DE19615694C1 - Monolithischer Vielschicht-Piezoaktor und Verfahren zur Herstellung - Google Patents

Description

Piezoaktoren bestehen üblicherweise aus mehreren in einem Stapel angeordneten Piezoelementen. Jedes dieser Elemente wiederum besteht aus einer Piezokeramikschicht, die beider­ seits mit metallischen Elektroden versehen ist. Wird an diese Elektroden eine Spannung angelegt, so reagiert die Piezokera­ mikschicht mit einer Gitterverzerrung, die entlang einer Hauptachse zu einer nutzbaren Längenausdehnung führt. Da die­ se wiederum weniger als zwei Promille der Schichtdicke ent­ lang der Hauptachse beträgt, muß zur Erzielung einer ge­ wünschten absoluten Längenausdehnung eine entsprechend höhere Schichtdicke aktiver Piezokeramik bereitgestellt werden. Mit zunehmender Schichtdicke der Piezokeramikschicht eines ein­ zelnen Piezoelementes steigt jedoch auch die zum Ansprechen des Piezoelementes erforderliche Spannung. Um diese in hand­ habbaren Grenzen zu erhalten, liegen die Dicken von Piezoein­ zelelementen üblicherweise zwischen 20 und 200 µm. Ein Piezo­ aktor in Mehrschichtbauweise muß für eine gewünschte Län­ genausdehnung daher eine entsprechende Anzahl an Einzelele­ menten bzw. -schichten aufweisen.

Bekannte Piezoaktoren in Vielschichtbauweise bestehen daher aus insgesamt zahlreichen Einzelschichten. Zu deren Herstel­ lung werden Piezokeramikgrünfolien alternierend mit Elektro­ denmaterial zu einem Stapel angeordnet und gemeinsam zu einem monolithischen Verbund laminiert und gesintert. Ein solches Verfahren ist beispielsweise aus einem Artikel von S. Takahashi et al in Ferroelectrics, 1983, Vol. 90. Seiten 181 bis 190, bekannt. Größere Aktoren mit größerer absoluter Aus­ lenkung werden beispielsweise durch Verkleben mehrerer sol­ cher Stapel erhalten. Ein solches Verfahren ist beispielswei­ se aus der US-A 54 38 232 bekannt. Solche verklebte Stapel zeigen jedoch für viele Anwendungen eine zu geringe Steifig­ keit, insbesondere wenn mit dem Piezoaktor hohe Kräfte über tragen werden müssen. Ausreichend hohe Steifigkeiten besitzen nur Piezoaktoren in voll monolithischer Vielschichtbauweise.

Nur diese zeigen einen ausreichend festen Verbund der Einzel­ schichten im Stapel.

Beim Herstellen monolithischer Aktoren in Vielschichtbauweise treten mit zunehmender Höhe jedoch zusätzliche Probleme auf. Die zu einem Stapel laminierten Platten, die zahlreiche Ein­ zelaktoren enthalten, müssen vor dem Sintern zerteilt werden. Dabei werden die Stapel der relativ großflächigen Grünfolien in kleinere Stapel mit der gewünschten Aktorfläche zerteilt. Während niedrige Stapel in Automaten gestanzt werden können, wie es beispielsweise bei Vielschichtkondensatoren in einfa­ cher Weise möglich ist, muß dies bei höheren Stapeln durch einen Vielfach-Sägeprozeß entlang der Trennlinien ersetzt werden.

Bei niedrigen Stapeln kann das Laminieren in Automaten mit kurzen Taktzeiten erfolgen. Höhere Stapel müssen mit erhöhter Sorgfalt laminiert werden, um insbesondere die vertikale Strukturgenauigkeit beim Laminieren aufrechtzuerhalten. Dabei besteht stets die Gefahr, daß durch den angewendeten Druck Querfließprozesse in den Grünfolien zu einer Verschiebung einzelner Schichten gegeneinander führen. Insbesondere in den später zu kontaktierenden Zonen wird dadurch die Kontakt­ genauigkeit zerstört.

Die in der Vielschichttechnik verwendeten organischen Binder sind in erster Linie auf die Erfordernisse der Grünfolienher­ stellung und der Laminierung abgestimmt und müssen vor der Sinterung durch aufwendige Entbinderung in Öfen bei kontrol­ lierter Atmosphäre entfernt werden. Mit zunehmender Stapelhö­ he vervielfachen sich aber die Diffusionswege für den Binder bzw. dessen Abbauprodukte bei der Entbinderung. Um eine Zer­ störung des Stapels durch einen zu hohen Innendruck des sich zersetzenden Binders zu verhindern, ist ein hoher technischer Aufwand erforderlich, der wesentlich über dem Aufwand bei der Herstellung von Vielschichtkondensatoren liegt.

Wegen der vielen zu lösenden Probleme bei der Herstellung von Piezoaktoren in Vielschichtbauweise sind bekannte monolithi­ sche Piezoaktoren in kostengünstiger, bei Vielschichtkonden­ satoren üblicher Technik bislang auf eine maximale Höhe von ca. 2,5 bis 5 mm beschränkt. Außerdem erreichen diese bekann­ ten Piezoaktoren aus den genannten Gründen nur ein Aspektver­ hältnis (Höhe/Breite) von maximal ca. 2. Höhere Aktoren und Aktoren mit höherem Aspektverhältnis wurden bislang durch Zu­ sammenkleben mehrerer kleinerer Stapel erhalten, wobei die Steifigkeit des Stapels und damit dessen mechanische Belast­ barkeit reduziert wird.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es daher, ein einfa­ ches und sicheres Herstellungsverfahren für einen Piezoaktor in monolithischer Vielschichtbauweise anzugeben, welcher ein hohes Aspektverhältnis von mehr als 2 besitzt, welcher sich monolithisch in Stapelhöhen von mehr als 5 mm herstellen läßt, welcher optimale piezoelektrische Eigenschaften und ei­ ne hohe mechanische Verbundfestigkeit besitzt.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß mit einem Verfahren nach Anspruch 1 gelöst. Bevorzugte Ausgestaltungen der Erfindung sind weiteren Ansprüchen zu entnehmen.

Grundlegende Idee der Erfindung ist es, das Laminieren bei begrenzter Stapelhöhe im Nutzen durchzuführen. Nach dem Ver­ einzeln der Laminate, also dem Auftrennen der großflächigen laminierten ersten Stapel (= erste Verbünde) in kleinere zweite Stapel (= zweite Verbünde) der gewünschten Aktorgrund­ fläche erfolgt das Entbindern. Mehrere dieser zweiten Verbün­ de werden nun auf eine Höhe gestapelt, die ein Vielfaches des ersten Nutzens beträgt, und unter leichtem Druck zum erfin­ dungsgemäßen Piezoaktor gesintert. Dabei lassen sich erfin­ dungsgemäße Piezoaktoren mit einer Gesamthöhe von mehr als 5 mm und einem Aspektverhältnis von mehr als 2 erhalten. Durch das Laminieren der ersten Stapel bei relativ geringer Nutzen­ größe und damit relativ geringer Stapelhöhe läßt sich eine hohe Vertikalgenauigkeit der inneren Elektrodenstrukturen einhalten. Dies ist besonders wichtig, da die Elektroden strukturiert auf die Grünfolien aufgedruckt werden, so daß in den Elektrodenschichten Ausnehmungen verbleiben, deren exakte Positionierung im Stapel für eine korrekte Kontaktierung be­ sonders wichtig ist. Diese hohe Vertikalgenauigkeit innerhalb eines Verbundes kann beim Übereinanderstapeln mehrerer dieser Verbünde und dem anschließenden gemeinsamen Sintern in einfa­ cher Weise beibehalten werden. Geringfügige Versetzungen, die beim Übereinanderstapeln der Verbünde entstehen können, sind dabei ohne Belang. Das Zerteilen der ersten Verbünde mit be­ grenzter Stapelhöhe kann in bekannter kostengünstiger Weise durch Schneiden, Stanzen oder Scheren durchgeführt werden. Das Entbindern der gegebenenfalls vereinzelten Verbünde er­ folgt in geringer Stapelhöhe von beispielsweise bis zu 2 mm Höhe. So sind für den Binder bzw. dessen Zersetzungsprodukte maximale Diffusionswege von ca. 1 mm zu überwinden. Daher kann zur Entbinderung ein herkömmliches Verfahren ohne zu­ sätzliche aufwendige Verfahrenskontrolle eingesetzt werden.

Die Herstellung erster Verbünde mit im Verbund einheitlichen Elektrodenstrukturen ermöglicht es in einfacher Weise, durch Kombination mehrerer Verbünde mit unterschiedlicher Elektro­ denstruktur einen Piezoaktor mit unterschiedlichen Schichtbe­ reichen herzustellen. Die Schichtbereiche können sich dabei durch die genaue Elektrodenstruktur, die Schichtdicken der Einzelschichten oder die elektrische Kontaktierung unter­ scheiden. So ist es in einfacher Weise möglich, im Piezoaktor mechanisch gekoppelte, aber elektrisch entkoppelte Aktor- und Sensorfunktionen nebeneinander zu realisieren. Auch die Her­ stellung der Endbereiche, also der Kopf- und Fußbereiche der Piezoaktoren wird so vereinfacht. Diese bestehen aus größeren Bereichen elektrisch inaktiver Keramikschichten, die mit oder ohne dazwischenliegende Elektrodenstruktur realisiert werden können.

Der erfindungsgemäße Piezoaktor und dessen Aufbauverfahren ist dabei völlig unabhängig von den verwendeten Materialien. Für den Aktor kann eine beliebige PZT-(Bleizirkonattitanat) Keramik eingesetzt werden. Zur Herstellung der Elektroden­ schichten können verschiedene metallhaltige Pasten verwendet werden. Eine Platinpartikel enthaltende Paste ermöglicht bei­ spielsweise eine Sinterung bei der hohen optimalen Tempera­ tur, die für ein gutes Keramikgefüge und damit für gute pie­ zoelektrische Eigenschaften erforderlich ist. Für geringere Sintertemperaturen sind auch Palladium/Silber-haltige Pasten geeignet.

Im folgenden wird das Verfahren anhand eines Ausführungsbei­ spiels und der dazugehörigen acht Figuren näher erläutert.

Fig. 1 zeigt eine mit Elektrodenmaterial bedruckte Grünfolie in der Draufsicht.

Fig. 2 zeigt einen Stapel von bedruckten Grünfolien im sche­ matischen Querschnitt.

Fig. 3 zeigt diesen Stapel nach dem Laminieren in perspekti­ vischer Ansicht (= erster Verbund).

Fig. 4 bis 6 zeigen verschieden aufgebaute Verbünde, die unterschiedlichen Bereichen im späteren Piezoaktor entsprechen. Dargestellt ist jeweils ein Schnitt ent­ lang der Diagonale A-B von Fig. 3.

Fig. 7 zeigt die Anordnung verschiedener Verbünde in einer Matrize und

Fig. 8 zeigt einen mit elektrischen Anschlüssen versehenen fertigen Piezoaktor.

1. Herstellung eines Piezoaktors

Die möglichst homogen gemischten Ausgangsmaterialien können nach bekannten Verfahren hergestellt werden und beispielswei­ se nach dem Mixed-Oxide-Verfahren oder auf chemischen Routen dargestellt werden, beispielsweise nach dem Sol-Gel- Verfahren, dem Citrat-Verfahren, dem Oxalat-Verfahren oder über sonstige metallorganische Vorläuferverbindungen. Während für das Mixed-Oxide-Verfahren sämtliche für die Keramik vor­ gesehenen Kationen in Form ihrer Oxide miteinander vermischt und anschließend in PZT überführt werden, gehen andere Her­ stellungsverfahren von gemischten Lösungen metallorganischer Verbindungen der gewünschten Kationen aus. Durch Fällung aus Lösung oder durch allmähliches Eindicken im sogenannten Sol- Gel-Verfahren wird eine äußerst homogene Verteilung der Ka­ tionen im späteren Feststoff erzielt. Es wird beispielsweise eine Keramikpulver der nominalen Zusammensetzung Pb_0,97Nd_0,02(Zr_0,54Ti_0,46)O₃ erhalten.

Nach der Calzinierung wird erneut gemahlen und homogenisiert. Anschließend wird mit einem organischen Binder und Wasser vermischt und so ein Schlicker hergestellt. Damit werden an­ schließend Grünfolien gezogen oder gegossen, die nach dem Trocknen eine Dicke von zum Beispiel 20 bis 200 µm aufweisen.

Nach Trocknen der Grünfolien werden diese mit Elektrodenmate­ rial versehen, beispielsweise mit einer Paste bedruckt, die Partikel einer Silber/Palladium-Legierung (70/30 Massever­ hältnis) in einem Binder bei insgesamt druckbarer Konsistenz enthält. Möglich ist es jedoch auch, Pasten mit Partikeln an­ derer leitfähiger Metalle wie z. B. Platin zu verwenden.

Auf der Grundfläche einer Grünfolie können dabei Elektroden­ strukturen für mehrere Piezoelemente in einem Schritt aufge­ druckt werden. Vorzugsweise wird dabei zur späteren Kontak­ tierung für jedes einzelne Piezoelement zumindest eine Aus­ sparung in der Elektrodenstruktur vorgesehen.

Fig. 1 zeigt eine mit Elektrodenmaterial bedruckte Grünfolie in der Draufsicht. Das Bedrucken erfolgt gemäß einem Muster, welches bedruckte Bereiche 1 und unbedruckte freigebliebene Bereiche 2 umfaßt. Die Schnittlinien SL deuten dabei die spä­ tere Aufteilung der großflächigen Grünfolien in kleinere Ver­ bünde mit der gewünschten Aktorfläche an. In der Figur ist eine Grünfolie mit einem Raster von 3 × 3 kleineren Verbünden dargestellt. Entsprechend der gewünschten Grundfläche für den späteren Piezoaktor ist auch ein beliebiges anderes Raster und/oder ein anderes Elektrodenmuster 1, 2 denkbar. Das durch die Schnittlinien in der Fig. 1 angedeutete quadratische Ra­ ster hat beispielsweise eine Kantenlänge von 14 mm.

Für die Elektrodenschicht wird einseitig soviel Elektrodenma­ terial aufgedruckt, daß sich nach der Sinterung eine ca. 2 bis 3 µm dicke zusammenhängende Elektrodenschicht ergibt.

Fig. 2 Die mit Elektrodenmaterial bedruckten Piezokeramik- Grünfolien S1, S2, S3 . . . werden gegebenenfalls getrocknet und anschließend übereinander gestapelt, wobei sich eine al­ ternierende Anordnung von Piezokeramikschichten 3 und Elek­ trodenschichten 5 ergibt. Bei den Elektrodenschichten wird ebenfalls alternierend so gestapelt, daß über jeder der ge­ nannten Aussparungen 4, die den unbedruckten Bereichen 2 von Fig. 1 entsprechen, in einer ersten Elektrodenschicht eine mit Elektrodenmaterial bedruckte Fläche 1 in der nächsten be­ nachbarten Elektrodenschicht angeordnet ist. Dies wird bei einem wie in Fig. 1 dargestellten Elektrodenmuster durch ei­ ne 180° Drehung der Folie um eine senkrecht zur Folie stehen­ de Achse erreicht. In der Fig. 2 ist die alternierende An­ ordnung der mit Elektrodenmaterial 5 bedruckten Grünfolien 3 im Stapel schematisch angedeutet. Durch die alternierende An­ ordnung ist jede zweite Schicht deckungsgleich bezüglich ih­ res Elektrodenmusters. In den dazwischenliegenden ebenfalls zueinander deckungsgleichen Schichten sind die Ausnehmungen 4 versetzt.

Auf diese Weise werden Stapel aus so vielen übereinanderge­ legten Einzelschichten gebildet, daß eine Gesamthöhe von ty­ pisch 2 bis 3 mm nicht überschritten wird. Bei einer Grünfo­ liendicke von beispielsweise 100 µm entspricht dies etwa 30 Einzelschichten.

Auf die lose gestapelten Einzelschichten wird nun ein Stempel aufgesetzt, mit dem der Stapel unter einem einachsigen Druck von ca. 100 MPa quasi-isostatisch verdichtet wird. Bereits bei Raumtemperatur, bevorzugt aber unter leicht erhöhter Tem­ peratur und unter atmosphärischen Bedingungen führt die Fließfähigkeit des Binders zu einer Erhöhung der Keramikdich­ te von 48 auf 60 Prozent der theoretischen Keramikdichte. Da­ bei erfolgt ein interner Druck- und Volumenausgleich, wobei beispielsweise die Ausnehmungen 4 im Elektrodenmuster voll­ ständig von Keramikmaterial ausgefüllt werden. Auf diese Wei­ se gleichen sich während des Laminierens auch Dichte- und Druckgradienten innerhalb des Stapels bzw. des fertigen Ver­ bunds aus.

Fig. 3 zeigt einen so hergestellten Verbund in perspektivi­ scher Darstellung. Die ursprünglichen Ausnehmungen 4 sind nun vollständig mit Keramikmaterial 3 ausgefüllt. Der feste Ver­ bund aus den laminierten Einzelschichten weist noch ausrei­ chend Plastizität auf, so daß er nun in diesem Stadium gemäß dem durch die Schnittlinien vorgegebenen Raster in die ent­ sprechenden Anzahl kleinerer Verbünde mit der gewünschten Grundfläche zerteilt werden kann. Dies kann durch Schneiden oder Stanzen in einem hochautomatisierten Prozeß erfolgen. Anhand von (nicht dargestellten) zusätzlich aufgedruckten Schnittmarken kann die Vereinzelung des Verbundes durch ein Videoverfahren beobachtet und mit einem Rechner überwacht werden.

Im nächsten Schritt werden die so vereinzelten laminierten Stapel (Verbünde) vom Binder befreit. Dies erfolgt in einem thermischen Schritt, wobei eine langsam bis auf ca. 500°C steigende Temperatur und ein parallel dazu ansteigender Sau­ erstoffpartialdruck gewährleisten, daß der organische Binder ausdiffundiert und sich nicht schlagartig zersetzt und dabei die keramische Struktur zerstört. Die Bedingungen werden also so eingestellt, daß erst in einem späteren Abschnitt des Ver­ fahrens eine Oxidation des Binders bzw. dessen durch thermi­ sche Zersetzungen entstandener Fragmente erfolgt. Die geringe Stapelhöhe der Verbünde von beispielsweise 3 mm gewährleistet dabei kurze Diffusionswege für die Zersetzungs- und/oder Oxi­ dationsprodukte des Binders. Im Ausführungsbeispiel ist die Entbinderung bei bis 500°C ansteigender Temperatur in einer maximal 8 Volumen-Prozent Sauerstoff enthaltenden Atmosphäre innerhalb von 24 Stunden abgeschlossen. Bei der Entbinderung werden keine Dimensionsänderungen und daher kein Verziehen im Stapel beobachtet. Die vertikale Strukturgenauigkeit im Ver­ bund bleibt so erhalten.

Der erfindungsgemäße Piezoaktor kann aus mehreren unter­ schiedlichen Verbünden aufgebaut werden. Im einfachsten Fall (siehe dazu auch die Fig. 4 bis 6) besteht der Piezoaktor aus zumindest einem Mittelteil MT, der die bereits beschrie­ bene, regelmäßige, alternierende Elektrodenstruktur aufweist. Am oberen Ende des Stapels wird ein Kopfteil KT vorgesehen. Dieses umfaßt eine Kopfplatte 6, die entweder keine aktive, das heißt elektrisch angeschlossene Elektrodenschicht oder gar keine Elektrodenschicht enthält. Eine allein aus Keramik­ folien aufgebaute Kopfplatte 6 kann zur besseren Kraftüber­ tragung des Piezoaktors dienen. Einen entsprechenden Aufbau besitzt auch das Fußteil FT, dessen Fußplatte 7 wie die Kopf­ platte 6 des Kopfteils KT aufgebaut sein kann.

Zur Minimierung des Materialeinsatzes ist es dabei möglich, das Muster für die aufgedruckten Elektrodenschichten zu vari­ ieren und einen kompletten Piezoaktor einschließlich Kopf- und Fußteil und einer entsprechenden Anzahl von Mittelteilen aus einem einzigen laminierten Stapel herzustellen. Die An­ zahl der gleich oder unterschiedlich aufgebauten Mittelteile richtet sich dabei nach der Höhe der gewünschten Auslenkung des fertigen Piezoaktors, die wiederum Höhe des Piezoaktors bestimmt.

Fig. 7 zeigt, wie die entbinderten Kopf-, Mittel- und Fuß­ teile in einer passgenauen Matrize 9 bis zur gewünschten Höhe gestapelt und mit einem Stempel 10 beschwert werden. Die Sin­ terung erfolgt dann unter leichtem Druck von 10 bis 100 kPa in einer oxidierenden Atmosphäre. Die beispielsweise runde Preßmatrize entspricht in ihrem Durchmesser dem Stanzmaß der übereinander gestapelten Verbünde. Matrize und Stempel sind vorzugsweise wiederverwendbar und bestehen aus Materialien, die während der Sinterung mit der Keramik keine Reaktionen eingehen. Gut geeignet sind beispielsweise Matrizen aus Alu­ minium- oder Magnesiumoxid. Der Druck kann in einfacher Weise mit einem auf den Stempel aufgelegten Zusatzgewicht erzeugt werden. Auch für das Material dieses Zusatzgewichtes gilt, daß es bei 1130°C in oxidierender Atmosphäre stabil ist und seinerseits die Sinteratmosphäre nicht schädlich beeinflußt.

Auch zur Sinterung wird wieder ein Temperaturprogramm bis zum Erreichen der maximalen Sintertemperatur gefahren. Dies kann in einem einzelnen Ofen mit Temperaturkontrolle oder in einem Durchlaufofen mit entsprechend unterschiedlich temperierten Zonen erfolgen. Im Ausführungsbeispiel ist die Sinterung nach ca. 24 Stunden bei 1130°C abgeschlossen.

Im Ergebnis wird ein monolithischer Piezoaktor erhalten, der eine optimal ausgeprägte Keramikstruktur, aufgrund der hohen Sintertemperatur gute piezoelektrische Eigenschaften und eine hohe Verbundfestigkeit zwischen den Keramik- und den Elektro­ denschichten aufweist. Dementsprechend besitzt der monolithi­ sche Piezoaktor auch eine hohe Steifigkeit, mit der die Über­ tragung hoher Kräfte möglich ist.

Fig. 8 zeigt einen fertigen Piezoaktor, der zur elektrischen Kontaktierung an einander gegenüberliegenden Ecken streifen­ förmig mit Elektrodenmaterial kontaktiert ist. Aufgrund der von Einzelschicht zu Einzelschicht alternierenden Elektroden­ struktur erreicht ein solcher Kontakt 13 nur jeweils jede zweite Elektrodenschicht, während der an der gegenüberliegen­ den Kante befestigte Kontakt 14 die jeweils dazwischenliegen­ den Elektrodenschichten kontaktiert. So ist eine elektrisch parallele Verschaltung der (zwischen den Elektrodenschichten liegenden) piezoelektrischen Schichten möglich, die einen op­ timalen Betrieb des Piezoaktors ermöglichen.

Das aus dem Verhältnis Höhe h zur Kantenlänge b ermittelte Aspektverhältnis kann beim erfindungsgemäßen Piezoaktor einen Wert bis ca. 5 annehmen. Prinzipiell lassen sich auch noch höhere und schlankere Piezoaktoren herstellen, doch ist dies mit einer erhöhten Ausfallrate beim Sintern verbunden. Die Matrize ist von ihren Innenabmessungen an das Stanzmaß bzw. das Maß der entbinderten Verbünde angepaßt. Da jedoch beim Sintern ein linearer Schwund in allen drei Raumachsen von ca. 15 Prozent beobachtet wird, kann die Matrize den Stapel beim Sintern nur anfänglich stützen. Im weiteren Fortschritt des Sinterverfahrens kann es daher bei zu hohen bzw. zu schlanken Piezoaktoren zu einem Abknicken des Stapels kommen.

Besonders vorteilhaft ist beim erfindungsgemäßen Piezoaktor zu erwähnen, daß die vertikale Strukturgenauigkeit der Elek­ troden im Bereich der Kontaktkanten unabhängig vom Aspektver­ hältnis ist. Aufgrund von Toleranzen und geringfügigen Abwei­ chungen beim Stanzen und Stapeln können bei zwei aufeinander­ folgenden Mittelteilen zwar geringe und für das Verfahren charakteristische Versetzungen der Elektrodenstrukturen auf­ treten, die jedoch für die Sicherheit der Kontaktierung ohne Belang sind.

Claims (9)

1. Verfahren zur Herstellung eines Piezoaktors in monolithischer Vielschichtbauweise,

• - bei dem einen Binder enthaltende Piezokeramikgrünfolien (5) einer Dicke von 20 bis 200 µm einseitig mit Schichten aus Elektrodenmaterial (3) bedruckt werden
• - bei dem die bedruckten Piezokeramikgrünfolien zu ersten Stapeln von maximal 3 mm Höhe lose so übereinander geschichtet werden, daß sich im Stapel eine alternierende Reihenfolge von Piezokeramikgrünfolien und Elektroden­ material ergibt
• - bei dem die ersten Stapel unter einachsigem Verpressen zu einem ersten Verbund laminiert werden
• - bei dem der erste Verbund bei erhöhter Temperatur vom Binder befreit wird
• - bei dem mehrere dieser entbinderten Verbünde (FT, MT, KT) zu einer Gesamthöhe von mehr als 5 mm übereinander gestapelt und unter einachsigem Druck gesintert werden, wobei ein Piezoaktor mit der gewünschten Anzahl an Einzelschichten erhalten wird.

2. Verfahren nach Anspruch 1,

• - bei dem Piezokeramikgrünfolien mit einem n-fachen der gewünschten Grundfläche vorgesehen und bedruckt werden und
• - bei dem der laminierte erste Verbund vor dem Entbindern durch Schneiden oder Stanzen in n Verbünde der gewünschten Grundfläche zerteilt wird.

3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, bei dem das Übereinanderstapeln und Sintern unter Druck in einer Matrize (9) erfolgt.

4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, bei dem die Piezokeramikgrünfolien PZT umfassen und bei dem das Sintern in einer oxidierenden Atmosphäre erfolgt.

5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, bei dem das Sintern unter konstantem Druck von 10 bis 100 kPa erfolgt.

6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, bei dem der Piezoaktor aus unterschiedlichen Verbünden aufgebaut wird, die zumindest ein Kopf- (KT), ein Mittel- (MT) und ein Fußteil (FT) umfassen.

7. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, bei dem der Piezoaktor aus mehreren Verbünden mit in sich einheitlicher, aber von Verbund zu Verbund unterschiedlicher Elektrodenstruktur aufgebaut wird.

8. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7,

• - bei dem auf die Grünfolien Elektrodenschichten aus einer Silber- und Palladium-haltigen Paste aufgebracht werden
• - bei dem die Sinterung bei einer maximalen Temperatur von 1130°C in oxidierender Atmosphäre durchgeführt wird.

9. Piezoaktor, hergestellt nach einem Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 8, in monolithischer Vielschichtbauweise,

• - umfassend einen Stapel von zusammen (gemeinsam) gesinterten, alternierend angeordneten Piezokeramik- (5) und Elektrodenmaterialschichten (3)
• - mit einer Gesamthöhe (h) von mehr als 5 mm
• - mit einem Aspektverhältnis Höhe zu Durchmesser (bzw. Kantenlänge) des Stapels von mehr als 2 und
• - mit mehreren über die Stapelhöhe unterschiedlichen Bereichen, innerhalb derer Piezokeramik- und Elektrodenmaterialschichten jeweils gleiche Stapelstruktur aufweisen, wobei die Bereiche gegeneinander versetzt sind.