DE19532755C1 - Chipmodul, insbesondere für den Einbau in Chipkarten, und Verfahren zur Herstellung eines derartigen Chipmoduls - Google Patents

Description

Chipkarten, die häufig auch als Wertkarten bezeichnet werden und beispielsweise als Telefonkarten oder Identifikationskar­ ten dienen, bestehen aus einem Kartenkörper und einem in den Kartenkörper eingebrachten Chipmodul. Zur Bildung des Chipmo­ duls wird der eigentliche Chip auf ein Verdrahtungselement kontaktiert, welches meist vergoldete und relativ großflä­ chige Kontaktflächen besitzt. Das Chipmodul wird dann so in den Kartenkörper eingebaut, daß die Kontaktflächen auf einer Oberfläche der Chipkarte liegen und dadurch eine externe Kontaktierung des implantierten Chips ermöglichen.

Für die Kontaktierung des Chips auf das Verdrahtungselement werden im wesentlichen die TAB-Technik (Tape Automated Bon­ ding) und die Draht-Bond-Technik angewandt (vergleiche Hand­ buch der Chipkarten, 1995, Carl Hanser Verlag München Wien, Seiten 31, 32).

Bei der TAB-Technik werden zunächst auf die Anschlußflächen der Chips metallische Höcker galvanisch aufgebracht. Als Verdrahtungselement dient hier der sogenannte Spider, dessen über einen Trägerfilm überstehende Leiterbahnen durch Löten oder Thermokompression mit den zugeordneten Höckern des Chips verbunden werden. Die aktive Fläche des Chips wird dann noch durch eine Abdeckung mit Kunststoff gegen Umwelteinflüsse geschützt. Der Vorteil des TAB-Verfahrens liegt in der hohen mechanischen Belastbarkeit der Chipanschlüsse und in der geringen Bauhöhe des Chipmoduls. Andererseits ergeben sich durch die aufwendige Höckererzeugung auf dem Chip höhere Kosten als bei den in Draht-Bond-Technik hergestellten Chip­ modulen.

Bei der am weitesten verbreiten Draht-Bond-Technik dient als Verdrahtungselement wieder eine Kunststoffolie, auf deren Vorderseite die für eine externe Kontaktierung vorgesehenen Kontaktflächen galvanisch aufgebracht sind. Zur Aufnahme des Chips und der Drahtverbindungen sind Löcher aus dem Träger­ film ausgestanzt. Der Chip wird nun in die vorgesehene Aus­ stanzung von der Rückseite auf der Leiterbahn befestigt. An­ schließend werden die Chipanschlüsse mit dünnen Drähten mit der Rückseite der Kontakte verbunden. Zum Schluß werden der Chip und die Bond-Drähte durch eine Abdeckung mit Kunststoff gegen Umwelteinflüsse geschützt. Der Vorteil des Draht-Bond- Verfahrens liegt darin, daß es sich weitgehend an das in der Halbleiterindustrie übliche Verfahren zur Verpackung von Chips in Standardgehäusen anlehnt und preisgünstiger ist als das TAB-Verfahren.

Weitere Anwendungsformen der TAB-Technik gehen aus der CH 654 143 A5 und der FR 2 584 235 A1 hervor. Weitere Anwendungsfor­ men der Draht-Bond-Technik gehen aus der JP 3-51196 A2 (Abstract) und der JP 63-258050 A2 (Abstract) hervor.

In der CH 661 816 A5 ist ein Verdrahtungselement beschrieben, bei welchem auf einem Filmstreifen mehrere Leiterbahnen ange­ ordnet sind, die auf einer Seite in ebene Kontaktflächen für eine externe Kontaktierung münden. Die anderen Enden der Lei­ terbahnen werden entweder direkt durch Löten oder Kleben oder mittels Drahtkontaktierung mit den zugeordneten Anschlüssen eines Chips verbunden. Bei dem aus der FR 2 584 235 A1 be­ kannten (Flip-Chip)-Verfahren liegen die Kontaktstellen für die Chip-Montage jeweils innerhalb des Bereichs der zugeordneten Kontaktfläche für die externe Kontaktierung.

Aus der JP 55-26613 A2 (Abstract) ist ein beidseitig mit ei­ ner Transportperforation versehenes Trägerband für Chips be­ kannt, bei welchem die Leiterstrukturen und die Perforation durch beidseitiges Ätzen aus einer Metallfolie herausgebildet werden. In der Umgebung der Chipkontakte des Trägerbandes wird die Metallfolie durch einseitigen Ätzangriff auf die halbe Stärke reduziert, so daß die Chipkontakte höckerförmig hervorstehen. Nach dem Verzinnen der gesamten Metallfolie entsteht durch den Verzicht auf Folien aus organischem Mate­ rial ein gegen Einwirkung von Hitze unempfindliches Träger­ band für Chips.

Der in den Ansprüchen 1 und 21 angegebenen Erfindung liegt das Problem zugrunde, ein für den Einbau in Chipkarten geeigne­ tes Chipmodul zu schaffen, das im Vergleich zur TAB-Technik und insbesondere im Vergleich zur Draht-Bond-Technik kosten­ günstig hergestellt werden kann und genügend stabil ist, um die Weiterverarbeitung zur fertigen Chipkarte und die spätere Gebrauchsbelastung schadlos zu überstehen.

Der Erfindung liegt die Erkenntnis zugrunde, daß aus einem Metallblech mit geringem Aufwand eine Metallstruktur heraus­ geätzt werden kann, die auf der Vorderseite ein großflächiges Kontaktfeld für die spätere externe Kontaktierung trägt und auf der Rückseite höckerförmig hervorstehende Chipkontakte für die Kontaktierung des Chips aufweist. Voraussetzung für Chip- und Kontaktlayout ist dabei lediglich, daß jeder Chip­ kontakt innerhalb des zugehörigen großflächigen Kontaktes liegt. Ausgangsmaterial für die Metallstruktur ist ein Me­ tallblech, das nur ätzbar und metallisierbar sein muß und im übrigen hinsichtlich der Materialart und der Härte optimal auf den Anwendungsfall abgestimmt werden kann. Die Dicke des Metallblechs kann beispielsweise bei 200 µ Metern liegen. Zur Kontaktierung kann die Metallstruktur im Nutzen oder im Bandformat gefertigt werden.

Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind in den Unter­ ansprüchen angegeben.

Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in der Zeichnung dargestellt und werden im folgenden näher beschrieben.

Es zeigen

Fig. 1 eine Draufsicht auf die externen Kontaktflächen eines für den Einbau in Telefonkarten geeigneten Chipmoduls,

Fig. 2 einen Schnitt gemäß der Linie II-II der Fig. 1,

Fig. 3 die Herstellung einer erfindungsgemäßen Metallstruk­ tur aus einem Metallblech vor dem Ätzen,

Fig. 4 die in Fig. 3 dargestellte Anordnung nach dem Ätzen und nach dem Entschichten der Metallstruktur,

Fig. 5 die Metallstruktur gemäß Fig. 4 nach dem Auflaminie­ ren auf eine Klebefolie,

Fig. 6 das Aufbringen eines Klebers auf die in Fig. 5 dar­ gestellte Struktur,

Fig. 7 die Struktur gemäß Fig. 6 nach dem Aufbringen eines Chips mittels Flipchip-Klebens,

Fig. 8 die Metallstruktur gemäß Fig. 4 nach dem Aufbringen eines Chips mittels Flipchip-Lötens,

Fig. 9 die Anordnung gemäß Fig. 8 nach dem Hinterfüllen der Zwischenräume mit einem Gießharz,

Fig. 10 eine Variante der in Fig. 4 dargestellten Metall­ struktur nach der Drahtkontaktierung eines auf die Rückseite aufgeklebten Chips,

Fig. 11 eine Anordnung gemäß Fig. 10 nach dem Schutz der Drähte durch eine Abdeckung,

Fig. 12 eine durch Aufpressen einer Kunststoffschicht auf die in Fig. 4 dargestellte Metallstruktur gebildete Platte,

Fig. 13 die Platte gemäß Fig. 12 nach dem Galvanisieren der freiliegenden Metallflächen,

Fig. 14 eine Platte gemäß Fig. 13 nach dem Aufbringen eines Chips mittels Flipchip-Klebens,

Fig. 15 die Platte gemäß Fig. 13 nach dem Aufbringen eines Chips mittels Flipchip-Lötens und

Fig. 16 eine Platte ähnlich Fig. 13 nach der Drahtkontak­ tierung und Abdeckung eines auf die Rückseite aufge­ brachten Chips.

Die Fig. 1 und 2 zeigen in der Draufsicht bzw. im Quer­ schnitt ein Chipmodul, bei welchem sich das Chip- und Kon­ taktlayout am Layout einer heutigen Telefonkarte orientiert. Insbesondere im Querschnitt gemäß Fig. 2 ist eine Metall­ struktur MS1 zu erkennen, welche auf der Vorderseite ebene Kontaktflächen KF für eine externe Kontaktierung und auf der Rückseite höckerförmig hervorstehende Chipkontakte CK1 be­ sitzt. In der schematischen Darstellung gemäß Fig. 1 sind zur Verdeutlichung des Chip- und Kontaktlayouts die Umrißli­ nien eines Chips C1 und die den Chipkontakten CK1 zugeordne­ ten Chipanschlüsse CA1 des Chips C1 sichtbar, d. h. durch ausgezogene Linien dargestellt. Es ist zu erkennen, daß jeder Chipkontakt CK1 bzw. Chipanschluß CA1 innerhalb des Bereichs einer zugeordneten Kontaktfläche KF liegt, d. h. die Chipkon­ takte CK1 befinden sich jeweils auf der Rückseite der zuge­ ordneten, wesentlich größeren Kontaktflächen KF. Fig. 2 zeigt auch noch, daß der Chip C1 mittels Flipchip-Kleben mit der Metallstruktur MS1 verbunden ist, wobei der Kleber mit K bezeichnet ist. Weitere Einzelheiten des Flipchip-Klebens werden an späterer Stelle anhand der Fig. 6 und 7 näher erläutert.

Bei der Herstellung einer erfindungsgemäßen Metallstruktur MS1 wird von einem Metallblech MB ausgegangen, das beispiels­ weise 200 µ Meter dick ist und aus ätz- und metallisierbarem Material bestehen muß. Seine Materialart und Härte kann im übrigen optimal im Hinblick auf den Anwendungsfall bzw. im Hinblick auf die geforderte Stabilität und die Kosten ausge­ wählt werden. Das Metallblech MB wird beidseitig mit einem Fotolack oder mit einer Fotofolie beschichtet und anschlie­ ßend beidseitig belichtet; auf der einen Seite mit dem Muster der Kontaktflächen KF und auf der anderen Seite mit dem Muster der Chipkontakte CK1. Nach dem Entwickeln verbleibt gemäß Fig. 3 auf beiden Seiten des Metallblechs MB ein Ätzresist AR, welches auf der in Fig. 3 unten dargestellten Vorderseite das Muster der Kontaktflächen KF und auf der gegenüberliegenden Rückseite das Muster der Chipkontakte CK1 besitzt. Als nächster Schritt erfolgt ein beidseitiges Ätzen, wobei die Ätztiefe je nach Wunsch von beiden Seiten gleich oder unterschiedlich sein kann. Nach dem Entfernen des Ätzre­ sist AR verbleibt die in Fig. 4 dargestellte Metallstruktur MS1 mit den Kontaktflächen KF auf der hier unten liegenden Vorderseite und den höckerförmig hervorstehenden Chipkontak­ ten CK1 auf der Rückseite. Die Metallstruktur MS1 ist über in der Zeichnung nicht dargestellte Stege an den großen Flächen mit einem ebenfalls nicht dargestellten Hilfsrahmen verbunden und wird dadurch zusammengehalten.

Als nächster Schritt erfolgt das Galvanisieren der Metall­ struktur MS1 mit der gewünschten, in der Fig. 4 nicht er­ kennbaren Kontaktoberfläche. Als Kontaktoberfläche ist bei­ spielsweise eine Nickel/Gold-Schicht geeignet.

Gemäß Fig. 5 wird anschließend die Metallstruktur MS1 tempo­ rär auf eine insgesamt mit KFO bezeichnete Klebefolie aufka­ schiert. In diesem Stadium ist das dargestellte Gebilde bereit für die Chipkontaktierung, die besonders vorteilhaft in Flipchip-Technik durchgeführt wird, einer Montageart, bei der eine Direktkontaktierung der Chipanschlüsse CA1 mit den Chipkontakten CK1 der Metallstruktur MS1 stattfindet.

Von Bedeutung für eine Anwendung der Flipchip-Technik ist eine Veredelung der Chipanschlüsse CA1, für die es heute, im Vergleich zu bisher, einfache Verfahren gibt. Sie arbeiten mit stromloser Metallabscheidung und benötigen keine teuren vakuum- und fototechnischen Prozesse. Eine derartige Padver­ edelung versieht die Chipanschlüsse CA1 zum Beispiel mit einer Nickel/Gold-Schicht von gewünschter Dicke, die sowohl für eine Klebverbindung, als auch für eine Lötung geeignet ist.

Beim Flipchip-Kleben wird zunächst gemäß Fig. 6 aus einer oberhalb der Metallstruktur MS1 angeordneten Düse D ein Klebstoff K auf die hier oben liegende Rückseite der Metall­ struktur MS1 aufgetragen. Der Kleber K breitet sich dabei in alle Zwischenräume aus, wobei ein Fließen auf die Kontaktflä­ chen KF durch die Klebefolie KFO verhindert wird. Im nächsten Schritt erfolgt das Positionieren eines Chips C1 auf den Einbauplatz und eine Aushärtung des Klebstoffs K unter Druck und Temperatur. Je nach Topfzeit und Härtebedingungen des Klebstoffs K können kostengünstige Vielfachbehandlungen im Nutzen, zum Beispiel bei Auftrag und Endhärtung, angewandt werden. Durch die Schrumpfkräfte des ausgehärteten Klebstoffs K entsteht eine feste mechanische Verbindung von Chip C1 und Metallstruktur MS1 mit elektrischen Andruckkontakten zwischen den Chipanschlüssen CA1 und den zugeordneten Chipkontakten CK1. Diese elektrischen Andruckkontakte zeichnen sich durch niedrige Übergangswiderstände aus.

Anschließend erfolgen die Entfernung der Klebefolie KFO das Ausstanzen aus dem Nutzen und eine elektrische Prüfung. Das fertige Chipmodul ist in Fig. 7 dargestellt. Der Aufbau bedarf keiner weiteren Abdeckung und ist wegen seiner Flach­ heit und Stabilität für den Einbau in Chipkarten besonders gut geeignet.

Als Alternative zu dem vorstehend geschilderten Flipchip- Kleben kann auch das Flipchip-Löten angewandt werden. In diesem Fall muß jedoch entweder auf den Chipkontakten CK1 oder auf den Chipanschlüssen CA1 für ein Lotdepot gesorgt werden. Im geschilderten Ausführungsbeispiel wurde eine Tauchbelotung der veredelten Chipanschlüsse CA1 vorgenommen.

In den Fig. 8 und 9 ist für das Flipchip-Löten die Mög­ lichkeit dargestellt, den Chip C1 zu kontaktieren, bevor die Metallstruktur MS1 auf eine Klebefolie aufkaschiert wird. Statt dessen wird nach der Kontaktierung die Chiprückseite auf eine Klebefolie aufgeklebt und der Verguß vorgenommen.

Gemäß Fig. 7 wird der Chip C1 in Face-down Lage auf der Metallstruktur MS1 derart positioniert, daß seine beloteten Chipanschlüsse CA1 mit den Chipkontakten CK1 zur Deckung kommen. Das Löten erfolgt dann unter Druck und Temperatur.

Nach dem Löten erfolgt das Hinterfüllen der Zwischenräume mit einem Gießharz G. Das Gießharz G wird dabei im Überschuß aufgebracht, um eine Komplettumfüllung zu erreichen.

Nach der Applikation des Gießharzes G erfolgen die Entfernung der Klebefolie, das Ausstanzen aus dem Nutzen und eine elek­ trische Prüfung. Das fertige durch Flipchip-Löten herge­ stellte Chipmodul ist in Fig. 9 dargestellt.

Die Fig. 10 und 11 zeigen als weitere Alternative eine Drahtkontaktierung. In diesem Fall liegen bei der hier mit MS2 bezeichnete Metallstruktur die höckerförmig hervorstehen­ den Chipkontakte CK2 außerhalb des Chipumfangs. Das Layout entspricht also im wesentlichen dem bei der Draht-Bond-Tech­ nik gebräuchlichen.

Gemäß Fig. 10 wird die Metallstruktur MS2 nach dem Galvani­ sieren zunächst wieder mit ihrer Vorderseite auf eine Klebe­ folie KFO aufkaschiert. Danach wird der hier mit C2 bezeich­ nete Chip mit seiner Rückseite unter Verwendung eines nicht näher bezeichneten Klebers, beispielsweise eines Leitklebers, auf die Mitteninsel M1 der Metallstruktur MS2 aufgeklebt. Anschließend erfolgt in bekannter Weise die Drahtkontaktie­ rung, wobei die Chipanschlüsse CA2 über dünne Drähte D mit den zugehörigen Chipkontakten CK2 verbunden werden. Die Drahtverbindungen können beispielsweise über 25 µ Meter starke Aluminiumdrähte im "US-Wedge-Verfahren" vorgenommen werden.

Nach der Drahtkontaktierung werden die dünnen Drähte D durch eine Abdeckung AD aus Kunststoff geschützt. Anschließend erfolgen die Entfernung der Kunststoffolie KFO, das Ausstan­ zen aus dem Nutzen und eine elektrische Prüfung. Das fertige, durch Drahtkontaktierung hergestellte Chipmodul ist in Fig. 11 dargestellt.

Abweichend von den vorstehend geschilderten Ausführungsbei­ spielen kann es auch wünschenswert sein, die Metallstruktur nicht erst bei der Chipmontage mit Klebstoff zu füllen und zu verbinden, z. B. weil andere Forderungen an den Kunststoff gestellt werden, als sie der Klebstoff erfüllen kann. In diesem Fall wird nach dem Ätzen und Entschichten des Metall­ formteils (vergleiche Fig. 4) wie folgt vorgegangen: Gemäß Fig. 12 wird auf die Metallstruktur MS1 eine Kleb­ stoffschicht aufgepreßt, wobei dieses Aufpressen durch Pfeile PF angedeutet ist. Alle Zwischenräume der Metallstruktur MS1 werden dabei durch den mit KS bezeichneten Kunststoff form­ schlüssig ausgefüllt, so daß eine Platte P1 mit zwei paralle­ len Flächen entsteht. Die Erzeugung der Platte P1 kann sowohl mit einer halbausgehärteten Epoxidfolie oder Duroplasten geschehen, als auch mit Thermoplasten, Flüssigharz oder ähnlichen Werkstoffen. Wichtig ist dabei nur, daß alle Zwi­ schenräume der Metallstruktur MS1 in dem Kunststoff KS form­ schlüssig ausgefüllt werden.

Anschließend erfolgt das Entfernen von Trennmittel und eines eventuellen Harzrests auf den Kontaktflächen durch einen mechanischen Schleifvorgang. Danach werden die freiliegenden Metallflächen der Platte P1 durch galvanische Metallabschei­ dung mit der gewünschten Kontaktoberfläche, beispielsweise mit Nickel/Gold beschichtet. Die nach dem Galvanisieren der freiliegenden Metallflächen mit einer derartigen Kontaktober­ fläche KO versehene Platte P1 ist in Fig. 13 dargestellt.

Fig. 14 zeigt die Platte P1 gemäß Fig. 13 nach dem Aufbrin­ gen eines Chips C1 mittels Flipchip-Kleben. Auch hier wird prinzipiell wieder wie bei dem anhand der Fig. 6 und 7 beschriebenen Ausführungsbeispiel vorgegangen, so daß durch die Schrumpfkräfte des ausgehärteten Klebstoffs K eine feste mechanische Verbindung zwischen Chip C1 und Platte P1 mit entsprechenden elektrischen Andruckkontakten entsteht.

Fig. 15 zeigt die Platte P1 gemäß Fig. 13 nach dem Aufbrin­ gen eines Chips C1 mittels Flipchip-Lötens und dem Füllen des Freiraums unter dem Chip C1 mit einem Gießharz G. Im übrigen wird auch hier wieder wie bei dem anhand der Fig. 8 und 9 beschriebenen Ausführungsbeispiel vorgegangen.

Fig. 16 zeigt schließlich eine Variante mit einer aus der Metallstruktur MS2 und dem Kunststoff KS gebildeten Platte P2. Entsprechend dem anhand der Fig. 10 und 11 beschriebe­ nen Ausführungsbeispiel wird auf die Rückseite der Platte P2 ein Chip C2 aufgeklebt und mit Hilfe von dünnen Drähten D kontaktiert. Nach der Drahtkontaktierung erfolgt auch hier wieder ein Schutz der Drähte D durch eine Abdeckung AD aus Kunststoff.

Claims (24)

1. Chipmodul, insbesondere für den Einbau in Chipkarten, bestehend aus

• - einer aus einem Metallblech (MB) herausgeätzten Metall­ struktur (MS1; MS2), welche auf der Vorderseite ebene Kon­ taktflächen (KF) für eine externe Kontaktierung und auf der Rückseite höckerförmig hervorstehende Chipkontakte (CK1; CK2) besitzt, und aus
• - einem auf der Rückseite der Metallstruktur (MS1; MS2) befestigten Chip (C1, C2), dessen Chipanschlüsse (CA1; CA2) mit zugeordneten Chipkontakten (CK1; CK2) der Metallstruktur (MS1; MS2) elektrisch leitend verbunden sind, wobei
• - jeder Chipkontakt (CK1; CK2) innerhalb des Bereichs einer zugeordneten Kontaktfläche (KF) liegt.

2. Chipmodul nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Chipanschlüsse (CA1) mittels Flipchip-Kontaktierung direkt mit den zugeordneten Chipkontakten (CK1) verbunden sind.

3. Chipmodul nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Chipanschlüsse (CA1) mittels Flipchip-Klebens mit den zugeordneten Chipkontakten (CK1) verbunden sind.

4. Chipmodul nach Anspruch 3, gekennzeichnet durch Andruckverbindungen zwischen den Chipanschlüssen (CA1) und den zugeordneten Chipkontakten (CK1) durch die Schrumpfkräfte eines ausgehärteten Klebers (K).

5. Chipmodul nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Chipanschlüsse (CA1) mittels Flipchip-Lötens mit den zugeordneten Chipkontakten (CK1) verbunden sind.

6. Chipmodul nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß zumindest die Zwischenräume zwischen der Metallstruktur (MS1) und dem Chip (C1) mit einem Gießharz (G) ausgefüllt sind.

7. Chipmodul nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Chip (C2) mit seiner den Chipanschlüssen (CA2) gegen­ überliegenden Seite auf der Rückseite der Metallstruktur (MS2) angeordnet ist und daß die Chipanschlüsse (CA2) mittels Drahtkontaktierung mit den zugeordneten Chipkontakten (CK2) verbunden sind.

8. Chipmodul nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß der Chip (C2) auf einer zugeordneten Mitteninsel (M1) der Metallstruktur (MS2) angeordnet ist.

9. Chipmodul nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß der Chip (C2) auf die Mitteninsel (M1) aufgeklebt ist.

10. Chipmodul nach einem der Ansprüche 7 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Drähte (D) der Drahtkontaktierung durch eine Ab­ deckung (AD) geschützt sind.

11. Chipmodul nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die aus dem Metallblech (MB) herausgeätzten Zwischenräume der Metallstruktur (MS1; MS2) zur Bildung einer Platte (P1; P2) mit zwei parallelen Flächen mit einem Kunststoff (KS) form­ schlüssig ausgefüllt sind.

12. Chipmodul nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß auf die freiliegenden Metallflächen der Platte (P1) durch galvanische Metallabscheidung eine Kontaktoberfläche (KO) aufgebracht ist.

13. Chipmodul nach Anspruch 11 oder 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Chipanschlüsse (CA1) mittels Flipchip-Kontaktierung direkt mit den zugeordneten Chipkontakten (CK1) der Platte (P1) verbunden sind.

14. Chipmodul nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Chipanschlüsse (CA1) mittels Flipchip-Klebens mit den zugeordneten Chipkontakten (CK1) der Platte (P1) verbunden sind.

15. Chipmodul nach Anspruch 14, gekennzeichnet durch Andruckverbindungen zwischen den Chipanschlüssen (CA1) und den zugeordneten Chipkontakten (CK1) durch die Schrumpfkräfte eines ausgehärteten Klebers (K).

16. Chipmodul nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Chipanschlüsse (CA1) mittels Flipchip-Lötens mit den zugeordneten Chipkontakten (CK1) der Platte (P1) verbunden sind.

17. Chipmodul nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, daß zumindest die Zwischenräume zwischen der Platte (P1) und dem Chip (C1) mit einem Gießharz (G) ausgefüllt sind.

18. Chipmodul nach Anspruch 11 oder 12, dadurch gekennzeichnet, daß der Chip (C2) mit seiner den Chipanschlüssen (CA2) gegen­ überliegenden Seite auf der Rückseite der Platte (P2) ange­ ordnet ist, und daß die Chipanschlüsse (CA2) mittels Draht­ kontaktierung mit den zugeordneten Chipkontakten (CK2) ver­ bunden sind.

19. Chipmodul nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, daß der Chip (C2) auf die Platte (P2) aufgeklebt ist.

20. Chipmodul nach Anspruch 18 oder 19, dadurch gekennzeichnet, daß die Drähte (D) der Drahtkontaktierung durch eine Ab­ deckung (AD) geschützt sind.

21. Verfahren zur Herstellung eines Chipmoduls, insbesondere für den Einbau in Chipkarten, mit folgenden Schritten:

• - Auf beide Seiten eines Metallblechs (MB) wird ein Ätzresist (AR) aufgebracht, welcher auf der Vorderseite das Muster von Kontaktflächen (KF) und auf der Rückseite das Muster von Chipkontakten (CK1; CK2) besitzt;
• - aus dem Metallblech (MB) wird durch beidseitiges Ätzen eine Metallstruktur (MS1, MS2) herausgebildet, welche auf der Vorder­ seite ebene Kontaktflächen (KF) für eine externe Kontaktie­ rung und auf der Rückseite höckerförmig hervorstehende Chipkontakte (CK1; CK2) besitzt, wobei jeder Chipkontakt innerhalb des Bereichs einer zugeordneten Kontaktfläche (KF) liegt;
• - der Ätzresist (AR) wird entfernt;
• - auf die Rückseite der Metallstruktur (MS1, MS2) wird ein Chip (C1) befestigt;
• - die Chipanschlüsse (CA1) des Chips (C1, C2) werden mit den zugeordneten Chipkontakten (CK1; CK2) der Metallstruktur (MS1, MS2) elektrisch leitend verbunden.

22. Verfahren nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, daß die Metallstruktur (MS1, MS2) nach der Entfernung des Ätzresi­ sts (AR) mit ihrer Vorderseite temporär auf eine Klebefolie (KFO) aufkaschiert wird.

23. Verfahren nach Anspruch 21 oder 22, dadurch gekennzeichnet, daß mehrere Metallstrukturen (MS1, MS2) aus einem Metallblech (MB) derart herausgeätzt werden, daß die den Kontaktflächen (KF) entsprechenden Einzelteile über Stege mit einem Hilfsrahmen verbunden sind und dadurch zusammengehalten werden.

24. Verfahren nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, daß die aus dem Metallblech (MB) herausgeätzten Zwischenräume der Metallstruktur (MS1, MS2) zur Bildung einer Platte (P1, P2) mit zwei parallelen Flächen mit einem Kunststoff (KS) form­ schlüssig ausgefüllt werden.