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Verfahren zur Herstellung elektrischer Widerstands-Belastungsschablonen
oder auf ähnliche Weise erstellter Vorrichtungen.
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Die Erfindung betrifft elektrische Widerstands-Belastungsuchablonen,
Widerstandselemente für temperaturempfindliche Vorrichtungen, sowie andere Widerstandselemente
und auf ähnliche Weise erstellte Vorrichtungen und Bauelemente und insbesondere
die Herstellung solcher Vorrichtungen, mit denen Schablonen und hierfür bestimmte
Teile besonders guter Quasi tat erstellt werden sollen.
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Elektrische Belastungsschablonen werden in grossem Umfang bei der
experimentellen Beanspruchungsanalyse zur Untersuchung des Verhaltens von Strukturteilen
unter Belastungen benutzt und auch bei einer sehr grossen Vielzahl von obertragern
zur Messung von Kräften, Drücken, Drehmomenten usw. Die Belastungsschablone wird
auf der Oberfläche des betreffenden strukturellen Teiles oder Übertragungselementes
befestigt, welches sich in Abhängigkeit von den aufgewendeten Kräften deformiert.
Die Deformation wird über das Bindemittel auf die Belastungsschablone übertragen,
die auf solche Weise eine Änderung der geometrischen Abmessungen entsprechend dem
örtlichen Zustand der Belastung oder Spannung erfährt.
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Die Belastungsschablone selbst ist ein Metallfasergeflecht, welches
im allgemeinen in Form eines Gitters gewikkelt wird. Soll es beispielsweise im Bereich
einer Spannungs-oder Dehnungsbeanspruchung wirksam werden, dann vergrössert das
Geflecht beispielsweise seine Länge, verringert seinen Querschnittsbereich und vergrössert
infolgedessen seinen spezifischen elektrischen Widerstand. Die Konsequenz davon
ist, dass der elektrische Widerstand des Geflechtes proportional mit der Belastung
zunimmt. Diese Anderung des Widerstandes wird gemessen und die Belastung in dem
zu untersuchenden Material hieraus berechnet.
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Die Ausführung einer elektrischen Widerstands-Belastungsschablone
für die verschiedensten Verwendungszwecke wird erschwert, wenn sich die Dimensionen
des aktiven Teils der Schablone verringern und der elektrische Widerstand sich erhöht.
Diese Gegebenheiten widersprechen jedoch einander, weil ein stromleitendes Geflecht
von erheblicher Länge erforderlich ist, um einen hohen elektrischen Widerstandswert
zu erzielen. Man erhält daher das Optimum der Eigerischaften, wenn es sich um ein.
langes Geflecht kleinstei Breite und
Dicke handelt und dieses in
Form eines Fasergitters in möglichst gedrängter Form hergestellt wird.
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Das Minimum der Schablonenabmessung ist tatsächlich ein äusserst
erwünschtes Merkmal. Belastungsschablonen werden sehr häufig auf Bauteilen benutzt,
in denen sich die Beanspruchungen von Punkt zu Punkt längs des Bauteils ändern.
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Während es natürlich erwünscht ist, die Belastung an einem oder mehreren
charakteristischen Punkten des Bauteils zu bestimmen, misst eine Schablone mit endlichen
Abmessungen die Durchschnittsbelastung in dem von der Schablone bedeckten Bereich.
Diese Durchschnittsbelastung erreicht den wirklichen Wert im Mfielpunkt, wenn der
Schablonenbereich den Wert Null erreicht. Das Minimum der Abmessungen ist stets
erwünscht, aber es ist wesentlich für Messungen in Bereichen hoher Beanspruchungsgradienten.
Tatsächlich sind die Probleme, bei denen hohe Eeanspruchungsgradienten auftreten,
im allgemeinen die kritischsten Probleme vom Standpunkt der strukturellen Integrität
aus.
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Bei dem gegenwärtigen Stand der Technik erreicht man das Maximum
an Gedrängtheit rationell hergestellter. Belastungsschablonen durch dünne Metallfolien
in Form von Fasergittern, die auf fotografischem Wege geätzt werden; sie unterscheiden
sich von dem ursprünglichen Verfahren, bei dem dünne Geflechte aus Draht in eine
Gitterform gewickelt oder gewunden worden sind. Für die im fotografischen Atzverfahren
hergestellte Schablone ist die Verringerung der Breite des Geflechts begrenzt durch
die Rauhigkeit der Kanten des geätzten Geflechtes, und die räumliche Gedrängtheit
ist begrenzt durch den erforderlichen Raum zwischen benachbarten Geflechten, die
wegen der Gegebenheiten-des Herstellungsverfahrens erioraerlich sind.
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Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zu entwickeln,
bei dem sich Geflechtkanten mit sehr viel geringerer Rauhigkeit ergeben als bei
den Geflechten, die nach den üblichen fotografischen Ätzverfahren hergestellt sind.
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Das Verfahren nach der Erfindung bietet den ausserordentlichen Vorteil
der Verringerung des Zwischenraums zwischen benachbarten Geflechten bei grösster
Festigkeit des aktiven Teils der Belastungsschablone als Ganzes.
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Das neue Verfahren bietet ausserdem den Vorteil der Reproduzierbarkeit,
welche die Herstellung grosser Mengen von Schablonen mit absolut gleich hoher Qualität
erheblich erleichtert.
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Das Wesen der Erfindung besteht in der Schaffung eines neuen und
wesentlich verbesserten Verfahrens zur Herstellung elektrischer Widerstands-Belastungsschablonen
mit Hilfe eines Elektro-Polierverfahrens in Verbindung mit dem Gebrauch einer isolierenden
Abdeckung.
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Diese und andere Zwecke und Vorteile der Erfindung werden aus der
nun folgenden Beschreibung des neuen Verfahrens hervorgehen, wobei auf die anliegende
Zeichnung Bezug genommen werden wird. In der Zeichnung ist: Fig. 1 eine vergrösserte
Form einer handelsüblichen elektrischen Widerstands-Belastungsschablone in Form
einer Folie; Fig. 2 eine Wiedergabe eines Teils einer handels-Ublichen Belastungsschablone
gemäss Fig. 1 in erheblich vergrössertem Maßstab;
Fig. 3 eine elektrische
Widerstands-Belastungsschablone in Form einer Folie, die nach dem Verfahren nach
der Erfindung hergestellt ist, in vergrössertem Maßstab Fig. 4 die Wiedergabe eines
Teils der elektrischen Widerstands-Belastungsschablone nach Fig. 3 in Form einer
Folie in ganz erheblich vergrössertem Maßstab; Fig. 5, 6 und 7 jeweils eins Ansiaht
eines breiten Schlitzes, der mit Hilfe des Elektro-Polierverfahrens hergestellt
ist, in stark gedehntem Dickenmaßstab1 Fig. 8, 9 und 10 jeweils eine Ansicht von
Schlitzen, die nach dem Verfahren nach der Erfindung hergestellt sind bei stark
gedehntem Dickenmaßstab; Fig. 11 die Ansicht einer Ausführungsform einer einfachen
Belastungsschablone nach dem Elektro-Polierverfahren im vergrösserten Maßstab und
Fig. 12 die Darstellung der Linien, langes deren das Ziehen erfolgt, um eine endgültige
fertige Schablone aus der Form nach Fig. 11 zu gewinnen.
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Ein typisches Modell ftlr eine Schablone 10, die rach den bisherigen
Verfahren hergestellt worden ist, zeigt die Fig. 1. Diese Schablone 10 besteht aus
einer Metall. lie, die durch ein chemisches Ätzverfahren gewonnen worden ist. Das
Folienmaterial ist aus den Bereichen, welche die Schlitze 11 bilden, entfernt worden
und die übriggebliebene Folie bildet das Gitter oder Geflecht 12 sowie die Anschlussklemmen
13, Der Teil 2 in Fig. 1 ist in Fig. 2 im vergrösserton Maßstab wiedergegeben. Diese
Figur lässt deutlich die Rauhigkeit der Kanten erkennen, die flir die bisher üblichen
Verfahren charakteristisch ist. MI ei@@elnen Geflechtteile 12 zeigen eine erhebliche
Rauhigkeit im Vergleich zu
Kanten, die nach dem Verfahren der Erfindung
entstehen und in den Fig. 3 und 4 dargestellt sind. Ausser den groben Unregeliassigkeiten
längs der parallel zueinander verlaufenden Kanten 14 befinden sich in den Umkehrpunkten
15 äusserst scharf ausgeprägte nutenförmige Schlitze. Die zufällig bedingte Art
dieser Unregelmässigkeiten spielt eine vorherrschende Rolle bei der Herstellung
sehr kleiner Belastung schablonen. Für ein befriedigendes Herstellungsverfahren
sollte die Breite der Faserteile 12 und der Schlitze 11 ein Vielfaches der Grösse
der Unregelmässigkeiten betragen. Dies ist auch der Grund dafür, dass z.Zt. die
kleinsten im Handel zur Verfügung stehenden elektrischen Widerstands-Belastungsschablonen,
die nach den alteren Verfahren hergestellt sind, die praktischen Grenzen der Gedrängtheit
überschreiten oder an dieser Grenze liegen, bei einem sehr hohen Anfall von Ausschuss
wahrend der Herstellung der Schablone.
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Im Gegensatz dazu ist die Ebenmässigkeit der Fasern 31 der Schablone
30, die nach da Verfahren gemäss der Erfindung hergestellt ist, so ausserordentlich
gross, dass jede einzelne Faser in ihrer Breite erheblich verkleinert und auch die
Breite der Schlitze 32 merklich verringert wer den kann. Es sind also nicht nur
die Fasern dichter biainander, sondern es nimmt auch der elektrische Widerstand
je Einheit der Faserlänge proportional zu der verringerten Breite zu, so dass eine
geringere Gesamtlänge der Faser 31 und der Schablone 30iaglich werden.
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Bei da Verfahren nach der Erfindung wird die Behandlung nach der
Elektro-Poliermethode in Verbindung mit einer isolierenden Blende ausgeftihrt. Diese
iiolierende Blende ist so angeordnet, das. sie in volles Unfang Gebrauch macht von
der erhöhten Menge aufgelösten Metalls oder vorzugsweise
der Metallbearbeitung
in der Nähe der Begrenzungslinien der Maske.
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Der bevorzugte Angriff, wie er in der Beschreibung erläutert wird,
ist in den Fig. 5,6 und 7 wiedergegeben. Ein widerstapdsfähiges Material für die
Maske 51 wird auf die Oberfläche einer Folie 52 aus Metall aufgelegt, beispielsweise
eine Konstantanfolie (55 % Kupfer, 45 o Nickel), die vorher zu einem geeigneten
dielektrischen Unterlagsstoff in einzelne Blätter 53 geschnitten worden ist, wie
dies die Figuren erkennen lassen. Der Querschnittsbereich, der für die Zwecke der
Erläuterung in erheblich vergrösserter Dicke wiedergegeben ist, zeigt eine Querschnittsform
eines ungeschützten rechteckigen Bereichs, der infolgedessen zwischen den Kanten
des Werkstoffs für die Maske 51 einen verhiltnismässig grossen Raum ftir das Elektro-Polierverfahren
darbietet.
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Wie man sieht, überwiegt in einem Zwischenstadium gemäss Fig.
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5 die Wirkung des Elektro-Poliervorganges längs der Kanten der isolierenden
Maske 51, welche einen höheren-Betrag entfernter Materialmenge in einer in starkem
Masse lokalisierten Zone 54 längs der Kante der Maske 51 in einem Bereich der gleichförmigen
Wirkung der Elektropolierung, also bei 56 in demjenigen Bereich bewirkt, der nicht
unmittelbar in der Nachbarschaft der Kanten der Maske 51 liegt. Die Breite der'lokalisierten
Zone 54 hängt von dem Umfang des Polierens ab. Die Zone eines bevorzugten Angriffs
54 ist bei einem sehr schnellen Elektropoliervorgang (beispielsweise 6 Volt für
Konstantan, und bei einem Elektrolyten aus Phosphorsäure) sehr viel enger als im
Falle eines langsamen Elektro-Poliervorgangs (beispielsweise 1 Volt). Tatsächlich
kann für jede geeignete Kombination von Basismaterial mit Metall, Elektrolyt und
Spannung das Ausmass bzw. die Abmessungen des Bereiches einer vorherrschenden Elektro-Polierwirkung
ohne Überschuss
garantiert werden. Auf diese Weise ist also der
kritsche Punkt, der den Abstand von den benachbarten Maskengrenzen definiert, in
welchem die neue und wirtschaftliche Wirkung entwickelt wird, in Übereinstimmung
mit dem Verfahren nach der Erfindung dieser einzige Punkt, in welchem die Zonen
der überwiegenden auswirkung gerade anfangen sich zu überlappen. Nach weiterer EinwirEing
des Elektro-Poliervorgangs auf die Folie 52 längs der Begrenzungen der Maske 51
wird die Folie durch die gesamte Tiefe in der Zone 54 durchgeschnitten, wie dies
Fig. 6 zeigt. Selbst nach einer verhxltnismässig langen Zeitspanne der Behandlung
bleibt die Insel 55 innerhalb der Grenzen der Maske 51 erhalten. Sobald nun die
vollständige Insel 55 herausgebildet worden ist, besteht in diesem Bereich kein
stromleitender Pfad mit niedrigem Widerstand und die sich daraus ergebende Einwirkung
auf die Insel ist praktisch Null, aber ein fortgesetzter Angriff hat zur Folge,
dass die Maske 51, wie Fig. 7 zeigt, unterschnitten wird.
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Die Tatsache, dass das Mass des Eindringens längs der Kanten der
Maske grösser ist, wird bei dem Verfahren nach der Erfindung ausgenutzt. Das wesentlichste
Merkmal dieses Verfahrens wird erreiaht, wenn die benachbarten Kanten 81 der Maske
zusammengebracht werden bis die benachbarten Bereiche der vorherrschenden Elektro-Polierwirkung
sich ganz oder vollständig überlappen, wie man aus den Fig. 8 bzw. 9 ersieht, und
zwar für einen Verfahrenszustand des nicht vollständigen Eindringens und in Fig.
10 für den Fall des vollständigen Eindringen. Hieraus ergibt sich, dass die Trennung
zwischen benachbarten Kanten 91 der Faserelemente 31 überaus schmal ausgeftihrt
werden kann. Da nun überhaupt keine breiten Bereiche der i.tallischen Folie entfernt
wercen, beschränkt sich die gesaMte Zlektro-Polierwirkung auf die
Stellen
längs der Linien, welche die Konfiguration der Fasern der Belastungsschablone 30
begrenzen. Auf diese Weise entsteht in der Folie ein kontinuierliches Fasergebilde
31. Es ist auch von Bedeutung, dass die selektive Leitung dieses Elektro-Polierverfahrens
Schlitzkanten äusserst grosser Exaktheit hervurruft, die praktisch frei von Unregelmässigkeiten
und Rauhigkeiten sind, wie sei bei den bisher bekannt gewordenen üblichen Verfahren
zu beobachten waren.
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Der Elektro-Poliervorgang wird anstelle des Elektro-Ätzvorganges
gern benutzt, weil die Erfahrung gelehrt hat, dass die kleineren Stromdichten bei
dem Elektro-Ätzverfahren nicht so günstig sind wie die sehr viel raschere Elektropolierung,
um Schlitze in der Folie aus Metall, beispielsweise in der Konstantenfolie, hervorzurufen.
Ausserdem erzeugt das Elektro-Wlierverfahren sehr viel glattere Schlitzkanten. Man
nimmt an, dass dies deshalb erfolgt, weil die Gegebenheiten des Elektro-Polierverfahrens
sich durch die Entwicklung eines Oberflächenfilms auf dem Werkstück ergeben und
durch eine viskose Sahicht indem benachbarten Elektrolyten. Dieser Film und die
viskose Schicht bestimmen die meisten elektrischen Widerstände index elektrolytischen
Zelle und regeln dadurch die örtliche Stromdichte in dem Werkstück. Die Stromdichte
ist an den herausragenden Punkten in da Werkstück am grössten, und infolgedessen
werden die Spitzen rascher angegriffen als das umgebende Metall, und die Oberfläche
wird während des gesamten Elektro-Polierverfahrens allmählich glatter.
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Das neue Verfahren nach der Erfindung ist durch die folgenden Verfahrensschritte
gekennzeichnet, die von dem Spezialfachmann in vielfältiger Veise geändert werden
können, ohne dass dadurch der Rahmen der Erfindung verlassen zu werden braucht.
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Ein Maskenmaterial mit annähernd der Gestalt der zu erzeugenden Schablone
wird auf der metallischen Folie befestigt, die vorher in die Gestalt eines Blattes
mit einem geeigneten dielektrischen Hintergrundmaterial gebracht worden ist. Obwohl
man dies auf sehr verschiedene Weise machen kann, ist folgendem Verfahren der Vorzug
zu geben.
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Zunächst wird ein Bild der geometrischen Form der Schablone auf einer
durchscheinenden Unterlage in Form von durchscheinenden Linien erzeugt. Dieses Bild
ist im allgemeinen eine fotografische Reproduktion einer grossen Karte in schwarz
und weiss. Die durchscheinenden Linien stellen die Zwischenräume zwischen benachbarten
Gitterfäden dar und können auch Begrenzungslinien darstellen, welche die Breite
der Schablone begrenzen. Als nächster Verfahrensschritt folgt dann das Aufbringen
eine. dünnen Überzuges aus einer Maske aus einem Werkstoff für die fotografische
Ätzung, die auf die Folie aus Metall aufgebracht wird, die auf dem Grundmaterial
befestigt worden ist. Das Schablonenbild wird auf die so bezogene Folie aufgedrückt
und durch eine Lichtquelle belichtet. Die Maske für die fotografische Ätzung auf
der Folie. wird hierauf in eine Entwirklerlösung gelegt, welche das Maskenmaterial
entweder auflöst oder in Bereichen entfernt, die nicht dem Licht ausgesetzt waren,
und so entstehen Linien, welche das Schablonenbild in dem Uberzug begrenzen, sobald
kein Maskenmaterial vorhanden ist. Das restliche Xaskenmaterie al wirkt wie ein
elektrisches Isoliermaterial und wie eine Schutzmaske, die Angriffe auf die Folie
während des Blettro-Polierverfahrens verhindert.
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Als nächstes wird nun ein isolierender Draht auf der Matallftlie
in einet Bereich ausserhalb der Schablonenflache befestigt, und die mit der Maske
bedeckte Folie wird
in eine Lösung für die Elektropolierung gelegt,
mit einer Gleichstromquelle und mit einer Elektrode in der Lösung, beispielsweise
aus nichtrostendem Stahl, in Reihe geschaltet.
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Ein Elektrolyt, der bei diesem Elektro-Polierverfahren unter Benutzung
einer Konstantanfolie verwendet werden kann (55 % Kupfer, 45 % Nickel), ist 85 -ige
Phosphorsäure. Bei einem solchen Elektrolyten hat sich eine Spannung von 1 Volt
an der elektrolytischen Zelle als ausreichend erwiesen, um Belastungssahablonen
für Konstantanfolien herzustellen.
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Nachdem nun das Folienmaterial längs der Linien, welche die Konfiguration
der Belastungsschablone begrenzen, aus der Lösung entfernt worden ist, wird dieser
Teil ebenfalls aus der Lösung genolinen,. gewaschen und getrocknet. Eine Ausführungsform
einer einfachen Belastungssahablone kann als Teil 110 der Fig. 11 erscheinen. Diese
Teile haben Schlitze 112, aus denen das Metall entfernt worden ist. Das tbersohAssige
Folienmaterial wird dann längs der Reisslinie 121 abgezogen, wie dies aus Fig. 12
zu ersehen ist. Die Schablone kann durch Herausschneiden der Folie des gesamten
Blattes längs der Reisslinien 121 durch Ausschneiden getrennt werden. Vahlweise
kann der Überschuss an Folienmaterial auch durch eine nachfolgende Behandlung im
Elektro-Poliervorfahren oder chemischen Ätzverfahren entfernt werden, wobei wieder
die Anwendung einer neuen Maske zum Schutz des Gitters gegen weitere Angriffe inbegriffen
ist.
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Das oben beschriebene Verfahren erläutert die grundsätzlichen Verfahrensschritt
für die Herstellung ein.r Belastungsschablone. Das Hinzufügen zusätzlicher Verfahrensschritte
und deren Ersetzung oder Abänderung von den hier gegebenen können als Einzelheiten
des Herstellungsverfahrens angesehen werden, die sich mit dem Umfang der Produktion
dem Hintergrundmaterial,
dem Folienmaterial, dem Maskenmaterial
sowie der besonderen infragekommenden Konfiguration und damit zusammenhängender
Faktoren ändern können; derartige Einzelheiten, wie Reinigungsverfahren, Methoden
der mechanischen Befestigung und des Ausschneidens sollen hier inbegriffen sein.
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Es sei auch ausdrücklich bemerkt, dass man mit dem Verfahren nach
der Erfindung auch andere Dinge herstellen kann als elektorische Widerstands-Belastungssohablonen,
und zwar im ganzen oder teilweise, und dass diese Vorrichtungen selbstverständlich
auch in den Rahmen der Erfindung fallen.
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Hervorzuheben ist ferner, dass bei der Ausführung des Verfahrens
nach der Erfindung die Schlitze in der Metallfolie sehr dicht zu den parallelen
Kanten des Abdeckmaterials verlaufen, so dass die Schlitze extrem nahe beeinanderliegen,
Die benachbarten Maskenkanten befinden sich daher in einer solchen Stellung, dass
sie ganz oder teilweise Bereiche der vorherrschenden Ätzwirkung überdecken. Auf
diese Weise entstehen dann die engen und glatten Schlitze sowie die feinen Geflechte
aus Fäden, die für eine kompakte Belastungsschablone erforderlich sind, wie sie
mit dem Verfahren nach der Erfindung hergestellt werden können. Die gleichen Vorteile
erreicht man auch bei anderen geometrischen Formen, beispielsweise bei kreisförmigebder
nicht kreisförmigen Löchern, solange die Bereiche der überwiegenden Wirkung des
Elektro-Polierverfahrens im Zusammenhang mit nahe beieinanderliegenden Begrenzungslinien
sich tberlappen oder superponiert werden.
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Schablonen, die nach dem Verfahren gemäss der Erfindung hergestellt
werden, sind auch frei von schädlichen scharfen Zacken, die normalerweise bei Schablonen
angetroffen werden, die nach den bisherigen Verfahren hergestellt sind.
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Derartige Fehler entstehen vorzugsweise dadurch den chemischen
Angriff
an einzelnen länglichen Kristallen, die sich in der Folie infolge des Walzverfahrens
anfinden, welches bei der Herstellung der Folie benutzt wird. Derartige Zacken und
Rillen zeigen eine symmetrische Anordnung in Bezug auf die Walzrichtung und sind
besonders störend bei zusammengesetzten oder speziellen Schablonen mit nicht parallel
zueinanderverlaufenden Gittern. Im Gegensatz dazu können mit Hilfe des Verfahrens
nach der Erfindung Schablonen elektropoliert werden ohne Beeinflussung durch die
Richtungseigenschaften der Folie, so dass eine grössere Biegsamkeit innerhalb des
Schablonemusters möglich ist.
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Ein besonderer Vorteil des Verfahrens nach der Erfindung besteht
darin, dass es überall dort angewendet werden kann, wo es besondere Konfigurationen
oder Gegebenheiten wünschenswert erscheinen lassen, dass es gleichzeitig oder in
Kombination und in zeitlicher Aufeinanderfolge mit einem chemischen Ätzverfahren
angewendet wird.
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Da der Elektrolyt keine schädliche Wirkung auf die elektrisch isolierende
Maske ausübt, können extrem dünne Masken mit Erfolg verwendet werden. So kann man
beispielsweise Maskendicken von einem 5 Millionstel eines Zolls verwenden, wobei
ausdrücklich bemerkt sei, dass dies noch nicht einmal die unterste Grenze zu sein
scheint. Wird ein lichtempfind¢icher Überzug für die Zwecke der Herstellung der
Masken verwendet, dann gestattet die extrem geringe Dicke des Überzugs eine Übertragung
des Schablonenbildes mit bisher unerreichter Genauigkeit.
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Ein weiterer Vorteil der Erfindung ist darin zu sehen, dass die Überlappung
bei dem bevorzugten Verfahren des chemischen Angriffs des Metalls langs der Begrenzungslinien
der Maske zu verhältnismässig sehr glatten Kanten der Fasern
deeflechts
führt, so dass die gewünschte Schablonenkonfiguration ausserordentlich naturgetreu
reproduziert wird. Es versteht sich von selbst, dass das Fehlen von Rauhigkeiten
und Zacken die Herstellung kleiner Gitterbreiten in dem Muster der Schablonen ermöglicht,
mit dem sich daraus ergebenden Vorteil eines hohen elektrischen Widerstandes je
Längeneinheit des Geflechts.
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Infolgedessen übertrifft die Leistungsfähigkeit des neuen Verfahrens
die Leistungsfähigkeit aller bisher üblichen Verfahren zur Herstellung von Schablonen
kleins-ter Abmessungen bei weitem. Ausserdem vergrössert aber das Fehlen von Unregelmässigkeiten
an den Kant en rändern die Reproduzierbarkeit des neuen Verfahrens, und es ist aus
diesem Grunde auch besser geeignet ftir die Massenherstellung von Vorrichtungen
gleichmässig hoher Qualität (Schablonen) und ähnlich gearteter Vorrichtungen.
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Die Tatsache, dass die Herstellung von elektrischen Widerstandselementen
und dergleichen auf elektrolytischem Wege an sich bekannt war und dass dabei möglicherweise
zufällig einmal die hier beanspruchte Anordnung der Kanten der Maskenelemente verwendet
sein mögen, konnte nicht die allgemeine Lehre der Erfindung vermitteln (vergl. z.
B. Reichsgericht 1929, Blatt für Patent-, Muster- und Zeichenwesen, 1930, Seite
7/8).
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In der obigen Beschreibung ist die Erfindung unter Bezugnahme auf
die Zeichnung anhand einiger Ausführungsbeispiele näher erläutert; es versteht sich
aber von selbst, dass der Fachmann auf diesem Spezialgebiet der Technik das Verfahren
nach der Erfindung auch noch auf mannigfache Weise abändern kann, ohne den Rahmen
der Erfindung verlassen zu iUsaon .