DE19630902A1 - Einrichtung zur Temperaturüberwachung in einer leistungselektronischen Anordnung - Google Patents
Einrichtung zur Temperaturüberwachung in einer leistungselektronischen AnordnungInfo
- Publication number
- DE19630902A1 DE19630902A1 DE19630902A DE19630902A DE19630902A1 DE 19630902 A1 DE19630902 A1 DE 19630902A1 DE 19630902 A DE19630902 A DE 19630902A DE 19630902 A DE19630902 A DE 19630902A DE 19630902 A1 DE19630902 A1 DE 19630902A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- power semiconductor
- temperature
- chip resistor
- silicon chip
- carrier plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H10W40/00—
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01K—MEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01K7/00—Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements
- G01K7/16—Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements using resistive elements
- G01K7/22—Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements using resistive elements the element being a non-linear resistance, e.g. thermistor
- G01K7/226—Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements using resistive elements the element being a non-linear resistance, e.g. thermistor using microstructures, e.g. silicon spreading resistance
-
- H10W72/5363—
-
- H10W72/5473—
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)
- Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
Description
Die Erfindung bezieht sich auf eine Einrichtung zur Temperaturüberwachung in einer
leistungselektronischen Anordnung nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1.
In K. Reinmuth, L. Lorenz, S. Konrad, "A New Generation of IGBT′s and Concepts
for their Protection", Power Conversion, June 1994 Proceedings, Seiten 139 bis 147,
sind zwei prinzipielle Wege zur Durchführung einer Temperaturüberwachung in ei
ner leistungselektronischen Anordnung beschrieben. Eine leistungselektronische
Anordnung kann beispielsweise ein Leistungshalbleitermodul oder eine Anordnung
mehrerer solcher Module sein. Im Aufsatz ist ein Leistungshalbleitermodul darge
stellt, das eine elektrisch isolierende Trägerplatte aufweist, die elektrisch leitfähige
strukturierte Metallisierungsflächen trägt und mit Leistungshalbleiterbauelementen,
nämlich IGBT′s bestückt ist.
Die erste beschriebene Methode bezieht sich auf eine indirekte Erfassung von
Übertemperaturen, z. B. mittels Anordnung eines temperaturempfindlichen Bauele
ments auf der Trägerplatte eines Leistungshalbleitermoduls.
Bei der zweiten Methode wird eine möglichst direkte Messung der Temperatur eines
Halbleiterbauelements durch enge räumliche Kopplung eines temperaturempfindli
chen Bauelements mit der Wärmequelle angestrebt. In dem Aufsatz wird zur Durch
führung der zweiten Methode eine Anordnung beschrieben, bei der ein zur Tempera
turerfassung dienender Baustein mittels Kleben auf einen Leistungshalbleiterchip
aufgebracht ist. Ein noch engerer Kontakt ist durch Integration eines Temperaturer
fassungsbausteins im Leistungshalbleiterchip erreichbar.
Eine solche enge räumliche Kopplung gemäß der zweiten Methode ist angezeigt,
wenn eine sehr kleine Zeitkonstante erforderlich ist, um ein Leistungshalbleiterbau
element z. B. selektiv abschalten zu können bzw. um auf einen Kurzschlußstrom und
eine daraus resultierende plötzliche Erwärmung schnell reagieren zu können. Diese
Methode ist aber nicht uneingeschränkt zur Erfassung aller Fehlerarten geeignet
und verursacht außerdem relativ hohe Kosten entweder bei der Herstellung speziel
ler Bausteine mit integrierter Temperaturerfassungseinrichtung oder bei der Monta
ge von z. B. aufzuklebenden Bausteinen.
Die Erfindung bezieht sich auf eine Temperaturüberwachung nach der ersten, also
indirekten Erfassungsmethode, die beispielsweise geeignet ist, das Versagen eines
Kühllüfters in einer leistungselektronischen Anordnung, eine unzulässige Erwär
mung aufgrund einer Abdeckung von Lüftungsschlitzen eines Gerätes, eine Erhö
hung der Kühlmitteltemperatur oder eine Überlastsituation zu erkennen. Die für eine
solche Oberwachung geforderte Zeitkonstante ist zwar größer als bei einer Kurz
schlußüberwachung, soll aber trotzdem möglichst klein sein, um Störungen mit nur
kurzem Zeitverzug zu erfassen.
Zur Durchführung der indirekten Temperaturüberwachung werden in der Praxis
oberflächenmontierte temperaturempfindliche Bausteine (SMD-Bauelemente) in lei
stungselektronischen Anordnungen verwendet. Nachteilig ist jedoch, daß ein sol
ches SMD-Bauelement nicht mit seiner gesamten Fläche auf der Trägerplatte auf
liegt, sondern nur über die elektrischen Anschlüsse ein Wärmekontakt zur Träger
platte besteht. Dadurch sind Fehler bei der Erfassung der Höhe der Temperatur so
wie relativ große Zeitkonstanten bedingt.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Einrichtung zur Durchführung der
indirekten Erfassung von Temperaturerhöhungen in Leistungshalbleiteranordnungen
anzugeben, die mit geringem Aufwand im Rahmen der üblichen Modulfertigung rea
lisierbar ist und zu einer ausreichend genauen und schnellen Temperaturerfassung
führt.
Diese Aufgabe wird bei einer Einrichtung zur Temperaturüberwachung nach dem
Oberbegriff des Anspruchs 1 durch dessen kennzeichnende Merkmale gelöst.
Mit der Erfindung wird vorgeschlagen, einen Silizium-Chipwiderstand als tempera
turabhängiges Bauelement auf der Trägerplatte eines Leistungshalbleitermoduls
anzuordnen. Solche Silizium-Chipwiderstände finden bereits als Gate-Vorwiderstand
für schaltbare Halbleiterkomponenten in der Modultechnik Anwendung. Silizi
um-Chipwiderstände tragen auf ihrer oberen und unteren Hauptfläche Metallisie
rungen, die ein Löten, Kleben oder Drahtbonden im Rahmen der zur Modulherstel
lung benutzten Technologie ermöglicht. Ein zur Temperaturüberwachung auf einer
Trägerplatte anzuordnender Silizium-Chipwiderstand erfordert keinen besonderen
Herstellungsschritt, da er zusammen mit den übrigen Halbleiterbauelementen be
stückt und kontaktiert wird.
Vorteilhaft ist weiterhin, daß es sich beim Silizium-Chipwiderstand um ein sehr ein
faches und preisgünstiges Siliziumbauelement handelt, dessen Charakteristik, die
auch durch einen bestimmten Montageort im Modul beeinflußt wird, auf einfache
Weise erfaßbar ist. Die üblicherweise verwendeten komplexen Steuerungen für lei
stungselektronische Einrichtungen erlauben in der Regel eine Kalibrierung, um den
Startwert der Temperatur bzw. die Temperaturabhängigkeit in mehreren Punkten zu
erfassen. Der Bezug des Nennwertes zu einer bestimmten Temperatur darf sich
deshalb innerhalb eines relativ großen Toleranzfelds bewegen.
Weitere Einzelheiten zu Anordnungsmöglichkeiten für einen Silizium-Chipwiderstand
zur Temperaturüberwachung in einem Leistungshalbleitermodul ergeben sich aus
der nachstehenden Beschreibung eines in Fig. 1 gezeigten Ausschnittes einer be
stimmten Trägerplatte.
Fig. 1 zeigt eine elektrisch isolierende Trägerplatte 1, z. B. eine Keramikplatte, die
auf ihrer oberen Hauptfläche eine zu Leiterbahnen strukturierte leitfähige Schicht 2
trägt, die eine Schaltungskonfiguration bildet. Auf Flächen der Schicht 2 sind
Halbleiterbauelemente 3, Silizium-Chipwiderstände 4a, 4b und Anschlußelemente 6 pla
ziert. Mittels Bonddrähten 5 sind elektrische Verbindungen zwischen Chips 3, 4a, 4b
und Flächen der Schicht 2 hergestellt.
Im dargestellten Ausführungsbeispiel ist der mit 4b bezeichnete Silizium-Chipwider
stand als Gate-Vorwiderstand eingesetzt. Der mit 4a bezeichnete Chipwiderstand ist
als Temperatursensor potentialfrei auf einer besonderen Teilfläche 2a befestigt und
mittels Bonddrähten jeweils mit weiteren potentialfrei angeordneten Teilflächen
(Metallisierungsflächen) 2b, 2c verbunden, die jeweils Anschlüsse 6 tragen. Die bei
den elektrischen Anschlüsse des Temperatursensors 4a sind also auf diese Weise -
ohne elektrische Verbindung zu sonstigen Schaltungsteilen - über zwei Anschlüsse
6 aus einem Modul herausgeführt und für eine Auswertung der temperaturabhängi
gen Widerstandsänderung in einer externen Auswerteeinrichtung verfügbar.
Es versteht sich, daß abweichend von der beschriebenen Anordnung auch ein An
schluß eines Silizium-Chipwiderstands 4a zusammen mit anderen Leistungshalblei
terbauelementen 3 auf der selben Teilfläche der leitfähigen Schicht 2 montiert sein
kann und damit das gleiche Potential, z. B. ein Massepotential aufweisen
kann.
Claims (3)
1. Einrichtung zur Temperaturüberwachung einer Leistungshalbleiteranord
nung, insbesondere eines Leistungshalbleitermodules mit einer elektrisch isolieren
den Trägerplatte (1), die Metallisierungsflächen (2) aufweist, auf der zumindest ein
Leistungshalbleiterbauelement (3) angeordnet ist, und unter Verwendung eines tem
peraturabhängigen elektrischen Widerstandbauelements (4a) als Temperatursensor,
dadurch gekennzeichnet, daß
- a) das Widerstandsbauelement ein Silizium-Chipwiderstand (4a) mit Metallisie rungen auf seinen oberen und unteren Hauptflächen ist, und
- b) der Silizium-Chipwiderstand (4a) auf einer Metallisierungsfläche (2, 2a) auf der Trägerplatte (1) befestigt ist.
2. Einrichtung zur Temperaturüberwachung nach Anspruch 1, dadurch ge
kennzeichnet, daß der Silizium-Chipwiderstand potentialfrei auf einer eigenen Me
tallisierungsfläche (2a) der Trägerplatte (1) angeordnet ist und seine elektrischen
Anschlüsse über Bonddrähte (5) und Modulanschlüsse (6) aus einem Leistungshalb
leitermodul potentialfrei herausgeführt sind.
3. Einrichtung zur Temperaturüberwachung nach Anspruch 1, dadurch ge
kennzeichnet, daß ein elektrischer Anschluß des Silizium-Chipwiderstands (4a) zu
sammen mit wenigstens einem weiteren Halbleiterbauelement (3) auf einer Metalli
sierungsfläche (2) der Leiterplatte (1) montiert ist und damit das selbe Potential auf
weist.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19630902A DE19630902B4 (de) | 1996-08-01 | 1996-08-01 | Einrichtung zur Temperaturüberwachung in einer leistungselektronischen Anordnung |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19630902A DE19630902B4 (de) | 1996-08-01 | 1996-08-01 | Einrichtung zur Temperaturüberwachung in einer leistungselektronischen Anordnung |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE19630902A1 true DE19630902A1 (de) | 1998-02-05 |
| DE19630902B4 DE19630902B4 (de) | 2005-07-14 |
Family
ID=7801382
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE19630902A Revoked DE19630902B4 (de) | 1996-08-01 | 1996-08-01 | Einrichtung zur Temperaturüberwachung in einer leistungselektronischen Anordnung |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| DE (1) | DE19630902B4 (de) |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2776462A1 (fr) * | 1998-03-19 | 1999-09-24 | Schneider Electric Sa | Module de composants electroniques de puissance |
| EP1455391A1 (de) * | 2003-03-04 | 2004-09-08 | Semikron Elektronik GmbH Patentabteilung | Leistungshalbleitermodul mit Sensorikbauteil |
| DE10355333B3 (de) * | 2003-11-27 | 2005-06-30 | Infineon Technologies Ag | Einrichtung und Verfahren zum Nachweis einer Überhitzung eines Halbleiter-Bauelements |
| DE10024516B4 (de) * | 2000-05-18 | 2006-03-09 | eupec Europäische Gesellschaft für Leistungshalbleiter mbH & Co. KG | Leistungshalbleitermodul |
| EP1501125A3 (de) * | 2003-07-23 | 2006-12-06 | SEMIKRON Elektronik GmbH & Co. KG | Leistungshalbleitermodul mit skalierbarer Aufbautechnik |
| EP2120260A3 (de) * | 2008-05-13 | 2010-07-07 | Kabushiki Kaisha Toyota Jidoshokki | Halbleitereinheit mit Temperatursensor |
| US20120201272A1 (en) * | 2010-05-20 | 2012-08-09 | Semikron Elektronik Gmbh & Co. Kg | Method for Determining the Temperature of a Power Semiconductor |
| DE102010050315C5 (de) * | 2010-11-05 | 2014-12-04 | Danfoss Silicon Power Gmbh | Verfahren zur Herstellung von gesinterten, elektrischen Baugruppen und damit hergestellte Leistungshalbleitermodule |
| DE102013211841A1 (de) * | 2013-06-21 | 2015-01-08 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Verfahren zum Bestimmen einer Temperatur eines optoelektronischen Halbleiterchips und optoelektronisches Bauelement |
| CN113053856A (zh) * | 2019-12-26 | 2021-06-29 | 湖南国芯半导体科技有限公司 | 防止硅片电阻局部放电失效的方法、结构及功率半导体器件 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7988354B2 (en) | 2007-12-26 | 2011-08-02 | Infineon Technologies Ag | Temperature detection for a semiconductor component |
| DE102022208171B4 (de) | 2022-08-05 | 2025-07-31 | Volkswagen Aktiengesellschaft | Anordnung zur Temperaturmessung mindestens eines Bauteils |
| DE102022211818B4 (de) | 2022-11-09 | 2025-12-04 | Volkswagen Aktiengesellschaft | Elektronikbaugruppe und Verfahren zur Herstellung einer Elektronikbaugruppe |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5141334A (en) * | 1991-09-24 | 1992-08-25 | The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration | Sub-kelvin resistance thermometer |
-
1996
- 1996-08-01 DE DE19630902A patent/DE19630902B4/de not_active Revoked
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5141334A (en) * | 1991-09-24 | 1992-08-25 | The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration | Sub-kelvin resistance thermometer |
Non-Patent Citations (3)
| Title |
|---|
| FASCHING,Martin: On-Line Monitoring of the Chip Temperature in IGBT Inverters for Propulsion Systems. In: EPE Journal, Vol.5, No.1, March 1995, S.9-13 * |
| JESSEN,Jürgen, STAHL,Detlef: Thermo- Chips. In: ELRAD 1993, H.10, S.52,53 * |
| JP 60-230026 A.,In: Patents Abstracts of Japan, P-446,April 15,1986,Vol.10,No. 97 * |
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6147868A (en) * | 1998-03-19 | 2000-11-14 | Schneider Electric Sa | Electronic power components module |
| FR2776462A1 (fr) * | 1998-03-19 | 1999-09-24 | Schneider Electric Sa | Module de composants electroniques de puissance |
| DE10024516B4 (de) * | 2000-05-18 | 2006-03-09 | eupec Europäische Gesellschaft für Leistungshalbleiter mbH & Co. KG | Leistungshalbleitermodul |
| DE10309302B4 (de) * | 2003-03-04 | 2007-09-27 | Semikron Elektronik Gmbh & Co. Kg | Leistungshalbleitermodul mit Sensorbauteil |
| EP1455391A1 (de) * | 2003-03-04 | 2004-09-08 | Semikron Elektronik GmbH Patentabteilung | Leistungshalbleitermodul mit Sensorikbauteil |
| EP1501125A3 (de) * | 2003-07-23 | 2006-12-06 | SEMIKRON Elektronik GmbH & Co. KG | Leistungshalbleitermodul mit skalierbarer Aufbautechnik |
| DE10355333B3 (de) * | 2003-11-27 | 2005-06-30 | Infineon Technologies Ag | Einrichtung und Verfahren zum Nachweis einer Überhitzung eines Halbleiter-Bauelements |
| EP2120260A3 (de) * | 2008-05-13 | 2010-07-07 | Kabushiki Kaisha Toyota Jidoshokki | Halbleitereinheit mit Temperatursensor |
| US8288838B2 (en) | 2008-05-13 | 2012-10-16 | Kabushiki Kaisha Toyota Jidoshokki | Semiconductor unit |
| US20120201272A1 (en) * | 2010-05-20 | 2012-08-09 | Semikron Elektronik Gmbh & Co. Kg | Method for Determining the Temperature of a Power Semiconductor |
| US9010999B2 (en) * | 2010-05-20 | 2015-04-21 | Semikron Elektronik Gmbh & Co., Kg | Method for determining the temperature of a power semiconductor |
| DE102010050315C5 (de) * | 2010-11-05 | 2014-12-04 | Danfoss Silicon Power Gmbh | Verfahren zur Herstellung von gesinterten, elektrischen Baugruppen und damit hergestellte Leistungshalbleitermodule |
| DE102013211841A1 (de) * | 2013-06-21 | 2015-01-08 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Verfahren zum Bestimmen einer Temperatur eines optoelektronischen Halbleiterchips und optoelektronisches Bauelement |
| CN113053856A (zh) * | 2019-12-26 | 2021-06-29 | 湖南国芯半导体科技有限公司 | 防止硅片电阻局部放电失效的方法、结构及功率半导体器件 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE19630902B4 (de) | 2005-07-14 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DE102006060768B4 (de) | Gehäusebaugruppe, DBC-Plantine im Wafermaßstab und Vorrichtung mit einer Gehäusebaugruppe für Geräte mit hoher Leistungsdichte | |
| DE102010029147B4 (de) | Verfahren zur Ermittlung der Temperatur eines Leistungshalbleiters | |
| DE102014109816B4 (de) | Leistungshalbleitermodul und System mit mindestens zwei Leistungshalbleitermodulen | |
| DE102009029476B4 (de) | Elektronische Vorrichtung zum Schalten von Strömen und Herstellungsverfahren für dieselbe | |
| DE102012211924B4 (de) | Halbleitermodul mit einem in einer Anschlusslasche integrierten Shunt-Widerstand und Verfahren zur Ermittlung eines durch einen Lastanschluss eines Halbleitermoduls fließenden Stromes | |
| DE102014106025B4 (de) | Integration einer Strommessung in eine Verdrahtungsstruktur einer elektronischen Schaltung und elektronische Schaltung | |
| DE10031115A1 (de) | Halbleiterbauteil sowie Verfahren zur Messung seiner Temperatur | |
| DE19630902A1 (de) | Einrichtung zur Temperaturüberwachung in einer leistungselektronischen Anordnung | |
| DE102017207382A1 (de) | Halbleitervorrichtung | |
| EP1470743B1 (de) | Leistungsmodul | |
| DE3444699C2 (de) | ||
| DE102013223023A1 (de) | Thermoelektrisches Modul und Verfahren zur Herstellung eines thermoelektrischen Moduls | |
| DE19708653C2 (de) | Vorrichtung zur Bestimmung der Temperatur mindestens eines auf einem Trägerkörper mit geringer Wärmeleitfähigkeit angeordneten Halbleiterbauelements | |
| EP3117458B1 (de) | Elektrische bauteilanordnung | |
| DE102013204889A1 (de) | Leistungsmodul mit mindestens einem Leistungsbauelement | |
| WO2020104281A1 (de) | Leistungselektronikanordnung mit einem temperatursensor | |
| DE69007419T2 (de) | Anordnung von elektronischen Leistungsbauelementen. | |
| EP4220706A1 (de) | Anordnung für eine halbleiteranordnung mit mindestens einem passiven bauelement und einem substrat | |
| EP2609620B1 (de) | Verfahren zur herstellung einer elektrischen schaltung und elektrische schaltung | |
| EP0895446B1 (de) | Regler für einen Elektromotor mit Regelschaltung und Leistungshalbleiter | |
| EP1568978B1 (de) | Temperatursensor | |
| EP3084851B1 (de) | Thermoelektrische vorrichtung und verfahren zum herstellen einer thermoelektrischen vorrichtung | |
| DE102022211818B4 (de) | Elektronikbaugruppe und Verfahren zur Herstellung einer Elektronikbaugruppe | |
| DE102013211841A1 (de) | Verfahren zum Bestimmen einer Temperatur eines optoelektronischen Halbleiterchips und optoelektronisches Bauelement | |
| DE69600945T2 (de) | Arrangement für integrierte Kreise und Methode zur Montierung davon |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| OM8 | Search report available as to paragraph 43 lit. 1 sentence 1 patent law | ||
| 8120 | Willingness to grant licences paragraph 23 | ||
| 8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
| 8363 | Opposition against the patent | ||
| 8331 | Complete revocation |