DE19612225A1 - Einsatz von Niederdruck-Plasmen zur Erzeugung elektrisch leitfähiger, textiler Fäden - Google Patents

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Gewebe oder Gewirke, bestehend aus mehreren, miteinander verwobenen oder gewirkten Fäden, insbesondere zur Anwendung im medizinischen oder Reinraumbereich, wobei einzelne leitfähige Fäden in einem Wiederholungsmuster im Gewebe bzw. im Gewirke vorhanden sind, sowie einen Faden zur Anwendung in einem solchen Gewebe oder Gewirke.

Im medizinischen und Reinraumbereich sind seit langem Gewebe oder Gewirke im Einsatz, welche eingewobene, leitfähige Fäden aufweisen, die beispielsweise in einem Gewebe in einem gitterartigen Wiederholungsmuster eingewoben sind. Sinn dieser leitfähigen Fäden ist es, eine elektrische Aufladung zu vermeiden, so daß Flusen und Staub aufgrund von elektrostatischer Aufladung nicht vom Gewebe angezogen werden. Dies ist deshalb höchst unerwünscht, weil Flusen und Staub im medizinischen Bereich Keime tragen können, die bei chirurgischen Eingriffen an den Patienten übertragen werden und zu unerwünschten Infektionen führen können. Im Reinraumbereich, beispielsweise bei der Herstellung von Halb­ leitern, ist eine Kontamination mit Flusen und Staub un­ erwünscht, weil dies zur Kontamination der Halbleiter, zu Fehlstellungen im Kristallgitter und zu hohem Ausschuß führt.

Die elektrostatische Aufladung von Geweben und Gewirken stellt aber nicht nur im medizinischen Bereich oder in Reinraumbereichen, sondern im allgemeinen ein Problem dar. Einerseits führt die elektrostatische Aufladung von Bekleidungsstücken oder Textilien zu kleineren elektrischen Schlägen, was den Tragekomfort beeinträchtigt. Andererseits können beispielsweise empfindliche Meßinstrumente durch unerwünschte elektrische Aufladungen gestört oder gar zerstört werden. Es gibt außerdem eine Reihe von explosionsgefährdeten Bereichen, wo elektrische Aufladungen vermieden werden sollen, da solche Aufladungen von Personen, die den jeweiligen explosionsgefährdeten Bereich betreten, eben zu Explosionen führen können. D.h., daß die Gewebe oder Gewirke nach der vorliegenden Anmeldung auch für den Explosionsschutz herangezogen werden können.

Bisher wurden für die leitfähigen Fäden entweder solche aus Metall oder auf Kunststoffbasis verwendet. Solche Fäden auf Kunststoffbasis bestehen aus einer Mischung von Kohlen­ stoffilamenten und Kunststoffilamenten, d. h. im Querschnitt des Fadens sind mehrere Kohlenstoffilamente enthalten.

Die Metallfäden verhalten sich nicht wie Kunstfasern beim Weben und sind somit schwer zu handhaben. Im übrigen stellen sie eine Art Fremdkörper im Gewebe oder Gewirke dar und können die sonst erwünschten technischen Eigenschaften des Gewebes oder Gewirkes erheblich stören.

Die bisher bekannten leitfähigen Fäden auf Kunststoffbasis, die im Handel erhältlich sind, sind extrem teuer und kosten derzeit bis zu DM 1000,- pro kg. Sie sind nur in bestimmten Größen und Zusammensetzungen erhältlich, die beispielsweise für die Herstellung von dichtgewobenen Geweben, so wie man sie für Stoffe benötigt, die als bakterielle Barriere dienen sollen, ungeeignet sind. Auch diese leitfähigen Fäden stellen im Prinzip Fremdkörper im Gewebe oder Gewirke dar, da sie nicht die gleiche Abmessung, Zusammensetzung und Aufbau aufweisen wie die sonst verwendeten Fäden.

Die Verwendung von leitfähigen Fäden - egal, ob sie aus Metall oder aus Kunststoffasern mit Kohlenstoffilamenten im Fadenquerschnitt bestehen - ist somit mit erheblichen Nachteilen verbunden.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Gewebe oder Gewirke oder einen Faden zur Anwendung in einem Gewebe oder Gewirke der eingangs genannten Art vorzuschlagen, das bzw. der die erforderliche Leitfähigkeit aufweist, preisgünstig herzustellen ist, und zwar ohne die erwünschte Struktur des Gewebes oder Gewirkes zu stören.

Zur Lösung dieser Aufgabe ist erfindungsgemäß vorgesehen, daß die leitfähigen Fäden in ihrer Art, Abmessungen und Zusammensetzung zumindest im wesentlichen identisch mit den anderen Fäden des Gewebes bzw. Gewirkes sind und daher die gleichen mechanischen Eigenschaften aufweisen, jedoch auf ihrer Oberfläche bzw. auf der Oberfläche der einzelnen, jeweils zu einem Faden zusammengedrehten Filamente eine leitfähige, mittels Plasmabeschichtung aufgebrachte Schicht aufweisen, welche eine Schichtdicke von 1 Atom bis einige hundert Atome aufweist und zumindest quasi kontinuierlich ist.

Der Faden zur Anwendung in einem solchen Gewebe oder Gewirke zeichnet sich dadurch aus, daß der leitfähige Faden aus mehreren zusammengedrehten Monofilamenten besteht oder als aus aus Monofilamenten erzeugten Stapelfasern, gegebenen­ falls mit einem Anteil von Naturfasern, gesponnenes Garn vor­ liegt, wobei entweder der Faden als solcher plasmabeschich­ tet ist oder die zur Herstellung des Fadens verwendeten Mono­ filamente plasmabeschichtet sind.

Auf diese Weise wird eine kontinuierlich hochwertige Leit­ fähigkeit erreicht, die durchaus ausreicht, um elektrostati­ sche Ladungen abzubauen.

Besonders bevorzugte Ausführungsvarianten lassen sich den Unteransprüchen entnehmen.

Durch die Anwendung einer Plasmabeschichtung mit einer sehr dünnen metallischen Schicht oder Kohlenstoffschicht können genau dieselben Fäden, die für die Herstellung des Gewebes oder Gewirkes verwendet werden, leitfähig gemacht werden, und zwar durch eine so dünne Oberflächenbeschichtung, daß sie trotz der Beschichtung zumindest im wesentlichen die gleichen Eigenschaften aufweisen wie die Fäden, die für die Herstellung des Gewebes oder Gewirkes als ganzes verwendet werden.

Hierdurch wirken die leitfähigen Fäden im fertigen Gewebe oder Gewirke nicht mehr als Fremdkörper, sondern sie besit­ zen die gleichen mechanischen Eigenschaften wie die anderen Fäden, so daß das Gewebe oder Gewirke auch homogene Eigenschaften aufweist. Besonders wichtig ist, daß alle Fäden des Gewebes bzw. des Gewirkes das gleiche Schrumpfverhalten aufweisen. Dies ist sehr vorteilhaft. Das Gewebe oder Gewirke weist aber nicht nur die erwünschten mechanischen Eigenschaften - ohne sich elektrostatisch aufzuladen - auf, sondern kann mit einer angenehmen Griffigkeit ausgebildet werden, wodurch beispielsweise der Tragekomfort erhöht wird. D.h. der Warengriff bzw. die Griffigkeit wird nicht durch die leitfähigen Fäden beeinträchtigt.

Besonders günstig ist, daß sich Gewebe oder Gewirke nach der vorliegenden Erfindung wiederholt reinigen oder sterilisieren lassen, ohne daß Kompromisse beim Reinigungs- bzw. Sterilisierverfahren eingegangen werden müssen. Die Lebensdauer des Gewebes bzw. Gewirkes wird daher durch die leitfähigen Fäden nicht in unerträglicher Weise reduziert.

Andererseits verhalten sich die leitfähigen Fäden beim Weben oder Wirken genauso wie die Fäden, aus denen das Gewebe oder Gewirke als Ganzes besteht, so daß das Webverfahren oder Wirkverfahren durch die leitfähigen Fäden gar nicht gestört wird.

Im medizinischen Bereich werden für manche Anwendungen Gewebe aus Fäden auf Kunststoffbasis so dicht gewoben, daß die Zwischenräume zwischen den einzelnen, die Fäden bildenden Filamenten so klein gehalten werden, daß sie als Filter wirken und Keime und Bakterien nicht mehr durchlassen. Da die leitfähigen Fäden nach der vorliegenden Erfindung genau die gleichen Eigenschaften aufweisen wie die anderen Fäden des Gewebes, ist die Undurchlässigkeit für Keime und Bakterien auch an den Stellen der leitfähigen Fäden gewährleistet. Das Gewebe kann beispielsweise so dicht gewoben werden, daß der Durchtritt von Flüssigkeiten verhindert wird, wobei diese Eigenschaft auch durch eine hydroplastische Ausrüstung des Gewebes verstärkt werden kann. Der Durchtritt von Flüssigkeiten ist deshalb unerwünscht, weil Bakterien oder Keime mit der Flüssigkeit leichter durch das Gewebe hindurchgelangen könnten.

Trotz der Undurchlässigkeit für Keime und Bakterien sind solche Gewebe oder Gewirke durchaus noch als atmungsaktiv zu bezeichnen, da sie für Wasserdämpfe und Luft durchlässig sind. Diese Durchlässigkeit wird durch die leitfähigen Fäden nach der vorliegenden Erfindung nicht gestört.

Die Gewebe oder Gewirke, die für die vorliegende Erfindung zur Anwendung im medizinischen Bereich oder im Reinraum­ bereich in Frage kommen, werden ausschließlich aus Kunst­ fasern hergestellt, und zwar deshalb, weil Gewebe oder Gewirke aus Naturfasern eine ausgeprägte Neigung zu Flusen- und Staubbildung aufweisen, welche mit der vorgesehenen Anwendung des Gewebes oder Gewirkes im medizinischen oder Reinraumbereich nicht vereinbar ist.

Zu diesem Zweck bestehen die Fäden bevorzugt aus mehreren zusammengedrehten feinen Monofilamenten, oder es werden aus Monofilamenten hergestellte Stapelfasern, die beispielsweise entweder durch Schneiden oder durch Reißverstrecken erzeugt werden, benutzt, welche dann in einem Spinnverfahren zu einem gesponnenen Garn, auch Faden genannt, gesponnen werden. Solche Fäden können auch zum Teil Fasern natürlichen Ursprungs, beispielsweise aus Baumwolle enthalten.

Mittels der Erfindung kann entweder der Faden als solcher plasmabeschichtet werden, oder es können die Monofilamente vor der Bildung des Fadens plasmabeschichtet werden, was aber aufwendiger ist.

Zur Anwendung kommen vorzugsweise Niederdruck-Plasmen, die seit geraumer Zeit zur Veränderung von Metalloberflächen eingesetzt werden. Es sind schon Versuche bekannt geworden, bei denen Textilbänder oder Folien mit Plasmen behandelt worden sind, z. B. zum Entfernen von Verunreinigungen (Entschlichten) oder zur Verbesserung der Benetz- und Bedruckbarkeit von Textilbändern und Folien, oder beispielsweise zur Durchführung von Pfropf-Polymerisation.

Die vorliegende Anmelderin hat auch versucht, fertige Gewebe zu beschichten, um diese leitfähig zu gestalten. Es hat sich aber herausgestellt, daß dies einerseits relativ teuer ist, da große Mengen an Gewebe durch die Plasmaanlage bewegt wer­ den müssen. Andererseits ist die Beschichtung von Webbahnen nicht zufriedenstellend, weil an den Grenzen, wo Fäden über- und untereinander liegen, Diskontinuitäten vorkommen, die die Leitfähigkeit erheblich stören. Auch ist bei solchen Geweben die Gefahr groß, daß die Beschichtung mechanisch beschädigt wird, und zwar sowohl beispielsweise beim Weben oder während der Reinigung.

Ein textiles Flächengebilde, d. h. ein Gewebe oder Gewirke, stellt durch die jeweilige Konfiguration der Fasern eine sehr heterogene Oberfläche dar. Bei einer Plasmabeschichtung erfolgt die Ausbildung der Plasmagrenzschicht mit typischen Längenbereichen von 100 µm bis einigen mm, welche der Faserstruktur nicht folgen. Die mit einer Vorzugsrichtung auf die Oberfläche auftreffenden Ladungsträger werden im wesentlichen nur mit dem für sie "sichtbaren" Bereich wech­ selwirken, was die Erklärung dafür ist, daß die bisherigen Untersuchungen mit der metallischen Plasmabeschichtung von Gewebe oder Gewirke zu keinem zufriedenstellenden Ergebnis geführt hat.

Im Gegensatz dazu läßt sich ein Faden ggf. mehrmals durch das Plasma so führen, daß die gesamte Oberfläche behandelt, d. h. mit Metall beschichtet wird.

Ein besonderer Vorteil der Verwendung eines Endlosfadens, der über seine ganze Oberfläche beschichtet ist, liegt darin, daß die Leitfähigkeit auch dann aufrechterhalten wird, wenn an einer Stelle an der Oberfläche ein mecha­ nischer Schaden auftritt, da es unwahrscheinlich ist, daß die Beschichtung um den gesamten Umfang des Fadens herum beschädigt wird. Dies ist auch ein Teil der Erklärung dafür, daß ein Gewebe oder Gewirke nach der Erfindung häufig gereinigt oder sterilisiert werden kann, ohne daß die einhergehende mechanische Einwirkung auf das Gewebe die Leitfähigkeit des Fadens stört.

Als weitere verfahrenstechnische Vorzüge lassen sich erkennen:

• a) Fäden lassen sich leichter (z. B. über Walzen) in ein Vakuum einführen als Textilflächen, so daß der Prozeß also quasi kontinuierlich gefahren werden kann. Dabei können auch bekannte Verfahren zur Kontrolle von Faserbrüchen verwendet werden.
• b) Flächengebilde zeigen (unerwünschte) sichtbare Verän­ derungen durch die Einwirkung einer leitfähigen Sub­ stanz und sind beim Gebrauch in starkem Maße mechani­ schen Veränderungen ausgesetzt (z. B. Abrieb). Im Gegensatz dazu lassen sich einzelne leitfähige Fäden fast unsichtbar und mechanisch gestützt in das Gewebe einweben, z. B. kreuzweise. Auf diese Weise entsteht ein leitfähiges Gitter, genauso wie bei der Verwen­ dung der bisherigen leitfähigen Faden, jedoch mit den erheblichen Vorteilen, daß das Weben leichter vonstat­ ten geht, daß die Eigenschaften des Gewebe oder Gewir­ ke nicht durch die leitfähigen Fäden gestört werden, und daß eine preisgünstige Herstellung möglich ist.
• c) Die Anlage kann relativ klein dimensioniert werden, wobei Inhomogenitäten im Plasma keine entscheidende Rolle spielen.

Gegenüber bisher verwendeten leitfähigen Fäden, bei denen ein oder mehrere Segmente des Faserquerschnittes durch eine leitfähige Substanz (meistens Kohlenstoff) gefüllt sind, lassen sich durch die nur sehr dünne Oberflächenschicht die übrigen Eigenschaften praktisch völlig erhalten. Die Faser stimmt auch in ihrer Dimension mit den anderen verwebten Fasern überein und zeigt z. B. dasselbe Schrumpfverhalten.

Da nur sehr geringe Materialmengen benötigt werden, lassen sich bei der Plasmabehandlung sehr hochwertige Substanzen, wie z. B. Gold, verwenden.

Die Erfindung wird nachfolgend näher erläutert anhand von Ausführungsbeispielen unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen, welche zeigen:

Fig. 1 eine erste Anlage zur Herstellung eines plasmabeschichteten Fadens,

Fig. 2 eine alternative Vorrichtung zur Herstellung eines plasmabeschichteten Fadens,

Fig. 3 eine elektronenmikroskopische Aufnahme eines plasmabeschichteten Fadens,

Fig. 4 eine elektronenmikroskopische Aufnahme eines Teiles einer plasmabeschichteten Oberfläche eines Monofila­ mentes, und

Fig. 5 eine schematische Darstellung eines erfindungsgemäßen Gewebes.

Fig. 1 zeigt mit 10 eine Kammer, welche zur Anbringung eines dünnen metallischen Überzugs auf einen Faden 12 mittels Plasmabeschichtung dient. Der Faden 12 ist ein zusammengedrehter Faden aus Monofilamenten aus Kunststoff und auf eine Vorratsrolle 14 aufgewickelt. Der Faden führt von der Vorratsrolle 14 zu einer Aufwickelrolle 16, welche in Pfeilrichtung 18 durch einen geeigneten Motor angetrieben wird. Aufgrund dieser Aufwickelbewegung bewegt sich der Faden entsprechend dem Pfeil 20 durch die Kammer und wird somit entsprechend der Pfeilrichtung 22 von der Vorratsrolle 14 abgewickelt. Innerhalb der Vorratsrolle 14 befindet sich eine Einrichtung 24, welche dafür sorgt, daß die Faden­ spannung konstant bleibt. Der Motor für die Aufwickelrolle 16 wird so angetrieben, daß die lineare Geschwindigkeit des Fadens 12 in Pfeilrichtung 20 konstant bleibt. Im Gegensatz zu der gezeigten Anordnung kann der Faden gegebenenfalls um mehrere Ablenkrollen beispielsweise schlangenartig durch die Kammer zwischen der Vorratsrolle und der Aufwickelrolle geführt werden, wenn es erwünscht ist, die Verweilzeit des Fadens in der Kammer bei hoher Aufwickelgeschwindigkeit zu erhöhen. Die Umlenkrollen liegen dann vorzugsweise außerhalb des Plasmabereiches.

Der Faden 12 bewegt sich zwischen einer Masseelektrode 24 und einer Hochfrequenzelektrode 26. Auf der HF-Elektrode 26 und der Masseelektrode 24 befinden sich jeweils Goldplatten 28 bzw. 30.

Im Betrieb wird über den Stutzen 32 ein Unterdruck von 0,9 bar in der Kammer 10 erzeugt, d. h. es herrscht in der Kammer ein absoluter Druck von 0,1 bar. Durch Aufbringen einer hochfrequenten Wechselspannung von etwa 300 V Amplitude auf die HF-Elektrode 26 wird im Plasma ein Bereich zwischen der Goldelektrode 28 und der Goldelektrode 30 erzeugt, und es befindet sich in dem Bereich zwischen den beiden Elektroden ein Plasma mit ionisierten Goldionen, die sich auf dem durch­ laufenden Faden 12 ablagern und diesen somit beschichten.

Der Faden 12 kann beispielsweise aus Polyester, Polyamid oder Aramid bestehen und ist auch im Mikrofaserbereich an­ wendbar. Der typische Faden 12 besteht aus 50 bis 300 Mono­ filamenten, die jeweils im Bereich zwischen 0,5 und 1,5 dtex liegen (1 tex = g/1000 m).

Die Ausführungsform gemäß Fig. 2 ist der Ausführungsform gemäß Fig. 1 sehr ähnlich, weshalb gleiche Teile mit gleichen Bezugszeichen bezeichnet werden. Da die jeweilige Funktion von Teilen der Fig. 2, welche die gleichen Bezugs­ zeichen aufweisen wie die entsprechenden Teile der Fig. 1, gleich ist, werden diese Teile nicht wiederholt beschrieben.

Abweichend von der Ausführungsform gemäß Fig. 1 werden jedoch die Vorratsrolle 14 und die Aufwickelrolle 16 außer­ halb der Vakuumkammer 10 angeordnet, wobei der Faden 12 durch zwei Führungen, nämlich durch eine Eingangsführung 34 und eine Ausgangsführung 36, geführt wird. Diese Führungen 34, 36 sind an ihren Enden leicht trompetenartig geformt, damit keine scharfen Kanten vorliegen, die den Faden bzw. den beschichteten Faden beschädigen könnten. Im übrigen lassen diese trompetenartigen Führungen eine gewisse Schräg­ stellung des Fadens in bezug auf die Führungen zu, wobei die Schrägstellung des Fadens an der Eingangsführung 34 und an der Ausgangsführung 36 sich während des Abwickelbetriebes bzw. des Aufwickelbetriebes ändert.

Dadurch, daß die Öffnungen der Führungen 34 und 36 klein gehalten werden und zumindest im wesentlichen die gleiche Querschnittsabmessung wie der Faden 12 aufweisen, läßt sich der Unterdruck in der Vakuumkammer 10 ohne weiteres aufrecht­ erhalten. Wenn es als störend empfunden wird, daß geringe Mengen an Umgebungsluft durch die Führungen 34 und 36 in die Vakuumkammer hineinströmen, dann können angrenzend an die zwei Seitenwände der Kammer jeweilige, einen gewissen Über­ druck aufweisende Schleusenkammern angeordnet werden, die mit Inertgas mit einem leichten Überdruck beaufschlagt werden. Solche Kammern sind in Fig. 2 gestrichelt mit 38, 40 gezeigt. Auf diese Weise bestehen die Leckageströme, welche durch die Führungen hindurch in die Kammer 10 gelangen, ausschließlich aus Inertgas.

Fig. 3 zeigt einen Teilquerschnitt durch einen Faden, der mittels einer Vorrichtung gemäß Fig. 2 zur Ausbildung eines metallischen Überzuges 42 auf jedem Filament des Fadens mit Plasma behandelt wurde. Man sieht, daß die einzelnen Fila­ mente Querschnittsabmessungen zwischen 4 und 6 µm aufweisen, und daß der metallische Überzug 42 aus Gold sehr dünn ist.

In der Tat ist dieser Überzug nur wenige Atome dick. Dies geht noch besser aus der vergrößerten Abbildung der Fig. 4 hervor.

Schließlich zeigt Fig. 5 auf schematische Weise, wie die durch Plasmabeschichtung mit Gold leitfähig gemachten Fäden 42 in einem Kreuzmuster mit Kettfäden 44 und Schußfäden 46 verwoben sind.

Die Darstellung gemäß Fig. 5 ist rein schematisch zu ver­ stehen. Die leitfähigen Fäden 42, welche sowohl als Kettfä­ den wie auch als Schußfäden verwendet werden, würden in der Praxis eingewobene Kreuzmuster bilden, wo die jeweiligen Fel­ der eine Seitenlänge von etwa 5 cm aufweisen. Demzufolge sind Hunderte von Kettfäden 44 und Schußfäden 46 zwischen benachbarten leitfähigen Kett- und Schußfäden 42 vorgesehen.

Im übrigen wird üblicherweise zur Ausbildung eines Gewebes, das bakteriendicht ist, das Webverfahren so durchgeführt, daß alle Schuß- und Kettfäden dicht aneinander liegen und zusammengedrückt werden, so daß die Zwischenräume zwischen den einzelnen Kett- und Schußfäden und zwischen den einzel­ nen Filamenten der Kett- und Schußfäden so klein sind, daß das Gewebe ein wirksames Filter für Bakterien bildet. Wesentlich beim Gewebe der Fig. 5 ist aber, daß die leit­ fähigen Fäden 42 die gleiche Art, Abmessungen und Zusammen­ setzung wie die anderen Kett- und Schußfäden 44 und 46 auf­ weisen und sich von diesen nur dadurch unterscheiden, daß sie durch die erfindungsgemäße Plasmabeschichtung mit einer dünnen Beschichtung aus Gold leitfähig gemacht worden sind.

Als die plasmaerzeugende Einrichtung kann jeder bekannte Plasmaerzeuger verwendet werden, der eine ausreichende Plasmabeschichtung auf den Faden bei einer für den Faden erträglichen Temperatur aufbringt.

Claims (9)

1. Gewebe oder Gewirke, bestehend aus mehreren, miteinander verwobenen oder gewirkten Fäden, insbesondere zur Anwen­ dung im medizinischen oder Reinraumbereich, wobei einzel­ ne leitfähige Fäden in einem Wiederholungsmuster im Gewebe bzw. im Gewirke vorhanden sind, dadurch gekennzeichnet, daß die leitfähigen Fäden in ihrer Art, Abmessungen und Zusammensetzung zumindest im wesentlichen identisch mit den anderen Fäden des Gewebes bzw. Gewirkes sind und daher die gleichen mechanischen Eigenschaften aufweisen, jedoch auf ihrer Oberfläche bzw. auf der Oberfläche der einzelnen, jeweils zu einem Faden zusammengedrehten Fila­ mente eine leitfähige, mittels Plasmabeschichtung aufgebrachte Schicht aufweisen, welche eine Schichtdicke von 1 Atom bis einige hundert Atome aufweist und zumindest quasi kontinuierlich ist.

2. Gewebe oder Gewirke nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der leitfähige Faden aus mehreren zusammengedrehten Mono­ filamenten besteht oder als aus aus Monofilamenten erzeugten Stapelfasern gesponnenes Garn vorliegt, wobei entweder der Faden als solcher plasmabeschichtet ist oder die zur Herstellung des Fadens verwendeten Monofilamente plasmabeschichtet sind.

3. Gewebe oder Gewirke nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die leitfähige Schicht eine Kohlenstoffschicht oder eine metallische Schicht ist.

4. Faden zur Anwendung in einem Gewebe oder Gewirke nach Anspruch 1, 2, oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß der leitfähige Faden aus mehreren zusammengedrehten Mono­ filamenten besteht oder als aus aus Monofilamenten erzeugten Stapelfasern, gegebenenfalls mit einem Anteil von Naturfasern, gesponnenes Garn vorliegt, wobei entweder der Faden als solcher plasmabeschichtet ist oder die zur Herstellung des Fadens verwendeten Monofilamente plasmabeschichtet sind.

5. Faden nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die leitfähige Schicht aus einem Edelmetall, beispiels­ weise Gold, besteht.

6. Faden nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die leitfähige Schicht aus einem hochleitfähigen Metall, beispielsweise aus Cu, Al, Ti, Ag, Au oder Pt oder aus einer Legierung aus diesen Elementen, gegebenenfalls mit anderen Elementen, besteht.

7. Faden nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die leitfähige Schicht aus Kohlenstoff besteht.

8. Faden nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Plasmabeschichtung mittels eines Nieder­ druck-Plasmaverfahrens aufgebracht ist.

9. Faden nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Plasmabeschichtung mittels einer kapazitiv gekop­ pelten Hochfrequenz-Entladung erfolgt, wobei der Faden bzw. die Filamente des Fadens durch ein sich zwischen einer Masseelektrode und einer HF-Elektrode ausbilden­ des, nicht isothermes Plasma hindurchgezogen wurden.