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DE1787381U - Integrationsvorrichtung an mikroskopen zum bestimmen des verhaeltnisses von gefuegebestandteilen. - Google Patents

Integrationsvorrichtung an mikroskopen zum bestimmen des verhaeltnisses von gefuegebestandteilen.

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Publication number
DE1787381U
DE1787381U DE1955Z0003299 DEZ0003299U DE1787381U DE 1787381 U DE1787381 U DE 1787381U DE 1955Z0003299 DE1955Z0003299 DE 1955Z0003299 DE Z0003299 U DEZ0003299 U DE Z0003299U DE 1787381 U DE1787381 U DE 1787381U
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
integration device
hydrostatic pressure
measuring
microscopes
structural components
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
DE1955Z0003299
Other languages
English (en)
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Carl Zeiss SMT GmbH
Original Assignee
Carl Zeiss SMT GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Carl Zeiss SMT GmbH filed Critical Carl Zeiss SMT GmbH
Priority to DE1955Z0003299 priority Critical patent/DE1787381U/de
Publication of DE1787381U publication Critical patent/DE1787381U/de
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Description

  • CARL ZEISS IN HEIDENHEIM a. d. Brenz Integrationsvorrichtung an Mikroskopen zum Bestimmen des Verhältnisses von Gefügebestandteilen.
  • Die Erfindung betrifft eine Integrationsvorrichtung an Mikroskopen zum Bestimmen des Verhältnisses von Gefügebestanèteilen eines Objekts durch Verschieben des Objekts um meßbare Strecken. Von derartigen Integrationsyorrichtungen wird verlangt, daß das Objekt ohne toten Gang um kleine Beträge verschoben werden kann, und daß ferner Meßmittel vorgesehen sind, mit denen die Verschiebungsgrößen des Objekts für verschiedene Gefügebestandteile registrierbar sind. Die letzte Bedingung erfordert Maßnahmen, um die Verschiebung des Objekts mit dem
    einen oder dem andern Meßmittel wahlweise zu kuppeln. Diese
    $
    Kupplungen müssen aus den oben genannten Gründen spielfrei
    sein und sie bilden das Hauptproblem beim Bau einer Integra-
    tionsvorrichtung.
  • Es sind nun bereits die verschiedensten Integrationsvorrichtungen zur Lösung dieses Problems bekannt geworden. Am häufigsten werden mechanische Kupplungen zwischen dem als Meßspindel oder Meßtrommel ausgebildeten Meßmittel und dem Objekt vorgesehen. Diese Kupplungen haben den Nachteil, daß sie bei Übergang von einem Meßmittel zum andern nicht völlig spielfrei arbeiten, und daß zu einer einigermaßen sicheren Funktion bereits ein erheblicher konstruktiver Aufwand erforderlich ist, wodurch diese Vorrichtungen verhältnismäßig teuer werden. Man hat deshalb versucht, diese Nachteile durch eine elektrische oder lichtelektrische Übertragung der Bewegung des Objekts auf das Zählwerk auszuschalten. Im ersten Fall sind auf einer Antriebsspindel für das Objekt in bestimmten Abständen Kontakte vorgesehen, die beim Drehen der Spindel an einem Gegenkontakt vorbeistreichen, dabei einen Relaisstromkreis schließen und auf diese Art jeweils einen Impuls auf ein als elektrisches Zählwerk ausgebildetes Meßmittel übertragen. Im letzteren Fall wird der Impuls lichtelektrisch übertragen, indem auf der Antriebsspindel für das Objekt eine Anzahl von Spiegeln angebracht sind, die in einer bestimmten Stellung der Antriebsspindel einen Lichtstrahl auf eine Photozelle leiten,
    welche den Impuls auslö, st. Der Übergang von einem Meßmittel
    zu einem andern kann dabei durch Schließen des zum Meßmittel
    "es
    gehörenden Stromkreise geschehen, doch haben die elektri-
    sehen und lichtelektrischen Einrichtungen wiederum den Nach-
    teil, daß mit ihnen nicht : kontiunierlihgemessen werden kann,
    sondern nur in kleinen, durch den Abstand der ilmpulsauslösenden Elemente bedingten Schritten, und daß der kontruktive Aufwand ebenfalls recht groß ist.
  • Durch die Erfindung werden alle diese Nachteile dadurch beseitigt, daß der Vorschub des Objekts hydraulisch erfolgt.
  • Die Integrationsvorrichtung kann dann so ausgebildet sein, daß ein die Verschiebung des Objekts bewirkender Kolben vorgesehen ist auf den einhydrostatischer Druck wirkt, und zur Erzeugung des hydrostatischen Drucks können in eine eingeschlossene Flüssigkeit Kolben eintauchbar sein. Jeder dieser Kolben bewirkt beim Eintauchen in die Flüssigkeit eine Verschiebung des Objekts. Jeder der Kolben kann deshalb vorteilhaft mit einer Meßspindel als Meßmittel verbunden sein, welche die Verschiebungsgröße des Objekts registriert und zugleich das Eintauchen des Kolbens bewirkt. Benutzt man für jede Komponente
    des Gefüges eine der Meßspindeln, so wird die eingangs ge-
    I
    stellte Aufgabe in einfachster Weise gelöst, indem eine Um-
    schaltvorrichtung zwecks Übergang von einem Meßmittel zu
    einem andern überhaupt nicht erforderlich ist.
  • Um ein Folgen des Objekts auch beim Herausziehen einer der Kolben aus der Flüssigkeit einwandfrei zu gewährleisten, steht der die Verschiebung des Objekts bewirkende Kolben zweckmäßig unter der Wirkung einer Feder. Zwischen der Bewegunggröße des Objekts und den Bewegungsgrößen der einzelnen Meßspindeln können wenigstens teilweise verschiedene Untersetzungen vorgesehen sein, so dåß es möglich ist, für die Ausmessung. größerer Gefügebestandteile eine Meßspindel geringerer Untersetzung zu verwenden. Aus konstruktiven Gründen sind die Mittel zur Erzeugung des hydrostatischen Drucks zweckmäßig von den Mitteln zum Ausüben des hydrostatischen Drucks getrennt angeordnet und durch ein biegsames Zwischenglied verbunden.
  • Weitere Einzelheiten der Erfindung sind aus der nachfolgenden Beschreibung der Zeichnung ersichtlich.
  • In der Zeichnung ist mit A ein Objektsführer bezeichnet und mit Beine Meßvorrichtung. Der Objektsführer A läßt zunächst eine Verschiebung eines Objekts 1 durch zwei auf senkrecht zueinanderliegende Schlitten 2 und 3 wirkende Zahntriebe 4 und 5 zum Absuchen des Objekts zu. Durch den Zahntrieb 4 kann außerdem die Einstellung des Abstandes der einzelnen Meßstrecken im Objekt vorgenommen werden. Um dabei immer gleiche Abstände ohne Mühe einhalten zu können, kann der Knopf mit einem Rastring versehen sein. Dieser kann so ausgebildet sein, daß er abgenommen und auch leicht wieder aufgesetzt werden kann. Zur Erzielung der Meßbewegung sind die Schlitten 2 und 3 in einer Schlittenführung 6 angeordnet. Das bewegliche Teil 7 der Schlittenführung 6 trägt einen Fortsatz 8, der durch eine kräftige in einer Federbüchse 10 gelagerte Feder 9 gegen einen Bolzen 11 gedrückt wird. Der Bolzen 11 ist hohl und dicht in einen. Führungszylinder 12 gepaßt. Der Hohlraum ist mit einer geeigneten Übertragungsflüssigkeit 13 mit zweckmäßig gewählter Zähigkeit gefüllt und durch einen Schlauch 14 mit der Meßvorrichtung B verbunden.
  • Die Meßvorrichtung B wird durch ein rechteckiges hohles Kästchen 15 gebildet. Es ist ebenfalls mit der Übertragungsflüssigkeit 13 luftblasenfrei gefüllt. In seiner einen \7and sind eine beliebige, jedoch zweckmäßig gewählte Anzahl von Meßspindeln 16 druckdicht eingesetzt. Die Meßspindeln besitzen innen je einen Druckstift 17, welcher durch eine Dichtung 18 hindurch in die Ubertragungsflüssigkeit 13 hineinragt. Außen sind die Spindeln 16 mit einer Meßteilung wie bei den bekannten Schraubenlehren versehen. Die Meßteilungen sind so abgestimmt, daß man die durch Hinein-oder Herausschrauben der Spindeln über die Flüssigkeit 13, den Bolzen 11 und den Fortsatz 8 auf das Objekt übertragene Meßbewegung in geeigneten Einheiten, z. B. f oder mm ablesen kann.
  • Da die Größe des sich ergebenden Meßwegs des Objekts vom Durchmesser des Druckstifte 179 von dem Weg der Meßspindel beim Hinein-und Herausschrauben und von dem Durchmesser des Zylinders 12 abhängig ist, kann man durch passende Wahl des Druckstiftdurchmessers leicht jedes beliebige Verhältnis zwischen Weggröße des Objekts und dem Meßspindelvorschub erzeugen. Es bedarf keines besonderen Aufwandes, beliebig viele verschiedene solche Übersetzungsverhältnisse einzubauen, so daß man es in der Hand hat, für grobe Bestandteile einen großen Meßweg pro Spindelumdrehung zu erzeugen und für feine Bestandteile einen kleinen, wenn man nur die entsprechende Spindel dem betreffenden Gefügebestandteil zuordnet.

Claims (6)

  1. sprUChe. pHeBtanspru. che.
    1. Integrationsvorrichtung an Mikroskopen zum Bestimmen
    des Verhältnisses von Gefügebestandteilen eines Objekts durch Verschieben des Objekts um meßbare Strecken, dadurch gekennzeichnet, daß der Vorschub hydraulisch erfolgt.
  2. 2. Integrationsvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß ein die Verschiebung des Objekts bewirkende Kolben vorgesehen ist, auf den ein hydrostatischer Druck wirkt, und daß zur Erzeugung des hydrostatischen Drucks in eine eingeschlossene Flüssigkeit eintauchbare Kolben vorgesehen sind.
  3. 3. Integrationsvorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der die Verschiebung des Objekts bewirkende Kolben unter der Wirkung einer Feder steht.
  4. 4. Integrationsvorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Kolben zum Erzeugen des hydrostatischen Drucks durch Meßspindeln in die Flüssigkeit eintauchbar sind.
  5. 5. Integrationsvorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen den Bewegungsgrößen der einzelnen Meßspindeln und dem Objekt wenigstens teilweise verschiedene Untersetzungen vorgesehen sind.
  6. 6. Integrationsvorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Mittel zur Erzeugung des hydrostatischen Drucks und die Mittel zum Ausüben des hydrostatischen Drucks voneinander getrennt angeordnet sind und durch ein biegsames Zwischenglied miteinander verbunden sind.
DE1955Z0003299 1955-02-05 1955-02-05 Integrationsvorrichtung an mikroskopen zum bestimmen des verhaeltnisses von gefuegebestandteilen. Expired DE1787381U (de)

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