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DE1114340B - Zweistrahlinterferometer zu Messzwecken - Google Patents

Zweistrahlinterferometer zu Messzwecken

Info

Publication number
DE1114340B
DE1114340B DEZ5020A DEZ0005020A DE1114340B DE 1114340 B DE1114340 B DE 1114340B DE Z5020 A DEZ5020 A DE Z5020A DE Z0005020 A DEZ0005020 A DE Z0005020A DE 1114340 B DE1114340 B DE 1114340B
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
partial
interferometer
interferometer according
reflections
phase shift
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
DEZ5020A
Other languages
English (en)
Inventor
Dr-Ing Kurt Raentsch
Dr Phil Walter Kinder
Dr Rer Nat Hugo Anders
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Carl Zeiss SMT GmbH
Original Assignee
Carl Zeiss SMT GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Carl Zeiss SMT GmbH filed Critical Carl Zeiss SMT GmbH
Priority to DEZ5020A priority Critical patent/DE1114340B/de
Publication of DE1114340B publication Critical patent/DE1114340B/de
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/41Refractivity; Phase-affecting properties, e.g. optical path length
    • G01N21/45Refractivity; Phase-affecting properties, e.g. optical path length using interferometric methods; using Schlieren methods

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)

Description

  • Zweistrahlinterferometer zu Meßzwecken Die Erfindung betrifft ein Zweistrahlinterferometer zu Meßzwecken, beispielsweise zur Bestimmung der Brechzahl eines Gases, in dessen einem Strahl die zu untersuchende Probe und in dessen anderem Strahl ein Vergleichsmedium angeordnet ist und bei dem der Meßwert mittels Interferenzstreifenauswanderung ermittelt wird. Die Auswanderung der Interferenzstreifen wird bekanntlich durch Beobachtung eines markanten Streifens des Interferenzstreifensystems ermittelt und diese Auswanderung auf einer Skala oder mit Hilfe eines Kompensators abgelesen. Bei den bekannten Interferometern dieser Art wird, um den Streifen 0. Ordnung gegenüber dem anderen Streifen zu unterscheiden, weißes Licht verwendet. Dabei erscheint der Interferenzstreifen 0. Ordnung als breiter weißer, rechts und links von zwei dunklen Strichen berandeter Streifen im Gesichtsfeld. Mit dem breiten weißen Streifen lassen sich nun schlecht Ablesungen durchführen, deshalb wird zur Ablesung gewöhnlich einer der beiden genannten dunklen Striche verwendet. Dies gibt oft zu Fehlern Anlaß, weil man sich nicht erinnern kann, welcher der beiden schwarzen Striche zu Beginn der Messung auf den 0-Wert der Skala eingestellt war.
  • Die Erfindung beseitigt diesen Nachteil dadurch, daß bei dem der Erfindung zugrunde liegenden Interferometer an sich bekannte optische Mittel vorgesehen sind, durch die zwischen den beiden Teilstrahlen zusätzlich eine feste Phasenverschiebung von A/2 eingeführt wird, so daß zur visuellen Ablesung der Interferenzstreifenverschiebung ein schmaler schwarzer Interferenzstreifen 0. Ordnung dient. Hierbei werden an Stelle der gebräuchlichen »Normalinterferenzen« die »Komplementärinterferenzen« verwendet.
  • Die Verwendung von Komplementärinterferenzen ist bei Mehrstrahlinterferometern zum Zweck der Prüfung einer Oberfläche bekannt. Hier werden aus der Normalinterferenzerscheinung diejenigen Streifen ausgeblendet, welche eine bestimmte Phase haben.
  • Man erhält dann ein Bild ähnlich dem der Komplementärinterferenzen mit dem Vorteil, daß die so erhaltenen Interferenzstreifen schärfer sind.
  • Dieses Gerät hat mit der Erfindung nichts gemein, weil es kein Zweistrahlinterferometer zu Meßzwecken ist und es deshalb vollkommen bedeutungslos ist, ob der Streifen schwarz oder weiß ist.
  • Der Vorteil der erfindungsgemäßen Anordnung liegt insbesondere darin, daß der Interferenzstreifen 0. Ordnung schmal und schwarz erscheint.
  • Die geringe Breite des schwarzen Streifens 0. Ordnung ist darauf zurückzuführen, daß für das Auge von der periodischen Intensitätsverteilung nur die Bereiche mit sehr geringer Intensität schwarz sind.
  • Besonders deutlich wird der Vorteil bei Interferenzen im weißen Licht. Hierbei treten bei den bisher üblichen Anordnungen an den dem weißen Streifen benachbarten schwarzen Streifen farbige Ränder auf, so daß dadurch die Meßgenauigkeit leidet.
  • Hinzuzufügen ist noch, daß eine Verwechslung der beiden dem weißen Streifen 0. Ordnung benachbarten schwarzen Streifen, wie sie bisher nicht auszuschließen war, zu einer erheblichen Verfälschung im abgelesenen Meßwert und dadurch z. B. bei Grubengasinterferometern zu schwerwiegenden Folgen führen kann.
  • Eine Lösung zur Erzeugung der Komplementärinterferenzen ist in weiterer Ausgestaltung der Erfindung vorteilhaft dadurch gegeben, daß zwischen den Teilstrahlen für alle Wellenlängen des benutzten Lichts die Phasendifferenz;1/2 erzeugt wird, beispielsweise indem die Teilstrahlen eine verschiedene Zahl von Reflexionen am dichteren Medium erleiden. Es können aber auch besondere Reflexionsschichten in den Teilstrahlwegen angeordnet sein, welche die Phasendiflerenz A/2 zwischen den Teilstrahlen erzeugen. Zum Beispiel entsteht zwischen zwei Teilstrahlen, von denen der eine viermal an einem 450-Prisma aus Glas der Brechzahl 1,52 reflektiert und der andere viermal an einer auf das Prisma auf- gebrachten Aluminiumschicht reflektiert wird, ein Phasenunterschied von etwa A/2 für die parallel zur Einfallsebene schwingende Lichtkomponente. Durch Änderung der Brechzahl des Prismenglases, des Reflexionswinkels sowie des Spiegelmetalis kann auch unter anderen Bedingungen ein Phasenunterschied von V2 erreicht werden.
  • Eine weitere Ausgestaltung der Erfindung ist dadurch gegeben, daß der erste Teilstrahl an strahlenteilenden und -wiedervereinigenden Flächen im Interferometer mehr Reflexionen erfährt als der zweite und der zweite Teilstrahl an diesen flächen mehr Durchlässe erfährt als der erste. Dieses Ziel kann z. B. erreicht werden, wenn das Schichtmaterial aus Silber besteht und der eine Teilstrahl zwei Reflexionen, der andere Teilstrahl dagegen zwei Durchlässe an der Teilungsschicht erfährt.
  • Da Reflexion und Durchlässigkeit an dünnen Schichten für die senkrecht und parallel schwingenden Komponenten des natürlichen Lichtes stets verschieden sind, im übrigen natürliches Licht beim Durchlaufen des Interferometers mehr oder weniger polarisiert wird, verwendet man in weiterer Ausgestaltung der Erfindung zweckmäßig senkrecht oder parallel zur Einfallsebene schwingendes linearpolarisiertes Licht, um die Schärfe der Interferenzstreifen zu verbessern.
  • Die Dicke der strahlenteilenden Schicht ist zweckmäßig so zu wählen, daß für die verwendete Schwingungskomponente des Lichts das Reflexionsvermögen und die Durchlässigkeit möglichst gleich sind.
  • In der Zeichnung ist ein Ausführungsbeispiel der Erfindung dargestellt, und zwar zeigt Fig. 1 ein Interferometer zur Bestimmung der Brechzahl eines Glases, Fig. 2 das Gesichtsfeld des Interferometers.
  • Das von einer Lichtquelle 1 abgestrahlte Licht wird über Linsen 2 und 3 in eine Glasplatte 4 geleitet, von deren Rückseite 5 es auf eine halbdurchlässige Spiegelschicht 6 aus Silber reflektiert wird. An der halbdurchlässigen Spiegelschicht werden die Lichtstrahlen in zwei Anteile geteilt, und zwar in einen strichpunktierten Anteil 6' und einen gestrichelt dargestellten Anteil 6". Zur Umlenkung der Lichtstrahlen ist ein Prisma 7 vorgesehen. Das Prisma 7 in Verbindung mit der Spiegelfläche 5 der Glasplatte 4 lenkt die geteilten Strahlen zurück auf die halbdurchlässige Spiegelschicht6, wo diese überlagert werden. Wird nun das Prisma 7 gegenüber der Grundstellung um eine senkrecht zu den Teilstrahlen 6' und 6" in der Zeichenebene liegende Achse etwas gekippt, dann entsteht ein Interferenzstreifenbild im Unendlichen.
  • Dieses Interferenzstreifenbild kann durch ein Fernrohr, welches aus einer Objektivlinse9 und Okularlinsen 15 besteht, betrachtet werden. Ein auf die halbdurchlässige Spiegelschicht 6 gekittetes Prisma 8 lenkt die Lichtstrahlen in das Fernrohr. Durch die Objektivlinse 9 wird das Interferenzstreifenbild in die Brennebene der Linse 9 abgebildet. An dieser Stelle befindet sich eine Glasplatte 10 mit einer quer zur Richtung der Interferenzstreifen liegenden Skala, wie in Fig. 2 dargestellt ist. Zwischen der halbdurchlässigen Spiegelfläche 6 und dem Prisma 7 ist eine Küvette 11 angeordnet, welche drei Kammern 12, 13 und 14 aufweist. Die Kammern 12 und 14 sind mit einem Vergleichgas, z. B. Luft, gefüllt, in die Kammer 13 ist das zu untersuchende Gas eingefüllt. Die Küvette 11 ist derart angeordnet, daß der Strahl 6' die Kammer 13 und damit das zu untersuchende Gas zweimal durchsetzt und daß der Strahl 6" je einmal die Kammern 12 und 14 durchsetzt. Die Strahlen 6' und 6" erhalten dadurch einen Gangunterschied. Im Interferenzstreifenbild wirkt sich dies so aus, daß sich die Interferenzstreifen längs der Skala 10 (Fig. 2) verschieben. Die Größe dieser Verschiebung kann auf der Skala abgelesen werden, und sie ist ein Maß, beispielsweise für den Brechungsindex des zu untersuchenden Gases.
  • Wie aus der Fig. 1 zu ersehen ist, werden der von der Lichtquelle kommende Strahl 60 und der Strahl 6" an der halbdurchlässigen Spiegelschicht 6 je einmal reflektiert, so daß auf dem Weg 60-6"-6"' insgesamt zwei Reflexionen erfolgen. In entsprechender Weise erfolgen auf dem Weg 6°-6'-6"' zwei Durchlässe durch die Schicht 6. Dadurch wird erreicht, daß die Strahlen 6' und 6" eine Phasendifferenz von 42 aufweisen und in der Überlagerung ein Intensitätsminimum 0. Ordnung bilden, welches sich im Gesichtsfeld der Fig. 2 als schwarzer Strich 17 darstellt.
  • Auf das Prisma 8 sowie die Glasplatte4 ist eine als Polarisator wirkende Platte 16 gekittet. Die halbdurchlässige Spiegelschlcht ist von der Art, daß sie zu gleichen Teilen das polarisierte Licht reflektiert und durchläßt. Der Strich 17 im Okulargesichtsfeld erscheint dadurch scharf und kontrastreich, d. h., er hebt sich von den benachbarten Interferenzstreifen deutlich ab. Der Strich 17 eignet sich somit mit Vorteil als Ablesemarke für die Skalenablesung.

Claims (7)

  1. PATENTANSPRÜCHE: 1. Zweistrahlinterferometer zu Meßzwecken, in dessen einem Strahl die zu untersuchende Probe und in dessen anderem Strahl ein Vergleichsmedium angeordnet ist und bei dem der Meßwert durch Interferenzstreifenauswanderung ermittelt wird, dadurch gekennzeichnet, daß an sich bekannte optische Mittel vorgesehen sind, durch die zwischen den beiden Teilstrahlen zusätzlich eine feste Phasenverschiebung von 42 eingeführt wird, so daß zur visuellen Ablesung der Interferenzstreifenverschiebung ein schmaler schwarzer Interferenzstreifen 0. Ordnung dient.
  2. 2. Interferometer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zur Erzeugung der Phasenverschiebung die Teilstrahlen eine verschiedene Zahl von Reflexionen am dichteren Medium erleiden.
  3. 3. Interferometer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß in den Teilstrahlwegen verschiedenartige Reflexionsschichten angeordnet sind, welche die Phasenverschiebung zwischen den Teilstrahlen erzeugen.
  4. 4. Interferometer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der erste Teilstrahl an strahlenteilenden und -wiedervereinigenden Flächen im Interferometer mehr Reflexionen als der zweite Teilstrahl erfährt und der zweite Teilstrahl an diesen Flächen mehr Durchlässe als der erste.
  5. 5. Interferometer nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die strahlenteilende Schicht aus Silber besteht und der erste Teilstrahl zwei Reflexionen, der andere Teilstrahl dagegen zwei Durchlässe an dieser Schicht erfährt.
  6. 6. Interferometer nach Anspruch 3 oder 4, gekennzeichnet durch die Verwendung von polarisiertem Licht.
  7. 7. Interferometer nach Anspruch 4 oder 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Spiegelschichten das Licht nahezu zu gleichen Teilen durchlassen und reflektieren.
    In Betracht gezogene Druckschriften: Nature, 167 (1951), S. 398.
DEZ5020A 1955-07-01 1955-07-01 Zweistrahlinterferometer zu Messzwecken Pending DE1114340B (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
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DEZ5020A DE1114340B (de) 1955-07-01 1955-07-01 Zweistrahlinterferometer zu Messzwecken

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE1114340B true DE1114340B (de) 1961-09-28

Family

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Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DEZ5020A Pending DE1114340B (de) 1955-07-01 1955-07-01 Zweistrahlinterferometer zu Messzwecken

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1200012B (de) * 1963-07-23 1965-09-02 Akad Wissenschaften Ddr Anordnung zur Einstellung von Littrow-Spiegeln bei einem Monochromator

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
None *

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1200012B (de) * 1963-07-23 1965-09-02 Akad Wissenschaften Ddr Anordnung zur Einstellung von Littrow-Spiegeln bei einem Monochromator

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