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HINTERGRUND DER ERFINDUNG
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1. Bereich der Erfindung
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Die
vorliegende Erfindung betrifft eine Halbleitervorrichtung mit einem
Halbleiterchip und insbesondere eine Halbleitervorrichtung mit einem
Halbleiterchip, der auf eine Chipkontaktstelle gebondet ist und
in einen geformten Bereich aus einem synthetischen Harz eingebettet
ist.
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2. Beschreibung des Standes
der Technik
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Im
wesentlichen umfaßt
eine Leuchtdiode der oben beschriebenen Art ein isolierendes Substrat in
Form eines Chips, auf dem eine Chipkontaktstelle und ein Paar erste
und zweite Elektrodenklemmen, die alle aus einer Metallfolie bestehen,
ausgebildet sind, so daß die
Chipkontaktstelle elektrisch mit der ersten Elektrodenklemme verbunden
ist. Die Vorrichtung umfaßt
ferner einen Halbleiterchip, der auf die Chipkontaktstelle gebondet
ist und elektrisch mit der zweiten Elektrodenklemme verbunden ist.
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Zum
Bonden des Halbleiterchips auf die elektrisch mit der ersten Elektrodenklemme
verbunden Chipkontaktstelle in der Halbleitervorrichtung wird ein
durch Wärme
schmelzbares Kontaktstellenbondmaterial verwendet, beispielsweise
eine Lötpaste.
Insbesondere wird eine geeignete Menge eines solchen Bondmaterials
auf eine Oberseite der Chipkontaktstelle aufgebracht, und dann wird
der Halbleiterchip auf das Kontaktstellenbondmaterial aufgelegt.
In diesem Zustand wird das Kontaktstellenbondmaterial einmal durch
Erhitzen geschmolzen und dann gehärtet.
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Herkömmlicherweise
weist die Chipkontaktstelle zwar eine rechteckige Konfiguration
auf, die der rechteckigen Konfiguration des Halbleiterchips ähnelt, jedoch
wird die Chipkontaktstelle sehr viel größer als der auf diese zu bondende
Halbleiterchip gestaltet, was die im folgenden beschriebenen Probleme
verursacht.
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Beim
Bonden des Halbleiterchips auf die Chipkontaktstelle muß der Halbleiterchip
in oder nahe an der Mitte der Chipkontaktstelle gebondet werden.
Wenn jedoch das auf die Chipkontaktstelle aufgebrachte Bondmaterial
geschmolzen ist, kommt der Halbleiterchip auf dem geschmolzenen
Kontaktstellenbondmaterial zum Schwimmen, und das Kontaktstellenbondmaterial
breitet sich in hohem Maße nach
allen Seiten über
die Oberseite der Chipkontaktstelle aus. Deshalb bewegt sich der
Halbleiterchip im schwimmenden Zustand gemäß dem Ausbreiten des Kontaktstellenbondmaterials
nach allen Seiten entlang der Oberseite der Chipkontaktstelle, um
von der Mitte weg zu gelangen. Mithin wird der Halbleiterchip, wenn
das Kontaktstellenbondmaterial anschließend gehärtet wird, an einer von der
Mitte versetzten Position auf der Chipkontaktstelle festgelegt.
Außerdem
wird der Halbleiterchip, wenn der Halbleiterchip an einer versetzten
Position auf die Chipkontaktstelle aufgelegt wird, ohne Korrektur
auf der versetzten Position der Chipkontaktstelle festgelegt.
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Außerdem muß der Halbleiterchip
beim Bonden des Halbleiterchips auf die Chipkontaktstelle derart
angeordnet werden, so daß jede
der Ecken des Halbleiterchips in einer vorgegebenen Richtung orientiert
wird. Da sich der auf dem geschmolzenen Kontaktstellenbondmaterial
schwimmende Halbleiterchip jedoch ungehindert drehen kann, kann
nicht jede der Ecken in einer vorgegebenen Richtung orientiert werden.
Mithin wird der Halbleiterchip mit einer abweichenden Orientierung
der Ecken befestigt.
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Durch
die Positionsabweichung von der Mitte und die Abweichung der Eckenorientierung
des Halbleiterchips kann der Anschluß eines Metalldrahtes an eine
vorgegebene Elektrode des Halbleiterchips beim elektrischen Verbinden
des Halbleiterchips mit der zweiten Elektrodenklemme durch Drahtbonden
verhindert werden oder kann ein derartiges Versagen der Verbindung
bewirkt werden, daß ein
Mittelabschnitt des Metalldrahtes mit dem Halbleiterchip in Kontakt
kommt. Ferner muß zum
Einbetten des Halbleiterchips in einen geformten Bereich aus einem
synthetischen Harz der geformte Bereich angesichts der oben beschriebenen
zwei Arten einer Abweichung relativ groß gestaltet werden, was zu
einer Zunahme in Größe und Gewicht
der Halbleitervorrichtung führt.
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Insbesondere
dann, wenn die Halbleitervorrchtung eine LED-Vorrichtung mit einem LED-Chip
als Halbleiterchip ist, verändert
sich die Position der Lichtquelle und die Bündelungsfähigkeit des von dem LED-Chip
emittierten Lichtes auf Grund der Positionsabweichung von der Mitte
und der Abweichung der Eckenorientierung des LED-Chips, so daß die Variation
der Bündelungsfähigkeit
des Lichtes groß ist.
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Der
vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die oben beschriebenen
Probleme zu lösen.
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Gemäß einer
ersten Ausgestaltung der vorliegenden Erfindung wird eine Halbleitervorrichtung geschaltet,
mit: Einem isolierenden Substrat mit einer Oberseite, die mit einer
rechteckigen Chipkontaktstelle aus einer Metallfolie und einem Paar
Elektrodenklemmen aus einer Metallfolie ausgebildet ist; einem rechteckigen
Halbleiterchip, der mit einem Kontaktstellenbondmaterial an eine
Oberseite der Chipkontaktstelle gebondet ist, und einem geformten
Bereich aus einem synthetischen Harz zum Einbetten des Halbleiterchips.
Das Rechteck der Chipkontaktstelle weist eine Länge und eine Breite auf, die
das 0,50- bis 1,50-fache jeweils der Länge und der Breite des Rechtecks
des Halbleiterchips betragen.
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Indem
der Länge
und der Breite des Rechtecks der Chipkontaktstelle die 0,50- bis
1,50-fache Länge
und Breite des Rechtecks des Halbleiterchips gegeben wird, werden
die folgenden Vorteile geschaffen. Wenn der Halbleiter auf die Chipkontaktstelle
aufgelegt wird, brauchen die Seitenflächen des Halbleiterchips nicht
parallel mit den Seitenflächen der
Chipkontaktstelle zu sein, oder der Halbleiterchip kann von der
Mitte der Chipkontaktstelle versetzt sein. Selbst in einem solchen
Fall wirkt die Oberflächenspannung
des Kontaktstellenbondmaterials gleichzeitig auf jede Seite des
Halbleiterchips und jede Seite der Chipkontaktstelle. Infolgedessen
wird, wie weiter unten ausführlich
beschrieben, der, Halbleiterchip durch Selbstausrichtung auf Grund
der Oberflächenspannung
automatisch korrigiert, so daß jede
Seite des Halbleiterchips parallel oder im wesentlichen parallel
zu einer entsprechenden Seite der Chipkontaktstelle wird oder jede
der Ecken des Halbleiterchips gleichbleibend in einer vorgegebenen Richtung
orientiert wird. Ferner wird der LED-Chip automatisch korrigiert, so daß er in
oder nahe an der Mitte der Chipkontaktstelle zu liegen kommt.
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Mithin
kann beim Bonden des Halbleiterchips auf die Chipkontaktstelle auf
dem isolierenden Substrat auf Grund der Selbstausrichtung durch
die Oberflächen spannung
des Bondmaterials die Abweichung des Halbleiterchips von der Mitte
der Chipkontaktstelle vermindert werden, und jede der Ecken des Halbleiterchips
kann genau in einer vorgegebenen Richtung orientiert werden, so
daß jede
Seite des Halbleiterchips parallel oder im wesentlichen parallel zu
einer entsprechenden Seite der Chipkontaktstelle werden kann. Deshalb
kann der geformte Bereich zum Einbetten des Halbleiterchips im Vergleich
zu demjenigen nach dem Stand der Technik kleiner gestaltet werden,
wodurch Größe und Gewicht
der Halbleitervorrichtung verkleinert werden können.
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Insbesondere
kann bei der ersten Ausgestaltung, wenn die Halbleitervorrichtung
eine chipartige LED-Vorrichtung mit einem LED-Chip als Halbleiterchip
und einem lichtdurchlässigen,
geformten Bereich ist, die Änderung
der Lichtquellenposition und der Bündelungsfähigkeit unterdrückt werden,
wodurch die Veränderung
der Bündelungsfähigkeit
vermindert werden kann.
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Ferner
kann in der ersten Ausgestaltung die Chipkontaktstelle eine Seitenfläche aufweisen,
die einstückig
mit einer schmalen Verlängerung
ausgebildet ist, die von der Chipkontaktstelle nach außen vorsteht.
Mit einer solchen Anordnung breitet sich ein Teil des auf die Chipkontaktstelle
aufgebrachten Kontaktstellenbondmaterials auf die Oberseite der schmalen
Verlängerung
aus. Infolgedessen läßt sich die
Dicke des Kontaktstellenbondmaterials auf der Oberseite der Chipkontaktstelle
vermindern, während
die Selbstausrichtung durch das Bondmaterial gesichert ist. Deshalb
lassen sich die Schwimmhöhe über der
Chipkontaktstelle, die Höhenveränderung und
die Neigung des Halbleiterchips vermindern, und der Betrag des Einsinkens
des Halbleiterchips in das Kontaktstellenbondmaterial wird ebenfalls
vermindert. Mithin kann das Kurzschließen in dem Halbleiterchip unterdrückt werden.
Weiterhin kann, wenn der Halbleiterchip ein LED-Chip ist, eine Verminderung
der von dem emittierten LED-Chip emittierten Lichtmenge verhindert
werden.
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Ferner
kann die Chipkontaktstelle bei der ersten Ausführungsform mit einer Ausnehmung
von einer Größe ausgebildet
werden, die zum Aufnehmen des Halbleiterchips nicht ausreicht. Mit
einer solchen Anordnung tritt ein Teil des auf die Oberseite der
Chipkontaktstelle aufgebrachten Kontaktstellenbondmaterials in die
Ausnehmung ein. Infolgedessen läßt sich
die Dicke des Kontaktstellenbondmateri als auf der Oberseite der
Chipkontaktstelle vermindern, während
die Selbstausrichtung durch das Kontaktstellenbondmaterial gesichert
ist. Deshalb lassen sich die Schwimmhöhe über der Chipkontaktstelle, die
Höhenveränderung
und die Neigung des Halbleiterchips vermindern, und der Betrag des
Einsinkens des Halbleiterchips in das Kontaktstellenbondmaterial
wird ebenfalls vermindert. Mithin kann das Kurzschließen in dem
Halbleiterchip unterdrückt
werden.
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Wenn
das Vorsehen der schmalen Verlängerung
mit dem Vorsehen der Ausnehmung verbunden wird, lassen sich größere Vorteile
erhalten als dann, wenn nur eine von den obigen vorgesehen wird.
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Gemäß einer
zweiten Ausgestaltung der vorliegenden Erfindung wird eine Halbleitervorrichtung vorgesehen,
mit: Einem isolierenden Substrat mit einer Oberseite, die mit einer
Chipkontaktstelle aus einer Metallfolie und einem Paar Elektrodenklemmen aus
einer Metallfolie ausgebildet ist; einem Halbleiterchip, der in
der Draufsicht quadratisch oder im wesentlichen quadratisch ist
und mit einem Kontaktstellenmaterial auf eine Oberseite der Chipkontaktstelle gebondet
ist, und einem geformten Bereich aus einem synthetischen Harz zum
Einbetten des Halbleiterchips. Die Chipkontaktstelle ist in der
Draufsicht kreisrund und weist einen Durchmesser auf, der dem Diagonalmaß des Halbleiterchips
nahekommt, wobei ein schmaler, strukturierter Leiter aus einer Metallfolie
zwischen der Chipkontaktstelle und einer der Elektrodenklemmen vorgesehen
ist, um die Chipkontaktstelle und die Elektrodenklemme einstückig miteinander
zu verbinden.
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Mit
einer solchen Anordnung wird ein durch Wärme schmelzbares Kontaktstellenbondmaterial auf
die Oberseite der Chipkontaktstelle aufgebracht, und dann wird der
Halbleiterchip darauf aufgelegt. Danach wird das ganze auf eine
Temperatur über dem
Schmelzpunkt des Kontaktstellenbondmaterial erhitzt.
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Durch
das Erhitzen wird das Kontaktstellenbondmaterial geschmolzen, so
daß der
Halbleiterchip zum Schwimmen auf dem geschmolzenen Kontaktstellenbondmaterial
gebracht wird. Dabei breitet sich das geschmolzene Kontaktstellenbondmaterial, während es
legiert, über
die gesamte Oberseite der Chipkontaktstelle und auch über die
Unterseite und jede der vier Seitenflächen des Halbleiterchips aus. Mithin
wirkt die Oberflächenspannung
des geschmolzenen Kontaktstellen bondmaterials zwischen dem Umfangsrand
der Chipkontaktstelle und jeder der vier Seitenflächen des
Halbleiterchips.
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In
diesem Fall erfährt
der auf dem geschmolzenen Kontaktstellenbondmaterial schwimmende Halbleiterchip,
da der Halbleiterchip quadratisch oder im wesentlichen quadratisch
ist, während
die Chipkontaktstelle kreisrund mit einem Durchmesser ist, der dem
Diagonalmaß des
der Halbleiterchips nahekommt, eine Selbstausrichtung zum Bewegen
des LED-Chips in eine Position, in der die Oberflächenspannung
in gleicher Weise auf jede der vier Seitenflächen des Halbleiterchips wirkt.
Deshalb wird selbst dann, wenn der Halbleiter in eine Position gelegt wird,
die von der Mitte der Chipkontaktstelle versetzt ist, die Position
durch die Selbstausrichtung auf Grund der Oberflächenspannung für die vier
Seiten automatisch korrigiert, so daß der Halbleiterchip genau
in oder nahe an der Mitte der Chipkontaktstelle zu liegen kommt.
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Weiter
breitet sich ein Teil des geschmolzenen Kontaktstellenbondmaterials
auch zu dem schmalen, strukturierten Leiter hin aus, der aus einer Metallfolie
besteht und die Chipkontaktstelle mit einer der Elektrodenklemmen
verbindet. Deshalb wird an dem Außenumfang der geschmolzenen
Lötpaste
ein ausgebauchter Bereich h gebildet, der auf den schmalen, strukturierten
Leiter vorsteht, und die Oberflächenspannung
wirkt auch zwischen den Seitenflächen
des Halbleiterchips und dem sich auf den schmalen, strukturierten
Leiter hin ausbreitenden, ausgebauchten Bereich. Deshalb wird durch
die auf Grund des Verhaltens der Lötpaste erfolgende Selbstausrichtung
zum Einwirkenlassen der Oberflächenspannung
in gleicher Weise auf jede der Seitenflächen der auf dem geschmolzenen
Kontaktstellenbondmaterial schwimmende Halbleiterchip automatisch
korrigiert, so daß eine
der vier Ecken des Halbleiterchips zu dem schmalen, strukturierten
Leiter hin orientiert wird.
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Auf
diese Weise wird der Halbleiterchip automatisch korrigiert (Selbstausrichtung),
so daß er
in oder nahe an der Mitte der Chipkontaktstelle zu liegen kommt
und gleichzeitig automatisch korrigiert wird (Selbstausrichtung),
so daß eine
der vier Ecken des Halbleiterchips zu dem schmalen, strukturierten Leiter
hin orientiert wird.
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Durch
das anschließende
Härten
des geschmolzenen Kontaktstellenbondmaterials durch Abkühlen wird
der Halbleiterchip in oder nahe an der Mitte der mit einer der Elektrodenklemmen
verbundenen Chipkontaktstelle gebondet, wobei eine der Ecken des
Halbleiterchips zu dem mit der Chipkontaktstelle verbundenen schmalen,
strukturierten Leiter hin orientiert wird, so daß jede der Ecken gleichbleibend
in einer vorgegebenen Richtung orientiert wird. Deshalb können die
Positionsabweichung des Halbleiterchips von der Mitte der Chipkontaktstelle und
die Abweichung der Eckenorientierung des Halbleiterchips vermindert
werden.
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Infolgedessen
wird die Möglichkeit,
daß eine Verbindung
versagt, was beim elektrischen Verbinden des Halbleiterchips mit
einer der Elektrodenklemmen durch Drahtbonden mit Hilfe eines Metalldrahtes
vorkommen kann sicher vermindert. Ferner kann der geformte Bereich,
wenn der Halbleiterchip in einen geformten Bereich aus einem synthetischen Harz
eingebettet werden soll, um so viel kleiner gestaltet werden, wie
die obigen zwei Arten einer Abweichung vermindert werden, wodurch
Größe und Gewicht
der Halbleitervorrichtung verkleinert werden können.
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Wie
oben angemerkt, kann die Selbstausrichtung zum Festlegen des Halbleiterchips
in oder nahe an der Mitte der Chipkontaktstelle und zum Orientieren
des Halbleiterchips derart, daß eine
der Ecken zu dem schmalen, strukturierten Leiter hin orientiert
wird, sicher zustande gebracht werden, indem der Durchmesser der
Chipkontaktstelle mit dem 0,6- bis 1,5-fachen des Diagonalmaßes des
Halbleiterchips gestaltet wird.
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In
der zweiten Ausgestaltung kann die Chipkontaktstelle zwischen den
paarigen Elektrodenklemmen angeordnet werden, die auf einer im wesentlichen
geraden Linie angeordnet sind, und der schmale, strukturierte Leiter
kann derart angeordnet werden, daß er vom Umfang der Chipkontaktstelle
an einer Position vorsteht, die um 45 Grad von der Linie der Elektrodenklemmen
abweicht. Mit einer solchen Anordnung wird eine der Ecken des Halbleiterchips, wenn
das Kontaktbondmaterial geschmolzen ist, in der 45-Grad-Position
zu dem strukturierten Leiter hin orientiert. Deshalb kann der Halbleiterchip
derart gebondet werden, daß unter
den vier Seiten des Halbleiterchips zwei einander gegenüberliegende
Seiten parallel oder im wesentlichen parallel zu der Linie der Elektrodenklemmen
verlaufen, während
sich die beiden anderen einander gegenüberliegenden Seiten senkrecht oder
im wesentlichen senkrecht zu der Linie der Elektrodenklemmen erstrecken.
Deshalb können
die Breite und die Länge
der Halbleitervorrichtung kleiner gemacht werden, als wenn die vier
Seiten des Halbleiterchips relativ zu der Linie der Elektrodenklemmen
geneigt sind. Demgemäß können Größe und Gewicht
der Halbleitervorrichtung vorteilhaft verkleinert werden.
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Wiederum
in der zweiten Ausgestaltung kann dann, wenn die Halbleitervorrichtung
eine chipartige LED-Vorrichtung mit einem LED-Chip als Halbleiterchip
und einem lichtdurchlässigen,
geformten Bereich ist, die Änderung
der Lichtquellenposition und der Bündelungsfähigkeit unterdrückt werden, wodurch
die Veränderung
der Bündelungsfähigkeit vermindert
werden kann.
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Wiederum
in der zweiten Ausgestaltung kann die Chipkontaktstelle mit einer
Ausnehmung von einer Größe ausgebildet
werden, die ähnlich
wie bei der ersten Ausgestaltung zum Aufnehmen des Halbleiterchips
nicht ausreicht. Mit einer solchen Anordnung können die Veränderung
der Schwimmhöhe des
Halbleiterchips über
der Chipkontaktstelle sowie die Neigung des Halbleiterchips vermindert
werden und das Kurzschließen
in dem Halbleiterchip unterdrückt
werden.
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Gemäß einer
dritten Ausgestaltung der vorliegenden Erfindung wird eine Halbleitervorrichtung geschaffen,
mit: Einer Chipkontaktstelle aus einer Metallplatte und einem Paar
Elektrodenklemmen aus einer Metallplatte; einem Halbleiterchip,
der in der Draufsicht quadratisch oder im wesentlichen quadratisch
ist und mit einem Kontaktstellenbondmaterial auf die Chipkontaktstelle
gebondet ist, und einem geformten Bereich aus einem synthetischen
Harz zum Einbetten des Halbleiterchips. Die Chipkontaktstelle ist
in der Draufsicht kreisrund und weist einen Durchmesser auf, der
dem Diagonalmaß des
Halbleiterchips nahekommt, und ein schmaler, strukturierter Leiter
aus einer Metallplatte ist, zwischen der Chipkontaktstelle und einer
der Elektrodenklemmen vorgesehen, um die Chipkontaktstelle und die
Elektrodenklemme einstückig
miteinander zu verbinden. Mit einer solchen Anordnung nutzt eine
Halbleitervorrichtung kein isolierendes Substrat, sondern nutzt
eine Metallplatte, die vorgesehen ist.
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Ähnlich wie
bei der zweiten Ausgestaltung sind auch die folgenden Anordnungen
auf die dritte Ausgestaltung anwendbar:
- i)
dem Durchmesser der Chipkontaktstelle mit dem 0,6- bis 1,5-fachen
des Diagonalmaßes
des Halbleiterchips zu gestalten;
- ii) die Chipkontaktstelle zwischen den auf einer geraden Linie
angeordneten, paarigen Elektrodenklemmen anzuordnen und den schmalen, strukturierten
Leiter derart anzuordnen, daß er vom
Umfang der Chipkontaktstelle in einer Position ausgeht, die um 45
Grad von der Linie der Elektrodenklemmen abweicht, und
- iii) die Halbleitervorrichtung eine chipartige LED-Vorrichtung
mit einem LED-Chip
als Halbleiterchip und einen lichtdurchlässigen, geformten Bereich enthalten
zu lassen.
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Weitere
Aufgaben, Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden
aus der im folgenden gegebenen Beschreibung der Ausführungsformen
an Hand der anliegenden Zeichnungen besser erkennbar.
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KURZE BESCHREIBUNG DER
ZEICHNUNGEN
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1 ist eine Längsschnittansicht,
die eine chipartige LED-Vorrichtung gemäß einer ersten Ausführungsform
zeigt.
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2 ist eine Draufsicht auf 1.
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3 ist eine perspektivische
Ansicht, welche die chipartige LED-Vorrichtung gemäß einer ersten Ausführungsform
zeigt.
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4 ist eine auseinandergezogene,
perspektivische Ansicht der ersten Ausführungsform.
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5 ist eine entlang der Linie
V–V in 4 geführte Schnittansicht.
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6 ist eine Längsschnittansicht,
die einen LED-Chip zeigt, der auf ein isolierendes Substrat in der
ersten Ausführungsform
gebondet ist.
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7 ist eine Draufsicht auf 6.
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8 ist eine perspektivische
Ansicht, die eine erste Variation der ersten Ausführungsform zeigt.
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9 ist eine perspektivische
Ansicht, die eine zweite Variation der ersten Ausführungsform zeigt.
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10 ist eine perspektivische
Ansicht, die eine dritte Variation der ersten Ausführungsform zeigt.
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11 ist eine perspektivische
Ansicht, die eine vierte Variation der ersten Ausführungsform zeigt.
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12 ist eine entlang der
Linie XII–XII
in 11 geführte Schnittansicht.
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13 ist eine Längsschnittansicht,
die eine chipartige LED-Vorrichtung gemäß einer zweiten Ausführungsform
zeigt.
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14 ist eine Draufsicht auf 13.
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15 ist eine auseinandergezogene,
perspektivische Ansicht, welche die chipartige LED-Vorrichtung gemäß der zweiten
Ausführungsform
zeigt.
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16 ist eine entlang der
Linie XVI–XVI
in 15 geführte Schnittansicht.
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17 ist eine vergrößerte Ansicht,
die den Hauptbereich von 14 zeigt.
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18 ist eine entlang der
Linie XVIII–XVIII in 17 geführte Schnittansicht.
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19 ist eine entlang der
Linie XIX–XIX
in 17 geführte Schnittansicht.
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20 ist eine Draufsicht,
die eine Variation der zweiten Ausführungsform zeigt.
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21 ist eine auseinandergezogene,
perspektivische Ansicht, die eine chipartige LED-Vorrichtung gemäß einer
dritten Ausführungsform
zeigt.
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22 ist eine Draufsicht auf 21.
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23 ist eine Längsschnittansicht,
die eine Variation der dritten Ausführungsform zeigt.
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AUSFÜHRLICHE
BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN
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1–7 zeigen
eine erste Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung.
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In
diesen Figuren ist mit der Referenzziffer 1 eine chipartige
LED-Vorrichtung als Ausführungsform
einer Halbleitervorrichtung angegeben.
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Die
chipartige LED-Vorrichtung 1 beinhaltet ein isolierendes
Substrat 2 in Form eines Chips. Das isolierende Substrat 2 weist
eine Oberseite auf, die mit einer rechteckigen Chipkontaktstelle 3 ausgebildet
ist, ein Paar Elektrodenklemmen 4, 5, die alle
aus einer Metallfolie bestehen, und einen schmalen, strukturierten Leiter 6,
der aus einer Metallfolie besteht und die Elektrodenklemme 4 elektrisch
mit der Chipkontaktstelle 3 verbindet.
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Die
chipartige LED-Vorrichtung 1 beinhaltet ferner einen LED-Chip 7,
der auf die Oberseite der Chipkontaktstelle 3 gebondet
ist, einen dünnen
Metalldraht 8, der den LED-Chip 7 und die Elektrodenklemme 5 durch
Drahtbonden verbindet, und einen geformten Bereich 9 aus
einem lichtdurchlässigen, synthetischen
Harz, beispielsweise einem durchsichtigen Harz, zum Einbetten des
LED-Chips 7 und der Drahtstruktur 6.
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Die
paarigen Elektrodenklemmen 4, 5 erstrecken sich
von der Oberseite auf eine Endfläche
und eine Unterseite des isolierenden Substrats 2.
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Das
Bonden des LED-Chips 7 auf die Chipkontaktstelle 3 auf
dem isolierenden Substrat 2 erfolgt folgendermaßen:
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Zum
Befestigen des LED-Chips 7, der typischerweise rechteckig
ist und eine Länge
L0 und eine Breite W0 aufweist, werden die Länge L1 und die Breite W1 der
Chipkontaktstelle 3 gleich oder im wesentlichen gleich
der Länge
L0 und der Breite W0 des LED-Chips 7 gestaltet, so daß die Chipkontaktstelle 3 deckungsgleich
oder im wesentlichen deckungsgleich mit dem LED-Chip 7 wird.
Beim Bonden wird in der in 3 gezeigten
Weise eine geeignete Menge einer Lötpaste H auf die Oberseite
der Chipkontaktstelle 3 aufgebracht. Dann wird in der in 4 gezeigten Weise der LED-Chip 7 auf
die Lötpaste
H aufgelegt. Danach wird die Lötpaste
H in diesem Zustand auf eine Temperatur über dem Schmelzpunkt der Lötpaste erhitzt
und dann zum Härten
abgekühlt.
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Wie
in doppelt gestrichelten Linien in 5 angezeigt,
brauchen die Seitenflächen
des LED-Chips 7, wenn der rechteckige LED-Chip 7 auf die
rechteckige Chipkontaktstelle 3 aufgelegt wird, nicht parallel
mit den Seitenflächen
der Chipkontaktstelle 3 zu sein, oder der LED-Chip 7 kann
von der Mitte der Chipkontaktstelle 3 versetzt sein. Selbst
in einem solchen wirkt die Oberflächenspannung des geschmolzenen
Lots Fall mit der obigen Anordnung gleichzeitig auf jede Seitenfläche des
LED-Chips 7 und jede Seitenfläche der Chipkontaktstelle 3.
Infolgedessen wird die Orientierung des LED-Chips 7 durch
Selbstausrichtung auf Grund der Oberflächenspannung automatisch korrigiert,
so daß jede
Seite des LED-Chips 7 parallel oder im wesentlichen parallel
zu einer entsprechenden Seite der Chipkon taktstelle 3 wird
und die Position des LED-Chips 7 automatisch korrigiert
wird, so daß der
LED-Chip 7 genau in der Mitte der Chipkontaktstelle 3 zu
liegen kommt.
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Durch
das Härten
des geschmolzenen Lots wird der LED-Chip 7 mit der in der
oben beschriebenen Weise korrigierten Position befestigt.
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Durch
das von den Erfindern ausgeführte
Experiment wurde festgestellt, daß die automatische Korrektur
durch die Selbstausrichtung auf Grund der Oberflächenspannung des geschmolzenen
Lots sicher zustande gebracht wird, wenn die Länge L1 und die Breite W1 des
Rechtecks der Chipkontaktstelle 3 das 0,50- bis 1,50-fache,
vorzugsweise das 0,65- bis 1,35-fache und am meisten vorzugsweise
das 0,75- bis 1,25-fache, der Länge
L0 und der Breite W0 des Rechtecks des LED-Chips 7 betragen. Das trifft
auch auf andere Bondmaterialien als Lötpaste zu, beispielsweise auf
leitfähige
Paste.
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Auf
diese Weise vermindert sich beim Kontaktstellenbonden des LED-Chips 7 auf
die Chipkontaktstelle 3 auf dem isolierenden Substrat 2 auf Grund
der Selbstausrichtung durch das Kontaktstellenbondmaterial die Positionsabweichung
des LED-Chips 7 von der Mitte der Chipkontaktstelle 3 und
macht dabei jede Seitenfläche
des LED-Chips 7 parallel oder im wesentlichen parallel
zu einer entsprechenden Seite der Chipkontaktstelle 3.
Deshalb kann die Breite des isolierenden Substrats und des geformten
Bereichs 9 zum Einbetten des LED-Chips 7 im Vergleich
zu derjenigen der Vorrichtung nach dem Stand der Technik vermindert
werden, wodurch Größe und Gewicht
der chipartigen LED-Vorrichtung 1 verkleinert werden können. Ferner
kann die Variation der Bündelungsfähigkeit
des von dem LED-Chip 7 emittierten Lichtes vermindert werden.
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Bei
der ersten Ausführungsform
erstreckt sich der strukturierte Leiter 6 zum elektrischen
Verbinden der Chipkontaktstelle 3 mit der ersten Elektrodenklemme 4 nicht
in der in doppelt gestrichelten Linien in 2 angegebenen Weise gerade, sondern verläuft in der
in durchgehenden Linien in 2 angegebenen
Weise schräg,
wodurch der strukturierte Leiter 6 relativ lang gestaltet
wird. Mit einer solchen Anordnung läßt sich der Kontaktbereich
zwischen dem strukturierten Leiter und dem geformten Bereich 9,
der den Leiter einbettet, vergrößern, wodurch
beispielsweise sicher verhindert wird, daß Feuchtigkeit in der Atmosphäre durch
den strukturierten Leiter 6 hindurch eintritt.
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Die
Anzahl der strukturierten Leiter 6 beschränkt sich
nicht auf einen. Wie in 7 gezeigt ist,
können
zwei strukturierte Leiter, d.h. der in durchgehenden Linien angezeigte,
strukturierte Leiter 6 und ein in doppelt gestrichelten
Linien angezeigter, strukturierter Leiter 6 vorgesehen
werden.
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8 zeigt eine erste Variation
der ersten Ausführungsform.
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Bei
der ersten Variation ist jede Ecke der auf der Oberseite des isolierenden
Substrats 2 gebildeten, rechteckigen Chipkontaktstelle 3 einstückig mit einer
schmalen Verlängerung 3a ausgebildet,
die von der Chipkontaktstelle 3 nach außen vorsteht.
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Mit
dieser Anordnung breitet sich, wenn die Lotpaste H auf die Chipkontaktstelle 3 aufgebracht und
geschmolzen wird, ein Teil des geschmolzenen Lots auf die Oberseite
der von der Chipkontaktstelle 3 nach außen vorstehenden, schmalen
Verlängerung 3a aus.
Deshalb läßt sich
die Dicke des geschmolzenen Lots auf der Oberseite der Chipkontaktstelle 3 vermindern,
während
die auf Grund der Oberflächenspannung
erfolgende Selbstausrichtung des geschmolzenen Lots gesichert ist.
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Als
zweite Variation der ersten Ausführungsform
kann die schmale Verlängerung 3a in
der in 9 gezeigten Weise
an jeder Seitenfläche
der Chipkontaktstelle 3 vorgesehen werden. Als dritte Variation
der ersten Ausführungsform
kann an einer Seitenfläche
der Chipkontaktstelle 3 eine Mehrzahl von schmalen Verlängerungen 3a vorgesehen
werden, so daß die
Verlängerungen
in der in 10 gezeigten
Weise auch als strukturierter Leiter 6 dienen. Bei diesen
Variationen kann wiederum die Dicke des geschmolzenen Lots auf der
Oberseite der Chipkontaktstelle 3 vermindert werden, während die
auf Grund der Oberflächenspannung
erfolgende Selbstausrichtung des geschmolzenen Lots gesichert ist.
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11 und 12 zeigen eine vierte Variation der ersten
Ausführungsform.
Bei der vierten Variation ist die auf der Oberseite des isolierenden
Substrats 2 gebildete, rechteckige Chipkontaktstelle 3 mit einer
Ausnehmung 3b mit einer Größe ausgebildet, die zum Aufnehmen
des LED-Chips 7 nicht ausreicht.
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Mit
einer solchen Anordnung wird ein Teil des geschmolzenen Lots, wenn
die auf die Oberseite der Chipkontaktstelle 3 aufgebrachte
Lötpaste
H mit dem darauf aufgelegten LED-Chip 7 geschmolzen wird,
in der Ausnehmung 3b aufgenommen. Deshalb läßt sich
die Dicke des geschmolzenen Lots auf der Oberseite der Chipkontaktstelle 3 vermindern,
während die
auf Grund der Oberflächenspannung
erfolgende Selbstausrichtung des geschmolzenen Lots gesichert ist.
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13–19 zeigen
eine zweite Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung.
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In
diesen Figuren ist mit der Referenzziffer 11 eine chipartige
LED-Vorrichtung
angegeben. Die chipartige LED-Vorrichtung 11 beinhaltet
ein isolierendes Substrat 12 in Form eines Chips. Das isolierende
Substrat 12 weist eine Oberseite auf, die mit einer aus
einer Metallfolie bestehenden Chipkontaktstelle 3 ausgebildet
ist, die eine kreisrunde Konfiguration mit einem Durchmesser D aufweist,
und ein Paar Elektrodenklemmen 14 und 15, die
aus einer Metallfolie bestehen und auf einander gegenüberliegenden
Seiten der Chipkontaktstelle vorgesehen sind. Die Oberseite des
isolierenden Substrats 12 ist ferner mit einem schmalen,
strukturierten Leiter 16 ausgebildet, der aus einer Metallfolie
besteht und die Elektrodenklemme 14 elektrisch mit der
Chipkontaktstelle 3 verbindet.
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Die
chipartige LED-Vorrichtung 11 beinhaltet ferner einen LED-Chip 17,
der auf die Oberseite der Chipkontaktstelle 13 gebondet
ist, einen dünnen
Metalldraht 18, der eine Elektrode auf der Oberseite des LED-Chips 17 mit
der Elektrodenklemme 15 durch Drahtbonden verbindet, und
einen geformten Bereich 19 aus einem lichtdurchlässigen,
synthetischen Harz, beispielsweise einem durchsichtigen Harz, zum
Einbetten des LED-Chips 17, des schmalen, strukturierten
Leiters 16 und des Metalldrahtes 18 auf der Oberseite
des isolierenden Substrats 12. In der Draufsicht ist der
LED-Chip 17 quadratisch oder im wesentlichen quadratisch
mit einer Seitenlänge
B.
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Die
Elektrodenklemmen 14, 15 erstrecken sich von der
Oberseite auf eine Endfläche
und eine Unterseite Seite des isolierenden Substrats 12.
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Zum
Bonden des LED-Chips 17 auf die Chipkontaktstelle 13 auf
dem isolierenden Substrat 12 wird der Durchmesser D der
Chipkontaktstelle 13 nahe an das Diagonalmaß S des
quadratischen oder im wesentlichen quadratischen LED-Chips 17 gebracht.
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Beim
Bonden der Chipkontaktstelle wird eine geeignete Menge der Lötpaste H
auf die Oberseite der Chipkontaktstelle 13 aufgebracht,
und dann wird in der in 15 und 16 gezeigten Weise der LED-Chip 17 auf
die Lötpaste
H aufgelegt.
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Beim
Aufbringen des LED-Chips 17 muß der LED-Chip nur auf die
Lötpaste
H aufgelegt werden, und es ist unnötig, den LED-Chip genau in
der Mitte der Chipkontaktstelle 13 zu plazieren oder jede
Ecke des LED-Chips 17 in einer vorgegebenen Richtung zu
orientieren.
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Danach
wird das ganze auf eine Temperatur über dem Schmelzpunkt des Lots
erhitzt, um die Lötpaste
H zu schmelzen, und dann zum Härten
der Paste auf Normaltemperatur abgekühlt.
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Durch
das Erhitzen und Schmelzen der Lötpaste
H wird der LED-Chip 17 zum Schwimmen auf der geschmolzenen
Lötpaste
H gebracht. Dabei breitet sich die geschmolzene Lötpaste H,
während
sie legiert, über
die gesamte Oberseite der Chipkontaktstelle 13 und auch über Unterseite
und jede der vier Seitenflächen
des LED-Chips 17 aus. Mithin wirkt die Oberflächenspannung
der geschmolzenen Lötpaste H
zwischen dem Umfangsrand der Chipkontaktstelle 13 und jeder
der vier Seitenflächen
des LED-Chips 17.
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In
diesem Fall erfährt
die auf der geschmolzenen Lötpaste
H schwimmende Chipkontaktstelle 13, da der LED-Chip 17 quadratisch
oder im wesentlichen quadratisch ist, während die Chipkontaktstelle 13 kreisrund
mit einem Durchmesser D ist, der dem Diagonalmaß S des LED-Chips 17 nahekommt,
eine Selbstausrichtung zum Bewegen des LED-Chips in eine Position,
in der die Oberflächenspannung
in gleicher Weise auf jede der vier Seitenflächen des LED-Chips wirkt. Deshalb
wird selbst dann, wenn der LED-Chip 17 in eine Position
gelegt wird, die von der Mitte der Chipkontaktstelle 13 versetzt
ist, die Position durch die Selbstausrichtung automatisch korrigiert,
so daß der
LED-Chip genau in der Mitte der Chipkontaktstelle 13 zu
liegen kommt.
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Weiter
breitet sich in der in 17 und 18 gezeigten Weise ein Teil
der geschmolzenen Lötpaste
H auch zu dem schmalen, strukturierten Leiter 16 hin aus,
der die Chipkontaktstelle 13 mit der Elektrodenklemme 14 verbindet.
Deshalb wird an dem Außenumfang
der geschmolzenen Lötpaste
H ein ausgebauchter Bereich h gebildet, der auf den schmalen, strukturierten
Leiter 16 vorsteht, und die Oberflächenspannung der Lötpaste H
wirkt auch zwischen den Seitenflächen
des LED-Chips 17 und
dem sich auf den schmalen, strukturierten Leiter 16 hin ausbreitenden,
ausgebauchten Bereich h. Deshalb wird durch die auf Grund des Verhaltens der
Lötpaste erfolgende
Selbstausrichtung zum Bewirkenlassen der Oberflächenspannung in gleicher Weise
auf jede der Seitenflächen
die Orientierung des auf der geschmolzenen Lotpaste H schwimmenden
LED-Chips 17 automatisch korrigiert, so daß eine der
vier Ecken des LED-Chips 17 zu dem schmalen, strukturierten Leiter 16 hin
orientiert wird.
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Auf
diese Weise erfolgt in der in 17, 18 und 19 gezeigten Weise eine automatische
Korrektur, so daß der
LED-Chip 17 in oder nahe an der Mitte der Chipkontaktstelle 13 positioniert
wird und eine der vier Ecken des LED-Chips 17 zu dem schmalen,
strukturierten Leiter 16 hin orientiert wird.
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Durch
das anschließende
Härten
der Lötpaste
H durch Abkühlen
wird der LED-Chip 17 in oder nahe an der Mitte der mit
der Elektrodenklemme 14 verbundenen Chipkontaktstelle 13 gebondet,
wobei eine der vier Ecken des LED-Chips 17 zu dem mit der Chipkontaktstelle 13 verbundenen
schmalen, strukturierten Leiter 16 hin orientiert wird,
so daß jede
der Ecken gleichbleibend in einer vorgegebenen Richtung orientiert
wird.
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Durch
das von den Erfindern ausgeführte
Experiment wurde festgestellt, daß die Selbstausrichtung auf
Grund der Oberflächenspannung
des geschmolzenen Lots sicher zustande gebracht wird, wenn der Durchmesser
D der Chipkontaktstelle 13 das 0,6-fache (Untergrenze)
bis 1,5-fache (Obergrenze) des Diagonalmaßes S des LED-Chips 17 beträgt, und
noch sicherer zustande gebracht wird, wenn er das 0,8-fache (Untergrenze)
bis 1,2-fache (Obergrenze) beträgt.
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Deshalb
bedeutet "ein Durchmesser
nahe an einem Diagonalmaß des
Halbeiterchips" entsprechend
der Darstellung in den Ansprüchen
der vorliegenden Erfindung den oben beschriebenen Bereich.
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20 zeigt eine Variation
der zweiten Ausführungsform.
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Bei
der chipartigen LED-Vorrichtung 11' gemäß dieser Variation ist die
Chipkontaktstelle 13' in der
Draufsicht auf einer Mittellinie C angeordnet, welche die an einander
gegenüberliegenden
Enden des isolierenden Substrats 12' vorgesehenen Elektrodenklemmen 14', 15' miteinander
verbindet. Insbesondere sind die Elektrodenklemme 14' und die Elektrodenklemme 15' in der Draufsicht
auf einer geraden Linie angeordnet, wobei die Chipkontaktstelle 13' dazwischen
angeordnet ist, und der die Chipkontaktstelle 13' mit der Elektrodenklemme 14' verbindende schmale, strukturierte
Leiter 16' ist
derart angeordnet, daß er
vom Umfang der Chipkontaktstelle 13' an einer Position ausgeht, die
um einen Winkel θ (=
45 Grad) von der die Elektrodenklemmen 14' und 15' miteinander verbindenden Mittellinie
C abweicht, d.h. von der Linie der Elektroden 14', 15'. Ähnlich wie
bei den vorstehenden Ausführungsformen
ist ein LED-Chip 17' mit
Lötpaste
H auf die Oberseite der Chipkontaktstelle 13' gebondet, und eine Elektrode auf
dem LED-Chip 17' ist
durch Drahtbonden mit Hilfe eines Metalldrahts 18' mit der Elektrodenklemme 15' verbunden.
Der LED-Chip 17',
der schmale, strukturierte Leiter 16' und der Metalldraht 18' auf der Oberseite
des isolierenden Substrats 12' sind in einen geformten Bereich 19' aus durchsichtigem,
synthetischem Harz eingebettet.
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Mit
einer solchen Anordnung erfolgt, wenn die auf die Oberseite der
Chipkontaktstelle 13' aufgebrachte
Lötpaste
H mit dem darauf aufgelegten LED-Chip 17'' geschmolzen
ist, eine Selbstausrichtung auf Grund der Oberflächenspannung der Lötpaste H,
so daß der
LED-Chip 17' automatisch
in oder nahe an der Mitte der Chipkontaktstelle 13' zu liegen kommt,
während
gleichzeitig eine der Ecken automatisch zu dem schmalen, strukturierten
Leiter 16' hin
orientiert wird. In der in 20 gezeigten
Weise kann der LED-Chip 17' durch
anschließendes
Befestigen des LED-Chips in diesem Zustand gebondet werden, so daß unter
den vier Seiten des LED-Chips zwei einander gegenüberliegende
Seiten parallel oder im wesentlichen parallel zu der die Elektrodenklemmen 14' und 15' miteinander
verbindenden Mittellinie C verlaufen, d.h. mit der Linie der Elektrodenklemmen 14', 15', während sich
die beiden anderen einander gegenüberliegenden Seiten senkrecht
oder im wesentlichen senkrecht zu der die Elektrodenklemmen 14' und 15' miteinander
verbindenden Mittellinie C erstrecken. Deshalb können die Breite F und die Länge E der
chipartigen LED-Vorrichtung 11' kleiner als in der in 14 gezeigten Konstruktion gemacht
werden, bei der die vier Seiten des LED-Chips relativ zu der Linie
der Elektrodenklemmen 14' und 15' geneigt sind.
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21 und 22 zeigen eine dritte Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung.
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Bei
der chipartigen LED-Vorrichtung 21 sind gemäß der dritten
Ausführungsform
anstelle der paarigen Elektrodenklemmen und der Chipkontaktstelle, die
alle eine auf einem isolierenden Substrat ausgebildete Metallfolie
umfassen, ein Paar Elektrodenklemmen und eine Chipkontaktstelle
vorgesehen, die alle eine relativ dicke Metallplatte umfassen, und
das isolierende Substrat wird nicht verwendet.
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Insbesondere
bestehen die Elektrodenklemme 25 und die Elektrodenklemme 24,
die über
einen schmalen, strukturierten Leiter 26 mit der kreisrunden
Chipkontaktstelle 23 verbunden sind, beide aus einer Metallplatte. Ähnlich wie
bei den vorstehenden Ausführungsformen
ist ein LED-Chip 27 mit Lötpaste H auf die Oberseite
der Chipkontaktstelle 23 gebondet, und eine Elektrode auf
dem LED-Chip 27 ist durch Drahtbonden mit Hilfe eines Metalldrahtes 28 mit
der Elektrodenklemme 25 verbunden. Der LED-Chip 27,
der schmale, strukturierte Leiter 26 und der Metalldraht 28 sind
in einen geformten Abschnitt 29 aus einem lichtdurchlässigen Harz,
beispielsweise ein durchsichtiges Harz, eingebettet.
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Mit
einer solchen Anordnung kann eine chipartige LED 21, die
kein isolierendes Substrat beinhaltet, durch Verwendung einer Metallplatte
ausgebildet werden. In der in 23 gezeigten
Weise kann bei einer Variation der dritten Ausführungsform die Elektrodenklemme 25 zwecks
direkter Verbindung mit dem LED-Chip 27 anstelle der Verbindung
mit dem LED-Chip 27 durch Drahtbonden mit Hilfe eines Metalldrahtes 28 langgestreckt
sein, wodurch das Drahtbonden mit Hilfe eines Metalldrahtes beseitigt werden
kann.
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Bei
der dritten Ausführungsform
wiederum beträgt
der Durchmesser D der Chipkontaktstelle 23 vorzugsweise
das 0,6-fache (Untergrenze) bis 1,5-fache (Obergrenze) des Diagonalmaßes des LED-Chips 27 und
mehr vorzugsweise das 0,8-fache (Untergrenze) bis 1,2-fache (Obergrenze)
des Diagonalmaßes
des LED-Chips 27.
Weiter bei der dritten Ausführungsform
wiederum kann der schmale, strukturierte Leiter 26 ähnlich wie
bei der Variation der in 20 gezeigten
zweiten Ausführungsform
vom Umfang der Chipkontaktstelle 23 so angeordnet sein, daß er von
einer Position ausgeht, die um einen Winkel θ (= 45 Grad) von der die Elektrodenklemmen 24 und 25 miteinander
verbindenden Mittellinie abweicht, d.h. von der Linie der Elektroden 24, 25.
In diesem Fall können
die Breite und die Länge
der chipartigen LED-Vorrichtung 21 zwecks Größenverminderung
verkürzt
werden.
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In
den vorstehenden Ausführungsformen
ist als Beispiel für
eine Halbleitervorrichtung eine chipartige LED-Vorrichtung beschrieben,
die einen LED-Chip nutzt. Jedoch ist die vorliegende Erfindung nicht
auf diese beschränkt
und ist auch auf eine solche Halbleitervorrichtung wie einen Transistor
anwendbar, in dem mehr als zwei Elektrodenklemmen mit einem einzigen
Halbleiterchip verbunden sind, sowie auf eine Diode mit einer Konstruktion,
die derjenigen der chipartigen LED-Vorrichtung ähnelt.
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ZUSAMMENFASSUNG
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Eine
Halbleitervorrichtung beinhaltet ein isolierendes Substrat 2 mit
einer Vorderseite, die mit einer Chipkontaktstelle 3 ausgebildet
ist, einen rechteckigen Halbleiterchip 7, beispielsweise
einen LED-Chip, der mit einem Kontaktstellenbondmaterial 10 auf
die Chipkontaktstelle gebondet ist, und einen geformten Bereich 9 aus
einem synthetischen Harz zum Einbetten des Halbleiterchips. Die
Chipkontaktstelle 3 kann rechteckig sein mit Abmessungen,
die denen des Halbleiterchips nahekommen, oder kreisrund sein mit
einem Durchmesser, der dem Diagonalmaß des Halbleiterchips nahekommt,
wodurch die Positionierung und Ausrichtung des Halbleiterchips beim
Bonden des Halbleiterchips präzise
vorgenommen werden kann.