Näherung gleich große Verlängerung auf der "unteren" Seite kompensiert wird. Dies gilt sowohl für die elastische Biegung von Strukturelementen als auch für eine durch Spiel in den Führungselementen verursachte Abweichung.

Fehler höherer Ordnung spielen bei den in der Praxis auftretenden Durchbiegungen weder für die Längenmessung noch für die tatsächlich wirksame Länge des längenverän derlichen Elementes eine Rolle. Abweichungen durch das ei gengewichtsbedingte "Durchhängen" eines Maßbandes sind ebenfalls von höherer Ordnung, können aber auch durch eine Zwangsführung des Maßbandes durch den Geber weitgehend un terdrückt werden.

Gemäß der Erfindung wird bei aktiven längenveränder lichen Elementen, das heißt bei Elementen mit einem eigenen Antriebssystem die Antriebs-, Führungs- und/oder Stütz struktur des längenveränderlichen Elementes in der Verbin dungslinie zwischen den Anlenkpunkten angeordnet. In diesem Fall ist das wenigstens eine Maßstabssystem außerhalb der Verbindungslinie und symmetrisch zu der Verbindungslinie angeordnet.

Erfindungsgemäß können die Antriebs-, Führungs- und/oder Stützstrukturen aber auch außerhalb der Verbin dungslinie zwischen den Anlenkpunkten angeordnet sein. In diesem Fall kann das Maßstabssystem in der Verbindungslinie zwischen den Anlenkpunkten angeordnet sein. Es ist aber auch möglich, das Maßstabssystem außerhalb der Verbin dungslinie anzuordnen. In weiterer Ausgestaltung der Er findung ist es auch möglich, in diesem Fall ein Maßstabs system in der Verbindungslinie und weitere Maßstabssysteme außerhalb der Verbindungslinie anzuordnen.

Durch die erfindungsgemäßen Anordnungen werden die ge mäß dem Stand der Technik bekannten Nachteile vermieden.

Weitere Einzelheiten der Erfindung können den Unteran sprüchen entnommen werden.

Auf der Zeichnung ist ein Ausführungsbeispiel der Er findung dargestellt, und zwar zeigen:

Fig. 1 ein längenveränderliches Element mit einem doppelten Interferometer-Meßweg;

Fig. 2 ein längenveränderliches Element mit einem einfachen Interferometer-Meßweg;

Fig. 3 ein längenveränderliches Element mit zwei Laserinterferometern;

Fig. 4 ein längenveränderliches Element mit einem Maßband;

Fig. 5 ein längenveränderliches Meßelement mit zwei Maßstäben;

Fig. 6 das Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 5 mit durchgebogenem, längenveränderlichem Element;

Fig. 7 ein weiteres Ausführungsbeispiel mit einem Interferometer-Meßweg in der Verbindungs linie der Anlenkpunkte;

Fig. 8 ein längenveränderliches Element mit zwei parallel angeordneten Spindeln.

Fig. 1 zeigt ein längenveränderliches Element (1) mit Kugelgelenken (2, 3). In der Verbindungslinie (A) zwischen Anlenkpunkten (4, 5) sind Antriebsstrukturen des Elementes (1) angeordnet. Das Element (1) weist eine Stange (6) und einen Zylinder (7) auf. An dem Zylinder (7) ist ein Inter ferometereingang und -ausgang (8) vorgesehen sowie ein Re flektor (9). Der Interferometer-Meßweg liegt außerhalb der Verbindungslinie (A), aber symmetrisch auf gegenüberlie genden Seiten des längenveränderlichen Elementes (1). Von dem Interferometerausgang (8) ausgehend wird der Laser strahl parallel zur Verbindungslinie (A) zu einem Umlenk spiegel (10) geführt und von dort zu einem weiteren Umlenk spiegel (11). Anschließend wird der Laserstrahl wiederum parallel zur Verbindungslinie (A) zum Reflektor (9) ge führt, dort reflektiert und über die Umlenkspiegel (11, 10) zu dem Interferometereingang (8) zurückgeführt. Bei dieser Ausführungsform ist ein doppelter Meßweg vorgesehen.

Gemäß Fig. 2 weist das längenveränderliche Element (1) einen einfachen Meßweg auf. Bei dieser Ausführungsform ist ein Interferometerausgang (12) vorgesehen sowie ein Inter ferometereingang (13).

Gemäß Fig. 3 weist das längenveränderliche Element (1) zwei Laserinterferometereingänge und -ausgänge (14, 15) sowie Reflektoren (24a, 24b) auf. Bei dieser Ausführung wird nach der Messung eine Mittelwertbildung durchgeführt.

Die Referenzwege sind in den Fig. 1 bis 3 nicht darge stellt. Die Interferometer können, je nach Ausführung, beispielsweise als Michelson- oder Mach-Zehnder-Inter ferometer aufgebaut sein.

Aufgrund von Kosten und Stabilität werden bei Koordi natenmeßgeräten in der Regel Stahl- oder Glasmaßstäbe oder Maßbänder mit aufgebrachter Teilung gegenüber Laserinter ferometern bevorzugt. Wird ein solcher Maßstab zur Längen messung verwendet, so wird ein Maßband (16) mindestens doppelter Länge gemäß Fig. 4 an dem längenveränderlichen Element (1) angeordnet. Mittels zweier Geber (17a, 17b) ist die Längenveränderung des längenveränderlichen Elementes (1) als Mittelwert der auf beiden Seiten ablesbaren Längen veränderungen bestimmbar. Das Maßband (16) wird mittels Umlenkvorrichtungen (18, 19) umgelenkt, so daß das Maßband (16) symmetrisch zur Achse (A) auf beiden Seiten des längenveränderlichen Elementes (1) geführt wird.

Gemäß Fig. 5 weist das längenveränderliche Element zwei Maßstäbe (20, 21) auf, wobei wiederum mittels zweier Geber (17a, 17b) die Längenveränderung abgelesen werden kann. Die Maßstäbe (20, 21) sind symmetrisch zur Verbin dungslinie (A) zwischen den Anlenkpunkten (4, 5) des längenveränderlichen Elementes (1) angeordnet.

Gemäß Fig. 6 ist ein längenveränderliches Element (1) in durchgebogener Form dargestellt. Die wirksame Länge des längenveränderlichen Elementes ist bei Hexapoden und ver wandten Strukturen der Abstand zwischen den Anlenkpunkten (4, 5) des längenveränderlichen Elementes (1), da die Ab stände zwischen sämtlichen Anlenkpunkten aller längenver änderlicher Elemente die Lage und Orientierung einer Platt form (nicht dargestellt) eindeutig festlegen. Gemäß der er findungsgemäßen Ausführungsform des Maßstabssystems wirkt sich die neigungs-, orientierungs- und längenabhängige Durchbiegung des längenveränderlichen Elementes (1) in er ster Näherung nicht auf die wirksame Länge des längenver änderlichen Elementes (1) aus, da die gemessene Längen verkürzung unter anderem durch die Schrägstellung der Stange (6) und der daran befestigten Geberanbringung (22) des "oberen" Maßstabs (20) durch eine in erster Näherung gleich große Verlängerung am "unteren" Maßstab (21) kom pensiert wird. Dies gilt sowohl für die elastische Biegung von Strukturelementen als auch für eine durch Spiel in den Führungselementen verursachte Abweichung. Fehler höherer Ordnung spielen bei den in der Praxis auftretenden Durch biegungen weder für die Längenmessung noch für die tat sächlich wirksame Länge des längenveränderlichen Elementes (1) eine Rolle.

Abweichungen durch das eigengewichtsbedingte "Durch hängen" des Maßbandes im Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 4 sind ebenfalls von höherer Ordnung, können aber durch eine Zwangsführung des Maßbandes (16) durch die Geber (17a, 17b) weitgehend unterdrückt werden.

Fig. 7 zeigt ein längenveränderliches Element (25), bei dem die Antriebsstrukturen außerhalb einer Verbindungs linie (B) zwischen den Anlenkpunkten (26, 27) der Gelenke (28, 29) des längenveränderlichen Elementes (25) angeordnet sind. In diesem Fall kann der Maßstab oder der Interfero meter-Meßweg in der Verbindungslinie (B) angeordnet sein.

Gemäß Fig. 7 ist eine asymmetrische Anordnung der An triebsstrukturen vorgesehen. Eine solche Anordnung ist prinzipiell weniger steif als die Anordnung entlang der Verbindungslinie (B), so daß last- und neigungsbedingte Änderungen der auf das längenveränderliche Element wirkenden Kraft Änderungen des Abstands zwischen den Anlenkpunkten (26, 27) im Bereich von einigen Mikrometern verursachen können. Da diese Abstandsänderungen von einem symmetrisch zur oder entlang der Verbindungslinie (B) ange ordneten Maßstabssystem erfaßt werden, wird die Positio nier- und Positionsmeßgenauigkeit nicht beeinträchtigt, weil die Lage und Orientierung der Plattform (nicht dar gestellt) nur vom Abstand zwischen den Anlenkpunkten (26, 27) der längenverstellbaren Elemente (25) abhängt. Um unerwünschte Schwingungen zu vermeiden, bestehen dabei je doch höhere Anforderungen an die Biegesteifigkeit der Struktur und/oder an die Antriebsregelung.

Gemäß Fig. 7 ist in der Verbindungslinie (B) der In terferometer-Meßweg (30) angeordnet. Das längenveränder liche Element (25) weist einen Interferometereingang und -ausgang (31) sowie einen Reflektor (32) auf. Für die Län genveränderlichkeit des längenveränderlichen Elementes (25) ist außerhalb der Verbindungslinie (B) liegend die Stange (33) und der Zylinder (34) angeordnet.

Um die höheren Anforderungen an die Biegesteifigkeit der Struktur und/oder an die Antriebsregelung zu vermeiden oder zu minimieren, ist gemäß Fig. 8 der Antrieb des län genveränderlichen Elementes (25) aus zwei parallel laufen den Spindeln (35, 36) gebildet. An die Spindel greift eine Spindelmutter (37) an, die mit der Stange (33) verbunden ist. Die Spindeln (35, 36) werden von einem Motor (39) über ein Getriebe (40) angetrieben, so daß sich die Spindelmut ter (37) in Richtung des Pfeiles (C) bewegt. Die Längenver änderung wird mittels eines Interferometers (41) mit einem Reflektor (42) bestimmt.

Der Antrieb besteht bei diesem Ausführungsbeispiel aus mehreren symmetrisch zur Verbindungslinie zwischen den An lenkpunkten (26, 27) des längenveränderlichen Elementes (25) angeordneten Elementen, gemäß Fig. 8 aus den zwei par allel laufenden Spindeln (35, 36). Diese Anordnung hat den weiteren Vorteil, daß kein resultierendes Drehmoment auf die Spindelmutter (37) entsteht, so daß die ansonsten not wendige Führung der Spindelmutter (37) entfällt und auch kein Drehmoment auf die Plattform (nicht dargestellt) aus geübt wird.

Gemäß den Fig. 1 bis 7 ist das Antriebselement symbo lisch als Zylinder (7, 34) dargestellt, der elektromecha nisch, pneumatisch oder hydraulisch angetrieben werden kann. Ebenso kann ein Spindel-, Linear-, Piezo-, Riemen- oder ein anderer fachgemäßer Antrieb eingesetzt werden, auch in der symmetrischen Anordnung gemäß Fig. 8.

Die Gelenke (2, 3, 28, 29) sind in den Fig. 1 bis 8 symbolisch als Kugelgelenke dargestellt, können aber ebenso als Kardangelenke, Luft- oder Magnetlager, Festkörpergelen ke oder in anderer Form ausgebildet sein. Die Versorgung von Antrieb, Maßstabssystem und gegebenenfalls Gelenken über Schläuche, Kabel, Lichtleiter und so weiter sind nicht dargestellt, ebenso wie zusätzliche Sicherheits- oder Meßeinrichtungen.

Bezugszeichenliste

1

Element

2

,

3

Gelenke

4

,

5

Anlenkpunkte

6

Stange

7

Zylinder

8

Interferometerein- und -ausgang

9

Reflektor

10

,

11

Umlenkspiegel

12

Interferometerausgang

13

Interferometereingang

14

,

15

Interferometerein- und Ausgang

16

Maßband

17

a,

17

b Geber

18

,

19

Umlenkvorrichtungen

20

,

21

Maßstäbe

22

Geberanbringung

24

a,

24

b Reflektoren

25

längenveränderliches Element

26

,

27

Anlenkpunkte

28

,

29

Gelenke

30

Meßweg

31

Interferometerein- und -ausgang

32

Reflektor

33

Stange

34

Zylinder

35

Spindel

36

Spindel

37

Spindelmutter

39

Motor

40

Getriebe

41

Interferometer

42

Reflektor
A, B Verbindungslinien
C Pfeil

Claims

1. Längenveränderliches Element, welches in einer Vor richtung vorgesehen ist, wobei bei der Vorrichtung die Po sition und/oder Orientierung eines Bezugsobjektes im Raum durch eine vorbestimmte Anzahl von längenveränderlichen Elementen festgelegt, verändert und/oder gemessen wird, wo bei das längenveränderliche Element

- an seinen Enden je ein Gelenk, welches jeweils wenigstens näherungsweise einen Anlenkpunkt definiert, aufweist,
- ein in der Länge veränderliches Teil aufweist,
- ein Maßstabssystem zur Messung der Länge und/oder Längen änderung des längenveränderlichen Elementes aufweist, dadurch gekennzeichnet, daß wenig stens ein Maßstabssystem (8, 9, 10, 11; 12, 13, 10, 11; 14, 15, 10, 11; 16; 20, 21; 31, 32; 41, 42) außerhalb von Antriebs-, Führungs- und/oder Stützstrukturen des längen veränderlichen Elementes (1, 25) und wenigstens teilweise symmetrisch zu einer zwischen den Anlenkpunkten (4, 5; 26, 27) liegenden Verbindungslinie (A; B) des längenveränder lichen Elementes (1, 25) angeordnet ist.

2. Element nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das längenveränderliche Element (1, 25) passiv, ohne eigenen Antrieb, ausgebildet ist.

3. Element nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das längenveränderliche Element (1, 25) wenigstens ein Antriebssystem (35, 36, 37, 39, 40) zur Längenveränderung aufweist.

4. Element nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Antriebs-, Führungs- und/oder Stützstruktur des längenveränderlichen Elementes (1) in der Verbindungslinie (A) zwischen den Anlenkpunkten (4, 5) angeordnet ist und daß das wenigstens eine Maßstabssystem (8, 9, 10, 11; 12, 13, 10, 11; 14, 15, 10, 11; 16; 20, 21) außerhalb der Ver bindungslinie (A) und wenigstens teilweise symmetrisch zu der Verbindungslinie (A) angeordnet ist.

5. Element nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß das wenigstens eine Maßstabssystem (8, 9, 10, 11; 12, 13, 10, 11; 14, 15, 10, 11; 16; 20, 21) symmetrisch zu der Verbindungslinie (A) auf gegenüberliegenden Seiten des längenveränderlichen Elementes (1) angeordnet ist.

6. Element nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß das wenigstens eine Maßstabssystem (8, 9, 10, 11; 12, 13, 10, 11; 14, 15, 10, 11; 16; 20, 21) in den Bereichen, die parallel zu dem Verschiebeweg des längenveränderlichen Elementes (1) liegen, parallel oder annähernd parallel zu der Verbindungslinie (A) angeordnet ist.

7. Element nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Antriebs-, Führungs- und/oder Stützstruktur des längenveränderlichen Elementes (25) außerhalb der Verbin dungslinie (B) zwischen den Anlenkpunkten (26, 27) angeord net ist, und daß das wenigstens eine Maßstabssystem (31, 32; 41, 42) in der Verbindungslinie (B) zwischen den Anlenkpunkten (26, 27) und/oder wenigstens ein Maßstabs system außerhalb der Verbindungslinie (B) angeordnet ist.

8. Element nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß zum Antrieb des längenveränderlichen Elementes (25) wenigstens zwei parallel angeordnete Antriebselemente, welche symmetrisch oder annähernd symmetrisch zur Verbin dungslinie (B) zwischen den Anlenkpunkten (26, 27) angeordnet sind, vorgesehen sind.

9. Element nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die wenigstens zwei parallel angeordneten Elemente als Spindeln (35, 36) ausgebildet sind.

10. Element nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Antriebssystem und das Maßstabssystem (8, 9, 10, 11; 12, 13, 10, 11; 14, 15, 10, 11; 16; 20, 21; 31, 32; 41, 42) voneinander unabhängige Führungen aufweisen.

11. Element nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das wenigstens eine Maßstabssystem (8, 9, 10, 11; 12, 13, 10, 11; 14, 15, 10, 11) des längenveränderlichen Ele mentes (1) als wenigstens ein Meßweg eines optischen Systems ausgebildet ist.

12. Element nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß das Maßstabssystem (8, 9, 10, 11) ein Interferometer aufweist.

13. Element nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß ein einfacher Interferometer-Meßweg vorgesehen ist.

14. Element nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß ein wenigstens zweifacher Interferometer-Meßweg vorge sehen ist.

15. Element nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß das Maßstabssystem (14, 15, 10, 11) wenigstens zwei In terferometer (14, 15) aufweist.

16. Element nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Maßstabssystem (16, 20, 21) wenigstens einen mate riellen Maßstabsträger (16, 20, 21) mit einer Teilung auf weist, welche mechanisch, elektromagnetisch und/oder op tisch ablesbar ausgebildet ist.

17. Element nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, daß das Maßstabssystem wenigstens ein durchgehendes Maßband (16) aufweist, wobei das wenigstens eine durchgehende Maß band (16) als wenigstens ein über Umlenkelemente (18, 19) geführtes Maßband (16) ausgebildet ist.

18. Element nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Gelenk (2, 3, 28, 29) ein- oder mehrteilig ausge bildet ist.

19. Element nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das längenveränderliche Element (1, 25) Subsysteme mit Sicherungs-, Versorgungs- und/oder weiteren Meßaufgaben aufweist.

20. Element nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das längenveränderliche Element (1, 25) in einer Vor richtung angeordnet ist, bei der das Bezugsobjekt als Plattform ausgebildet ist.

21. Element nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das längenveränderliche Element (1, 25) in einer Vor richtung angeordnet ist, welche als Hexapode ausgebildet ist.

22. Element nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorrichtung, in der das längenveränderliche Element (1, 25) angeordnet ist, als ein in seinen Freiheitsgraden eingeschränkter Hexapode ausgebildet ist.

23. Element nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das längenveränderliche Element (1, 25) in einer Vor richtung angeordnet ist, welche als Koordinatenmeßgerät ausgebildet ist.