DE19539865A1 - Durchlauf-Galvanikanlage - Google Patents
Durchlauf-GalvanikanlageInfo
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Description
Die Erfindung betrifft eine Galvanikanlage gemäß dem Oberbegriff des
Patentanspruchs 1.
Eine derartige Galvanikanlage ist aus der DE 44 05 741 C1 bekannt.
Die Verwendung von unlöslichen Anoden in der vorbekannten Durchlauf-Galvanikanlage
erfordert, daß der Elektrolyt mit den zur Beschichtung
des Galvanikgutes vorgesehenen Metallionen angereichert wird. Dies soll
bei der Lösung nach dem Stand der Technik bei der Verwendung von
unlöslichen Anoden dadurch geschehen, daß ein Redoxmittel eingesetzt
wird, dessen oxidierte Stufe im Regenerierraum vorliegt und dort die
Auflösung des Metalles und somit die Metallanreicherung des
Elektrolyten bewirkt. Die Auflösung des Metalles erfolgt somit
außerhalb der elektrolytischen Zelle durch Zugabe eines nicht näher
spezifizierten, speziellen elektrochemischen Reagens.
Bei der vorbekannten Lösung entstehen Zersetzungsprodukte der dort
eingesetzten Prozeßorganik u. a. an zwei Stellen: an den unlöslichen
Anoden der elektrolytischen Zelle und durch den zur Anodenlösung
verwendeten Zusatzstoff. Beide Oxidationsschritte sind nicht voll
ständig zu elektrochemisch inerten Stoffen und sind darüber hinaus vom
Umfang her nicht vorhersehbar und analytisch nur aufwendig zu
bestimmen. Aus diesem Grund müssen mit einem aufwendigen Aktivkohle
filter sowohl die Zersetzungsprodukte als auch die nicht zerstörte noch
vorhandene Prozeßorganik entfernt werden und anschließend die Prozeß
organik über eine definierte Zugabe erneut eingestellt werden.
Es ist daher Aufgabe der Erfindung, eine Durchlauf-Galvanikanlage so
auszubilden, daß ohne einen solchen Zusatzstoff (z. B. Redoxmittel)
ausgekommen werden kann und dennoch unlösliche Anoden eingesetzt werden
können.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß gemäß dem kennzeichnenden Teil des
Patentanspruchs 1 gelöst.
Der Grundgedanke der Erfindung besteht also darin, im Regenerierraum
mit einer löslichen Anode zur Metallanreicherung und einer Hilfskathode
zu arbeiten, wobei durch geeignete Mittel sichergestellt wird, daß
keine Abscheidung der Metallionen an der Hilfskathode auftritt.
Eine Weiterbildung der erfindungsgemäßen Lösung sieht vor, daß die
unlöslichen Anoden der elektrolytischen Zelle sich in einem Hilfs
anolyten befinden, der vom Elektrolyten über anionen-undurchlässige
Diaphragmen abgetrennt ist. Damit sind gegenüber der Verwendung von
löslichen Anoden auftretende, nachteilige Wirkungen des Einsatzes von
unlöslichen Anoden vermeidbar, insbesondere können die in der Anoden
reaktion ablaufenden Abbauprozesse der Prozeßorganik wie z. B. Glanz
zusatz und Netzmittel verhindert werden, deren möglichst definierter
Ersatz der Hauptgegenstand der Maßnahmen bei der gattungsgemäßen Lösung
ist. Die prinzipielle Reduzierung von Abbaureaktionen der Prozeßorganik
macht das Verfahren, wie sie in der erfindungsgemäßen Galvanikanlage
durchgeführt wird, somit wirtschaftlicher und verfahrenstechnisch
leichter beherrschbar, da nicht erforderliche Prozeßorganik auch nicht
durch aufwendige Maßnahmen im Elektrolysekreislauf "entsorgt" werden
muß.
Eine weitere Ausbildung der erfindungsgemäßen Galvanikanlage sieht vor,
daß zum Betrieb des Stromkreises des Galvanikbades Verfahren angewendet
werden, wie sie in Galvanikbädern mit löslichen Anoden beispielsweise
in der GB-22 14 520 A beschrieben wurden, also insbesondere das so
genannte "puls-plating"-Verfahren oder "periodic revers plating", oder
beliebige Kombinationen dieser Verfahren mit der gewünschten Vorgabe
der positiven und negativen Spannungen unabhängig voneinander. Damit
können die Beschichtungsergebnisse verbessert werden, die Anwendung
dieses Verfahrens ermöglicht auch die Verwendung von hohen
Stromstärken, was sich seinerseits vorteilhaft auf die
Abscheidegeschwindigkeit bzw. die Dauer des Galvanikbades auswirkt.
Insgesamt gesehen arbeitet die erfindungsgemäße Durchlauf-Galvanik
anlage daher sehr effektiv und einfach, da insbesondere die lösliche
Anode einfach dadurch regeneriert werden kann, daß beispielsweise
Kupferkugeln nachgefüllt werden, wenn der Regenerierraum im leichten
Zugriffsbereich sich befindet. Man wird daher unabhängig von der
speziellen Struktur und Ausbildung des eigentlichen Galvanikbades mit
den Vorteilen eines kontinuierlichen Betriebs und leichter Über
wachungsmöglichkeiten des Kupferionengleichgewichts im Elektrolyten.
Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen, insbesondere der verwendeten
Diaphragmen, sind Unteransprüchen zu entnehmen.
Ein Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Lösung wird anhand der
Zeichnung näher erläutert:
In einer Galvanikzelle A befindet sich in bekannter Weise eine Kathode
1, die von dem metallisch zu beschichtenden Gegenstand gebildet wird,
beispielsweise eine zu verkupfernde Leiterplatte. An dessen Oberfläche
lagern sich folglich die mit eingekreisten Pluszeichen symbolisch
gekennzeichneten Metallionen an (im Beispiel Kupferionen Cu2+).
Die zugehörigen unlöslichen Anoden 3 befinden sich nicht im
Metallsalzelektrolyten 9 (im Beispiel ein saures Kupferbad), sondern in
einem Hilfsanolyten 4. Zur Trennung des Elektrolyten 9 vom Hilfs
anolyten 4 dient ein Anodendiaphragma 2, das anionen-undurchlässig
ausgebildet ist.
In einem Regenerierraum B befindet sich ebenfalls Elektrolytflüssigkeit
9, die mittels einer Pumpe 10 in einem kontinuierlichen Kreislauf
zwischen Galvanikzelle A und Regenerierraum B gehalten wird.
Im Regenerierraum B wird der "Verlust" an Metallionen, die sich an der
Kathode zur Beschichtung niederschlagen, zumindest teilweise ersetzt,
und zwar mit Hilfe einer löslichen Anode 5, die in der Zeichnung als
Anodenkorb mit Kupferkugeln dargestellt ist. Ebenfalls im
Regenerierraum B befindet sich eine Hilfskathode 7, die von einem
Hilfskatholyten 8 umgeben ist. Zur Trennung des Hilfskatholyten 8 vom
Metallsalzelektrolyten 9 dient ein metallionen-undurchlässiges
Diaphragma 6, wodurch verhindert wird, daß die Metallionen sich an der
Hilfskathode 7 anlagern, was durch den umkehrenden Pfeil symbolisiert
sein soll.
Dadurch wird insgesamt erreicht, daß die von der löslichen Anode 5 zur
Verfügung gestellten Metallionen nahezu vollständig in die
Galvanikzelle A gelangen, um sich dort an dem zu beschichtenden
Gegenstand als metallischer Überzug abzulagern. Von besonderem Vorteil
ist diese Lösung dann, wenn statt der im Ausführungsbeispiel gezeigten
vertikalen Anordnung von Kathode und Hilfsanode im Galvanikraum A eine
ebenfalls oft eingesetzte horizontale, schichtartige Anordnung dieser
Bauteile erfolgt (wie auch bei der gattungsbildenden Druckschrift), was
die unerfreuliche Folge hat, daß bei der Verwendung von löslichen
Anoden im Galvanikbad aufwendige Maßnahmen erforderlich sind (verbunden
mit erheblichen Stillstandzeiten), um erschöpfte lösliche Anoden zu
ersetzen. Da ein solcher Ersatz bei der erfindungsgemäßen Lösung
außerhalb der Galvanikzelle schnell und einfach durch Nachlegen von
Kupferkugeln erfolgen kann, wird der kontinuierliche Betrieb auch von
Galvanikanlagen mit horizontal angeordneten Elementen möglich.
Typische Ausführungsbeispiele für die oben in ihrer Wirkung beschrie
benen Komponenten sind folgende:
Der im Regenerierraum eingesetzte Hilfskatholyt 8 besteht typischer weise aus einer Säurelösung der gleichen Säure, die im Elektrolyten 9 verwendet wird, in der gleichen Konzentration. In der Regel enthält der Hilfskatholyt keine Prozeßorganik, abgesehen von einer geringen Menge, die durch das Diaphragma 6 diffundieren kann.
Der im Regenerierraum eingesetzte Hilfskatholyt 8 besteht typischer weise aus einer Säurelösung der gleichen Säure, die im Elektrolyten 9 verwendet wird, in der gleichen Konzentration. In der Regel enthält der Hilfskatholyt keine Prozeßorganik, abgesehen von einer geringen Menge, die durch das Diaphragma 6 diffundieren kann.
Der Hilfsanolyt 4 in der elektrolytischen Zelle A besteht
typischerweise aus der Säure des Elektrolyten 9 in einer ungefähr
gleichen Konzentration, auch hier sind praktisch keine Komponenten der
Prozeßorganik enthalten. Entscheidend ist, daß der Hilfsanolyt somit
verträglich mit der Hilfsanode ist und durch die Wirkung des Diaphragma
2 verhindert wird, daß bestimmte Anionen des Elektrolyten 9 im
Hilfsanolyten sind und es dort durch entsprechende Abscheidungen zu
einer unerwünschten Gasentwicklung, beispielsweise von Chlorgas, kommt.
Im Falle der Kupferelektrolyse, wie sie bevorzugt für die Beschichtung
von Leiterplatten eingesetzt wird, kann beispielsweise als Elektrolyt 9
eingesetzt werden:
10-35 g/l Kupfer als Kupfersulfat,
150-300 g/l Schwefelsäure,
30-150 mg/l Chlorid,
übliche Mengen an Prozeßorganik bestehend aus Tensiden, Glanzbildern, Glättungszusätzen, Einebnern usw.
150-300 g/l Schwefelsäure,
30-150 mg/l Chlorid,
übliche Mengen an Prozeßorganik bestehend aus Tensiden, Glanzbildern, Glättungszusätzen, Einebnern usw.
Als Material für die Diaphragmen 2 und 6 können Kunststoffgewebe ver
wendet werden, die im Fall des metallionen-undurchlässigen Diaphragmas
6 als Anionentauscher ausgebildet sind, im Fall des anionen-undurch
lässigen Diaphragmas 2 als Kationentauscher. Im ersteren Falle beruht
die Wirkung darauf, daß die Stromleitung durch Anionentransport bewirkt
wird und die Wanderung von Metallionen ausgeschlossen wird, im
letzteren Falle, daß ausschließlich Kationen, insbesondere Protonen,
transportiert werden.
Beim besonders wichtigen Diaphragma 6, das dem grundsätzlichen Ziel
dient, die Metallionen des Elektrolyten 9 von der Hilfskathode 7
fernzuhalten, kann auch ein Diaphragma aus poröser Keramik eingesetzt
werden, dessen Wirkung durch Zugabe geeigneter Chemikalien verbessert
wird; im Falle eines sauren Kupferbades als Elektrolyt kann dieser
Zusatzstoff beispielsweise Kaliumhexacyanoferrat (gelbes Blutlaugesalz)
sein. Die Wirkung dieses Zusatzes besteht darin, daß die störenden
Kupferionen in Form des entsprechenden Kupfersalzes
(Kupferhexacyanoferrat) in den Poren des Diaphragmas ausgefällt werden.
Dies macht das Diaphragma noch wirksamer. Zusätzlich zu der
verbesserten mechanischen Funktion des Diaphragmas werden eventuell
noch verbleibende Kupferionen weggefangen.
Im Falle von Zinn/Bleielektrolyten 9 werden andere Säuren als Elektro
lytsäuren verwendet, beispielsweise Methansulfonsäure oder
Borfluorwasserstoffsäure. In diesem Falle können auch andere Säuren als
Hilfskatholyt verwendet werden oder andere Säuren dieser Elektrolyt
säure zugesetzt werden, wodurch im Prinzip die gleiche Ausfällreaktion
stattfindet (Schwefelsäure fällt das Blei als Bleisulfat aus, Phosphor
säure das Zinn-IV als Zinnsäure oder ähnliche Verbindungen).
Es ist bei der erfindungsgemäßen Lösung relativ einfach, ein
Gleichgewicht von Metallionen im Elektrolyten aufrecht zu erhalten,
d. h. eine möglichst exakte Annäherung der Auflösungsrate im Bereich der
löslichen Anode 5 zur Abscheidungsrate an der Kathode 1. Hierfür kann
entweder ein gemeinsamer Stromkreis für Galvanikbad und Regenerierbad
vorgesehen sein, oder es kann alternativ eine Metallionengehaltsmessung
durchgeführt werden, beispielsweise kann die Färbung des Elektrolyten 9
mit einem geeigneten Sensor (z. B. einer Photozelle) bestimmt werden und
dessen Signal als Regelsignal eines Regelkreises verwendet werden,
dessen Steuergröße beispielsweise die Einschaltdauer der
Stromversorgung im Regenerierbad B ist.
Alternativ hierzu kann auch der Stromverbrauch der beiden Stromkreise
im Galvanikbad A und Regenerierbad B gemessen werden und danach ein
Abgleich über die Einschaltdauer und/oder die Stromstärke erfolgen.
Wie oben erwähnt, werden die zum Abscheideprozeß an dem zu
beschichtenden Galvanikgut 1 benötigten Metallionen vorzugsweise oder
zumindest teilweise im Regenerierbad B durch die beschriebenen Prozesse
gewonnen; infolge der erfindungsgemäßen Ausgestaltung des Hilfsanolyten
4 mit dem zugeordneten Diaphragma 2 eröffnet sich jedoch eine zusätz
liche oder gegebenenfalls auch ausschließliche Möglichkeit, in den
Kathodenraum der Galvanikzelle A zusätzliche Metallionen einzuführen,
wenn dies beispielsweise zur Aufrechterhaltung einer gewünschten
Metallionenkonzentration notwendig erscheint:
Die erfindungsgemäße Lösung geht hierbei von dem Gedanken aus, daß das
anionen-undurchlässige Diaphragma 2, das die unlöslichen Anoden 3
abschirmt, definitionsgemäß für Metallionen durchlässig ist, die dem
Hilfsanolyten 4 zugesetzt werden. In der Zeichnung ist dies schematisch
dargestellt durch einen weiteren Kreislauf, in dem der Hilfsanolyt 4
über einen zweiten Regenerierraum C über eine Pumpe 11 geführt wird. In
diesem Kreislauf können dem Hilfsanolyten 4 Metallkationen bei
spielsweise in Form eines Salzes, eines Hydroxids, eines Oxids oder
eines Karbonats des gewünschten Metalls des Elektrolyten zugesetzt
werden, wobei es je nach konkret verwendetem Regeneriermaterial und der
chemisch physikalischen Zusammensetzung des Gesamtsystems zweckmäßig
sein kann, die Rückführung des Anolyten aus Gründen des Gleichgewichts
im Rückführungskreislauf nur teilweise durchzuführen, d. h., einen Teil
des überlaufenden Hilfsanolyten dem Kreislauf zu entziehen. Dies wird
insbesondere dann der Fall sein, wenn zur beabsichtigten Zuführung der
Metallkationen Metallsalze oder Lösungen von solchen verwendet werden,
die zu einer Anreicherung von Anionen im Hilfsanolyten 4 führen könnten
(die Rückführungsleitung vom rechts angeordneten Hilfsanolyten 4 zum
zweiten Regenerierbehälter C ist aus Gründen der Übersichtlichkeit
nicht eingezeichnet).
Die Bedeutung dieser ergänzend oder auch überwiegend eingesetzten
Methode zur Ergänzung des Metallionenverbrauchs liegt darin, daß die
einsetzbaren Zusatzstoffe (Metallsalze, Metallhydroxide, usw.) nicht
aus Grund- oder Rohstoffen gewonnen werden müssen, sondern durch
allseits bekannte, einfache chemische Reaktionen (Fällung,
Kristallisation) aus Stoffen erzeugt werden können, die beispielsweise
bei der Bearbeitung von Leiterplatten, hier insbesondere bei Ätzpro
zessen, abfallen und deren Verwendung bzw. Entsorgung bisher proble
matisch ist.
Die erfindungsgemäße Lösung eröffnet somit einen Weg, zumindest einen
Teil dieser bisher als Abfall betrachteten Produkte bei der Leiter
plattenverarbeitung wieder dem Beschichtungsprozeß zuzuführen, somit
wird ein Recycling-Weg für das jeweilige Beschichtungsmetall bei der
Leiterplattenherstellung aufgezeigt.
Mit diesem zusätzlichen "Angebot" an Metallionen existieren somit zwei
voneinander weitgehend unabhängige "Versorgungskreisläufe" zur Ein
speisung von Metallionen in den Kathodenraum der Galvanikzelle A; je
nach praktischen Bedürfnissen, beispielsweise Anfall an recyclebaren
Abfallprodukten, können diese beiden Versorgungskreisläufe beispiels
weise durch Steuerung und gegenseitige Angleichung der beiden Pumpen
10, 11 einfach aufeinander abgestimmt werden, so daß ein Kreislauf als
"Hauptversorger" für Metallionen ausgewählt wird und der jeweils andere
Kreislauf dann den noch benötigten Ergänzungsbedarf sicherstellt.
Bei dem in der Figur dargestellten Ausführungsbeispiel dient eine
Gleichspannungsquelle Q zur Spannungs- bzw. Stromversorgung des
Regenerierbades B. Die Stromversorgung von Kathode 1 und Hilfsanoden 3
kann über eine Steuereinheit S erfolgen, die beispielsweise so
aufgebaut sein kann, wie in Fig. 4a der eingangs erwähnten GB 22 14
520 A dargestellt, und die zur Erzeugung eines dort unter Fig. 4c
gezeigten Spannungsverlaufs an Kathode 1 und Hilfsanoden 3 dient, mit
dem eingangs erwähnten Ziel der Verbesserung der Beschichtungsqualität
insbesondere bei profilierten Gegenständen, wie z. B. Leiterplatten mit
Bohrungen. Auch bei der Anwendung dieses Verfahrens auf die Strom- bzw.
Spannungsversorgung unlöslicher Anoden wirkt sich der Verzicht der
erfindungsgemäßen Lösung auf vorbekannte chemische Zusätze wie z. B. die
aus der gattungsgemäßen Druckschrift bekannten Redoxmitteln zur
Regenerierung des Elektrolytmetalls und die Minimierung der
Prozeßorganik positiv aus, da dadurch nicht vorhersehbare physikalische
oder elektrochemische Wechselwirkungen zwischen beispielsweise
gepulsten Spannungen unterschiedlicher Polarität mit den
Molekularstrukturen solcher Zusatzstoffe und der Prozeßorganik bzw.
deren Abfallstoffe zumindest minimiert werden können.
Claims (16)
1. Durchlauf-Galvanikanlage mit einer elektrolytischen Zelle, in der
unlösliche Anoden und der zu beschichtende Gegenstand als Kathode
angeordnet sind, sowie mit einem Regenerierraum außerhalb der
elektrolytischen Zelle, in dem der Metallgehalt des im Kreislauf
geführten Elektrolyten kontinuierlich ergänzt wird,
dadurch gekennzeichnet, daß die Ergänzung des Metallgehaltes des
Elektrolyten (9) zumindest teilweise durch eine lösliche Anode (5)
im Regenerierraum (B) erfolgt, der eine Hilfskathode (7) zugeordnet
ist, die sich in einem Hilfskatholyten (8) befindet, der vom
Elektrolyten (9) über ein Metallionen-undurchlässiges Diaphragma (6)
abgetrennt ist, und daß die unlöslichen Anoden (3) der
elektrolytischen Zelle (A) sich in einem Hilfsanolyten (4) befinden,
der vom Elektrolyten (9) über anionen-undurchlässige Diaphragmen (2)
abgetrennt ist.
2. Durchlauf-Galvanikanlage nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß der Hilfskatholyt (8) aus der gleichen Säure besteht oder diese
beinhaltet wie der Elektrolyt (9).
3. Durchlauf-Galvanikanlage nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß der Hilfsanolyt (4) die Säure des Elektrolyten (9) beinhaltet.
4. Durchlauf-Galvanikanlage nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß der Hilfsanolyt (4) Metallkationen zur Deckung eines von der
löslichen Anode (5) nicht abgedeckten Bedarfs an Metallionen im
Elektrolyten (9) der elektrolytischen Zelle (A) enthält.
5. Durchlauf-Galvanikanlage nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet,
daß der Hilfsanolyt (4) in einem zumindest teilweise geschlossenen
Kreislauf geführt ist, in dem durch das Diaphragma (2) zum zu
beschichtenden Gegenstand (1) diffundierte Metallkationen nach
Bedarf ersetzt werden.
6. Durchlauf-Galvanikanlage nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet,
daß die Rückführung des überlaufenden Hilfsanolyten (4) zu einem
Regenerierbehälter (C) nicht vollständig erfolgt, wenn zur Ergänzung
von Metallkationen solche Metallverbindungen zugesetzt werden, die
zu einer Anreicherung von Anionen im Hilfsanolyten (4) führen
würden.
7. Verfahren zum Betrieb einer Durchlauf-Galvanikanlage nach den vor
hergehenden Ansprüchen, dadurch gekennzeichnet, daß die dem Hilfs
anolyten zugesetzten Metallionen aus Verbindungen des Beschichtungs
metalls stammen, die ihrerseits aus Neben- oder Abfallprodukten z. B.
bei Ätzprozessen der Leiterplattenproduktion gewonnen werden.
8. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Metall
verbindung ein Kupfersalz der im Elektrolyt verwendeten Säure ist
oder durch Zugabe der entsprechenden Säure entsteht, wie z. B.
Kupfersulfat und/oder Kupferhydroxid und/oder Kupferoxid und/oder
Kupferkarbonat.
9. Durchlauf-Galvanikanlage nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß das metallionen-undurchlässige Diaphragma (6) ein Kunststoff
gewebe ist.
10. Durchlauf-Galvanikanlage nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß das metallionen-undurchlässige Diaphragma (6) aus einem porösen
Keramikmaterial besteht.
11. Durchlauf-Galvanikanlage nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet,
daß im Hilfskatholyten (8) chemische Zusatzstoffe enthalten sind,
die das Metall des Elektrolyten als schwer lösliches Salz ausfällen,
das die Öffnungen des Diaphragmas (6) abdichtet und Metallionen
abfängt.
12. Durchlauf-Galvanikanlage nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet,
daß das anionen-undurchlässige Diaphragma (2) ein Kunststoffgewebe
ist, das als Kationentauscher ausgebildet ist.
13. Durchlauf-Galvanikanlage nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß der Stromkreis - unlösliche Anode (3) - Elektrolyt (9) - zu
beschichtender Gegenstand (1) wechselstrombetrieben ist, wobei die
positiven und negativen Spannungswerte unabhängig voneinander
eingestellt (Periodic Reverse Plating) und/oder einzeln oder
gemeinsam mit hoher Frequenz gepulst werden (Pulse Plating).
14. Durchlauf-Galvanikanlage nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß der Stromkreis Hilfskathode (7) - Elektrolyt (9) - lösliche
Anode (5) gleichstrombetrieben ist.
15. Durchlauf-Galvanikanlage nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet,
daß das Verhältnis des Anodenstroms zum Kathodenstrom zwischen 2 und
10 liegt.
16. Durchlauf-Galvanikanlage nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet,
daß das Verhältnis der Einschaltdauer des Anodenstroms zur Ein
schaltdauer des Kathodenstroms zwischen 0,3 und 0,01 liegt.
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Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1264918A1 (de) * | 2001-06-07 | 2002-12-11 | Shipley Co. L.L.C. | Verfahren zur elektrolytischen Kupferplatierung |
| WO2003002784A3 (en) * | 2001-06-29 | 2004-07-01 | De Nora Elettrodi Spa | Electrolysis cell for restoring the concentration of metal ions in electroplating processes |
| DE10341998A1 (de) * | 2003-09-04 | 2005-03-31 | Gramm Gmbh & Co. Kg | Vorrichtung und Verfahren zur Oberflächenbehandlung von Werkstücken in einem Kreislaufsystem |
| EP2548998A1 (de) * | 2011-07-20 | 2013-01-23 | Enthone Inc. | Vorrichtung zur elektrochemischen Abscheidung eines Metalls |
| DE102012024758A1 (de) | 2012-12-18 | 2014-06-18 | Maschinenfabrik Niehoff Gmbh & Co Kg | Vorrichtung und Verfahren zum elektrolytischen Beschichten eines Gegenstandes |
| CN105755510A (zh) * | 2015-12-14 | 2016-07-13 | 南京航空航天大学 | 一种带镍离子补充装置的电铸镍系统及其工作方法 |
| EP3344802A4 (de) * | 2015-09-02 | 2019-05-22 | Applied Materials, Inc. | Elektroplattierungsprozessor mit thief-stromelektrode |
| EP3875639A1 (de) * | 2020-03-04 | 2021-09-08 | AT & S Austria Technologie & Systemtechnik Aktiengesellschaft | Verfahren zum herstellen von leiterplatten- und/oder substraten innerhalb eines wertstoffkreislaufs |
| US11174564B2 (en) * | 2018-10-31 | 2021-11-16 | Unison Industries, Llc | Electroforming system and method |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6079368B2 (ja) * | 2013-03-28 | 2017-02-15 | 三菱マテリアル株式会社 | Sn合金めっき方法及びSn合金めっき液のリサイクル方法、並びにこれらの装置 |
| CN116024634A (zh) * | 2022-09-26 | 2023-04-28 | 深圳崇达多层线路板有限公司 | 电镀装置及应用 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2214520A (en) * | 1988-01-27 | 1989-09-06 | Jct Controls Ltd | Electrochemical processes using independently controlled voltages in alternation |
| US5100517A (en) * | 1991-04-08 | 1992-03-31 | The Goodyear Tire & Rubber Company | Process for applying a copper layer to steel wire |
| DE4405741C1 (de) * | 1994-02-23 | 1995-06-01 | Atotech Deutschland Gmbh | Verfahren zur elektrolytischen Abscheidung von Metallen aus Elektrolyten mit Prozeßorganik |
| DE4221970C2 (de) * | 1992-06-30 | 1996-01-18 | Atotech Deutschland Gmbh | Verfahren zur Vermeidung der Halogengasentwicklung in Metallabscheidungsbädern mit mindestens zwei Elektrolyträumen |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| ZA703750B (en) * | 1969-06-06 | 1971-01-27 | Australian Iron And Steel Ltd | Addition of metal ions to plating bath |
| GB1558169A (en) * | 1975-07-03 | 1979-12-19 | Albright & Wilson | Chromium electroplating |
| FR2479856A1 (fr) * | 1980-04-04 | 1981-10-09 | Electricite De France | Installation de traitement de surface par depot metallique et procede de regeneration des bains de depot metallique par voie electrolytique |
| US4469564A (en) * | 1982-08-11 | 1984-09-04 | At&T Bell Laboratories | Copper electroplating process |
| JPH04320088A (ja) * | 1991-04-18 | 1992-11-10 | Cmk Corp | プリント配線板の製造方法 |
-
1995
- 1995-10-26 DE DE1995139865 patent/DE19539865A1/de not_active Withdrawn
-
1996
- 1996-10-11 WO PCT/DE1996/001936 patent/WO1997015704A2/de not_active Ceased
- 1996-10-11 EP EP96945489A patent/EP0801692A2/de not_active Withdrawn
- 1996-10-11 JP JP9512202A patent/JPH10511743A/ja active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2214520A (en) * | 1988-01-27 | 1989-09-06 | Jct Controls Ltd | Electrochemical processes using independently controlled voltages in alternation |
| US5100517A (en) * | 1991-04-08 | 1992-03-31 | The Goodyear Tire & Rubber Company | Process for applying a copper layer to steel wire |
| DE4221970C2 (de) * | 1992-06-30 | 1996-01-18 | Atotech Deutschland Gmbh | Verfahren zur Vermeidung der Halogengasentwicklung in Metallabscheidungsbädern mit mindestens zwei Elektrolyträumen |
| DE4405741C1 (de) * | 1994-02-23 | 1995-06-01 | Atotech Deutschland Gmbh | Verfahren zur elektrolytischen Abscheidung von Metallen aus Elektrolyten mit Prozeßorganik |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| Law, Tierney in Plating and Surface Finishing, 1987 (4), S. 74-77 * |
Cited By (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1264918A1 (de) * | 2001-06-07 | 2002-12-11 | Shipley Co. L.L.C. | Verfahren zur elektrolytischen Kupferplatierung |
| US6835294B2 (en) | 2001-06-07 | 2004-12-28 | Shipley Company, L.L.C. | Electrolytic copper plating method |
| WO2003002784A3 (en) * | 2001-06-29 | 2004-07-01 | De Nora Elettrodi Spa | Electrolysis cell for restoring the concentration of metal ions in electroplating processes |
| RU2302481C2 (ru) * | 2001-06-29 | 2007-07-10 | Де Нора Элеттроди С.П.А. | Электролизная ячейка для восполнения концентрации ионов металлов в способах электроосаждения |
| DE10341998A1 (de) * | 2003-09-04 | 2005-03-31 | Gramm Gmbh & Co. Kg | Vorrichtung und Verfahren zur Oberflächenbehandlung von Werkstücken in einem Kreislaufsystem |
| EP2548998A1 (de) * | 2011-07-20 | 2013-01-23 | Enthone Inc. | Vorrichtung zur elektrochemischen Abscheidung eines Metalls |
| WO2013013119A1 (en) * | 2011-07-20 | 2013-01-24 | Enthone Inc. | Apparatus for electrochemical deposition of a metal |
| WO2014094998A1 (de) | 2012-12-18 | 2014-06-26 | Maschinenfabrik Niehoff Gmbh & Co. Kg | Vorrichtung und verfahren zum elektrolytischen beschichten eines gegenstandes |
| DE102012024758A1 (de) | 2012-12-18 | 2014-06-18 | Maschinenfabrik Niehoff Gmbh & Co Kg | Vorrichtung und Verfahren zum elektrolytischen Beschichten eines Gegenstandes |
| RU2635058C2 (ru) * | 2012-12-18 | 2017-11-08 | Машиненфабрик Нихофф Гмбх Унд Ко. Кг | Устройство и способ нанесения электролитического покрытия на объект |
| US10047449B2 (en) | 2012-12-18 | 2018-08-14 | Maschinenfabrik Niehoff Gmbh & Co. Kg | Device and method for electrolytically coating an object |
| DE102012024758B4 (de) | 2012-12-18 | 2024-02-01 | Maschinenfabrik Niehoff Gmbh & Co Kg | Vorrichtung und Verfahren zum elektrolytischen Beschichten eines Gegenstandes und deren Verwendung |
| EP3344802A4 (de) * | 2015-09-02 | 2019-05-22 | Applied Materials, Inc. | Elektroplattierungsprozessor mit thief-stromelektrode |
| CN105755510A (zh) * | 2015-12-14 | 2016-07-13 | 南京航空航天大学 | 一种带镍离子补充装置的电铸镍系统及其工作方法 |
| CN105755510B (zh) * | 2015-12-14 | 2018-12-07 | 南京航空航天大学 | 一种带镍离子补充装置的电铸镍系统及其工作方法 |
| US11174564B2 (en) * | 2018-10-31 | 2021-11-16 | Unison Industries, Llc | Electroforming system and method |
| EP3875639A1 (de) * | 2020-03-04 | 2021-09-08 | AT & S Austria Technologie & Systemtechnik Aktiengesellschaft | Verfahren zum herstellen von leiterplatten- und/oder substraten innerhalb eines wertstoffkreislaufs |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| WO1997015704A3 (de) | 1997-07-10 |
| JPH10511743A (ja) | 1998-11-10 |
| WO1997015704A2 (de) | 1997-05-01 |
| EP0801692A2 (de) | 1997-10-22 |
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