DE10233696B4 - Method and device for determining the wetting properties of the surface of a material - Google Patents
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Abstract
Verfahren zum Bestimmen der Benetzungseigenschaften der Oberfläche eines in eine Flüssigkeit getauchten Prüflings mittels durch eine Kapillare auf die Prüflingsoberfläche gedrückter Gasblasen, dadurch gekennzeichnet, dass der maximale Blasendruck oder die Blasenbildungsgeschwindigkeit (Blasenfrequenz) als Indikator für die Benetzungsfähigkeit der Oberfläche (5) des Prüflings (3) dient.method for determining the wetting properties of the surface of a in a liquid dipped specimens by means of a capillary to the specimen surface pressed gas bubbles, characterized in that the maximum bubble pressure or the bubble formation velocity (Bubble frequency) as an indicator of the wetting ability the surface (5) of the test piece (3) serves.
Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Bestimmen der Benetzungseigenschaften der Oberfläche eines Materials.The The invention relates to a method and a device for determining the wetting properties of the surface of a material.
Für viele Fertigungsprozesse und Erzeugnisse ist die Kenntnis über die Eigenschaften der Oberfläche eines Materials von großem Interesse. Ein wesentlicher Parameter ist dabei das Benetzungsvermögen einer Oberfläche. Das Benetzungsvermögen weist beispielsweise auf die Reinheit einer Oberfläche hin, wie eines zu behandelnden Metallteils oder eines zu verarbeitenden Halbleiterwafers.For many Manufacturing processes and products is the knowledge of the Properties of the surface a material of great Interest. An essential parameter is the wetting ability of a Surface. The wetting power points for example, on the purity of a surface, such as one to be treated Metal part or a semiconductor wafer to be processed.
Eine seit langem genutzte Erscheinung als quantitativer Ausdruck für das Benetzungsvermögen einer Oberfläche durch eine Flüssigkeit ist der Gleichgewichts-Randwinkel, den ein Testtropfen der Flüssigkeit auf einer Oberfläche ausbildet. Da die Benetzung einer Oberfläche häufig Unregelmäßigkeiten aufweist, sind für eine hinreichend genaue Bestimmung des Benetzungsvermögens eine größere Zahl von Testtropfen auszumessen.A has long been used as a quantitative expression of the wetting ability of a surface through a liquid is the equilibrium contact angle, which is a test drop of liquid on a surface formed. Since the wetting of a surface often has irregularities, are for a sufficiently accurate determination of wetting ability larger number of To measure out test drops.
Aus
der
Weitere
Verfahren zur optischen Messung der Grenzflächenspannung zwischen einem
Testtropfen und einer zu untersuchenden Unterlage sind in
Alle genannten Vorrichtungen beruhen auf einer rein statischen Messung des Randwinkels zwischen einem Testtropfen und einer Unterlage auf optischem Wege.All mentioned devices are based on a purely static measurement of the contact angle between a test drop and a pad optical ways.
Aus
Ferner ist aus DIN 53 364 eine rein empirisch entwickelte Testtintenmethode bekannt. Mit einem Pinsel wird eine Serie bekannter Testtinten in der Reihenfolge ihrer Oberflächenspannungen auf den zu untersuchenden Untergrund aufgebracht. Wenn eine Flüssigkeit nicht mehr benetzt, d. h. innerhalb zwei Sekunden sich wieder ansammelt, dann entspricht die "Oberflächenspannung" des Feststoffs der zuletzt verwendeten Tinte.Further is from DIN 53 364 a purely empirically developed test ink method known. A series of well-known test inks is used with a brush the order of their surface tensions applied to the substrate to be examined. If a liquid no longer wetted, d. H. accumulates again within two seconds, then the "surface tension" of the solid corresponds to last used ink.
Letztlich ist in der Druckschrift HENDRIKS, F.: Bubble generator with adjustable bubble size. In: IBM Technical Disclosure Bulletin, Vol.17, No.10, March 1975, Seite 3064 ein Blasengenerator mit variabel steuerbarer Blasenfrequenz beschrieben, bei dem in einem Behälter mit Tinte die Blasen aus einer schräg angeordneten Kapillare auf eine Glasplatte gedrückt werden und die Zeit des Blasenwachstums bis zum Aufplatzen und damit die Blasenfrequenz durch mikrometrische Verstellung des Abstandes der Glasplatte zur Mündung der Kapillare auf einen bestimmten Wert einstellbar ist. Aus dem mit Hilfe eines Piezowandlers erfassten Gasstrom lässt sich auf die Qualität der untersuchten Tinte schließen.Ultimately is in the publication HENDRIKS, F .: bubble generator with adjustable bubble size. In: IBM Technical Disclosure Bulletin, Vol.17, No.10, March 1975, page 3064 a bubble generator with variable controllable bubble frequency described in which in a container with ink, the bubbles from an oblique arranged capillaries are pressed onto a glass plate and the time of Bubble growth to bursting and thus the bubble frequency micrometric adjustment of the distance of the glass plate to the mouth of the Capillary is adjustable to a certain value. From the with The help of a piezoelectric transducer detected gas flow can be based on the quality of the investigated Close the ink.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren und eine Vorrichtung zum statischen oder dynamischen Messen des Benetzungsvermögens einer Oberfläche ohne Gebrauch optischer oder geometrischer Messmittel anzugeben. Insbesondere soll die Vorrichtung als Handmessgerät oder Prozessmessgerät ausgebildet werden können, wobei letzteres ein automatisches Anzeigen, Aufzeichnen und Auswerten einer Vielzahl von Messwerten erlauben soll.Of the Invention is based on the object, a method and an apparatus for statically or dynamically measuring the wetting power of a surface without using optical or geometric measuring equipment. In particular, the device should be designed as a hand-held measuring device or process measuring device can be the latter being an automatic display, recording and evaluation should allow a variety of readings.
Die Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die in den unabhängigen Ansprüchen 1, 4, 11 und 12 angegebenen Merkmale gelöst. Vorteilhafte Weiterbildungen und Ausprägungen sind in den abhängigen Ansprüchen 2, 3 und 5 bis 10 angegeben.The The object is achieved by the in the independent ones claims 1, 4, 11 and 12 specified characteristics solved. Advantageous developments and characteristics are in the dependent claims 2, 3 and 5 to 10 indicated.
Indem auf anspruchsvolle optische Erfassungs- oder Auswerteeinheiten verzichtet wird, gestalten sich das Verfahren und die Vorrichtung anwenderfreundlich und preiswert. Die Messergebnisse hängen in keiner Weise mehr von subjektiven Einflüssen ab, wie sie von Beobachter zu Beobachter oder auch von Messung zu Messung durch ein und denselben Beobachter bei optischen Auswerteverfahren unvermeidbar sind. Bei einer fotographischen Aufzeichnung wären immerhin noch diese Aufzeichnungen auszuwerten. Die Erfindung erlaubt weiterhin ein Ausmessen von Oberflächen, die optisch nur sehr schwer oder überhaupt nicht erfasst werden können. Weiterhin ist mit einfachen Mitteln eine Automatisierung von Messungen möglich.By dispensing with sophisticated optical detection or evaluation units, the method and the device are user-friendly and inexpensive. The measurement results are in no way dependent on subjective influences, as they are unavoidable from observer to observer or from measurement to measurement by one and the same observer in optical evaluation. In a photographic recording, these records would still be evaluated. The invention further allows a measurement of surfaces that are difficult or impossible to detect optically very difficult. Furthermore, with simple means an automatization possible measurements.
Die Erfindung soll anhand eines Ausführungsbeispiels näher erläutert werden. In den dazugehörigen Zeichnungen zeigen:The Invention is based on an embodiment be explained in more detail. In the corresponding Drawings show:
In
einem Messgefäß
Durch
die Kapillare
Bei
der oben erwähnten
Messung der Oberflächenspannung
einer Flüssigkeit
nach der Blasendruckmethode werden die Blasen bis zur Halbkugelform
(minimaler Radius der Blase) aufgebläht. Zu diesem Zeitpunkt erreicht
der Blasendruck sein Maximum, beispielsweise 1000 Pa. Übersteigt
dann der Blasenradius den Radius der Kapillare
Mit
der messtechnischen Erfassung des maximalen Blasendrucks, der sich
bei der Ausbildung einer Blase zwischen dem Rand der Kapillare
Bei
dem erfindungsgemäßen Verfahren
ist wie gesagt die Oberflächenspannung
der verwendeten Flüssigkeit
(z. B. Wasser) bekannt und deshalb nicht Messobjekt. Wird eine Blase
im Wasserbad auf die Oberfläche
An der Dreiphasengrenze Oberfläche des Prüflings, Oberfläche der Gasblase und Grenzfläche zwischen Festkörper und Gasblase besteht bei einem sich gemäß der YOUNG-schen Gleichung einstellenden Randwinkel ein Kräftegleichgewicht zwischen der benetzenden Kraft (Spreiten der Flüssigkeit) und der entnetzenden Kraft (Blasendruck).At the three-phase boundary surface of the test object, surface the gas bubble and interface between solid and gas bubble is in accordance with the YOUNG equation adjusting contact angle an equilibrium of forces between the wetting force (spreading of the liquid) and the de-wetting Force (bubble pressure).
Wird das Kräftegleichgewicht durch den Druck des nachströmenden Gases gestört, weicht die 3-Phasenkontaktlinie von der Kapillare weg aus. Die Blase wird folglich in Abhängigkeit des Randwinkels mehr oder weniger stark gekrümmt. Bei einer Oberfläche mit guten Entnetzungseigenschaften, beispielsweise Teflon, muss die Blase kaum gekrümmt werden, da die 3-Phasenkontaktlinie sich längs der Oberfläche bis zum Ablösen der Blase ausbreitet. Bei einer Oberfläche mit schlechten Entnetzungseigenschaften, beispielsweise Glas, wird die Grenzfläche stark gekrümmt, weil die Unterstützung durch das Entnetzen fehlt und je nach Randwinkel die Flüssigkeit sogar die Oberfläche entgegengerichtet benetzt. Bei einer bestimmten Blasengröße treibt die Blase auf, je nachdem, wie gut sie an der Festkörperoberfläche haftet.If the equilibrium of forces is disturbed by the pressure of the inflowing gas, the 3-phase contact line deviates away from the capillary. The bubble is consequently curved more or less strongly as a function of the contact angle. For a surface with good dewetting properties, for example Teflon, the bubble hardly needs to be curved since the 3-phase contact line propagates along the surface until the bubble comes off. For a surface with poor wetting properties, such as glass, the interface will be heavily curved because of lack of dewetting assistance and depending on the wetting angle the liquid even wets the surface in the opposite direction. At a given bubble size, the bubble drives up, depending on how well it adheres to the solid surface.
Daraus
kann die folgende weitere Auswertemethode abgeleitet werden, nämlich Blasen
mit einem konstanten Volumenstrom durch die Kapillare
Beim
Aufdrücken
einer Blase auf eine Oberfläche
durchläuft
der Blasendruck also ein Maximum, welches außer von der Oberflächenspannung
der Flüssigkeit
von der Einspannung der Grenzfläche Gas/Flüssigkeit
bestimmt wird. Sobald konstruktionsbedingt ein Blasenradius erzwungen
wird, der kleiner ist als der minimale Radius, der sich an dieser
Kapillare
In
In
In
Nach einer weiteren Ausprägung der Erfindung wird anstatt einer Luftblase ein Flüssigkeitstropfen mit bekannter Oberflächenspannung (z. B. Wasser) durch eine Kanüle auf eine trockene Prüflingsoberfläche gedrückt, um den zum Spreiten nötigen Druck als Maß für das Benetzungsvermögen zu verwenden. Bei gut benetzbaren Oberflächen ist ein kleinerer Druck, bei schlecht benetzbaren Oberflächen ein größerer Druck erforderlich. Dabei wird nach einer Weiterbildung der Erfindung vor der Kapillare ein Druckspeicher angeordnet, um einen steileren Druckabfall nach dem Druckmaximum zu erreichen und damit das Druckmaximum besser abzugrenzen.To another expression The invention is a liquid droplet instead of an air bubble with known surface tension (eg, water) through a cannula pressed on a dry specimen surface to the pressure necessary for spreading to use as a measure of wetting power. For well wettable surfaces is a smaller print, with poorly wettable surfaces greater pressure required. This is according to a development of the invention In front of the capillary, a pressure accumulator arranged to a steeper pressure drop to reach after the maximum pressure and thus the pressure maximum better delineate.
- 11
- Messgefäß mit Flüssigkeit (Wasser)Measuring vessel with liquid (Water)
- 22
- Auflager für PrüflingIn stock for examinee
- 33
- Prüflingexaminee
- 44
- Kapillarecapillary
- 55
- Oberfläche des PrüflingsSurface of the DUT
- αα
- Blasenaustrittswinkel zwischen Kapillare und PrüflingBladder outlet angle between capillary and test specimen
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- 2002-07-24 DE DE2002133696 patent/DE10233696B4/en not_active Expired - Fee Related
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|---|
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Also Published As
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