DE1269858B

DE1269858B - Device for adjusting the spatial position of a preparation plate in a vacuum chamber, e.g. B. a steaming system

Info

Publication number: DE1269858B
Application number: DEP1269A
Authority: DE
Inventors: Siegfried Gessner; Dipl-Ing Dr Techn Fr Grasenick
Original assignee: FRITZ GRASENICK DIPL ING DR TE
Current assignee: FRITZ GRASENICK DIPL ING DR TE
Priority date: 1963-09-23
Filing date: 1964-09-22
Publication date: 1968-06-06

Description

Vorrichtung zur Einstellung der Raumlage eines Präparatetellers in einer Vakuumkammer, z. B. einer Bedampfungsanlage Die Erfindung bezieht sich auf eine Verstellvorrichtung mit vakuumdichter Durchführung für einen um zwei zueinander senkrecht stehende Achsen drehbaren Präparateteller in einer Vakuumkammer, z. B. einer Bedampfungsanlage.Device for adjusting the spatial position of a specimen plate in a vacuum chamber, e.g. B. a steaming system The invention relates to an adjusting device with a vacuum-tight passage for one by two to each other vertical axes rotatable preparation plate in a vacuum chamber, z. B. a vapor deposition system.

Bei einer bekannten Einrichtung dieser Art ist der Präparateteller um seine Achse drehbar am Steg eines U-förmigen Bügels gelagert, dessen beide Schenkel an einer in der Behandlungskammer verschiebbaren Bühne um eine zur Drehachse des Präparatetellers senkrechte Achse drehbar gelagert sind. Sämtliche Bewegungen des Präparatetellers sind von in Längsrichtung der Behandlungskammer sich erstreckenden, getrennt angetriebenen Spindeln abgeleitet.In a known device of this type, the preparation plate is mounted rotatably about its axis on the web of a U-shaped bracket, the two legs of which on a stage that can be displaced in the treatment chamber around a to the axis of rotation of the Preparation plate vertical axis are rotatably mounted. All movements of the Preparation plates are made of extending in the longitudinal direction of the treatment chamber, separately driven spindles derived.

Beim praktischen Gebrauch bzw. bei der Weiterentwicklung derartiger Einrichtungen, die beispielsweise für die Bedampfung von Gegenständen im Hochvakuum zwecks der Präparation von Objekten für die übermikroskopie, weiter für die Herstellung von Vergütungs- und anderen Schichten aus Metallen oder Nichtmetallen geeignet sind, hat es sich gezeigt, daß die bekannte Einrichtung hinsichtlich ihres Platzbedarfes sowie in bezug auf einen ungehinderten Strahlendurchgang nicht in allen Fällen in vollem Ausmaß befriedigen konnte.In practical use or in the further development of such Devices that are used, for example, for the vapor deposition of objects in a high vacuum for the purpose of preparing objects for over-microscopy, further for manufacturing of tempering and other layers made of metals or non-metals are suitable, it has been shown that the known device in terms of its space requirements as well as with respect to unobstructed passage of rays, not in all cases in could fully satisfy.

Von diesen Erkenntnissen ausgehend, bezweckt die Erfindung eineVervollkommnung und Vereinfachung der bekannten Einrichtung, die für alle Anwendungsfälle vorteilhaftere Verhältnisse herbeiführt. Dieses Ziel wird erfindungsgemäß durch zwei konzentrisch zueinander angeordnete, die Wand der Vakuumkammer durchsetzende, unabhängig voneinander drehbare Antriebswellen erreicht, von denen die äußere Antriebswelle als Hohlwelle ausgebildet ist und wobei die Drehung des Präparatetellers um seine beiden Drehachsen je von einer der beiden Antriebswellen abgeleitet ist. Diese überaus raumsparende Ausbildung der Einrichtung ermöglicht ihre Unterbringung auch bei stark beengten Platzverhältnissen, wie dies in Behandlungskammem für die verschiedensten technischen und wissenschaftlichen Zwecke zumeist der Fall ist. Bei voller Wahrung der freien Drehbarkeit des Präparatetellers wird zugleich durch den Fortfall einer eigenen verschiebbaren Bühne einschließlich ihrer Antriebselemente jede Behinderung des Strahlenganges durch diese Bauteile vermieden. Darüber hinaus wird aber auch das Einsetzen der Einrichtung in die Kammer bedeutend vereinfacht, da sie nun ohne Schwierigkeiten durch eine einzige Öffnung in die Kammer eingebracht werden kann. Ein weiterer Vorteil besteht in der einfachen und zuverlässigen Abdichtbarkeit des Innenraumes der Behandlungskammer gegenüber der Atmosphäre, was insbesondere bei Behandlung im Hochvakuum von Bedeutung ist. Die Abdichtung der einzigen Durchtrittsöffnung der Kammerwand kann in diesem Fall in einfacher Weise mit üblichen Dichtelementen vorgenommen werden. Die koaxiale Anordnung der Antriebswellen gewährleistet aber auch eine einfachere Bedienung der Einrichtung, da sämtliche Betätigungsgriffe in übersichtlicher Anordnung nahe beisammen liegen.Proceeding from these findings, the invention aims to perfect and simplify the known device, which brings about more advantageous conditions for all applications. This object is inventively achieved by two concentrically arranged, the wall of the vacuum chamber passes through, independently rotatable drive shafts, of which the outer drive shaft is designed as a hollow shaft and wherein rotation of the preparations plate is each derived about its two axes of rotation of one of the two drive shafts. This extremely space-saving design of the device enables it to be accommodated even in extremely tight spaces, as is usually the case in treatment chambers for a wide variety of technical and scientific purposes. With full preservation of the free rotation of the preparation plate, any obstruction of the beam path by these components is avoided at the same time by the omission of a separate movable stage including its drive elements. In addition, however, the insertion of the device into the chamber is also significantly simplified, since it can now be introduced into the chamber through a single opening without difficulty. Another advantage is the simple and reliable sealability of the interior of the treatment chamber from the atmosphere, which is particularly important when treating in a high vacuum. In this case, the single passage opening in the chamber wall can be sealed in a simple manner using conventional sealing elements. The coaxial arrangement of the drive shafts also ensures easier operation of the device, since all the operating handles are arranged close together in a clear arrangement.

In weiterer Ausgestaltung der Erfindung kann die äußere, als Hohlwelle ausgebildete Antriebswelle in der Wand der Vakuumkammer gelagert und zusainmen mit der inneren Antriebswelle axial verschiebbar sein und die innere Antriebswelle gegenüber der äußeren Antriebswelle relativ verschiebbar sein, durch welche Bewegung der Präparateteller zusätzlich um eine dritte, zu seinen beiden Drehachsen normale Achse schwenkbar und so z. B. an einen in der Vakuumkammer angeordneten Kühlkörper andrückbar sein. Die bei zahlreichen Behandlungsvorgängen wiederholt erforderliche Kühlung des Präparatetellers durch unmittelbaren Kontakt mit dem Kühlkörper kann solcherart mit wenigen Handgriffen vorgenommen werden, so daß der Behandlungsvorgang nur über einen kurzen Zeitraum unterbrochen werden muß. Nach dem gleichen Prinzip kann der Präparateteller auch in Zeitabständen beheizt werden, wobei sich die Verwendung eines kombinierten Heiz- und Kühlkörpers in vielen Fällen als zweckmäßig erweist. Auch die zusätzlichen Freiheitsgrade für die Lageveränderung des Präparatetellers ändern nichts an der einfachen Abdichtbarkeit der Kammer nach außen.In a further embodiment of the invention, the outer, as a hollow shaft trained drive shaft stored in the wall of the vacuum chamber and together with the inner drive shaft be axially displaceable and the inner drive shaft opposite the outer drive shaft be relatively displaceable, by which movement of the preparation plate can also be pivoted about a third axis normal to its two axes of rotation and so z. B. can be pressed against a heat sink arranged in the vacuum chamber. The one in numerous treatment processes repeatedly required The preparation plate can be cooled by direct contact with the heat sink be made in such a way with a few simple steps, so that the treatment process only has to be interrupted for a short period of time. On the same principle the preparation plate can also be heated at intervals, whereby the use a combined heating and cooling element proves to be useful in many cases. Also the additional degrees of freedom for changing the position of the specimen plate do not change anything about the simple sealability of the chamber to the outside.

Um die zusätzliche Bewegung auf den Präparateteller zu übertragen, kann erfindungsgemäß eine weitere, die Hohlwelle koaxial durchsetzende, separat drehbare, hohle Antriebswelle vorgesehen sein, von deren Drehung die Schwenkbewegung des Präparatetellers abgeleitet ist. Die beiden letztgenannten Ausführungsvorschläge zeichnen sich durch besonders einfache bauliche Gestaltung und leichte Bedienbarkeit aus, wobei es dem Ermessen des Fachmannes überlassen bleibt, welcher der beiden Lösungen im jeweils vorliegenden Verwendungsfall der Vorzug zu geben sein wird.In order to transfer the additional movement to the slide plate, can according to the invention a further, the hollow shaft coaxially penetrating, separately rotatable, hollow drive shaft may be provided, the rotation of which causes the pivoting movement of the preparation plate is derived. The two last-mentioned design proposals are characterized by a particularly simple structural design and ease of use which of the two is left to the discretion of the skilled person Solutions in the case at hand will be given preference.

Eine bevorzugte Ausführung der Einrichtung nach der Erfindung sieht eine kardanische Aufhängung des Präparatetellers zweier an ihren Schenkeln gelenkig miteinander verbundener, einander umgreifender U-förmiger Bügel vor, wobei die Welle des Präparatetellers am Steg des inneren Bügels drehbar gelagert und der äußere Bügel mittig am inneren Ende der äußeren Hohlwelle befestigt ist. Der Präparateteller befindet sich daher, unabhängig von seiner jeweiligen Raumlage, stets in zentraler Anordnung in bezug auf seine Drehachse, so daß er in jeder Stellung im unmittelbaren Wirkungsbereich der Strahlungs- bzw. Bedampfungsquelle od. dgl. bleibt.A preferred embodiment of the device according to the invention sees a cardanic suspension of the preparation plate of two articulated on their thighs interconnected, encompassing U-shaped bracket in front, the shaft of the preparation plate rotatably mounted on the web of the inner bracket and the outer Bracket is attached centrally at the inner end of the outer hollow shaft. The preparation plate is therefore always in the center, regardless of its respective spatial position Arrangement in relation to its axis of rotation, so that it is in any position in the immediate The range of action of the radiation or vapor deposition source or the like remains.

Bei kardanischer Aufhängung des Präparatetellers erweist es sich nach einem weiteren Erfindungsvorschlag als vorteilhaft, die Welle des Präparatetellers mit der zentralen Antriebswelle über ein Kegelradgetriebe zu verbinden, das aus je einem Kegelrad an den freien Enden der genannten Wellen und einem Paar drehfest miteinander verbundener Kegelräder besteht, deren Drehachse mit der Schwenkachse des Präparatetellers zusammenfällt, wobei gegebenenfalls am inneren und/oder äußeren Bügel noch ein Zwischenkegelrad vorgesehen sein kann. Durch den zwangläufigen Antrieb ist eine eindeutige Zuordnung der Drehung der Welle des Präparatetellers und der zentralen Antriebswelle gegeben.In the case of a cardanic suspension of the preparation plate, according to a further proposal of the invention, it proves to be advantageous to connect the shaft of the preparation plate to the central drive shaft via a bevel gear, which consists of a bevel gear at each of the free ends of the shafts and a pair of bevel gears connected to one another in a rotationally fixed manner, the axis of rotation of which coincides with the pivot axis of the preparation plate, and an intermediate bevel gear can optionally also be provided on the inner and / or outer bracket. The inevitable drive provides a clear assignment of the rotation of the shaft of the preparation plate and the central drive shaft.

Schließlich kann erfindungsgemäß mit dem inneren Bügel ein Kegelrad drehfest verbunden sein, das, allenfalls unter Zwischenschaltung eines weiteren Kegelrades, mit einem Kegelrad am inneren Ende der hohlen Antriebswelle im Eingriff steht. Damit wird auch für die Schwenkbewegung des Präparatetellers eine eindeutige Zuordnung zur Bewegung der hohlen Antriebswelle herbeigeführt.Finally, according to the invention, a bevel gear can be used with the inner bracket be non-rotatably connected, possibly with the interposition of another Bevel gear, meshed with a bevel gear at the inner end of the hollow drive shaft stands. This also becomes a clear one for the swiveling movement of the specimen plate Assignment brought about the movement of the hollow drive shaft.

Die Erfindung wird im folgenden an zwei AusführungsbeispIelen an Hand der Zeichnung näher erläutert.The invention is illustrated below using two exemplary embodiments the drawing explained in more detail.

F i g. 1 zeigt die Gesamtanordnung einer Ausführungsvariante der erfindungsgemäßen Einrichtung in schematischer Schnittdarstellung und F i g. 2 eine weitere Ausführungsform der Einrichtung nach der Erfladung im Längsschnitt. Gemäß F i g. 1 befindet sich der Präparateteller 1 in zentraler Anordnung innerhalb einer Behandlungskammer 2, die von einem zweiachsigen Gehäuse 3 umschlossen ist. Der Präparateteller 1 ist um seine eigene Achse drehbar an einem Schwenkkopf 4 befestigt, dessen Mittelpunkt mit dem Schnittpunkt der beiden Achsen A-A und B-B des Gehäuses 3 zusammenfällt. Der Schwenkkopf 4 ist am inneren Ende einer zur Achse A-A konzentrischen Hohlwelle 5 angeschlossen, in der eine zentrale Antriebswelle 6 frei drehbar und längsverschieblich geführt ist. Der Schwenkkopf 4 ist um eine zu den beiden Achsen A-A und B-B normale Raumachse C schwenkbar.F i g. 1 shows the overall arrangement of an embodiment variant of the device according to the invention in a schematic sectional illustration and FIG . 2 shows a further embodiment of the device after loading in longitudinal section. According to FIG. 1, the preparations plate 1 is located in a central location within a treatment chamber 2 which is enclosed by a two-axle housing. 3 The preparation plate 1 is attached to a swivel head 4 so that it can rotate about its own axis, the center of which coincides with the intersection of the two axes AA and BB of the housing 3 . The swivel head 4 is connected to the inner end of a hollow shaft 5 which is concentric to the axis AA and in which a central drive shaft 6 is guided freely rotatable and longitudinally displaceable. The swivel head 4 can be swiveled about a spatial axis C normal to the two axes AA and BB.

Die Hohlwelle 5 ist durch einen seitlichen Montageflansch 9 des Gehäuses 3 hindurchgeführt und in der Bohrung des Flansches 9 sowohl axial verschiebbar als auch drehbar gelagert.The hollow shaft 5 is guided through a lateral mounting flange 9 of the housing 3 and both axially displaceable and mounted in the bore of the flange 9 as rotatable.

Die dem Flansch 9 gegenüberliegende, öffnung des Gehäuses 3 führt, wie durch den Pfeil angedeutet, zwecks Evakuierbarkeit der Behandlungskammer 2 zu einer Vakuumpumpe. Mit 10 und 11 sind die Flansche zum Abschluß des Unter- bzw. Oberteils der Behandlungskammer 2 bezeichnet, welche zugleich zur Aufnahme von Aufdampf- oder Bestrahlungsquellen dienen, wenn derartige Behandlungsvorgänge durchgeführt werden sollen.The opening of the housing 3 opposite the flange 9 leads, as indicated by the arrow, to a vacuum pump for the purpose of evacuating the treatment chamber 2. With 10 and 11 , the flanges for the closure of the lower and upper part of the treatment chamber 2 are designated, which also serve to accommodate vapor deposition or radiation sources when such treatment processes are to be carried out.

In die vorzugsweise thermisch isolierbare Behandlungskammer 2 ist weiter, dem Flausch 9 gegenüberliegend, ein Kühlzylinder 12 eingesetzt, der, wie nachfolgend noch erläutert, zur zeitweisen Kühlung des Präparatetellers 1 dient. Für besondere Verwendungszwecke, kann dieser Kühlzylinder 12 aber auch einen zylindrischen Fortsatz aus gut wärmeleitendem Material, z. B. Kupferblech, aufweisen, welcher den Präparateteller 1 umgibt und Ausnehmungen besitzt, die eine unbehinderte, Bedampfung bzw. Bestrahlung der auf dem Präparateteller 1 befindlichen Objekte ermöglichen.In the treatment chamber 2, which is preferably thermally insulated, a cooling cylinder 12 is also inserted, opposite the fleece 9 , which, as will be explained below, serves to temporarily cool the preparation plate 1. For special purposes, this cooling cylinder 12 can also have a cylindrical extension made of a highly thermally conductive material, for. B. copper sheet, which surrounds the preparation plate 1 and has recesses that allow unimpeded vaporization or irradiation of the objects located on the preparation plate 1.

Zur Betätigung der Einrichtung besitzen die AntriebsweRen 5 bzw. 6 an ihrem äußeren Ende je einen Betätigungsgriff 7 bzw. 8. Die Drehung des Präparatetellers 1 um seine Achse, ist von der zentralen Antriebswelle 6 abgeleitet und wird durch Drehen des Griffes 8 vorgenommen. Zum Schwenken des Präparatetellers 1 um die Achse C wird die zentrale Antriebswelle 6 mittels des Griffes 8 innerhalb der Hohlwelle 5 verschoben. Bei einer Schwenkung des Tellers 1 aus der in der Zeichnung ersichtlichen Stellung um 901 nimmt der Teller:t die durch strichpunktierte Linien angedeutete Lage ein, in der seine Achse mit der Achse A-A der Antriebswellen 5 und 6 zusammenfällt. Der Teller 1 kann nun durch axiale Verschiebung der Hohlwelle 5 mittels ihres Griffes 7 an den Kühlzylinder 12 herangeführt und durch unmittelbaren Wärmekontakt abgekühlt werden. Der Präparateteller 1 ist weiter mit Hilfe des Griffes 7 um die Achse A-A frei drehbar.To actuate the device, the drive weren 5 and 6 each have an operating handle 7 and 8. The rotation of the preparations disk 1 about its axis at its outer end, is derived from the central drive shaft 6 and is made by turning the handle. 8 To pivot the preparation plate 1 about the axis C , the central drive shaft 6 is displaced within the hollow shaft 5 by means of the handle 8. When the plate 1 is pivoted by 901 from the position shown in the drawing, the plate: t assumes the position indicated by dash-dotted lines in which its axis coincides with the axis AA of the drive shafts 5 and 6 . The plate 1 can now be brought up to the cooling cylinder 12 by axially displacing the hollow shaft 5 by means of its handle 7 and can be cooled by direct thermal contact. The preparation plate 1 can also be freely rotated around the axis AA with the aid of the handle 7.

Sofern eine Schwenkmöglichkeit des Präparatetellers 1 um die Achse C nicht vorgesehen ist, kann zur Kühlung des Präparatetellers 1 auch eine Kühlbrücke in der Art eines federnden Auslegers innerhalb oder außerhalb derKühlkammer vorhanden sein.If it is not possible to pivot the specimen plate 1 about the axis C , a cooling bridge in the form of a resilient arm inside or outside the cooling chamber can also be provided for cooling the specimen plate 1.

Bei der Ausführungsvariante nach F i g. 2 ist eine kardanische Aufhängung des Präparatetellers 1 vorgesehen. Der Teller 1 ist mit seiner Welle 15 durch einen Mitnehmer 13 drehfest verbunden und mittels einer Schraubenfeder 14, die sich auf einem Absatz der Welle, 15 abstützt, abgefedert. Das Drehlager 16 der Welle 15 befindet sich am Steg eines etwa U-förmigen inneren Bügels 17. Die parallelen Schenkel 18 dieses Bügels besitzen miteinander fluchtende Querbohrungen, die Drehlager für die Schwenkzapfen 19 eines U-förmigen äußeren Bügels 20 bilden, dessen Steg 21 am inneren Ende der äußeren Hohlwelle 5 mittig angeschlossen ist. Die Hohlwelle 5 ist wie beim ersteren Ausführungsbeispiel in einer Bohrung des Flansches 9 dreh- und verschiebbar geführt und gegen den Flansch 9 durch eine Lippendichtung 22 abgedichtet. Ein am Flansch 9 befestigter Klemmkonus 23 mit aufschraubbarem Klemmring 24 ermöglicht es, die Hohlwelle 5 in jeder beliebigen Lage festzustellen.In the variant according to FIG. 2 a cardanic suspension of the preparation plate 1 is provided. The plate 1 is non-rotatably connected to its shaft 15 by a driver 13 and is cushioned by means of a helical spring 14 which is supported on a shoulder of the shaft 15. The pivot bearing 16 of the shaft 15 is located on the web of an approximately U-shaped inner bracket 17. The parallel legs 18 of this bracket have aligned transverse bores that form the pivot bearing for the pivot pin 19 of a U-shaped outer bracket 20, the web 21 on the inner End of the outer hollow shaft 5 is connected in the middle. As in the first exemplary embodiment, the hollow shaft 5 is guided rotatably and displaceably in a bore in the flange 9 and is sealed against the flange 9 by a lip seal 22. A clamping cone 23 fastened to the flange 9 with a screw-on clamping ring 24 enables the hollow shaft 5 to be fixed in any position.

Die Hohlwelle 5 durchsetzt eine koaxial angeordnete, separat drehbare, hohle Antriebswelle 5', die mittels einer weiteren, aus Komis 23" und Ring 24' bestehenden Klenunvorrichtung mit der äußeren Hohlwelle 5 drehfest verbunden werden kann. Die gegenseitige Abdichtung der Wellen 5 und 5' erfolgt durch eine weitere Lippendichtung 22'. Am äußeren Ende der Hohlwelle 5' ist ein Drehgriff 7' und am inneren Ende ein Kegelrad 25 befestigt.The hollow shaft 5 passes through a coaxially arranged, separately rotatable, hollow drive shaft 5 ' which can be connected non-rotatably to the outer hollow shaft 5 by means of a further Klenun device consisting of Komis 23 " and ring 24'. The mutual sealing of the shafts 5 and 5 ' takes place through a further lip seal 22 '. A rotary handle 7' is attached to the outer end of the hollow shaft 5 'and a bevel gear 25 is attached to the inner end.

Die zentrale Antriebswelle 6 ist durch die hohle Welle 5' hindurchgeführt, gegenüber dieser durch eine weitere Lippendichtung 22#' abgedichtet und an ihrem äußeren Ende mit einer Kurbel 34 versehen. Das innere Ende der zentralen Antriebswelle 6 trägt gleichfalls ein Kegelrad 28. Die Kegelräder 25 und 28 stellen die Antriebsräder zweier voneinander unabhängiger Kegelradgetriebe dar, welche die Dreh- und Schwenkbewegung des Präparatetellers 1 von den konzentrischen Antriebswellen 5' und 6 ableiten.The central drive shaft 6 is passed through the hollow shaft 5 ' , is sealed against it by a further lip seal 22 #' and is provided with a crank 34 at its outer end. The inner end of the central drive shaft 6 supports also a bevel gear 28. The bevel gears 25 and 28, the drive wheels are the two independent bevel gear which derive the rotational and pivotal movement of the preparations adjuster 1 of the concentric drive shafts 5 'and 6. FIG.

Das Getriebe zum Verschwenken des inneren Bügels 17 umfaßt die Kegelräder 25, 26 und 27, von denen das letztere an einem Schenkel 18 des inneren Bügels 17 drehfest angeschlossen ist, während das Zwischenkegelrad 26 am äußeren Bügel 20 mit einer Achsneigung von je 451 gegenüber den Achsen der Kegelräder 25 und 27 drehbar gelagert ist.The transmission for pivoting the inner bracket 17 includes the bevel gears 25, 26 and 27, the latter of which is connected to one leg 18 of the inner arm 17 rotatably, while the Zwischenkegelrad 26 on the outer strap 20 having a axial inclination of each 451 from the axes the bevel gears 25 and 27 is rotatably mounted.

Das Getriebe für den Antrieb der Welle 15 des Tellers 1 umfaßt insgesamt sechs Kegelräder 28 bis 33, von denen die beiden mittleren Kegelräder 30 und 31 drehfest miteinander verbunden auf einer Hülse sitzen, welche in der Querbohrung des dem Kegelrad 27 gegenüberliegenden Schenkels des inneren Bügels 17 drehbar ist, und in deren Achsbohrung der Schwenkzapfen 19 des äußeren Bügels 20 hineinragt. Das Zwischenkegelrad 29 ist am äußeren und das Zwischenkegelrad 32 am inneren Bügel drehbar gelagert. Die Achsen der Zwischenkegelräder 29 und 32 sind zu den Achsen der benachbarten Kegelräder, mit denen sie im Eingriff stehen, jeweils um 450 geneigt.The gearbox for driving the shaft 15 of the plate 1 comprises a total of six bevel gears 28 to 33, of which the two middle bevel gears 30 and 31 are connected to one another in a rotationally fixed manner on a sleeve which is located in the transverse bore of the leg of the inner bracket 17 opposite the bevel gear 27 is rotatable, and in the axial bore of the pivot pin 19 of the outer bracket 20 protrudes. The intermediate bevel gear 29 is rotatably mounted on the outer bracket and the intermediate bevel gear 32 on the inner bracket. The axes of the intermediate bevel gears 29 and 32 are inclined by 450 each to the axes of the adjacent bevel gears with which they are in mesh.

Die kardanische Aufhängung ermöglicht eine freie Drehbarkeit des Präparatetellers 1 auch um die Achse C-C, so daß der Teller 1 jede beliebige Raumlage einnehmen kann.The gimbal allows free rotation of the preparations plate 1 about the axis CC so that the plate 1 may take any spatial position.

Die bei beiden Ausführungsvarianten vorgesehene Schwenk- und Verschiebbarkeit des Präparatetellers 1 bietet außer der vereinfachten Kühlung bzw. Heizung des Tellers auch noch die Möglichkeit, das Präparat beispielsweise abwechselnd über zwei Verdampfungsschiffchen zu führen.The pivotability and displaceability of the preparation plate 1 provided in both design variants offers, in addition to the simplified cooling or heating of the plate, also the possibility of guiding the preparation alternately over two evaporation boats, for example.

Im Rahmen der Erfindung sind auch noch weitere, in der Zeichnung nicht dargestellte Ausführungsforn#en des Erfindungsgegenstandes möglich, so z. B. eine Variante, bei der der Präparateteller in einen Ring eingesetzt ist, so daß sein Zentrum für die Aufnahme des Präparates frei bleibt, was in vielen Fällen von Vorteil sein kann. Der Schutzbereich erstreckt sich weiter auch auf Ausführungen, bei denen der Antrieb der Einrichtung im Inneren der Behandlungskammer untergebracht ist, wobei z. B. für jeden Einzelantrieb des Präparatetellers ein eigener Motor vorgesehen sein kann.Within the scope of the invention, there are also others that are not shown in the drawing Illustrated embodiments of the subject matter of the invention are possible, so z. Legs Variant in which the preparation plate is inserted into a ring so that its The center for the reception of the preparation remains free, which is an advantage in many cases can be. The scope of protection also extends to versions where the drive of the device is housed inside the treatment chamber, where z. B. a separate motor is provided for each individual drive of the preparation plate can be.

Claims

Claims: 1. Adjusting device with vacuum-tight implementation for a specimen plate rotatable about two mutually perpendicular axes in a vacuum chamber, e.g. B. a vapor deposition system, characterized by two concentrically arranged, the wall of the vacuum chamber (2) penetrating, independently rotatable drive shafts (5, 6), of which the outer drive shaft (5) is designed as a hollow shaft and wherein the rotation of the preparation plate ( 1) is derived around its two axes of rotation (AA, BB) each from one of the two drive shafts (5, 6) .

2. Apparatus according to claim 1, characterized in that the outer drive shaft (5) designed as a hollow shaft is mounted in the wall of the vacuum chamber and is axially displaceable together with the inner drive shaft (6) and the inner drive shaft (6) relative to the outer drive shaft (5) is relatively displaceable, by which movement the preparation plate (1) can also be pivoted about a third axis (C) to the two axes of rotation (AA, BB) and so z. B. can be pressed against a heat sink (12) arranged in the vacuum chamber (2) (FIG . 1). 3. Device according to claim 1, characterized by a further, the hollow shaft (5) coaxially penetrating, separately rotatable hollow drive shaft (5 '), from the rotation of which a pivoting movement of the preparation plate (1) is derived (F i g. 2). 4. Apparatus according to claim 3, characterized by cardanic suspension of the preparation plate (1) by means of two hingedly interconnected at their legs, encompassing U-shaped brackets (17 or 20), wherein the shaft (15) of the preparation plate (1) on The web of the inner bracket (17) is rotatably mounted and the outer bracket (20) is attached centrally to the inner end of the outer hollow shaft (5). 5. Apparatus according to claim 4, characterized in that the shaft (15) of the preparation plate (1) is drive-connected to the central drive shaft (6) via a bevel gear (28 to 33) , which consists of a respective bevel gear (28 or 33) at the free ends of said shafts (6 or 15) and a pair of bevel gears (30, 31) connected to one another in a rotationally fixed manner, the axis of rotation of which coincides with the pivot axis (CC) of the preparation plate (1) , possibly on the inner and / or outer Bracket (17 or 20) an intermediate bevel gear (32 or 39) can be provided. 6. Device according spoke 4 or 5, characterized in that with the inner bracket (17) a bevel gear (27) is rotatably connected, which, if necessary with the interposition of a further bevel gear (26), with a bevel gear (25) at the inner end the hollow drive shaft (5 ') is engaged. Considered publications: German Patent Specifications No. 966 014, 1 165 900; German Auslegeschrift No. 1079 920; U.S. Patent No. 3,023,727.