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Technisches
Gebiet
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Die
vorliegende Erfindung betrifft ein Versatzeinstellverfahren, ein
Versatzeinstellgerät
und ein Testgerät
und insbesondere ein Versatzeinstellverfahren, ein Versatzeinstellgerät und ein
Testgerät,
die für
ein Halbleitertestgerät
für Testoperationen
von Halbleiterbauelementen, die ein Differentialsignal ausgeben,
geeignet sind.
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Die
vorliegende Anmeldung nimmt die Priorität aus der Japanischen Patentanmeldung
Nr. 2004-043053, eingereicht am 19. Februar 2004, in Anspruch, deren
Inhalt hierin durch Inbezugnahme übernommen wird.
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Erfindungshintergrund
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In
letzter Zeit sind Halbleiterbauelemente in Erscheinung getreten,
die eine Differentialschnittstelle mit hoher Geschwindigkeit und
kleiner Amplitude aufweisen. Die höchste Geschwindigkeit ist mehrere Gbps
groß.
Im Fall eines solchen Superhochgeschwindigkeitsdifferentialsignals
verursacht das Differentialsignal eine Phasendifferenz (im Folgenden
als Versatz bezeichnet), wenn die Länge von zwei Übertragungspfaden
von positiv und negativ gerade ein Bit unterschiedlich sind, und
verursacht eine Schwierigkeit, dass das Halbleiterbauelement nicht
korrekt durchgeführt
werden kann.
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Der
Sachverhalt wird unter Verwendung der 11 bis 13 erläutert werden. 11 zeigt
einen Halbleiterprüfling 10,
einen Differentialkomparator 20 und eine Testvorrichtung 30 (Anschlussvorrichtung)
zum elektrischen Anschließen
des Halbleiterprüflings 10 und
des Differentialkomparators 20. Während das in 11 gezeigte
Beispiel einen Fall zeigt, bei dem der Halbleiterprüfling 10 ein
Differentialsignalpaar ausgibt, gibt der Halbleiterprüfling 10 in Wirklichkeit
eine große
Zahl von Differentialsignalpaaren aus und jedes Differentialsignalpaar
wird an den Differentialkomparator 20 angelegt, der in
der Pinelektronik 40 vorgesehen ist, beispielsweise über die
Testvorrichtung 30.
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Die
Differentialsignale von positiv POS und negativ NEG werden über einzelne Übertragungsleitungen 31 und 32 in
der Testvorrichtung 30 an die Pinelektronik 40 übertragen
und der Differentialkomparator 20, der in der Pinelektronik 40 vorgesehen
ist, entscheidet, ob theoretische Werte der Differentialsignale
einen normalen logischen Wert L oder einen normalen logischen Wert
H aufweisen oder nicht.
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12 zeigt
einen Aufbau des Differentialkomparators 20. Der Differentialkomparator 20 addiert
die Differentialsignale, die über
ein Paar von Eingabeanschlüssen 21a und 21b eingegeben
werden, in einer Addierschaltung 22. Da das Differentialsignal
NEG ein Signal ist, das invertiert worden ist, addiert die Addierschaltung 22 die
Differentialsignale POS und NEG hier durch Subtrahieren des Differentialsignals
NEG vom Differentialsignal POS. Als nächstes führt die Addierschaltung 22 das
Additionsergebnis den Spannungskomparatoren 23a und 23b zu,
die erfassen, ob ein Antwortausgabesignal, das vom Halbleiterprüfling 10 ausgegeben
wurde, VIL, d. h. einen normal logischen Wert L, und VIH, d. h.
einen normal logischen Wert H, aufweist oder nicht. Das heißt, die
Spannungskomparatoren 23a und 23b vergleichen
den logischen Wert des addierten Signals, das von der Addierschaltung 22 ausgegeben wurde,
mit den Vergleichsspannungen VIH und VIL und geben das Vergleichsergebnis
durch Festhalten durch die Flipflops 24a und 24b aus.
Wenn der logische Wert des addierten Signals größer als die Vergleichsspannung
VIH ist, wird durch einen Abtastimpuls Hstb das logisch L im Flipflop 24a festgehalten. Wenn
der logische Wert des addierten Signals kleiner ist als die Vergleichsspannung
VIL ist, wird durch einen Abtastimpuls Lstb das logisch L im Flipflop 24b festgehalten.
Wenn der logische Wert des addierten Signals kleiner ist als das
VIH und VIL hält
der Differentialkomparator 20 das logische H fest, das „Fehler" in den Flipflops 24a und 24b indiziert
und gibt Signale FH und FL aus, die „Fehler" indizieren.
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13A zeigt eine Signalform des addierten Signals,
das aus der Addierschaltung 22 ausgegeben wird und in die
Spannungskomparatoren 23a und 23b eingegeben wird,
wenn die Differentialsignale POS und NEG, die aus dem Halbleiterprüfling 10 ausgegeben
werden, in einem Zustand in den Differentialkomparator 20 eingegeben
werden, wenn ihre Phasen gleichförmig
sind. Die Addierschaltung 22 führt die Operation des Invertierens
der Polarität
des negativen Signals NEG und dessen Addierens zum positiven Signal
POS aus und erzeugt ein Signal als Ergebnis, das eine Amplitude
des Doppelten des positiven Signals POS aufweist.
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Wenn
das positive Signal POS und das negative Signal NEG, die in den
Differentialkomparator 20 eingegeben werden, gleichförmig sind,
so dass sie die gleiche Phase aufweisen, ändert sich die Veränderung
des Potentials bei einem Prozess des Invertierens vom logischen
L zum logischen H, beispielsweise der Signalform des addierten Signals, das
aus der Addierschaltung 22 ausgegeben wird, linear, wie
es in 13A gezeigt ist. Darüber hinaus ändern sich
Veränderungen
des Potentials in einem Fall des Abfallens vom logischen H zum logischen
L ebenfalls linear, obwohl es nicht speziell gezeigt ist.
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Wenn
nur eine kleine Differenz zwischen den Leitungslängen der Übertragungspfade 31 und 32 in der
Testvorrichtung 30 besteht, verursacht sie übrigens
einen Versatz zwischen den Differentialsignalen POS und NEG, die
am Differentialkomparator 20 ankommen, und wenn die Addierschaltung 22 die
Differentialsignale POS1 und NEG1 addieren, die einen Versatz aufweisen,
verursacht das addierte Signal Knickstellen b1 und b2 in den Veränderungen
des Potentials beim Inversionsprozess, wie es in 13B gezeigt
ist. Die Knickstellen b1 und b2 treten infolgedessen auf, dass jeder
addierte Wert in den in 13B gezeigten
Abschnitten D1 und D2 sowie D3 und D4 differiert. Demgemäß tritt
infolge der Knickstellen b1 und b2 ein Fehler ΔT auf, im Vergleich zu dem Fall,
bei dem sich der Zeitpunkt der Kreuzung mit den Vergleichsspannungen
VIL und VIH, die durch die Spannungskomparatoren 23a und 23b verglichen
werden sollen, linear ändert,
und infolge des Fehlers ΔT
tritt ein Fehler auf, wenn der Inversionszeitpunkt des Halbleiterprüflings gemessen wird.
Dann tritt infolge des gemessenen Fehlers des Inversionszeitpunkts
ein Problem beim Messen der Antwortgeschwindigkeit des Bauelements
auf, dass die Messung nicht genau durchgeführt werden kann.
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Es
wird darauf hingewiesen, dass, weil der Anmelder keine Kenntnis
von der Existenz von Dokumenten zum Stand der Technik besitzt, dessen
Beschreibung hier weggelassen wird.
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Offenbarung der Erfindung
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Durch die Erfindung zu
lösende
Probleme
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14 zeigt
ein herkömmliches
Versatzeinstellverfahren zur Lösung
dieses Problems. Ein in 14 gezeigtes
Beispiel stellt ein Verfahren des Einsetzens eines Teils TB, das
eine Posaune genannt wird, in die Signalpfade dar, um einen Versatz einzustellen.
Die Posaune TB ist etwas, das die Länge der Signalübertragungspfade
durch einen (nicht gezeigten) Motor verlängert, so dass die Einstellung des
Versatzes durch Aufbau analoger variabler Verzögerungsleitungen durch die
Verlängerung
der Leitungslänge
ermöglicht
wird.
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Dieses
Einstellverfahren ermöglicht
es, dass der Versatz jedes mal, wenn eine Phasendifferenz infolge
der Änderung
des Anschlusses innerhalb der Testvorrichtung 30 verändert wird
(die Verdrahtung innerhalb der Testvorrichtung 30 wird
jedes mal verändert,
wenn der Typ des Halbleiterprüflings 10 geändert wird),
bis zu einem optimalen Zustand eingestellt wird. Solch ein Teil
TB ist jedoch teuer und sein Volumen ist groß, so dass eine große Kapazität erforderlich
ist, um eine große
Zahl von Posaunen TB unterzubringen. Noch weiter hat es den Nachteil
gehabt, dass es sich nicht schnell einstellen kann, weil es mechanisch
arbeitet.
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15 zeigt
zudem ein anderes Verfahren. 15 zeigt
einen Fall, bei dem Bauelemente innerhalb der Testvorrichtung 30 durch
Differentialleitungen 33 verbunden sind, die aus verdrillten
Leitungspaaren zusammengesetzt sind.
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Wenn
die Testvorrichtung 30 durch die Differentialleitungen 33 aufgebaut
wird, tritt jedoch ein Nachteil auf, dass eine in den aus dem Halbleiterprüfling 10 ausgegebenen
Differentialsignalen enthaltene Phasendifferenz oder -asymmetrie
auf dem Weg des Übertragungspfads
ausgemittelt wird und dass die wahre Signalform des Halbleiterprüflings 10 durch
den Differentialkomparator 20 nicht gemessen werden kann.
Das heißt,
obwohl es ein Merkmal der Differentialleitungen 33 ist,
dass die Asymmetrie der Signalformen auf dem Weg des Übertragungspfads ausgemittelt
wird, ist es zweckmäßig, in
der Lage zu sein, die vom Halbleiterprüfling 10 ausgegebene Asymmetrie
als Asymmetrie zu sehen.
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Es
ist dann notwendig, die Leitungen innerhalb der Testvorrichtung 30 durch
einzelne Übertragungspfade
aufzubauen, um diese Anforderung zu erfüllen. Aber es ist nicht in
der Lage, das Auftreten von durch den Unterschied der Leitungslängen verursachtem
Versatz zu vermeiden, was die Verwendung dieser einzelnen Übertragungspfade
betrifft.
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Demgemäß ist es
eine Aufgabe der Erfindung, ein Versatzeinstellverfahren und ein
das Versatzeinstellverfahren verwendendes Versatzeinstellgerät bereitzustellen,
die in der Lage sind, den durch die Längen der Leitungen innerhalb
der Testvorrichtung verursachten Versatz leicht einzustellen. Diese Aufgabe
kann durch die Kombination von in den unabhängigen Ansprüchen der
Erfindung beschriebenen Merkmalen gelöst werden. Abhängige Ansprüche davon
spezifizieren bevorzugte Ausführungsbeispiele
der Erfindung.
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Mittel zur
Lösung
der Probleme
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Gemäß einem
ersten Gesichtspunkt der Erfindung wird ein Versatzeinstellgerät zum Einstellen eines
Versatzes zwischen einem positivseitigen Differentialsignal und
einem negativseitigen Differentialsignal in Differentialsignalen
bereitgestellt, die aus einem äußeren Bauelement über äußere Übertragungsleitungen
eingegeben werden, das eine positivseitige Übertragungsleitung zum Propagieren
des positivseitigen Differentialsignals aufweist, das in ein Eingangsende
eingegeben wird, ferner eine negativseitige Übertragungsleitung zum Propagieren
des negativseitigen Differentialsignals, das in ein Eingangsende
eingegeben wird, ferner eine Vielzahl von Differentialkomparatoren,
die mit den positivseitigen und negativseitigen Pfaden verbunden
sind, so dass eine Differenz zwischen der Verdrahtungslänge vom Eingangsende
des positivseitigen Übertragungspfads
und der Verdrahtungslänge
vom Eingangsende des negativseitigen Übertragungspfads voneinander
unterschiedlich ist, und die das positivseitige Differentialsignal
und das negativseitige Differentialsignal aufnehmen, und ferner
einen Auswahlabschnitt zum Auswählen
eines Signals, das durch den Differentialkomparator aufgenommen
wird, durch den ein Versatz zwischen dem positivseitigen Pfad von
einem Ausgabeanschluss des positivseitigen Differentialsignals im äußeren Bauelement
zum Differentialkomparator und dem negativseitigen Pfad von einem Ausgabeanschluss
des negativseitigen Differentialsignals im äußeren Bauelement zum Differentialkomparator
minimiert wird.
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Eine
Veilzahl von positivseitigen Kontaktstellen, deren Länge vom
Eingangsende differiert, kann an der positivseitigen Übertragungsleitung
vorgesehen sein, eine Vielzahl von negativseitigen Kontaktstellen,
deren Länge
vom Eingangsende differiert, kann an der negativseitigen Übertragungsleitung
vorgesehen sein, und jeder der Differentialkomparatoren kann das
positivseitige Differentialsignal und das negativseitige Differentialsignal
von einer der positivseitigen Kontaktstellen und der negativseitigen
Kontaktstelle entsprechend der positivseitigen Kontaktstelle aufnehmen.
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Jede
aus der Vielzahl von positivseitigen Kontaktstellen, die in der
Reihenfolge derjenigen angeordnet sind, die die kürzere Verdrahtungslänge ab dem
Eingangsende aufweisen, und jede aus der Vielzahl von negativseitigen
Kontaktstellen, die in der Reihenfolge derjenigen angeordnet sind,
die die kürzere
Verdrahtungslänge
ab dem Eingangsende aufweisen, kann in einer Beziehung von 1 zu
1 in der Reihenfolge der Anordnung korrelieren, jeder aus der Vielzahl
von Differentialkomparatoren kann mit der positivseitigen Kontaktstelle
und der negativseitigen Kontaktstelle verbunden sein, und der Auswahlabschnitt
kann den Differentialkomparator wählen, bei dem der Versatz unter
der Vielzahl von Differentialkomparatoren am geringsten wird, um
das Differentialsignal durch den Differentialkomparator zu erhalten.
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Die
Vielzahl von positivseitigen Kontaktstellen und die Vielzahl von
negativseitigen Kontaktstellen können
an festgelegten Intervallen an der positivseitigen Übertragungsleitung
und an der negativseitigen Übertragungsleitung
vorgesehen sein.
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Der
positivseitige Übertragungspfad
und der negativseitige Übertragungspfad
können
fast parallel vorgesehen sein, so dass sie das positivseitige Differentialsignal
und das negativseitige Differentialsignal in der entgegengesetzten
Richtung übertragen,
und die entsprechende positivseitige Kontaktstelle und negativseitige
Kontaktstelle können
fast an der gleichen Position in der Richtung vorgesehen sein, in
der sich der positivseitige Übertragungspfad
und der negativseitige Übertragungspfad
erstrecken.
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Der
Auswahlabschnitt kann den Differentialkomparator, bei dem der Versatz
minimiert ist, auf der Grundlage des Differentialsignals auswählen, das durch
jeden aus der Vielzahl von Differentialkomparatoren erhalten wird.
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Das
Versatzeinstellgerät
kann darüber
hinaus einen Einstellsignalausgabeabschnitt zum Eingeben eines Einstelldifferentialsignals
in ein Nicht-Eingangsende der positivseitigen Übertragungsleitung und in ein
Nicht-Eingangsende der negativseitigen Übertragungsleitung umfassen,
und der Auswahlabschnitt kann einen Satz der positivseitigen Kontaktstelle
und der negativseitigen Kontaktstelle, der den Versatz minimiert,
auf der Grundlage des Einstelldifferentialsignals auswählen, das
von den Endteilen reflektiert wird, an die das äußere Bauelement in der äußeren Übertragungsleitung
anzuschließen
ist.
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Der
Einstellsignalausgabeabschnitt kann einen Einstellsignalerzeugungsabschnitt
zum Erzeugen eines Einstellsignals aufweisen, ferner eine positivseitige
variable Verzögerungsschaltung
und eine negativseitige variable Verzögerungsschaltung zum Verzögern des
Einstellsignals um eine gewünschte Zeit,
ferner einen positivseitigen Treiber zum Ausgeben des positivseitigen
Differentialsignals auf der Grundlage des Einstellsignals, das durch
die positivseitige variable Verzögerungsschaltung
wird, ferner einen negativseitigen Treiber zum Ausgeben des negativseitigen
Differentialsignals auf der Grundlage des Einstellsignals, das durch
die negativseitige variable Verzögerungsschaltung
wird, ferner einen Verzögerungseinstellabschnitt
zum Einstellen eines Werts der Verzögerung der positivseitigen
variablen Verzögerungsschaltung
und der negativseitigen variablen Verzögerungsschaltung auf der Grundlage
eines Ergebnisses, wenn das positivseitige Einstelldifferentialsignal
und das negativseitige Einstelldifferentialsignal auf der Grundlage
des Einstellsignals durch den Differentialkomparator aufgenommen
werden, bei dem die Verdrahtungslänge vom positivseitigen Treiber
fast gleich der Verdrahtungslänge
vom negativseitigen Treiber ist.
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Gemäß einem
zweiten Gesichtspunkt der Erfindung wird ein Versatzeinstellverfahren
zum Einstellen zwischen einem positivseitigen Differentialsignal
und einem negativseitigen Differentialsignal in Differentialsignalen,
die aus einem äußeren Bauelement über äußere Übertragungsleitungen
eingegeben werden, bereitgestellt, das einen Schritt der positivseitigen Übertragung
zum Propagieren des positivseitigen Differentialsignals aufweist,
das in ein Eingangsende eingegeben wird, durch eine positivseitige Übertragungsleitung,
ferner einen Schritt der negativseitigen Übertragung zum Propagieren
des negativseitigen Differentialsignals, das in ein Eingangsende
eingegeben wird, durch eine negativseitige Übertragungsleitung, ferner
einen Schritt der Aufnahme des positivseitigen Differentialsignals
und des negativseitigen Differentialsignals durch eine Vielzahl von
Differentialkomparatoren, die mit den positivseitigen und negativseitigen
Pfaden verbunden sind, so dass eine Differenz zwischen der Verdrahtungslänge vom
Eingangsende des positivseitigen Übertragungspfads und der Verdrahtungslänge vom
Eingangsende des negativseitigen Übertragungspfads voneinander
unterschiedlich ist, und ferner einen Auswahlschritt zum Auswählen eines
Signals, das durch den Differentialkomparator aufgenommen wird,
durch den ein Versatz zwischen dem positivseitigen Pfad von einem
Ausgabeanschluss des positivseitigen Differentialsignals im äußeren Bauelement zum
Differentialkomparator und dem negativseitigen Pfad von einem Ausgabeanschluss
des negativseitigen Differentialsignals im äußeren Bauelement zum Differentialkomparator
minimiert wird.
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Der
Auswahlschritt kann einen Schritt des Eingebens eines Einstelldifferentialsignals
beinhalten, das im Wesentlichen keinen Versatz zwischen dem positivseitigen
Differentialsignal und dem negativseitigen Differentialsignal aufweist,
in die Endteile, an die das äußere Bauelement
in der äußeren Übertragungsleitung
anzuschließen
ist, und ferner einen Schritt des Auswählens des Differentialkomparators, bei
dem der Versatz am geringsten wird, auf der Grundlage des Einstelldifferentialsignals,
das durch jeden aus der Vielzahl von Differentialkomparatoren erhalten
wird.
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Das
Versatzeinstellverfahren kann darüber hinaus einen Einstellsignalausgabeschritt
zum Eingeben des Einstelldifferentialsignals in ein Nicht-Eingangsende
der positivseitigen Übertragungsleitung und
in ein Nicht-Eingangsende der negativseitigen Übertragungsleitung beinhalten,
in einem Zustand, bei dem das äußere Bauelement
nicht mit den äußeren Übertragungsleitungen
verbunden ist, und ein Satz der positivseitigen Kontaktstelle und
der negativseitigen Kontaktstelle, der den Versatz minimiert, kann
im Auswahlabschnitt auf der Grundlage des Einstelldifferentialsignals
ausgewählt
werden, das von den Endteilen reflektiert wird, an die das äußere Bauelement
in der äußeren Übertragungsleitung
anzuschließen
ist.
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Gemäß einem
dritten Gesichtspunkt der Erfindung wird ein Testgerät zum Testen
eines Halbleiterprüflings
bereitgestellt, das einen Mustergenerator zum Erzeugen eines Testmusters
des Halbleiterprüflings
aufweist, ferner einen Signalformgestalter zum Erzeugen eines Testsignals,
das dem Halbleiterprüfling
zuzuführen
ist, durch Ausbilden des Testmusters, ferner einen Versatzeinstellabschnitt
zum Eingeben von Differentialsignalen, die vom Halbleiterprüfling ausgegeben
werden, über Übertragungsleitungen, um
einen Versatz zwischen einem positivseitigen Differentialsignal
und einem negativseitigen Differentialsignal in dem Differentialsignal
einzustellen, und ferner einen Beurteilungsabschnitt zum Beurteilen,
ob der Halbleiterprüfling
defektfrei ist oder nicht, auf der Grundlage des Differentialsignals,
das durch den Versatzeinstellabschnitt eingegeben wird, und wobei der
Versatzeinstellabschnitt eine positivseitige Übertragungsleitung zum Propagieren
des positivseitigen Differentialsignals beinhalte, das in ein Eingangsende
eingegeben wird, ferner eine negativseitige Übertragungsleitung zum Propagieren
des negativseitigen Differentialsignals, das in ein Eingangsende
eingegeben wird, ferner eine Vielzahl von Differentialkomparatoren,
die mit den positivseitigen und negativseitigen Pfaden verbunden
sind, so dass eine Differenz zwischen der Verdrahtungslänge vom
Eingangsende des positivseitigen Übertragungspfads und der Verdrahtungslänge vom
Eingangsende des negativseitigen Übertragungspfads voneinander
unterschiedlich ist, und die das positivseitige Differentialsignal
und das negativseitige Differentialsignal aufnehmen, und ferner
einen Auswahlabschnitt zum Auswählen
eines Signals, das durch den Differentialkomparator aufgenommen
wird, durch den ein Versatz zwischen dem positivseitigen Pfad von
einem Ausgabeanschluss des positivseitigen Differentialsignals im äußeren Bauelement
zum Differentialkomparator und dem negativseitigen Pfad von einem Ausgabeanschluss
des negativseitigen Differentialsignals im äußeren Bauelement zum Differentialkomparator
minimiert wird.
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Gemäß einem
vierten Gesichtspunkt der Erfindung wird ein Versatzeinstellverfahren
und ein das Versatzeinstellverfahren nutzendes Versatzeinstellgerät bereitgestellt,
bei dem Differentialsignale, die vom Halbleiterprüfling ausgegeben
werden, an jedes Ende von zwei Verzögerungsleitungen angelegt werden,
eine Vielzahl von Kontaktstellen, bei denen die Verzögerungszeit
der Differentialsignale in aufsteigender Reihenfolge von einem Applikationspunkt
zunimmt, an einer der zwei Verzögerungsleitungen
vorgesehen ist, eine Vielzahl von Kontaktstellen in absteigender
Reihenfolge zum Entnehmen von Differentialsignalen, deren Verzögerungszeit
in absteigender Reihenfolge von einem Nicht-Applikationspunkt abnimmt,
eine Vielzahl von Differentialkomparatoren zum Aufnehmen des Differentialsignals
aus einem der Vielzahl von Kontaktstellen in aufsteigender Reihenfolge
und wobei die Vielzahl von Kontaktstellen in aufsteigender Reihenfolge
voneinander korreliert sind und ein Differentialsignal, das eine
adäquate
Phase aufweist, aus dem Satz dieser Vielzahl von Kontaktstellen
in aufsteigender Reihenfolge und der Vielzahl von Kontaktstellen
in absteigender Reihenfolge extrahiert wird.
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Es
wird darauf hingewiesen, dass die oben beschriebene Zusammenfassung
der Erfindung nicht notwendigerweise alle notwendigen Merkmale der beschreibt.
Die Erfindung kann auch eine Subkombination der oben beschriebenen
Merkmale sein.
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Wirkung der
Erfindung
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Die
Erfindung kann das Versatzeinstellgerät und das Versatzeinstellverfahren
bereitstellen, die es ermöglichen,
dass die Einstellung des Versatzes einfach bei geringen Kosten durchgeführt werden
kann.
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Kurze Beschreibung der
Zeichnung
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1 ist
ein Anschlussdiagramm zur Erläuterung
des besten Modus zur Ausführung
der Erfindung.
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2 ist
ein Graph zur Erläuterung
von Operationen des in 1 gezeigten Modus.
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3 ist
ein Anschlussdiagramm zur Erläuterung
von Details eines in 1 gezeigten Differentialkomparators.
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4 ist
ein Anschlussdiagramm zur Erläuterung
eines ersten Ausführungsbeispiels
der Erfindung.
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5 ist
ein Anschlussdiagramm zur Erläuterung
eines zweiten Ausführungsbeispiels
der Erfindung.
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6 ist
ein Anschlussdiagramm zur Erläuterung
eines dritten Ausführungsbeispiels
der Erfindung.
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7 ist
ein Anschlussdiagramm zur Erläuterung
eines vierten Ausführungsbeispiels
der Erfindung.
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8 ist
ein Anschlussdiagramm zur Erläuterung
eines fünften
Ausführungsbeispiels
der Erfindung.
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9 ist
ein Anschlussdiagramm zur Erläuterung
eines fünften
Ausführungsbeispiels
der Erfindung.
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10 ist
ein Anschlussdiagramm zur Erläuterung
eines sechsten Ausführungsbeispiels
der Erfindung.
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11 ist
ein Blockdiagramm zur Erläuterung
des Stands der Technik.
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12 ist
ein Anschlussdiagramm zur Erläuterung
eines Aufbaus eines Differentialkomparators nach dem Stand der Technik.
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13 ist
ein Signalformgraph zur Erläuterung
von Operationen des in 12 gezeigten Differentialkomparators.
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14 ist
ein Blockdiagramm zur Erläuterung
des Stands der Technik.
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15 ist
ein Blockdiagramm zur Erläuterung
eines anderen Beispiels des Stands der Technik.
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Bester Modus
zur Ausführung
der Erfindung
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Die
Erfindung wird nun auf der Grundlage von bevorzugten Ausführungsbeispielen
beschrieben werden, die nicht dazu gedacht sind, den Umfang der
Erfindung einzuschränken,
sondern die Erfindung zu erläutern.
Alle in den Ausführungsbeispielen
beschriebenen Merkmale und die Kombinationen davon sind nicht unbedingt
notwendig für
die Erfindung.
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1 zeigt
einen Modus zur Erläuterung
eines Versatzeinstellverfahrens und eines Versatzeinstellgeräts, das
das Versatzeinstellverfahren eines Modus zur Ausführung der
Erfindung verwendet.
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Das
Versatzeinstellgerät
des vorliegenden Modus ist auf einer Pinelektronik 40 montiert
und stellt einen Versatz zwischen einem positivseitigen Differentialsignal
und einer negativseitigen Differentialschnittstelle in Differentialsignalen,
die über
externe Übertragungspfade,
wie etwa einzelne Übertragungspfade 31,
von einem Bauelement außerhalb, wie
etwa einem Halbleiterprüfling 10,
eingegeben werden. Das Versatzeinstellgerät des vorliegenden Modus weist
zwei Verzögerungsleitungen 41 und 42, eine
Vielzahl von Differentialkomparatoren 20 und einen Auswahlabschnitt 43 auf.
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Die
Verzögerungsleitung 41 ist
ein Beispiel der positivseitigen Übertragungsleitung der Erfindung
und propagiert ein positivseitiges Differentialsignal, das über einen
Eingabeanschluss eingegeben wird. Die Verzögerungsleitung 42 ist
ein Beispiel der negativseitigen Übertragungsleitung der Erfindung und
propagiert ein negativseitiges Differentialsignal, das über einen
Eingabeanschluss eingegeben wird. Eine Vielzahl von positivseitigen
Kontaktstellen, deren Verdrahtungslängen ab dem Eingangsende unterschiedlich
sind, ist an der Verzögerungsleitung 41 vorgesehen.
Noch weiter ist eine Vielzahl von negativseitigen Kontaktstellen,
deren Verdrahtungslängen ab
dem Eingangsende unterschiedlich sind, an der Verzögerungsleitung 42 vorgesehen.
Um genauer zu sein, ein Applikationspunkt J1, der der Eingabeanschluss
zur Eingabe des Differentialsignals vom äußeren Bauelement ist, ist an
einem Ende der Verzögerungsleitung 41 vorgesehen
und ein Nicht-Applikationspunkt J2, der ein Nicht-Eingabeanschluss
zur Eingabe keines Differentialsignals vom äußeren Bauelement ist, ist an
einem anderen Ende vorgesehen. Auf die gleiche Art und Weise ist
ein Applikationspunkt J3, der ein Eingabeanschluss zur Eingabe des Differentialsignals
vom äußeren Bauelement
ist, an eine Ende der Verzögerungsleitung 42 vorgesehen und
ein Nicht-Applikationspunkt J4, der ein Nicht-Eingabeanschluss zur
Eingabe keines Differentialsignals vom äußeren Bauelement ist, ist an
einem anderen Ende vorgesehen. Dann sind aufsteigende Kontaktstellen 41-1, 41-2,
... 41-C, ... 41-N, die positivseitige Kontaktstellen
sind, von denen die Differentialsignale, deren Verzögerungszeit
sich graduell in aufsteigender Reihenfolge ändert, entnommen werden können, in
festgelegtem Abstand vom Applikationspunkt J1 der Verzögerungsleitung 41 vorgesehen. Auf
diese Weise ist die Vielzahl von aufsteigenden Kontaktstellen 41-1 bis 41-N auf
der Verzögerungsleitung 41 in
festgelegten Intervallen vorgesehen.
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Noch
weiter sind absteigende Kontaktstellen 42-1, 42-2,
... 42-C, ... 42-N, die negativseitige Kontaktstellen
sind, von denen die Differentialsignale, deren Verzögerungszeit
sich graduell in absteigender Reihenfolge ändert, entnommen werden können, in festgelegtem
Abstand vom Nicht-Applikationspunkt J4 der Verzögerungsleitung 42 vorgesehen.
Auf diese Weise ist die Vielzahl von absteigenden Kontaktstellen 42-1 bis 42-N auf
der Verzögerungsleitung 42 in
festgelegten Intervallen vorgesehen.
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Die
Vielzahl von Differentialkomparatoren 20 ist mit den Verzögerungsleitungen 41 und 42 verbunden,
so dass sich eine Differenz zwischen den Verdrahtungslängen vom
Eingangsende der Verzögerungsleitung 41 und
den Verdrahtungslängen
vom Eingangsende der Verzögerungsleitung 42 voneinander
unterscheidet, und nimmt das positivseitige Differentialsignal und
das negativseitige Differentialsignal auf. Um genauer zu sein, die
Vielzahl von Differentialkomparatoren 20 ist entsprechend
mit einem Kontaktstellenpaar der aufsteigenden Kontaktstellen 41-1 bis 41-N und
der absteigenden Kontaktstellen 42-1 bis 42-N verbunden
und nimmt die Differentialsignale auf, die an den jeweiligen Kontaktstellenpaaren
(41-1, 42-1), (41-2, 42-2),
(41-C, 42-C) und (41-N, 42-N)
erhalten werden. Dann wird beurteilt, ob die vom (in 1 nicht
gezeigten) Halbleiterprüfling ausgegebenen
Signale den normalen logischen Wert L und den logischen Wert H aufweisen
oder nicht.
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Das
heißt,
jede aus der Veilzahl von aufsteigenden Kontaktstellen 41-1 bis 41-N,
die in der Reihenfolge der kürzeren
Verdrahtungslänge
vom Eingangsende der Verzögerungsleitung 41 angeordnet sind,
und jede aus der Veilzahl von absteigenden Kontaktstellen 42-1 bis 42-N,
die in der Reihenfolge der längeren
Verdrahtungslänge
vom Eingangsende der Verzögerungsleitung 42 angeordnet
sind, korrelieren beim vorliegenden Ausführungsbeispiel in einer Beziehung
1 zu 1 in der Reihenfolge der Anordnung. Dann ist jeder aus der
Vielzahl von Differentialkomparatoren 20 so verbunden,
dass er das positivseitige Differentialsignal und das negativseitige
Differentialsignal von der jeweiligen aufsteigenden Kontaktstelle 41-k und
absteigenden Kontaktstelle 42-k entsprechend der aufsteigenden
Kontaktstelle 41-k aufnimmt.
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Anstelle
dessen kann jeder Differentialkomparator 20 mit den Verzögerungsleitungen 41 und 42 so
verbunden sein, dass eine Differenz zwischen der Verdrahtungslänge vom
Eingangsende der Verzögerungsleitung 41 und
der Verdrahtungslänge
vom Eingangsende der Verzögerungsleitung 42 durch
Verbinden mit den jeweiligen aufsteigenden Kontaktstellen 41-1 bis 41-N und
der gleichen absteigenden Kontaktstelle 42-1 und dergleichen
voneinander unterschiedlich ist.
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Der
Auswahlabschnitt 43 wählt
die Ausgabe des Differentialkomparators 20 aus der Vielzahl
von Differentialkomparatoren 20, die als ein Erfassungssignal
verwendet werden soll. Der Auswahlabschnitt 43 des vorliegenden
Ausführungsbeispiels
wählt ein Signal,
das durch den Differentialkomparator 20 an einer Position
aufgenommen wird, an der ein Versatz zwischen dem positivseitigen
Pfad von einem Ausgabeanschluss des äußeren Bauelements zum Differentialkomparator 20 und
dem negativseitigen Pfad vom Ausgabeanschluss des äußeren Bauelements zum
Differentialkomparator 20 minimiert ist. Dann gibt der
Auswahlabschnitt 43 auf der Grundlage des durch den Differentialkomparator 20 erhaltenen
Differentialsignals eine Signalform aus.
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Der
Auswahlabschnitt 43 weist einen Selektor 100 und
einen Auswahlsteuerabschnitt 110 auf. Der Selektor 100 wählt ein
Signal vom jeweiligen Differentialkomparator 20 auf der
Grundlage einer Anweisung vom Auswahlsteuerabschnitt 110 aus
und gibt es aus. Der Auswahlsteuerabschnitt 110 bestimmt
den Differentialkomparator 20, durch den der Versatz minimiert
wird, auf der Grundlage der Differentialsignale, die durch die Vielzahl
von entsprechenden Differentialkomparatoren 20 erhalten
werden, und weist den Selektor 100 so an, dass das Signal
aus diesem Differentialkomparator 20 ausgewählt wird.
-
Im
oben beschriebenen Fall können
für die zwei
Verzögerungsleitung 41 und 42 Übertragungsleitungen,
deren Impedanzcharakteristika an Hochfrequenzsignale angepasst sind,
wie etwa beispielsweise eine Mikrostreifenleitung, verwendet werden. Ein
Satz an einzelnen Übertragungspfaden 31 und 32,
die ein Beispiel eines äußeren Übertragungspfades
der Erfindung sind und in der Testvorrichtung 30 verdrahtet
sind, sind mit den entsprechenden Enden der zwei Verzögerungsleitungen 41 und 42 verbunden
und der Applikationspunkt J1 und der Nicht-Applikationspunkt J4
des Differentialsignals sind an jedem Ende vorgesehen. Der J1 und
der Nicht-Applikationspunkt
J4 sind beispielsweise an der fast gleichen Endposition vorgesehen.
Das heißt,
die Verzögerungsleitungen 41 und 42 sind
fast parallel voneinander vorgesehen, so dass sie das positivseitige
Differentialsignal und das negativseitige Differentialsignal in
der entgegengesetzten Richtung übertragen.
Dann sind die entsprechende aufsteigende Kontaktstelle 41-k und
absteigende Kontaktstelle 42-k an fast der gleichen Position
in der Richtung vorgesehen, in der sich der positivseitige Übertragungspfad
und negativseitige Übertragungspfad
erstrecken.
-
Dann
nimmt die Verzögerungszeit
graduell pro jedem festgelegten Abstand vom Blickpunkt der Seite
des Applikationspunkts J1 durch die Verbindung, wie oben beschrieben,
zu. Das heißt,
es ist möglich,
die aufsteigenden Kontaktstellen 41-1, 41-2, ... 41-C ... 41-N zu
setzen, von denen die Differentialsignale, deren Verzögerungszeit
sich in aufsteigender Reihenfolge ändert, erhalten werden können.
-
Noch
weiter nimmt die Verzögerungszeit
pro jedem festgelegten Abstand vom Blickpunkt der Seite des Applikationspunkts
J4 ab. Das heißt,
es ist möglich,
die absteigenden Kontaktstellen 42-1, 42-2, ... 42-C ... 42-N zu
setzen, von denen die Differentialsignale, deren Verzögerungszeit
sich in absteigender Reihenfolge ändert, erhalten werden können.
-
Hier
werden die Kontaktstellen 41-C und 42-C, die am
Mittelpunkt der Verzögerungsleitungen 41 und 42 vorgesehen
sind, im Besonderen als Mittelpunkts-Kontaktstellen genannt werden.
-
2 zeigt
einen Zusammenhang einer jeden Verzögerungszeit der an den Verzögerungsleitungen 41 und 42 vorgesehenen
Kontaktstelle. Eine Kurve PS1 stellt die Verzögerungszeit der Differentialsignale
dar, die an den aufsteigenden Kontaktstellen 41-1, 41-2,
... 41-C ... 41-N erhalten werden, die an der
Verzögerungsleitung 41 vorgesehen
sind. Eine PS2 stellt die Verzögerungszeit
der Differentialsignale dar, die an den absteigenden Kontaktstellen 42-1, 42-2,
... 42-C ... 42-N erhalten werden, die an der
Verzögerungsleitung 42 vorgesehen
sind. Wie es aus 2 ersichtlich ist, ist die Verzögerungszeit
des Differentialsignals, das an den Mittelpunkts-Kontaktstellen 41-C und 42-C erhalten
wird, gleich und ein Zusammenhang von Beschleunigung und Verzögerung der
Phase der Verzögerungsleitungen 41 und 42 wird
in der Nähe
der Mittelpunkts-Kontaktstellen 41-C und 42-C ungekehrt.
-
Im
Ergebnis kann, wenn die Phasen der Differentialsignale, die an die
Verzögerungsleitungen 41 und 42 durch
Passieren durch die Testvorrichtung 30 angelegt werden,
identisch sind, der Differentialkomparator 20, der die
Differentialsignale vergleicht, die den Mittelpunkts-Kontaktstellen 41-C und 42-C entnommen
werden, ausgewählt
werden.
-
Wenn
das Differentialsignal, das an die Verzögerungsleitung 41 angelegt
wird, d. h. das positive Signal POS beim in 1 gezeigten
Beispiel, eine Phase aufweist, die vom negativen Signal NEG verzögert ist,
kann die Phase des positiven Signals POS zur Seite der beschleunigten
Phase durch Entnahme des Differentialsignals aus der Kontaktstelle
an der Position korrigiert werden, das zur Seite des Applikationspunkts
J1 geneigt ist, und das negative Signal NEG wird zur Seite der verzögerten Phase
korrigiert. Es ist auf diese Weise möglich, den Zusammenhang des
positiven Signals POS und des negativen Signals NEG durch geeignetes
Auswählen
der Position der Kontaktstellen auf einen adäquaten zu korrigieren.
-
Wenn
die Phase des positiven Signals POS beschleunigt wird und die Phase
des negativen Signals im Gegensatz dazu verzögert wird, ist es möglich, das
positive Signal POS als eine verzögerte Phase und das negative
Signal NEG zu einer beschleunigten Phase zu korrigieren, wie es
aus 2 ersichtlich ist, durch Auswahl der Differentialsignale, die
an den Kontaktstellen zur Anschlussseite (an der Seite nahe den
Kontaktstellen 41-N, 42-N) von der Position der
Mittelpunkts-Kontaktstellen 41-C und 42-C erhalten
werden.
-
Das
Ausführungsbeispiel
von 1 zeigt einen Fall, bei dem in jedem Differentialkomparator 20 ein
Signalformbeobachtungsanschluss 25 vorgesehen ist, um zu
beurteilen, ob die Phasen des positiven Signals POS und des negativen
Signals NEG übereinstimmen
oder nicht. Wie es in 3 gezeigt ist, wird der Signalformbeobachtungsanschluss 25 als
ein Anschluss zur Entnahme des Ausgabesignals der Addierschaltung 22 geführt. Es
ist möglich,
zu beurteilen, dass das positive Signal POS und das negative Signal
NEG, die die identische Phase aufweisen, dem Differentialkomparator 20 zugeführt werden, durch
Beobachten einer Signalform, die vom Signalformbeobachtungsanschluss 25 ausgegeben
wird, ob die Signalform beim Umkehren von logisch L zu logisch H
und von logisch H zu logisch L eine Knickstelle (siehe 13)
verursacht oder nicht und durch Spezifizieren des Differentialkomparators 20,
der keine Knickstelle verursacht. Demgemäß kann die Einstellung des
Selektors 100 innerhalb des Auswahlabschnitts 43 aus
dem Ergebnis der Beurteilung ausgeführt werden.
-
Anstelle
dessen ist es auch möglich,
die Phasen des positiven Signals POS und des negativen Signals NEG
im Differentialkomparator 20 fast anzugleichen, durch Auswahl
des Differentialkomparators 20, der eine Anstiegszeit und
eine Abfallzeit des Ausgabesignals der Addierschaltung 22 minimiert.
Es liegt daran, weil ΔT
in 13B minimiert wird, wenn die Anstiegszeit
oder Abfallzeit minimal ist, und der Differentialkomparator 20,
der fast keine Knickstelle verursacht, wird ausgewählt.
-
Es
wird darauf hingewiesen, dass es ein Verfahren zur Verwendung einer
Signalformbeobachtungsfunktion eines Halbleitertestgeräts als ein
Verfahren zur Berteilung gibt, ob eine Knickstelle im addierten
Signal der Addierschaltung 22 auftritt oder nicht. Um die
Erläuterung
hier zu vereinfachen, werden das erste bis dritte Ausführungsbeispiel
erläutert werden,
die den Signalformbeobachtungs anschluss 25 im Differentialkomparator 20 vorgesehen
aufweisen, die ausgegebene Signalform der Addierschaltung 22 unter
Verwendung des Signalformbeobachtungsanschlusses 25 beobachten
und beurteilen, ob die Phasen der Differentialsignale, die den Verzögerungsleitungen 41 und 42 entnommen
werden, übereinstimmen
oder nicht. Der Fall, bei dem der Auswahlsteuerabschnitt 110 bestimmt,
ein Signal aus welchem Differentialkomparator 20 auszuwählen, wird
im fünften
und sechsten Ausführungsbeispiel
erläutert.
-
Das
Versatzeinstellgerät
der vorliegenden Erfindung ist in der Lage, den Versatz auf den
korrekten Zustand einzustellen, auch wenn sich die Beziehung der
Phasen des positiven Signals POS und des negativen Signals NEG in
irgendeinem Zustand der Beschleunigung oder Verzögerung befinden. Demgemäß ist es
möglich,
die Differentialsignale aufzunehmen, die vom zu messenden Objekt
ausgegeben werden, ohne die Phasen auf der positiven Seite und der
negativen Seite zu verschieben, und ein Testgerät bereitzustellen, das die
Differentialsignale, die vom äußeren Bauelement
ausgegeben werden, adäquat
testet.
-
Erstes Ausführungsbeispiel
-
4 zeigt
ein erstes Ausführungsbeispiel der
Erfindung. Dieses Ausführungsbeispiel
stellt einen Fall dar, bei dem zwei Verzögerungsleitungen 41 und 42 parallel
in der Form eines Rings vorliegen und die Differentialkomparatorgruppe 200 innerhalb
des Rings angeordnet ist. Noch weiter stellt das erste Ausführungsbeispiel
einen Fall dar, bei dem die Differentialkomparatorgruppe 200 als
ein IC implementiert und die Differentialkomparatorgruppe 200 in
einem Halbleiterchip aufgebaut ist. Noch weiter, während der
Auswahlabschnitt 43 in diesem Fall als Drehschalter dargestellt
ist, sind die Drehschalter aus Analogschaltern und dergleichen zusammengesetzt, die
aus UND-Schaltungen des Halbleiters zusammengesetzt sind, und sind
innerhalb des IC montiert. Es wird darauf hingewiesen, dass, obwohl 4 nur den
Auswahlabschnitt 43 zeigt, der eine Beurteilungsausgabe
des Differentialkomparators 20 auswählt, er tatsächlich so konstruiert
ist, dass er beide von zwei Beurteilungsergebnissen, die vom Differentialkomparator 20 ausgegeben
werden, auswählt
und aufnimmt. Noch weiter zeigt 4 einen
Fall, der so aufgebaut ist, dass jeder Anschluss der Verzögerungsleitungen 41 und 42 mit
Terminatoren 50 verbunden ist, um sie an Abschlusswiderständen R in
einem Zustand abzuschließen,
wenn dem Anschluss einer jeden der Verzögerungsleitungen 41 und 42 ein festgelegtes
Potential gegeben wird. Es ist zudem so konstruiert, dass der Signalformbeobachtungsanschluss 25 aus
jedem Differentialkomparator 20, der in der Differentialkomparatorgruppe 200 montiert
ist, als ein äußerer Pin
des IC herausgeführt
wird, und so, dass die Signalform des addierten Signals von außen beobachtet
werden kann.
-
Die
Beziehung der Beschleunigung und der Verzögerung der Phasen der Differentialsignale,
die vor und nach dem Mittelpunkts-Kontaktstellen 41-C und 42-C,
die sich darauf zentrieren, aufgenommen werden, wird auch bei diesem
Ausführungsbeispiel umgekehrt
und das Versatzeinstellgerät
kann den Versatz, auch wenn die Phase eines der Differentialsignale
beschleunigt oder verzögert
ist, auf die korrekte Phasenbeziehung einstellen.
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Zweites Ausführungsbeispiel
-
5 zeigt
ein zweites Ausführungsbeispiel der
Erfindung. Dieses Ausführungsbeispiel
stellt einen Fall dar, bei dem jeder Anschluss der Verzögerungsleitungen 41 und 42 mit
Treibern DR1 und DR2 verbunden ist, so dass sie in der Lage sind,
dem Halbleiterprüfling 10 differentialartige
Eingabesignale zuzuführen.
Es wird darauf hingewiesen, dass in diesem Fall Komparatoren CP1
und CP2 zur Beurteilung eines logischen Werts eines einzelnen Modussignals
(werden verwendet, wenn der Halbleiterprüfling 10 ein einzelnes
Modussignal ausgibt) mit den Ausgangsenden der Treiber DR1 und DR2
verbunden sein können.
-
Der
andere Aufbau ist der gleiche wie beim ersten Ausführungsbeispiel,
das in Verbindung mit 4 erläutert wurde, so dass hier eine
weitere Erläuterung
weggelassen werden wird.
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Drittes Ausführungsbeispiel
-
6 zeigt
ein drittes Ausführungsbeispiel der
Erfindung. Das vorliegende Ausführungsbeispiel stellt
einen Fall dar, bei dem die Differentialkomparatoren 20 durch
verschiedene Chips aufgebaut sind. Das heißt, die Verzögerungsleitungen 41 und 42 sind parallel
in der Form eines Rings auf einer Verdrahtungskarte 60 ausgebildet
und die Chips, die die Differentialkomparatoren 20 bilden,
sind zwischen diesen Verzögerungsleitungen 41 und 42 montiert
und Eingabeanschlüsse
des Differentialkomparators eines jeden Chips sind mit den aufsteigenden
Kontaktstellen 41-1, 41-2, ... 41-C ... 41-N und
den absteigenden Kontaktstellen 42-1, 42-2, ... 42-C ... 42-N, die
an den Verzögerungsleitungen 41 und 42 vorgesehen
sind, mittels gedruckter Leiterbahnen verbunden. Es wird darauf
hingewiesen, dass 6 so gezeigt ist, dass der Auswahlabschnitt 43 weggelassen ist.
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Es
ist auch in diesem Fall möglich,
die Differentialsignale zu erhalten, denen an den Mittelpunkts-Kontaktstellen 41-C und 42-C die
identische Verzögerungszeit
gegeben wird, die Beziehung der Verzögerungszeit, die den Differentialsignalen
in der Nähe
der Mittelpunkts-Kontaktstellen gegeben wird, umzukehren und den
Versatz korrekt einzustellen, auch wenn die Phase entweder des positiven
Signals oder des negativen Signals beschleunigt oder verzögert ist.
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Viertes Ausführungsbeispiel
-
7 zeigt
ein viertes Ausführungsbeispiel der
Erfindung. Die vorliegende Erfindung stellt einen Fall dar, bei
dem die Verzögerungsleitungen 41 und 42 nicht
parallel angeordnet sind. In diesem Fall sind ein Differentialkomparator 20-1,
dessen Eingabepunkte die Mittelpunkts-Kontaktstellen 41-C und 42-C sind,
ein Differentialkomparator 20-2, dessen Eingabepunkte eine
Kontaktstelle 41-1, die dem Applikationspunkt J1 am nächsten ist,
und eine Kontaktstelle 42-1 sind, die dem Nicht-Applikationspunkt
J4 am nächsten
ist, und ein Differentialkomparator 20-3 vorgesehen, dessen
Eingabepunkte eine Kontaktstelle 42-N, die dem Applikationspunkt
der Verzögerungsleitung 42 am
nächsten
ist, und eine Kontaktstelle 41-N ist, die dem Nicht-Applikationspunkt
der Verzögerungsleitung 41 am
nächsten
ist, und die Einstellung des Versatzes wird durch Auswahl eines
dieser Differentialkomparatoren 20-1, 20-2 und 20-3 durchgeführt. Der
Auswahlabschnitt 43 wird auch bei diesem Fall weggelassen.
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Der
in 7 gezeigte Aufbau ist zudem in der Lage, den Versatz
durch Bereitstellen einer Zahl von Kontaktstellen und einer Zahl
von Differentialkomparatoren entsprechend der Zahl der Kontaktstellen
mit guter Auflösung
einzustellen.
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Fünftes Ausführungsbeispiel
-
Ein
fünftes
Ausführungsbeispiel
stellt ein Verfahren zur Einstellung des Versatzeinstellgeräts des ersten
bis viertes Ausführungsbeispiels
selbst dar.
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8 zeigt
beispielsweise einen Aufbau zur Einstellung des in 4 gezeigten
Versatzeinstellgeräts.
In 8 weisen Teile, die durch gleiche Referenznummern
bezeichnet sind, wie jene in 4, die gleiche
Funktion und Konfiguration auf, wie die in 4, so dass
ihre Erläuterung,
mit Ausnahme ihrer Unterschiede, hier weggelassen werden wird.
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Die
einzelne Übertragungsleitung
wird sowohl für
die positive Seite als auch die negative Seite als die äußeren Übertragungsleitungen
zwischen dem äußeren Bauelementprüfling und
den Eingangsenden der Verzögerungsleitungen 41 und 42 verwendet,
wie es oben beschrieben wurde. Deshalb kann die Länge der Übertragungsleitungen
auf der positiven Seite und negativen Seite differieren. Demgemäß korrigiert
das Versatzeinstellgerät
den Versatz durch das Versatzeinstellverfahren so, dass es in der Lage
ist, das positivseitige Differentialsignal und das negativseitige
Differentialsignal, die vom äußeren Bauelement
ausgegeben werden, mit fast identischer relativer Phase aufzunehmen.
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Beim
Versatzeinstellverfahren wird zuerst ein Einstellsignalausgabeabschnitt 205 mit
Endteilen verbunden, mit denen das äußere Bauelement in einer Übertragungsleitung
verbunden werden muss. Beim vorliegenden Ausführungsbeispiel kann der Einstellsignalausgabeabschnitt 205 ein
Signal, das im Wesentlichen keinen Versatz zwischen dem positivseitigen
Differentialsignal und dem negativseitigen Differentialsignal aufweist,
als ein Einstelldifferentialsignal des Versatzeinstellgeräts ausgeben.
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Als
nächstes
wird als erster Schritt eines Auswahlschritts zur Auswahl eines
der Differentialkomparatoren 20 das oben erwähnte Einstelldifferentialsignal,
das im Wesentlichen keinen Versatz zwischen dem positivseitigen
Differentialsignal und dem negativseitigen Differentialsignal aufweist,
in die Endteile eingegeben, an die das äußere Bauelement in der äußeren Übertragungsleitung
angeschlossen werden muss. Dann, als zweiter Schritt des Auswahlschritts,
wird der Differentialkomparator 20, bei dem der Versatz
am geringsten wird, auf der Grundlage des Differentialsignals ausgewählt, das
durch jeden aus der Vielzahl von Differentialkomparatoren 20 erhalten
wird.
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Um
genauer zu sein, der Auswahlsteuerabschnitt 110 des vorliegenden
Ausführungsbeispiels wählt jeden
Differentialkomparator 20, um ein Erfassungssignal einzugeben,
das vom Differentialkomparator 20 ausgegeben wird, und
bestimmt den Differentialkomparator 20, bei dem der Versatz
zwischen dem positivseitigen Pfad vom Ausgabeanschluss des positivseitigen
Differentialsignals im äußeren Bauelement
zum Differentialkomparator 20 und dem negativseitigen Pfad
vom Ausgabeanschluss des negativseitigen Differentialsignals im äußeren Bauelement zum
Differentialkomparator 20 am geringsten wird, auf der Grundlage
des Erfassungssignals. Beispielsweise kann der Auswahlsteuerabschnitt 110 den Differentialkomparator 20,
bei dem die Anstiegszeit oder die Abfallzeit des Ausgabesignals
des Signalformbeobachtungsanschlusses 25 am geringsten wird,
als den Differentialkomparator 20 bestimmen, bei dem der
Versatz am geringsten wird. Als ein Beispiel kann der Auswahlsteuerabschnitt 110 den
Differentialkomparator 20, bei dem eine Zeitdifferenz zwischen
dem Zeitpunkt der Änderung
eines Signals FL und einer Änderung
des Zeitpunkts eines Signals FH am geringsten wird, als den Differentialkomparator 20 auswählen.
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Dann
setzt der Auswahlsteuerabschnitt 110 den Selektor 100 so,
dass er das Signal, das durch den Differentialkomparator 20 aufgenommen
wird, auswählt.
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Auf
diese Weise kann das Versatzeinstellgerät den Differentialkomparator 20 wählen, der
den Versatz minimiert, der in den äußeren Übertragungsleitungen erzeugt
wird, die zur Verbindung des äußeren Bauelements
mit den Eingangsenden der Verzögerungsleitungen 41 und 42 verwendet
werden. Dann wird anstelle des Einstellsignalauswahlabschnitts 205 der äußere Bauelementprüfling angeschlossen,
um zu veranlassen, dass die Differentialsignale, die vom Gerät eingegeben
werden, durch die Verzögerungsleitungen 41 und 42 propagieren.
Dann wird die Vielzahl von Differentialkomparatoren 20 veranlasst,
die positivseitigen und negativseitigen Differentialsignale aufzunehmen
und das Erfassungssignal auszugeben, um das Erfassungssignal aus
dem gewählten
Differentialkomparator 20 auszuwählen. Dadurch kann das Versatzeinstellgerät den Versatz
des Pfads vom Ausgabeende des äußeren Bauelements
zum Differentialkomparator 20 minimieren und kann die vom
Gerät ausgegebenen
Differentialsignale adäquat
messen.
-
Sechstes Ausführungsbeispiel
-
Ein
sechstes Ausführungsbeispiel
stellt ein modifiziertes Beispiel des Verfahrens zur Einstellung des
Versatzeinstellgeräts
des ersten bis vierten Ausführungsbeispiels
selbst.
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9 zeigt
beispielsweise eine Konfiguration zur Einstellung des in 4 gezeigten
Versatzeinstellgeräts.
In 9 weisen Teile, die durch gleiche Referenznummern
bezeichnet sind, wie jene in 4, die gleiche
Funktion und Konfiguration auf, wie die in 4, so dass
ihre Erläuterung,
mit Ausnahme ihrer Unterschiede, hier weggelassen werden wird.
-
Wie
es beim fünften
Ausführungsbeispiel
gezeigt ist, kann die Länge
der Übertragungsleitungen zwischen
dem äußeren Bauelementprüfling und
dem Versatzeinstellgerät
auf der positiven Seite und negativen Seite differieren. Demgemäß korrigiert
das Versatzeinstellgerät
den Versatz durch das Versatzeinstellverfahren so, dass es in der
Lage ist, das positivseitige Differentialsignal und das negativseitige Differentialsignal,
die vom äußeren Bauelement
ausgegeben werden, mit fast identischer relativer Phase aufzunehmen.
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Das
Versatzeinstellgerät
in 9 beinhaltet darüber hinaus den Einstellsignalausgabeabschnitt 205,
der bei der Einstellung des Versatzes mit den Nicht-Applikationspunkten
J2 und J4 der Verzögerungsleitungen 41 und 42 verbunden
ist. Das heißt, das
Versatzeinstellgerät
verbindet beim Testen des äußeren Bauelements
den Terminator 50 mit den Nicht-Applikationspunkten J2
und J4 der Verzögerungsleitungen 41 und 42 und
verbindet beim Einstellen des Versatzes den Einstellsignalausgabeabschnitt 205 anstelle
des Terminators 50 mit den Nicht-Applikationspunkten J2 und J4 der Verzögerungsleitungen 41 und 42.
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Der
Einstellsignalausgabeabschnitt 205 gibt in einem Zustand,
in dem das äußere Bauelement nicht
mit der äußeren Übertragungsleitung
verbunden ist, ein Einstelldifferentialsignal in den Nicht-Applikationspunkt
J2 der Verzögerungsleitung 41 und den
Nicht-Applikationspunkt J4 der Verzögerungsleitung 42 ein.
Der Einstellsignalausgabeabschnitt 205 kann beim vorliegenden
Ausführungsbeispiel
ein Signal ausgeben, das im Wesentlichen keinen Versatz zwischen
den positivseitigen und negativseitigen Differentialsignalen des
Versatzeinstellgeräts
aufweist.
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Der
Einstellsignalausgabeabschnitt 205 weist einen Einstellsignalerzeugungsabschnitt 210, eine
positivseitige variable Verzögerungsschaltung 220,
eine negativseitige variable Verzögerungsschaltung 230,
einen positivseitigen Treiber 240, einen negativseitigen
Treiber 250 und einen Verzögerungseinstellabschnitt 260 auf.
Der Einstellsignalerzeugungsabschnitt 210 erzeugt das Einstellsignal,
wie etwa einen Ringimpuls, in einem Zustand, bei dem der Einstellsignalausgabeabschnitt 205 mit
den Nicht-Applikationspunkten J2 und J4 der Verzögerungsleitungen 41 und 42 verbunden
sind. Jede positivseitige variable Verzögerungsschaltung 220 und negativseitige
variable Verzögerungsschaltung 230 verzögert das
Einstellsignal für
eine gewünschte Zeitdauer
mit einem Verzögerungszeitbereich,
der eingestellt werden kann. Der positivseitige Treiber 240 gibt
ein positivseitiges Einstelldifferentialsignal aus, auf der Grundlage
des Einstellsignals, das durch die positivseitige variable Verzögerungsschaltung 220 verzögert wird.
Der negativseitige Treiber 250 gibt ein negativseitiges
Einstelldifferentialsignal aus, auf der Grundlage des Einstellsignals,
das durch die negativseitige variable Verzögerungsschaltung 230 verzögert wird.
Beispielsweise verstärkt
der positivseitige Treiber 240 das Einstellsignal des ansteigenden
Impulses und gibt es aus und der negativseitige Treiber 250 verstärkt ein
Signal, das durch Invertieren des Einstellsignals des ansteigenden
Impulses erhalten wird, und gibt es aus. Es wird darauf hingewiesen,
dass der Treiber DR1, der Treiber DR2, die variable Verzögerungsschaltung,
die mit dem Treiber DR1 verbunden ist, und die variable Verzögerungsschaltung,
die mit dem Treiber DR2 verbunden ist, die innerhalb 5 vorgesehen
sind, um die Differentialsignale in den Halbleiterprüfling 10 einzugeben,
innerhalb des Einstellsignalausgabeabschnitts 205 als der
positivseitige Treiber 240, der negativseitige Treiber 250,
die positivseitige variable Verzögerungsschaltung 220 und
die negativseitige variable Verzögerungsschaltung 230 genutzt
werden können.
-
Der
Verzögerungseinstellabschnitt 260 stellt Werte
der Verzögerung
der positivseitigen variablen Verzögerungsschaltung 220 und
der negativseitigen variablen Verzögerungsschaltung 230 auf
der Grundlage des erhaltenen Ergebnisses ein, wenn das Einstelldifferentialsignal
in den festgelegten Differentialkomparator 20 aufgenommen
wird, und stellt den Versatz zwischen dem positivseitigen Differentialsignal
und dem negativseitigen Differentialsignal, die vom Einstellsignalausgabeabschnitts 205 ausgegeben
werden, auf null.
-
Das
Versatzeinstellverfahren mittels des Versatzeinstellgeräts in 9 weist
einen Schritt der Einstellung des Einstellsignalausgabeabschnitts 205 und
einen Schritt der Bestimmung des Differentialkomparators 20 als
einen Auswahlschritt zur Auswahl des Signals, das durch den Differentialkomparator 20 aufgenommen
wird, bei dem der Versatz zwischen dem positivseitigen Pfad vom
Ausgabeanschluss des positivseitigen Differentialsignals im äußeren Bauelement
zum Differentialkomparator 20 und dem negativseitigen Pfad
vom Ausgabeanschluss des negativseitigen Differentialsignals im äußeren Bauelement
zum Differentialkomparator 20 am geringsten ist, auf.
-
Beim
Schritt der Einstellung des Einstellsignalausgabeabschnitts 205 gibt
der Einstellsignalausgabeabschnitt 205 zuerst das Einstelldifferentialsignal
an die Verzögerungsleitungen 41 und 42 aus.
Als nächstes
stellt der Verzögerungseinstellabschnitt 260,
auf der Grundlage des Ergebnisses, das erhalten wird, wenn der Differentialkomparator 20,
der mit den Mittelpunkts-Kontaktstellen 41-C und 42-C verbunden
ist, ein positivseitiges Einstelldifferentialsignal und ein negativseitiges
Einstelldifferentialsignal auf der Grundlage des Einstellsignals
aufnimmt, den Wert der Verzögerung
der positivseitigen variablen Verzögerungsschaltung 220 und
der negativseitigen Verzögerungsschaltung 230 ein.
Hier ist die Verdrahtungslänge
zum Differentialkomparator 20, der mit den Mittelpunkts-Kontaktstellen 41-C und 42-C verbunden
ist, vom positivseitigen Treiber 240 fast gleich der Verdrahtungslänge vom
negativseitigen Treiber 250. Demgemäß ist es möglich, den Versatz zwischen
dem positivseitigen Differentialsignal und dem negativseitigen Differentialsignal,
die vom Einstellsignalausgabeabschnitt 205 ausgegeben werden,
durch Einstellen der Verzögerungszeit
der positivseitigen variablen Verzögerungsschaltung 220 und der
negativseitigen Verzögerungsschaltung 230 durch
den Verzögerungseinstellabschnitt 260 fast
auf null zu stellen, so dass die Phasen des positivseitigen Einstelldifferentialsignals
und des negativseitigen Einstelldifferentialsignals, die auf der
Grundlage des Einstellsignals von identischem Impuls ausgegeben werden,
am Differentialkomparator 20 fast identisch werden.
-
Dann
gibt der Einstellsignalausgabeabschnitt 205 im Schritt
zur Ausgabe des Einstellsignals das Einstelldifferentialsignal an
den Nicht-Applikationspunkt J2 der Verzögerungsleitung 41 und
den Nicht-Applikationspunkt J4 der Verzögerungsleitung 42 aus,
in einem Zustand, bei dem das äußere Bauelement
nicht mit der äußeren Übertragungsleitung verbunden
ist. Weil die Seite des äußeren Bauelements
in der äußeren Übertragungsleitung
ein offenes Ende aufweist, wird das Einstelldifferentialsignal am
Ende reflektiert und aus den Enden der Verzögerungsleitungen 41 und 42 wird
eine reflektierte Welle eingegeben.
-
Als
nächstes
wählt der
Auswahlsteuerabschnitt 110 innerhalb des Auswahlabschnitts 43 in
einem Bestimmungsschritt zur Bestimmung des Differentialkomparators 20,
der beim Test des äußeren Bauelements
verwendet werden soll, einen Satz einer positivseitigen Kontaktstelle
und einer negativseitigen Kontaktstelle aus, der den Versatz beim
Testen des äußeren Bauelements
minimiert, und bestimmt den beim Test zu verwendenden Differentialkomparator 20 auf
der Grundlage des Einstelldifferentialsignals, das aus dem Einstellsignalausgabeabschnitt 205 eingegeben
und vom Ende reflektiert wurde, an das das äußere Bauelement in der äußeren Übertragungsleitung
anzuschließen
ist. Beispielsweise wenn die negativseitige Übertragungsleitung auf der
Außenseite
länger
ist als die positivseitige Übertragungsleitung
und ihre Propagierungszeit um te größer ist, tritt ein Versatz
von 2te auf, weil das Einstelldifferentialsignal, das vom Einstellsignalausgabeabschnitt 205 ausgegeben
wird, sich die äußere Übertragungsleitungen
hin- und herbewegt, und wird in den Differentialkomparator 20 aufgenommen.
Dann bestimmt der Auswahlsteuerabschnitt 110 den Differentialkomparator 20,
bei dem die positivseitige und negativseitige Phase des reflektierten
Einstelldifferentialsignals fast identisch wird. Dann bestimmt der Auswahlsteuerabschnitt 110 den
Differentialkomparator 20, der am Mittelpunkt zwischen
dem Differentialkomparator 20 und dem Differentialkomparator 20 gelegen
ist, der mit den Mittelpunkts-Kontaktstellen 41-C und 42-C verbunden
ist, als den Differentialkomparator 20, der beim Test zu
verwenden ist. Dadurch kann der Auswahlsteuerabschnitt 110 den
Differentialkomparator 20 bestimmen, der den Versatz der
negativseitigen Übertragungsleitung
zur positivseitigen Übertragungsleitung
um te auf der Seite des Versatzeinstellgeräts einstellt. Dann stellt der
Auswahlsteuerabschnitt 110 den Selektor 100 so
ein, dass das Signal ausgewählt
wird, das durch den Differentialkomparator 20 aufgenommen
wird.
-
Dadurch
kann das Versatzeinstellgerät
den Differentialkomparator 20 auswählen, der den Versatz minimiert,
der in den äußeren Übertragungsleitungen
erzeugt wird, die zur Verbindung des äußeren Bauelements mit den Eingangsenden
der Verzögerungsleitungen 41 und 42 verwendet
werden. Dann wird der äußere Bauelementprüfling angeschlossen, um
die Differentialsignale zu propagieren, die aus dem Gerät über die
Verzögerungsleitungen 41 und 42 eingegeben
werden. Das Versatzeinstellgerät
veranlasst dann die Vielzahl von Differentialkomparatoren 20,
das positivseitige Differentialsignal und das negativseitige Differentialsignal
aufzunehmen und das Erfassungssignal auszugeben. Dadurch kann das
Versatzeinstellgerät
den Versatz im Pfad vom Ausgabeende des äußeren Bauelements zum Differentialkomparator 20 minimieren
und kann das vom Gerät
ausgegebene Differentialsignal adäquat messen.
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Siebtes Ausführungsbeispiel
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Ein
siebtes Ausführungsbeispiel
stellt ein Beispiel des Testgeräts
zum Testen des Halbleiterprüflings 10 unter
Verwendung des Versatztestgeräts des
ersten bis vierten Ausführungsbeispiels
dar.
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10 zeigt
eine Konfiguration eines Testgeräts 510 des
vorliegenden Ausführungsbeispiels. Das
Testgerät 510 gibt
ein Testsignal auf der Grundlage eines Testmusters zum Testen des
Halbleiterprüflings 10 in
den Halbleiterprüfling 10 ein und
beurteilt auf der Grundlage eines Ausgabesignals, das vom Halbleiterprüfling 10 entsprechend
dem Testsignal ausgegeben wird, ob der Halbleiterprüfling 10 defektfrei
ist oder nicht.
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Das
Testgerät 510 weist
einen Teststeuerabschnitt 520, einen Mustergenerator 530,
einen Signalformgestalter 540, einen Signaleingabe-/-ausgabeabschnitt 550,
einen Versatzeinstellabschnitt 560 und einen Beurteilungsabschnitt 570 auf.
Der Teststeuerabschnitt 520 steuert den Test des Halbleiterprüflings 10.
Der Mustergenerator 530 führt eine Folge des Testprogramms
auf der Grundlage einer Anweisung des Teststeuerabschnitts 520 aus
und erzeugt das dem Halbleiterprüfling 10 zuzuführende Testmuster.
Der Signalformgestalter 540 empfängt das Testmuster und formt
es und erzeugt das dem Halbleiterprüfling 10 zuzuführende Testsignal.
Das heißt,
der Signalformgestalter 540 gibt eine spezielle Signalform
an den Signaleingabe-/-ausgabeabschnitt 550 aus, mit einer
Zeitsteuerung, die durch das Testmuster spezifiziert wird. Der Signaleingabe-/-ausgabeabschnitt 550 ist
ein Beispiel eines Signalausgabeabschnitts der Erfindung und führt das Testsignal
dem Halbleiterprüfling 10 zu.
Der Signaleingabe-/-ausgabeabschnitt 550 gibt zudem das Ausgabesignal
ein, das vom Halbleiterprüfling 10 entsprechend
dem Testsignal ausgegeben wird. Der Versatzeinstellabschnitt 560 weist
nahezu die gleichen Funktionen und die gleiche Konfiguration auf, wie
das Versatzeinstellgerät
im ersten bis vierten Ausführungsbeispiel.
Das heißt,
es gibt das Differentialsignal, das vom Halbleiterprüfling 10 ausgegeben wird, über die Übertragungsleitungen
ein und stellt den Versatz zwischen dem positivseitigen Differentialsignal
und dem negativseitigen Differentialsignal im Differentialsignal
ein. Der Beurteilungsabschnitt 570 beurteilt auf der Grundlage
des durch den Versatzeinstellabschnitt 560 eingegebenen
Differentialsignals, ob der Halbleiterprüfling 10 defektfrei
ist oder nicht.
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Das
oben beschriebene Ausführungsbeispiel ermöglicht es,
dass das Differentialsignal, dessen Verzögerungszeit sich in aufsteigender
Reihenfolge ändert,
und des Differentialsignals, dessen Verzögerungszeit sich in absteigender
Reihenfolge ändert, aus
den zwei Verzögerungsleitungen
zu erhalten. Dann wird es möglich,
das Differentialsignal zu erhalten, das eine adäquate Phase aufweist, durch
geeignetes Auswählen
eines Satzes des Differentialsignals, dessen Verzögerungszeit
sich in der aufsteigenden Reihenfolge ändert, und des Differentialsignals,
dessen Verzögerungszeit
sich in der absteigenden Reihenfolge ändert.
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Das
heißt,
die Differentialsignale, die keinen Versatz aufweisen, werden den
zwei Verzögerungsleitungen übergeben,
ein Differentialsignal, das keinen Versatz aufweist, kann erhalten
werden, durch Nutzung der Differentialsignale an den Kontaktstellen,
die am Mittelpunkt der zwei Verzögerungsleitungen
vorgesehen sind.
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Wenn
Differentialsignale, die einen Versatz aufweisen, eingegeben werden,
ist es möglich,
den Versatz zu löschen,
durch Auswählen
einer Kontaktstelle an einer Steile, die zu einem Ende von der Mittelpunkt-Kontaktstelle
entsprechend einem Zustand des Versatzes vorgespannt ist. Das heißt, erfindungsgemäß ist es
möglich,
den Versatz nur durch Auswählen
der Kontaktstelle zur Aufnahme des Signals aus den Verzögerungsleitungen
einzustellen. Deshalb stellt die Erfindung einen Vorzug bereit,
dass die Einstellung des Versatzes einfach ausgeführt werden
kann. Noch weiter ist es möglich,
weil das Versatzeinstellgerät
aus zwei Verzögerungsleitungen,
der Vielzahl von Differentialkomparatoren, die mit den zwei Verzögerungsleitungen
verbunden sind, und dem Auswahlabschnitt zum Auswählen einer
Beurteilungsausgabe der Differentialkomparatoren aufgebaut werden
kann, das einfache und kostengünstige
Gerät bereitzustellen.
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Noch
weiter hat es immer das adäquate
Versatzeinstellergebnis zur Folge, weil das Versatzeinstellgerät differentiell
die Verzögerungszeit
sowohl des der positivseitigen als auch der negativseitigen Differentialsignale
einstellen kann, auch wenn die Phase der positivseitigen und negativseitigen
Differentialsignale beschleunigt oder verzögert sind.
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Noch
weiter kann das Testgerät 510 der
vorliegenden Erfindung adäquat
die Differentialsignale messen, die aus dem Halbleiterprüfling 10 ausgegeben
werden, durch Löschen
des Versatzes, der in den Übertragungsleitungen
erzeugt wird, die bei der Verbindung mit dem Halbleiterprüfling 10 verwendet werden.
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Obwohl
die Erfindung mittels der exemplarischen Ausführungsbeispiele beschrieben
worden ist, sollte es sich von selbst verstehen, dass der Fachmann
viele Veränderungen
und Substitutionen vornehmen könnte,
ohne von der Wesensart und dem Umfang der Erfindung abzuweichen.
es ist aus der Definition der beigefügten Ansprüche offensichtlich, dass die
Ausführungsbeispiele
mit solchen Modifikationen auch dem Umfang der Erfindung angehören.
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Industrielle
Anwendbarkeit
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Da
das Versatzeinstellverfahren und das Versatzeinstellgerät einfach
die Einstellung des Versatzes ausführen kann und deren Konfiguration
einfach ist, kann es durch Einbau in das Testgerät zum Testen von Halbleiterbauelementen
genutzt werden.
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Zusammenfassung:
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Es
wird ein Versatzeinstellgerät
zum Einstellen eines Versatzes zwischen einem positivseitigen Differentialsignal
und einem negativseitigen Differentialsignal in Differentialsignalen,
die aus einem äußeren Bauelement über äußere Übertragungsleitungen eingegeben
werden, bereitgestellt, das eine positivseitige Übertragungsleitung zum Propagieren
des positivseitigen Differentialsignals aufweist, das in ein Eingangsende
eingegeben wird, ferner eine negativseitige Übertragungsleitung zum Propagieren
des negativseitigen Differentialsignals, das in ein Eingangsende
eingegeben wird, ferner eine Vielzahl von Differentialkomparatoren,
die mit den positivseitigen und negativseitigen Pfaden verbunden
sind, so dass eine Differenz zwischen der Verdrahtungslänge vom Eingangsende
des positivseitigen Übertragungspfads
und der Verdrahtungslänge
vom Eingangsende des negativseitigen Übertragungspfads voneinander
unterschiedlich ist, und die das positivseitige Differentialsignal
und das negativseitige Differentialsignal aufnehmen, und ferner
einen Auswahlabschnitt zum Auswählen
eines Signals, das durch den Differentialkomparator aufgenommen
wird, durch den ein Versatz zwischen dem positivseitigen Pfad von
einem Ausgabeanschluss des positivseitigen Differentialsignals im äußeren Bauelement
zum Differentialkomparator und dem negativseitigen Pfad von einem Ausgabeanschluss
des negativseitigen Differentialsignals im äußeren Bauelement zum Differentialkomparator
minimiert wird.