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DE1255952B - Interferometeranordnung zur Einstellung des Interferenzlinienabstandes - Google Patents

Interferometeranordnung zur Einstellung des Interferenzlinienabstandes

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Publication number
DE1255952B
DE1255952B DEJ28663A DEJ0028663A DE1255952B DE 1255952 B DE1255952 B DE 1255952B DE J28663 A DEJ28663 A DE J28663A DE J0028663 A DEJ0028663 A DE J0028663A DE 1255952 B DE1255952 B DE 1255952B
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
polarization
polarizer
prisms
analyzer
wollaston prism
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
DEJ28663A
Other languages
English (en)
Inventor
Renee Mathilde Drougard
Janusz Stanislaw Wilczynski
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
International Business Machines Corp
Original Assignee
International Business Machines Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by International Business Machines Corp filed Critical International Business Machines Corp
Publication of DE1255952B publication Critical patent/DE1255952B/de
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B9/00Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
    • G01B9/02Interferometers
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B2290/00Aspects of interferometers not specifically covered by any group under G01B9/02
    • G01B2290/70Using polarization in the interferometer

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)

Description

  • Interferometeranordnung zur Einstellung des Interferenzlinienabstandes Die Erfindung betrifft optische Einrichtungen zur Veränderung der Polarisation eines Lichtstrahles, insbesondere Kompensatoren und Interferometer, bei denen eine in der Ebene senkrecht zur optischen Achse veränderliche Polarisation vorliegt.
  • Es sind bereits verschiedene optische Einrichtungen bekannt, die eine Veränderung der Polarisation des Lichtes herbeizuführen in der Lage sind; dazu gehören Kompensatoren, wie beispielsweise der Babinet-Kompensator, und Prismen, wie beispielsweise das Wollaston-Prisma und das Rochon-Prisma. Wenn ein breites Bündel polarisierten Lichtes durch diese Einrichtungen hindurchgeschickt wird, so tritt in der Ebene senkrecht zur optischen Achse eine dem Ort nach veränderliche Polarisation auf. Die in dieser Ebene veränderliche Polarisation läßt sich beobachten, indem man das aus dem Kompensator oder aus dem Prisma austretende Lichtbündel durch einen Analysator, beispielsweise ein Nicolsches Prisma, betrachtet; dabei beobachtet man ein Liniengitter von Interferenzstreifen. Diese Erscheinung beruht darauf, daß die optische Weglänge in den erwähnten Kompensatoren oder Prismen für zwei senkrecht zueinander polarisierte Komponenten, aus denen man sich das Lichtbündel zusammengesetzt denken kann, verschieden groß ist und daß diese optische Weglängendifferenz in der Ebene senkrecht zur optischen Achse des Systems in gleichmäßiger Weise variiert.
  • Der Abstand zwischen den Interferenzstreifen ist im wesentlichen durch die Konstruktion der Kompensatoren und Prismen bestimmt. Diese bestehen in der Regel aus zwei Keilen, die an ihrem spitz zulaufenden Ende den gleichen Winkel aufweisen. Zur Einstellung des Interferenzstreifenabstandes muß für gewöhnlich der Winkel der Keile verändert werden. Um dies erzielen zu können, benötigt man für jeden gewünschten Interferenzstreifenabstand einen anderen Satz von Prismen oder Kompensatoren.
  • Es ergibt sich demnach die Aufgabe, eine optische Einrichtung der oben beschriebenen Art zu schaffen, bei der es aber in einfacher Weise möglich ist, die in der Ebene senkrecht zur optischen Achse des Systems variierende Polarisation des Lichtbündels in der Weise zu steuern, daß sich eine stufenlose Veränderung des Interferenzlinienabstandes ergibt.
  • Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch eine Interferometeranordnung zur Einstellung des Interferenzlinienabstandes, bei der zwischen einer drehbaren Polarisatoranordnung und einer drehbaren Analysatoranordnung eine Polarisationsprismenanordnung mit senkrecht zur optischen Achse orientierter Plattenebene angeordnet ist und die sich dadurch kennzeichnet, daß zwei um gleiche Winkel gegensinnig drehbare Polarisationsprismen und zwischen beiden eine fest angeordnete i/2-Platte vorgesehen sind und daß die Polarisationsebenen des Polarisators und des Analysators in der Ausgangsstellung senkrecht oder parallel zueinander und unter 45" zu den Polarisationsebenen der Polarisationsprismen orientiert sind.
  • In einer bevorzugten Ausführungsform bestehen die beiden Polarisationsprismen aus Wollaston-Prismen; der Polarisator und der Analysator sind jeweils mit dem ihnen zunächst liegenden Wollaston-Prisma zusammen drehbar, wobei ihre Polarisationsebenen jeweils mit der Polarisationsebene des zugeordneten Wollaston-Prismas unter 45" orientiert sind. Wenn man das aus dem Analysator austretende Lichtbündel beobachtet, so sieht man ein Interferenzliniengitter.
  • Die Interferenzlinienabstände lassen sich durch Drehung des Polarisators zusammen mit dem ihm benachbarten Wollaston-Prisma in der einen Richtung und durch gleichzeitige entgegengesetzte Drehung des Analysators zusammen mit dem ihm benachbarten Wollaston-Prisma um die gemeinsame Systemachse verändern. Die A/2-Platte nimmt an der Drehung nicht teil, sondern bleibt stationär.
  • In einer anderen Ausführungsform der Erfindung ist der Polarisator fest angeordnet, und zwischen dem Polarisator und dem nächstliegenden Wollaston-Prisma sind ein Soleilkompensator und eine mit halber Drehgeschwindigkeit drehbare weitere A/2-Platte vorgesehen. Die beiden Polarisationsebenen des Soleilkompensators sind unter 45s in bezug auf die Polarisationsebene des Polarisators ausgerichtet. Der Polarisator und der Soleilkompensator bleiben stationär, während die zusätzliche A/2-Platte mit der halben Rotationsgeschwindigkeit des benachbarten Wollaston-Prismas gedreht wird. Wie im ersten Ausführungsbeispiel beobachtet man auch hier wieder ein Interferenzliniengitter, wobei der Linienabstand von der gegensinnigen Drehung der beiden Wollaston-Prismen abhängt. Durch Einstellung des Soleilkompensators läßt sich hier aber auch außerdem eine Verschiebung des Liniengitters unter Beibehaltung eines konstanten Linienabstandes herbeiführen.
  • Gegenüber Interferometern, die wie z. B. das Michelson-Interferometer zwei getrennte Strahlengänge für die zur Interferenz zu bringenden Lichtbündel vorgesehen, hat das erfindungsgemäße Interferometer den Vorteil, daß ein gemeinsamer Strahlengang vorgesehen ist, so daß sich mechanische Störungen, wie z. B. Vibrationen, auf beide Strahlen im gleichen Sinne auswirken, so daß das Interferenzbild nicht verschoben wird.
  • Die Erfindung wird an Hand einer in weitere Einzelheiten gehenden Beschreibung unter Hinweis auf die Zeichnungen erläutert. In den Zeichnungen stellt dar F i g. 1 in Schnittdarstellung ein erfindungsgemäßes Interferometer, Fig.2 in auseinandergezogener Perspektivdarstellung die einzelnen optischen Komponenten des in F i g. 1 gezeigten Interferometers, F i g. 3 Vektordarstellung zur Veranschaulichung, wie die Polarisation des Lichtes beim Durchgang durch die optischen Komponenten in Fig.2 verändert wird, F i g. 4 in Schnittdarstellung eine andere Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Interferometers, F i g. 5 in auseinandergezogener Perspektivdarstellung die einzelnen optischen Komponenten des in F i g. 4 gezeigten Interferometers, F i g. 6 ein Vektordiagramm zur Veranschaulichung der Polarisation des Lichtes, wenn dieses durch einige der in F i g. 5 gezeigten optischen Komponenten hindurchtritt.
  • Das in F i g. 1 gezeigte Interferometer umfaßt fünf optische Komponenten oder Elemente 5 bis 9, die in F i g. 2 zur besseren Ubersicht in auseinandergezogener Perspektivdarstellung gezeigt sind. Jedes dieser optischen Elemente 5 bis 9 ist mit seiner Hauptebene senkrecht zur gemeinsamen optischen Achse des Interferometers angeordnet. Ein von links kommendes Lichtstrahlenbündel verläuft parallel zur Achse 11.
  • Ein im Punkt 13 befindlicher Beobachter sieht ein Interferenzgitter 15, das aus vielen einzelnen Interferenzstreifen 17 besteht. Der Abstand zwischen den einzelnen Linien oder Streifen 17 läßt sich durch Drehen der Elemente 5 und 6 in der einen Richtung um die Achse 11 und der Elemente 8, 9 in der anderen Richtung um die Achse 11 verändern. Die Mechanik zur Durchführung dieser Drehbewegungen ist in F i g. 1 dargestellt.
  • Die optischen Elemente 5 und 6 sind in einer kreiszylindrischen Fassung 21 untergebracht. Entlang des Zylinderumfanges ist ein Satz Zähne 23 angeordnet. Zur Aufnahme der optischen Elemente 8 und 9 dient eine ähnliche kreiszylindrische Fassung 25, die entlang ihres Umfanges ebenfalls mit einem Satz Zähnen27 versehen ist. Das optische Element 7 ist mit Hilfe einer Haltevorrichtung 29 starr befestigt, wie dies aus F i g. 1 ersichtlich ist.
  • Die Fassungen 21 und 25 sind in entgegengesetztem Richtungssinn drehbar; zur Herbeiführung dieser gegensinnigen Rotation dient ein Antriebsrad 31, das ein Zahnrad-Differentialgetriebe 33 in Drehbewegung versetzt.
  • Die Art und Weise, wie das Interferenzliniengitter 15 zustandekommt, läßt sich am besten verstehen, wenn man den Polarisationszustand des durch die Elemente 5 bis 9 hindurchtretenden Lichtstrahlenbündels untersucht. Das optische Element 5 ist ein Polarisator, dessen Polarisationsrichtung so ausgerichtet ist, wie es durch die parallelen Linien 5 a zeichnerisch dargestellt ist. Das Element 6 ist ein Wollaston-Prisma, das aus zwei doppelbrechenden Keilen 6a und 6b besteht.
  • Die an den spitz zulaufenden Enden der Keile 6a, 6b befindlichen Winkel 6c und 6d sind gleich groß, so daß das Wollaston-Prisma 6 zwei parallele Hauptoberflächen aufweist, von denen eine in F i g. 2 mit dem Bezugszeichen 6e versehen ist. Die optische Achse des Keils 6a verläuft horizontal, während die optimale Achse des Keils 6b vertikal verläuft. Beim in F i g. 2 dargestellten Wollaston-Prisma 6 kennzeichnen die eingezeichneten parallelen Linien die Richtung der optischen Achsen, während die auf den Oberflächen eingezeichneten Punkte die Enden der parallelen Linien bedeuten sollen.
  • Beim optischen Element 8 handelt es sich ebenfalls um ein Wollaston-Prisma, das im großen und ganzen dem Wollaston-Prisma 6 entspricht. Die zwei optischen Achsen des Wollaston-Prismas 8 sind so ausgerichtet, wie es in F i g. 2 durch die parallelen Linien und die punktierten Oberflächen anschaulich zum Ausdruck gebracht ist. Das optische Element 7 ist eine A/2-Platte mit einer horizontal liegenden langsamen Achse (dargestellt durch die Linien 7a) und einer vertikal verlaufenden schnellen Achse (nicht dargestellt). Beim optischen Element 9 handelt es sich um einen Analysator, der Licht nur dann hindurchläßt, wenn dieses parallel zu den Linien 9 a polarisiert ist.
  • Der Analysator 9 ist in bezug auf den Polarisator 5 gekreuzt angeordnet, d. h., die Polarisationsrichtungen zwischen Polarisator und Analysator liegen unter 90" gekreuzt.
  • Der Polarisator 5 und das Wollaston-Prisma 6 funktionieren in der herkömmlichen Weise. Der Polarisator 5 macht aus dem einfallenden Lichtstrahlenbündel polarisiertes Licht, dessen Polarisationsebene parallel zu den Linien 5a verläuft. Das in dieser Ebene polarisierte, vom Polarisator 5 austretende Licht kann betrachtet werden, als ob es aus zwei zueinander senkrechten Komponenten besteht, von denen eine horizontal und die andere vertikal verläuft und beide gleiche Größe und Phase haben. Das Wollaston-Prisma 6 führt nun eine Phasendifferenz zwischen diesen beiden Komponenten herbei, indem es eine Komponente in ihrer Fortpflanzungsgeschwindigkeit in bezug auf die andere Komponente verzögert.
  • Die nach dem Durchtritt durch das Wollaston-Prisma 6 eingetretene Phasendifferenz variiert in der Ebene senkrecht zur Systemachse, und zwar in horizontaler Richtung, entsprechend den Veränderungen in der Dicke der Keile 6a und 6b. Betrachtet man das aus dem Wollaston-Prisma 6 austretende Licht durch einen Analysator, so sieht man wegen dieser örtlichen Variation der Phasendifferenz zwischen den beiden Lichtkomponenten ein vertikales Interferenzliniengitter in der Art der Interferenzlinien 17. Der Linienabstand ist durch die Winkel 6c und 6d gegeben und kann nur durch Änderung dieser Winkel, d. h. Austausch des Wollaston-Prismas 6, geändert werden.
  • Die räumliche Linienfrequenz (Zahl der Linien pro Längeneinheit) ist dabei, da die beiden Winkel 6c und 6d gleich groß sind, durch folgende Beziehung bestimmt: fo = 2 (ne - n0) tan (6c)lA.
  • Gleichung (1) In dieser Gleichung (1) bedeutet f, die durch das Wollaston-Prisma 6 erzeugte räumliche Linienfrequenz, wobei das Wollaston-Prisma 6 die in F i g. 2 gezeigte Stellung einnimmt, A die Lichtwellenlänge, ne und n0 sind die beiden Hauptindizes des Wollaston-Prismen materials.
  • Der aus dem Wollaston-Prisma 6 austretende veränderliche polarisierte Lichtstrahl tritt durch die ;1/2Platte 7 hindurch, wo die Horizontalkomponente eine Verzögerung gegen die Vertikalkomponente um eine halbe Wellenlänge erfährt. Die Funktion der A/2-Platte 7 spielt bei der gegensinnigen Drehung der Prismen 6 und 8 eine wichtige Rolle und wird im Zusammenhang mit Fig.3 erläutert werden. Das aus der 42-Platte 7 austretende Lichtbündel tritt durch das Wollaston-Prisma 8, in welchem die Horizontalkomponente und die Vertikalkomponente weiter gegeneinander verzögert werden; und zwar variiert die optische Weglänge im Prisma 8 für die jeweilige Komponente in der gleichen Weise in der Ebene senkrecht zur Systemachse in horizontaler Richtung wie bei dem Prisma 6, so daß die Phasendifferenz zwischen der Vertikal- und der Horizontalkomponente nach Austritt des Lichtbündels aus dem Prisma 8 in horizontaler Richtung senkrecht zur Systemachse doppelt so stark variiert wie nach dem Austritt aus dem Prisma 6. Entsprechend werden auch beim Betrachten des Lichtbündels durch den Analysator 9 doppelt so viele Interferenzlinien gesehen.
  • Wie oben bereits erwähnt wurde, läßt sich der Abstand zwischen den Interferenzlinien 17 verändern.
  • Es wird nun ein hierfür geeignetes Ausführungsbeispiel beschrieben, bei dem der Polarisator 5 und das Wollaston-Prisma 6 um einen Winkel 0 im Uhrzeigersinn und das Wollaston-Prisma 8 und der Analysator 9 um einen gleichen Winkel 0 im Gegenuhrzeigersinn gedreht werden, unter Beibehaltung einer stationären Lage für die 42-Platte 7.
  • Zur Erleichterung des Verständnisses bei der Beschreibung der Veränderung der Polarisation des Lichtes, während es die einzelnen Komponenten 5 bis 9 durchläuft, wird auf das in F i g. 3 dargestellte Vektordiagramm Bezug genommen. Der Vektor, kennzeichnet die Polarisationsebene des Lichtes, wenn dieses aus dem Polarisator 5 austritt; dabei ist angenommen, daß der Polarisator 5 im Uhrzeigersinn um einen Winkel 0 aus seiner Ausgangslage, d. h. aus der 45 0Lage, herausgedreht wurde. Das in dieser Ebene polarisierte Licht kann man sich aus zwei Polarisationskomponenten zusammengesetzt denken; die vertikale Polarisationskomponente V1 ist von der Vertikalen um einen Winkel 0 versetzt, während die horizontale Polarisationskomponente H1 um den gleichen Winkel 0 im Uhrzeigersinn von der Horizontalen versetzt ist.
  • Nach Durchtritt der Polarisationskomponenten Y und H1 durch das Wollaston-Prisma 6 ist ihnen eine Phasendifferenz eingeprägt, die sich in der zweidimensionalen Darstellungsebene der Fig.3 nicht zum Ausdruck bringen läßt. Wie oben bereits erwähnt wurde, ist diese Phasendifferenz in horizontaler Richtung entlang des Wollaston-Prismas 6 veränderlich.
  • Von den Polarisationskomponenten Val und H1 kann man annehmen, daß sie entsprechende Horizontalkomponenten + Ya und Hh enthalten. Während des Durchlaufs der Polarisationskomponenten Val und H1 durch die A/2-Platte 7 erfahren ihre entsprechenden Horizontalkomponenten + Vh und +Hh Verzögerungen um den Betrag einer halben Wellenlänge, wobei sich die vektorielle Richtung der Horizontalkomponenten +Vh V und +Hh in ein horizontales Vektorpaar - Vh und ph umkehrt. Es wird also tatsächlich die Polarisationskomponente V1 in die durch den Vektor V2 dargestellte Lage und die Polarisationskomponente H1 in die durch den Vektor H2 dargestellte neue Lage gedreht, wie aus F i g. 3 ersichtlich ist. Die beiden gedrehten Polarisationskomponenten V2 und H2 liegen wegen ihrer gleichen Absolutbeträge zum Vektor P2 unter einem Winkel von 45°; der Vektor P2 liegt um den Winkel ç im Gegenuhrzeigersinn zur 45 0Lage versetzt. Die Lage des Vektors P2 entspricht somit der Polarisationsebene des Lichtes, die durch den Analysator 9 hindurchtreten kann, da - wie eingangs angenommen wurde - der Polarisator 5 und der Analysator 9 eine Drehung um den gleichen Winkel 0, jedoch in entgegengesetzten Richtungen erfahren haben. Da auch das Wollaston-Prisma 8 aus seiner Ausgangslage um den Winkel 0 im Gegenuhrzeigersinn gedreht wurde, so nimmt der Vektor P2 gegenüber den optischen Achsen des Wollaston-Prismas 8 einen Winkel von 45" ein. In Anbetracht dieser korrespondierenden Ausrichtungen trägt das Wollaston-Prisma 8 zu einer weiteren Vergrößerung der Phasendifferenz, die zunächst vom Wollaston-Prisma 6 herbeigeführt wurde, bei. Im Gegensatz zur ursprünglichen Einstellung, wie sie in F i g. 2 gezeigt ist, kommt es jetzt jedoch zu keiner Verdoppelung der Phasendifferenz. Wenn die Wollaston-Prismen 6 und 8 eine relative Winkelversetzung aufweisen, so erscheinen die Interferenzstreifen 17 nicht so nahe beisammen, wie es bei der in Fig.2 gezeigten Stellung der Fall ist. Die räumliche Linienfrequenz (Zahl der Linien pro Längeneinheit) ist, da die beiden Teilwinkel des Prismas 8 gleich dem Winkel 6 c sind, durch folgende Beziehung bestimmt: 4 = 4 (ne - n0) tan (6c) cos Gleichung (2) In Gleichung (2) bedeutet: fç die durch die Prismen 6 und 8 erzeugte räumliche Linienfrequenz der Interferenzstreifen, wobei die Prismen 6 und 8 aus ihrer in Fig. 2 gezeigten Ausgangslage in zueinander entgegengesetzten Drehrichtungen um den Winkel 0 verdreht wurden; (6c), ne, nO und R haben die gleiche Bedeutung wie in Gleichung (1).
  • Wenn der Winkel 0 in F i g. 3 größer wird als 60°, so beginnt das Wollaston-Prisma 8 die durch das Wollaston-Prisma 6 eingeführte Phasendifferenz zu kompensieren. Die resultierende Phasendifferenz nach Hindurchtreten des Lichtes durch beide Wollaston-Prismen 6 und 8 ist deshalb kleiner als die allein vom Wollaston-Prisma 6 eingeführte Phasendifferenz. Deshalb liegen die Linien 17 dann weiter auseinander.
  • Wenn der Winkel 0 in F i g. 3 90" erreicht, so erzielt man eine vollständige Kompensation mit dem Ergebnis, daß die Interferenzlinien 17 verschwinden.
  • Die erfindungsgemäße optische Einrichtung ist deshalb in der Lage, Interferenzlinien mit einer räumlichen Linienfrequenz zu erzeugen, die doppelt so groß ist wie die mit nur einem Wollaston-Prisma erzielbare räumliche Linienfrequenz; darüber hinaus kann die räumliche Linienfrequenz verändert werden, wobei alle Zwischenwerte bis hinunter zu Null möglich sind.
  • Die F i g. 4 und 5 zeigen eine andere Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, die eine Verschiebung der Interferenzlinien 17 unter Beibehaltung eines konstanten Abstandes ermöglichen. Die in den F i g. 4 und 5 vorkommenden optischen Elemente tragen dieselben Bezugszeichen wie die korrespondierenden Elemente in den F i g. 1 und 2. Bei diesem Ausführungsbeispiel sind zwei weitere optische Elemente hinzugekommen, nämlich ein Soleilkompensator 37 und eine 42-Platte 39; letztere hat eine in horizontaler Richtung verlaufende optische Achse 39 a.
  • Der Soleilkompensator funktioniert in der herkömmlichen Weise; die vertikale und die horizontale Lichtkomponente haben beim Durchtritt durch die beiden Keile des Soleilkompensators verschieden große optische Weglängen. Diese optischen Weglängen sind aber in der Ebene senkrecht zur Achse des Systems konstant, so daß eine in dieser Ebene einheitliche Phasenverschiebung zwischen den beiden Lichtkomponenten herbeigeführt wird. Der Polarisator 5 und der Soleilkompensator 37 sind in einer Haltevorrichtung41 (vgl. Fig. 4) stationär untergebracht. Der Soleilkompensator ist mit einem Schraubengewinde 43 ausgestattet, mit dem einer der beiden Keile des Soleilkompensators in vertikaler Richtung verschoben werden kann. Dadurch werden die optischen Weglängen und damit die optische Weglängendifferenz zwischen der vertikalen und der hortzontalen Lichtkomponente verändert, so daß sich eine veränderte Phasenverschiebung zwischen den beiden Lichtkomponenten ergibt. Mit dem Soleilkompensator 37 kann man also dem Licht vor dessen Auftreffen auf das Wollaston-Prisma 6 eine Anfangsphasendifferenz zwischen der horizontalen und der vertikalen Komponente einprägen, so daß sich die Interferenzlinien dadurch wahlweise verschieben lassen. Da diese Anfangsphasendifferenz in der Ebene senkrecht zur Achse des Systems konstant ist, wird der Abstand zwischen den Interferenzlinien durch den Soleilkompensator 37 nicht beeinflußt.
  • Die optischen Elemente 39 und 6 bis 9 sind in der in F i g. 4 gezeigten Haltevorrichtung untergebracht.
  • Das Wollaston-Prisma 6 ist in einer kreiszylindrischen Fassung 21' untergebracht, die mit Hilfe von Zähnen 23' in ein Zahnrad eines Differentialgetriebes 33 eingreift. Die in F i g. 4 gezeigte Fassung 21' enthält im Gegensatz zu der in F i g. 1 gezeigten Fassung jetzt nur das Wollaston-Prisma 6, während im ersten Ausführungsbeispiel zusammen mit dem Wollaston-Prisma 6 auch der Polarisator 5 gleichzeitig mitgedreht wurde. Die 42-Platte 39 ist in einer Fassung 45 untergebracht, die mit Hilfe von Zähnen47 in ein Getrieberad des Differentials 33' eingreift, wobei die Übersetzung so ausgelegt ist, daß die A/2-Platte39 im Vergleich zum Wollaston-Prisma 6 immer nur halbe Drehungen ausführt.
  • Das in F i g. 6 gezeigte Vektordiagramm beschreibt, in welcher Weise die A/2-Platte 39 die Polarisationskomponenten ausrichtet, daß sie den optischen Achsen des Wollaston-Prismas 6 entsprechen, wenn die Wollaston-Prismen 6 und 8 gegensinnig um den Winkel 0 gedreht werden. Das aus dem Polarisator 5 austretende Licht ist unter 45" in bezug auf die Koordinatenachsen y und x polarisiert, wie dies durch den Vektor 1>i zum Ausdruck gebracht wird.
  • Die beiden zueinander senkrechten Polarisationskomponenten v1 und h1 sind beim Austritt des Lichtes aus dem Polarisator 5 gleichphasig. Nach Durchlaufen des Soleilkompensators 37 sind die beiden Komponenten v1 und h1 nicht mehr in Phase; dieser Sachverhalt läßt sich in der zweidimensionalen Darstellung der F i g. 6 nicht zum Ausdruck bringen.
  • Während die Koordinaten y und x der Polarisationskomponenten in bezug auf den Polarisator 5 noch vertikal und horizontal liegen, so verursacht eine Drehung der 42-Platte 39 eine Koordinatendrehung in eine neue Lage, die durch die Achsen X und Y dargestellt ist. Auf Grund der durch das Untersetzungsgetriebe am Differential 33' (vgl. F i g. 4) bedingten untersetzten Drehung der 42-Platte 39 ergibt sich eine Koordinatenversetzung um den Winkel 0/2. Die Vektorkomponenten in bezug auf die Koordinatenachsen X und Y kehren sich unter der Einwirkung der 42-Plafle 39 um, so daß die neuen, zueinander senkrechten Polarisationskomponenten Y1 und H1 entstehen. Diese Komponenten Vlt und Hl, sind mit den optischen Achsen des Wollaston-Prismas 6, das um den Winkel gedreht wurde, ausgerichtet. Das Wollaston-Prisma 6 und die übrigen optischen Elemente 7 bis 9 funktionieren in der gleichen Weise, wie es bereits in bezug auf F i g. 3 ausführlich beschrieben wurde.
  • Zusammenfassend wurde eine optische Einrichtung zur Veränderung der Polarisationseigenschaften eines Lichtstrahlenbündels beschrieben, bei dem ein Gitter 15 von Interferenzlinien 17 auftritt. Die erfindungsgemäße optische Einrichtung gestattet eine Abstandsveränderung der Interferenzlinien und in einem Ausführungsbeispiel eine insgesamte Verschiebung des Interferenzgitters. Die Einrichtung kommt mit verhältnismäßig wenigen optischen Elementen aus, die in einer einfachen Haltevorrichtung untergebracht und auf verhältnismäßig einfache Weise eingestellt werden können. Es zeigt sich, daß die optische Einrichtung gegenüber Vibrationen verhältnismäßig unempfindlich ist, was darauf zurückzuführen ist, daß unter dem Einfluß von außen kommender Vibrationen sowohl die horizontale als auch die vertikale Polarisationskomponente äquivalente Ablenkungen erfahren.
  • Obwohl in den hier gezeigten Ausführungsbeispielen der vorliegenden Erfindung Wollaston-Prismen 6 und 8 zur Anwendung kamen, so lassen sich jedoch in gleicher Weise auch Rochon-Prismen oder andere optische Elemente mit entsprechenden Eigenschaften anwenden. Diese optischen Elemente müssen lediglich eine räumlich veränderliche Phasendifferenz zwischen orthogonalen Polarisationskomponenten beim Lichtdurchgang herbeiführen.
  • Es sei schließlich noch darauf hingewiesen, daß der Polarisator 5 und der Analysator 9 nicht notwendigerweise gekreuzt angeordnet sein müssen. Verändert man beispielsweise die Lage des Analysators 9 um 90° von der in Fig.2 gezeigten Lage, so erfolgt eine Umkehrung der Interferenzstreifen, d. h., die dunklen Interferenzstreifen 17 werden hell und der helle Zwischenraum wird jetzt dunkel.

Claims (6)

  1. Patentansprüche: 1. Interferometeranordnung zur Einstellung des Interferenzlinienabstandes, bei der zwischen einer drehbaren Polarisatoranordnung und einer drehbaren Analysatoranordnung eine Polarisationsprismenanordnung mit senkrecht zur optischen Achse orientierter Plattenebene angeordnet ist, d a durch gek e n n z ei c h n e t, daß zwei um gleiche Winkel gegensinnig drehbare Polarisationsprismen (6, 8) und zwischen beiden eine fest angeordnete A/2-Platte (7) vorgesehen sind und daß die Polarisationsebenen des Polarisators (5) und des Analysators (9) in der Ausgangsstellung senkrecht oder parallel zueinander und unter 45° zu den Polarisationsebenen der Polarisationsprismen (6 bzw. 8) orientiert sind.
  2. 2. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Polarisator (5) und der Analysator (9) mit den ihnen zunächst liegenden Polarisationsprismen (6 bzw. 8) zusammen drehbar angeordnet sind.
  3. 3. Anordnung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die optische Achse der A/2-Platte (7) in der Ausgangsstellung unter 45" zu den Polarisationsebenen des Polarisators (5) und des Analysators (9) verläuft.
  4. 4. Anordnung nach Anspruch 1 oder einem der folgenden, dadurch gekennzeichnet, daß der Polarisator (5) fest angeordnet ist und daß zwischen dem Polarisator (5) und dem nächstliegenden (6) der Polarisationsprismen ein einstellbarer Polarisationskompensator (37) und eine mit halber Drehgeschwindigkeit drehbare A/2-Platte (39) vorgesehen sind.
  5. 5. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß als Polarisationsprismen Wollaston-Prismen vorgesehen sind.
  6. 6. Anordnung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß als Polarisationskompensator ein Soleilkompensator vorgesehen ist.
    In Betracht gezogene Druckschriften: Deutsche Auslegeschrift Nr. 1 109 411.
DEJ28663A 1964-08-13 1965-07-28 Interferometeranordnung zur Einstellung des Interferenzlinienabstandes Pending DE1255952B (de)

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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1109411B (de) * 1955-08-27 1961-06-22 Zeiss Carl Fa Interferometer

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1109411B (de) * 1955-08-27 1961-06-22 Zeiss Carl Fa Interferometer

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