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DE10333068A1 - Scheibengalvanikvorrichtung - Google Patents

Scheibengalvanikvorrichtung Download PDF

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Publication number
DE10333068A1
DE10333068A1 DE10333068A DE10333068A DE10333068A1 DE 10333068 A1 DE10333068 A1 DE 10333068A1 DE 10333068 A DE10333068 A DE 10333068A DE 10333068 A DE10333068 A DE 10333068A DE 10333068 A1 DE10333068 A1 DE 10333068A1
Authority
DE
Germany
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ring
sealing ring
pressure
rings
electrolyte
Prior art date
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Withdrawn
Application number
DE10333068A
Other languages
English (en)
Inventor
Vasile-Adrian Bojan
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Individual
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Publication date
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Priority to EP04016833A priority patent/EP1510601B9/de
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Priority to DE502004000318T priority patent/DE502004000318D1/de
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Priority to US10/894,161 priority patent/US20050045473A1/en
Priority to CNB2004100851753A priority patent/CN100339511C/zh
Publication of DE10333068A1 publication Critical patent/DE10333068A1/de
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    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C25ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25DPROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
    • C25D17/00Constructional parts, or assemblies thereof, of cells for electrolytic coating
    • C25D17/001Apparatus specially adapted for electrolytic coating of wafers, e.g. semiconductors or solar cells
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C25ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25DPROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
    • C25D17/00Constructional parts, or assemblies thereof, of cells for electrolytic coating
    • C25D17/004Sealing devices
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C25ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25DPROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
    • C25D21/00Processes for servicing or operating cells for electrolytic coating
    • C25D21/12Process control or regulation

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Abstract

Die Vorrichtung zum Galvanisieren der leitfähigen oder der metallisierten nichtleitfähigen Scheiben, bestehend aus: Aufnahme (1); Scheibe (2); Abdichtungsring (3)/(10); Überwurfmutter (4); Adapter (5); O-Ring (6)/(7); elastisches Element (8)/(12); (doppelter) Faltenbalg (9)/(15); Druckteil (11)/(13)/(14); Zwischenteil (16); elastisches Membran (17). DOLLAR A Mit der Überwurfmutter wird der Abdichtungsring (3) nach unten gedrückt und dadurch dichtet der O-Ring (7) den Scheibenrand ab. Das elastische Element (12) wird verformt und drückt auf dem Zwischenteil (16), auf dem O-Ring (6) und auf der Scheibe (2). So wird das Innere abgedichtet.

Description

  • Es ist bekannt, dass für die Galvanisierung der Scheiben, besonders die, die aus nichtleitfähige oder halbleitende Materialien bestehen, auf welche durch einen anderen Vorgang auf einer Seite ein Metall (guter Stromleiter) abgelagert wird, man verschiedene Vorrichtungen benutzt. Die Meistverwendeten und die Bekanntesten sind die Vorrichtungen, die folgendermaßen gebaut sind (siehe 1.):
    Auf einer Aufnahme (1), baut man einen Adapter (5), auf weichem man die zu galvanisierende Scheibe setzt (2). Aus technischen Gründen ist eine Trennung der zu galvanisierenden Fläche, welche im Elektrolyt getaucht wird, und dem Bestandteil, welcher die elektrische Kontraktion ausführt, sowie den Elektroden und dem Speisestromkreis, erforderlich.
  • Dafür benötigt man ein O-Ring (3), welcher ein Abdichtungsring hat und mit einer Überzugmutter gegen der Scheibenoberfläche gepresst wird (2). Die Abdichtung zwischen dem Abdichtungsring (3) und dem Ständer erfolgt mit der Hilfe eines O-Rings (7) auf der inneren Seite des Ringes (3).
  • Diese Dichtung kann man nur mit Schwierigkeit ausführen und es wird nur mit der Hilfe des Seitenspiels zwischen dem O-Ring und dem Abdichtungsring eingestellt, welcher bis zu 0,15 mm sein kann.
  • Die Montage ist schwer, erfolgt nur wenn die Bauteile [(3) und (7)] ausgetrocknet sind und nach mehreren Auf- bzw. Abbauen entsteht eine Undichtung, welche zur Bloßstellung des technologischen Prozesses führt.
  • Eigentlich ist diese Vorrichtung nicht 100% sicher und sie ist auch den Temperaturunterschieden bei der Montage bzw. bei der Arbeit abhängig.
  • 1. Bestandteile:
  • 1
    Aufnahme
    2
    Scheibe
    3
    Abdichtungsring
    4
    Überwurfmutter
    5
    Zusatzgerät (Adapter)
    6
    O-Ring
    7
    O-Ring
  • Zweck der Erfindung
  • Der Zweck der Erfindung ist, die Abdichtung des Inneren der Vorrichtung – O-Ring (7) – Ring in einer der Abdichtung mit dem O-Ring (6) ähnlichen Art. Die Abdichtung, die durch einer genauen Passung des O-Rings 7 erfolgt, wird mit einer Abdichtung die durch den Druck auf dem O-Ring (wie beim O-Ring (6)) entsteht, ersetzt.
  • Beschreibung
  • Unten beschreiben wir 3 Varianten der Galvanisierungsvorrichtung.
  • 1. Variante
  • Die 1. Variante wird in der 2. beschrieben.
  • 2. Bestandteile:
  • 1
    Aufnahme
    2
    Scheibe
    3
    Abdichtungsring
    4
    Überwurfmutter
    5
    Adapter
    6
    O-Ring
    7
    O-Ring
    8
    elastisches Element, zum Ausgleich der Stellungshöhen des
    Abdichtungsringes (3)
    9
    Faltenbalg, um zu verhindern dass der Elektrolyt ins Innere fließt
    10
    unterer Abdichtungsring
  • Mit der Übenwurfmutter wird der Abdichtungsring (3) nach unten gedrückt und dadurch dichtet der O-Ring (6) den Scheibenrand ab. Das elastische Element (8) wird verformt und drückt auf dem unteren Abdichtungsring (10), auf dem O-Ring (7) und auf dem Abdichtungsring (3). So wird das Innere abgedichtet.
  • 2. Variante
  • Die 2. Variante wird in der 3. beschrieben.
  • 3. Bestandteile:
  • 1
    Aufnahme
    2
    Scheibe
    3
    Abdichtungsring
    4
    Überwurfmutter
    5
    Adapter
    6
    O-Ring
    7
    O-Ring
    8
    elastisches Element, zum Höhenausgleich der Variationen des (3). Teiles
    9
    Faltenbalg, um zu verhindern dass der Elektrolyt ins Innere fließt
    10
    unterer Abdichtungsring
  • Der Unterschied zwischen den ersten zwei Varianten besteht, dass der Faltenbalg (9) Senkrecht steht.
  • 3. Variante
  • Die 3. Variante wird in der 4. beschrieben.
  • 4. Bestandteile:
  • 1
    Aufnahme
    2
    Scheibe
    3
    Abdichtungsring
    4
    Überwurfmutter
    5
    Adapter
    6
    O-Ring
    7
    O-Ring
    8
    elastisches Element, zum Höhenausgleich der Variationen des (3). Teiles
    10
    unterer Abdichtungsring
    11
    Druckteil zum Einstellen
    12
    elastisches Element, um die Scheibe auf dem O-Ring (13) zu drücken
    16
    Zwischenteil
  • Mit der Überwurfmutter wird der Abdichtungsring (3) nach unten gedrückt und dadurch dichtet der O-Ring (7) den Scheibenrand ab. Das elastische Element (12) wird verformt und drückt auf dem Zwischenteil (16), auf dem O-Ring (6) und auf der Scheibe (2). So wird das Innere abgedichtet.
  • 4. Variante
  • Die 4. Variante wird in der 5. beschrieben.
  • 5. Bestandteile
  • 1
    Aufnahme
    2
    Scheibe
    3
    Abdichtungsring
    4
    Überwurfmutter
    5
    Adapter
    6
    O-Ring
    7
    O-Ring
    8
    elastisches Element, zum Höhenausgleich der Variationen des (3). Teiles
    9
    Faltenbalg, um zu verhindern dass der Elektrolyt ins Innere fließt
    10
    unterer Abdichtungsring
    11
    Druckteil zum Einstellen
    12
    elastisches Element, um die Scheibe auf dem O-Ring (3) zu drücken
    13
    Zwischendruckteil
    14
    Druckteil
  • Mit der Überwurfmutter wird der Abdichtungsring (3) nach unten gedrückt und dadurch dichtet der O-Ring (6) den Scheibenrand ab. Der Druckteil (14) und der Zwischendruckteil (13) wird der O-Ring (7) auf dem Abdichtungsring (3) gedrückt.
  • 5. Variante
  • Die 5. Variante wird in der 6. beschrieben.
  • 6. Bestandteile
  • 1
    Aufnahme
    2
    Scheibe
    3
    Abdichtungsring
    4
    Überwurfmutter
    5
    Adapter
    6
    O-Ring
    7
    O-Ring
    10
    unterer Abdichtungsring
    15
    Doppelter Faltenbalg, um zu verhindern dass der Elektrolyt ins Innere fließt,
    weil die Druckluft als elastischer Element wirkt
  • Mit der Überwurfmutter wird der Abdichtungsring (3) nach unten gedrückt und dadurch dichtet der O-Ring (6) den Scheibenrand ab. Der Faltenbalg wird mit Druckluft gefüllt und dadurch wird der Abdichtungsring (10) und auf dem O-Ring (7) und auf dem Abdichtungsring (3) gedrückt. So wird das Innere abgedichtet. Diese Variante ist für die Automatisierung geeignet.
  • 6. Variante
  • Diese Variante wird in der 7. beschrieben.
  • 7. Bestandteile
  • 1
    Aufnahme
    2
    Scheibe
    3
    Abdichtungsring
    4
    Überwurfmutter
    5
    Adapter
    6
    O-Ring
    7
    O-Ring
    10
    unterer Abdichtungsring
    14
    Druckteil
    17
    elastisches Membran
  • Mit der Überwurfmutter (4) wird der Abdichtungsring (3) nach unten gedrückt und dadurch dichtet der O-Rmg (6) den Scheibenrand ab. Das elastische Membran (17)c wird mit Druckluft gefüllt und drückt auf dem unteren Abdichtungsring (10).

Claims (1)

  1. Die Vorrichtungen zum Galvanisieren der leitfähigen oder metallisierte nichtleitfähige Scheiben, bestehen aus einer Aufnahme (1), einem Abdichtungsring (3), einer Überwurfmutter, um auf den Abdichtungsring (3) zu drücken, einem elastischen Element, zum Ausgleich der Höhenvariationen und ein Druck auf das untere Abdichtungsring (10) aufzubauen, einem Faltenbalg (9) und die O-Ringe (6) und (7), um zu verhindern des der Elektrolyt ins Innere fließt, dadurch gekennzeichnet, dass, der Abdichtungsring (3) auf die O-Ringe (6) und (7) unabhängig von den benötigten Passungen und Toleranzen zwischen dem O-Ring und den abgedichteten Teilen drückt, verhindert er, dass der Elektrolyt ins Innere fließt, dass, die dargestellte Vorrichtung in der 2. aus einem horizontalen Faltenbalg, um zu verhindern das der Elektrolyt ins Innere fließt, und einer Feder (8), welche bei Umformungen ein Druck auf dem O-Ring (7) ausübt, besteht, dass, die dargestellte Vorrichtung in der 3. aus einem vertikalen Faltenbalg, um zu verhindern das der Elektrolyt ins Innere fließt, und einer Feder (8), welche bei Umformungen ein Druck auf dem O-Ring (7) ausübt, besteht, dass, dargestellte Vorrichtung in 4., der Druck auf dem O-Ring (7) über dem unteren Abdichtungsring (10), dem Druckteil zum Einstellen (11) und über einer oder mehreren Federn (12), dass, dargestellte Vorrichtung in der 5., ein zusätzliches Zwischendruckteil (13), welches über dem Druckteil (14) ein Druck auf dem O-Ring (7) übt, dazu ein Faltenbalg (9), um zu verhindern dass der Elektrolyt ins Innere fließt, dass, dargestellte Vorrichtung in der 6., der untere Abdichtungsring (10) mit einem doppelten Faltenbalg in Verbindung ist und der ausgeübte Druck auf dem Abdichtungsring (10) durch Druckluft oder einer anderen Flüssigkeit entsteht, dass, dargestellte Vorrichtung in der 7., das Membran (17) durch Druckluft oder einer anderen Flüssigkeit auf dem unteren Abdichtungsring (10), welches auf dem O-Ring (7) und auf einer oder mehreren Federn (12) drückt, wobei der Druck von den Federn (12) auf dem O-Ring (6) weitergeleitet wird.
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