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DE226494T1 - System mit elektronenstrahlpruefsonde zum analysieren integrierter schaltungen. - Google Patents

System mit elektronenstrahlpruefsonde zum analysieren integrierter schaltungen.

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DE226494T1
DE226494T1 DE198686402502T DE86402502T DE226494T1 DE 226494 T1 DE226494 T1 DE 226494T1 DE 198686402502 T DE198686402502 T DE 198686402502T DE 86402502 T DE86402502 T DE 86402502T DE 226494 T1 DE226494 T1 DE 226494T1
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electron beam
integrated circuit
point
image
probe
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DE198686402502T
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English (en)
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Neil Mountain View 94043 California Richardson
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Fairchild Semiconductor Corp
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Fairchild Semiconductor Corp
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Publication date
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    • G01R31/302—Contactless testing
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Claims (12)

1. Ein Elektronenstrahl-Prüfsondengerät für die Analyse des Betriebs eines integrierten Schaltkreises, gekennzeichnet durch
Mittel für das Erzeugen eines Prüfsignalverlaufs und das Koppeln dieses Prüfsignalverlaufs auf den integrierten Schaltkreis,
Punktspezifiziermittel für das Spezifizieren eines Punktes auf dem integrierten Schaltkreis, welche Punktspezifiziermittel Mittel umfassen für das Eingeben und ■Speichern eines Layout-Diagramms des integrierten Schaltkreises in einem Layout-Format, das konsistent ist mit jenem, das durch ein Maskenauslegungsprogramm verwendet wird, und Mittel für das Spezifizieren einer Stelle auf dem integrierten Schaltkreis mit Bezug auf das Layout-Diagramm,
Elektronenstrahl-Prüfsondenmittel für das Messen des Potentials auf dem integrierten Schaltkreis an dem spezifizierten Punkt und für das Erzeugen einer Abbildung der Oberfläche des integrierten Schaltkreises in einem den spezifizierten Punkt umgebenden Bereich, und
Darstellungsmittel für die Darstellung des gemessenen Potentials und der Abbildung.
2. Das Elektronenstrahl-Prüfsondengerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Elektronenstrahl-Prüfsonde umfaßt:
Elektronenstrahl-Kolonnenmittel für das Bombardieren des integrierten Schaltkreises an einem Punkt auf der Oberfläche des integrierten Schaltkreises mit einem Elektronenstrahl mit einer Achse parallel zu einer vorgegebenen Achse und für das Erfassen der im Ansprechen auf das Bombardement erzeugten Sekundärelektronen, welche Elektronenstrahl-Kolonnenmittel Mittel umfassen für das Ablenken des Elektronenstrahls in jeder von zwei zueinander senkrechten Richtungen, die jede im wesentlichen senkrecht zu der Elektronenstrahlachse verlaufen,
Sondenkartenmittel für das Koppeln des Prüfsignalverlaufs auf den integrierten Schaltkreis, welche Sondenkartenmittel einen Durchbruch aufweisen, durch den der Elektronenstrahl verläuft,
Kolonnenpositioniermittel für das Bewegen der Elektronenstrahl-Kolonnenmittel relativ zu den Sondenkartenmitteln, und
Bühnenmittel für das Bewegen des integrierten Schaltkreises relativ zu den Sondenkartenmitteln.
3. Das Elektronenstrahl-PrüfSöndengeräc' nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Bühnenmittel umfassen:
Mittel für das Bewegen des integrierten Schaltkreises in jeder von zwei zueinander senkrechten Richtungen, von denen jede im wesentlichen senkrecht zu der Elektronenstrahlachse verläuft,
Mittel für das Bewegen des integrierten Schaltkreises in einer Richtung parallel zu der Elektronenstrahlachse, und
Mittel für das Verdrehen des integrierten Schaltkreises um eine zu der Elektronenstrahlachse im wesentlichen parallele Achse.
4. Das Elektronenstrahl-Prüfsondengerät nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Kolonnenpositioniermittel Mittel umfassen für das Bewegen des integrierten Schaltkreises in jeder von zwei zueinander senkrechten Richtungen, von denen jede im wesentlichen senkrecht- zu der Elektronenstrahlachse verläuft.
5. Das Elektronenstrahl-Prüfsondengerät nach einem der Ansprüche 2-4, gekennzeichnet durch:
Eine Oberfläche mit einem Durchbruch, durch den der Elektronenstrahl verläuft, Sondenkartenmcntagemittel zum Montieren der Sondenkarte über dem Durchbruch in einer festen Position relativ zu der Oberfläche,
Bühnenmontagemittel für das Montieren der Bühnenmittel in einer festen Position relativ zu der Oberfläche,
erste Vakuumbegrenzungsmittel, umfassend eine von der Oberfläche begrenzte Kammer, die die Bühnenmittei umschließt und eine abnehmbare Abdeckung aufweist, um die Bühnenmittel zugänglich zu machen,
Elektronenstrahl-Kolonnenmontagemittel für das Montieren der Kolonnenpositioniermittel in einer festen Position relativ zu der Oberfläche auf der den Bühnenmontagemitteln abgekehrten Seite der Oberfläche, und
zweite Vakuumbegrenzungsmittel für das Halten eines Vakuums in der Elektronenstrahl-Kolonne, welche zweiten Vakuumbegrenzungsmittel mit der Elektronenstrahl-Kolonne und mit der Oberfläche verbundene Balgenmittel umfassen für das Halten eines Vakuums, das den integrierten Schaltkreis und den Elektronenstrahl umgibt, wenn die Elektronenstrahl-Kolonnenmittel unter Benutzung der Kolonnenpositioniermittel relativ zu den Sondenkartenmitteln bewegt werden, wobei
der Elektronenstrahl aus den Elektronenstrahl-Kolonnenmitteln in einer Richtung im wesentlichen senkrecht zu der Oberfläche austritt, durch die Durchbrüche in der Oberfläche und den Sondenkartenmitteln verläuft und dann auf den integrierten Schaltkreis auftrifft.
"J.
6. Die Elektronenstrahl-Prüfsonde nach einem der Ansprüche 2-4, dadurch gekennzeichnet, daß die Elektronenstrahl-Kolonnenmittel ferner umfassen:
Löschelektrodenmittel zum Ein- und Ausschalten des Elektronenstrahls zu auf den Prüfsignalverlauf bezogenen Zeitpunkten, einschließlich Mittel für Erzeugung eines Triggerimpulses aus dem Prüfsignalverlauf und Verzögerungsmittel für das Einschalten des Elektronenstrahls nach Verstreichen einer vorgegebenen Zeit nach der Erzeugung des Triggerimpulses.
7. Das Elektronenstrahl-Prüfsondengerät nach einem der Ansprüche 1-6, dadurch gekennzeichnet, daß die Punktspezifiziermittel ferner umfassen:
Mittel für das Eingeben und Speichern eines schematischen Diagramms des integrierten Schaltkreises in einem schematischen Format konsistent mit jenem, das durch ein Schaltkreissimulationsprogramm benutzt wird,
Mittel zum Eingeben und Speichern einer Korrelationstabelle, welche die Stelle jedes Schaltungselements in dem integrierten Schaltkreis auf der Oberfläche des integrierten Schaltkreises definiert, und
Mittel für das Spezifizieren eines Punktes in dem schematischen Diagramm.
8. Das Elektrcnenstrahl-Prüfsondengerät nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Darstellungsmittel umfassen:
Mittel für das Darstellen eines schematischen Diagramms,
Mittel für das Darstellen eines Layout-Diagramms,
Mittel für das Darstellen einer Abbildung der Oberfläche des integrierten Schaltkreises, und
Mittel für das Darstellen des Potentials an einem spezifizierten Punkt auf der integrierten Schaltkreisoberfläche als Zeitfunktion für eine Zeitperiode zwischen einem ersten und einem zweiten Zeitpunkt, spezifiziert bezüglich des Prüfsignalverlaufs.
9. Das Elektronenstrahl-Prüfsondengerät nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Abbildungs-Darstellungsmittel Mittel umfassen für das Darstellen einer Abbildung der Oberfläche des integrierten Schaltkreises, in der die Intensität jedes Punktes in der Abbildung eine Funktion des Potentials auf der Oberfläche des integrierten Schaltkreises an einem entsprechenden Punkt ist, und daß das Potential zu einem festen Zeitpunkt relativ zu dem Prüfsignalverlauf gemessen ist.
0226&Agr;94
10. Das Elektronenstrahl-Prüfsondengerät nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Abbildungs-Darstellurrgsmittel Mittel umfassen für die Darstellung einer Abbildung der Oberfläche des integrierten Schaltkreises, in der die Intensität jedes Punktes in der Abbildung eine Funktion des Potentials auf der Oberfläche des integrierten Schaltkreises an einem entsprechenden Punkt ist, und daß das Potential der Mittelwert von Potentialen ist, die zu im wesentlichen zufälligen Zeitpunkten relativ zu dem Prüfsignalverlauf gemessen sind.
11. Das Elektronenstrahl-Prüfsondengerät nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Abbildungs-Darstellungsmittel Mittel umfassen für die Darstellung einer Abbildung der Oberfläche des integrierten Schaltkreises, in der die Intensität jedes Punktes in der Abbildung eine Funktion des Potentials auf der Oberfläche des integrierten Schaltkreises an einem entsprechenden Punkt ist, und daß das Potential das zeitlich gemittelte Potential an dem Punkt auf dem integrierten Schaltkreis ist.
12. Das Elektronenstrahl-Prüfsondengerät nach einem der Ansprüche 9, 10 oder 11, gekennzeichnet durch Mittel für den Vergleich einer Abbildung eines Bereichs auf der Oberfläche des integrierten Schaltkreises mit einer simulierten Abbildung der Oberfläche des integrierten Schaltkreises.
DE198686402502T 1985-11-15 1986-11-12 System mit elektronenstrahlpruefsonde zum analysieren integrierter schaltungen. Pending DE226494T1 (de)

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