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DE19540570A1 - High packing density circuit board - Google Patents

High packing density circuit board

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Publication number
DE19540570A1
DE19540570A1 DE19540570A DE19540570A DE19540570A1 DE 19540570 A1 DE19540570 A1 DE 19540570A1 DE 19540570 A DE19540570 A DE 19540570A DE 19540570 A DE19540570 A DE 19540570A DE 19540570 A1 DE19540570 A1 DE 19540570A1
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DE
Germany
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circuit board
printed circuit
board according
components
layer
Prior art date
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Ceased
Application number
DE19540570A
Other languages
German (de)
Inventor
Werner Fritz
Karlheinz Hartmann
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hartmann Elektronik GmbH
Original Assignee
Karlheinz Hartmann Elektronic 70499 Stuttgart De GmbH
HARTMANN KARLHEINZ ELEKTRONIC
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Karlheinz Hartmann Elektronic 70499 Stuttgart De GmbH, HARTMANN KARLHEINZ ELEKTRONIC filed Critical Karlheinz Hartmann Elektronic 70499 Stuttgart De GmbH
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Publication of DE19540570A1 publication Critical patent/DE19540570A1/en
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Abstract

A circuit board has, on at least one side, devices applied by thin film technology employing chemical metal deposition. Pref. the devices have a layer thickness of less than 3 (pref. less than 1) micron and the board has a multilayer structure of two or more circuit board layers (2,3,4). Also claimed is a process for prodn. of the above circuit board by: (a) placing a substrate (pref. a Cu-clad substrate board) in an activating soln. to activate the regions where devices are to be produced; and (b) placing the substrate in a chemical metal plating bath to deposit a metal (pref. Pd) layer for forming the devices.

Description

Die Erfindung betrifft eine Leiterplatte mit auf einem Substrat vorgesehenen schichtförmigen Leiterbahnen und Bauelementen.The invention relates to a circuit board with on a Layer-provided conductor tracks and substrate provided Components.

Mit Bauelementen bestückte Leiterplatten werden heute in fast allen elektrischen und elektronischen Geräten eingesetzt. Es sind Leiterplatten bekannt mit bspw. einem Epoxid-Glasgewebe als Basismaterial und einer gedruckten Schaltung auf wenigstens einer Seite, deren Leiterbahnen durch Ätzen des kupferkaschierten Basismaterials gebildet sind. Bauelemente mit kleinen Abmessungen sind von den eigenen Anschlußdrähten getragen auf die Leiterbahnen gelötet. Wegen ihrer Größe können nur wenige Bauelemente auf einer derartigen Leiterplatte untergebracht werden.Printed circuit boards with components are almost in use today all electrical and electronic devices. It printed circuit boards are known, for example with an epoxy glass fabric as base material and a printed circuit at least one side, the conductor tracks by etching the copper-clad base material are formed. Components with small dimensions are from their own connecting wires worn soldered to the conductor tracks. Because of their size  can only a few components on such PCB can be accommodated.

Zur Erhöhung der Bauteil-Packungsdichte werden doppelseitig bestückte Leiterplatten eingesetzt. Dabei sind sowohl an der Oberseite als auch an der Unterseite der Leiterplatte Leiterbahnen und Bauelemente vorgesehen. Die doppelseitige Leiterplatte eignet sich auch für eine Mischbestückung mit herkömmlich verdrahteten und drahtlosen kleineren SMD- Bauteilen. Diese Leiterplatten sind jedoch bei der Anforderung noch höherer Bauteil-Packungsdichten, bspw. bei Funktelefonen oder bei Geräten der Auto- und Hifi-Industrie, ungeeignet. Es können auch keine komplexeren elektronischen Verbindungsstrukturen zwischen den Bauelementen realisiert werden.To increase the component packing density, double-sided assembled circuit boards used. Both are at the Top and bottom of the circuit board Conductor tracks and components provided. The double sided Printed circuit board is also suitable for mixed assembly with conventionally wired and wireless smaller SMD Components. However, these circuit boards are on the request even higher component packing densities, for example with radio telephones or unsuitable for devices in the car and hi-fi industry. It can also not be more complex electronic Connection structures realized between the components will.

Für den Aufbau komplexerer Schaltungen bzw. Verbindungen der Bauelemente sind Multilayer-Leiterplatten bekannt. Die einzelnen Leiterplattenlagen solcher Multilayer-Leiterplatten tragen im allgemeinen auf beiden Seiten Leiterbahnstrukturen, deren Layout jedoch unterschiedlich sein kann. Zwischen den Leiterplattenlagen ist jeweils eine Isolierschicht angeordnet, und sie sind derart miteinander verbunden, daß ihre nach innen gewandten Seiten nicht mehr zugänglich sind. Eine Multilayer- Leiterplatte weist an vorbestimmten Stellen Bohrungen auf, um die an Unter- und Oberseite der Multilayer-Leiterplatte befindlichen Anschlußdrähte oder Anschlußkontakte der Bauelemente mit den Leiterbahnstrukturen einer bestimmten innenliegenden Seite einer der einzelnen Leiterplattenlagen zu verbinden. Die Grenzen dieser Multilayer-Leiterplatte hinsichtlich einer hohen Bauteil-Packungsdichte besteht darin, daß nur zwei Seiten der Multilayer-Leiterplatte, die Ober- und die Unterseite, mit Bauelementen bestückt werden können.For the construction of more complex circuits or connections of the Components are known in multilayer printed circuit boards. The individual circuit board layers of such multilayer circuit boards generally have conductor structures on both sides, but their layout can be different. Between PCB layers an insulating layer is arranged, and they are interconnected in such a way that their inward facing pages are no longer accessible. A multilayer Printed circuit board has bores at predetermined locations the bottom and top of the multilayer circuit board located connecting wires or contacts of the  Components with the conductor track structures of a certain inner side of one of the individual PCB layers connect. The limits of this multilayer circuit board regarding a high component packing density consists of that only two sides of the multilayer circuit board, the top and the bottom, can be equipped with components.

Aus der US-Patentschrift 5,227,012 ist es bekannt, Widerstandsbauelemente in Form von dünnen Schichten mit einer Schichtdicke von weniger als 1 µm bei sequentiell aufgebauten Leiterplatten vorzusehen. Diese US-Patentschrift lehrt jedoch, beim Aufbau der Multilayerstruktur in den übereinander angeordneten Lagen Ausnehmungen zu bilden, auf deren Grund die erwähnten Dünnfilmwiderstände durch Aufsputtern und Ätzen erzeugt werden. Es stehen wiederum maximal zwei Seiten für die Anordnung dieser Bauelemente zur Verfügung.From US Pat. No. 5,227,012 it is known Resistor devices in the form of thin layers with a Layer thickness of less than 1 µm with sequential build To provide printed circuit boards. However, this U.S. patent teaches when building the multilayer structure in the one above the other arranged layers to form recesses, on the basis of which mentioned thin film resistances by sputtering and etching be generated. Again, there are a maximum of two pages for Arrangement of these components available.

Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Leiterplatte zu entwickeln, die es erlaubt, eine höhere Bauteil-Packungsdichte sowie Schaltungen mit komplexerer Verbindungsstruktur als bei bekannten Leiterplatten zu realisieren. Die Herstellung von Baugruppen mit einfachen Bauelementen, z. B. Widerständen und/oder Kondensatoren, soll technisch einfacher und wirtschaftlicher werden.The present invention has for its object a To develop circuit board that allows a higher Component packing density and circuits with more complex Connection structure than in known circuit boards realize. The manufacture of assemblies with simple Components, e.g. B. resistors and / or capacitors become technically simpler and more economical.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch eine Leiterplatte mit schichtförmigen Leiterbahnen und Bauelementen gelöst, die gekennzeichnet ist durch in Dünnschichttechnik im Wege chemischer Metallabscheidung an wenigstens einer Seite der Leiterplatte aufgebrachte Bauelemente.This object is achieved by a circuit board layered conductor tracks and components solved that  is characterized by in thin film technology in the way chemical metal deposition on at least one side of the Printed circuit board components.

Die mit Bauelementematerial zu beschichtende Leiterplattenoberfläche läßt sich nach Erzeugung einer Leiterbahnstruktur in beliebiger Weise durch bekanntes Maskieren bzw. Abdecken der Oberfläche, etwa durch Einbelichtung in einen Photoresist, definieren und vorbereiten, und durch Eintauchen in ein Bad zur chemischen Metallabscheidung wird die Bauelementebeschichtung aufgebracht. Hiermit lassen sich sehr dünne Bauelementeschichten, vorzugsweise von weniger als 3 µm, erreichen.The one to be coated with component material PCB surface can be created after a Conductor structure in any way by known Mask or cover the surface, for example by Imaging in a photoresist, define and prepare, and by immersing in a chemical bath Metal deposition becomes the component coating upset. This allows very thin Component layers, preferably less than 3 µm, to reach.

Die Bauelemente können Schichtwiderstände, Schichtkondensatoren mit ineinandergreifenden, gegeneinander isolierten Kondensatorfingern und Plattenkondensatoren aus übereinanderliegenden je eine Leiterbahn kontaktierenden Schichten, zwischen denen eine dielektrische und/oder eine Isolierschicht angeordnet ist, umfassen.The components can have sheet resistances, Film capacitors with interlocking, mutually insulated capacitor fingers and plate capacitors one conductor track contacting one another Layers between which a dielectric and / or a Insulating layer is arranged.

Vorzugsweise ist das Widerstandsmaterial eines als Schichtwiderstand ausgebildeten Bauelements Palladium.The resistance material is preferably an as Layer resistance trained component palladium.

Die Erfindung eignet sich auch für den Einsatz bei Leiterplatten, die eine Multilayerstruktur aufweisen. The invention is also suitable for use with Printed circuit boards that have a multilayer structure.  

Um eine hohe Bauelemente-Packungsdichte zu erreichen, sind an zwei einander zugewandten Oberflächen benachbarter Leiterplattenlagen erfindungsgemäß aufgebrachte Bauelemente angeordnet.To achieve a high component packing density, are on two mutually facing surfaces adjacent Printed circuit board layers components according to the invention arranged.

Die Leiterplattenlagen einer erfindungsgemäßen Multilayerstruktur sind vorzugsweise mit einer dazwischen angeordneten Isolierschicht verpreßt.The circuit board layers of an inventive Multilayer structure are preferably with one in between arranged insulating layer pressed.

In Weiterbildung der Erfindung wird eine Leiterplatte mit einer Vielzahl von Leuchtdioden vorgeschlagen, die vorzugsweise eng aneinander angrenzend auf einer Seite der Leiterplatte vorgesehen sind und gemeinsam ein Beleuchtungselement hoher Beleuchtungsstärke bilden. Dieses Beleuchtungselement läßt sich beispielsweise im Kraftfahrzeugbereich vorteilhaft einsetzen, da hier der zur Verfügung stehende Bauraum stets stark begrenzt ist. Der Einsatz eines erfindungsgemäßen Leuchtelements beispielsweise als Rückleuchte eines Kraftfahrzeugs hätte zudem den Vorteil, daß ein Ausfall der einzigen Glühbirne mit den damit verbundenen Gefahren und der Notwendigkeit der Reparatur nicht mehr auftreten würde. Die Herstellung eines solchen Beleuchtungselements ist überdies kostengünstiger.In a development of the invention, a printed circuit board is used proposed a variety of light emitting diodes preferably closely adjacent on one side of the Printed circuit board are provided and together one Form lighting element of high illuminance. This Lighting element can, for example, in Use motor vehicle area advantageously, since here for Available space is always very limited. Of the Use of a lighting element according to the invention, for example as the rear light of a motor vehicle would also have the advantage that a failure of the only light bulb with that associated dangers and the need for repair would occur more. The making of one Lighting element is also cheaper.

Eine höchste Diodendichte auf der Leiterplatte wird dann möglich, wenn die Vorwiderstände für die Leuchtdioden von erfindungsgemäß aufgebrachten Bauelementen gebildet werden. Then a highest diode density on the circuit board possible if the series resistors for the LEDs from components applied according to the invention are formed.  

Die weitere Aufgabe wird durch ein Verfahren zur Herstellung der erfindungsgemäßen Leiterplatte gelöst, welches dadurch gekennzeichnet ist, daß das Substrat durch Einbringen in eine Aktivierungslösung in den Bereichen aktiviert wird, wo Bauelemente hergestellt werden sollen, und daß diese Bauelemente durch anschließendes Einbringen des Substrats in ein Bad zur chemischen Metallabscheidung durch Abscheiden einer Metallschicht gebildet werden.The further task is accomplished by a manufacturing process solved the circuit board according to the invention, which thereby is characterized in that the substrate by introduction into a Activation solution is activated in the areas where Components are to be produced, and that these Components by subsequent introduction of the substrate in a bath for chemical metal deposition by deposition a metal layer are formed.

Durch den Aktivierungsprozeß werden auf betreffenden Substratoberflächenbereichen Kristallisationskeime abgelagert, welche die chemische Metallabscheidung in dem nachfolgenden Verfahrensschritt ermöglichen. Für das erfindungsgemäße Verfahren können für die chemische Metallabscheidung bekannte und handelsübliche Aktivierungslösungen und Bäder verwendet werden.Through the activation process will be concerned on Crystallization nuclei deposited, which the chemical metal deposition in the following Enable procedural step. For the invention Methods can be known for chemical metal deposition and commercially available activation solutions and baths will.

Für die Durchführung des Verfahrens wird vorzugsweise eine kupferkaschierte Substratplatte als Ausgangsmaterial verwendet, auf deren Oberfläche in Photodruck/Ätztechnik Kupferleiterbahnen gebildet werden. Das bereichsweise Aktivieren der Substratoberfläche bzw. der Leiterbahnabschnitte, welche die Kontaktierung für die Bauelemente bilden, erfolgt durch Abdecken der übrigen Bereiche, vorzugsweise unter Verwendung einer in Photodruck erzeugten Photoresistschicht. A is preferably used to carry out the method copper-clad substrate plate as starting material used on their surface in photo printing / etching technology Copper conductor tracks are formed. The area by area Activate the substrate surface or the Conductor sections, which are the contact for the Forming components is done by covering the rest Areas, preferably using one in photo printing generated photoresist layer.  

Es hat sich desweiteren als vorteilhaft erwiesen, die Photoresist-Abdeckung vor Einbringen des aktivierten Substrats in das Bad zur Aktivierung der Leiterbahnanschlußbereiche zu entfernen, insbesondere abzustrippen.It has also proven advantageous that Photoresist cover before inserting the activated substrate into the bathroom to activate the conductor connection areas remove, especially to strip.

Die Aktivierung derjenigen Bereiche, auf denen Bauelementematerial abgeschieden werden soll, d. h. der Substratbereiche einerseits und Leiterbahnanschlußbereiche andererseits, kann in einem ein- oder mehrstufigen Aktivierungsprozeß durchgeführt werden. Es hat sich als vorteilhaft erwiesen, die beiden Bereiche in einem zweistufigen Prozeß zu aktivieren.The activation of those areas on which Component material is to be deposited, d. H. of the Substrate areas on the one hand and interconnect connection areas on the other hand, can be in a single or multi-stage Activation process to be carried out. It turned out to be proven advantageous, the two areas in one to activate two-step process.

Weitere Merkmale, Einzelheiten und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus den beigefügten Ansprüchen und der beigefügten Zeichnung und nachfolgenden Beschreibung einer bevorzugten Ausführungsform der erfindungsgemäßen Leiterplatte und des erfindungsgemäßen Verfahrens.Further features, details and advantages of the invention result from the appended claims and the attached drawing and subsequent description of a preferred embodiment of the circuit board according to the invention and the method according to the invention.

In der Zeichnung zeigtIn the drawing shows

Fig. 1 eine explosionsartige Darstellung einer aus drei einzelnen Leiterplattenlagen bestehenden Multilayer-Leiterplatte; FIG. 1 is an exploded view of a three individual circuit board layers multilayer circuit board;

Fig. 2 eine schematische Ansicht eines Bereichs der mittleren Leiterplatte aus Fig. 1 mit einem Schichtwiderstand; FIG. 2 shows a schematic view of a region of the middle circuit board from FIG. 1 with a sheet resistor;

Fig. 3 eine schematische Ansicht eines Bereichs der mittleren Leiterplatte aus Fig. 1 mit einem Fingerkondensator; Fig. 3 is a schematic view of a portion of the center conductor plate of FIG 1 with a finger condenser.

Fig. 4 eine schematische Ansicht eines Bereichs der mittleren Leiterplatte aus Fig. 1 mit einem schichtförmigen Plattenkondensator; FIG. 4 shows a schematic view of a region of the middle printed circuit board from FIG. 1 with a layered plate capacitor;

Fig. 5, 5a eine Draufsicht auf eine mit einer Vielzahl von Leuchtdioden bestückbare erfindungsgemäße Leiterplatte; und Fig. 5, 5a is a plan view of a mounting components having a plurality of light emitting diode printed circuit board according to the invention; and

Fig. 6 bis 15 die Schritte eines erfindungsgemäßen Herstellungsverfahrens einer erfindungsgemäßen Leiterplatte. FIGS. 6 to 15, the steps of a manufacturing method of the invention a printed circuit board according to the invention.

In allen Figuren sind Leiterplatten, Leiterbahnen und schichtförmige Bauelemente wegen der besseren Übersichtlichkeit in vergrößertem Maßstab dargestellt.In all figures there are printed circuit boards, conductor tracks and layered components because of the better Clarity shown on an enlarged scale.

Fig. 1 zeigt eine Multilayer-Leiterplatte 1 mit einer oberen Leiterplattenlage 2, einer mittleren Leiterplattenlage 3 und einer unteren Leiterplattenlage 4. Die einzelnen Leiterplatten 2, 3, 4 sind bspw. sogenannte FR4-Leiterplatten, die beidseitig kupferkaschiert sind, so daß auf jeder Seite ein Leiterbahn-Layout erzeugt werden kann. Zwischen den Leiterplatten 2, 3, 4 sind Isolierschichten 6 und 7 angeordnet. Die Oberseite der Leiterplatte 2 ist mit 2a, die Unterseite mit 2b, die Oberseite der Leiterplatte 3 mit 3a, ihre Unterseite mit 3b und die Oberseite der Leiterplatte 4 mit 4a und deren Unterseite mit 4b bezeichnet. Die Leiterplatten 2, 3, 4 sind mit den Isolierschichten 6, 7 nach der Fertigstellung verpreßt. In konventioneller Verdrahtungstechnik sind Bauelemente 8 und 9 und in drahtloser SMD-Technik Bauelemente 11 und 12 auf den außenliegenden Seiten der Multilayer-Leiterplatte, also der Oberseite 2a der Leiterplatten 2 und der Unterseite 4b der Leiterplatte 4 angeordnet. Fig. 1 is a multilayer printed circuit board shows 1 with an upper printed circuit board layer 2, an intermediate printed circuit board layer 3 and a lower printed circuit board layer 4. The individual printed circuit boards 2 , 3 , 4 are, for example, so-called FR4 printed circuit boards, which are copper-clad on both sides, so that a printed circuit layout can be created on each side. Insulating layers 6 and 7 are arranged between the printed circuit boards 2 , 3 , 4 . The top of the circuit board 2 is 2 a, the bottom with 2 b, the top of the circuit board 3 with 3 a, its bottom with 3 b and the top of the circuit board 4 with 4 a and the bottom with 4 b. The circuit boards 2 , 3 , 4 are pressed with the insulating layers 6 , 7 after completion. In conventional wiring technology, components 8 and 9 and in wireless SMD technology, components 11 and 12 are arranged on the outer sides of the multilayer printed circuit board, that is to say the upper side 2 a of the printed circuit boards 2 and the lower side 4 b of the printed circuit board 4 .

Zwischen den Leiterplatten 2 und 3 ist auf der Oberseite 3a der Leiterplatte 3 eine Leiterbahn 17 vorgesehen. Eine Leiterbahn 16 befindet sich auf der Oberseite 4a der Leiterplatte 4. Die Leiterbahnen 16 und 17 sind durch kontaktierte metallisierte Bohrungen 101 elektrisch leitend miteinander verbunden.Between the circuit boards 2 and 3 , a conductor track 17 is provided on the top 3 a of the circuit board 3 . A conductor track 16 is located on the top 4 a of the circuit board 4th The conductor tracks 16 and 17 are connected to one another in an electrically conductive manner by contacted metallized bores 101 .

Fig. 2 zeigt einen Ausschnitt der Oberseite 3a der Leiterplatte 3 mit einem zwischen der Leiterbahn 17 und einer weiteren Leiterbahn 22 angeordneten mäanderförmigen Schichtwiderstand 21. An seinen Enden 23 und 24 hat der Schichtwiderstand 21 Übergangsbereiche, in denen sich die Leiterbahnen und das Material des Schichtwiderstandes überlappen und wegen des dadurch großflächigen Kontakts eine gute elektrische Verbindung bilden. Auf der Unterseite 3b der Leiterplatte 3 ist ein auf diese Weise erstelltes Bauelement 25 angeordnet. Fig. 2 shows a detail of the upper side 3 a of the circuit board 3 with a between the strip conductor 17 and a further conductor track 22 which is arranged meander-shaped resistor 21 layer. At its ends 23 and 24 , the sheet resistor 21 has transition regions in which the conductor tracks and the material of the sheet resistor overlap and form a good electrical connection because of the large-area contact as a result. A component 25 created in this way is arranged on the underside 3 b of the printed circuit board 3 .

Bei dem in Fig. 3 dargestellten Bauelement handelt es sich um einen schichtförmigen Fingerkondensator 31. Die Leiterbahn 32 hat drei schichtförmige Kondensatorfinger 33, die sich in die Zwischenräume zwischen vier schichtförmige Kondensatorfinger 34 einer zweiten Leiterbahn 36 hinein erstrecken. Durch diese Anordnung kommt es zu einer Parallelschaltung von sechs Einzelkondensatoren (Anzahl aller Kondensatorfinger minus 1), die durch Kapazitäten zwischen den einzelnen Fingern gebildet werden und sich addieren.The component shown in FIG. 3 is a layered finger capacitor 31 . The conductor track 32 has three layered capacitor fingers 33 , which extend into the spaces between four layered capacitor fingers 34 of a second conductor track 36 . This arrangement results in a parallel connection of six individual capacitors (number of all capacitor fingers minus 1), which are formed by capacitances between the individual fingers and add up.

Fig. 4 zeigt die Oberseite 4a der Leiterplatte 4 mit einem schichtförmigen Plattenkondensator 41. Dabei wird über der Leiterbahn 16 eine Isolierschicht 42 aufgebracht, die die Leiterbahn 16 von dem Ende 43 der Leiterbahn 44 isoliert, die die Leiterbahn 16 über einen gewissen Bereich überlappt. Die Isolierschicht 42 bildet das Dielektrikum. Die parallelen schichtartig sich überlappenden Leiterbahnen 16 und 44, zwischen denen ein Dielektrikum angeordnet ist, bilden den Schichtkondensator. Fig. 4 shows the top 4 a of the circuit board 4 with a layered plate capacitor 41st In this case, an insulating layer 42 is applied over the conductor track 16 , which insulates the conductor track 16 from the end 43 of the conductor track 44 , which overlaps the conductor track 16 over a certain area. The insulating layer 42 forms the dielectric. The parallel layer-like overlapping conductor tracks 16 and 44 , between which a dielectric is arranged, form the layer capacitor.

Fig. 5 zeigt eine Leiterplatte 46 mit einer Vielzahl von Anschlüssen 47 für in der Figur nicht dargestellte Leuchtdioden. Die Anschlüsse 47 sind in Form von verzinnten Durchgangsöffnungen in der Leiterplatte 46 ausgebildet, in welche Anschlußdrähte der Leuchtdioden eingesteckt und verlötet werden können. Die Verbindungslinien 48 in der Fig. 5a, welche eine Durchsicht auf die Rückseite der Leiterplatte 46 zeigt, bezeichnen die Durchgangsöffnungen 47 verbindende Leiterbahnen. Fig. 5 shows a circuit board 46 having a plurality of ports 47, not shown in the figure, light-emitting diodes. The connections 47 are designed in the form of tinned through openings in the printed circuit board 46 , into which connection wires of the light-emitting diodes can be inserted and soldered. The connecting lines 48 in FIG. 5a, which shows a view of the rear side of the printed circuit board 46 , designate the interconnects connecting the through openings 47 .

Die Durchgangsöffnungen 47 sind - wie aus der Fig. 5 ersichtlich - in Gruppen von je vier Öffnungen angeordnet. Es sind die zwei oberen Anschlußöffnungen 49 einer Gruppe oder die zwei unteren Anschlußöffnungen 50 bei einer anderen Gruppe mit dem einen Ende einer mäanderförmigen Dünnschicht- Widerstandsbahn 51 verbunden, deren anderes Ende mit einer eine Versorgungsspannung (12 Volt, 9 Volt, 6 Volt, 3 Volt) führenden Leiterbahn 53 verbunden ist. Die Dünnschicht- Widerstandsbahn 51 bildet den Vorwiderstand für die Leuchtdioden. Dadurch daß er räumlich zwischen den Anschlüssen zweier Leuchtdioden angeordnet ist, also den Vorwiderstand für zwei Leuchtdioden bildet, kann eine größere Anzahl von Leuchtdioden pro Flächeneinheit untergebracht werden.The through openings 47 are - as can be seen from FIG. 5 - arranged in groups of four openings. There are the two upper connection openings 49 in one group or the two lower connection openings 50 in another group connected to one end of a meandering thin-film resistance track 51 , the other end to a supply voltage (12 volts, 9 volts, 6 volts, 3 volts) ) leading conductor 53 is connected. The thin film resistor track 51 forms the series resistor for the light emitting diodes. Because it is arranged spatially between the connections of two light-emitting diodes, that is to say forms the series resistor for two light-emitting diodes, a larger number of light-emitting diodes can be accommodated per unit area.

Anhand der Fig. 6 bis 15, wird nun ein beispielhaftes Verfahren zur Herstellung von Leiterplatten mit in Dünnschichttechnik aufgebrachten Bauelementen beschrieben, das sich auch zur Herstellung von Multilayer-Leiterplatten eignet.Referring to Figs. 6 to 15, an exemplary method for the production of printed circuit boards with applied in thin-film technology devices will now be described, the multilayer printed circuit boards is also suitable for the production of.

Zur Herstellung von Kupfer-Leiterbahnen auf dem Substrat wird der an sich bekannte Photodruck durchgeführt. Auf ein kupferkaschiertes Substrat 60 wird flüssiger oder fester Photoresist 64 auf die Kupferschicht 62 aufgebracht. Unter Verwendung einer nicht dargestellten Belichtungsmaske oder einer entsprechend geschnittenen Folie wird eine Leiterbahnstruktur in den Photoresist einbelichtet, d. h. bspw. werden diejenigen Bereiche 66 der Oberfläche, welche die Leiterbahnen bilden sollen, belichtet, während die übrigen Oberflächenbereiche 68 dunkel bleiben (Fig. 6). Nach dem Entwickeln dient der Photoresist dort, wo Leiterbahnen verlaufen sollen. Nunmehr wird die Kupferschicht 62 an den diese Stellen umgebenden Bereichen 68 ausgeätzt; nach Entfernen des Photoresists 64 verbleibt dann das in Fig. 7 dargestellte Anschlußbild der durch die Kupferschicht 62 gebildeten Leiterbahnen 70.In order to produce copper conductor tracks on the substrate, the known photo printing is carried out. Liquid or solid photoresist 64 is applied to the copper layer 62 on a copper-clad substrate 60 . Using an exposure mask (not shown) or a correspondingly cut film, a conductor track structure is exposed in the photoresist, that is to say, for example, those areas 66 of the surface which are to form the conductor tracks are exposed while the other surface areas 68 remain dark ( FIG. 6). After development, the photoresist is used where conductor tracks are to run. The copper layer 62 is now etched out at the areas 68 surrounding these locations; after removal of the photoresist 64 , the connection diagram shown in FIG. 7 of the conductor tracks 70 formed by the copper layer 62 then remains.

Es bleiben jedoch nicht nur diejenigen Flächen zwischen den Leiterbahnen frei, welche die Leiterbahnen voneinander trennen, sondern auch Flächen, auf denen in nachfolgend zu erläuternden Verfahrensschritten schichtartig ein Bauelement aufgetragen wird. Bei Draufsicht auf das Anschlußbild gemäß Fig. 7 zeigen sich nach der vorausgehenden Beschreibung Kupferoberflächenbereiche und Substratoberflächenbereiche einer FR4-Platte oder eines sonstigen beliebigen Substratmaterials. Um auf diesen Flächen in Dünnschichttechnik Bauelementematerial aus einer Lösung chemisch abscheiden zu können, müssen die entsprechenden Oberflächenbereiche auf geeignete Weise aktiviert werden. However, not only those areas between the conductor tracks that separate the conductor tracks from one another remain free, but also areas on which a component is applied in layers in the method steps to be explained below. When the connection diagram according to FIG. 7 is viewed from above, copper surface areas and substrate surface areas of an FR4 plate or any other desired substrate material are shown according to the preceding description. In order to be able to chemically deposit component material from a solution on these surfaces using thin-film technology, the corresponding surface areas must be activated in a suitable manner.

Hierfür wird erneut eine in den Fig. 8 und 8a dargestellte Photoresistschicht 72 aufgebracht, wobei die Photoresistschicht nach Belichten und Entwickeln die gesamte Oberfläche bis auf diejenigen Bereiche 73 überdeckt, auf denen Bauelementematerial abgeschieden werden soll. In den Fig. 8, 8a erstreckt sich dieser Bereich von der Oberfläche 74 einer Leiterbahn 76 über deren Flanke 78 zur Oberfläche 80 des Substrats 60 und von dort zu einer weiteren Flanke 82 einer in der Fig. 8 rechts dargestellten Leiterbahn 84, über deren Flanke nach oben und über einen Anschlußbereich an der Oberfläche 86 dieser Leiterbahn 84. Der in der Fig. 8a dargestellte Bereich 73 verläuft nur beispielhaft gerade, es könnte ebenso eine wie in der Fig. 8b gezeigte mäanderförmige Maskenstruktur 88 hergestellt werden.For this purpose, a photoresist layer 72 shown in FIGS . 8 and 8a is applied again, the photoresist layer after exposure and development covering the entire surface except for those areas 73 on which component material is to be deposited. In FIGS. 8, 8a, this area of the substrate 60 extends from the surface 74 of a conductor 76 via its edge 78 to the surface 80 and from there to a further edge 82 a in FIG. Conductor track 84 shown to the right 8, whose cross upwards and over a connection area on the surface 86 of this conductor track 84 . The region 73 shown in FIG. 8a runs straight only by way of example; a meandering mask structure 88 as shown in FIG. 8b could also be produced.

Hiernach wird die für ein Abscheiden von Bauelementematerial erforderliche Substratvorbereitung ausgeführt. Zur Reinigung der Oberfläche kann 5% H₂SO₄ (10 Sekunden bei Raumtemperatur) als Dekapiermittel verwendet werden; nach einem Spülvorgang, vorzugsweise in einer Kaskadenspüle, wird die freie Substratoberfläche 80 konditioniert. Hierfür kann beispielsweise ein von der Firma ATOTECH erhältliches Konditioniermittel (Konditionierer Neopact) zum Sensibilisieren verwendet werden. Nach einem anschließenden Spülprozeß wird die Substratoberfläche 80 durch ein Aktivatormittel, etwa Aktivator Neopact, aktiviert, so daß der in Fig. 9 angedeutete aktivierte Substratoberflächenbereich 90 entsteht.The substrate preparation required for the deposition of component material is then carried out. To clean the surface, 5% H₂SO₄ (10 seconds at room temperature) can be used as a release agent; after a rinsing process, preferably in a cascade rinse, the free substrate surface 80 is conditioned. For example, a conditioning agent (conditioner Neopact) available from ATOTECH can be used for sensitization. After a subsequent rinsing process, the substrate surface 80 is activated by an activator agent, for example activator Neopact, so that the activated substrate surface area 90 indicated in FIG. 9 is formed.

Nach einem nachfolgenden Spülprozeß kann die als Abdeckung dienende Photoresistschicht 72, etwa durch Abstrippen entfernt werden, so daß ein Schichtaufbau gemäß Fig. 10 mit aktivierten Oberflächenbereichen 90 erhalten wird.After a subsequent rinsing process, the photoresist layer 72 serving as a cover can be removed, for example by stripping, so that a layer structure according to FIG. 10 with activated surface areas 90 is obtained.

Anschließend wird die in der Fig. 11 angedeutete Aktivierung der Kupferoberflächen 92 durchgeführt. Hierfür wird die Leiterplatte in einer einprozentigen H₂SO₄-Lösung 30 Sekunden bei Raumtemperatur vorgetaucht. Als Aktivatormittel für Kupferoberflächen kann bspw. Aktivator Pallatect verwendet werden.Subsequently, the activation of the copper surfaces 92 indicated in FIG. 11 is carried out. For this purpose, the circuit board is pre-immersed in a one percent H₂SO₄ solution for 30 seconds at room temperature. Pallatect activator, for example, can be used as activator agent for copper surfaces.

Nach einem Spülprozeß folgt die Metallisierung der aktivierten Bereiche 90, 92 durch chemische Palladium-Abscheidung (stromlos). Hierfür wird das in Fig. 11 dargestellte Element in ein Bad zur chemischen Palladiumabscheidung, etwa Pallatect PC, eingetaucht. Während dieses Verfahrensschritts wird eine je nach Eintauchzeit mehr oder weniger dicke Bauelementschicht 94 abgeschieden, wie dies in der Fig. 12 dargestellt ist, wobei die Dickenverhältnisse der deutlicheren Darstellung halber nicht maßstabsgetreu sind. Anschließend wird ein Spülprozeß durchgeführt. Der Einsatz von handelsüblichen Bädern erfolgt unter den vom Hersteller bzw. Lieferanten (Firma ATOTECH) angegebenen Reaktionsbedingungen und -zeiten. After a rinsing process, the activated regions 90 , 92 are metallized by chemical palladium deposition (without current). For this purpose, the element shown in FIG. 11 is immersed in a bath for chemical palladium deposition, such as Pallatect PC. During this method step, a more or less thick component layer 94 is deposited depending on the immersion time, as shown in FIG. 12, the thickness ratios not being to scale for the sake of clarity. A rinsing process is then carried out. Commercial baths are used under the reaction conditions and times specified by the manufacturer or supplier (ATOTECH company).

Nach einer Trocknungsbehandlung (15 Minuten bei 70°C im Ofen) wird die in der Fig. 12 dargestellte Leiterplatte für das Anlöten von Anschlüssen oder weiteren Bauteilen vorbereitet. Es wird die gesamte Oberfläche mit Lötstopplack 96 abgedeckt. Hiernach werden Übergangsstellen 98 von Palladium zu Kupfer durch entsprechende Teilbelichtung der Oberfläche freigestellt (Fig. 13). Die Leiterplatte wird dann ohne weitere Vorbehandlung ca. 20 Minuten in ein chemisches Kupferbad eingebracht, wodurch auf den freigestellten Palladium/Kupfer- Übergangsstellen Kupfer 100 abgeschieden wird (Fig. 14). Durch nochmalige Abdeckung der gesamten Oberfläche mit Lötstopplack 102 und anschließende Freistellung der Lötpads 104, die dann verzinnt werden, wird die in Fig. 15 dargestellte Struktur erhalten. Es können dann in diesem verzinnten Padbereich 104 elektrische Anschlüsse oder Bauteile angelötet werden.After a drying treatment (15 minutes at 70 ° C. in the oven), the printed circuit board shown in FIG. 12 is prepared for soldering connections or other components. The entire surface is covered with solder mask 96 . Thereafter, transition points 98 from palladium to copper are exposed by appropriate partial exposure of the surface ( FIG. 13). The circuit board is then introduced into a chemical copper bath without further pretreatment for about 20 minutes, as a result of which copper 100 is deposited on the exposed palladium / copper transition points ( FIG. 14). The structure shown in FIG. 15 is obtained by covering the entire surface again with solder resist 102 and then releasing the solder pads 104 , which are then tinned. Electrical connections or components can then be soldered in this tinned pad area 104 .

Claims (24)

1. Leiterplatte mit auf einem Substrat vorgesehenen schichtförmigen Leiterbahnen (16, 17, 19, 22, 32, 36, 44) und mit Bauelementen (21, 31, 41), gekennzeichnet durch in Dünnschichttechnik, im Wege chemischer Metallabscheidung, an wenigstens einer Seite der Leiterplatte aufgebrachte Bauelemente (21, 31, 41).1. Printed circuit board with layered conductor tracks ( 16 , 17 , 19 , 22 , 32 , 36 , 44 ) provided on a substrate and with components ( 21 , 31 , 41 ), characterized by thin-film technology, by means of chemical metal deposition, on at least one side components ( 21 , 31 , 41 ) applied to the circuit board. 2. Leiterplatte nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß ein Bauelement (21) ein zwischen Leiterbahnen (17, 22) vorgesehener, insbesondere Mäanderform aufweisender Schichtwiderstand ist.2. Printed circuit board according to claim 1, characterized in that a component ( 21 ) is a between resistor tracks ( 17 , 22 ) provided, in particular meandering sheet resistance. 3. Leiterplatte nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß ein Bauelement (31) ein zwischen Leiterbahnen (32, 36) angeordneter Schichtkondensator mit ineinandergreifenden, gegeneinander isolierten Kondensatorfingern (33, 34) ist.3. Printed circuit board according to claim 1 or 2, characterized in that a component ( 31 ) is a layer capacitor arranged between conductor tracks ( 32 , 36 ) with interlocking, mutually insulated capacitor fingers ( 33 , 34 ). 4. Leiterplatte nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen den Kondensatorfingern (33, 34) ein Dielektrikum vorgesehen ist.4. Printed circuit board according to claim 3, characterized in that a dielectric is provided between the capacitor fingers ( 33 , 34 ). 5. Leiterplatte nach einem oder mehreren der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß ein Bauelement (41) ein Plattenkondensator aus übereinanderliegenden, je eine Leiterbahn (16, 44) kontaktierenden Schichten ist, zwischen denen eine dielektrische und/oder eine Isolierschicht (42) angeordnet ist.5. Printed circuit board according to one or more of the preceding claims, characterized in that a component ( 41 ) is a plate capacitor of superimposed layers, each having a conductor track ( 16 , 44 ) contacting layers, between which a dielectric and / or an insulating layer ( 42 ) is arranged is. 6. Leiterplatte nach einem oder mehreren der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Widerstandsmaterial eines als Schichtwiderstand ausgebildeten Bauelements (21) Palladium ist.6. Printed circuit board according to one or more of the preceding claims, characterized in that the resistance material of a component designed as a sheet resistor ( 21 ) is palladium. 7. Leiterplatte nach einem oder mehreren der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Bauelementeschicht (21, 31, 41, 51) eine Schichtstärke von weniger als 3 µm, vorzugsweise in der Größenordnung von weniger als 1 µm aufweist.7. Printed circuit board according to one or more of the preceding claims, characterized in that the component layer ( 21 , 31 , 41 , 51 ) has a layer thickness of less than 3 µm, preferably of the order of less than 1 µm. 8. Leiterplatte nach einem oder mehreren der vorstehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch eine Schutzlackschicht.8. Printed circuit board according to one or more of the above Claims, characterized by a protective lacquer layer. 9. Leiterplatte nach einem oder mehreren der vorstehenden Ansprüche, gekennzeichnet, durch eine Multilayerstruktur aus wenigstens zwei Leiterplattenlagen (2, 3, 4).9. Printed circuit board according to one or more of the preceding claims, characterized by a multilayer structure comprising at least two printed circuit board layers ( 2 , 3 , 4 ). 10. Leiterplatte nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß an zwei einander zugewandten Oberflächen (2b, 3a; 3b, 4a) benachbarter Leiterplattenlagen (2, 3, 4) in Dünnschichttechnik aufgebrachte Bauelemente (21, 31, 41) angeordnet sind.10. Printed circuit board according to claim 9, characterized in that arranged on two mutually facing surfaces ( 2 b, 3 a; 3 b, 4 a) adjacent circuit board layers ( 2 , 3 , 4 ) in thin-film technology components ( 21 , 31 , 41 ) are. 11. Leiterplatte nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß ihre Leiterplattenlagen (2, 3, 4) mit den darauf vorgesehenen Leiterbahnen (16, 17, 19, 22, 32, 36, 44) und Bauelementen (21, 31, 41) mit einer dazwischen angeordneten Isolierschicht verpreßt sind.11. Printed circuit board according to claim 10, characterized in that its printed circuit board layers ( 2 , 3 , 4 ) with the conductor tracks provided thereon ( 16 , 17 , 19 , 22 , 32 , 36 , 44 ) and components ( 21 , 31 , 41 ) with an insulating layer arranged between them are pressed. 12. Leiterplatte nach einem oder mehreren der vorstehenden Ansprüche, mit einer Vielzahl von Leuchtdioden.12. Printed circuit board according to one or more of the above Claims with a variety of light emitting diodes. 13. Leiterplatte nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Bauelemente Widerstände (51) umfassen, welche Vorwiderstände für die Leuchtdioden bilden.13. Printed circuit board according to claim 12, characterized in that the components comprise resistors ( 51 ) which form series resistors for the light-emitting diodes. 14. Leiterplatte nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Widerstandsbauelemente (51) mäanderförmig vorgesehen sind.14. Printed circuit board according to claim 13, characterized in that the resistance components ( 51 ) are provided in a meandering shape. 15. Leiterplatte nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß die mäandrierenden Widerstandsbauelemente (51) jeweils zwischen den Anschlüssen einer Leuchtdiode auf der Leiterplatte angeordnet sind.15. Printed circuit board according to claim 14, characterized in that the meandering resistance components ( 51 ) are each arranged between the connections of a light emitting diode on the printed circuit board. 16. Leiterplatte nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß jedes mäandrierende Widerstandsbauelement zu zwei Dioden in Reihe geschaltet und im Bereich zwischen deren Anschlüssen auf der Leiterplatte angeordnet ist.16. Printed circuit board according to claim 15, characterized in that each meandering resistance device to two  Diodes connected in series and in the area between them Connections is arranged on the circuit board. 17. Verfahren zur Herstellung einer Leiterplatte nach einem oder mehreren der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Substrat (60) durch Einbringen in eine Aktivierungslösung in den Bereichen (90, 92) aktiviert wird, wo Bauelemente hergestellt werden sollen, und daß diese Bauelemente durch anschließendes Einbringen des Substrats in ein Bad zur chemischen Metallabscheidung durch Abscheiden einer Metallschicht (94) gebildet werden.17. A method for producing a printed circuit board according to one or more of the preceding claims, characterized in that the substrate ( 60 ) is activated by introduction into an activation solution in the areas ( 90 , 92 ) where components are to be produced, and that these components by subsequently introducing the substrate into a bath for chemical metal deposition by depositing a metal layer ( 94 ). 18. Verfahren nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, daß die Metallschicht mit einer Dicke von weniger als 3 vorzugsweise von weniger als 1 µm ausgebildet wird.18. The method according to claim 17, characterized in that the metal layer with a thickness of less than 3 is preferably formed of less than 1 micron. 19. Verfahren nach Anspruch 17 oder 18, dadurch gekennzeichnet, daß es sich bei dem Metall um Palladium handelt.19. The method according to claim 17 or 18, characterized characterized in that the metal is palladium acts. 20. Verfahren nach einem der Ansprüche 17 bis 19, dadurch gekennzeichnet, daß eine kupferkaschierte Substratplatte als Ausgangsmaterial verwendet wird, auf deren Oberfläche in Photodruck/Ätztechnik Kupferleiterbahnen gebildet werden. 20. The method according to any one of claims 17 to 19, characterized characterized in that a copper-clad substrate plate is used as the starting material on its surface Copper printed conductors formed in photo printing / etching technology will.   21. Verfahren nach einem der Ansprüche 17 bis 20, dadurch gekennzeichnet, daß das bereichsweise Aktivieren durch Abdecken der übrigen Bereiche mit einer im Photodruck erzeugten Photoresistschicht (72) durchgeführt wird.21. The method according to any one of claims 17 to 20, characterized in that the activation in regions is carried out by covering the remaining regions with a photoresist layer ( 72 ) produced in photo printing. 22. Verfahren nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, daß die Photoresistabdeckung (72) vor Einbringen des Substrats in das Bad zur Aktivierung der Leiterbahnanschlußbereiche entfernt, insbesondere abgestrippt wird.22. The method according to claim 21, characterized in that the photoresist cover ( 72 ) is removed, in particular stripped, before the substrate is introduced into the bath in order to activate the interconnect connection regions. 23. Verfahren nach einem der Ansprüche 17 bis 22, dadurch gekennzeichnet, daß ein zweistufiger Aktivierungsprozeß angewandt wird.23. The method according to any one of claims 17 to 22, characterized characterized that a two-step activation process is applied. 24. Verfahren nach Anspruch 23, dadurch gekennzeichnet, daß zuerst die Substratbereiche (90) und anschließend die Leiterbahnanschlußbereiche (92), wo Bauelementematerial abgeschieden werden soll, aktiviert werden.24. The method according to claim 23, characterized in that first the substrate areas ( 90 ) and then the interconnect connection areas ( 92 ), where component material is to be deposited, are activated.
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