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DE112009002273T5 - Filtervorrichtung für elastische Wellen - Google Patents

Filtervorrichtung für elastische Wellen Download PDF

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DE112009002273T5
DE112009002273T5 DE112009002273T DE112009002273T DE112009002273T5 DE 112009002273 T5 DE112009002273 T5 DE 112009002273T5 DE 112009002273 T DE112009002273 T DE 112009002273T DE 112009002273 T DE112009002273 T DE 112009002273T DE 112009002273 T5 DE112009002273 T5 DE 112009002273T5
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electrode
narrow
idt
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fingers
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Yuichi Takamine
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Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
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Abstract

Es wird eine längs gekoppelte 5-IDT-Filtervorrichtung vom Resonatortyp für elastische Wellen mit einem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand bereitgestellt, welche die Steilheit der Filterkennlinie erhöht. Wenn in einer längs gekoppelten 5-IDT-Filtervorrichtung vom Resonatortyp für elastische Wellen 1, die erste bis fünfte IDTs 11a bis 11e aufweist, die Gesamtzahl der Elektrodenfinger in einem ersten Bereich und einem vierten Bereich Nx ist und die Gesamtzahl der Elektrodenfinger in einem zweiten Bereich und einem dritten Bereich Ny ist, so ist eine durchschnittliche Periode der Elektrodenfinger in einem der Bereiche, der die größere der Gesamtzahlen der Elektrodenfinger Nx und Ny aufweist, größer ist als in dem Bereich, der die kleinere der Gesamtzahlen der Elektrodenfinger Nx und Ny aufweist. Unter der ersten IDT-Elektrode 11a, der dritten IDT-Elektrode 11c und der fünften IDT-Elektrode 11e ist die Periode der Elektrodenfinger in einem anderen Abschnitt als dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der IDT-Elektrode in dem Bereich, der die größere der Anzahlen der Elektrodenfinger aufweist, kleiner als die Periode der Elektrodenfinger in einem anderen Abschnitt als dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der IDT-Elektrode in dem Bereich, der die kleinere der Anzahlen von Elektrodenfingern aufweist.

Description

  • TECHNISCHES GEBIET
  • Die vorliegende Erfindung betrifft eine Filtervorrichtung für elastische Wellen, die zum Beispiel als ein HF-Stufen-Bandpaßfilter eines Mobiltelefons verwendet wird, und insbesondere eine längs gekoppelte Filtervorrichtung vom Resonatortyp für elastische Wellen, die erste bis fünfte IDT-Elektroden enthält.
  • STAND DER TECHNIK
  • Es ist überaus wünschenswert, daß Durchlaßbandfilter eine steile Filterkennlinie in einem Bereich aufweisen, der sich zwischen dem Durchlaßband und dem Sperrband befindet. Das folgende Patentdokument 1 beschreibt eine Oberflächenschallwellenfiltervorrichtung, welche die Steilheit der Filterkennlinie erhöhen kann. In der im Patentdokument 1 beschrieben Oberflächenschallwellenfiltervorrichtung ist ein Resonator für elastische Wellen an eine längs gekoppelte 3-IDT-Filtervorrichtung für elastische Wellen vom Resonatortyp in Reihe oder parallel angeschlossen. Durch Steuern der Positionen der Resonanzfrequenz und der Antiresonanzfrequenz des in Reihe oder parallel angeschlossenen Resonators für elastische Wellen kann die Steilheit der Filterkennlinie im Niederfrequenzbereich und Hochfrequenzbereich des Durchlaßbandes erhöht werden.
  • Jedoch hängt in einem solchen Verfahren, in dem die Frequenzkennlinie eines Resonators für elastische Wellen verwendet wird, der die Steilheit vergrößernde Effekt vom Gütewert des Resonators für elastische Wellen ab. Der Gütewert des Resonators für elastische Wellen wird immer durch das Material eines piezoelektrischen Substrats und das Material einer Elektrode bestimmt. Dementsprechend ist es schwierig, die Steilheit der Filterkennlinie durch Erhöhen des Gütewertes des Resonators für elastische Wellen weiter zu erhöhen.
  • Andererseits beschreibt das folgende Patentdokument 2 eine längs gekoppelte 5-IDT-Oberflächenschallwellenfiltervorrichtung vom Resonatortyp mit einer Symmetrie-Asymmetrie-Umwandlungsfunktion. 26 ist eine schematische Draufsicht auf die im Patentdokument 2 beschriebene Oberflächenschallwellenfiltervorrichtung. Eine Oberflächenschallwellenfiltervorrichtung 1001 enthält ein piezoelektrisches Substrat 1002. Wie in der Zeichnung gezeigt, ist eine Elektrodenstruktur auf dem piezoelektrischen Substrat 1002 ausgebildet. Die Elektrodenstruktur ist zwischen einem asymmetrischen Anschluß 1003 und einem ersten symmetrischen Anschluß 1004 sowie einem zweiten symmetrischen Anschluß 1005 angeschlossen. Ein längs gekoppelter 5-IDT-Filterabschnitt vom Resonatortyp für elastische Wellen 1010 ist an den asymmetrischen Anschluß 1003 angeschlossen. Der längs gekoppelte 5-IDT-Filterabschnitt vom Resonatortyp für elastische Wellen 1010 enthält erste bis fünfte IDT-Elektroden 1011 bis 1015 und Reflektoren 1016 und 1017. In diesem Beispiel enthalten die ersten bis fünften IDT-Elektroden 1011 bis 1015 an dem Ende neben einer anderen IDT-Elektrode einen Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand N1011, ein Paar Elektrodenfingerabschnitte N1012a und N1012b, ein Paar Elektrodenfingerabschnitte mit schmalem Abstand N1013a und N1013b, ein Paar Elektrodenfingerabschnitte mit schmalem Abstand N1014a und N1014b bzw. einen Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand N1015.
  • Darüber hinaus sind Oberflächenschallwellenresonatoren 1021 und 1022 stromabwärts des längs gekoppelten 5-IDT-Filterabschnitts vom Resonatortyp für elastische Wellen 1010 angeschlossen.
  • In diesem Beispiel ist in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand N1011 der ersten IDT-Elektrode 1011, die an den ersten symmetrischen Anschluß 1004 angeschlossen ist, und dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand N1015 der fünften IDT-Elektrode 1015, die an den zweiten symmetrischen Anschluß 1005 angeschlossen ist, sowie in den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand N1013a und N1013b der dritten IDT-Elektrode 1013, der Elektrodenfingerabstand des Elektrodenfingerabschnitts mit schmalem Abstand auf der Seite, wo die Anzahl der Elektrodenfinger des Elektrodenfingerabschnitts mit schmalem Abstand größer ist, größer als auf der Seite, wo die Anzahl der Elektrodenfinger des Elektrodenfingerabschnitts mit schmalem Abstand kleiner ist. Auf diese Weise kann eine Welligkeit in dem Durchlaßband verringert werden. Jedoch kann in einer solchen Struktur die Steilheit der Filterkennlinie nicht ausreichend erhöht werden.
  • Darüber hinaus beschreibt das folgende Patentdokument 3 eine längs gekoppelte 5-IDT-Filtervorrichtung vom Resonatortyp für elastische Wellen, die keine Elektrodenfingerabschnitte mit schmalem Abstand aufweist. In diesem Beispiel werden die Anzahl der Elektrodenfinger und der Abstand der Elektrodenfinger einer in der Mitte befindlichen IDT-Elektrode kleiner gewählt als die Anzahl der Elektrodenfinger bzw. der Abstand der Elektrodenfinger einer IDT-Elektrode, die sich auf der einen oder auf der anderen Seite der in der Mitte befindlichen IDT-Elektrode befindet. Auf diese Weise kann die Dämpfung in dem Sperrband neben dem Niederfrequenzbereich des Durchlaßbandes erhöht werden, und darum kann die Steilheit der Filterkennlinie erhöht werden.
  • DOKUMENTE DES STANDES DER TECHNIK PATENTDOKUMENTE
    • [Patentdokument 1] Japanische ungeprüfte Patentanmeldungsschrift Nr. 4-54011
    • [Patentdokument 2] WO 2006/068086 A1
    • [Patentdokument 3] WO 2007/083503 A1
  • OFFENBARUNG DER ERFINDUNG
  • DURCH DIE ERFINDUNG ZU LÖSENDE PROBLEME
  • Wie oben angemerkt, unterliegt die im Patentdokument 1 beschriebene Oberflächenschallwellenfiltervorrichtung einer Beschränkung hinsichtlich der Erhöhung der Steilheit der Filterkennlinie. Dementsprechend kann die Filtervorrichtung für elastische Wellen keine erhöhte Steilheit der Filterkennlinie erreichen, die in den vergangenen Jahren gefordert wurde.
  • Im Gegensatz dazu verringert die im Patentdokument 2 beschriebene längs gekoppelte Oberflächenschallwellenfiltervorrichtung vom Resonatortyp eine in dem Durchlaßband auftretende Welligkeit nur durch Einstellen des Elektrodenfingerabstandes und der Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand in der oben beschriebenen Weise. Im Patentdokument 2 ist die Struktur, welche die Steilheit der Filterkennlinie erhöht, nicht beschrieben.
  • In Patentdokument 3 kann die längs gekoppelte Oberflächenschallwellenfiltervorrichtung vom Resonatortyp, die keine Elektrodenfingerabschnitte mit schmalem Abstand aufweist, die Steilheit der Filterkennlinie durch Einstellen der Anzahl der Elektrodenfinger und des Elektrodenfingerabstandes der in der Mitte befindlichen IDT-Elektrode sowie der Anzahl der Elektrodenfinger und des Elektrodenfingerabstandes einer IDT-Elektrode, die sich auf der einen oder auf der anderen Seite der in der Mitte befindlichen IDT-Elektrode befindet, erhöhen. Jedoch ist die Steilheit der Filterkennlinie immer noch nicht ausreichend hoch, und darum ist es wünschenswert, daß die Steilheit noch weiter erhöht wird.
  • Dementsprechend stellt die vorliegende Erfindung eine längs gekoppelte 5-IDT-Filtervorrichtung vom Resonatortyp für elastische Wellen mit einem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand bereit, welche die Steilheit der Filterkennlinie weiter erhöhen kann.
  • MITTEL ZUM LÖSEN DER PROBLEME
  • Gemäß der vorliegenden Erfindung enthält eine Filtervorrichtung für elastische Wellen ein piezoelektrisches Substrat, erste bis fünfte IDT-Elektroden, die der Reihe nach auf dem piezoelektrischen Substrat in einer Ausbreitungsrichtung der elastischen Wellen angeordnet sind, sowie einen ersten und einen zweiten Reflektor, die zu beiden Seiten eines Bereichs angeordnet sind, in dem die ersten bis fünften IDT-Elektroden in der Ausbreitungsrichtung der elastischen Wellen angeordnet sind. Die ersten bis fünften IDT-Elektroden und der erste und der zweite Reflektor bilden einen längs gekoppelten Filterabschnitt vom Resonatortyp für elastische Wellen. Jede der ersten bis fünften IDT-Elektroden hat einen Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand, in dem die Periode der Elektrodenfinger kleiner ist als in dem anderen Abschnitt an einem Ende neben einer anderen IDT-Elektrode. Entlang der Ausbreitungsrichtung der elastischen Wellen ist ein Bereich, der die erste IDT-Elektrode und eine Hälfte der zweiten IDT-Elektrode neben der ersten IDT-Elektrode enthält, als ein erster Bereich definiert; ein Bereich, der eine Hälfte der zweiten IDT-Elektrode neben der dritten IDT-Elektrode und eine Hälfte der dritten IDT-Elektrode neben der zweiten IDT-Elektrode enthält, ist als ein zweiter Bereich definiert; ein Bereich, der eine Hälfte der dritten IDT-Elektrode neben der vierten IDT-Elektrode und eine Hälfte der vierten IDT-Elektrode neben der dritten IDT-Elektrode enthält, ist als ein dritter Bereich definiert; und ein Bereich, der eine Hälfte der vierten IDT-Elektrode neben der fünften IDT-Elektrode und die fünfte IDT-Elektrode enthält, ist als ein vierter Bereich definiert. Gemäß der vorliegenden Erfindung ist – wenn jede der Gesamtzahlen von Elektrodenfingern in den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand in dem ersten Bereich und in dem vierten Bereich Nx ist und jede der Gesamtzahlen von Elektrodenfingern in den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand in dem zweiten Bereich und in dem dritten Bereich Ny ist – die Anzahl der Elektrodenfinger Nx von der Anzahl der Elektrodenfinger Ny verschieden. Eine durchschnittliche Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand, der sich in dem Bereich mit der größeren der Anzahlen von Elektrodenfingern Nx und Ny befindet, ist größer eingestellt als eine durchschnittliche Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand, der sich in dem Bereich befindet, der die kleinere der Anzahlen von Elektrodenfingern Nx und Ny aufweist. Unter der ersten, dritten und fünften IDT-Elektrode ist die Periode der Elektrodenfinger in einem anderen Abschnitt als dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der IDT-Elektrode, der in dem Bereich mit der größeren Anzahl an Elektrodenfingern enthalten ist, kleiner als die, die in dem Bereich mit der kleineren Anzahl an Elektrodenfingern enthalten ist.
  • Gemäß einem ersten konkreten Aspekt der Filtervorrichtung für elastische Wellen gemäß der vorliegenden Erfindung ist die Gesamtzahl der Elektrodenfinger in den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand, die in dem ersten Bereich enthalten sind, kleiner als die Gesamtzahl der Elektrodenfinger in den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand, die in dem zweiten Bereich enthalten sind, und die Gesamtzahl der Elektrodenfinger in den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand, die in dem dritten Bereich enthalten sind, ist größer als die Gesamtzahl der Elektrodenfinger in den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand in dem vierten Bereich.
  • Gemäß einer Ausführungsform des ersten konkreten Aspekts ist die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der zweiten IDT-Elektrode, der in dem ersten Bereich enthalten ist, kleiner als die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der zweiten IDT-Elektrode, der in dem zweiten Bereich enthalten ist. Die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der vierten IDT-Elektrode, der in dem dritten Bereich enthalten ist, ist größer als die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der vierten IDT-Elektrode, der in dem vierten Bereich enthalten ist. Eine Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der zweiten IDT-Elektrode, der in dem ersten Bereich enthalten ist, ist kleiner als eine Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der zweiten IDT-Elektrode, der in dem zweiten Bereich enthalten ist. Eine Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der vierten IDT-Elektrode, der in dem dritten Bereich enthalten ist, ist größer als eine Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der vierten IDT-Elektrode, der in dem vierten Bereich enthalten ist, und eine Periode der Elektrodenfinger in einem anderen Abschnitt als den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand der dritten IDT-Elektrode ist kleiner als eine Periode der Elektrodenfinger in einem anderen Abschnitt als den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand sowohl der ersten IDT-Elektrode als auch der fünften IDT-Elektrode.
  • Gemäß einer weiteren Ausführungsform des ersten konkreten Aspekts ist die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der zweiten IDT-Elektrode, der in dem ersten Bereich enthalten ist, kleiner als die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der zweiten IDT-Elektrode, der in dem zweiten Bereich enthalten ist. Die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der vierten IDT-Elektrode, der in dem dritten Bereich enthalten ist, ist größer als die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der vierten IDT-Elektrode, der in dem vierten Bereich enthalten ist. Eine Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der ersten IDT-Elektrode, der in dem ersten Bereich enthalten ist, ist kleiner als die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der dritten IDT-Elektrode, der in dem zweiten Bereich enthalten ist. Eine Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der dritten IDT-Elektrode, der in dem dritten Bereich enthalten ist, ist größer als eine Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der fünften IDT-Elektrode, der in dem vierten Bereich enthalten ist, und eine Periode der Elektrodenfinger in einem anderen Abschnitt als den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand der dritten IDT-Elektrode ist kleiner als eine Periode der Elektrodenfinger in einem anderen Abschnitt als den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand sowohl der ersten IDT-Elektrode als auch der fünften IDT-Elektrode.
  • Gemäß einer weiteren Ausführungsform des ersten konkreten Aspekts ist die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der ersten IDT-Elektrode, der in dem ersten Bereich enthalten ist, kleiner als die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der dritten IDT-Elektrode, der in dem zweiten Bereich enthalten ist. Die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der dritten IDT-Elektrode, der in dem dritten Bereich enthalten ist, ist größer als die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der fünften IDT-Elektrode, der in dem vierten Bereich enthalten ist. Eine Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der zweiten IDT-Elektrode, der in dem ersten Bereich enthalten ist, ist kleiner als eine Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der zweiten IDT-Elektrode, der in dem zweiten Bereich enthalten ist. Eine Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der vierten IDT-Elektrode, der in dem dritten Bereich enthalten ist, ist größer als eine Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der vierten IDT-Elektrode, der in dem vierten Bereich enthalten ist, und eine Periode der Elektrodenfinger in einem anderen Abschnitt als den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand der dritten IDT-Elektrode ist kleiner als eine Periode der Elektrodenfinger in einem anderen Abschnitt als den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand sowohl der ersten IDT-Elektrode als auch der fünften IDT-Elektrode.
  • Gemäß einer weiteren Ausführungsform des ersten konkreten Aspekts ist die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der ersten IDT-Elektrode, der in dem ersten Bereich enthalten ist, kleiner als die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der dritten IDT-Elektrode, der in dem zweiten Bereich enthalten ist. Die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der dritten IDT-Elektrode, der in dem dritten Bereich enthalten ist, ist größer als die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der fünften IDT-Elektrode, der in dem vierten Bereich enthalten ist. Eine Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der ersten IDT-Elektrode, der in dem ersten Bereich enthalten ist, ist kleiner als die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der dritten IDT-Elektrode, der in dem zweiten Bereich enthalten ist. Eine Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der dritten IDT-Elektrode, der in dem dritten Bereich enthalten ist, ist größer als eine Periode der Elektrodenfinger der fünften IDT-Elektrode, der in dem vierten Bereich enthalten ist, und eine Periode der Elektrodenfinger in einem anderen Abschnitt als den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand der dritten IDT-Elektrode ist kleiner als eine Periode der Elektrodenfinger in einem anderen Abschnitt als den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand sowohl der ersten IDT-Elektrode als auch der fünften IDT-Elektrode.
  • Gemäß einer weiteren Ausführungsform des ersten konkreten Aspekts ist die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der ersten IDT-Elektrode, der in dem ersten Bereich enthalten ist, kleiner als die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der dritten IDT-Elektrode, der in dem zweiten Bereich enthalten ist. Die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der zweiten IDT-Elektrode, der in dem ersten Bereich enthalten ist, ist kleiner als die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der zweiten IDT-Elektrode, der in dem zweiten Bereich enthalten ist. Die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der vierten IDT-Elektrode, der in dem dritten Bereich enthalten ist, ist größer als die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der vierten IDT-Elektrode, der in dem vierten Bereich enthalten ist. Die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der dritten IDT-Elektrode, der in dem dritten Bereich enthalten ist, ist größer als die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der fünften IDT-Elektrode, der in dem vierten Bereich enthalten ist. Eine Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der ersten IDT-Elektrode, der in dem ersten Bereich enthalten ist, ist kleiner als eine Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der dritten IDT-Elektrode, der in dem zweiten Bereich enthalten ist. Eine Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der zweiten IDT-Elektrode, der in dem ersten Bereich enthalten ist, ist kleiner als eine Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der zweiten IDT-Elektrode, der in dem zweiten Bereich enthalten ist. Eine Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der vierten IDT-Elektrode, der in dem dritten Bereich enthalten ist, ist größer als eine Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der vierten IDT-Elektrode, der in dem vierten Bereich enthalten ist. Eine Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der dritten IDT-Elektrode, der in dem dritten Bereich enthalten ist, ist größer als eine Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der fünften IDT-Elektrode, der in dem vierten Bereich enthalten ist, und eine Periode der Elektrodenfinger in einem anderen Abschnitt als den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand der dritten IDT-Elektrode ist kleiner als eine Periode der Elektrodenfinger in einem anderen Abschnitt als den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand sowohl der ersten IDT-Elektrode als auch der fünften IDT-Elektrode.
  • Gemäß einem zweiten konkreten Aspekt der vorliegenden Erfindung ist die Gesamtzahl der Elektrodenfinger in den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand, die in dem ersten Bereich enthalten sind, größer als die Gesamtzahl der Elektrodenfinger in den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand, die in dem zweiten Bereich enthalten sind, und die Gesamtzahl der Elektrodenfinger in den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand, die in dem dritten Bereich enthalten sind, ist kleiner als die Gesamtzahl der Elektrodenfinger in den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand, die in dem vierten Bereich enthalten sind.
  • Gemäß einer weiteren Ausführungsform des zweiten konkreten Aspekts ist die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der zweiten IDT-Elektrode, der in dem ersten Bereich enthalten ist, größer als die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der zweiten IDT-Elektrode, der in dem zweiten Bereich enthalten ist. Die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der vierten IDT-Elektrode, der in dem dritten Bereich enthalten ist, ist kleiner als die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der vierten IDT-Elektrode, der in dem vierten Bereich enthalten ist. Eine Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der zweiten IDT-Elektrode, der in dem ersten Bereich enthalten ist, ist größer als eine Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der zweiten IDT-Elektrode, der in dem zweiten Bereich enthalten ist. Eine Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der vierten IDT-Elektrode, der in dem dritten Bereich enthalten ist, ist kleiner als eine Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der vierten IDT-Elektrode, der in dem vierten Bereich enthalten ist, und eine Periode der Elektrodenfinger in einem anderen Abschnitt als den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand der dritten IDT-Elektrode ist größer als die Periode der Elektrodenfinger in einem anderen Abschnitt als den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand sowohl der ersten IDT-Elektrode als auch der fünften IDT-Elektrode.
  • Gemäß einer weiteren Ausführungsform des zweiten konkreten Aspekts ist die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der zweiten IDT-Elektrode, der in dem ersten Bereich enthalten ist, größer als die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der zweiten IDT-Elektrode, der in dem zweiten Bereich enthalten ist. Die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der vierten IDT-Elektrode, der in dem dritten Bereich enthalten ist, ist kleiner als die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der vierten IDT-Elektrode, der in dem vierten Bereich enthalten ist. Eine Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der ersten IDT-Elektrode, der in dem ersten Bereich enthalten ist, ist größer als eine Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der dritten IDT-Elektrode, der in dem zweiten Bereich enthalten ist. Eine Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der dritten IDT-Elektrode, der in dem dritten Bereich enthalten ist, ist kleiner als eine Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der fünften IDT-Elektrode, der in dem vierten Bereich enthalten ist, und eine Periode der Elektrodenfinger in einem anderen Abschnitt als den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand der dritten IDT-Elektrode ist größer als eine Periode der Elektrodenfinger in einem anderen Abschnitt als den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand sowohl der ersten IDT-Elektrode als auch der fünften IDT-Elektrode.
  • Gemäß einer weiteren Ausführungsform des zweiten konkreten Aspekts ist die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der ersten IDT-Elektrode, der in dem ersten Bereich enthalten ist, größer als die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der dritten IDT-Elektrode, der in dem zweiten Bereich enthalten ist. Die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der dritten IDT-Elektrode, der in dem dritten Bereich enthalten ist, ist kleiner als die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der fünften IDT-Elektrode, der in dem vierten Bereich enthalten ist. Eine Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der zweiten IDT-Elektrode, der in dem ersten Bereich enthalten ist, ist größer als die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der zweiten IDT-Elektrode, der in dem zweiten Bereich enthalten ist. Eine Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der vierten IDT-Elektrode, der in dem dritten Bereich enthalten ist, ist kleiner als eine Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der vierten IDT-Elektrode, der in dem vierten Bereich enthalten ist, und eine Periode der Elektrodenfinger in einem anderen Abschnitt als den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand der dritten IDT-Elektrode ist größer als eine Periode der Elektrodenfinger in einem anderen Abschnitt als den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand sowohl der ersten IDT-Elektrode als auch der fünften IDT-Elektrode.
  • Gemäß einer weiteren Ausführungsform des zweiten konkreten Aspekts ist die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der ersten IDT-Elektrode, der in dem ersten Bereich enthalten ist, größer als die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der dritten IDT-Elektrode, der in dem zweiten Bereich enthalten ist. Die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der dritten IDT-Elektrode, der in dem dritten Bereich enthalten ist, ist kleiner als die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der fünften IDT-Elektrode, der in dem vierten Bereich enthalten ist. Eine Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der ersten IDT-Elektrode, der in dem ersten Bereich enthalten ist, ist größer als eine Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der dritten IDT-Elektrode in dem zweiten Bereich. Eine Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der dritten IDT-Elektrode, der in dem dritten Bereich enthalten ist, ist kleiner als eine Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der fünften IDT-Elektrode, der in dem vierten Bereich enthalten ist, und die Periode der Elektrodenfinger in einem anderen Abschnitt als den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand der dritten IDT-Elektrode ist größer als die Periode der Elektrodenfinger in einem anderen Abschnitt als den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand sowohl der ersten IDT-Elektrode als auch der fünften IDT-Elektrode.
  • Gemäß einer weiteren Ausführungsform des zweiten konkreten Aspekts ist die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der ersten IDT-Elektrode, der in dem ersten Bereich enthalten ist, größer als die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der dritten IDT-Elektrode, der in dem zweiten Bereich enthalten ist. Die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der zweiten IDT-Elektrode, der in dem ersten Bereich enthalten ist, ist größer als die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der zweiten IDT-Elektrode, der in dem zweiten Bereich enthalten ist. Die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der vierten IDT-Elektrode, der in dem dritten Bereich enthalten ist, ist kleiner als die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der vierten IDT-Elektrode, der in dem vierten Bereich enthalten ist. Die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der dritten IDT-Elektrode, der in dem dritten Bereich enthalten ist, ist kleiner als die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der fünften IDT-Elektrode, der in dem vierten Bereich enthalten ist. Eine Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der ersten IDT-Elektrode, der in dem ersten Bereich enthalten ist, ist größer als die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der dritten IDT-Elektrode, der in dem zweiten Bereich enthalten ist. Eine Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der zweiten IDT-Elektrode, der in dem ersten Bereich enthalten ist, ist größer als eine Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der zweiten IDT-Elektrode, der in dem zweiten Bereich enthalten ist. Eine Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der vierten IDT-Elektrode, der in dem dritten Bereich enthalten ist, ist kleiner als die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der vierten IDT-Elektrode, der in dem vierten Bereich enthalten ist. Eine Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der dritten IDT-Elektrode, der in dem dritten Bereich enthalten ist, ist kleiner als eine Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der fünften IDT-Elektrode, der in dem vierten Bereich enthalten ist, und eine Periode der Elektrodenfinger in einem anderen Abschnitt als den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand der dritten IDT-Elektrode ist größer als eine Periode der Elektrodenfinger in einem anderen Abschnitt als den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand sowohl der ersten IDT-Elektrode als auch der fünften IDT-Elektrode.
  • VORTEILE
  • Gemäß der vorliegenden Erfindung kann in der längs gekoppelten 5-IDT-Filtervorrichtung vom Resonatortyp für elastische Wellen, die erste bis fünfte IDT-Elektroden aufweist, die Steilheit der Filterkennlinie im Niederfrequenzbereich des Durchlaßbandes effektiv erhöht werden, da sich die Gesamtzahl der Elektrodenfinger Nx von der Gesamtzahl der Elektrodenfinger Ny unterscheidet. Darüber hinaus kann eine in dem Durchlaßband auftretende Spitzenwelligkeit verringert werden, da die durchschnittliche Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand in einem Bereich, der die größere der Gesamtzahlen von Elektrodenfingern Nx und Ny aufweist, größer ist als in einem Bereich, der die kleinere der Gesamtzahlen von Elektrodenfingern Nx und Ny aufweist.
  • Des Weiteren ist unter der ersten, dritten und fünften IDT-Elektrode die Periode der Elektrodenfinger in einem anderen Abschnitt als dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der IDT-Elektrode in dem Bereich, der die größere der Anzahl von Elektrodenfingern aufweist, kleiner als die Periode der Elektrodenfinger in einem anderen Abschnitt als dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der IDT-Elektrode in dem Bereich, der die kleinere der Anzahl der Elektrodenfinger aufweist. Dementsprechend kann die Steilheit der Filterkennlinie im Niederfrequenzbereich des Durchlaßbandes effektiver erhöht werden.
  • KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
  • 1 ist eine schematische Draufsicht auf eine Filtervorrichtung für elastische Wellen gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
  • 2 ist eine schematische Illustration der Struktur eines längs gekoppelten 5-IDT-Filterabschnitts vom Resonatortyp für elastische Wellen zum Bezeichnen der Positionen von Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand gemäß der vorliegenden Erfindung.
  • 3 ist eine schematische Draufsicht auf einen ersten längs gekoppelten Filterabschnitt vom Resonatortyp für elastische Wellen gemäß der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
  • 4 veranschaulicht die Filterkennlinie einer Filtervorrichtung für elastische Wellen gemäß der ersten Ausführungsform und einer Filtervorrichtung für elastische Wellen, die als ein Vergleichsbeispiel dient.
  • 5 veranschaulicht die Resonanzpunkte im Modus 0. Ordnung, im Modus der zweiten Ordnung und im Inter-IDT-Elektrodenmodus des längs gekoppelten 5-IDT-Filterabschnitts vom Resonatortyp für elastische Wellen.
  • 6 veranschaulicht eine Veränderung der Welligkeit Y und eine Veränderung der Welligkeit Z, wenn sich die Anzahl der Elektrodenfinger in einem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand B von der Anzahl der Elektrodenfinger in einem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand C unterscheidet, gemäß der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
  • 7 veranschaulicht eine Veränderung des Resonanzmodus', wenn die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand B und die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand C verändert werden, gemäß der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
  • 8 veranschaulicht eine Veränderung des Resonanzmodus' und insbesondere eine Veränderung der Welligkeit Z, wenn die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand A und die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand D verändert werden, gemäß der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
  • 9 veranschaulicht eine Veränderung der Welligkeit Y und eine Veränderung der Welligkeit Z, wenn die Periode der Elektrodenfinger in einem anderen Abschnitt als den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand der ersten und der fünften IDT-Elektrode und die Periode der Elektrodenfinger in einem anderen Abschnitt als dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der dritten IDT-Elektrode verändert werden, gemäß der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
  • 10 ist eine schematische Draufsicht auf die Struktur eines Elektrodenfingerabschnitts mit schmalem Abstand eines längs gekoppelten 5-IDT-Filterabschnitts vom Resonatortyp für elastische Wellen gemäß einer Modifikation der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
  • 11 veranschaulicht eine Veränderung der Welligkeit Y und eine Veränderung der Welligkeit Z, wenn die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand B anders gewählt wird als in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand C, gemäß der Modifikation der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
  • 12 veranschaulicht Veränderungen der Resonanzmodi, wenn die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand B und die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand C verändert werden, gemäß der Modifikation der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
  • 13 veranschaulicht Veränderungen der Resonanzmodi, und insbesondere eine Veränderung der Welligkeit Z, wenn die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand A und die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand D verändert werden, gemäß der Modifikation der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
  • 14 veranschaulicht eine Veränderung der Welligkeit Y und eine Veränderung der Welligkeit Z, wenn die Periode der Elektrodenfinger in einem anderen Abschnitt als den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand der ersten und der fünften IDT-Elektrode und die Periode der Elektrodenfinger in anderen Abschnitten als den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand der dritten IDT-Elektrode verändert werden, gemäß der Modifikation der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
  • 15 ist eine schematische Draufsicht auf die Struktur eines Elektrodenfingerabschnitts mit schmalem Abstand eines ersten längs gekoppelten Filterabschnitts vom Resonatortyp für elastische Wellen gemäß einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
  • 16 veranschaulicht die Filterkennlinie einer Filtervorrichtung für elastische Wellen gemäß der zweiten Ausführungsform der vorliegenden Ausführungsform und einer Filtervorrichtung für elastische Wellen, die als ein Vergleichsbeispiel dient.
  • 17 veranschaulicht eine Veränderung der Welligkeit Y und eine Veränderung der Welligkeit Z, wenn die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand A anders gewählt wird als die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand D, gemäß der zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
  • 18 veranschaulicht eine Veränderung des Resonanzmodus', wenn die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand B und die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand C verändert werden, gemäß der zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
  • 19 veranschaulicht eine Veränderung des Resonanzmodus' und insbesondere eine Veränderung der Welligkeit Z, wenn die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand A und die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand D verändert werden, gemäß der zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
  • 20 veranschaulicht eine Veränderung der Welligkeit Y und eine Veränderung der Welligkeit Z, wenn die Periode der Elektrodenfinger in einem anderen Abschnitt als den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand der ersten IDT-Elektrode und der fünften IDT-Elektrode und die Periode der Elektrodenfinger in einem anderen Abschnitt als den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand der dritten IDT-Elektrode verändert werden, gemäß der zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
  • 21 ist eine schematische Draufsicht auf die Struktur eines Elektrodenfingerabschnitts mit schmalem Abstand eines längs gekoppelten 5-IDT-Filterabschnitts vom Resonatortyp für elastische Wellen einer Filtervorrichtung für elastische Wellen gemäß einer Modifikation der zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
  • 22 veranschaulicht eine Veränderung der Welligkeit Y und eine Veränderung der Welligkeit Z, wenn die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand A anders gewählt wird als in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand D, gemäß der Modifikation der zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
  • 23 veranschaulicht eine Veränderung des Resonanzmodus', wenn die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand B und die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand C verändert werden, gemäß der Modifikation der zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
  • 24 veranschaulicht eine Veränderung des Resonanzmodus' und insbesondere eine Veränderung der Welligkeit Z, wenn die Perioden von Elektrodenfingern in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand A und dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand D verändert werden, gemäß der Modifikation der zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
  • 25 veranschaulicht eine Veränderung der Welligkeit Y und eine Veränderung der Welligkeit Z, wenn die Periode der Elektrodenfinger in einem anderen Abschnitt als dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der ersten IDT-Elektrode und der fünften IDT-Elektrode und die Periode der Elektrodenfinger in anderen Abschnitten als den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand der dritten IDT-Elektrode verändert werden, gemäß der Modifikation der zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
  • 26 ist eine schematische Draufsicht auf einen Beispiel einer existierenden Filtervorrichtung für elastische Wellen.
  • 27 ist eine schematische Draufsicht auf die Struktur eines Elektrodenfingerabschnitts mit schmalem Abstand eines ersten längs gekoppelten Filterabschnitts vom Resonatortyp für elastische Wellen einer Filtervorrichtung für elastische Wellen gemäß einer dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
  • 28 veranschaulicht die Filterkennlinie einer Filtervorrichtung für elastische Wellen gemäß der dritten Ausführungsform und einer Filtervorrichtung für elastische Wellen, die als ein Vergleichsbeispiel dient.
  • 29 ist eine schematische Draufsicht auf die Struktur eines Elektrodenfingerabschnitts mit schmalem Abstand eines ersten längs gekoppelten Filterabschnitts vom Resonatortyp für elastische Wellen einer Filtervorrichtung für elastische Wellen gemäß einer Modifikation der dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
  • BESTE ARTEN DER AUSFÜHRUNG DER ERFINDUNG
  • Die vorliegende Erfindung wird im Folgenden anhand verschiedener beispielhafter Ausführungsformen und der beiliegenden Zeichnungen beschrieben.
  • [FILTERVORRICHTUNG FÜR ELASTISCHE WELLEN GEMÄSS DER ERSTEN AUSFÜHRUNGSFORM DER VORLIEGENDEN ERFINDUNG]
  • 1 ist eine schematische Draufsicht auf eine Filtervorrichtung für elastische Wellen gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Gemäß der vorliegenden Ausführungsform enthält eine Filtervorrichtung für elastische Wellen 1 ein piezoelektrisches Substrat 2. Wie in der Zeichnung gezeigt, ist eine Elektrodenstruktur auf dem piezoelektrischen Substrat 2 ausgebildet. Auf diese Weise wird eine Oberflächenschallwellenfiltervorrichtung mit einer Symmetrie-Asymmetrie-Umwandlungsfunktion bereitgestellt.
  • Die Filtervorrichtung für elastische Wellen 1 gemäß der vorliegenden Ausführungsform kann als ein Empfangsfilter des UMTS-Bandes 2 eines Mobiltelefons verwendet werden. Die Sendefrequenz des UMTS-Bandes 2 reicht von 1,850 GHz bis 1,910 GHz, während die Empfangsfrequenz des UMTS-Bandes 2 von 1,930 GHz bis 1,990 GHz reicht.
  • Die Filtervorrichtung für elastische Wellen 1 enthält einen asymmetrischen Anschluß 3 und einen ersten und einen zweiten symmetrischen Anschluß 4 und 5. Die Impedanz auf der Seite des asymmetrischen Anschlusses 3 beträgt 50 Ω, und die Impedanz auf der Seite des ersten und des zweiten symmetrischen Anschlusses 4 und 5 beträgt 100 Ω. Das heißt, die Filtervorrichtung für elastische Wellen 1 hat zusätzlich zu der Symmetrie-Asymmetrie-Umwandlungsfunktion eine Impedanzumwandlungsfunktion.
  • Das piezoelektrische Substrat 2 besteht aus einem geeigneten piezoelektrischen Einkristall oder einer geeigneten piezoelektrischen Keramik. Gemäß der vorliegenden Ausführungsform besteht das piezoelektrische Substrat 2 aus einem LiTaO3-Substrat mit einem Y-Schnitt von 40° ± 5° und X-Ausbreitung.
  • Gemäß der vorliegenden Ausführungsform wird die auf dem piezoelektrischen Substrat 2 ausgebildete Elektrodenstruktur aus Al hergestellt. Jedoch kann die Elektrodenstruktur auch aus einem Metall wie zum Beispiel Au, Cu, Pt, W, oder Ta oder einer Legierung hergestellt sein. Darüber hinaus kann die Elektrodenstruktur auch aus einem einzelnen Metallfilm oder einem laminierten Metallfilm, der mehrere übereinanderliegende Metallfilme enthält, hergestellt sein.
  • Ein erster längs gekoppelter Filterabschnitt vom Resonatortyp für elastische Wellen 11 ist zwischen dem asymmetrischen Anschluß 3 und dem ersten symmetrischen Anschluß 4 angeschlossen. Darüber hinaus ist ein zweiter längs gekoppelter 5-IDT-Filterabschnitt vom Resonatortyp für elastische Wellen 12 zwischen dem asymmetrischen Anschluß 3 und dem zweiten symmetrischen Anschluß 5 angeschlossen.
  • Ein Resonator für elastische Wellen 13 ist in Reihe an den ersten längs gekoppelten Filterabschnitt vom Resonatortyp für elastische Wellen 11 zwischen dem ersten längs gekoppelten Filterabschnitt vom Resonatortyp für elastische Wellen 11 und dem asymmetrischen Anschluß 3 angeschlossen. Der Resonator für elastische Wellen 13 wird bereitgestellt, um einen Reihensaugkreis zu bilden.
  • Ein Resonator für elastische Wellen 14 ist zwischen dem Erdungspotential und einem Verbindungspunkt zwischen der Ausgangsseite des ersten längs gekoppelten Filterabschnitts vom Resonatortyp für elastische Wellen 11 und dem ersten symmetrischen Anschluß 4 angeschlossen. Der Resonator für elastische Wellen 14 wird bereitgestellt, um einen Parallelsaugkreis zu bilden.
  • Ein Resonator für elastische Wellen 15 ist in Reihe an den zweiten längs gekoppelten Filterabschnitt vom Resonatortyp für elastische Wellen 12 zwischen dem zweiten längs gekoppelte Filterabschnitt vom Resonatortyp für elastische Wellen 12 und dem asymmetrischen Anschluß 3 angeschlossen. Der Resonator für elastische Wellen 15 wird bereitgestellt, um einen Reihensaugkreis zu bilden.
  • Ein Resonator für elastische Wellen 16 ist zwischen dem Erdungspotential und einem Verbindungspunkt zwischen der Ausgangsseite des zweiten längs gekoppelten Filterabschnitts vom Resonatortyp für elastische Wellen 12 und dem zweiten symmetrischen Anschluß 5 angeschlossen. Der Resonator für elastische Wellen 16 wird bereitgestellt, um einen Parallelsaugkreis zu bilden.
  • Der erste längs gekoppelte Filterabschnitt vom Resonatortyp für elastische Wellen 11 enthält erste bis fünfte IDT-Elektroden 11a bis 11e, die in dieser Reihenfolge in einer Richtung angeordnet sind, in der sich die elastischen Wellen ausbreiten. Ein erster Reflektor 11f und ein zweiter Reflektor 11g sind am einen bzw. am anderen Ende eines Bereichs angeordnet, in dem die IDT-Elektroden 11a bis 11e in der Richtung angeordnet sind, in der sich die elastischen Wellen ausbreiten.
  • Wie der erste längs gekoppelte Filterabschnitt vom Resonatortyp für elastische Wellen 11 enthält auch der zweite längs gekoppelte Filterabschnitt vom Resonatortyp für elastische Wellen 12 erste bis fünfte IDT-Elektroden 12a bis 12e und einen ersten Reflektor 12f und einen zweiten Reflektor 12g. Jedoch sind die ersten bis fünften IDT-Elektroden 11a bis 11e und die ersten bis fünften IDT-Elektroden 12a bis 12e so ausgebildet, daß sich die Phase eines Signalausgangs aus dem ersten symmetrischen Anschluß 4 von der Phase eines Signalausgang aus dem zweiten symmetrischen Anschluß 5 um 180 Grad unterscheidet. Genauer gesagt, ist die Phase der zweiten IDT-Elektrode 12b und der vierten IDT-Elektrode 12d die Umkehrung der Phase der zweiten IDT-Elektrode 11b und der vierten IDT-Elektrode 11d. Somit unterscheidet sich die Phase eines Signalausgangs aus dem ersten symmetrischen Anschluß 4 von der Phase eines Signalausgangs aus dem zweiten symmetrischen Anschluß 5 um 180 Grad.
  • In dem ersten längs gekoppelten Filterabschnitt vom Resonatortyp für elastische Wellen 11 sind ein Ende der ersten IDT-Elektrode 11a, ein Ende der dritten IDT-Elektrode 11c und ein Ende der fünften IDT-Elektrode 11e miteinander verbunden und sind über den Resonator für elastische Wellen 13 an den asymmetrischen Anschluß 3 angeschlossen. Das andere Ende der ersten IDT-Elektrode 11a, das andere Ende der dritten IDT-Elektrode 11c und das andere Ende der fünften IDT-Elektrode 11e sind an das Erdungspotential angeschlossen.
  • Ein Ende der zweiten IDT-Elektrode 11b und ein Ende der vierten IDT-Elektrode 11d sind an das Erdungspotential angeschlossen. Das andere Ende der zweiten IDT-Elektrode 11b und das andere Ende der vierten IDT-Elektrode 11d sind miteinander verbunden und sind an den ersten symmetrischen Anschluß 4 angeschlossen.
  • Der zweite längs gekoppelte Filterabschnitt vom Resonatortyp für elastische Wellen 12 hat eine ähnliche Struktur. Ein Ende der ersten IDT-Elektrode 12a, ein Ende der dritten IDT-Elektrode 12c und ein Ende der fünften IDT-Elektrode 12e sind miteinander verbunden und sind über den Resonator für elastische Wellen 15, der zum Bilden eines Reihensaugkreises verwendet wird, an den asymmetrischen Anschluß 3 angeschlossen. Das andere Ende der ersten IDT-Elektrode 12a, das andere Ende der dritten IDT-Elektrode 12c und das andere Ende der fünften IDT-Elektrode 12e sind an das Erdungspotential angeschlossen.
  • Ein Ende der zweiten IDT-Elektrode 12b und ein Ende der vierten IDT-Elektrode 12d sind an das Erdungspotential angeschlossen. Das andere Ende der zweiten IDT-Elektrode 12b und das andere Ende der vierten IDT-Elektrode 12d sind miteinander verbunden und sind an den zweiten symmetrischen Anschluß 5 angeschlossen.
  • Jeder der Resonatoren für elastische Wellen 13 bis 16 ist ein Resonator für elastische Wellen mit einer einzelnen Öffnung. Jeder der Resonatoren für elastische Wellen 13 bis 16 enthält eine IDT-Elektrode und einen ersten und einen zweiten Reflektor, die zu beiden Seiten der IDT-Elektrode in einer Richtung angeordnet sind, in der sich die elastischen Wellen ausbreiten.
  • Die Resonatoren für elastische Wellen 13 bis 16 dienen der Erhöhung der Dämpfung außerhalb des Durchlaßbandes. Genauer gesagt, befindet sich die Resonanzfrequenz der Resonatoren für elastische Wellen 13 und 15 in dem Durchlaßband der Filtervorrichtung für elastische Wellen 1, während sich die Antiresonanzfrequenz in dem Dämpfungsbereich in der Nähe des Endes des Hochfrequenzbereichs des Durchlaßbandes befindet. Somit wird die Dämpfung in dem Dämpfungsbereich, der sich in dem Frequenzbereich befindet, der höher als das Durchlaßband ist, erhöht.
  • Im Gegensatz dazu befindet sich die Resonanzfrequenz der Resonatoren für elastische Wellen 14 und 16 in dem Dämpfungsbereich in der Nähe des Endes des Niederfrequenzbereichs des Durchlaßbandes, während sich die Antiresonanzfrequenz in dem Durchlaßband befindet. Somit wird die Dämpfung in dem Dämpfungsbereich, der sich in dem Frequenzbereich befindet, der niedriger als das Durchlaßband ist, erhöht.
  • Gemäß der vorliegenden Ausführungsform ist die Filtervorrichtung für elastische Wellen 1 durch die Struktur der ersten bis fünften IDT-Elektroden 11a bis 11e des ersten längs gekoppelten Filterabschnitts vom Resonatortyp für elastische Wellen 11 und der ersten bis fünften IDT-Elektroden 12a bis 12e des zweiten längs gekoppelten Filterabschnitts vom Resonatortyp für elastische Wellen 12 gekennzeichnet. Die Struktur wird unten mit Bezug auf die 2 bis 9 beschrieben.
  • In 1 sind die Elektrodenfingerabstände der ersten bis fünften IDT-Elektroden 11a bis 11e des ersten längs gekoppelten Filterabschnitts vom Resonatortyp für elastische Wellen 11 und der ersten bis fünften IDT-Elektroden 12a bis 12e des zweiten längs gekoppelten Filterabschnitts vom Resonatortyp für elastische Wellen 12 die gleichen. Jedoch hat der erste längs gekoppelte Filterabschnitt vom Resonatortyp für elastische Wellen 11 der Filtervorrichtung für elastische Wellen gemäß der vorliegenden Ausführungsform in der Praxis eine Struktur, wie sie in 3 gezeigt ist.
  • Wie in 3 gezeigt, hat jede der ersten bis fünften IDT-Elektroden 11a bis 11e einen Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand an einem Endabschnitt, der sich neben den benachbarten IDT-Elektroden befindet. In dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand ist der Elektrodenfingerabstand relativ kleiner als in anderen Abschnitten. Um eine solche Struktur ausführlicher zu beschreiben, ist in 2 ein virtueller längs gekoppelter 5-IDT-Filterabschnitt vom Resonatortyp für elastische Wellen 10 gezeigt, der keinen Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand aufweist. Als nächstes wird die in 3 gezeigte Struktur mit Bezug auf den in 2 gezeigten virtuellen längs gekoppelten 5-IDT-Filterabschnitt vom Resonatortyp für elastische Wellen 10 beschrieben.
  • In 2 bezeichnen Abschnitte A bis D die Endabschnitte von ersten bis fünften IDT-Elektroden 10a bis 10e, die den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand entsprechen. Genauer gesagt, stellt der Abschnitt A den Endabschnitt der ersten IDT-Elektrode neben der zweiten IDT-Elektrode dar. Gleichermaßen stellt der Abschnitt A außerdem den Endabschnitt der fünften IDT-Elektrode 10e neben der vierten IDT-Elektrode 10d dar. Der Abschnitt B stellt den äußeren Endabschnitt der zweiten IDT-Elektrode 10b dar, das heißt, den Endabschnitt neben der ersten IDT-Elektrode 10a. Der Abschnitt B stellt außerdem den äußeren Endabschnitt der vierten IDT-Elektrode 10d dar, das heißt, den Endabschnitt neben der fünften IDT-Elektrode 10e. Der Abschnitt C stellt den inneren Endabschnitt der zweiten IDT-Elektrode 10b dar, das heißt, den Endabschnitt neben der dritten IDT-Elektrode 10c. Der Abschnitt C stellt außerdem den inneren Endabschnitt der vierten IDT-Elektrode 10d dar, das heißt, den Endabschnitt neben der dritten IDT-Elektrode 10c. Und schließlich stellen die Abschnitte D die Endabschnitte der dritten IDT-Elektrode 10c zu ihren beiden Seiten dar.
  • Gemäß der vorliegenden Ausführungsform sind, wie in 3 gezeigt, Elektrodenfingerabschnitte mit schmalem Abstand in den Abschnitten A bis D angeordnet. In der folgenden Beschreibung werden die Elektrodenfingerabschnitte mit schmalem Abstand, die in Abschnitt A, Abschnitt B, Abschnitt C und Abschnitt D angeordnet sind, als ein Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand A, ein Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand B, ein Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand C bzw. ein Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand D bezeichnet.
  • Im Sinne des vorliegenden Textes meint der Begriff „Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand” einen Elektrodenfingerabschnitt, in dem der Elektrodenfingerabstand relativ kleiner ist als in einem Abschnitt, der kein Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand einer IDT-Elektrode ist.
  • Wie in 3 gezeigt, sind die Elektrodenfingerabschnitte mit schmalem Abstand in Bereichen angeordnet, in denen zwei IDT-Elektroden einander zugewandt sind. Dementsprechend enthält jede der zweiten IDT-Elektrode 11b, der vierten IDT-Elektrode 11d und der dritten IDT-Elektrode 11c, die zwischen anderen IDT-Elektroden angeordnet sind, einen Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand an jedem Ende.
  • Die vorliegende Ausführungsform ist dadurch gekennzeichnet, daß in dem ersten längs gekoppelten Filterabschnitt vom Resonatortyp für elastische Wellen 11 die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der zweiten IDT-Elektrode 11b neben der ersten IDT-Elektrode 11a und die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der vierten IDT-Elektrode 11d neben der fünften IDT-Elektrode 11e, das heißt, die Anzahl der Elektrodenfinger in jedem der Abschnitte B, kleiner ist als die Anzahl der Elektrodenfinger in jedem der Elektrodenfingerabschnitte mit schmalem Abstand der zweiten IDT-Elektrode 11b und der vierten IDT-Elektrode 11d neben der dritten IDT-Elektrode 11c, das heißt, die Anzahl der Elektrodenfinger in jedem der Abschnitte C. Darüber hinaus ist die Periode der Elektrodenfinger in den Abschnitten B kleiner als die Periode der Elektrodenfinger in den Abschnitten C. Die Periode der Elektrodenfinger in einem anderen Abschnitt als dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der dritten IDT-Elektrode 11c ist kleiner als die Periode der Elektrodenfinger in einem anderen Abschnitt als dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand einer jeden der ersten IDT-Elektrode 11a und fünften IDT-Elektrode 11e. Der zweite längs gekoppelte Filterabschnitt vom Resonatortyp für elastische Wellen 12 hat eine ähnliche Struktur wie der erste längs gekoppelte Filterabschnitt vom Resonatortyp für elastische Wellen 11. Auf diese Weise kann die Steilheit der Filterkennlinie der Filtervorrichtung für elastische Wellen 1 im Niederfrequenzbereich des Durchlaßbandes effektiv erhöht werden. Dies wird unten mit Bezug auf die 4 bis 8 beschrieben. 4 veranschaulicht die Filterkennlinie der Filtervorrichtung für elastische Wellen gemäß der vorliegenden Ausführungsform. In 4 stellt die durchgezogene Linie das Ergebnis aus der vorliegenden Ausführungsform dar, und die Punktlinie stellt die Filterkennlinie einer Filtervorrichtung für elastische Wellen dar, die als ein Vergleichsbeispiel dient. Die Spezifikationen der Elektrodenstrukturen der vorliegenden Ausführungsform und des Vergleichsbeispiels sind folgende.
  • SPEZIFIKATION DES ERSTEN LÄNGS GEKOPPELTEN FILTERABSCHNITTS VOM RESONATORTYP FÜR ELASTISCHE WELLEN 11
  • Es ist zu beachten, daß die Wellenlänge, die durch den Abstand der Elektrodenfinger der IDT-Elektrode bestimmt wird, mit bezeichnet ist ”λI”.
    Fingerquerbreite von Elektrodenfingern = 15,2 λI
  • Erste IDT-Elektrode 11a und fünfte IDT-Elektrode 11e: Die Anzahl der Elektrodenfinger einer jeden der IDT-Elektroden ist 40 (es ist zu beachten, daß die Anzahl der Elektrodenfinger im Abschnitt A5 von 40 beträgt).
  • Dritte IDT-Elektrode 11c: Die Anzahl der Elektrodenfinger ist 79 (es ist zu beachten, daß die Abschnitte D, die jeweils 5 Elektrodenfinger enthalten, zu beiden Seiten angeordnet sind).
  • Zweite IDT-Elektrode 11b und vierte IDT-Elektrode 11d: Die Anzahl der Elektrodenfinger jeder der IDT-Elektroden ist 43 (es ist zu beachten, daß die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand B3 ist, die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand C7 ist und die Anzahl der Elektrodenfinger in dem anderen Abschnitt 33 ist).
    Anzahl der Elektrodenfinger des ersten Reflektor 11f und des zweiten Reflektors 11g: 65
    Metallisationsverhältnis: 0,68
    Dicke eines Elektrodenfilms: 0,091 λI
  • Darüber hinaus ist die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand B sowohl der zweiten IDT-Elektrode 11b als auch der vierten IDT-Elektrode 11d um 0,13 μm kleiner als in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand C.
  • Die Periode der Elektrodenfinger in einem anderen Abschnitt als dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand D der dritten IDT-Elektrode 11c ist um 0,01 μm kleiner als in einem anderen Abschnitt als dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand A sowohl der ersten IDT-Elektrode 11a als auch der fünften IDT-Elektrode 11e.
  • Die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand B ist um 0,13 μm kleiner als in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand C.
  • Wie oben beschrieben, ähnelt die Struktur des zweiten längs gekoppelten Filterabschnitts vom Resonatortyp für elastische Wellen 12 der des ersten längs gekoppelten Filterabschnitts vom Resonatortyp für elastische Wellen 11, außer daß die Phase einiger IDT-Elektroden die Umkehrung der Phase der entsprechenden IDT-Elektroden ist.
  • SPEZIFIKATIONEN DER RESONATOREN FÜR ELASTISCHE WELLEN 13 UND 15
  • Es ist zu beachten, daß die Wellenlänge, die durch die Periode der Elektrodenfinger der IDT-Elektrode bestimmt wird, mit ”λII” bezeichnet ist.
    Eine Fingerquerbreite von Elektrodenfingern: 11,0 λII
    Anzahl der Elektrodenfinger der IDT-Elektrode: 71
    Anzahl der Elektrodenfinger jedes Reflektors: 18
    Metallisationsverhältnis: 0,60
    Dicke eines Elektrodenfilms: 0,095 λII
  • SPEZIFIKATIONEN DER RESONATOREN FÜR ELASTISCHE WELLEN 14 UND 16
  • Es ist zu beachten, daß die Wellenlänge, die durch die Periode der Elektrodenfinger der IDT-Elektrode bestimmt wird, mit ”λIII” bezeichnet ist.
    Eine Fingerquerbreite von Elektrodenfingern: 15,0 λIII
    Anzahl der Elektrodenfinger der IDT-Elektrode: 111
    Anzahl der Elektrodenfinger des Reflektors: 18
    Metallisationsverhältnis: 0,60
    Dicke eines Elektrodenfilms: 0,091 λIII
  • Es ist zu beachten, daß, als ein Vergleichsbeispiel, eine Filtervorrichtung für elastische Wellen mit einer Struktur, die derjenigen der vorliegenden Ausführungsform ähnelt, hergestellt wird, mit folgenden Ausnahmen:
    die Anzahl der Elektrodenfinger sowohl in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand D als auch dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand C ist 4, und
    die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand B ist die gleiche wie die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand C.
  • Wie aus 4 zu erkennen ist, wird gemäß der vorliegenden Ausführungsform die Steilheit in der Nähe des Niederfrequenz-Endes, das von 1,930 bis 1,990 GHz reicht, im Vergleich zum Vergleichsbeispiel erhöht. Das heißt, in dem Sperrband um 1,930 GHz und, genauer gesagt, im Frequenzbereich von 1,900 bis 1,930 GHz, wird die Steilheit erhöht. Somit wird die Frequenzperiode, für die die Dämpfung 3,5 dB bis 47,0 dB beträgt, um 2,5 MHz stärker verringert als die des Vergleichsbeispiels. Wenn die Frequenzperiode verringert wird, so kann die Toleranz für eine Frequenzveränderung infolge einer Variation zwischen den Baugruppen erhöht werden. Des Weiteren kann eine Filtervorrichtung für elastische Wellen 1 bereitgestellt werden, die eine geringfügige Verschlechterung der Einfügungsdämpfung und der Dämpfung aufweist, selbst wenn die Umgebungstemperatur schwankt.
  • Wie oben angemerkt, kann gemäß der vorliegenden Ausführungsform die Steilheit der Filterkennlinie in der Nähe des niederfrequenteren Bereichs des Durchlaßbandes erhöht werden, indem man die Anzahl der Elektrodenfinger und die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand B verwendet, die kleiner sind als jene des Elektrodenfingerabschnitts mit schmalem Abstand C. Als nächstes wird der Grund dafür beschrieben.
  • 5 veranschaulicht die elektrische Kennlinie lediglich des ersten längs gekoppelten Filterabschnitts vom Resonatortyp für elastische Wellen der Filtervorrichtung für elastische Wellen 1 des Vergleichsbeispiels. In 5 ist der Resonanzpunkt in einem Resonanzmodus gezeigt, wenn der erste längs gekoppelte Filterabschnitt vom Resonatortyp für elastische Wellen bei 1 Ω terminiert ist, und die Kennimpedanz ist weggelassen. In 5 stellt X1 einen Bereich dar, in dem die Resonanzkennlinie in einem Modus 0. Ordnung erscheint. X2 stellt einen Bereich dar, in dem die Resonanzkennlinie in einem Modus zweiter Ordnung erscheint. X3 stellt einen Bereich eines Resonanzmodus' dar, in dem die Resonanzkennlinie in einem Resonanzmodus mit einer Spitze der Energieverteilung der elastischen Wellen zwischen IDT-Elektroden erscheint, das heißt, einen Bereich eines Inter-IDT-Elektrodenmodus'. Der Resonanzpunkt des Modus' zweiter Ordnung befindet sich außerhalb des Durchlaßbandes und trägt darum nicht zur Bildung des Durchlaßbandes bei. Das heißt: In dem oben beschriebenen längs gekoppelten 5-IDT-Filterabschnitt vom Resonatortyp für elastische Wellen wird das Durchlaßband durch den Resonanzpunkt des Modus' 0. Ordnung und den Resonanzpunkt des Inter-IDT-Elektrodenmodus' gebildet.
  • 6 veranschaulicht eine Veränderung des Resonanzmodus', wenn die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand B und die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand C sich von denen des Vergleichsbeispiels unterscheiden. Wie in dem Vergleichsbeispiel in 6 stellt die durchgezogene Linie das Ergebnis dar, wenn die Anzahl der Elektrodenfinger sowohl in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand B als auch dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand C4 ist. Im Gegensatz dazu stellt die Punktlinie das Ergebnis dar, wenn die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand B3 ist und die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand C5 ist. Die Strich-Punkt-Linie stellt das Ergebnis dar, wenn die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand B3 ist und die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand C7 ist. In dem Maße, wie der Unterschied zwischen der Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand B und der Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand C vergrößert wird, erscheint eine größere Welligkeit Y in der Nähe des Niederfrequenz-Endes des Durchlaßbandes. Die Welligkeit Y erscheint zwischen dem Resonanzpunkt im Modus 0. Ordnung und dem Resonanzpunkt in dem Modus zweiter Ordnung. Dementsprechend kann – durch Steuern der Bemessungsparameter und des Frequenzpunktes der Welligkeit Y – die Welligkeit Y in dem abfallenden Abschnitt im Niederfrequenz-Ende des Durchlaßbandes angeordnet werden. Das heißt, mittels der Welligkeit Y kann die Steilheit der Filterkennlinie im Niederfrequenzbereich des Durchlaßbandes erhöht werden.
  • Jedoch erscheint gleichzeitig eine Welligkeit Z zwischen dem Resonanzpunkt im Modus 0. Ordnung und einem Resonanzpunkt im Inter-IDT-Elektrodenmodus. Die Welligkeit Z ist eine große zackenförmige Welligkeit, die in dem Durchlaßband erscheint. Dementsprechend ist es wünschenswert, daß die Welligkeit Z reduziert wird.
  • Der Erfinder der vorliegenden Erfindung hat festgestellt, daß die Welligkeit Z verringert werden kann, indem man die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand B anders wählt als die in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand C.
  • 7 veranschaulicht eine Veränderung des Resonanzmodus', wenn die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand B anders gewählt wird als in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand C.
  • In 7 stellt die durchgezogene Linie das Ergebnis dar, wenn die Periode in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand B die gleiche ist wie in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand C. Die Punktlinie stellt das Ergebnis dar, wenn die Periode in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand B um 0,04 μm kleiner ist als in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand C. Die Strich-Punkt-Linie stellt das Ergebnis dar, wenn die Periode in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand B um 0,08 μm kleiner ist als in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand C.
  • Wie aus 7 zu erkennen ist, kann mittels einer Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand B, die kleiner ist als die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand C, die Welligkeit Z verringert werden. Genauer gesagt: Indem man den Unterschied zwischen den Perioden der Elektrodenfinger vergrößert, kann die Welligkeit Z weiter reduziert werden.
  • In 7 wird die Periode in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand B kleiner gewählt als in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand C. Wenn jedoch die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand B größer eingestellt wird als in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand C, so wird die Welligkeit Z erhöht. Das heißt, indem man die Periode der Elektrodenfinger in einem der Elektrodenfingerabschnitte mit schmalem Abstand B und C mit der kleineren Anzahl von Elektrodenfingern auf einen kleineren Wert einstellt als die Periode der Elektrodenfinger in dem anderen Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand, kann die Welligkeit Z verringert werden. Darüber hinaus kann mittels der Welligkeit Y die Steilheit der Filterkennlinie effektiv erhöht werden.
  • Dementsprechend kann, wenn im Gegensatz zu der oben beschriebenen Ausführungsform die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand B größer eingestellt wird als in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand C, ein Vorteil, der dem oben beschriebenen Vorteil gleicht, realisiert werden, indem man die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand B auf einen größeren Wert einstellt als in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand C.
  • Darüber hinaus kann selbst dann, wenn die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand B die gleiche ist wie in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand C, ein Vorteil, der dem oben beschriebenen Vorteil gleicht, realisiert werden, indem man die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand A anders einstellt als in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand D. Der Grund dafür wird mit Bezug auf 8 beschrieben.
  • 8 veranschaulicht eine Veränderung der Welligkeit Z, wenn die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand A anders gewählt wird als in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand D. In diesem Beispiel sind die Periode und der Abstand der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand B die gleichen wie in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand C.
  • In 8 stellt die durchgezogene Linie das Ergebnis dar, wenn die Perioden der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand A und dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand D gleich sind. Die Punktlinie stellt das Ergebnis dar, wenn die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand A um 0,04 μm kleiner ist als in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand D. Die Strich-Punkt-Linie stellt das Ergebnis dar, wenn die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand A um 0,08 μm kleiner ist als in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand D. Wie aus 8 zu erkennen ist, wird die Welligkeit Z in dem Maße reduziert, wie die Periode in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand A relativ zu der Periode in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand D reduziert wird, das heißt, wie der Unterschied zwischen den Perioden erhöht wird.
  • In 8 wird die Periode in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand A kleiner gewählt als in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand D. Wenn jedoch die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand A größer eingestellt wird als in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand D, so wird die Welligkeit Z erhöht. Das heißt, die Periode der Elektrodenfinger in einem der Elektrodenfingerabschnitte mit schmalem Abstand A und dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand D, der dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand B oder dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand C mit der kleineren Anzahl von Elektrodenfingern zugewandt ist, muß verringert werden.
  • Wie aus den 7 und 8 zu erkennen ist, kann die Welligkeit Z verringert werden, indem man die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand B kleiner wählt als die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand C oder indem man Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand A kleiner wählt als die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand D. Jedoch wird in einem solchen Fall die Welligkeit Y im Allgemeinen ebenfalls reduziert. Wenn die Welligkeit Y reduziert wird, so wird der Effekt des Verbesserns der Steilheit im Niederfrequenzbereich des Durchlaßbandes reduziert.
  • Dementsprechend hat der Erfinder der vorliegenden Erfindung des Weiteren herausgefunden, daß es zum Erhöhen der Welligkeit Y effektiv ist, die Periode von Elektrodenfingern in einem anderen Elektrodenfingerabschnitt als den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand der ersten, dritten und fünften IDT-Elektroden 11a, 11c und 11e zu steuern. Das heißt, es ist effektiv, die Perioden der Elektrodenfinger in Haupt-Elektrodenfingerabschnitten zu steuern, die die Frequenz des Filters bestimmen.
  • 9 veranschaulicht eine Veränderung der Welligkeit Y und eine Veränderung der Welligkeit Z bei Verwendung der Periode der Elektrodenfinger der ersten IDT-Elektrode 11a und der fünften IDT-Elektrode 11e, die sich von der Periode der Elektrodenfinger der dritten IDT-Elektrode 11c unterscheidet. Genauer gesagt, stellt in 9 die durchgezogene Linie das Ergebnis dar, wenn die Periode der Elektrodenfinger in einem anderen Abschnitt (Haupt-Elektrodenfingerabschnitt) als den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand der dritten IDT-Elektrode 11c die gleiche ist wie die Periode der Elektrodenfinger in anderen Abschnitten (Haupt-Elektrodenfingerabschnitten) als den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand der ersten IDT-Elektrode 11a und der fünften IDT-Elektrode 11e. Die Punktlinie stellt das Ergebnis dar, wenn die Periode der Elektrodenfinger der dritten IDT-Elektrode 11c um 0,03 μm kleiner ist als die der ersten IDT-Elektrode 11a und der fünften IDT-Elektrode 11e. Die Strich-Punkt-Linie stellt das Ergebnis dar, wenn die Periode der Elektrodenfinger der dritten IDT-Elektrode 11c, die sich in der Mitte befindet, um 0,06 μm kleiner ist als die Periode der Elektrodenfinger in den Haupt-Elektrodenfingerabschnitten der ersten IDT-Elektrode 11a und der fünften IDT-Elektrode 11e.
  • Wie aus 9 zu erkennen ist, nimmt die Welligkeit Y in dem Maße zu, wie der Unterschied zwischen der Periode der Elektrodenfinger in der ersten IDT-Elektrode 11a und der fünften IDT-Elektrode 11e und der Periode der Elektrodenfinger in der dritten IDT-Elektrode 11c größer wird. In einem solchen Fall wird die Welligkeit Z vernachlässigbar verändert. Dementsprechend ist es wünschenswert, daß die Periode der Elektrodenfinger in einem anderen Abschnitt als den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand der dritten IDT-Elektrode 11c auf einen anderen Wert eingestellt wird als die Periode der Elektrodenfinger in anderen Abschnitten als dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der ersten IDT-Elektrode 11a und der fünften IDT-Elektrode 11e.
  • In 9 wird die Periode der Elektrodenfinger in einem anderen Abschnitt als dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der dritten IDT-Elektrode 11c kleiner gewählt als die Periode der Elektrodenfinger in anderen Abschnitten als dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der ersten IDT-Elektrode 11a und der fünften IDT-Elektrode 11e. Wenn jedoch die Periode der Elektrodenfinger in anderen Abschnitten als dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der ersten IDT-Elektrode 11a und der fünften IDT-Elektrode 11e größer eingestellt wird, so wird die Welligkeit Y geringer. Das heißt, um die Welligkeit Y zu erhöhen, muß die Periode der Elektrodenfinger in dem anderen Haupt-Elektrodenfingerabschnitt als dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand einer IDT-Elektrode, die dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand B oder dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand C mit der kleineren Anzahl von Elektrodenfingern zugewandt ist, relativ erhöht werden. Dementsprechend es ist wünschenswert, wenn die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand B größer ist als in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand C, daß die Periode der Elektrodenfinger in den anderen Haupt-Elektrodenfingerabschnitten als den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand der ersten IDT-Elektrode 11a und der fünften IDT-Elektrode 11e kleiner eingestellt wird als die Periode der Elektrodenfinger in dem anderen Haupt-Elektrodenfingerabschnitt als dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der dritten IDT-Elektrode 11c.
  • Als nächstes wird eine Modifikation der oben beschriebenen Ausführungsform mit Bezug auf die 10 bis 14 beschrieben. 10 ist eine schematische Draufsicht auf die Struktur eines Elektrodenfingerabschnitts mit schmalem Abstand des ersten längs gekoppelten Filterabschnitts vom Resonatortyp für elastische Wellen 11 einer Filtervorrichtung für elastische Wellen gemäß einer Modifikation der oben beschriebenen Ausführungsform.
  • In dieser Modifikation ist eine Beziehung zwischen der Anzahl der Elektrodenfinger und der Periode eines Elektrodenfingerabschnitts mit schmalem Abstand derjenigen der oben beschriebenen Ausführungsform entgegengesetzt. Das heißt, wie in 10 gezeigt, daß die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand B größer eingestellt wird als in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand C. Die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand B wird größer eingestellt als in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand C. Darüber hinaus wird die Periode der Elektrodenfinger in anderen Abschnitten als den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand der ersten IDT-Elektrode 11a und der fünften IDT-Elektrode 11e kleiner gewählt als die Periode der Elektrodenfinger in einem anderen Abschnitt als dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der dritten IDT-Elektrode 11c. Auf diese Weise kann, wie in der oben beschriebenen Ausführungsform, die Welligkeit Y erhöht werden, und darum kann die Steilheit der Filterkennlinie im Niederfrequenzbereich erhöht werden. Des Weiteren kann die Welligkeit Z verringert werden. Dies wird mit Bezug auf die 11 bis 14 beschrieben.
  • 11 veranschaulicht eine Veränderung der Welligkeit Y und eine Veränderung der Welligkeit Z, wenn die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand B anders gewählt wird als in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand C. In 11 stellt die durchgezogene Linie das Ergebnis dar, wenn die Anzahl der Elektrodenfinger sowohl in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand B und dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand C4 ist. Im Gegensatz dazu stellt die Punktlinie das Ergebnis dar, wenn die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand B5 ist und die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand C3 ist. Die Strich-Punkt-Linie stellt das Ergebnis dar, wenn die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand B7 ist und die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand C3 ist.
  • Wie aus 11 zu erkennen ist, kann die Welligkeit Y in dem Maße erhöht werden, wie die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand B relativ zu der in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand C erhöht wird.
  • Jedoch wird eine Welligkeit Z in dem Maße erhöht, wie die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand B relativ zu der in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand C erhöht wird.
  • 12 veranschaulicht eine Beziehung zwischen der Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand B, der Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand C, der Welligkeit Y und der Welligkeit Z. In 12 stellt die durchgezogene Linie das Ergebnis dar, wenn die Perioden der Elektrodenfinger in den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand B und C gleich sind. Die Punktlinie stellt das Ergebnis dar, wenn die Periode in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand B um 0,04 μm größer ist als in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand C. Die Strich-Punkt-Linie stellt das Ergebnis dar, wenn die Periode in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand B um 0,08 μm größer ist als in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand C.
  • Wie aus 12 zu erkennen ist, kann durch Vergrößern der Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand B relativ zu der Periode in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand C eine unerwünschte Welligkeit Z verringert werden. In diesem Fall wird der Wert der Welligkeit Y vernachlässigbar verändert.
  • 13 veranschaulicht eine Veränderung der Welligkeit Z, wenn der Abstand der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand A und dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand D in der vorliegenden Modifikation verändert wird. Die durchgezogene Linie stellt das Ergebnis dar, wenn die Perioden der Elektrodenfinger in den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand A und D gleich sind. Die Punktlinie stellt das Ergebnis dar, wenn die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand A um 0,04 μm größer ist als in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand B. Die Strich-Punkt-Linie stellt das Ergebnis dar, wenn die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand A um 0,08 μm größer ist als in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand B.
  • Wie aus 13 zu erkennen ist, kann die Welligkeit Z in dem Maße verringert werden, wie die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand A vergrößert wird, das heißt, durch Vergrößern der Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand A, der dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand B zugewandt ist, dessen Anzahl der Elektrodenfinger in einem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand größer ist als die in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand C, so daß sie größer ist als die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand D.
  • 14 veranschaulicht eine Beziehung zwischen der Periode der Elektrodenfinger in einem anderen Abschnitt als dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der dritten IDT-Elektrode 11c, der Periode der Elektrodenfinger in anderen Abschnitten als den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand der ersten IDT-Elektrode 11a und der fünften IDT-Elektrode 11e und der Welligkeit Y.
  • In 14 stellt die durchgezogene Linie das Ergebnis dar, wenn die Periode der Elektrodenfinger in einem anderen Abschnitt als den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand der dritten IDT-Elektrode 11c und die Perioden der Elektrodenfinger in anderen Abschnitten als den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand der ersten IDT-Elektrode 11a und der fünften IDT-Elektrode 11e gleich sind. Die Punktlinie stellt das Ergebnis dar, wenn die Periode der Elektrodenfinger der dritten IDT-Elektrode 11c um 0,03 μm größer ist als bei der ersten IDT-Elektrode 11a und der fünften IDT-Elektrode 11e. Die Strich-Punkt-Linie stellt das Ergebnis dar, wenn die Periode der Elektrodenfinger in einem anderen Abschnitt als dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der dritten IDT-Elektrode 11c um 0,06 μm größer ist als bei der ersten IDT-Elektrode 11a und der fünften IDT-Elektrode 11e.
  • Wie aus 14 zu erkennen ist, kann – wie bei dem in 9 gezeigten Beispiel – mittels einer Periode der Elektrodenfinger in einem anderen Abschnitt als dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der ersten IDT-Elektrode 11a und der fünften IDT-Elektrode 11e, die sich von der dritten IDT-Elektrode 11c unterscheidet, ebenfalls der Wert der Welligkeit Y gesteuert werden. Selbst in einem solchen Fall kann die Welligkeit Y erhöht werden, indem man die Periode der Elektrodenfinger in anderen Abschnitten als den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand der ersten und der fünften IDT-Elektrode, die den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand B mit einer relativ größeren Anzahl an Elektrodenfingern zugewandet sind, auf einen kleineren Wert einstellt als die Periode der Elektrodenfinger in einem anderen Abschnitt als dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der dritten IDT-Elektrode 11c, der dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand C mit einer relativ kleineren Anzahl an Elektrodenfingern zugewandt ist. Auf diese Weise kann die Steilheit der Filterkennlinie effektiv erhöht werden.
  • In der oben beschriebenen Modifikation wird die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand B größer eingestellt als die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand C. Anstatt jedoch die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand B auf einen größeren Wert einzustellen als die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand C, kann die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand A auf einen größeren Wert eingestellt werden als die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand D.
  • Während die vorliegende Erfindung mit Bezug auf den Fall beschrieben wurde, in dem die Periode der Elektrodenfinger in einem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand konstant ist, braucht die Periode der Elektrodenfinger in einem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand nicht konstant zu sein. Zum Beispiel kann die Periode der Elektrodenfinger in einem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand allmählich verändert werden, wie in der japanischen ungeprüften Patentanmeldungsschrift (Übersetzung der PCT-Anmeldung) Nr. 2002-528987 beschrieben. Alternativ können mehrere Unterabschnitte mit verschiedenen Perioden in einem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand bereitgestellt werden, wie in der japanischen ungeprüften Patentanmeldungsschrift Nr. 2003-243965 beschrieben. Wenn, wie oben beschrieben, die Periode der Elektrodenfinger in einem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand nicht konstant ist, so kann der Vorteil der vorliegenden Erfindung realisiert werden, wenn die durchschnittliche Periode der Elektrodenfinger in einem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand die oben beschriebene Größenbeziehung erfüllt. Das heißt, in der vorliegenden Erfindung bezieht sich der Begriff ”Periode der Elektrodenfinger in einem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand” auf die durchschnittliche Periode der Elektrodenfinger in einem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand, wenn die Periode der Elektrodenfinger in einem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand nicht konstant ist.
  • Darüber hinaus wurden die oben beschriebene Ausführungsform und die Modifikation zwar anhand einer Oberflächenschallwellenfiltervorrichtung, die Oberflächenschallwellen verwendet, beschrieben, doch die vorliegende Erfindung kann – neben einer Oberflächenschallwellenfiltervorrichtung – gleichermaßen auf eine Filtervorrichtung für elastische Grenzwellen angewendet werden, die mit elastischen Grenzwellen arbeitet, da die vorliegende Erfindung durch den Elektrodenstruktur gekennzeichnet ist. Somit kann Steilheit der Filterkennlinie gleichermaßen erhöht werden.
  • [FILTERVORRICHTUNG FÜR ELASTISCHE WELLEN GEMÄSS EINER ZWEITEN AUSFÜHRUNGSFORM DER VORLIEGENDEN ERFINDUNG]
  • Eine zweite Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird nachstehend beschrieben. Wie die erste Ausführungsform hat die zweite Ausführungsform die in 1 gezeigte Struktur. Dementsprechend werden die gleichen Bezugszahlen verwendet, um ähnliche Komponenten in der zweiten Ausführungsform zu beschreiben, und auf ihre wiederholte Beschreibung wird verzichtet.
  • Wie in 15 gezeigt, ist – gemäß der vorliegenden Ausführungsform – in einem ersten längs gekoppelten Filterabschnitt vom Resonatortyp für elastische Wellen 11 die Anzahl der Elektrodenfinger in Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand, die an den Enden einer ersten IDT-Elektrode 11a und einer fünften IDT-Elektrode 11e angeordnet sind, das heißt, die Anzahl der Elektrodenfinger in einem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand A, kleiner als die Anzahl der Elektrodenfinger in jedem von Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand, die an beiden Enden der dritten IDT-Elektrode 11c, das heißt, einem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand D, angeordnet sind. Die Periode der Elektrodenfinger in jedem von Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand, die an den Enden der zweiten IDT-Elektrode 11b und der vierten IDT-Elektrode 11d neben der ersten IDT-Elektrode 11a bzw. der fünften IDT-Elektrode 11e angeordnet sind, das heißt, die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand B, ist kleiner als die Periode der Elektrodenfinger in Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand, die in den Endabschnitten der zweiten IDT-Elektrode 11b und der vierten IDT-Elektrode 11d neben der dritten IDT-Elektrode 11c angeordnet sind, das heißt, die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand C. Die Periode der Elektrodenfinger in einem anderen Abschnitt als dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand D der dritten IDT-Elektrode 11c ist kleiner als die Periode der Elektrodenfinger in jedem der anderen Abschnitte als den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand A der ersten IDT-Elektrode 11a und der fünften IDT-Elektrode 11e. Ein zweiter längs gekoppelter Filterabschnitt vom Resonatortyp für elastische Wellen 12 hat eine ähnliche Struktur wie der erste längs gekoppelte Filterabschnitt vom Resonatortyp für elastische Wellen 11. Somit kann in der Filtervorrichtung für elastische Wellen 1 die Steilheit die Filterkennlinie im Niederfrequenzbereich des Durchlaßbandes effektiv erhöht werden. Dies wird mit Bezug auf die 16 bis 19 beschrieben.
  • 16 veranschaulicht die Filterkennlinie einer Filtervorrichtung für elastische Wellen gemäß der vorliegenden Ausführungsform. Die durchgezogene Linie stellt das Ergebnis der vorliegenden Ausführungsform dar. Die Strich-Punkt-Linie stellt die Filterkennlinie einer Filtervorrichtung für elastische Wellen dar, die als ein Vergleichsbeispiel hergestellt wurde. Die detaillierten Elektrodenstrukturen der oben beschriebenen Ausführungsform und des Vergleichsbeispiels sind folgende. Es ist zu beachten, daß, in der folgenden Beschreibung, die Wellenlänge, die durch die Periode der Elektrodenfinger einer IDT-Elektrode bestimmt wird, mit ”λI” bezeichnet ist.
  • SPEZIFIKATION DES ERSTEN LÄNGS GEKOPPELTEN FILTERABSCHNITTS VOM RESONATORTYP FÜR ELASTISCHE WELLEN 11
    • Fingerquerbreite der Elektrodenfinger = 14,9 λI
  • Erste IDT-Elektrode 11a und fünfte IDT-Elektrode 11e: Die Anzahl der Elektrodenfinger einer jeden der IDT-Elektroden ist 37 (es ist zu beachten, daß die Anzahl der Elektrodenfinger im Abschnitt A3 von 37 ist).
  • Dritte IDT-Elektrode 11c: Die Anzahl der Elektrodenfinger ist 85 (es ist zu beachten, daß die Abschnitte D, die jeweils 7 Elektrodenfinger enthalten, zu beiden Seiten angeordnet sind).
  • Zweite IDT-Elektrode 11b und vierte IDT-Elektrode 11d: Die Anzahl der Elektrodenfinger einer jeden der Elektroden ist 41 (es ist zu beachten, daß die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand B4 ist, die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand C4 ist und die Anzahl der Elektrodenfinger in dem anderen Abschnitt 33 ist).
    Anzahl der Elektrodenfinger des ersten Reflektors 11f und des zweiten Reflektors 11g: 65
    Metallisationsverhältnis: 0,68
    Dicke eines Elektrodenfilms: 0,091 λI
  • Die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand B der zweiten IDT-Elektrode 11b und der vierten IDT-Elektrode 11d ist um 0,14 μm kleiner als in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand C.
  • Die Periode der Elektrodenfinger in einem anderen Abschnitt als den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand D der dritten IDT-Elektrode 11c ist um 0,01 μm kleiner als in anderen Abschnitten als den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand A der ersten IDT-Elektrode 11a und der fünften IDT-Elektrode 11e.
  • Wie oben beschrieben, ähnelt die Struktur des zweiten längs gekoppelten Filterabschnitts vom Resonatortyp für elastische Wellen 12 der des ersten längs gekoppelten Filterabschnitts vom Resonatortyp für elastische Wellen 11, außer daß die Phase einiger IDT-Elektroden die Umkehrung der Phase der entsprechenden IDT-Elektroden ist.
  • Es ist zu beachten, daß, als ein Vergleichsbeispiel, eine Filtervorrichtung für elastische Wellen mit einer Struktur ähnlich der der vorliegenden Ausführungsform, mit folgenden Ausnahmen, hergestellt wird:
    die Anzahl der Elektrodenfinger sowohl in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand D als auch dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand A ist 4, und
    die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand B ist die gleiche wie die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand C.
  • Wie aus 16 zu erkennen ist, wird gemäß der vorliegenden Ausführungsform die Steilheit in der Nähe des Niederfrequenz-Endes, das von 1,930 bis 1,990 GHz reicht, im Vergleich zu der des Vergleichsbeispiels erhöht. Das heißt, in dem Sperrband um 1,930 GHz und insbesondere in dem Frequenzbereich von 1,900 bis 1,930 GHz wird die Steilheit erhöht. Somit wird für den Durchgangspegel der Filterkennlinie die Frequenzperiode, für die der Verlust 3,5 dB bis 47,0 dB beträgt, um 2,1 MHz stärker verringert als die des Vergleichsbeispiels. Wenn die Frequenzperiode verringert wird, so kann die Toleranz für eine Frequenzveränderung infolge einer Variation zwischen den Baugruppen erhöht werden. Des Weiteren kann eine Filtervorrichtung für elastische Wellen 1 bereitgestellt werden, die selbst dann nur eine geringfügige Verschlechterung der Einfügungsdämpfung und der Dämpfung aufweist, wenn die Umgebungstemperatur schwankt.
  • Im Gegensatz zum Vergleichsbeispiel veranschaulicht 17 eine Veränderung des oben beschriebenen Resonanzmodus', wenn die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand A anders gewählt wird als die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand D. Wie in dem Vergleichsbeispiel, stellt in 17 die durchgezogene Linie das Ergebnis dar, wenn die Anzahl der Elektrodenfinger sowohl in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand B als auch dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand C4 ist. Die Punktlinie stellt das Ergebnis dar, wenn die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand A3 ist und die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand D5 ist. Die Strich-Punkt-Linie stellt das Ergebnis dar, wenn die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand A3 ist und die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand D7 ist.
  • Wie aus dem in 17 gezeigten Ergebnis zu erkennen ist, erscheint in dem Maße, wie der Unterschied zwischen der Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand A und der Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand D größer wird, eine größere Welligkeit Y in der Nähe des Niederfrequenz-Endes des Durchlaßbandes. Die Welligkeit Y erscheint zwischen dem Resonanzpunkt im Modus 0. Ordnung und dem Resonanzpunkt im Modus zweiter Ordnung. Dementsprechend kann – durch Steuern der Bemessungsparameter und des Frequenzpunktes der Welligkeit Y – die Welligkeit Y in dem abfallenden Abschnitt im Niederfrequenz-Ende des Durchlaßbandes angeordnet werden. Das heißt, mittels der Welligkeit Y kann die Steilheit der Filterkennlinie im Niederfrequenzbereich des Durchlaßbandes effektiv erhöht werden.
  • Jedoch erscheint gleichzeitig eine Welligkeit Z zwischen dem Resonanzpunkt im Modus 0. Ordnung und einem Resonanzpunkt im Inter-IDT-Elektrodenmodus. Die Welligkeit Z ist eine große zackenförmige Welligkeit, die in dem Durchlaßband erscheint. Dementsprechend ist es wünschenswert, daß die Welligkeit Z reduziert wird.
  • Der Erfinder der vorliegenden Erfindung hat festgestellt, daß die Welligkeit Z verringert werden kann, wenn die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand B anders eingestellt wird als die in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand C.
  • 18 veranschaulicht eine Veränderung des Resonanzmodus', wenn die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand B anders gewählt wird als in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand C.
  • In 18 stellt die durchgezogene Linie das Ergebnis dar, wenn die Periode in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand B die gleiche ist wie in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand C. Die Punktlinie stellt das Ergebnis dar, wenn die Periode in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand B um 0,04 μm kleiner ist als in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand C. Die Strich-Punkt-Linie stellt das Ergebnis dar, wenn die Periode in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand B um 0,08 μm kleiner ist als in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand C.
  • Wie aus 18 zu erkennen ist, kann mittels einer Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand B, die kleiner ist als die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand C, die Welligkeit Z verringert werden. Genauer gesagt, indem man den Unterschied zwischen den Perioden der Elektrodenfinger vergrößert, kann die Welligkeit Z weiter reduziert werden.
  • In 18 ist die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand B kleiner gewählt als in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand C. Wenn jedoch die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand B relativ zu der in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand C erhöht wird, so wird die Welligkeit Z erhöht. Das heißt, indem man die Periode der Elektrodenfinger in einem der Elektrodenfingerabschnitte mit schmalem Abstand B und C, der einem der Elektrodenfingerabschnitte mit schmalem Abstand A und D mit der kleineren Anzahl von Elektrodenfingern zugewandt ist, auf einen kleineren Wert einstellt als die Periode der Elektrodenfinger in dem anderen der Elektrodenfingerabschnitte mit schmalem Abstand B und C, kann die Welligkeit Z verringert werden. Darüber hinaus kann die Steilheit der Filterkennlinie mittels der Welligkeit Y effektiv erhöht werden.
  • Dementsprechend kann, wenn – im Gegensatz zu der oben beschriebenen Ausführungsform – die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand A größer ist als in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand D, die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand B größer eingestellt werden als die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand C. Selbst in einem solchen Fall kann, wie in der oben beschriebenen Ausführungsform, die Welligkeit Z verringert werden. Darüber hinaus kann die Steilheit der Filterkennlinie mittels der Welligkeit Y effektiv erhöht werden.
  • Darüber hinaus kann selbst dann, wenn die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand B die gleiche ist wie in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand C, die Welligkeit Z in einer ähnlichen Weise verringert werden, indem man die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand A auf einen anderen Wert einstellt als die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand D. Dies wird mit Bezug auf 19 beschrieben.
  • 19 veranschaulicht eine Veränderung der Welligkeit Y, wenn die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand A anders gewählt wird als in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand D. In diesem Beispiel sind die Periode und der Abstand der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand B die gleichen wie in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand C.
  • In 19 stellt die durchgezogene Linie das Ergebnis dar, wenn die Perioden der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand A und dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand D gleich sind. Die Punktlinie stellt das Ergebnis dar, wenn die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand A um 0,04 μm kleiner ist als in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand D. Die Strich-Punkt-Linie stellt das Ergebnis dar, wenn die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand A um 0,08 μm kleiner ist als in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand D. Wie aus 19 zu erkennen ist, wird in dem Maße, wie die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand A relativ zu der Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand D reduziert wird, das heißt, wie der Unterschied zwischen den Perioden erhöht wird, die Welligkeit Z reduziert.
  • In 19 ist die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand A kleiner als in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand D. Wenn jedoch die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand A größer eingestellt wird als in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand D, so wird die Welligkeit Z erhöht. Das heißt, die Periode der Elektrodenfinger in einem der Elektrodenfingerabschnitte mit schmalem Abstand A und dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand D mit der kleineren Anzahl von Elektrodenfingern muß verringert werden.
  • Wie aus den 18 und 19 zu erkennen ist, kann mittels einer Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand B, die kleiner ist als die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand C, oder mittels einer Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand A, die kleiner ist als die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand D, die Welligkeit Z verringert werden. Jedoch wird in einem solchen Fall die Welligkeit Y ebenfalls allgemein reduziert. Wenn die Welligkeit Y reduziert wird, so wird der Effekt des Verbesserns der Steilheit im Niederfrequenzbereich des Durchlaßbandes reduziert.
  • Dementsprechend hat der Erfinder der vorliegenden Erfindung des Weiteren festgestellt, daß es, um die Welligkeit Y zu erhöhen, ohne die Welligkeit Z zu verringern, effektiv ist, die Perioden der Elektrodenfinger in anderen Elektrodenfingerabschnitten als den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand der ersten, dritten und fünften IDT-Elektroden 11a, 11c, und 11e zu steuern, das heißt, der Elektrodenfinger in Haupt-Elektrodenfingerabschnitte, die die Frequenz des Filters bestimmen.
  • 20 veranschaulicht eine Veränderung der Welligkeit Y und eine Veränderung der Welligkeit Z, wenn die Perioden der Elektrodenfinger in den Haupt-Elektrodenfingerabschnitten der ersten IDT-Elektrode 11a und der fünften IDT-Elektrode 11e verwendet werden, die sich von der Periode der Elektrodenfinger in dem Haupt-Elektrodenabschnitt der dritten IDT-Elektrode 11c unterscheiden. Genauer gesagt, stellt in 20 die durchgezogene Linie das Ergebnis dar, wenn die Periode der Elektrodenfinger in einem anderen Abschnitt (Haupt-Elektrodenfingerabschnitt) als den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand der dritten IDT-Elektrode 11c die gleiche ist wie die Periode der Elektrodenfinger in einem anderen Abschnitt (Haupt-Elektrodenfingerabschnitt) als dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der ersten IDT-Elektrode 11a und der fünften IDT-Elektrode 11e. Die Punktlinie stellt das Ergebnis dar, wenn die Periode der Elektrodenfinger der dritten IDT-Elektrode 11c, die sich in der Mitte befindet, um 0,03 μm kleiner ist als die der ersten IDT-Elektrode 11a und der fünften IDT-Elektrode 11e. Die Strich-Punkt-Linie stellt das Ergebnis dar, wenn die Periode der Elektrodenfinger der dritten IDT-Elektrode 11c, die sich in der Mitte befindet, um 0,06 μm kleiner ist als die Periode der Elektrodenfinger in den Haupt-Elektrodenfingerabschnitten der ersten IDT-Elektrode 11a und der fünften IDT-Elektrode 11e.
  • Wie aus 20 zu erkennen ist, wird die Welligkeit Y in dem Maße größer, wie der Unterschied zwischen der Periode der Elektrodenfinger in der ersten IDT-Elektrode 11a und der fünften IDT-Elektrode 11e und der Periode der Elektrodenfinger in der dritten IDT-Elektrode 11c größer wird. In einem solchen Fall wird die Welligkeit Z vernachlässigbar verändert. Dementsprechend ist es wünschenswert, daß die Periode der Elektrodenfinger in einem anderen Abschnitt als den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand der dritten IDT-Elektrode 11c auf einen anderen Wert eingestellt wird als die Periode der Elektrodenfinger in anderen Abschnitten als den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand der ersten IDT-Elektrode 11a und der fünften IDT-Elektrode 11e.
  • In 20 ist die Periode der Elektrodenfinger in einem anderen Abschnitt als dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der dritten IDT-Elektrode 11c kleiner gewählt als jede der Perioden der Elektrodenfinger in anderen Abschnitten als den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand der ersten IDT-Elektrode 11a und der fünften IDT-Elektrode 11e. Wenn jedoch die Periode der Elektrodenfinger in einem anderen Abschnitt als den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand der ersten IDT-Elektrode 11a und der fünften IDT-Elektrode 11e relativ erhöht wird, so nimmt die Welligkeit Y ab. Das heißt, um die Welligkeit Y zu erhöhen, muß die Periode der Elektrodenfinger in dem anderen Haupt-Elektrodenfingerabschnitt als dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der ersten IDT-Elektrode 11a oder der dritten IDT-Elektrode 11c mit der kleineren Anzahl von Elektrodenfingern in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand relativ verringert werden. Dementsprechend ist es wünschenswert, daß, wenn die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand A größer ist als in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand D, die Periode der Elektrodenfinger in einem anderen Abschnitt als dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der ersten IDT-Elektrode 11a und der fünften IDT-Elektrode 11e kleiner eingestellt wird als die Periode der Elektrodenfinger in dem anderen Haupt-Elektrodenfingerabschnitt als dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der dritten IDT-Elektrode 11c.
  • Als nächstes wird eine Modifikation der oben beschriebenen Ausführungsform mit Bezug auf die 21 bis 25 beschrieben. 21 ist eine schematische Draufsicht auf die Struktur eines Elektrodenfingerabschnitts mit schmalem Abstand des ersten längs gekoppelten Filterabschnitts vom Resonatortyp für elastische Wellen 11 einer Filtervorrichtung für elastische Wellen gemäß einer Modifikation der oben beschriebenen Ausführungsform.
  • In dieser Modifikation ist eine Beziehung zwischen der Anzahl der Elektrodenfinger und der Periode eines Elektrodenfingerabschnitts mit schmalem Abstand derjenigen der oben beschriebenen Ausführungsform entgegengesetzt. Das heißt, wie in 21 gezeigt, daß die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand A größer eingestellt wird als in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand D. Die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand B wird größer eingestellt als in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand C. Darüber hinaus wird die Periode der Elektrodenfinger in einem anderen Abschnitt als dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand D der dritten IDT-Elektrode 11c größer eingestellt als die Periode der Elektrodenfinger in einem anderen Abschnitt als dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der ersten IDT-Elektrode 11a und der fünften IDT-Elektrode 11e. Auf diese Weise kann, wie in der oben beschriebenen Ausführungsform, die Welligkeit Y erhöht werden, und darum kann die Steilheit der Filterkennlinie im Niederfrequenzbereich erhöht werden. Des Weiteren kann die Welligkeit Z verringert werden. Der Grund dafür wird mit Bezug auf die 22 bis 25 beschrieben.
  • 22 veranschaulicht eine Veränderung der Welligkeit Y und eine Veränderung der Welligkeit Z, wenn die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand A anders gewählt wird als in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand D. In 22 stellt die durchgezogene Linie das Ergebnis dar, wenn die Anzahl der Elektrodenfinger sowohl in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand A als auch in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand D4 ist. Im Gegensatz dazu stellt die Punktlinie das Ergebnis dar, wenn die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand A7 ist und die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand D3 ist. Die Strich-Punkt-Linie stellt das Ergebnis dar, wenn die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand A9 ist und die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand D3 ist.
  • Wie aus 22 zu erkennen ist, kann die Welligkeit Y in dem Maße erhöht werden, wie die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand A relativ zu der in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand D erhöht wird.
  • Jedoch wird eine Welligkeit Z vergrößert, wenn die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand A relativ zu der in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand D vergrößert wird.
  • 23 veranschaulicht eine Beziehung zwischen der Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand B, der Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand C, der Welligkeit Y und der Welligkeit Z. In 23 stellt die durchgezogene Linie das Ergebnis dar, wenn die Perioden der Elektrodenfinger in den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand B und C gleich sind. Die Punktlinie stellt das Ergebnis dar, wenn die Periode in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand B um 0,02 μm größer ist als in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand C. Die Strich-Punkt-Linie stellt das Ergebnis dar, wenn die Periode in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand B um 0,04 μm größer ist als in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand C.
  • Wie aus 23 zu erkennen ist, kann durch Vergrößern der Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand B relativ zu der Periode in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand C eine unerwünschte Welligkeit Z verringert werden. In diesem Fall wird der Wert der Welligkeit Y vernachlässigbar verändert.
  • 24 veranschaulicht eine Veränderung der Welligkeit Z, wenn die Perioden der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand A und dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand D in der vorliegenden Modifikation verändert werden. Die durchgezogene Linie stellt das Ergebnis dar, wenn die Perioden der Elektrodenfinger in den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand A und D gleich sind. Die Punktlinie stellt das Ergebnis dar, wenn die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand A um 0,02 μm größer ist als in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand B. Die Strich-Punkt-Linie stellt das Ergebnis dar, wenn die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand A um 0,04 μm größer ist als in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand B.
  • Wie aus 24 zu erkennen ist, wird in dem Maße, wie die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand A relativ vergrößert wird, die Welligkeit Z reduziert. Das heißt, durch Vergrößern der Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand A oder dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand D mit der größeren Anzahl der Elektrodenfinger kann die Welligkeit Z verringert werden.
  • 25 veranschaulicht eine Beziehung zwischen der Periode der Elektrodenfinger in einem anderen Abschnitt als den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand der dritten IDT-Elektrode 11c, der Periode der Elektrodenfinger in anderen Abschnitten als den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand der ersten IDT-Elektrode 11a und der fünften IDT-Elektrode 11e und der Welligkeit Y gemäß der Modifikation.
  • In 25 ist das Ergebnis gezeigt, wenn die Periode der Elektrodenfinger in einem anderen Abschnitt als dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der dritten IDT-Elektrode 11c und die Periode der Elektrodenfinger in anderen Abschnitten als den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand der ersten IDT-Elektrode 11a und der fünften IDT-Elektrode 11e gleich sind. Die Punktlinie stellt das Ergebnis dar, wenn die Periode der Elektrodenfinger der dritten IDT-Elektrode 11c um 0,03 μm größer ist als die der ersten IDT-Elektrode 11a und der fünften IDT-Elektrode 11e. Die Strich-Punkt-Linie stellt das Ergebnis dar, wenn die Periode der Elektrodenfinger in einem anderen Abschnitt als dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der dritten IDT-Elektrode 11c um 0,06 μm größer ist als die der ersten IDT-Elektrode 11a und der fünften IDT-Elektrode 11e.
  • Wie aus 25 zu erkennen ist, kann – wie in dem in 20 gezeigten Beispiel – mittels einer Periode der Elektrodenfinger in einem anderen Abschnitt als den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand der ersten IDT-Elektrode 11a und der fünften IDT-Elektrode 11e, die sich von derjenigen der dritten IDT-Elektrode 11c unterscheidet, der Wert der Welligkeit Y ebenfalls gesteuert werden. Genauer gesagt: Indem man die Periode der Elektrodenfinger in einem anderen Abschnitt als den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand der ersten und fünften IDT-Elektrode 11a und 11e oder der dritten IDT-Elektrode 11c mit der größeren Anzahl der Elektrodenfinger auf einen kleineren Wert einstellt als die Periode der Elektrodenfinger in einem anderen Abschnitt als dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der anderen IDT-Elektrode, kann die Welligkeit Y erhöht werden. Auf diese Weise kann die Steilheit der Filterkennlinie effektiv erhöht werden.
  • In der oben beschriebenen Modifikation wird die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand B größer eingestellt als die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand C. Anstatt jedoch die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand B auf einen größeren Wert einzustellen als die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand C, kann die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand A auf einen größeren Wert eingestellt werden als die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand D.
  • [FILTERVORRICHTUNG FÜR ELASTISCHE WELLEN GEMÄSS EINER DRITTEN AUSFÜHRUNGSFORM DER VORLIEGENDEN ERFINDUNG]
  • Eine dritte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird im Folgenden beschrieben. Wie die erste Ausführungsform, hat die dritte Ausführungsform die in 1 gezeigte Struktur. Dementsprechend werden die gleichen Bezugszahlen verwendet, um ähnliche Komponenten in der dritten Ausführungsform zu beschreiben, und auf ihre wiederholte Beschreibung wird verzichtet.
  • Wie in 27 gezeigt, ist – gemäß der vorliegenden Ausführungsform – in einem ersten längs gekoppelten Filterabschnitt vom Resonatortyp für elastische Wellen 11 die Anzahl der Elektrodenfinger in einem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand, der am Ende einer zweiten IDT-Elektrode 11b neben der ersten IDT-Elektrode 11a sowie am Ende einer vierten IDT-Elektrode 11d neben der fünften IDT-Elektrode 11e angeordnet ist, das heißt, die Anzahl der Elektrodenfinger in einem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand B, kleiner als die Anzahl der Elektrodenfinger in einem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand, der am Ende der zweiten IDT-Elektrode 11b neben der dritten IDT-Elektrode 11c sowie am Ende der vierten IDT-Elektrode 11d neben der dritten IDT-Elektrode 11c angeordnet ist, das heißt, die Anzahl der Elektrodenfinger in einem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand C. Die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand B ist kleiner als in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand C. Die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand, der am Ende der ersten IDT-Elektrode 11a sowie am Ende der fünften IDT-Elektrode 11e angeordnet ist, das heißt, die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand A, ist kleiner als die Anzahl der Elektrodenfinger in einem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand, der an einem der Enden der dritten IDT-Elektrode 11c angeordnet ist, das heißt, die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand D. Die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand A ist kleiner als die in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand D. Die Periode der Elektrodenfinger in einem anderen Abschnitt als dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand D der dritten IDT-Elektrode 11c ist kleiner als die Periode der Elektrodenfinger in anderen Abschnitten als den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand Ader ersten IDT-Elektrode 11a und der fünften IDT-Elektrode 11e. Ein zweiter längs gekoppelter Filterabschnitt vom Resonatortyp für elastische Wellen 12 hat eine ähnliche Struktur wie der erste längs gekoppelte Filterabschnitt vom Resonatortyp für elastische Wellen 11. Somit kann in der Filtervorrichtung für elastische Wellen 1 die Steilheit der Filterkennlinie im Niederfrequenzbereich des Durchlaßbandes effektiv erhöht werden. Der Grund dafür wird mit Bezug auf 28 beschrieben.
  • 28 veranschaulicht die Filterkennlinie einer Filtervorrichtung für elastische Wellen gemäß der vorliegenden Ausführungsform. Die durchgezogene Linie stellt das Ergebnis der vorliegenden Ausführungsform dar. Die Strich-Punkt-Linie stellt die Filterkennlinie einer Filtervorrichtung für elastische Wellen dar, die als ein Vergleichsbeispiel hergestellt wurde. Die detaillierten Elektrodenstrukturen der oben beschriebenen Ausführungsform und des Vergleichsbeispiels sind folgende. Es ist zu beachten, daß, in der folgenden Beschreibung, die Wellenlänge, die durch die Periode der Elektrodenfinger einer IDT-Elektrode bestimmt wird, mit ”λI” bezeichnet ist.
  • SPEZIFIKATION DES ERSTEN LÄNGS GEKOPPELTEN FILTERABSCHNITTS VOM RESONATORTYP FÜR ELASTISCHE WELLEN 11
    • Fingerquerbreite der Elektrodenfinger = 16,9 λI
  • Erste IDT-Elektrode 11a und fünfte IDT-Elektrode 11e: Die Anzahl der Elektrodenfinger einer jeden der IDT-Elektroden ist 42 (es ist zu beachten, daß die Anzahl der Elektrodenfinger im Abschnitt A3 von 42 ist).
  • Dritte IDT-Elektrode 11c: Die Anzahl der Elektrodenfinger ist 55 (es ist zu beachten, daß die Abschnitte D jeweils 5 Elektrodenfinger enthalten, zu beiden Seiten angeordnet sind).
  • Zweite IDT-Elektrode 11b und die vierte IDT-Elektrode 11d: Die Anzahl der Elektrodenfinger einer jeden der Elektroden ist 43 (es ist zu beachten, daß die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand B3 ist, die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand C7 ist und die Anzahl der Elektrodenfinger in dem anderen Abschnitt ist 33).
    Anzahl der Elektrodenfinger des ersten Reflektors 11f und des zweiten Reflektors 11g: 65
    Metallisationsverhältnis: 0,68
    Dicke eines Elektrodenfilms: 0,091 λI
  • Die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand B der zweiten IDT-Elektrode 11b und der vierten IDT-Elektrode 11d ist um 0,177 μm kleiner als in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand C. Die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand A der ersten IDT-Elektrode 11a und der fünften IDT-Elektrode 11e ist um 0,076 μm kleiner als in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand D der dritten IDT-Elektrode 11c.
  • Die Periode der Elektrodenfinger in einem anderen Abschnitt als dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand D der dritten IDT-Elektrode 11c ist um 0,01 μm kleiner als in einem anderen Abschnitt als dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand A der ersten IDT-Elektrode 11a und der fünften IDT-Elektrode 11e.
  • Wie oben beschrieben, ähnelt die Struktur des zweiten längs gekoppelten Filterabschnitts vom Resonatortyp für elastische Wellen 12 der des ersten längs gekoppelten Filterabschnitts vom Resonatortyp für elastische Wellen 11, außer daß die Phase einiger IDT-Elektroden die Umkehrung der Phase der entsprechenden IDT-Elektroden ist.
  • Es ist zu beachten, daß, als ein Vergleichsbeispiel, eine Filtervorrichtung für elastische Wellen mit einer Struktur ähnlich der der vorliegenden Ausführungsform mit folgenden Ausnahmen hergestellt wird:
    die Anzahl der Elektrodenfinger in jedem der Elektrodenfingerabschnitte mit schmalem Abstand A bis D ist 4, und
    die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand A bis D ist die gleiche.
  • Wie aus 28 zu erkennen ist, wird gemäß der vorliegenden Ausführungsform die Steilheit in der Nähe des Niederfrequenz-Endes, das von 1,930 bis 1,990 GHz reicht, im Vergleich zu der des Vergleichsbeispiels erhöht. Das heißt, in dem Sperrband um 1,930 GHz, und insbesondere in dem Frequenzbereich von 1,900 bis 1,930 GHz, wird die Steilheit erhöht. Somit wird, für den Durchgangspegel der Filterkennlinie, die Frequenzperiode, für die der Verlust 3,5 dB bis 47,0 dB beträgt, um 3,8 MHz stärker verringert als die des Vergleichsbeispiels. Wenn die Frequenzperiode verringert wird, so kann die Toleranz für eine Frequenzveränderung infolge einer Variation zwischen den Baugruppen erhöht werden. Des Weiteren kann eine Filtervorrichtung für elastische Wellen 1 bereitgestellt werden, die selbst dann, wenn die Umgebungstemperatur schwankt, eine nur geringfügige Verschlechterung der Einfügungsdämpfung und der Dämpfung aufweist.
  • Wie bei der ersten und der zweiten Ausführungsform kann in der dritten Ausführungsform mittels der entgegengesetzten Größenbeziehung zwischen der Anzahl und der Periode der Elektrodenfinger eine Modifikation mit dem gleichen Vorteil realisiert werden. Das heißt, in der Modifikation der dritten Ausführungsform, wie in 29 gezeigt, ist die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand B größer als in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand C. Die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand B ist größer als in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand C. Darüber hinaus ist die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand A größer als in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand D. Die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand A ist größer als in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand D. Des Weiteren ist die Periode der Elektrodenfinger in anderen Abschnitten als den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand der ersten IDT-Elektrode 11a und der fünften IDT-Elektrode 11e kleiner als die Periode der Elektrodenfinger in einem anderen Abschnitt als den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand der dritten IDT-Elektrode 11c. Auf diese Weise kann, wie in der dritten Ausführungsform, die Welligkeit Y erhöht werden, und darum kann die Steilheit der Filterkennlinie im Niederfrequenzbereich erhöht werden. Außerdem kann die Welligkeit Z verringert werden.
  • Genauer gesagt, können einige der Spezifikationen des ersten längs gekoppelten Filterabschnitts vom Resonatortyp für elastische Wellen 11 folgendermaßen verändert werden.
  • Die erste IDT-Elektrode 11a und die fünfte IDT-Elektrode 11e: Die Anzahl der Elektrodenfinger einer jeden der IDT-Elektroden ist 42 (es ist zu beachten, daß die Anzahl der Elektrodenfinger im Abschnitt A5 von 42 ist).
  • Die dritte IDT-Elektrode 11c: Die Anzahl der Elektrodenfinger ist 55 (es ist zu beachten, daß die Abschnitte D jeweils 3 Elektrodenfinger enthalten, die zu beiden Seiten angeordnet sind).
  • Die zweite IDT-Elektrode 11b und die vierte IDT-Elektrode 11d: Die Anzahl der Elektrodenfinger einer jeden der Elektroden ist 43 (es ist zu beachten, daß die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand B7 ist, die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand C3 ist und die Anzahl der Elektrodenfinger in dem anderen Abschnitt ist 33).
  • Die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand B der zweiten IDT-Elektrode 11b und der vierten IDT-Elektrode 11d ist um 0,177 μm größer als in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand C.
  • Die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand A der ersten IDT-Elektrode 11a und der fünften IDT-Elektrode 11e ist um 0,076 μm größer als in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand D der dritten IDT-Elektrode 11c.
  • Die Periode der Elektrodenfinger in einem anderen Abschnitt als den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand D der dritten IDT-Elektrode 11c ist um 0,01 μm größer als in einem anderen Abschnitt als dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand A der ersten IDT-Elektrode 11a und der fünften IDT-Elektrode 11e.
  • Die Struktur des zweiten längs gekoppelten Filterabschnitts vom Resonatortyp für elastische Wellen 12 kann derjenigen des ersten längs gekoppelten Filterabschnitts vom Resonatortyp für elastische Wellen 11 ähneln, außer daß die Phase einiger IDT-Elektroden die Umkehrung der Phase der entsprechenden IDT-Elektroden ist.
  • Dementsprechend können die Ergebnisse der oben beschriebenen ersten bis dritten Ausführungsformen und der Modifikation folgendermaßen zusammengefaßt werden. Und zwar können die Anzahl der Elektrodenfinger in jedem der Elektrodenfingerabschnitte mit schmalem Abstand A bis D, die Periode der Elektrodenfinger in jedem der Elektrodenfingerabschnitte mit schmalem Abstand A bis D und die Periode der Elektrodenfinger in anderen Haupt-Elektrodenfingerabschnitten als den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand der dritten IDT-Elektrode 11c, der ersten IDT-Elektrode 11a und der fünften IDT-Elektrode 11e folgendermaßen gestaltet werden.
  • Struktur 1 (entspricht der ersten Ausführungsform eines ersten konkreten Aspekts)
    • 1) die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand B < die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand C.
    • 2) die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand B < die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand C, oder die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand A < die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand D.
    • 3) die Periode der Elektrodenfinger in dem Haupt-Elektrodenfingerabschnitt der ersten IDT-Elektrode 11a und der fünften IDT-Elektrode 11e > die Periode der Elektrodenfinger in dem Haupt-Elektrodenfingerabschnitt der dritten IDT-Elektrode 11c.
  • Struktur 2 (entspricht der zweiten Ausführungsform des ersten konkreten Aspekts)
    • 1) die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand A < die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand D.
    • 2) die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand B < die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand C, oder die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand A < die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand D.
    • 3) die Periode der Elektrodenfinger in einem Haupt-Elektrodenfingerabschnitt der ersten IDT-Elektrode 11a und der fünften IDT-Elektrode 11e > die Periode der Elektrodenfinger in dem Haupt-Elektrodenfingerabschnitt der dritten IDT-Elektrode 11c.
  • Struktur 3 (entspricht der dritten Ausführungsform des ersten konkreten Aspekts)
    • 1) die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand B < die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand C.
    • 2) die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand A < die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand D.
    • 3) die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand B < die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand C.
    • 4) die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand A < die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand D.
    • 5) die Periode der Elektrodenfinger in einem Haupt-Elektrodenfingerabschnitt der ersten IDT-Elektrode 11a und der fünften IDT-Elektrode 11e > die Periode der Elektrodenfinger in dem Haupt-Elektrodenfingerabschnitt der dritten IDT-Elektrode 11c.
  • Struktur 4 (entspricht der Modifikation der ersten Ausführungsform eines zweiten konkreten Aspekts)
    • 1) die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand B > die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand C.
    • 2) die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand B > die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand C, oder die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand A > die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand D.
    • 3) die Periode der Elektrodenfinger in dem Haupt-Elektrodenfingerabschnitt der ersten IDT-Elektrode 11a und der fünften IDT-Elektrode 11e < die Periode der Elektrodenfinger in dem Haupt-Elektrodenfingerabschnitt der dritten IDT-Elektrode 11c.
  • Struktur 5 (entspricht der zweiten Ausführungsform des zweiten konkreten Aspekts)
    • 1) die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand A > die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand D.
    • 2) die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand B > die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand C, oder die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand A > die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand D.
    • 3) die Periode der Elektrodenfinger in dem Haupt-Elektrodenfingerabschnitt der ersten IDT-Elektrode 11a und der fünften IDT-Elektrode 11e < die Periode der Elektrodenfinger in dem Haupt-Elektrodenfingerabschnitt der dritten IDT-Elektrode 11c.
  • Struktur 6 (entspricht der dritten Ausführungsform des zweiten konkreten Aspekts)
    • 1) die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand B > die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand C.
    • 2) die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand A > die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand D.
    • 3) die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand B > die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand C.
    • 4) die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand A > die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand D.
    • 5) die Periode der Elektrodenfinger in dem Haupt-Elektrodenfingerabschnitt der ersten IDT-Elektrode 11a und der fünften IDT-Elektrode 11e < die Periode der Elektrodenfinger in dem Haupt-Elektrodenfingerabschnitt der dritten IDT-Elektrode 11c.
  • Eine Beziehung zwischen der Anzahl der Elektrodenfinger und der Periode der Elektrodenfinger der Filtervorrichtung für elastische Wellen gemäß der vorliegenden Erfindung wird im Folgenden mit Bezug auf 3 zusammengefaßt. Wie in 3 gezeigt, ist ein Bereich, der die erste IDT-Elektrode 11a und eine Hälfte der zweiten IDT-Elektrode 11b neben der ersten IDT-Elektrode 11a enthält, als ein erster Bereich definiert; ein Bereich, der eine Hälfte der zweiten IDT-Elektrode 11b neben der dritten IDT-Elektrode 11c und eine Hälfte der dritten IDT-Elektrode 11c neben der zweiten IDT-Elektrode 11b enthält, ist als ein zweiter Bereich definiert; ein Bereich, der eine Hälfte der dritten IDT-Elektrode 11c neben der vierten IDT-Elektrode 11d und eine Hälfte der vierten IDT-Elektrode 11d neben der dritten IDT-Elektrode 11c enthält, ist als ein dritter Bereich definiert; und ein Bereich, der eine Hälfte der vierten IDT-Elektrode 11d neben der fünften IDT-Elektrode 11e und die fünfte IDT-Elektrode 11e enthält, ist als ein vierter Bereich definiert.
  • Als Zusammenfassung der oben beschriebenen Strukturen 1 bis 3 wird angemerkt, daß in der gemäß dem ersten konkreten Aspekt bereitgestellten Filtervorrichtung für elastische Wellen die Gesamtzahl der Elektrodenfinger in den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand A und B, die in dem ersten Bereich enthalten sind, kleiner gewählt als die Gesamtzahl der Elektrodenfinger in den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand C und D, die in dem zweiten Bereich enthalten sind. Die Gesamtzahl der Elektrodenfinger in den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand C und D, die in dem dritten Bereich enthalten sind, wird größer eingestellt als die Gesamtzahl der Elektrodenfinger in den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand A und B, die in dem vierten Bereich enthalten sind. Nx bezeichnet jede der Gesamtzahl der Elektrodenfinger in den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand, die in dem ersten Bereich enthalten sind, und der Gesamtzahl der Elektrodenfinger in den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand, die in dem vierten Bereich enthalten sind. Ny bezeichnet jeden der Gesamtzahl der Elektrodenfinger in den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand, die in dem zweiten Bereich enthalten sind, und der Gesamtzahl der Elektrodenfinger in den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand, die in dem dritten Bereich enthalten sind. Des Weiteren ist die durchschnittliche Periode des Elektrodenfingerabschnitts mit schmalem Abstand in dem Bereich, der die größere der Gesamtzahlen der Elektrodenfinger Nx und Ny aufweist, größer als in dem Bereich, der die kleinere der Gesamtzahlen der Elektrodenfinger Nx und Ny aufweist. Darüber hinaus ist unter der ersten IDT-Elektrode 11a, der dritten IDT-Elektrode 11c und der fünften IDT-Elektrode 11e die Periode der Elektrodenfinger in einem anderen Abschnitt als dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der IDT-Elektrode, der in dem Bereich enthalten ist, der die größere der Anzahlen der Elektrodenfinger aufweist, kleiner als die Periode der Elektrodenfinger in einem anderen Abschnitt als dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der IDT-Elektrode, der in dem Bereich enthalten ist, der die kleinere der Anzahlen von Elektrodenfingern aufweist.
  • Als Zusammenfassung der oben beschriebenen Strukturen 4 bis 6 wird angemerkt, daß in der gemäß dem zweiten konkreten Aspekt bereitgestellten Filtervorrichtung für elastische Wellen die Gesamtzahl der Elektrodenfinger in den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand A und B, die in dem ersten Bereich enthalten sind, kleiner ist als die Gesamtzahl der Elektrodenfinger in den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand C und D, die in dem zweiten Bereich enthalten sind. Die Gesamtzahl der Elektrodenfinger in den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand C und D, die in dem dritten Bereich enthalten sind, ist größer als die Gesamtzahl der Elektrodenfinger in den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand A und B, die in dem vierten Bereich enthalten sind. Nx bezeichnet jede der Gesamtzahl der Elektrodenfinger der Elektrodenfingerabschnitte mit schmalem Abstand A und B, die in dem ersten Bereich enthalten sind, und der Gesamtzahl der Elektrodenfinger der Elektrodenfingerabschnitte mit schmalem Abstand, die in dem vierten Bereich enthalten sind. Ny bezeichnet jeden der Gesamtzahl der Elektrodenfinger in den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand, die in dem zweiten Bereich enthalten sind, und der Gesamtzahl der Elektrodenfinger in den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand, die in dem dritten Bereich enthalten sind. Des Weiteren ist die durchschnittliche Periode der Elektrodenfinger in den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand in dem Bereich, der die größere der Gesamtzahlen der Elektrodenfinger Nx und Ny aufweist, größer als in dem Bereich, der die kleinere der Gesamtzahlen der Elektrodenfinger Nx und Ny aufweist. Unter der ersten IDT-Elektrode 11a, der dritten IDT-Elektrode 11c und der fünften IDT-Elektrode 11e ist die Periode der Elektrodenfinger in einem anderen Abschnitt als dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der IDT-Elektrode, der in dem Bereich enthalten ist, der die größere der Anzahlen der Elektrodenfinger aufweist, kleiner als die Periode der Elektrodenfinger in einem anderen Abschnitt als dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der IDT-Elektrode, der in dem Bereich enthalten ist, der die kleinere der Anzahlen von Elektrodenfingern aufweist.
  • Des Weiteren wird im Folgenden eine Beziehung zwischen der Anzahl der Elektrodenfinger und der Periode eines gemäß dem ersten und dem zweiten konkreten Aspekt bereitgestellten Oberflächenschallwellenfilters zusammengefaßt. Nx bezeichnet jede der Gesamtzahl der Elektrodenfinger der Elektrodenfingerabschnitte mit schmalem Abstand A und B, die in dem ersten Bereich enthalten sind, und der Gesamtzahl der Elektrodenfinger der Elektrodenfingerabschnitte mit schmalem Abstand, die in dem vierten Bereich enthalten sind. Ny bezeichnet jeden der Gesamtzahl der Elektrodenfinger in den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand, die in dem zweiten Bereich enthalten sind, und der Gesamtzahl der Elektrodenfinger in den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand, die in dem dritten Bereich enthalten sind. Des Weiteren unterscheidet sich die Gesamtzahl der Elektrodenfinger Nx von der Gesamtzahl der Elektrodenfinger Ny. Die durchschnittliche Periode der Elektrodenfinger in den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand, die in dem Bereich enthalten sind, der die größere der Gesamtzahlen der Elektrodenfinger Nx und Ny aufweist, ist größer als die, die in dem Bereich enthalten ist, der die kleinere der Gesamtzahlen der Elektrodenfinger Nx und Ny aufweist. Unter der ersten IDT-Elektrode, der dritten IDT-Elektrode und der fünften IDT-Elektrode ist die Periode der Elektrodenfinger in einem anderen Abschnitt als dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der IDT-Elektrode, der in dem Bereich enthalten ist, der die größere der Anzahlen der Elektrodenfinger aufweist, kleiner als die Periode der Elektrodenfinger in einem anderen Abschnitt als dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der IDT-Elektrode, der in dem Bereich enthalten ist, der die kleinere der Anzahlen von Elektrodenfingern aufweist.
  • Bezugszeichenliste
    • 1
    Filtervorrichtung für elastische Wellen
    2
    piezoelektrisches Substrat
    3
    asymmetrischer Anschluß
    4
    erster symmetrischer Anschluß
    5
    zweiter symmetrischer Anschluß
    10
    längs gekoppelter Filterabschnitt vom Resonatortyp für elastische Wellen
    10a
    erste IDT-Elektrode
    10b
    zweite IDT-Elektrode
    10c
    dritte IDT-Elektrode
    10d
    vierte IDT-Elektrode
    10e
    fünfte IDT-Elektrode
    11
    erster längs gekoppelter Filterabschnitt vom Resonatortyp für elastische Wellen
    11a
    erste IDT-Elektrode
    11b
    zweite IDT-Elektrode
    11c
    dritte IDT-Elektrode
    11d
    vierte IDT-Elektrode
    11e
    fünfte IDT-Elektrode
    11f
    erster Reflektor
    11g
    zweiter Reflektor
    12
    zweiter längs gekoppelter Filterabschnitt vom Resonatortyp für elastische Wellen
    12a
    erste IDT-Elektrode
    12b
    zweite IDT-Elektrode
    12c
    dritte IDT-Elektrode
    12d
    vierte IDT-Elektrode
    12e
    fünfte IDT-Elektrode
    12f
    erster Reflektor
    12g
    zweiter Reflektor
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
  • Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
  • Zitierte Patentliteratur
    • JP 4-54011 [0008]
    • WO 2006/068086 A1 [0008]
    • WO 2007/083503 A1 [0008]
    • JP 2002-528987 [0129]
    • JP 2003-243965 [0129]

Claims (13)

  1. Filtervorrichtung für elastische Wellen, umfassend: ein piezoelektrisches Substrat; erste bis fünfte IDT-Elektroden, die der Reihe nach auf dem piezoelektrischen Substrat in einer Ausbreitungsrichtung der elastischen Wellen angeordnet sind; und einen ersten und einen zweiter Reflektor, die zu beiden Seiten eines Bereichs angeordnet sind, in dem die ersten bis fünften IDT-Elektroden in der Ausbreitungsrichtung der elastischen Wellen angeordnet sind; wobei die ersten bis fünften IDT-Elektroden und der erste und der zweite Reflektor einen längs gekoppelten Filterabschnitt vom Resonatortyp für elastische Wellen bilden und jede der ersten bis fünften IDT-Elektroden einen Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand aufweist, in dem die Periode der Elektrodenfinger kleiner ist als in dem anderen Abschnitt an einem Ende neben einer anderen IDT-Elektrode, und wobei, entlang der Ausbreitungsrichtung der elastischen Wellen, ein Bereich, der die erste IDT-Elektrode und eine Hälfte der zweiten IDT-Elektrode neben der ersten IDT-Elektrode enthält, als ein erster Bereich definiert ist; ein Bereich, der eine Hälfte der zweiten IDT-Elektrode neben der dritten IDT-Elektrode und eine Hälfte der dritten IDT-Elektrode neben der zweiten IDT-Elektrode enthält, als ein zweiter Bereich definiert ist; ein Bereich, der eine Hälfte der dritten IDT-Elektrode neben der vierten IDT-Elektrode und eine Hälfte der vierten IDT-Elektrode neben der dritten IDT-Elektrode enthält, als ein dritter Bereich definiert ist; und ein Bereich, der eine Hälfte der vierten IDT-Elektrode neben der fünften IDT-Elektrode und die fünfte IDT-Elektrode enthält, als ein vierter Bereich definiert ist, und wobei, wenn jede der Gesamtzahlen der Elektrodenfinger in den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand in dem ersten Bereich und in dem vierten Bereich Nx ist und jede der Gesamtzahlen der Elektrodenfinger in den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand in dem zweiten Bereich und in dem dritten Bereich Ny ist, die Anzahl der Elektrodenfinger Nx sich von der Anzahl der Elektrodenfinger Ny unterscheidet, und wobei eine durchschnittliche Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand, der sich in dem Bereich befindet, der die größere der Anzahlen der Elektrodenfinger Nx und Ny aufweist, größer eingestellt ist als eine durchschnittliche Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand, der sich in dem Bereich befindet, der die kleinere der Anzahlen der Elektrodenfinger Nx und Ny aufweist, und wobei unter der ersten, dritten und fünften IDT-Elektrode die Periode der Elektrodenfinger in einem anderen Abschnitt als dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der IDT-Elektrode, der in dem Bereich mit der größeren Anzahl an Elektrodenfingern enthalten ist, kleiner ist als die, die in dem Bereich mit der kleineren Anzahl an Elektrodenfingern enthalten ist.
  2. Filtervorrichtung für elastische Wellen nach Anspruch 1, wobei die Gesamtzahl der Elektrodenfinger in den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand, die in dem ersten Bereich enthalten sind, kleiner ist als die Gesamtzahl der Elektrodenfinger in den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand, die in dem zweiten Bereich enthalten sind, und die Gesamtzahl der Elektrodenfinger in den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand, die in dem dritten Bereich enthalten sind, größer ist als die Gesamtzahl der Elektrodenfinger in den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand, die in dem vierten Bereich enthalten sind.
  3. Filtervorrichtung für elastische Wellen nach Anspruch 2, wobei die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der zweiten IDT-Elektrode, der in dem ersten Bereich enthalten ist, kleiner ist als die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der zweiten IDT-Elektrode, der in dem zweiten Bereich enthalten ist, und wobei die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der vierten IDT-Elektrode, der in dem dritten Bereich enthalten ist, größer ist als die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der vierten IDT-Elektrode, der in dem vierten Bereich enthalten ist, und wobei eine Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der zweiten IDT-Elektrode, der in dem ersten Bereich enthalten ist, kleiner ist als eine Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der zweiten IDT-Elektrode, der in dem zweiten Bereich enthalten ist, und wobei eine Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der vierten IDT-Elektrode, der in dem dritten Bereich enthalten ist, größer ist als eine Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der vierten IDT-Elektrode, der in dem vierten Bereich enthalten ist, und wobei eine Periode der Elektrodenfinger in einem anderen Abschnitt als den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand der dritten IDT-Elektrode kleiner ist als eine Periode der Elektrodenfinger in einem anderen Abschnitt als den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand sowohl der ersten IDT-Elektrode als auch der fünften IDT-Elektrode.
  4. Filtervorrichtung für elastische Wellen nach Anspruch 2, wobei die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der zweiten IDT-Elektrode, der in dem ersten Bereich enthalten ist, kleiner ist als die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der zweiten IDT-Elektrode, der in dem zweiten Bereich enthalten ist, und wobei die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der vierten IDT-Elektrode, der in dem dritten Bereich enthalten ist, größer ist als die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der vierten IDT-Elektrode, der in dem vierten Bereich enthalten ist, und wobei die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der ersten IDT-Elektrode, der in dem ersten Bereich enthalten ist, kleiner ist als die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der dritten IDT-Elektrode, der in dem zweiten Bereich enthalten ist, und wobei eine Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der dritten IDT-Elektrode, der in dem dritten Bereich enthalten ist, größer ist als eine Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der fünften IDT-Elektrode, der in dem vierten Bereich enthalten ist, und wobei eine Periode der Elektrodenfinger in einem anderen Abschnitt als den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand der dritten IDT-Elektrode kleiner ist als eine Periode der Elektrodenfinger in einem anderen Abschnitt als den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand sowohl der ersten IDT-Elektrode als auch der fünften IDT-Elektrode.
  5. Filtervorrichtung für elastische Wellen nach Anspruch 2, wobei die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der ersten IDT-Elektrode, der in dem ersten Bereich enthalten ist, kleiner ist als die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der dritten IDT-Elektrode, der in dem zweiten Bereich enthalten ist, und wobei die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der dritten IDT-Elektrode, der in dem dritten Bereich enthalten ist, größer ist als die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der fünften IDT-Elektrode, der in dem vierten Bereich enthalten ist, und wobei eine Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der zweiten IDT-Elektrode, der in dem ersten Bereich enthalten ist, kleiner ist als eine Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der zweiten IDT-Elektrode, der in dem zweiten Bereich enthalten ist, und wobei eine Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der vierten IDT-Elektrode, der in dem dritten Bereich enthalten ist, größer ist als eine Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der vierten IDT-Elektrode, der in dem vierten Bereich enthalten ist, und wobei eine Periode der Elektrodenfinger in einem anderen Abschnitt als den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand der dritten IDT-Elektrode kleiner ist als eine Periode der Elektrodenfinger in einem anderen Abschnitt als den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand sowohl der ersten IDT-Elektrode als auch der fünften IDT-Elektrode.
  6. Filtervorrichtung für elastische Wellen nach Anspruch 2, wobei die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der ersten IDT-Elektrode, der in dem ersten Bereich enthalten ist, kleiner ist als die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der dritten IDT-Elektrode, der in dem zweiten Bereich enthalten ist, und wobei die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der dritten IDT-Elektrode, der in dem dritten Bereich enthalten ist, größer ist als die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der fünften IDT-Elektrode, der in dem vierten Bereich enthalten ist, und wobei eine Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der ersten IDT-Elektrode, der in dem ersten Bereich enthalten ist, kleiner ist als die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der dritten IDT-Elektrode, der in dem zweiten Bereich enthalten ist, und wobei eine Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der dritten IDT-Elektrode, der in dem dritten Bereich enthalten ist, größer ist als eine Periode der Elektrodenfinger der fünften IDT-Elektrode, der in dem vierten Bereich enthalten ist, und wobei eine Periode der Elektrodenfinger in einem anderen Abschnitt als den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand der dritten IDT-Elektrode kleiner ist als eine Periode der Elektrodenfinger in einem anderen Abschnitt als den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand sowohl der ersten IDT-Elektrode als auch der fünften IDT-Elektrode.
  7. Filtervorrichtung für elastische Wellen nach Anspruch 2, wobei die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der ersten IDT-Elektrode, der in dem ersten Bereich enthalten ist, kleiner ist als die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der dritten IDT-Elektrode, der in dem zweiten Bereich enthalten ist, und wobei die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der zweiten IDT-Elektrode, der in dem ersten Bereich enthalten ist, kleiner ist als die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der zweiten IDT-Elektrode, der in dem zweiten Bereich enthalten ist, und wobei die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der vierten IDT-Elektrode, der in dem dritten Bereich enthalten ist, größer ist als die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der vierten IDT-Elektrode, der in dem vierten Bereich enthalten ist, und wobei die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der dritten IDT-Elektrode, der in dem dritten Bereich enthalten ist, größer ist als die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der fünften IDT-Elektrode, der in dem vierten Bereich enthalten ist, und wobei eine Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der ersten IDT-Elektrode, der in dem ersten Bereich enthalten ist, kleiner ist als eine Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der dritten IDT-Elektrode, der in dem zweiten Bereich enthalten ist, und wobei eine Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der zweiten IDT-Elektrode, der in dem ersten Bereich enthalten ist, kleiner ist als eine Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der zweiten IDT-Elektrode, der in dem zweiten Bereich enthalten ist, und wobei eine Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der vierten IDT-Elektrode, der in dem dritten Bereich enthalten ist, größer ist als eine Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der vierten IDT-Elektrode, der in dem vierten Bereich enthalten ist, und wobei eine Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der dritten IDT-Elektrode, der in dem dritten Bereich enthalten ist, größer ist als eine Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der fünften IDT-Elektrode, der in dem vierten Bereich enthalten ist, und wobei eine Periode der Elektrodenfinger in einem anderen Abschnitt als den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand der dritten IDT-Elektrode kleiner ist als eine Periode der Elektrodenfinger in einem anderen Abschnitt als den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand sowohl der ersten IDT-Elektrode als auch der fünften IDT-Elektrode.
  8. Filtervorrichtung für elastische Wellen nach Anspruch 1, wobei die Gesamtzahl der Elektrodenfinger in den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand, die in dem ersten Bereich enthalten sind, größer ist als die Gesamtzahl der Elektrodenfinger in den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand, die in dem zweiten Bereich enthalten sind, und wobei die Gesamtzahl der Elektrodenfinger in den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand, die in dem dritten Bereich enthalten sind, kleiner ist als die Gesamtzahl der Elektrodenfinger in den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand, die in dem vierten Bereich enthalten sind.
  9. Filtervorrichtung für elastische Wellen nach Anspruch 8, wobei die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der zweiten IDT-Elektrode, der in dem ersten Bereich enthalten ist, größer ist als die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der zweiten IDT-Elektrode, der in dem zweiten Bereich enthalten ist, und wobei die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der vierten IDT-Elektrode, der in dem dritten Bereich enthalten ist, kleiner ist als die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der vierten IDT-Elektrode, der in dem vierten Bereich enthalten ist, und wobei eine Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der zweiten IDT-Elektrode, der in dem ersten Bereich enthalten ist, größer ist als eine Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der zweiten IDT-Elektrode, der in dem zweiten Bereich enthalten ist, und wobei eine Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der vierten IDT-Elektrode, der in dem dritten Bereich enthalten ist, kleiner ist als eine Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der vierten IDT-Elektrode, der in dem vierten Bereich enthalten ist, und wobei eine Periode der Elektrodenfinger in einem anderen Abschnitt als den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand der dritten IDT-Elektrode größer ist als die Periode der Elektrodenfinger in einem anderen Abschnitt als den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand sowohl der ersten IDT-Elektrode als auch der fünften IDT-Elektrode.
  10. Filtervorrichtung für elastische Wellen nach Anspruch 8, wobei die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der zweiten IDT-Elektrode, der in dem ersten Bereich enthalten ist, größer ist als die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der zweiten IDT-Elektrode, der in dem zweiten Bereich enthalten ist, und wobei die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der vierten IDT-Elektrode, der in dem dritten Bereich enthalten ist, kleiner ist als die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der vierten IDT-Elektrode, der in dem vierten Bereich enthalten ist, und wobei eine Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der ersten IDT-Elektrode, der in dem ersten Bereich enthalten ist, größer ist als eine Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der dritten IDT-Elektrode, der in dem zweiten Bereich enthalten ist, und wobei eine Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der dritten IDT-Elektrode, der in dem dritten Bereich enthalten ist, kleiner ist als eine Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der fünften IDT-Elektrode, der in dem vierten Bereich enthalten ist, und wobei eine Periode der Elektrodenfinger in einem anderen Abschnitt als den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand der dritten IDT-Elektrode größer ist als eine Periode der Elektrodenfinger in einem anderen Abschnitt als den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand sowohl der ersten IDT-Elektrode als auch der fünften IDT-Elektrode.
  11. Filtervorrichtung für elastische Wellen nach Anspruch 8, wobei die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der ersten IDT-Elektrode, der in dem ersten Bereich enthalten ist, größer ist als die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der dritten IDT-Elektrode, der in dem zweiten Bereich enthalten ist, und wobei die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der dritten IDT-Elektrode, der in dem dritten Bereich enthalten ist, kleiner ist als die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der fünften IDT-Elektrode, der in dem vierten Bereich enthalten ist, und wobei eine Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der zweiten IDT-Elektrode, der in dem ersten Bereich enthalten ist, größer ist als die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der zweiten IDT-Elektrode, der in dem zweiten Bereich enthalten ist, und wobei eine Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der vierten IDT-Elektrode, der in dem dritten Bereich enthalten ist, kleiner ist als eine Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der vierten IDT-Elektrode, der in dem vierten Bereich enthalten ist, und wobei eine Periode der Elektrodenfinger in einem anderen Abschnitt als den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand der dritten IDT-Elektrode größer ist als eine Periode der Elektrodenfinger in einem anderen Abschnitt als den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand sowohl der ersten IDT-Elektrode als auch der fünften IDT-Elektrode.
  12. Filtervorrichtung für elastische Wellen nach Anspruch 8, wobei die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der ersten IDT-Elektrode, der in dem ersten Bereich enthalten ist, größer ist als die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der dritten IDT-Elektrode, der in dem zweiten Bereich enthalten ist, und wobei die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der dritten IDT-Elektrode, der in dem dritten Bereich enthalten ist, kleiner ist als die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der fünften IDT-Elektrode, der in dem vierten Bereich enthalten ist, und wobei eine Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der ersten IDT-Elektrode, der in dem ersten Bereich enthalten ist, größer ist als eine Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der dritten IDT-Elektrode in dem zweiten Bereich, und wobei eine Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der dritten IDT-Elektrode, der in dem dritten Bereich enthalten ist, kleiner ist als eine Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der fünften IDT-Elektrode, der in dem vierten Bereich enthalten ist, und wobei eine Periode der Elektrodenfinger in einem anderen Abschnitt als den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand der dritten IDT-Elektrode größer ist als eine Periode der Elektrodenfinger in einem anderen Abschnitt als den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand sowohl der ersten IDT-Elektrode als auch der fünften IDT-Elektrode.
  13. Filtervorrichtung für elastische Wellen nach Anspruch 8, wobei die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der ersten IDT-Elektrode, der in dem ersten Bereich enthalten ist, größer ist als die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der dritten IDT-Elektrode, der in dem zweiten Bereich enthalten ist, und wobei die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der zweiten IDT-Elektrode, der in dem ersten Bereich enthalten ist, größer ist als die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der zweiten IDT-Elektrode, der in dem zweiten Bereich enthalten ist, und wobei die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der vierten IDT-Elektrode, der in dem dritten Bereich enthalten ist, kleiner ist als die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der vierten IDT-Elektrode, der in dem vierten Bereich enthalten ist, und wobei die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der dritten IDT-Elektrode, der in dem dritten Bereich enthalten ist, kleiner ist als die Anzahl der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der fünften IDT-Elektrode, der in dem vierten Bereich enthalten ist, und wobei eine Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der ersten IDT-Elektrode, der in dem ersten Bereich enthalten ist, größer ist als die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der dritten IDT-Elektrode, der in dem zweiten Bereich enthalten ist, und wobei eine Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der zweiten IDT-Elektrode, der in dem ersten Bereich enthalten ist, größer ist als eine Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der zweiten IDT-Elektrode, der in dem zweiten Bereich enthalten ist, und wobei eine Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der vierten IDT-Elektrode, der in dem dritten Bereich enthalten ist, kleiner ist als die Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der vierten IDT-Elektrode, der in dem vierten Bereich enthalten ist, und wobei eine Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der dritten IDT-Elektrode, der in dem dritten Bereich enthalten ist, kleiner ist als eine Periode der Elektrodenfinger in dem Elektrodenfingerabschnitt mit schmalem Abstand der fünften IDT-Elektrode, der in dem vierten Bereich enthalten ist, und wobei eine Periode der Elektrodenfinger in einem anderen Abschnitt als den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand der dritten IDT-Elektrode größer ist als eine Periode der Elektrodenfinger in einem anderen Abschnitt als den Elektrodenfingerabschnitten mit schmalem Abstand sowohl der ersten IDT-Elektrode als auch der fünften IDT-Elektrode.
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Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015119244A (ja) * 2013-12-17 2015-06-25 株式会社村田製作所 弾性波フィルタ装置
WO2016147688A1 (ja) * 2015-03-16 2016-09-22 株式会社村田製作所 弾性波装置及びその製造方法
KR102645422B1 (ko) * 2016-01-05 2024-03-07 가부시키가이샤 와이솔재팬 탄성 표면파 장치, 듀플렉서, 및 빗형 전극

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0454011A (ja) 1990-06-21 1992-02-21 Murata Mfg Co Ltd 縦型２重モード弾性表面波フィルタ
JP2002528987A (ja) 1998-10-28 2002-09-03 エプコス アクチエンゲゼルシャフト 少なくとも２つの表面波構造体を備えた表面波装置
JP2003243965A (ja) 2001-12-10 2003-08-29 Fujitsu Media Device Kk 弾性表面波フィルタ
WO2006068086A1 (ja) 2004-12-24 2006-06-29 Murata Manufacturing Co., Ltd. バランス型ｓａｗフィルタ
WO2007083503A1 (ja) 2006-01-20 2007-07-26 Murata Manufacturing Co., Ltd. 弾性表面波フィルタ装置

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2006022143A1 (ja) * 2004-08-23 2006-03-02 Murata Manufacturing Co., Ltd. バランス型弾性表面波フィルタ
JP2007083503A (ja) * 2005-09-21 2007-04-05 Ricoh Co Ltd 無端ベルト、及び、その製造方法、並びに、定着ユニット、中間転写ユニット、及び、画像形成装置
JP5094074B2 (ja) * 2006-07-27 2012-12-12 京セラ株式会社 弾性表面波素子及び弾性表面波装置
US8436696B2 (en) * 2007-06-28 2013-05-07 Kyocera Corporation Surface acoustic wave device and communication device

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0454011A (ja) 1990-06-21 1992-02-21 Murata Mfg Co Ltd 縦型２重モード弾性表面波フィルタ
JP2002528987A (ja) 1998-10-28 2002-09-03 エプコス アクチエンゲゼルシャフト 少なくとも２つの表面波構造体を備えた表面波装置
JP2003243965A (ja) 2001-12-10 2003-08-29 Fujitsu Media Device Kk 弾性表面波フィルタ
WO2006068086A1 (ja) 2004-12-24 2006-06-29 Murata Manufacturing Co., Ltd. バランス型ｓａｗフィルタ
WO2007083503A1 (ja) 2006-01-20 2007-07-26 Murata Manufacturing Co., Ltd. 弾性表面波フィルタ装置

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