[go: up one dir, main page]

DE1101015B - Interferometer - Google Patents

Interferometer

Info

Publication number
DE1101015B
DE1101015B DEZ5979A DEZ0005979A DE1101015B DE 1101015 B DE1101015 B DE 1101015B DE Z5979 A DEZ5979 A DE Z5979A DE Z0005979 A DEZ0005979 A DE Z0005979A DE 1101015 B DE1101015 B DE 1101015B
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
plate
interferometer
housing
interference fringes
pin
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
DEZ5979A
Other languages
English (en)
Inventor
Dr Phil Walter Kinder
Dr-Ing Gerhard Schwesinger
Dr-Ing Gustav Zieher
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Carl Zeiss SMT GmbH
Original Assignee
Carl Zeiss SMT GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Carl Zeiss SMT GmbH filed Critical Carl Zeiss SMT GmbH
Priority to DEZ5979A priority Critical patent/DE1101015B/de
Publication of DE1101015B publication Critical patent/DE1101015B/de
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/41Refractivity; Phase-affecting properties, e.g. optical path length
    • G01N21/45Refractivity; Phase-affecting properties, e.g. optical path length using interferometric methods; using Schlieren methods

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)

Description

  • Interferometer Die Erfindung betrifft ein Interferometer, insbesondere ein Interferometer, wie es zu Meßzwecken z. B. als Laboratoriumsinterferometer, Grubengasinterfere meter od. dgl. bekannt ist. Bekanntlich sind Idiese Interferometer sehr empfindlich gegen von außen auf sie einwirkende mechanische Kräfte, weil Verbiegungen des Gehäuses o,dler ein auf das Gehäuse ausgeübter Druck, gegebenenfalls auch Temperaturänderungen, sich auf den Interferenzstrahlengang auswirken. Dies macht sich gewöhnlich in einer Auswanderung der Interferenzstreifen bemerkbar, so daß die Ausgangslage tder Interferenzstreifen nicht mehr justiert ist undldie Messung verfälscht wird.
  • Es wurde erkannt, daß diese Nachteile deshalb auftreten, weil die die Inferferenzstreifen erzseugenden Teile bei den bekannten Interferometern mit dem Gehäuse des Interferometers fest verbunden .sind und deshalb bei Formänderungen indes Gehäuses ihre Lage zueinander ändern. Bei einem bekannten Interferometer sind die die Interferenzstreifen erzeugenden Teile auf einer gemeinsamen, mit dem Interferometergehäuse nachgiebig verbundenen Platte angeordnet, wobei tdie Füße der Platte an Gummimeinbranen befestigt sind, die ihrerseits wieder mit dem Gehäuse verbunden sind. Durch diese Ausbildung soll eine direkte Stoßübertragung vom Gehäuse auf die optischen Teile verhindert werten. Ein Nachteil dieses bekannten Interferometers ist aber, daß es zu Eigenschwingungen neigt.
  • Bei dem erfindungsgemäßen Interferometer ist die Platte, die die Interferenzstreifen erzeugen,den Teile trägt, an zwei Punkten mit dem Gehäuse fest verbunden und an einer dritten Stelle lose auf einen im Gehäuse befestigten Stift aufgelegt. Bei einer derartigen Ausführung werden Formänderungen z. B. durch Verwindungen oder Verbiegungen des Gehäuses nicht mehr auf Idie die optischen Teile tragende Platte übertragen, und der Strahlengang bleibt justiert.
  • Die Vorteile der ,erfindungsgemäßen Ausbildung äußern sich insbesondere bei der konstruktiven Durchbildung eines tragbaren Gerätes, das vom Steiger vor Ort meist unter ungünstigen Verhältnissen benutzt wird. Ein derartiges Gerät muß leicht sein und handliche Formen (kleinstmögliche D,imensionen) aufweisen, trotzdem aber {darf die Genaui,gkeit Ider Messungen nicht leiden. Da das Gerät beim Meßvorgang meist in der Hand gehalten wird, spielen Wärmeeinflüsse bereits eine Rolle hinsichtlich der Meßfehler Vor allem aber kommt Nes in noch stärkerem Maße auf die Verwindungsunempfindlichkeit an.
  • Die »Be£estifgung« ,der Montageplatte für die Spiegel usw. auf einer Grundplatte mittels der Gummipuffer bei der bekannten Anordnung gibt .insbesondere bei tragbaren Geräten in bedenklichem Maße Anlaß zu Schwingungen, die auf IGrund der erfindungsgemäß einseitig festen Montage mittels zweier relativ eng zueinander angeordneter Befestigungsstellen und einer auf der anderen Seite lose aufgelegten, frei nachgiebigen Auflagestelle vermieden sind. In jedem Falle werden auf diese Weise auch die so sehr nachteiligen Verwindungen der Grundplatte und ihre Übertragung auf die Montageplatte bei kleindimensionalen tragbaren Geräten vermieden.
  • Vorteilhaft liegt der Stift in einer Längsausnehmung der Platte, und eine Feder drückt die Platte gegen den Stift.
  • Zweckmäßig hat,die Platte U-förmEiEgten Querschnitt, um ihr eine größere Steifigkeit zu geben.
  • In der Zeichnung ist ein Ausführungsbeispiel des Erfindungsgegenstandes dargestellt, und zwar zeigt Fig. 1 ein Grubengasinterferometer im Längsschnitt, Fig. 2 einen Schnitt nach der Linie II-II der Fig. 1, Fig. 3 einen Schnitt nach der Linie III-III der Ftig. 1, Fig. 3 a Idas Gesichtsfeld des Interferometers nach Fig. 1.
  • Die von einer Lichtquelle 1 ausgehenden Lichtstrahlein 7 werden durch Linsen 2, 3 parallel gerichtet und unter Umlenkung an einem Spiegel 4 lin ein Prisma 5 gelenkt (Fig.3). Das Prisma 5 weist eine teiLdurchlässige Spiegelschicht 6 auf, welche die von der Lichtquelle kommenden Lichtstrahlen in die Anteile 7' und 7" teilt. Beide Anteile verlassen nach Reflexion an Außenflächen 8 und 9 das Prisma 5 in paralleler Richtung. Der Lichtstrahl 7' ,durchsetzt nunmehr Udie Kammer 10 einer Küvette, welche mit einem zu untersuchenden Gas gefüllt list. Der Lichtstrahl 7" durch setzt eine Kammer 11 mit einem Vergleichsgas, z.B.
  • Luft. Der Lichtstrahl 7' wird an einem Spiegel 12 reflektiert und der Lichtstrahl 7" an einem Spiegel 13.
  • Die Lichtstrahlen7' und 7" durchsetzen erneut die Kammern und treffen in der halbdurchlässigen Spie-Uelschicht 6 wieder zusammen, wobei sie interferieren.
  • Die entstehenden Interferenzstreifen werden durch eine Objektivlinse 14, einen Umlenkspiegel 15 auf eine Glasplatte 16 geworfen, welche in der Brennebene Ides Objektiys 14 angeordnet ist. Die Glasplatte 16 weist eine Skala 17 auf (Fig.3a), auf der die Auswanderung des Null-Streifens 18 der erzeugten Interferenzstreifen abgelesen werden kann. Die Auswanderung der Interferenzstreifen ist ein Maß für die Brechzahl des in Idie KammerlO eingefüllten Gases. Die Interferenzstreifen und die Skala werden durch ein Okulag 19 betrachtet.
  • Wie aus Fig. 1 zu erkennen ist, sind die optischen Teile 5, 12 und 13 in justierter Lage auf einer Platte 20 befestigt. Desgleichen können die Küvetten 10 und 11 auf dieser Platte angeordnet sein. Die Platte 20 ist über A;bstandsstücke21 mit einem Gehäuse 22 fest verbunden. Das Gehäuse 22 weist einen Stift 23 auf, welcher in einer Längsnut24 der Platte 20 liegt. Die Platte 20 weist einen Durchbruch 25 auf, durch den eine Feder 26 greift, welche die Platte 20 auf den Stift 23 drückt. Damit,di,e Platte 20 größere Steifigkeit erhält, hat sie, wie aus der Fig. 2 zu erkennen ist, U-förmilgen Querschnitt.
  • Wirken auf das Gehäuse22 äußere Kräfte, welche eine Verbiegung oder Verdrehung des Gehäuses 22 bewirken, dann teilt sich diese Formänderung dem rechten Ende der Platte 20 mit, jedoch ändert die Platte 20, da sie an ihrem linken Ende auf dem Stift -23 lose gelagert ist, ihre Form nicht, so daß insbe- sondere die optischen Teile 5, 12 und 13 ihre relative Lage zueinander beibehalten und Dejustilerungen, welche sich durch ein Auswandern der Interferenzstreifen längs der Skala 17 bemerkbar machen würden, nicht auftreten.
  • Selbstverständlich könnten auch die zur Bel,euchtungseinrichtung gehörenden Teiler, 2, 3, 4 mit auf der Platte 20 angeordnet sein, lebenso die Beobachtungseinrichtung 14, 15, 16, 19, jedoch bewirken Lageänderungen dieser Teile kein Auswandern der Interferenzstreifen.
  • PATENTANSPRtJCHE 1. Interferometer, bei dem die die Interferenzstreifen erzeugenden Teile auf einer gemeinsamen, nachgiebig mit dem Interferometergehäuse verbundenen Platte angeordnet sind, dadurch gekenn zeichnet, daß die Platte an zwei Punkten mit dem Gehäuse fest verbunden ist und an einer dritten Stelle lose auf einem Stift liegt.

Claims (1)

  1. 2. Interferometer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Stift in einer Längsausnehmung der Platte liegt.
    3. Interferometer nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß eine Feder die Platte auf den Stift drückt.
    4. Interferometer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Platte -U-förmigen Querschnitt hat.
    In Betracht gezogene Druckschriften: Deutsche Patentschrift Nr. 818 877; USA.-Patentschrift Nr. 2 285 515.
DEZ5979A 1957-02-09 1957-02-09 Interferometer Pending DE1101015B (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DEZ5979A DE1101015B (de) 1957-02-09 1957-02-09 Interferometer

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DEZ5979A DE1101015B (de) 1957-02-09 1957-02-09 Interferometer

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE1101015B true DE1101015B (de) 1961-03-02

Family

ID=7619612

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DEZ5979A Pending DE1101015B (de) 1957-02-09 1957-02-09 Interferometer

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE1101015B (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4157802A (en) * 1977-07-15 1979-06-12 Burleigh Instruments, Inc. Rigid thermally stable structure for supporting precision devices

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2285515A (en) * 1937-10-21 1942-06-09 Bendix Aviat Corp Light dividing apparatus
DE818877C (de) * 1949-01-01 1951-11-15 Lutz G M B H Optisches Mehrplatten-Interferometer

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2285515A (en) * 1937-10-21 1942-06-09 Bendix Aviat Corp Light dividing apparatus
DE818877C (de) * 1949-01-01 1951-11-15 Lutz G M B H Optisches Mehrplatten-Interferometer

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4157802A (en) * 1977-07-15 1979-06-12 Burleigh Instruments, Inc. Rigid thermally stable structure for supporting precision devices

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US1736682A (en) Optical lever
DE1101015B (de) Interferometer
DE491906C (de) Basis-Entfernungsmesser fuer kleine Entfernungen
US1637024A (en) Lens measure
DE440898C (de) Optisches Messgeraet
DE2045196B2 (de) Durchfluss-differentialrefraktormeter als detektor fuer die fluessigkeits-chromatographie
AT201316B (de) Polarisationsinterferometer
DE909046C (de) Basis-Entfernungsmesser
DE854268C (de) Messwertablesevorrichtung, insbesondere fuer Torsionskraftmesser
AT162545B (de) Vorrichtung zum Messen der Härte kleiner Körper
AT93858B (de) Einrichtung zur Messung des bei zylindrischen oder parallelflächigen Passungen vorhandenen Größenunterschiedes der miteinander zu vergleichenden Abmessungen zweier Körper.
DE935094C (de) Gasanzeiger, insbesondere zur Verwendung in Grubenschaechten
DD230928A1 (de) Nivellierinstrument mit einem fernrohr
DE616562C (de) Optisches Basisinstrument zum Messen von Winkeln, insbesondere optischer Basisentfernungsmesser
AT150468B (de) Meßvorrichtung zur Ermittlung der lichten Weite langgestreckter Hohlräume, insbesondere von Schußwaffenbohrungen.
DE731304C (de) Mechanische Schwingungsmesser
DE516803C (de) Einrichtung zur Erzeugung von Doppelbildern in Fernrohren fuer Verwendung bei Entfernungsmessern mit Basis am Ziel
DE936238C (de) Vorrichtung zum Messen der Parallelverschiebung der Ziellinie bei optischen Geraeten
DE1114340B (de) Zweistrahlinterferometer zu Messzwecken
DE721512C (de) Neigungsmesser fuer Schiffe
CH326996A (de) Optischer Feinzeiger
DE341324C (de) Feldmessnivellierinstrument
DE682419C (de) Dehnungsmesser
CH346708A (de) Fluchtungs- und Richtungsprüfgerät
DE1289664B (de) Ophthalmometer