DE1109400B - Mikroskoptisch, insbesondere zur Vermessung von Kernspuren - Google Patents

Description

• Mikroskoptisch, insbesondere zur Vermessung von Kernspuren Der Gegenstand der Erfindung betrifft einen Mikroskoptisch für hohe Anforderungen an Genauigkeit, insbesondere zur Vermessung von Kernspuren, der ein schnelles und genaues Spannen und Entspannen des Objektes zuläßt und mit dem sowohl eine Drehung des Objektes um die optische Achse des Abbildungsstrahlenganges als auch eine geradlinige Bewegung des Objektes durchführbar ist.
• Es sind an sich Mikroskoptische bekannt, mit denen sowohl eine Drehung als auch eine translatorische Verschiebung des Objektes nach zwei zueinander senkrechten Richtungen vorgenommen werden kann. Bei diesen Anordnungen ist jedoch nach Einspannen des Objektes die Lage des Kreuztisches zum Objekt festgelegt, also nicht mehr veränderlich.
• Demgegenüber unterscheidet sich die erfindungsgemäße Anordnung dadurch, daß die beiden Achsen des Kreuztisches jederzeit in beliebiger Richtung zu der Probe orientiert werden können.
• Auf diese Weise ist es besonders einfach möglich, senkrechte Abweichungen von einer in erster Näherung in gerader Richtung verlaufenden Kernspur festzustellen.
• Der Vorgang ist also folgender: Mittels des Drehsystems wird die Probe zunächst so orientiert, daß eine Achse des Kreuztisches parallel zu der angenähert geradlinigen Kernspur in der Probe verläuft. Die zweite Achse des Kreuztisches dient dann dazu, die Spur in die Mitte des Sehfeldes zu stellen bzw. sagittale (senkrechte) Abweichungen von dieser Spur zu messen.
• Es ist weiterhin bekannt, daß Gleittische grundsätzlich eine Verschiebung der Proben in beliebiger Richtung zulassen. Diese Tische haben jedoch den Nachteil, daß sie bei der Anwendung hoher Vergrößerungen, wie sie bei der erfindungsgemäßen Anordnung verwendet werden (etwa 1200fach), bei der mit Hand vorgenommenen Verschiebung keine sichere Ausrichtung zulassen. Es besteht bei solchen Gleittischen die Gefahr, daß man die Probe häufig über die gewünschte Stelle hinaus verschiebt und dann wieder in entgegengesetzter Richtung das Ziel zu erreichen versucht. Es ist zwar bekannt, auch bei Gleittischen eine Schraube zum Verschieben der Probe anzuwenden; mit einer solchen ist jedoch eine mit einem Kreuztisch erreichbare Präzision nicht zu erzielen.
• Diese Nachteile werden gemäß der Erfindung dadurch beseitigt, daß einer den Objektträger tragenden ferromagnetischen Spannplatte zwei Elektromagnetsysteme zugeordnet sind, von denen das eine ringförmig und koaxial zum Mikroskopobjektiv meßbar drehbar angeordnet ist, während das andere an dem Mikroskopkreuztisch befestigt und die Anordnung so getroffen ist, daß wahlweise das eine oder andere Magnetsystem zum Spannen benutzbar ist.
• Da immer nur ein Magnetsystem in Wirkung sein darf, muß dafür Sorge getragen werden, daß der remanente Magnetismus des anderen vorher eingeschaltet gewesenen Magnetsystems beseitigt wird. Andernfalls würden zu starke Widerstände bei Bewegung der Spannplatte zu überwinden sein. Hierfür sind Mittel bekannter Art vorgesehen, die bei Einschaltung des einen Elektromagnetsystems das andere Elektromagnetsystem entmagnetisieren.
• Eine vorteilhafte Ausführung ergibt sich, wenn einer der Spannmagnete an vorzugsweise kurzhübigen Blattfedern befestigt ist, die diesen Magneten im entmagnetisierten Zustand von der Spannplatte leicht abheben, wodurch das Reibungsmoment zwischen dem Spannmagneten und der Spannplatte beseitigt wird.
• Zur Herabsetzung des Gewichtes der mit höchster Präzision geführten Spannplatte und aus Gründen der besseren Entmagnetisierung hat es sich als besonders vorteilhaft erwiesen, wenn die Spannplatte aus leichtem und unmagnetischem Material mit ein- oder beidseitiger ferromagnetischer Auflage besteht.
• Ein Ausführungsbeispiel des Gegenstandes der Erfindung ist in der Zeichnung teilweise im Längsschnitt dargestellt.
• Koaxial zu dem Objektiv 1, dem Kondensor 2 und dem Okular 3 eines Kernspurmikroskops ist ein Radial-Kugellager 4 angeordnet, an dessen innerem Ring mittels Blattfedern 5 ein ringförmiges Magnetsystem 6 befestigt ist. Innerhalb dieses Magnetsystems befindet sich ein zweites Magnetsystem 7, welches mit einem Träger 8 fest verbunden und mittels Rollen 9 auf dem Mikroskoptisch 10 geradlinig verschiebbar ist.
• Diese beiden Magnetsysteme 6 und 7 sind wahlweise einschaltbar und wirken auf eine als Träger eines zu betrachtenden Objektes 11 dienenden Spannplatte 12, die auf der unteren Seite mit einer ferromagnetischen Auflage 13 versehen ist. Soll eine Drehung des auf der Spannplatte 12 befestigten Objektes 11 vorgenommen werden, was bei einer Richtungsänderung der zu vermessenden Kernspur erforderlich ist, so wird das vom Radiallager 4 geführte Magnetsystem 6 eingeschaltet. Infolge des dadurch entstehenden magnetischen Feldes und der Aufhängung dieses Magnetsystems mittels der Bandfedern 5 schnellt dieses von unten gegen die Spannplatte 12 (13) und zwischen letzterer und diesem Magnetsystem 6 ist solange eine feste Kupplung hergestellt, wie der Strom eingeschaltet bleibt. Durch Drehen dieses Magnetsystems 6 kann nun das Objekt 11 um die optische Achse des Mikroskopes um jeden beliebigen Winkel in die gewünschte Lage gedreht und das Maß der Drehung an einer nicht mit dargestellten Skala direkt oder im Gesichtsfeld des Okulars 3 abgelesen werden.
• Soll nun anschließend die Kernspur in ihrer neuen Richtung verfolgt und ausgemessen werden, so muß das andere Magnetsystem 7 eingeschaltet werden. Dabei wird das bisher eingeschaltet gewesene Magnetsystem 6 durch Schaltmittel bekannter Art ausgeschaltet und nach einem kurzen Entmagnetisierungsstrom schnellt dieses bisher benutzte Magnetsystem 6 infolge der Blattfeder 5 in die in der Skizze mit übertriebenem Abstand von der Spannplatte dargestellten Ausgangslage zurück. Nunmehr ist das andere Magnetsystem 7 fest mit der Spannplatte 12 (13) gekuppelt und durch Verschieben des Trägers 8 auf dem Mikroskoptisch 10 mit einer in der Fig. 1 nicht mit dargestellten Mikrometerschraube am Kreuztisch ist das Objekt 11 geradlinig im Gesichtsfeld des Mikroskopes verschiebbar.
• Es sei noch darauf hingewiesen, daß die Probe stets auf dem System 7 aufliegt, so daß ein fester Abstand zwischen Objektiv und Probe während der Messung erhalten bleibt. Bei Betätigung des Systems 6 wird dann die Probe auf dem System 7 verschoben.

Claims (4)

1. PATENTANSPRÜCHE: 1. Mikroskoptisch, insbesondere zur Vermessung von Kernspuren, dadurch gekennzeichnet, daß einer den Objektträger tragenden ferromagnetischen Spannplatte zwei Elektromagnetsysteme zugeordnet sind, von denen das eine ringförmig und koaxial zum Mikroskopobjektiv meßbar drehbar angeordnet ist, während das andere an dem Mikroskopkreuztisch befestigt und die Anordnung so getroffen ist, daß wahlweise das eine oder andere Magnetsystem zum Spannen benutzbar ist.
2. 2. Mikroskoptisch nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß Mittel bekannter Art vorgesehen sind, die bei Einschaltung des einen Elektromagnetsystems das andere Magnetsystem entmagnetisieren.
3. 3. Mikroskoptisch nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß einer der Spannmagneten an vorzugsweise kurzhübigen Blattfedern befestigt ist, die diesen Magneten im entmagnetisierten Zustand von der Spannplatte leicht abheben.
4. 4. Mikroskoptisch nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Spannplatte aus leichtem und unmagnetischem Material mit ein- oder beidseitiger ferromagnetischer Auflage besteht. In Betracht gezogene Druckschriften: Deutsche Patentschriften Nr. 815 704, 642 598; deutsches Gebrauchsmuster Nr. 1706 671; USA.-Patentschriften Nr. 2 003 387, 1505 418; britische Patentschrift Nr. 591163; französische Patentschrift Nr. 769 456; Prospekte d. Fa. Carl Zeiss, Oberkochen/Württ., 40-451-d, Scho. XII/5600, S. 6, Abs. 9, und 40-110-e, W VIII/57 Aoo, S. 6 und 7; Prospekt d. Fa. Spencer, Am. optical Comp. Sci. Instr. Div., Buffalo 15, New York M 66-846.