DE19607335A1

DE19607335A1 - Elektronenmikroskop

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Publication number: DE19607335A1
Application number: DE19607335A
Authority: DE
Original assignee: Ebara Corp
Current assignee: Ebara Corp
Priority date: 1995-02-28
Filing date: 1996-02-27
Publication date: 1996-08-29
Also published as: US5814814A

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Elektronenmikroskop und insbesondere ein Elektronenmikroskop zur Verwendung bei der Kontrolluntersuchung von integrierten Halbleitern auf mi krostrukturelle Feinheiten und der Beobachtung von winzigen Gegenständen, wobei das Elektronenmikroskop Abbildungen für eine Beobachtung mit erhöhter Auflösung zu erzeugen vermag.

Bisher standen Elektronenmikroskope zur Verfügung, die eine Elektronenkanone zum Aufbringen eines Elektronenstrahles auf einen zu untersuchenden Gegenstand und einen Elektromagneten, welcher als Linse zum Ablenken des Elektronenstrahles zur Er zeugung einer vergrößerten Abbildung des Gegenstandes dient, aufweisen. Derartige Elektronenmikroskope finden verbreitet Anwendung bei der Kontrolluntersuchung von Halbleitern auf ihre mikrostrukturelle Bearbeitung und bei der Beobachtung von winzigen Gegenständen. Grundsätzlich werden Elektronenmi kroskope in Raster-, Transmissions- und Emissionselektronen mikroskope eingeteilt.

Fig. 3 der beiliegenden Zeichnungen zeigt ein übliches Rasterelektronenmikroskop. Wie in der Fig. 3 dargestellt, umfaßt das übliche Rasterelektronenmikroskop eine Elektronen kanone 2, eine Kondensorlinse 3, eine Ablenkspule 4 und eine Objektivlinse 5, die alle in einer Mikroskopsäule 1 unter gebracht sind. Ein aus der Elektronenkanone 2 ausgestrahlter Elektronenstrahl wird von der Kondensorlinse 3, der Ablenk spule 4 und der Objektivlinse 5 gebündelt und auf eine Probe aufgebracht, die auf einen Probenhalter 6 aufgesetzt ist. Sekundärelektronen, die an der Stelle aus der Probe erzeugt werden, an der der Elektronenstrahl auf die Probe auftrifft, werden von einem Elektronenkollektor 7 erfaßt, wodurch eine Sekundärelektronen-Abbildung der Probe erzeugt wird.

Das in Fig. 3 gezeigte Rasterelektronenmikroskop ist von senkrechtem Aufbau, der auf eine Grundplatte 9 aufgesetzt ist. Die Auflösung der von dem Rasterelektronenmikroskop ge lieferten Abbildungen neigt dazu, aufgrund von Schwingungen, die von der Grundplatte 9 verursacht werden, und Schwingungen und Geräuschen einer Vakuumpumpe, die zum Evakuieren des In neren der Mikroskopsäule 1 angeschlossenen ist, verkleinert zu werden. Es war eine Lösung, die Mikroskopsäule 1, welche die Elektronenkanone 2, die Kondensorlinse 3, die Ablenkspule 4 und die Objektivlinse 5 enthält, auf eine schwingungsiso lierende Tragvorrichtung 8 aufzusetzen, welche eine Luftfeder oder einen schwingungsisolierenden Körper aus Gummi umfaßt.

Die auf der schwingungsisolierenden Tragvorrichtung 8 aufge setzte Mikroskopsäule 1 weist eine natürliche Frequenz auf, die von der Masse und dem Trägheitsmoment der Mikroskopsäule 1 abhängt. Da die Schwingungen der Grundplatte 9 aufgrund der natürlichen Frequenz der Mikroskopsäule 1 verstärkt werden, erzeugt das Rasterelektronenmikroskop keine Abbildungen, die eine Beobachtung mit hoher Auflösung zulassen.

Es ist demgemäß eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Elektronenmikroskop vorzusehen, welches ungeachtet von Schwingungen einer Grund- oder Aufbauplatte, auf der das Elektronenmikroskop aufgesetzt ist, Abbildungen zu erzeugen vermag, die eine Beobachtung mit hoher Auflösung zulassen.

Gemäß einem ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung wird ein Elektronenmikroskop vorgesehen, welches eine Elektronenkanone zum Ausstrahlen eines Elektronenstrahles oder Elektronen strahlenbündels, einen Probenhalter oder Objektträger, auf dem eine Probe oder ein Objekt gehaltert werden kann, eine Ab lenkspule zum Aufbringen des Elektronenstrahles aus der Elek tronenkanone auf die Probe auf dem Probenhalter, einen ersten Schwingungssensor zum Erfassen von Schwingungen der Elektro nenkanone und Erzeugen eines ersten Erfassungssignals, wel ches die erfaßten Schwingungen der Elektronenkanone dar stellt, einen zweiten Schwingungssensor zum Erfassen von Schwingungen des Probenhalters und Erzeugen eines zweiten Er fassungssignais, welches die erfaßten Schwingungen des Pro benhalters darstellt, und eine Regeleinrichtung umfaßt, die ein Differenzsignal, welches die Differenz zwischen dem er sten Erfassungssignal und dem zweiten Erfassungssignal dar stellt, einem Ablenksignal hinzuaddiert, welches der Ab lenkspule zum Bewirken einer Vorschubsteuerung des Elektro nenstrahls zugeführt wird, so daß der Elektronenstrahl die Probe auf dem Probenhalter erreicht.

Mit der vorstehend beschriebenen Anordnung wird ein Diffe renzsignal, welches die Differenz zwischen den Schwingungen der Elektronenkanone und den Schwingungen des Probenhalters darstellt, einem Ablenksignal für die Ablenkspule zum Bewir ken einer Vorschubsteuerung des Elektronenstrahles hinzuad diert, so daß der Elektronenstrahl ungeachtet der Schwingun gen der Elektronenkanone und des Probenhalters die Probe auf dem Probenhalter erreicht. Demgemäß wird synchron mit der Schwingungsbewegung des Probenhalters, wie sie von der Elek tronenkanone aus gesehen wird, der Elektronenstrahl verscho ben, d. h., es wird die Stelle verschoben, an der der aus der Elektronenkanone ausgestrahlte Elektronenstrahl auf die Probe auftrifft, so daß dadurch die Schwingungen der Elektronenka none und des Probenhalters kompensiert werden. Das Elektro nenmikroskop kann somit eine Abbildung der Probe, welche zum Beispiel ein Halbleiter oder ein winziger Gegenstand sein kann, zwecks Beobachtung mit hoher Auflösung erzeugen.

Gemäß einem zweiten Aspekt der vorliegenden Erfindung wird ein Elektronenmikroskop vorgesehen, welches eine Elektronen kanone zum Ausstrahlen eines Elektronenstrahles oder Elektro nenstrahlenbündels, einen Probenhalter oder Objektträger, auf dem eine Probe oder ein Objekt gehaltert werden kann, eine Ablenkspule zum Aufbringen des Elektronenstrahles aus der Elektronenkanone auf die Probe auf dem Probenhalter, Erfas sungsmittel zum Erfassen von Schwingungen einer Grund- oder Aufbauplatte für den Aufbau des Elektronenmikroskopes und zum Erzeugen eines dritten Erfassungssignales, welches die erfaß ten Schwingungen der Grundplatte darstellt, und eine Regel einrichtung umfaßt, die auf der Basis des dritten Erfassungs signales ein Steuersignal erzeugt, welches die Schwingungen der Elektronenkanone und des Probenhalters relativ zueinander darstellt, und die zum Bewirken einer Vorschubsteuerung des Elektronenstrahles, so daß der Elektronenstrahl die Probe auf dem Probenhalter erreicht, das Steuersignal einem Ablenksi gnal für die Ablenkspule hinzuaddiert.

Bei einem Verfahren gemäß dem zweiten Aspekt der vorliegenden Erfindung berechnet die Regeleinrichtung ein Faltungsintegral der Pulsreaktion einer Übertragungsfunktion, welche die Dif ferenz zwischen einer Übertragungsfunktion der Schwingungen zwischen der Grundplatte und der Elektronenkanone, und einer Übertragungsfunktion der Schwingungen zwischen der Grund platte und dem Probenhalter ist, und des dritten Erfassungs signals, und erzeugt das Steuersignal, welches die Schwingun gen der Elektronenkanone und des Probenhalters relativ zuein ander darstellt.

Bei einem anderen Verfahren gemäß dem zweiten Aspekt der vor liegenden Erfindung berechnet die Regeleinrichtung das Pro dukt einer Übertragungsfunktion, welche die Differenz zwi schen einer Übertragungsfunktion der Schwingungen zwischen der Grundplatte und der Elektronenkanone und einer Übertra gungsfunktion der Schwingungen zwischen der Grundplatte und dem Probenhalter ist, und des dritten Erfassungssignals, und erzeugt das Steuersignal, welches die Schwingungen der Elek tronenkanone und des Probenhalters relativ zueinander dar stellt.

Gemäß einem Verfahren des zweiten Aspektes der vorliegenden Erfindung werden die Schwingungen der Elektronenkanone und des Probenhalters relativ zueinander auf der Basis eines Fal tungsintegrals der Pulsreaktion einer Übertragungsfunktion, welche die Differenz zwischen einer Übertragungsfunktion der Schwingungen zwischen der Grundplatte und der Elektronenka none und einer Übertragungsfunktion der Schwingungen zwischen der Grundplatte und dem Probenhalter ist, und des dritten Si gnals bestimmt, welches die Schwingungen der Grundplatte dar stellt. Das aus dem Faltungsintegral erhaltene Signal, d. h. das Signal, welches die Schwingungen der Elektronenkanone und des Probenhalters relativ zueinander darstellt, wird einem Ablenksignal für die Ablenkspule hinzuaddiert, um eine Vor schubsteuerung des Elektronenstrahles zu bewirken. Demgemäß wird der aus der Elektronenkanone ausgestrahlte Elektronen strahl dazu gesteuert, ungeachtet der Schwingungen der Elek tronenkanone und des Probenhalters die Probe zu erreichen. Das Elektronenmikroskop ist somit frei von dem Schwingungen der Grundplatte.

Gemäß einem weiteren Verfahren des zweiten Aspektes der vor liegenden Erfindung werden die Schwingungen der Elektronenka none und des Probenhalters relativ zueinander auf der Basis des Produktes einer Übertragungsfunktion, welche die Diffe renz zwischen einer Übertragungsfunktion der Schwingungen zwischen der Grundplatte und der Elektronenkanone und einer Übertragungsfunktion der Schwingungen zwischen der Grund platte und dem Probenhalter ist, und des dritten Signales be stimmt, welches die Schwingungen der Grundplatte darstellt. Das aus der vorstehend angegebenen Berechnung erhaltene Si gnal, d. h. das Signal, welches die Schwingungen der Elektro nenkanone und des Probenhalters relativ zueinander darstellt, wird zum Bewirken einer Vorschubsteuerung des Elektronen strahls einem Ablenksignal für die Ablenkspule hinzuaddiert. Demgemäß wird der aus der Elektronenkanone ausgestrahlte Elektronenstrahl dazu gesteuert, ungeachtet der Schwingungen der Elektronenkanone und des Probenhalters die Probe zu er reichen. Das Elektronenmikroskop ist somit frei von den Schwingungen der Grundplatte.

Die vorstehenden und andere Aufgaben, Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden aus der nachfolgenden Be schreibung ersichtlich, wenn diese zusammen mit den beilie genden Zeichnungen in Betracht gezogen wird, welche bevor zugte Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung als Bei spiele darstellen.

Es zeigen:

Fig. 1 eine schematische Seitenansicht eines Elektronen mikroskopes gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;

Fig. 2 eine schematische Seitenansicht eines Elektronen mikroskopes gemäß einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung; und

Fig. 3 eine schematische Seitenansicht eines üblichen Rasterelektronenmikroskopes.

Wie in Fig. 1 gezeigt, umfaßt ein Elektronenmikroskop gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung eine Elektronenkanone 2, eine Kondensorlinse 3, eine Ablenkspule 4, eine Objektivlinse oder ein Objektiv 5, einen Probenhalter oder einen Objektträger 6 und einen Elektronenkollektor 7, die alle innerhalb einer Mikroskopsäule 1 untergebracht sind. Die Elektronenkanone 2 strahlt einen Elektronenstrahl oder ein Elektronenstrahlenbündel aus, welches von der Kondensor linse 3, der Ablenkspule 4 und der Objektivlinse 5 gebündelt und auf eine Probe aufgebracht wird, die auf den Probenhalter 6 aufgesetzt ist, der unterhalb der Objektivlinse 5 positio niert ist. Der Elektronenkollektor 7 ist in der Nähe des Pro benhalters 6 zum Sammeln von Sekundärelektronen positioniert, welche an der Stelle aus der Probe ausgestrahlt werden, an der der Elektronenstrahl auf die Probe auftrifft.

Ein Schwingungssensor 11 zum Erfassen von Schwingungen der Elektronenkanone 2 ist der Elektronenkanone 2 zugeordnet. Ein Schwingungssensor 12 zum Erfassen von Schwingungen des Pro benhalters 6 ist dem Probenhalter 6 zugeordnet.

Die Schwingungssensoren 11, 12 liefern jeweils Erfassungssi gnale X₁, X₂ an einen Differentialverstärker 13, der ein Dif ferenzsignal (X₁-X₂), welches die Differenz zwischen den Signalen X₁, X₂ darstellt, an eine Regeleinrichtung 14 ab gibt. Die Regeleinrichtung 14 verarbeitet das Differenzsignal (X₁-X₂) gemäß einem Regelverfahren wie einem PID (Proportional plus Integral plus Differential)-Regelverfah ren, wodurch ein Steuersignal erzeugt wird. Die Regeleinrich tung 14 gibt das Steuersignal ab, welches einem Ablenksignal für die Ablenkspule 4 hinzuaddiert wird, und es wird das re sultierende Signal auf die Ablenkspule 4 zur Einwirkung ge bracht.

Während des Betriebs werden die Schwingungen der Elektronen kanone 2 und des Probenhalters 6 jeweils von den Schwingungs sensoren 11, 12 erfaßt, welche jeweilige Erfassungssignale X₁, X₂ an den Differentialverstärker 13 liefern. Der Diffe rentialverstärker 13 erzeugt ein Differenzsignal (X₁-X₂) aus den Signalen X₁, X₂ und liefert das Differenzsignal (X₁- X₂) an die Regeleinrichtung 14. Die Regeleinrichtung 14 er zeugt ein Steuersignal aus dem Differenzsignal (X₁-X₂) und addiert dieses zu einem Ablenksignal für die Ablenkspule 4 zur Vorschubsteuerung des Elektronenstrahles. Demgemäß wird synchron mit der Schwingungsbewegung des Probenhalters 6, wie sie von der Elektronenkanone 2 aus gesehen wird, der Elektro nenstrahl verschoben, d. h. es wird die Stelle verschoben, an der der aus der Elektronenkanone 2 ausgestrahlte Elektronen strahl auf die Probe auftrifft, so daß dadurch die Schwingun gen der Elektronenkanone 2 und des Probenhalters 6 kompen siert werden. Das Elektronenmikroskop kann somit eine Abbil dung der Probe, welche zum Beispiel ein Halbleiter oder ein winziger Gegenstand sein kann, zwecks Beobachtung mit hoher Auflösung erzeugen.

Fig. 2 zeigt ein Elektronenmikroskop gemäß einer zweiten Aus führungsform der vorliegenden Erfindung.

Wie in Fig. 2 dargestellt, umfaßt das Elektronenmikroskop ge mäß der zweiten Ausführungsform eine Elektronenkanone 2, eine Kondensorlinse 3, eine Ablenkspule 4, eine Objektivlinse oder ein Objektiv 5, einen Probenhalter 6 und einen Elektronenkol lektor 7, die alle in einer Mikroskopsäule 1 untergebracht sind. Die Mikroskopsäule 1 ist über eine schwingungsisolie rende Vorrichtung 8 wie eine Luftfeder oder ein schwingungs isolierender Körper aus Gummi auf eine Grundplatte oder Auf bauplatte 9 aufgesetzt.

Der Grundplatte 9 ist ein Schwingungssensor 15 zum Erfassen von Schwingungen der Grundplatte 9 zugeordnet. Der Schwin gungssensor 15 liefert ein Erfassungssignal X_G(t) an eine Re geleinrichtung 16.

Die Regeleinrichtung 16 berechnet ein Faltungsintegral des Erfassungssignals X_G(t), welches Schwingungen der Grundplatte 9 darstellt, gemäß der folgenden Gleichung:

in der h(τ) = h₁(τ) - h₂(τ), wobei h₁(τ) die Pulsreaktion der Schwingung zwischen der Grundplatte 9 und der Elektronenka none 2 darstellt und h₂(τ) die Pulsreaktion der Schwingung zwischen der Grundplatte 9 und dem Probenhalter 6 darstellt.

Danach verarbeitet die Regeleinrichtung 16 die durch das Fal tungsintegral erhaltene Funktion y(t) gemäß einem Regelver fahren wie ein PID-Regelverfahren, wodurch ein Steuersignal z(t) erzeugt wird. Das Steuersignal z(t) wird einem Ablenksi gnal für die Ablenkspule 4 hinzuaddiert, und es wird das re sultierende Signal der Ablenkspule 4 zugeführt.

Bei der zweiten Ausführungsform werden die Schwingungen der Elektronenkanone 2 und des Probenhalters 6 relativ zueinander auf der Basis eines Faltungsintegrals der Pulsreaktion einer Übertragungsfunktion, welche die Differenz zwischen einer Übertragungsfunktion der Schwingungen zwischen der Grund platte 9 und der Elektronenkanone 2 und einer Übertragungs funktion der Schwingungen zwischen der Grundplatte 9 und dem Probenhalter 6 ist, und des Erfassungssignals bestimmt, wel ches die Schwingungen der Grundplatte darstellt.

Das aus dem Faltungsintegral erhaltene Signal wird zur Vor schubsteuerung des Elektronenstrahles einem Ablenksignal für die Ablenkspule 4 hinzuaddiert. Demgemäß wird der aus der Elektronenkanone 2 ausgestrahlte Elektronenstrahl dazu ge steuert, ungeachtet der Schwingungen der Elektronenkanone 2 und des Probenhalters 6 die Probe zu erreichen. Das Elektro nenmikroskop ist somit frei von den Schwingungen der Grund platte 9.

Als nächstes wird ein anderes Verfahren auf der Basis des Erfassungssignales des Schwingungssensors erläutert.

Das Erfassungssignal X_G(t) wird in die Regeleinrichtung 16 eingegeben. In der Regeleinrichtung 16 wird die folgende Be rechnung auf der Basis des Erfassungssignales X_G(t) durchge führt:

y(s) = G(s)·X_G(s).

Falls hier die Lösung als durch eine komplexe Zahl ausge drückt angenommen wird, sind die folgenden Gleichungen gege ben:

y(t) = y^j ^ω ^t, X_G(t) = Ae^j ^ω ^t.

Hier stellen Y und A jeweils eine komplexe Amplitude dar. Falls G(jω) verwendet wird, wobei S durch jω ersetzt wird, ist die folgende Gleichung gegeben.

y(t) = G(jω)Ae^j ^ω ^t.

Die Dauerschwingungen y(t) werden aus dem reelen Zahlenglied erhalten und durch die folgende Gleichung ausgedrückt:

y(t) = |G(jω)|Acos(ω t-Φ).

Hier ist |G(jω)| der Absolutwert der Funktion der komplexen Variablen G(jω), und Φ ist die Amplitude der Funktion der komplexen Variablen G(jω) und wird ausgedrückt durch die folgende Gleichung:

Danach verarbeitet die Regeleinrichtung 16 die aus der vor stehenden Berechnung erhaltene Funktion y(t) gemäß einem Re gelverfahren wie ein PID-Regelverfahren, wodurch ein Steuer signal z(t) erzeugt wird. Das Steuersignal z(t) wird einem Ablenksignal für die Ablenkspule 4 hinzuaddiert, und das ent stehende Signal der Ablenkspule 4 zugeführt.

Gemäß dem vorstehenden Verfahren wird die Übertragungsfunk tion erhalten, welche die Differenz zwischen einer Übertra gungsfunktion der Schwingungen zwischen der Grundplatte 9 und der Elektronenkanone 2 und einer Übertragungsfunktion der Schwingungen zwischen der Grundplatte 9 und dem Probenhalter 6 ist. Aus dem Produkt der auf diese Weise erhaltenen Über tragungsfunktion, d. h. der Frequenzübertragungsfunktion und dem Erfassungssignal des Schwingungssensors 15, werden die Schwingungen der Elektronenkanone 2 und des Probenhalters 6 relativ zueinander bestimmt. Das durch die vorstehende Be rechnung erhaltene Signal wird zur Vorschubsteuerung des Elektronenstrahles einem Ablenksignal für die Ablenkspule 4 hinzuaddiert. Demgemäß wird der von der Elektronenkanone 2 ausgestrahlte Elektronenstrahl dazu gesteuert, ungeachtet der Schwingungen der Elektronenkanone 2 und des Probenhalters 6 die Probe zu erreichen. Das Elektronenmikroskop ist somit frei von den Schwingungen der Grundplatte 9.

Obwohl bestimmte bevorzugte Ausführungsformen der vorliegen den Erfindung im Einzelnen gezeigt und beschrieben worden sind, ist es zu verstehen, daß bei diesen verschiedene Ände rungen und Modifikationen ausführbar sind, ohne vom dem Um fang der beigefügten Ansprüche abzuweichen.

Claims

1. Elektronenmikroskop mit

- einer Elektronenkanone (2) zum Ausstrahlen eines Elektro nenstrahles,
- einem Probenhalter (6), auf dem eine Probe gehaltert wer den kann,
- einer Ablenkspule (4) zum Aufbringen des Elektronenstrah les aus der Elektronenkanone (2) auf die Probe auf dem Probenhalter (6),
- einem ersten Schwingungssensor (11) zum Erfassen von Schwingungen der Elektronenkanone (2) und Erzeugen eines ersten Erfassungssignales, welches die erfaßten Schwin gungen der Elektronenkanone (2) darstellt,
- einem zweiten Schwingungssensor (12) zum Erfassen von Schwingungen des Probenhalters (6) und Erzeugen eines zweiten Erfassungssignales, welches die erfaßten Schwin gungen des Probenhalters (6) darstellt, und
- einer Regeleinrichtung (14) zum Addieren eines Differenz signales, welches die Differenz zwischen dem ersten Er fassungssignal und dem zweiten Erfassungssignal dar stellt, zu einem Ablenksignal für die Ablenkspule (4) zum Bewirken einer Vorschubsteuerung des Elektronenstrahles, damit der Elektronenstrahl die Probe auf dem Probenhalter (6) erreicht.

2. Elektronenmikroskop mit

- einer Elektronenkanone (2) zum Ausstrahlen eines Elektro nenstrahles,
- einem Probenhalter (6), auf dem eine Probe gehaltert wer den kann,
- einer Ablenkspule (4) zum Aufbringen des Elektronenstrah les aus der Elektronenkanone (2) auf die Probe auf dem Probenhalter (6),
- Erfassungsmitteln (Schwingungssensor 15) zum Erfassen von Schwingungen einer Grundplatte (9) für den Aufbau des Elektronenmikroskops und zum Erzeugen eines dritten Er fassungssignales, welches die erfaßten Schwingungen der Grundplatte (9) darstellt, und
- einer Regeleinrichtung (16) zum Erzeugen eines Steuersi gnales, welches die Schwingungen der Elektronenkanone (2) und des Probenhalters (6) relativ zueinander auf der Ba sis des dritten Erfassungssignales darstellt, und zum Ad dieren des Steuersignales zu einem Ablenksignal für die Ablenkspule (4) zum Bewirken einer Vorschubsteuerung des Elektronenstrahles, damit der Elektronenstrahl die Probe auf dem Probenhalter (6) erreicht.

3. Elektronenmikroskop nach Anspruch 2, bei dem die Regel einrichtung (16) ein Faltungsintegral der Pulsreaktion einer Übertragungsfunktion, welche die Differenz zwischen einer Übertragungsfunktion der Schwingungen zwischen der Grund platte (9) und der Elektronenkanone (2) und einer Übertragungs funktion der Schwingungen zwischen der Grundplatte (9) und dem Probenhalter (6) ist, und des dritten Erfassungssignales be rechnet und das Steuersignal erzeugt, welches die Schwingun gen der Elektronenkanone (2) und des Probenhalters (6) rela tiv zueinander darstellt.

4. Elektronenmikroskop nach Anspruch 2, bei dem die Regel einrichtung (16) das Produkt einer Übertragungsfunktion, wel che die Differenz zwischen einer Übertragungsfunktion der Schwingungen zwischen der Grundplatte (9) und der Elektronen kanone (2) und einer Übertragungsfunktion der Schwingungen zwischen der Grundplatte (9) und dem Probenhalter (6) ist, und des dritten Erfassungssignales berechnet und das Steuer signal erzeugt, welches die Schwingungen der Elektronenkanone (2) und des Probenhalters (6) relativ zueinander darstellt.