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DE112004002927T5 - Halbleiterbauelement und Verfahren zum Beschreiben desselben - Google Patents

Halbleiterbauelement und Verfahren zum Beschreiben desselben Download PDF

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DE112004002927T5
DE112004002927T5 DE112004002927T DE112004002927T DE112004002927T5 DE 112004002927 T5 DE112004002927 T5 DE 112004002927T5 DE 112004002927 T DE112004002927 T DE 112004002927T DE 112004002927 T DE112004002927 T DE 112004002927T DE 112004002927 T5 DE112004002927 T5 DE 112004002927T5
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Shigekazu Yamada
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Spansion LLC
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Spansion Japan Ltd
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Abstract

Halbleiterbauelement mit:
einer ersten Zwischenspeicherschaltung, die Schreibinformation aus mehreren Wörtern speichert, in die eine Mehrworteingangsinformation auf der Grundlage von Pegeln einer Mehrpegelspeicherzelle umgewandelt wird; und
einer Schreibschaltung, die die Schreibinformation aus mehreren Wörtern auf Grundlage einzelner Gruppen schreibt, wobei eine einzelne Gruppe mehreren gleichzeitig programmierbaren Speicherzellen zugeordnet ist.

Description

  • Technisches Gebiet
  • Diese Erfindung betrifft im Allgemeinen Halbleiterbauelemente und Schreibverfahren und betrifft insbesondere ein Halbleiterbauelement mit einer Mehrpegelspeicherzelle und ein Verfahren zum Schreiben von Daten in die Mehrpegelspeicherzelle.
  • Hintergrund
  • Halbleiterbauelemente werden in flüchtige Bauelemente, die ihre Information verlieren und nicht-flüchtige Bauelemente, die ihre Information beibehalten, wenn die Versorgungsleistung abgeschaltet wird, unterteilt. Flash-Speicher, in denen die Wiederbeschreibungszeit verkürzt wird, indem die Daten gleichzeitig gelöscht werden, sind als repräsentative nicht-flüchtige Bauelemente bekannt.
  • 1 ist eine Blockansicht des Programmierens eines Flash-Speichers, der keinen Schreibpuffer für eine SLC-(Einzelpegel- bzw. Einzelniveauzelle) darin aufweist. In diesem Flash-Speicher wird das Programmieren für jedes einzelne Wort (16 Bits) ausgeführt. Wie in 1 gezeigt ist, umfasst ein Flash-Speicher 1 einen Eingangspuffer 2, eine Schreibspeicher- bzw. Latchschaltung 3, eine Schaltung 4 zum Anlegen der Schreibspannung bzw. eine Schreibspannungszuführschaltung, ein Speicherzellenarray 5, eine Fühlerverstärkerschaltung 6, eine Komparatorschaltung 7 und eine Steuerschaltung 8. Der Eingangspuffer 2 bewahrt die Schreibdaten eines Anwenders. Die Schreibspeicherschaltung 3 speichert die Schreibdaten des Anwenders, die von dem Eingangspuffer 2 geliefert werden, zwischenzeitlich.
  • Die Schreibspannungszuführschaltung 4 schreibt die Daten in die Speicherzelle, die den Schreibdaten zugeordnet ist. Die Fühlerverstärkerschaltung 6 liest die Daten aus der Speicherzelle während einer Verifizierungsperiode aus, und die Komparatorschaltung 7 vergleicht die ausgelesenen Daten mit den von außen eingespeisten Schreibdaten. Wenn die Speicherzelle ausreichend programmiert ist, invertiert die Schreibspeicherschaltung 3 die Schreibdaten in dem Zwischenspeicher darin und beendet das Programmieren. Wenn andererseits die Speicherzelle nicht ausreichend programmiert ist, fährt die Schreibspeicherschaltung 3 mit dem Programmieren fort. Die Komparatorschaltung 7 bestimmt, ob alle Bits erfolgreich programmiert sind. Wenn alle Bits erfolgreich programmiert sind, führt die Steuerschaltung 8 den Programmablauf zum nächsten Schritt weiter.
  • Es wurde auch ein Flash-Speicher mit MLC (Mehrpegelzelle) im Stand der Technik vorgeschlagen. Ein Produkt mit der Mehrpegelzelle besitzt etwa vier Schwellwertpegel, Pegel 1, Pegel 2, Pegel 3 und Pegel 4. Je höher der Pegel ist, desto höher ist der Schwellwertspannungspegel. Die zuvor genannten 4 Pegel bilden zwei Arten von Ausgangs-(oder Eingangs-) Daten. Im Allgemeinen wird während des Programmierens der Daten des Pegels 4 ein Schreibverfahren angewendet, in welchem die Pegel 1 bis Pegel 3 durchlaufen werden, um den Pegel 4 zu erreichen.
  • Die Patentschrift 1 offenbart einen Halbleiterspeicher mit einem binären Datenregister, das die eingespeisten Schreibdaten bewahrt. Ferner zeigt die Patentschrift 2 ein weiteres Halbleiterbauelement mit einer Datenzwischenspeicherschaltung bzw. Latch-Schaltung, die die von außen zugeführten Schreibdaten zwischenspeichert, und beschreibt eine Fühlerspeicherschaltung, die die Schreibsteuerinformation zwischenspeichert.
    • Patentschrift 1: Japanische Patentanmeldung mit der Veröffentlichungsnummer 11-73790
    • Patentschrift 2: Japanische Patentanmeldung mit der Veröffentlichungsnummer 11-232886
  • Überblick über die Erfindung
  • Von der Erfindung zu lösende Probleme
  • Das Programmieren der Mehrpegelspeicherzelle ist problematisch dahingehend, dass ein zu starkes Programmieren, das den Pegel übersteigt, auftritt, und das Programmieren muss so ausgeführt werden, dass die Schwellwertspannung Vth immer nur geringfügig erhöht wird. In dem zuvor genannten Programmierverfahren müssen das Programmieren und das Verifizieren mehrere Male wiederholt werden, wodurch nachteiligerweise die Programmierdauer anwächst. Die in der Patentschrift 1 und der Patentschrift 2 beschriebenen Bauelemente können das Problem der ansteigenden Programmierdauer nicht lösen.
  • Die vorliegende Erfindung hat es sich zur Aufgabe gemacht, die zuvor genannten Probleme in den konventionellen Verfahren zu lösen und ein Halbleiterbauelement bereitzustellen, in welchem eine Programmierdauer auf Basis einzelner Wörter verkürzt wird oder wobei ein Datenschreibverfahren bereitgestellt wird.
  • Mittel zum Lösen des Problems
  • Gemäß einem Aspekt der vorliegenden Erfindung wird vorzugsweise ein Halbleiterbauelement bereitgestellt mit: einer ersten Zwischenspeicher- bzw. Latchschaltung, die Schreibinformation aus mehreren Wörtern zwischenspeichert, und in die die eingespeiste Information aus mehreren Wörtern auf der Grundlage der Pegel einer Mehrpegelspeicherzelle geändert wird; und einer Schreibschaltung, die die Schreibinformation mit mehreren Wörtern als Gruppe schreibt, wobei eine Gruppe mehreren Speicherzellen zugeordnet ist, die gleichzeitig programmierbar sind. Erfindungsgemäß wird die Information auf Basis einer Gruppe programmiert, in die die mehreren Wörter der eingespeisten Information unterteilt werden, wodurch es möglich ist, eine Programmierdauer deutlich zu verkürzen. Dies verlängert nicht die Programmierdauer, selbst wenn das Programmieren und Verifizieren in einer Mehrpegelspeicherzelle wiederholt auszuführen sind.
  • Das zuvor genannte Halbleiterbauelement umfasst ferner eine zweite Zwischenspeicherschaltung, die die Mehrworteingangsinformation in eine Schreibinformation aus mehreren Wörtern umwandelt und die damit erhaltene Schreibinformation der ersten Zwischenspeicherschaltung zuführt. Erfindungsgemäß kann die Mehrworteingangsinformation in die Information umgewandelt werden, die jedem Pegel der Mehrpegelspeicherzelle entspricht.
  • Im dem Halbleiterbauelement kann die erste Zwischenspeicherschaltung die Schreibinformation der Schreibschaltung auf Basis einer Gruppe übermitteln. Gemäß der vorliegenden Erfindung sind die mehreren Wörter der eingespeisten Information auf Basis einer Gruppeneinteilung gleichzeitig programmierbar. Die erste Zwischenspeicherschaltung in dem Halbleiterbauelement kann Schaltungen aufweisen, die zahlenmäßig gleich sind zu Schaltungen, die die zweite Zwischenspeicherschaltung bilden, und die die Anzahl der Schaltungen übersteigen, die die Schreibschaltung bilden.
  • Das zuvor genannte Halbleiterbauelement kann ferner eine Steuerschaltung aufweisen, die ein Signal erzeugt, das eine Verifizierung und Programmierung auf Gruppenbasis erzwingt. Erfindungsgemäß kann durch Ausführen einer Verifizieraktion und einer Programmieraktion auf Gruppenbasis die Programmierdauer für einzelne Wörter deutlich verkürzt werden. Das zuvor genannte Halbleiterbauelement kann ferner eine Steuerschaltung aufweisen, die ein Signal für eine wiederholte Verifizierung und Programmierung auf Basis mehrerer Gruppen erzeugt. Im Vergleich zur wiederholten Verifizierung und Programmierung auf Basis einzelner Gruppen ist es möglich, auf der Grundlage mehrerer Gruppen zu operieren, indem die Verifizierung und Programmierung für mehrere Gruppen wiederholt wird.
  • Das zuvor genannte Halbleiterbauelement kann ferner eine Bestimmungsschaltung aufweisen, die bestimmt, ob eine Verifizierung für eine Gruppe erfolgreich ist, wobei die Steuerschaltung die Verifizierung und die Programmierung für eine Gruppe beendet, für die die Verifizierung erfolgreich ist. Erfindungsgemäß kann das Verifizieren und Programmieren einer unnötigen Gruppe vermieden werden. Dies ermöglicht es, die wesentliche Programmierdauer auf Basis einzelner Wörter zu beschleunigen.
  • Das zuvor genannte Halbleiterbauelement kann ferner eine Steuerschaltung aufweisen, die ein Signal erzeugt, das die Verifizierung für ein Wort weiterleitet, das in einer Gruppe nicht ausgewählt ist. Gemäß der vorliegenden Erfindung werden Verifizierungsdaten für die Verifizierung weitergeleitet, obwohl die Verifizierungsdaten ein Wort angeben, auf das von dem Anwender in einer Gruppe nicht zugegriffen wird und dieses wird aus der Speicherzelle ausgelesen, wodurch es möglich ist, die Programmierdauer auf Basis einzelner Wörter deutlich zu verringern.
  • Das oben genannte Halbleiterbauelement kann ferner eine Steuerschaltung aufweisen, wobei, wenn die Speicherzelle ausreichend auf einen ersten Pegel programmiert ist, die Steuerschaltung ein Signal erzeugt, das die Speicherzelle anweist, bei einem zweiten Pegel programmiert zu werden. Gemäß der vorliegenden Erfindung kann ein vorgegebener Pegel in die Mehrpegelspeicherzelle programmiert werden.
  • Gemäß einem weiteren Aspekt der vorliegenden Erfindung wird vorteilhafterweise ein Verfahren bereitgestellt mit den Schritten: Ändern einer Mehrworteingangsinformation in eine Schreibinformation aus Wörtern entsprechend den Pegeln einer Mehrpegelspeicherzelle, und Schreiben der Schreibinformation mit mehreren Wörtern auf Gruppenbasis, wobei eine einzelne Gruppe mehreren Speicherzellen zugeordnet ist, die gleichzeitig programmierbar sind. Gemäß der vorliegenden Erfindung wird die Information auf Grundlage von Gruppen bzw. in Form von Gruppen programmiert, in die die mehreren Wörter der Eingangsinformation eingeteilt werden, und es ist möglich, die Programmierdauer deutlich zu verkürzen. Dies verlängert die Programmierdauer nicht, selbst wenn das Programmieren und das Verifizieren in der Mehrpegelspeicherzelle wiederholt auszuführen sind.
  • Das zuvor genannte Verfahren kann ferner den Schritt des wiederholten Ausführens des Verifizierens und Programmierens auf Gruppenbasis umfassen. Gemäß der vorliegenden Erfindung kann durch Ausführen des Verifiziervorgangs und des Programmiervorgangs auf Basis einer Gruppe die Programmierdauer auf der Grundlage einzelner Wörter deutlich verkürzt werden. Das zuvor genannte Verfahren kann ferner einen Schritt zum wiederholten Ausführen einer Verifizierung auf Grundlage mehrerer Gruppen umfassen. Im Vergleich zur wiederholten Verifizierung und Programmierung auf Basis einzelner Gruppen ist es möglich, auf der Grundlage mehrerer Gruppen zu operieren, indem das Verifizieren und Programmieren auf Basis der mehreren Gruppen ausgeführt wird.
  • Das zuvor genannte Verfahren kann ferner die Schritte umfassen: Bestimmen, ob die Verifizierung für eine Gruppe erfolgreich ist, und Beenden des Verifizierens und des Programmierens einer Gruppe, für die die Verifizierung erfolgreich war. Gemäß der vorliegenden Erfindung kann das Verifizieren und Programmieren einer unnötigen Gruppe vermieden werden. Dies ermöglicht es, die Programmierdauer auf Basis einzelner Wörter wesentlich zu beschleunigen.
  • Das zuvor genannte Verfahren kann ferner einen Schritt des erfolgreichen Verifizierens für ein Wort umfassen, das in einer Gruppe nicht ausgewählt ist. Gemäß der vorliegenden Erfindung werden Verifizierungsdaten bei der positiven Verifizierung erzeugt, obwohl die Verifizierungsdaten ein Wort repräsentieren, auf das von dem Anwender in einer Gruppe nicht zugegriffen wird und dieses wird aus der Speicherzelle ausgelesen, und damit ist es möglich, die Programmierdauer auf Grundlage einzelner Wörter deutlich zu verringern.
  • Das zuvor genannte Verfahren kann ferner einen Schritt umfassen, dass, wenn die Speicherzelle ausreichend auf einen ersten Pegel programmiert ist, ein Signal erzeugt wird, das die Speicherzelle anweist, bei einem zweiten Pegel programmiert zu werden. Gemäß der vorliegenden Erfindung kann in der Mehrpegelspeicherzelle ein vorgegebener Pegel programmiert werden.
  • Wirkung der Erfindung
  • Gemäß der vorliegenden Erfindung ist es möglich, ein Halbleiterbauelement bereitzustellen, in welchem eine Programmierdauer auf Grundlage einzelner Wörter verkürzt werden kann, oder wobei ein Datenschreibverfahren bereitgestellt wird.
  • Kurze Beschreibung der Zeichnungen
  • 1 ist eine Blockansicht zum Programmieren eines konventionellen Halbleiterbauelements;
  • 2 ist eine Blockansicht des Programmierens eines Halbleiterbauelements gemäß der vorliegenden Erfindung;
  • 3 ist eine Ansicht, in der ein Beispiel einer Steuerlogik gezeigt ist, die diverse Steuersignale in einem Schreibpuffer in einer Steuerschaltung 18 erzeugt;
  • 4 ist eine Ansicht, in der eine Eingangszwischenspeicherschaltung gemäß der vorliegenden Erfindung gezeigt ist;
  • 5 ist eine Ansicht, in der eine Schreibzwischenspeicherschaltung für eine Mehrpegelspeicherzelle gezeigt ist;
  • 6 ist eine Ansicht, in der eine Schreibspannungszuführungsschaltung für die Mehrpegelspeicherzelle gezeigt ist;
  • 7 ist eine Ansicht, in der eine Komparatorschaltung für die Mehrpegelspeicherzelle gezeigt ist;
  • 8 ist eine Ansicht, in der das Konzept des Schreibsteuerverfahrens für die Mehrpegelspeicherzelle gezeigt ist;
  • 9 ist eine Ansicht, in der ein Aufwärtszähler für eine Vier-Wort-Gruppe in einem 16-Wortschreibpuffer gezeigt ist;
  • 10 ist eine Ansicht, in der ein Beispiel eines Schieberegisters gezeigt ist, das in dem Aufwärtszähler verwendet wird;
  • 11 zeigt einen Zeitablauf von q vollständigen Operationen des Schreibpuffers;
  • 12 zeigt ein erstes Zeitablaufdiagramm während des Betriebs;
  • 13 zeigt ein zweites Zeitablaufdiagramm während des Betriebs.
  • Beste Art zum Ausführen der Erfindung
  • Es folgt nun eine Beschreibung von Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung unter Bezugnahme auf die begleitenden Zeichnungen.
  • Ausführungsformen
  • 2 ist eine Blockansicht des Schreibens eines Halbleiterbauelements 10 gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Wie in 2 gezeigt ist, umfasst das Halbleiterbauelement 10 den Eingangspuffer 2, eine Eingangszwischenspeicher- bzw. Latchschaltung 11, eine Schreibzwischenspeicher- bzw. Latchschaltung 13, eine Schreibspannungszuführschaltung 14, das Speicherarray 5, die Fühlerverstärkerschaltung 6, eine Komparatorschaltung 17 und eine Steuerschaltung 18. Im Folgenden wird eine Mehrpegelspeicherzelle mit zwei Bits beschrieben. In der Mehrpegelspeicherzelle mit zwei Bits sind der Pegel 1 bzw. das Niveau 1, der Pegel 2, der Pegel 3 und der Pegel 4 entsprechend definiert als (1,1), (0,1), (1,0) und (0,0), d. h. zwei Eingangsdaten und zwei Ausgangsdaten.
  • Das Halbleiterbauelement 10 umfasst eine Schreibschaltung für die Mehrpegelspeicherzelle, wobei der Schreibpuffer verwendet ist. Das Halbleiterbauelement 10 führt ein Daten schreibverfahren aus. Das Halbleiterbauelement 10 kann ein Halbleiterspeicherbauelement sein, in welchem lediglich das Halbleiterbauelement in einem einzelnen Gehäuse untergebracht ist, etwa ein Flash-Speicher, oder das Bauelement 10 kann in ein Halbleiterbauelement als ein einzelner Teil von mehreren eingebaut sein. Der Eingangspuffer 2 bewahrt die Eingangsdaten entsprechend einem Wort, das mittels 16 I/O- bzw. Ein/Aus-Anschlüssen von außen eingespeist werden.
  • Die Eingangszwischenspeicherschaltung 11 speichert die Information der Eingangsdaten, die in den mehreren Daten enthalten sind, die sequenziell von außen mittels des Eingangspuffers 2 eingespeist werden. D. h., die Eingangszwischenspeicherschaltung 11 speichert die Eingangsinformation aus (1,1), (0,1), (1,0) und (0,0). Die Eingangszwischenspeicherschaltung 11 ist ausgebildet, 2-Bit-Daten zu speichern. Daher werden 8 Eingangszwischenspeicherschaltungen 11 zum Speichern der Daten mit einem einzelnen Wort aus 16 Bits benötigt. Somit sind zum Zwischenspeichern der Daten für 16 Wörter 128 (16 × 8 = 128) Eingangszwischenspeicherschaltungen 11 vorzusehen. In der vorliegenden Ausführungsform ist die Anzahl der Eingangszwischenspeicherschaltungen 11 gleich der Anzahl der Schreibzwischenspeicherschaltungen 13, und gleichzeitig ist die Anzahl größer als die Anzahl der Schreibspannungszuführschaltungen 14. Der Schreibpuffer der vorliegenden Erfindung ist aus der Eingangszwischenspeicherschaltung 11, der Schreibzwischenspeicherschaltung 13 und der Schreibspannungszuführschaltung 14 aufgebaut.
  • Die Eingangszwischenspeicherschaltung 11 verarbeitet ein Datenpaar, das aus einem ungeradzahligen Ein/Aus-Anschluss und von einem geradzahligen Ein/Aus-Anschluss eingespeist wird, wandelt die eingespeisten Daten aus mehreren Wörtern in die Schreibdaten aus mehreren Wörtern gemäß den jeweiligen Pegeln der Mehrpegelspeicherzelle um und überträgt die Daten zu der Schreibzwischenspeicherschaltung 3. Hierbei gehören zu den zuvor genannten jeweiligen Pegeln der Pegel 1, der Pegel 2, der Pegel 3 und der Pegel 4. Als Mehrpegelspeicherzelle kann eine Art einer Mehrpegelspeicherzelle verwendet werden, in der vier Informationen gespeichert werden, indem Elektronen in unterschiedlicher Menge in dem schwebenden Gate bzw. in dem Gate mit frei einstellbarem Potential gespeichert werden, oder es kann eine andere Art verwendet werden, in welchem eine Elektroneneinfangschicht aus Nitrid oder dergleichen anstelle des schwebenden Gates vorgesehen ist.
  • Die Schreibzwischenspeicherschaltung 13 speichert die von der Eingangszwischenspeicherschaltung 11 übertragene Schreibinformation. Die Schreibzwischenspeicherschaltung 13 speichert die Schreibdaten in Form eines Speicherzellenpegels. Die Daten mit den 16 Bits eines einzelnen Wortes werden in acht Schreibinformationen umgewandelt und somit sind 16 × 8 = 128 Schreibzwischenspeicherschaltungen 13 für das Zwischenspeichern von 16 Wörtern erforderlich. Die Schreibzwischenspeicherschaltung 13 unterteilt die mehreren Wortinformationsanteile, die von dem Schreibpuffer bewahrt werden, gemäß der Anzahl der Speicherzellen, die gleichzeitig programmierbar sind, und überträgt sequenziell diese Daten zu der Schreibspannungszuführschaltung 4 als eine Gruppe. Dabei unterteilt die Schreibzwischenspeicher 13 die 16 Wörter in vier Gruppen, wobei jede Gruppe vier Wörter aufweist und überträgt sequenziell diese Daten an die Schreibspannungszuführschaltung 4 auf der Grundlage bzw. in Form einer einzelnen Gruppe. Anders ausgedrückt, die Schreibzwischenspeicherschaltung 13 gibt vier Wörter aus.
  • Die Schreibspannungszuführschaltung 14 beschreibt die Mehrpegelspeicherzelle mit der Schreibinformation, die von der Schreibzwischenspeicherschaltung 13 als Gruppe übertragen wird, so dass eine Zuordnung zu der Anzahl der gleichzeitig programmierbaren Speicherzellen besteht. In einem Schreibverfahren für die Mehrpegelspeicherzelle wird der Schwellwert Vth jeweils geringfügig erhöht, und es wird nicht viel Schreibstrom verbraucht. Dies ermöglicht es, immer mehr Zellen zu programmieren. 16 Wörter entspricht der Anzahl, die der Schreibpuffer als Daten bewahren kann, und 32 Zellen ist die Anzahl der programmierbaren Zellen, und die Schreibspannungszuführschaltung 14 wendet ein Verfahren an, um einen Schreibpuls 4 mal bei jeder Schreiboperation anzulegen. Auf diese Weise programmiert die Schreibspannungszuführspannung 14 32 Zellen gleichzeitig mit einer einzelnen Gruppe.
  • Das Speicherzellenarray 5 beinhaltet Verbindungsstrukturen, Wortleitungen, Bitleitungen und dergleichen des Mehrpegelspeicherzellentransistors mit mehreren unterschiedlichen Schwellwertspannungswerten, und Daten werden in jedem Speicherzellentransistor gespeichert. Die Daten werden aus der Speicherzelle, die durch eine aktivierte Wortleitung ausgewählt ist, in die Bitleitung beim Auslesen der Daten ausgelesen. Durch Einstellen der Wortleitung und der Bitleitung auf geeignete Potentiale kann entsprechend den jeweiligen Aktivitäten zum Zeitpunkt des Programmierens oder Löschens Elektronen in die Speicherzelle eingeführt und daraus herausgelöst werden.
  • Die Fühlerverstärkerschaltung 6 wandelt den Strom der Daten in der ausgewählten Speicherzelle in eine Spannung um, wobei der Strom von dem Speicherzellenarray aufgebracht wird, und überträgt die ausgelesenen Daten an die Komparatorschaltung 17 und die Zwischenspeicherschaltung 13. Die Komparatorschaltung 17 vergleicht die ausgelesenen Daten mit den Schreibdaten und überträgt ein Vergleichsergebnis zu der Steuerschaltung 18. Die Schreibspannungszuführschaltung 14 programmiert die Speicherzelle erneut, wenn bestimmt wird, dass die Speicherzelle nicht ausreichend programmiert ist. Die Schreibspannungszuführschaltung 14 invertiert die internen Schreibdaten und beendet eine einzelne Programmieroperation, wenn die Speicherzelle ausreichend auf einen gegebenen Pegel programmiert ist. Die Komparatorschaltung 17 bestimmt, ob die Verifizierung für jede Gruppe erfolgreich war.
  • Die Steuerschaltung 18 empfängt ein Steuersignal von außen, empfängt einen Befehl von einem Befehlsregister (nicht gezeigt) gleichzeitig dazu, fungiert als eine Zustandsmaschine und steuert jeden Teil des Halbleiterbauelements 10. Insbesondere steuert die Steuerschaltung 18 das Programmieren des Speicherzellenarrays 5.
  • Die Steuerschaltung 18 erzeugt ein Schreibsteuersignal des nächsten Pegels und überträgt dieses zu der Eingangszwischenspeicherschaltung 11, wenn die Mehrpegelspeicherzelle bei dem vorgegebenen Pegel ausreichend programmiert ist. Die Eingangszwischenspeicherschaltung 11 wandelt die eingespeisten Daten aus mehreren Wörtern, die gespeichert sind, in die Schreibdaten um, und überträgt die Schreibdaten zu der Schreibzwischenspeicherschaltung 13. Die Steuerschaltung 18 wiederholt die zuvor genannten Prozesse und beendet den gesamten Programmiervorgang, wenn die Anwenderschreibdaten vollständig den Speicherzellendaten entsprechen.
  • Anschließend wird eine Beschreibung der Steuerschaltung 18 angegeben. 3 ist ein Beispiel einer Steuerlogik, die diverse Steuersignale in dem Schreibpuffer erzeugt. Wie in 3 gezeigt ist, umfasst die Steuerschaltung 18 Schaltungen 81 bis 85. Die Schaltung 81 enthält eine NAND-Schaltung 811. Die Schaltung 81 erzeugt ein Signal STRAT_PULSE, das ein Signal DLOADB und ein Signal START enthält. Das Signal STRAT_PULSE ist ein kurzer Puls, der zu Beginn jedes Programmierablaufs erzeugt wird, und der der Schreibzwischenspeicherschaltung 13 eingespeist wird.
  • Die Schaltung 82 umfasst Inverter 821 bis 823 und eine NAND-Schaltung 824. Die Schaltung 82 erzeugt ein Signal DLOADB mit dem Signal START und ein Signal MATCH1B. Das Signal DLOADB wird in einer anfänglichen Phase des Programmiervorgangs tiefpegelig. Nach dem Erhalt des Signals DLOADB werden die Anwendereingangsdaten an die Eingangszwischenspeicherschaltung 11 aus dem Eingangspuffer 2 übertragen.
  • Die Schaltung 83 enthält einen NMOS-Transistor 831, einen PMOS-Transistor 832, eine NOR-Schaltung 833 und Inverter 834 bis 837. Die Schaltung 83 erzeugt ein Signal SELB(k) und ein Signal SELB_LATCHB(k) mit ADRESSE (3:0)X und dem Signal DLOADB. Hier läuft k von 0 bis 15 und zeigt, welchem Wort aus den 16 Wörtern das Signal zugeordnet ist. Es müssen 16 Schaltungen 83 zum Steuern des Schreibpuffers aus 16 Wörter vorgesehen werden. Gemäß dem Signal ADRESSE (3:0) wird die Information, welches Wort von dem Anwender ausgewählt wird, in dem Zwischenspeicher festgelegt, der aus den Invertern 835 und 836 zusammengesetzt ist. Hierbei ist die Adresse (3:0)X eine Wortauswahladresse, die von dem Anwender eingespeist wird, und bezeichnet alle Kombinationen (16 Kombinationen) der Adresse (3:0) und des entsprechenden komplementären Signals ADRESSE (3:0)B. Das Signal SELB_LATCH(k) wird auf tiefen Pegel gesetzt, wenn der Anwender das k-te-Wort auswählt. Das Signal SELB_LATCH(k), das einem nicht ausgewählten Wort entspricht, wird auf einen hohen Pegel gesetzt. Dieses Signal wird verwendet, um die Verifizierdaten zum Weiterführen der Verifizierung zu steuern, und wird zur Einspeisung in die Komparatorschaltung 17 verwendet, obwohl die Verifizierdaten das Wort repräsentieren, auf das von dem Anwender in einer Schreibgruppe aus vier Wörtern nicht zugegriffen wird und aus der Speicherzelle ausgelesen wird.
  • Das Signal SELB(k) ist ein Wortdecodiersignal in dem Schreibpuffer, das das Wort gemäß der Wortauswahladresse ADRESSE (3:0) auswählt, und das ausgewählte Wort wird auf einen niedrigen Pegel gesetzt. Während der Programmierung gibt der Anwender sequenziell Wortadressen und die Daten ein, und das entsprechende Signal SELB(n) geht in jedem Falle auf einen tiefen Pegel über. Die Schreibdaten werden sequenziell in der Eingangszwischenspeicherschaltung 11 gespeichert.
  • Die Schaltung 84 umfasst einen NMOS-Transistor 841, einen PMOS-Transistor 842, eine NOR-Schaltung 843, eine NAND-Schaltung 844 und Inverter 845 bis 847. Die Schaltung 84 erzeugt das Signal MATCH1B mit dem Signal START, ein Signal PASS_ALL und ein Signal PGM2ND. Das Signal PASS_ALL wird hochpegelig, wenn die Verifizierung für alle Zellen erfolgreich war. Die in den Invertern 845 und 846 gespeicherten Daten werden von dem Inverter 847 als das Signal MATCH1B ausgegeben.
  • Die Schaltung 85 enthält einen NMOS-Transistor 851, einen PMOS-Transistor 852, eine NOR-Schaltung 853, eine NAND-Schaltung 854 und Inverter 855 bis 857. Die Schaltung 85 erzeugt ein Signal MATCH2B mit dem Signal START, das Signal PASS_ALL und ein Signal PGM3ND. Die in den Invertern 855 und 856 zwischengespeicherten Daten werden von einem Inverter 857 als das Signal MATCH2B ausgegeben. Das Signal MATCH1B und das Signal MATCH2B werden in die Eingangszwischenspeicherschaltung 11 eingespeist.
  • Anschließend wird eine Beschreibung der Eingangszwischenspeicherschaltung 11 angegeben. 4 ist eine Ansicht, in der die Eingangszwischenspeicherschaltung gemäß einer Ausführungsform der Erfindung gezeigt ist. Wie in 4 gezeigt ist, umfasst die Eingangszwischenspeicherschaltung 11 Schaltungen 21 bis 23. Die Eingangszwischenspeicherschaltung 11 wandelt die zwei Eingangsdaten in ein einzelnes Schreibdatum PLOADp um. Es müssen 128 Eingangszwischenspeicherschaltungen 11 für das Speichern der Daten für 16 Wörter vorgesehen werden. Es wird eine Beschreibung für PGM2ND, das als ein Programmierablauf für den Pegel 1 bis Pegel 2 definiert ist, für PGM3RD, das als ein Programmierablauf vom Pegel 2 zum Pegel 3 definiert ist, und für PGM4TH, das als der Programmierablauf vom Pegel 3 zum Pegel 4 definiert ist, angegeben.
  • Das Signal DLOADB wird in der anfänglichen Phase des Programmiervorgangs tiefpegelig. Nach dem Erhalt des Signals DLOADB werden die Anwendereingangsdaten zur Eingangszwischenspeicherschaltung 11 aus dem Eingangspuffer 2 übertragen. Das Signal SELB(k) ist ein Wortdecodiersignal in dem Schreibpuffer und wird von der Steuerschaltung 18 bereitgestellt. Es gibt 16 Signale SELB(k) im Puffer aus 16 Wörtern. Ein Signal IN_EVENm und ein Signal IN_ODDm werden auf der Grundlage der Anwendereingangsdaten, die von dem Eingangspuffer 2 übertragen werden, entsprechend variiert. Hierbei läuft m von 0 bis 7. Der Pegel 1 wird repräsentiert, wenn das Signal IN_EVENm hochpegelig und das Signal IN_ODDm hochpegelig ist. Der Pegel 2 wird repräsentiert, wenn das Signal IN_EVENm tiefpegelig und das Signal IN_ODDm hochpegelig sind. Der Pegel 3 wird repräsentiert, wenn das Signal IN_EVENm hochpegelig und das Signal IN_ODDm tiefpegelig sind. Der Pegel 4 wird repräsentiert, wenn das Signal IN_EVENm tiefpegelig und das Signal IN_ODDm tiefpegelig sind.
  • Das Signal MATCH1B wird tiefpegelig, wenn PGM2ND abgeschlossen ist. Das Signal MATCH2B wird tiefpegelig, wenn PGM3ND beendet ist. Das Signal MATCH1B und das Signal MATCH2B werden von der Steuerschaltung 18 bereitgestellt. Die Schaltung 22 enthält NMOS-Transistoren 221 bis 223, einen PMOS-Transistor 224, eine NOR-Schaltung 225 und Inverter 226 bis 229. Wenn ein Signal RESETB tiefpegelig ist, das Signal DLOADB und das Signal SELB(k) tiefpegelig und ein Signal DSEL hochpegelig sind, werden die Anwendereingangsdaten als die Signale IN_EVENm und IN_ODDm eingespeist und in dem Zwischenspeicher, der aus den Invertern 226 uknd 227 aufgebaut ist, gespeichert. Der Inverter 228 erzeugt ein Signal DINa und der Inverter 229 erzeugt ein Signal DINaB. Das Signal DINa und das Signal DINaB werden in die Inverterschaltung 21 eingespeist.
  • Die Schaltung 23 umfasst NMOS-Transistoren 231 bis 233, einen PMOS-Transistor 234 und Inverter 235 bis 238. Wenn das Signal RESETB tiefpegelig und das Signal DLOADB und das Signal SELBn tiefpegelig und das Signal DSEL hochpegelig sind, werden die Anwendereingangsdaten als die Signale IN_EVENm und IN_ODDm eingespeist, und in dem Zwischenspeicher, der aus den Invertern 235 und 236 aufgebaut ist, gespeichert. Der Inverter 237 erzeugt ein Signal DINb und der Inverter 238 erzeugt ein Signal DINbB. Das Signal DINbB und das Signal DINbB werden der Inverterschaltung 21 eingespeist.
  • Die Inverterschaltung 21 umfasst NAND-Schaltungen 211 bis 214. Die Inverterschaltung 21 invertiert die von dem ungeradzahligen Ein/Aus-Anschluss zugeführten Daten und die von dem geradzahligen Ein/Aus-Anschluss gelieferten Daten zu einem einzelnen Schreibdatum PLOAD. Wenn das Signal PLOAD hochpegelig ist, wird ein Befehl zum Schreiben in dem Programmierablauf ausgeführt. Das Signal MATCH1B und das Signal MATCH2B sind beide während des Ablaufs PGM2ND hochpegelig, und die Anwendereingangsdaten von (0,1), (1,0) bzw. (0,0) sind in dem Signal PLOADp hochpegelig. Das Signal MATCH1B ist tiefpegelig und das Signal MATCH2B ist in PGM3RD hochpegelig und die Anwendereingangsdaten (1,0) oder (0,0) sind in dem Signal PLOADp hochpegelig. Das Signal MATCH1B ist tiefpegelig und das Signal MATCH2B ist in PGM4TH tiefpegelig und lediglich die Anwendereingangsdaten (0,0) sind in dem Signal PLOADp hochpegelig. Auf diese Weise wird das Programmieren auf einen höheren Pegel ausgeführt, nachdem der untere Pegel durchlaufen ist. Das Signal PLOADp ist als PLOAD (3:0) gezeigt, und jedes Signal PLOAD(n) enthält 32 Signale gleich der Anzahl der gleichzeitig programmierbaren Speicherzellen (beispielsweise die Anzahl an Speicherzellen für vier Wörter).
  • Als nächstes wird die Schreibzwischenspeicherschaltung 13 beschrieben. 5 ist eine Ansicht, die die Schreibzwischenspeicherschaltung 13 für eine Mehrpegelspeicherzelle zeigt. Wie in 5 gezeigt ist, umfasst jede der Schreibzwischenspeicherschaltungen 13 NMOS-Transistoren 31 und 32, PMOS-Transistoren 33 bis 35 und Inverter 36 und 37. Es sind 128 Schreibzwischenspeicherschaltungen 13 zum Speichern der Daten von 16 Wörtern erforderlich.
  • Die Schreibzwischenspeicherschaltung 13 unterteilt 16 Wörter in vier Gruppen, wovon jede vier Wörter aufweist, und überträgt diese sequenziell zu der Schreibspannungszuführschaltung 14. Ein Signal DATAx repräsentiert Verifizierdaten, die von der Fühlerverstärkerschaltung 6 geliefert werden, und dieses Signal wird nach dem Durchlaufen des Programmierens tiefpegelig. Ein Signal SELECT(n) unterteilt die Mehrfachwortinformation, die in dem Schreibpuffer bewahrt wird, gemäß der Anzahl der gleichzeitig programmierbaren Speicherzellen. Das Signal SELECT(n) wird von der Steuerschaltung 18 geliefert. Ein Signal START_PULSE ist ein kurzer Puls, der zu Beginn jedes Programmierablaufs erzeugt wird. Das Signal PLOADp wird von der Eingangszwischenspeicherschaltung 11 zu Beginn des Programiervorgangs für jeden Pegel übertragen.
  • Wenn das Signal START_PULSE hochpegelig ist und das Signal PLOADp hochpegelig ist, werden die Schreibdaten in dem Zwischenspeicher bzw. Latch festgelegt, der aus den Invertern 36 und 37 aufgebaut ist. Danach wird ein Ausgang PGMq hochpegelig und repräsentiert den Zustand des Programmierens. Hier ist das Signal PGMq als PGM (3:0) repräsentiert. Jedes Signal PGM(n) enthält 32 Signale entsprechend der Anzahl der gleichzeitig programmierbaren Speicherzellen (beispielsweise entsprechend der Anzahl der Speicherzellen für vier Wörter). Wenn die Fühlerverstärkerschaltung 6 bestimmt, dass die Speicherzelle ausreichend programmiert ist, erhält die Schreibzwischenspeicherschaltung 13 die Verifizierdaten DATAx in tiefpegeligem Zustand. Wenn die Verifizierungsdaten DATAx tiefpegelig sind und das Signal SELECT tiefpegel ist, werden die Schreibdaten in dem aus den Invertern 36 und 37 zusammengesetzten Zwischenspeicher invertiert, und ein einzelner Programmiervorgang ist abgeschlossen. Somit wird die Speicherzelle, die die Verifizierung erfolgreich beendet hat, nicht programmiert.
  • Als nächstes wird die Schreibspannungszuführschaltung beschrieben. 6 ist eine Ansicht, die die Schreibspannungszuführschaltung 14 für eine Mehrpegelspeicherzelle zeigt. Die zuvor genannnten Schaltungen sind lediglich in der Anzahl der gleichzeitig programmierbaren Speicherzellen vorgesehen (beispielsweise 32 Schaltungen für vier Wörter). Wie in 6 gezeigt ist, umfasst die Schreibspannungszuführschaltung 14 Interverter 41 bis 45, Transfergates 46 bis 49, NMOS-Transistoren 50 bis 52 und PMOS-Transistoren 53 bis 55. Das Gate des NMOS-Transistors 50 wird von einem Signal RESET gesteuert, und die Gates der NMOS-Transistoren 51 und 52 werden durch die Versorgungsspannung VCC gesteuert.
  • Das Signal SELECT (3:0) unterteilt die Mehrwortinformation, die in dem Schreibpuffer bewahrt wird, gemäß der Anzahl der gleichzeitig programmierbaren Speicherzellen, und wird hochpegelig zum Zeitpunkt des Programmierens oder Verifizierens jeder Gruppe. Das Signal SELECT (3:0) wird von der Steuerschaltung 18 erzeugt. Das Signal PGM (3:0) repräsentiert die Schreibeingangsdaten, die von der Schreibzwischenspeicherschaltung 13 geliefert werden. Das Signal PGM (3:0) wird von einem Signal SELECT (3:0) und dem Signal SELECT (3:0) ausgewählt. Ein Signal mit niedrigem Pegel wird in einen Knotenpunkt N1 eingespeist, und der Transistor 55 für die Versorgung wird leitend. Danach wird ein Programmierpuls PGMPULSEz der ausgewählten Speicherzelle zugeführt. Ein hochpegeliges Signal wird in den Knotenpunkt N1 eingespeist, und der Transistor 55 für die Versorgungsspannung schaltet aus. Der Programmierpuls PGMPULSz wird nun nicht mehr der ausgewählten Speicherzelle zugeführt.
  • Als nächstes wird die Komparatorschaltung 17 beschrieben. 7 ist eine Ansicht, die die Komparatorschaltung 17 für die Mehrpegelspeicherzelle zeigt. Die Komparatorschaltung 17 bestimmt „erfolgreich/Fehler" in jeder Verfifzierung auf der Grundlage der eingespeisten Signale mit dem Signal PLOAD (3:0), das von der Eingangszwischenspeicherschaltung 11 geliefert wird, dem Signal PGM (3:0), das von der Schreibzwischenspeicherschaltung 13 geliefert wird, und den Verifizierungsdaten DATAx, die von der Fühlerverstärkerschaltung 6 geliefert werden. Das Signal SELECT (3:0) unterteilt die Anzahl der Wörter in dem Schreibpuffer gemäß der Anzahl der gleichzeitig programierbaren Speicherzellen. Ein Signal SELB_LATCH(k) zwingt die Verifizierdaten zu einem erfolgreichen Durchlaufen bei der Verifizierung, selbst wenn die Verifizierdaten das Wort repräsentieren, auf das nicht von dem Anwender in den vier Wörtern der Programiergruppe eingegriffen wird, und dieses wird aus der Speicherzelle ausgelesen.
  • Die Komparatorschaltung 17 umfasst Schaltungen 71 bis 75. Die Schaltung 71 enthält einen Inverter 711. Der Inverter 711 erzeugt die Daten DATAB bei Verifizierungsdaten DATAx, die von der Fühlerverstärkerschaltung 6 zugeführt werden. Die Daten DATAB werden den Transfergattern 734 und 735 in der Schaltung 73 eingespeist. Die Schaltung 72 umfasst NAND-Schaltungen 721 bis 725. Die NAND-Operation wird für die Signale SELECT(n) durch das Signal SELB_LATCH(k) in den NAND-Schaltungen 721 bis 724 ausgeführt. Die NAND-Operation wird für das Ergebnis in der NAND-Schaltung 725 ausgeführt, und es wird ein Signal FMATCH(w) erzeugt. Hierbei bezeichnet w eine Wortkennzeichnungszahl in jeder Gruppe, die von 0 bis 3 läuft. Die Schaltung 72 ist in vereinfachter Form dargestellt, wobei beispielsweise ein Signal FMATCH(0) mit Signalen SELB_LATCHB(0), SELB_LATCHB(4), SELB_LATCHB(8) und SELB_LATCHB(12) erzeugt wird. In gleicher Weise wird ein Signal FMATCH(1) mit Signalen SELB_LATCHB(1), SELB_LATCHB(5), SELB_LATCH(9) und SELB_LATCHB(13) erzeugt.
  • Wenn beispielswiese auf das nullte und das erste Wort von dem Anwender zugegriffen wird, sind SELB_LATCHB(0) und SELB_LATCHB(1) tiefpegelig, und es ist eine Gruppe 0 zu programmieren (SELECT(0) ist hochpegelig), die Signale FMATCH(0) und FMATCH(1) sind niederpegelig und die Signale FMATCH(2) und FMATCH(3) sind hochpegelig. Wenn auf das zweite und das dritte Wort von dem Anwender zugegriffen wird, ist das Gatesignal eines Transistors 736 stets auf tiefem Pegel und so angesteuert, dass die Verifizierung positiv ist, unabhängig von den aus der Speicherzelle ausgelesenen Verifizierungsdaten. Dies macht es möglich, dass das nicht ausgewählte Wort in der Gruppe die Verifizierung durchläuft. Es werden 32 Zellen gleichzeitig der Verfizierung und der Programmierung unterzogen, und folglich muss der zuvor genannte erzwungene (erfolgreiche) Verifizierdurchlauf gesteuert werden.
  • Die Schaltung 74 enthält einen PMOS-Transistor 741 und Transfergates 742 bis 745. Das von der Schreibzwischenspeicherschaltung 13 zugeführte PGM(3:0) wird mit den Signalen SELECTB (3:0) bis SELECT (3:0) ausgewählt, und es wird ein Signal DVLOG ausgegeben. Das Signal DVLOG wird in einer NOR-Schaltung 732 der Schaltung 73 eingespeist. Die Schaltung 75 umfasst einen PMOS-Transistor 751 und Transfergates 752 bis 755. Das von der Eingangszwischenspeicherschaltung 11 bereitgestellte Signal PLOAD (3:0) wird von den Signalen SELECTB (3:0) bis SELECT (3:0) ausgewählt, und es wird ein Signal PLDATA ausgegeben. Das Signal PLDATA wird einem Inverter 731 der Schaltung 73 zugeführt.
  • Die Schaltung 73 umfasst den Inverter 731, die NOR-Schaltung 732 und 733, die Transfergates 734 und 735 und den NMOS-Transistor 736.
  • Ein Signal des Ergebnisses der NOR-Operation an dem Signal FMATCH(w) und dem Signal DVLOG in der NOR-Schaltung 732 und ein weiteres Signal des Ergebnisses in der NOR-Schaltung 733 der NOR-Operation des Signals FMATCH(w) und des Ausgangs aus dem Inverter 731, der das Signal PLDATA empfangen hat, werden von dem Signal DATAB ausgewählt. Die ausgewählten Signale steuern das Gate des NMOS-Transistors 736 und es wird ein Signal MATCHx an die Steuerschaltung 18 ausgegeben. Auf diese Weise vergleicht die Komparatorschaltung 17 die in einer Verfizierungsperiode ausgelesenen Daten und die Schreibdaten, und gibt das Vergleichsergebnis als das Signal MATCHX aus. Die Schaltung 73 ist eine verdrahtete ODER-Schaltung und es gibt 32 Bereiche, die von einer gestrichelten Linie umgeben sind und die mit einem Anschluss MATCHX verbunden sind. Wenn eine einzelne Verifizierung negativ ist, wird das Signal MATCHX niederpegelig. Dadurch wird die Programmieroperation erneut ausgeführt. Wenn alle Bits erfolgreich programmiert sind, wird das Signal MATCHX hochpegelig. Die Steuerschaltung 18 erzeugt ein Signal, um die nachfolgende Verfifizierung und Programierung für die Gruppe einzuleiten, die die Verifizierung durchlaufen hat, nach dem Empfang des Signals MATCHX.
  • 8 ist eine Ansicht, in der ein Steuerungsverfahren zum Beschreiben der Mehrpegelspeicherzelle gezeigt ist. 8 enthält die Fühlerverstärkerschaltung 6, Schreibzwischenspeicherschaltungen 13a bis 13d, die Schreibspannungszuführschaltung 14, die Komparatorschaltung 17 und die Steuerschaltung 18. 32 Zellen sind gleichzeitig programmierbar und folglich werden 32 Fühlerverstärkerschaltungen 6, 32 Schreibzwischenspeicherschaltungen 13a bis 13d, 32 Schreibspannungszuführschaltungen 14, 32 Vergleicherschaltungen 17 und 32 Steuerschaltungen 18 vorgesehen. Wenn der Schreibpuls 4 Gruppen vier mal zugeführt wird, wird das Schreibsignal PGM(n) entsprechend der Decodierung (SELECT(n)) ausgewählt, und der Schreibpuls wird sequenziell an die Speicherzelle angelegt.
  • In dieser Konfiguration überträgt die Schreibzwischenspeicherschaltung 13a die Schreibdaten für die erste Gruppe, die eine von vier Gruppen ist, in die die 16 Wörter unterteilt sind, an die Schreibspannungszuführschaltung 14. Die Schreibspannungszuführspannung 14 schreibt die Daten in die Speicherzelle gemäß Schreibdaten PGM(0), die von der Schreibzwischenspeicherschaltung 13a bereitgestellt werden. Als nächstes überträgt die Schreibzwischenspeicherschaltung 13b die zweite Gruppe an Schreibdaten an die Schreibspannungszuführschaltung 14. Die Schreibspannungszuführschaltung 14 schreibt die Daten in die Speicherzelle gemäß einem Schreibdatensignal PGM(1), das von der Schreibzwischenspeicherschaltung 13b geliefert wird. Die Schreibzwischenspeicherschaltung 13c überträgt die dritte Gruppe der Schreibdaten an die Schreibspannungszuführschaltung 14. Die Schreibspannungszuführschaltung 14 schreibt die Daten in die Speicherzelle gemäß einem Schreibdatensignal PGM(2), das von der Schreibzwischenspeicherschaltung 13c geliefert wird. Die Schreibzwischenspeicherschaltung 13d überträgt die vierte Gruppe der Schreibdaten zu der Schreibspannungszuführschaltung 14. Die Schreibspannungszuführschaltung 14 schreibt die Daten in die Speicherzelle gemäß einem Schreibdatensignal PGM(3), das von der Schreibzwischenspeicherschaltung 3d geliefert wird. Für jede Gruppe können gleichzeitig 32 Zellen programmiert werden.
  • 9 ist eine Ansicht, in der ein Aufwärts- bzw. Inkrementzähler für eine Gruppe aus vier Wörtern in dem 16-Wort-Schreibpuffer gezeigt ist, gemäß einem der Merkmale der vorliegenden Erfindung. In 9 bezeichnet das Bezugszeichen 17 die Komparatorschaltung, das Bezugszeichen 18 repräsentiert die Steuerschaltung und das Bezugszeichen 91 repräsentiert ein Schieberegister. 10 ist eine Ansicht eines Beispiels des Schieberegisters, wie es in dem Aufwärtszähler verwendet wird. Wie in 10 gezeigt ist, umfasst das Schieberegister 91 NMOS-Transistor 911 bis 913, einen PMOS-Transistor 914 und Inverter 915 und 918.
  • Das Signal SELECT (3:0) wird sequenziell durch Zuführen eines Signals OUTPUT einer vorhergehenden Schaltung zu einem Signaleingang bzw. INPUT weiter gezählt. Ein Signal CLK taktet gemäß den 8 Steuersignalen, die von der Steuerschaltung 18, die in 8 gezeigt ist, geliefert werden. Das Signal INPUT wird eingespeist, während das Signal CLK hochpegelig ist, und die Daten werden in den Zwischenspeicher geschrieben, der aus den Invertern 915 und 916 aufgebaut ist. Das Signal INPUT wird eingespeist, während ein Signal CLKB hochpegelig ist, und die Daten im Zwischenspeicher, der aus dem Inverter 915 und 916 aufgebaut ist, werden in den Zwischenspeicher geschoben, der aus den Inverter 917 und 918 aufgebaut ist.
  • Es sei wieder auf 9 verwiesen; die Steuerschaltung 18 erzeugt diverse Steuersignale, die den Zähler zugeführt werden, nachdem entsprechende Bestimmungsangaben über „erfolgreich/Fehler", wie dies von der Komparatorschaltung 17 bestimmt wird, empfangen werden. Im Allgemeinen wird das Signal SELECT sequenziell wie folgt erhöht: 0-1-2-3. Hier soll ein Signal SELECT(2) auf „erfolgreich" gesetzt werden (tiefpegelig), und die Gruppe 2 absolviert die nächste Verifizierung erfolgreich, und folglich wird das Signal SELECT als 1-2-4 in der nachfolgenden Verifizierung und Programmierung erhöht. Dabei wird die Eingabe 1-3 in das Schieberegister bei einem Signal SELECT(3) anstelle der Eingabe 2-3 eingespeist.
  • Ferner absolviert die Gruppe 1 die nächste Verifizierung und das Signal SELECT(1) wird auf erfolgreich (tiefpegelig) festgelegt, so dass das Signal SELECT 0-3 in der nachfolgenden Verifizierung und Programmierung inkrementiert wird. Dieses mal wird die Eingabe 0-3 in das Schieberegister mit dem Signal SELECT(3) anstelle der Eingabe 1-3 eingespeist. Ferner geht die Gruppe 0 in die nächste Verfifizierung über, wobei das Signal SELECT(0) „erfolgreich" anzeigt (niederpegelig), und es wird lediglich die Gruppe 4 in der nächsten Verifizierung und Programmierung ausgeführt, und das Schieberegister wird nicht inkrementiert.
  • Auf diese Weise erzeugt die Steuerschaltung 18 das Signal, um zur nächsten Verifizierung und Programmierung für die Gruppe weiterzugehen, die die Verifizierung erfolgreich durchlaufen hat, nachdem eine vorgegebene Gruppe der Verifizierung abgeschlossen ist. Es ist möglich, die Verfizierung und Programmierung einer nicht notwendigen 4-Wort-Gruppe zu vermeiden. Dies ermöglicht es, die Schreibgeschwindigkeit für jedes Wort deutlich zu erhöhen. In diesem Falle kennzeichnet das Signal aus vier Pulsen einen Befehl, dass alle vier Gruppen zu verifizieren und zu programmieren sind, und das Signal aus drei Pulsen bezeichnet den Befehl, dass lediglich drei Gruppen zu verifizieren und programmieren sind. Durch Kombinieren der zuvor beschriebenen Steuersignale und des Signals, das angibt, welche 4-Wort-Gruppe die Verifizierung durchlaufen hat, kann die Inkrementierung des zuvor genannten Zählers realisiert werden.
  • Als nächstes wird die Gesamtfunktion des Schreibpuffers beschrieben. 11 ist ein Zeitablaufdiagramm der Gesamtfunktion des Schreibpuffers. Das Signal DLOADB wird in der Anfangsphase der Programmieraktion tiefpegelig, und die Anwendereingangsdaten werden zu der Eingangszwischenspeicherschaltung 11 aus dem Eingangspuffer 2 übertragen. Die Signale MATCH1B und MATCH2B sind beide hochpegelig, und es wird PGM2ND an den Anwendereingangsdaten (0,1), (1,0), (0,0) ausgeführt. Die Verifizierung aller Zellen wird in PGM2ND durchlaufen, ein Signal PASS_ALL(MATCHX) wird hochpegelig, und das Signal MATCH1B wird tiefpegelig.
  • Das Signal MATCH1B ist auf tiefem Pegel und das Signal MATCH2B ist auf hohem Pegel, und es wird PGM3RD (1,0) oder (0,0) der Anwendereingangsdaten ausgeführt. Die Verifizierung aller Zellen wird in PGM3RD durchlaufen, und das Signal PASS_ALL geht auf hohen Pegel, und das Signal MATCH2B wird tiefpegelig. Die Signale MATCH1B und MATCH2B sind auf tiefem Pegel und es wird daher PGM4TH an den Anwendereingangsdaten (0,0) ausgeführt. PGM4TH ist abgeschlossen und ein Puls DONE geht auf hohen Pegel und beendet den Prozess.
  • 12 ist ein Zeitablaufdiagramm des Verifizierens aller Gruppen. Die Verifizierung und Programmierung werden abwechselnd auf Grundlage mehrerer Gruppen im Ablauf PGM2ND ausgeführt. Die Steuerschaltung 18 erhöht sequenziell das Signal SELECT(3:0), um jede Gruppe zu verifizieren. Die Steuerschaltung 18 erhöht sequenziell das Signal SELECT (3:0), erzeugt einen Schreibpuls PGMPULSE(3:0) für jede Gruppe in der Schreibspannungszuführschaltung 14 und schreibt die Daten in die Speicherzelle. Das Verifizieren und das Programmieren werden auf Grundlage mehrerer Gruppen für eine vorgegebene Anzahl an Durchläufen wiederholt.
  • Die Verifizierung aller Zellen wird in PGM2ND durchlaufen, das Signal PASS ALL geht auf hohen Pegel und wird zu PGM3RD weitergeleitet. Hier wird gemäß dem Signal mit vier Pulsen die Verifizierung und Programmierung an allen vier Gruppen ausgeführt.
  • 13 ist ein Zeitablaufdiagramm, in welchem die Gruppe, die die Verifizierung erfolgreich durchlaufen hat, betrachtet wird. Die Verifizierung und das Programmieren werden abwechselnd auf der Grundlage mehrerer Gruppen in PGM2ND durchlaufen. Die Steuerschaltung 18 erhöht sequenziell das Signal SELECT(3:0) und verifiziert jede Gruppe. Die Steuerschaltung 18 inkrementiert sequenziell das Signal SELECT(3:0), erzeugt den Schreibpuls PGMPULSE(3:0) für jede Gruppe in der Schreibspannungszuführschaltung 14 und schreibt die Daten in die Speicherzelle.
  • Im Allgemeinen wird das Signal SELECT sequenziell in Form von 0-1-2-3 inkrementiert. Wenn hier die Gruppe 1 die erste Verifizierung erfolgreich durchläuft, wird das Signal SELECT(1) auf „erfolgreich" (tieferen Pegel) gesetzt, das Signal SELECT wird als 0-2-3 in der nachfolgenden Verifizierung und Programmierung inkrementiert. Dabei wird die Eingabe 0-2 in das Schieberegister beim Signal SELECT(2) anstelle der Eingabe 1-2 eingespeist. Wenn ferner die Gruppe 3 die erste Verifizierung erfolgreich durchläuft, wird das Signal SELECT(3) auf „erfolgreich" (niedrigen Pegel) gesetzt und das Signal SELECT wird als 0-2 in der nachfolgenden Verifizierung und Programierung inkrementiert.
  • Auf diese Weise werden alle vier Gruppen durch das Signal mit den vier Pulsen in der ersten Verifizierung verifiziert. Wenn die Gruppe 1 die erste Verifizierung absolviert, werden die drei Gruppen durch das Signal mit drei Pulsen in der nächsten Verifizierung verifiziert. Wenn die Gruppe 3 die nachfolgende Verifizierung erfolgreich durchläuft, werden die zwei Gruppen durch das Signal mit zwei Pulsen in der nächsten Verifizierung verifiziert.
  • Die vorliegende Schaltung ist in der Lage, eine unnötige Verifizierung und Programmierung für die 4-Wort-Gruppe zu vermeiden. Dies erhöht die Programmiergeschwindigkeit auf Basis einzelner Wörter beträchtlich. Gemäß den Ausführungsformen ist es möglich, die Schreibpufferschaltung mit einem Schreibverfahren bereitzustellen, das speziell für den Mehrpegelspeicher ist, wobei die Schreibdauer auf Wortbasis deutlich reuduziert wird. Die Schreibzwischenspeicherschaltung 13 entspricht einer ersten Latch- bzw. Zwischenspeicherschaltung, die Eingangszwischenspeicherschaltung 11 entspricht einer zweiten Zwischenspeicherschaltung, die Schreibspannungszuführschaltung 14 entspricht einer Schreibschaltung und die Komparatorschaltung 17 entspricht einer Bestimmungsschaltung.
  • Obwohl einige bevorzugte Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung gezeigt und beschrieben sind, sollte der Fachmann beachten, dass Änderungen an diesen Ausführungsformen durchgeführt werden können, ohne von den Prinzipien und dem Grundgedanken der Erfindung abzuweichen, deren Schutzbereich durch die Patentansprüche und ihre Äquivalente definiert ist. In den zuvor genannten Ausführungsformen wurde die Mehrpegelspeicherzelle mit 2 Bits als Beispiel beschrieben. Jedoch ist die vorliegende Erfindung nicht darauf eingeschränkt.
  • Zusammenfassung
  • Ein Halbleiterbauelement weist ein Speicherarray auf mit: einer Mehrpegelspeicherzelle mit mehreren unterschiedlichen Schwellwerten, einer ersten Zwischenspeicherschaltung, die Information aus mehreren Wörtern einer Eingangsinformation speichert, einer zweiten Zwischenspeicherschaltung, die Schreibinformation speichert, in die die Information in mehreren Wörtern der Eingangsinformation entsprechend jedem Pegel der Mehrpegelspeicherzelle umgewandelt wird, einer Schreibschaltung, die Information in die Mehrpegelspeicherzelle auf Grundlage einer einzelnen Gruppe entsprechend der Anzahl der gleichzeitig programmierbaren Speicherzellen gemäß der Schreibinformation schreibt, und einer Steuerschaltung, die das Programmierern des Speicherzellenarrays steuert. Die Information wird gleichzeitig in Form von Gruppen, in die die Mehrworteingangsinformation unterteilt wird, programmiert, wodurch es möglich ist, eine Programmierdauer auf Basis einzelner Wörter deutlich zu verkürzen. Die Programmierdauer verlängert sich nicht, selbst wenn das Programmieren und das Verifizieren einige Male bei der Programmierung der Mehrpegelspeicherzelle wiederholt werden.

Claims (16)

  1. Halbleiterbauelement mit: einer ersten Zwischenspeicherschaltung, die Schreibinformation aus mehreren Wörtern speichert, in die eine Mehrworteingangsinformation auf der Grundlage von Pegeln einer Mehrpegelspeicherzelle umgewandelt wird; und einer Schreibschaltung, die die Schreibinformation aus mehreren Wörtern auf Grundlage einzelner Gruppen schreibt, wobei eine einzelne Gruppe mehreren gleichzeitig programmierbaren Speicherzellen zugeordnet ist.
  2. Halbleiterbauelement nach Anspruch 1, das ferner eine zweite Zwischenspeicherschaltung umfasst, die die Mehrworteingangsinformation in die Schreibinformation aus mehreren Wörtern umwandelt und die so gewonnene Schreibinformation der ersten Zwischenspeicherschaltung zuführt.
  3. Halbleiterbauelement nach Anspruch 1 oder 2, wobei die erste Zwischenspeicherschaltung die Schreibinformation der Schreibschaltung auf Grundlage einzelner Gruppen zuführt.
  4. Halbleiterbauelement nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei die erste Zwischenspeicherschaltung Schaltungen umfasst, deren Anzahl gleich ist der Anzahl der Schaltungen, die die zweite Zwischenspeicherschaltung bilden, und deren Anzahl größer ist als die Anzahl von Schaltungen, die die Schreibschaltung bilden.
  5. Halbleiterbauelement nach einem der Ansprüche 1 bis 4, das ferner eine Steuerschaltung aufweist, die ein Signal erzeugt, das eine Verifizierung und Programmierung auf der Grundlage einzelner Gruppen anweist.
  6. Halbleiterbauelement nach einem der Ansprüche 1 bis 4, das ferner eine Steuerschaltung aufweist, die ein Signal für eine wiederholte Verifizierung und Programmierung auf Grundlage mehrerer Gruppen erzeugt.
  7. Halbleiterbauelement nach Anspruch 5 oder 6, das ferner umfasst: eine Bestimmungsschaltung, die bestimmt, ob eine Verifizierung für eine Gruppe erfolgreich ist, wobei die Steuerschaltung die Verifizierung und Programmierung für eine Gruppe, für die die Verifizierung erfolgreich ist, beendet.
  8. Halbleiterbauelement nach einem der Ansprüche 1 bis 7, das ferner eine Steuerschaltung aufweist, die ein Signal erzeugt, das einer Verifizierung für ein Wort entspricht, das in einer Gruppe nicht ausgewählt ist.
  9. Halbleiterbauelement nach einem der Ansprüche 1 bis 8, das ferner eine Steuerschaltung aufweist, wobei, wenn die Speicherzelle ausreichend auf einen ersten Pegel programmiert ist, die Steuerschaltung ein Signal erzeugt, das angibt, dass die Speicherzelle auf einen zweiten Pegel zu programmieren ist.
  10. Halbleiterbauelement nach einem der Ansprüche 1 bis 9, wobei das Halbleiterbauelement ein Halbleiterspeicherbauelement ist.
  11. Verfahren mit den Schritten: Umwandeln einer Mehrworteingangsinformation in eine Schreibinformation aus Wörtern auf der Grundlage von Pegeln einer Mehrpegelspeicherzelle; und Schreiben der Schreibinformation aus mehreren Wörtern auf Grundlage einzelner Gruppen, wobei eine einzelne Gruppe mehreren gleichzeitig programmierbaren Speicherzellen zugeordnet ist.
  12. Verfahren nach Anspruch 11, das ferner das wiederholte Ausführen der Verifizierung und Programmierung auf Grundlage einzelner Gruppen umfasst.
  13. Verfahren nach Anspruch 11, das ferner wiederholtes Ausführen der Verifizierung auf Grundlage mehrerer Gruppen umfasst.
  14. Verfahren nach einem der Ansprüche 11 bis 13, das ferner die Schritte umfasst: Bestimmen, ob eine Verifizierung für eine Gruppe erfolgreich ist; und Beenden des Verifizierens und Programmierens für die Gruppe, für die die Verifizierung erfolgreich ist.
  15. Verfahren nach einem der Ansprüche 11 bis 14, das ferner Verifizierung eines Worts, das in einer Gruppe nicht ausgewählt ist, umfasst.
  16. Verfahren nach einem der Ansprüche 11 bis 15, das ferner umfasst: wenn die Speicherzelle auf einen ersten Pegel ausreichend programmiert ist, Erzeugen eines Signals, das anweist, dass die Speicherzelle auf einen zweiten Pegel zu programmieren ist.
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