DE10216284C1 - Vorrichtung und Verfahren zum Positionieren eines plattenförmigen Substrates - Google Patents

Abstract

Die Erfindung schafft eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Positionieren eines Substrates 101 auf einer ein Transportband 302 aufweisenden Transportstrecke 100. Erfindungsgemäß wird die Position des transportierten Substrates 101 bestimmt, indem die in Transportrichtung 102 gesehene vorderste Kante des Substrates 101 mittels einer Lichtschranke erfasst wird. Der Erfassungsbereich 105 der Lichtschranke erstreckt sich bis unterhalb des Auflageniveaus 701 des Substrates 101 auf dem Tranportband 302. Somit wird die Substratvorderkante auch dann erfasst, wenn sich diese beispielsweise infolge eines Durchbiegens unterhalb des Auflageniveaus 701 befindet. Das Transportband 302 wird in einer Schleife um den Erfassungsbereich 105 der Lichtschranke herumgeführt, so dass sich der Erfassungsbereich 105 der Lichtschranke quer über die gesamte Transportstrecke 100 verlaufen kann. Gemäß einer Weiterbildung wird zusätzlich ein Sensorelement 106 verwendet, welches relativ zu der Lichtschranke stromaufwärts an der Transportstrecke 100 angebracht ist und mittels welchem ebenfalls die Vorderkante des zu positionierenden Substrates 101 erfassbar ist. Auf diese Weise kann ein besonders schonendes Abbremsen des entlang der Transportstrecke 100 bewegten Substrates 101 erreicht werden.

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung und auf ein Verfahren zum linearen Positionieren eines plattenförmigen Substrates entlang einer Transportstrecke, welche zumindest ein Transportband aufweist.

Die automatische Bestückung von Substraten bzw. Leiterplatten mit Bauelementen erfolgt heutzutage üblicherweise mittels sog. Bestückautomaten. Dabei werden Bauelemente von einer Bauelementzuführeinrichtung mittels eines Bestückkopfes zu einer Aufsetzposition auf ein Substrat transportiert. Unter dem Begriff Bauelemente werden im folgenden alle bestückfähi­ gen Elemente verstanden, insbesondere elektronische Bauele­ mente, elektromechanische Bauelemente, Stecker und Steckver­ bindungen für elektrische und mechanische Kontakte sowie Ab­ schirmbleche. Bestückfähige Substrate sind außer Leiterplat­ ten ferner beispielsweise Dies bzw. einzelne Teile eines Hal­ bleiterwafers, welche insbesondere nach dem Strukturieren und dem Schneiden des Wafers zu fertigen Bauelementen weiterver­ arbeitet werden.

Die zu bestückenden Substrate werden aus einem Magazin oder von einem anderen Bestückautomaten entnommen, an zwei gegenü­ berliegenden Seiten geführt und mit Hilfe eines Lineartrans­ ports, welcher üblicherweise zwei Transportbänder aufweist, in den Bestückautomaten transportiert. Für eine präzise Be­ stückung eines Substrates ist es erforderlich, dass die Posi­ tion des Substrates genau bekannt ist.

Die Positionierung von Substraten auf einer Transportstrecke erfolgt gemäß dem Stand der Technik üblicherweise mittels ei­ nes mechanischen Positioniersystems. Dabei wird ein sog. Stoppelement, welches unterhalb der Substratebene angeordnet ist, derart nach oben verschoben, dass ein entlang der Trans­ portstrecke bewegtes Substrat gegen das Stoppelement fährt und somit die Stopp-Position des Substrates festgelegt ist. Zur Vermeidung von größeren Erschütterungen werden bei derar­ tigen mechanischen Positioniersystemen beispielsweise Ultra­ schallreflex-Taster verwendet, welche ein transportiertes Substrat vor dem Anschlag an das Stoppelement erkennen und das Transportband daraufhin abgebremst wird, so dass das Sub­ strat mit geringerer Geschwindigkeit auf das Stoppelement prallt. Um sicherzustellen, dass das Substrat das Stopp­ element auch sicher erreicht, läuft das Transportband nach der Vorerkennung des Substrates durch den Ultraschallreflex- Taster für eine definierte Zeit weiter. Eine Erkennung, ob das Substrat das Stoppelement auch tatsächlich erreicht hat, ist bei der Verwendung eines gewöhnlichen Stoppelements nicht möglich.

Bei der Bestückung von Substraten, welche an ihrer Vorderkan­ te Ausschnitte aufweisen, muss das Stoppelement derart posi­ tioniert werden, dass die vorderste Kante des ausgeschnitte­ nen Substrates gegen das nach oben ausgefahrene Stoppelement fährt. Bei einer Bestückung von verschiedenartigen Substraten mit unterschiedlichen Aussparungen ist deshalb ein manuelles Verschieben des Stoppelements quer zur Transportrichtung er­ forderlich. Ein weiterer Nachteil des bekannten mechanischen Positioniersystems besteht darin, dass das Substrat beim An­ schlagen an das Stoppelement stets Erschütterungen ausgesetzt ist.

Aus der DE 198 23 938 C1 ist ein Verfahren und eine Vorrich­ tung zum linearen Positionieren und zur Lageerkennung eines Substrates bekannt, wobei mittels eines oberhalb einer Trans­ portstrecke angeordneten optischen Sensors die Position eines transportierten Substrates bestimmt werden kann. Dabei wird mittels des Sensors ein vorgegebenes Substratmerkmal an einer vorgegebenen Bremsposition der Transportstrecke erfasst und daraufhin das Transportband, auf welchem das zu bestückende Substrat aufliegt, derart abgebremst, dass das Substrat mit dem Substratmerkmal an einer Endposition zur Ruhe kommt.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Positionieren eines plattenförmigen Substrates entlang einer Transportstrecke zu schaffen, mit­ tels welchen eine exakte Positionierung des Substrates unab­ hängig von auf dem Substrat angebrachten Markierungen vorge­ nommen werden kann und wobei mechanische Erschütterungen des zu positionierenden Substrates möglichst vermieden werden.

Die vorrichtungsbezogene Aufgabe wird gelöst durch eine Vor­ richtung mit den Merkmalen des unabhängigen Anspruchs 1. Der Erfindung liegt die Erkenntnis zugrunde, dass eine zuverläs­ sige Positionierung von Substraten, welche an ihrer Vorder­ kante Ausschnitte bzw. Aussparungen aufweisen, durch die Ver­ wendung einer Lichtschranke realisiert werden kann, welche quer zur Transportrichtung angeordnet ist. Die Verwendung ei­ ner Lichtschranke stellt sicher, dass unabhängig von der Form der vorderen Kante des zu transportierten Substrates stets der vorderste Teil der Vorderkante des Substrates erfasst wird. Die Erstreckung des Erfassungsbereiches der Licht­ schranke bis unter das Auflageniveau des Substrates stellt sicher, dass die vorderste Kante des Substrates auch dann er­ fasst wird, wenn sich der vorderste Teil des Substrates in­ folge einer Durchbiegung nach unten unterhalb des Auflageni­ veaus des Substrates befindet. Ein solches Durchbiegen tritt insbesondere bei dünnen Substraten mit relativ großen Ausspa­ rungen häufig auf.

Gemäß Anspruch 2 ist die Lichtschranke entlang der Trans­ portstrecke verschiebbar, so dass die Vorrichtung zum Posi­ tionieren eines plattenförmigen Substrates für eine Vielzahl von verschiedenen Substrattypen verwendet werden kann.

Gemäß Anspruch 3 weist die Lichtschranke eine Lichtquelle und einen Lichtempfänger auf, welche auf unterschiedlichen Seiten der Transportstrecke einander gegenüberliegend angeordnet sind. Unter dem Begriff Lichtquelle und Lichtempfänger werden nicht nur optische Elemente verstanden, welche Licht im sichtbaren Spektralbereich emittieren bzw. detektieren. Eben­ so können optische Elemente verwendet werden, welche im in­ fraroten, ultravioletten oder in einem beliebigen anderen Spektralbereich elektromagnetische Strahlung emittieren bzw. detektieren.

Gemäß Anspruch 4 wird für die Lichtschranke eine Laserlicht­ quelle verwendet, so dass die Lichtschranke einen genau defi­ nierten Erfassungsbereich aufweist, dessen Querschnitt über die Breite der Transportstrecke im wesentlichen konstant bleibt. Die Verwendung einer Laserlichtschranke hat den Vor­ teil, dass sich der Erfassungsbereich der Lichtschranke nur sehr gering über die Breite der Transportstrecke ändert, so dass vermieden wird, dass die Stopp-Position von der Dicke des zu positionierenden Substrates und von der Breite der Transportstrecke abhängt. Eine derart abhängige Stopp- Position würde sich bei einem sich aufweitenden Strahl erge­ ben.

Gemäß Anspruch 5 ist die lichtempfindliche Fläche des Licht­ empfängers größer als der Querschnitt des Erfassungsbereiches der Lichtschranke. Dadurch wird gewährleistet, dass die Posi­ tioniergenauigkeit auch dann nicht reduziert wird, wenn bei einer Einstellung der Breite der Transportstrecke die beiden Transportseiten nicht exakt parallel verschoben werden.

Gemäß Anspruch 6 weist die Vorrichtung zur Positionierung ei­ ne oder mehrere Umlenkrollen auf, mittels welchen das Trans­ portband um den Erfassungsbereich der Lichtschranke herumge­ führt wird. Bevorzugt weist die Vorrichtung zur Positionie­ rung für jedes Transportband der Transportstrecke drei Um­ lenkrollen auf, wobei eine erste Umlenkrolle das Transport­ band um 90° nach unten umlenkt, eine zweite Umlenkrolle das mittels der ersten Umlenkrolle umgelenkte Transportband um 180° nach oben umlenkt und eine dritte Umlenkrolle das mit­ tels der zweiten Umlenkrolle umgelenkte Transportband um 90° in horizontale Richtung umlenkt.

Gemäß der vorteilhaften Weiterbildung nach Anspruch 7 weist die Vorrichtung zusätzlich ein Sensorelement auf, mittels welchem das zu positionierende Substrat vor einem Auslösen der Lichtschranke erfasst wird. Auf diese Weise kann vor der Erfassung durch die Lichtschranke das bewegte Substrat an ei­ ner weiteren Position erfasst werden. Das Sensorelement kann beispielsweise ein Ultraschallreflex-Taster oder eine Licht­ schranke sein. Bevorzugt ist das Sensorelement ein sog. Lichttaster, welcher beispielsweise in einem sog. SMD- Bauelement (Surface Mounted Device) integriert sein kann. Dies hat den Vorteil, dass das Sensorelement in einer räumli­ chen kompakten Baugröße realisierbar ist. Es wird darauf hin­ gewiesen, dass der Lichttaster zum Erfassen eines Substrates außer sichtbarem Licht auch Licht im infraroten, im ultravio­ letten oder in jedem beliebigen anderen Spektralbereich ver­ wenden kann.

Die Justierung des Sensorelements gemäß Anspruch 9 hat den Vorteil, dass das Erfassen des Substrates durch Verschmutzun­ gen auf dem Transportband nicht beeinträchtigt wird. Bei der Verwendung von zwei Transportbändern, auf welchen die zu po­ sitionierenden Substrate in Transportrichtung gesehen mit ih­ rer linken bzw. mit ihrer rechten Kante aufliegen, liegt der Erfassungsbereich demzufolge zwischen den beiden Transport­ bändern.

Gemäß Anspruch 10 wird das Sensorelement dazu verwendet, um vor dem Erfassen des Substrates mit der Lichtschranke die Ge­ schwindigkeit des Transportbandes zu steuern. Durch eine Re­ duzierung der Transportgeschwindigkeit können auf vorteilhaf­ te Weise beim Stoppen des Substrates auftretende Erschütte­ rungen erheblich reduziert werden.

Die der Erfindung zugrundeliegende verfahrensbezogene Aufgabe wird durch ein Verfahren mit den Merkmalen des unabhängigen Anspruchs 11 gelöst.

Gemäß Anspruch 12 wird die Transportgeschwindigkeit beim Ein­ dringen des Substrates in den Erfassungsbereich des Sensor­ elements kontinuierlich reduziert, so dass eine abrupte Bewe­ gungsänderung des zu positionierenden Substrates vermieden werden kann.

Anhand der beispielhaften Beschreibung einer bevorzugten Aus­ führungsform wird die Erfindung nachfolgend näher erläutert. Dabei werden in der Zeichnung gleiche Bezugszeichen für glei­ che Teile verwendet.

Fig. 1 zeigt eine Draufsicht auf eine Transportstrecke, entlang welcher ein Substrat positioniert wird.

Fig. 2 zeigt ein Geschwindigkeitsprofil des zu positionie­ renden Substrates.

Fig. 3 zeigt in einer Querschnittsansicht entlang der Transportrichtung ein an der Transportstrecke ange­ brachtes Sensorelement.

Fig. 4 zeigt eine Seitenansicht quer zur Transportrichtung des in Fig. 3 dargestellten Sensorelements.

Fig. 5 illustriert ein Verschieben des Sensorelements ent­ lang der Transportstrecke, welches bei einem Wechsel von einem Substrat mit einer geraden Vorderkante (linke Seite) zu einem anderen Substrat mit einer eine Aussparung aufweisenden Vorderkante (rechte Seite) erforderlich ist.

Fig. 6a zeigt eine Frontansicht entgegen der Transportrich­ tung eines an der Vorderseite zwei Aussparungen auf­ weisenden Substrates.

Fig. 6b zeigt eine Draufsicht des in Fig. 6a dargestellten Substrats.

Fig. 7 zeigt in einer schematischen Darstellung das Grö­ ßenverhältnis zwischen der Querschnittsfläche des er­ fassenden Lichtstrahls der Lichtschranke und der De­ tektorfläche des Lichtempfängers.

Fig. 8 zeigt ein mittels drei Umlenkrollen um den Erfas­ sungsbereich der Lichtschranke herumgeführtes Trans­ portband.

Fig. 1 zeigt eine Transportstrecke 100, entlang welcher ein Substrat 101 in einer durch den Pfeil 102 gekennzeichneten Transportrichtung transportiert wird und der Transport an ei­ ner bestimmten Position gestoppt wird. Die Positionserfassung des bewegten Substrates 101 erfolgt in zwei Stufen. Zunächst wird die vordere Kante des Substrates 101 mittels zweier Sen­ sorelemente 106 erfasst, welche seitlich links und rechts ne­ ben der Transportstrecke 100 angeordnet sind. Das Sensorele­ ment kann ein Lichttaster oder eine Lichtschranke sein. Jedes der Sensorelemente 106 weist einen Erfassungsbereich 107 auf, durch welchen das zu positionierende Substrat 101 durchgefah­ ren wird. Die exakte Positionierung des Substrates 101 er­ folgt in einem zweiten Schritt mittels einer Lichtschranke, die einen Erfassungsbereich 105 aufweist, welcher quer zu der Transportrichtung 102 verläuft. Die Lichtschranke weist auf der einen Seite der Transportstrecke eine Laserlichtquelle 103 und dazu gegenüberliegend auf der anderen Seite der Transportstrecke 100 einen Lichtdetektor 104 auf. Der Erfas­ sungsbereich 105 ist relativ zu der Transportstrecke 100 der­ art angeordnet, dass automatisch die vorderste Kante des Sub­ strates 101 erfasst wird.

Der Bewegungsverlauf des zu positionierenden Substrates 101 ist in Fig. 2 dargestellt. Dabei ist auf der Abszisse die Zeit t und auf der Ordinate die Geschwindigkeit v des Sub­ strates 101 aufgetragen. Gemäß dem hier dargestellten Ausfüh­ rungsbeispiel der Erfindung wird das zu positionierende Sub­ strat 101 zunächst mit einer bestimmten konstanten Geschwin­ digkeit v1 transportiert. Beim Eindringen der Vorderkante des zu positionierenden Substrates 101 in die Erfassungsbereiche 107 zum Zeitpunkt t1 wird die Transportgeschwindigkeit in Form einer Rampe reduziert. Die Geschwindigkeit wird kontinu­ ierlich reduziert, bis das Substrat 101 zu einem Zeitpunkt t2 mit der reduzierten Geschwindigkeit v2 bewegt wird. Die Bremsrampe ist dabei so ausgelegt, dass das Substrat 101 auf jeden Fall die langsame Geschwindigkeit v2 erreicht, bevor es von der Lichtschranke zum Zeitpunkt t3 erfasst wird. Zum Zeitpunkt t3 wird die Transportbewegung sofort gestoppt. Das Substrat 101 hat dann seine endgültige Position erreicht. Durch die kontinuierliche Reduzierung der Geschwindigkeit von der Maximalgeschwindigkeit v1 bis zu der langsameren Ge­ schwindigkeit v2 wird die beim Stoppen der Transportbewegung auftretende Erschütterung erheblich reduziert.

Fig. 3 zeigt in einer Querschnittsansicht entlang der Trans­ portrichtung die bevorzugte Anordnung des Sensorelements 106 an einer Transportwange 300, mittels welcher ein Transport­ band 302 geführt wird, auf welchem das zu positionierende Substrat mit einer Seite aufliegt. Das Sensorelement 106 ist an einer Halterung derart befestigt, dass sich der Erfas­ sungsbereich 107 des Sensorelements 106 seitlich neben dem Transportband 302 befindet. Auf diese Weise wird vermieden, dass beispielsweise durch eventuelle Verschmutzungen des Transportbandes 302 mittels des Sensorelements 106 ein Signal erzeugt wird, welches fälschlicherweise das Eindringen eines Substrates indiziert. Durch die kurze Reichweite und das Er­ fassen nach unten sind ferner Fehlerkennungen durch andere sich bewegende Maschinenteile ausgeschlossen.

Fig. 4 zeigt eine Seitenansicht quer zur Transportrichtung der Transportwange 300. Die Halterung 301 und damit auch das Sensorelement 106 sind entlang der Transportrichtung zwischen einem ersten Anschlag 401 und einem zweiten Anschlag 402 ent­ lang einer Verschieberichtung 400 verschiebbar. Auf diese Weise kann der Erfassungsbereich 107 relativ zu der Trans­ portstrecke 100 verschoben werden. Dies ist insbesondere dann wichtig, wenn verschiedenartige Substrate mit unterschiedlich ausgebildeten Vorderkanten entlang der Transportstrecke be­ wegt und nachfolgend mittels der Lichtschranke genau positio­ niert werden.

Anhand von Fig. 5 wird das Verschieben der Sensorelemente 106 erläutert, welches dann erforderlich ist, wenn verschie­ dene Typen von Substraten, insbesondere ein Substrat 501a mit einer geraden Vorderkante und ein Substrat 501b, welches an zumindest einer vorderen Ecke eine Aussparung 502 aufweist, positioniert werden sollen. Wie in Fig. 5 dargestellt, sol­ len die beiden unterschiedlichen Substrate 501a und 501b der­ art erfasst werden, dass ein Signal genau dann ausgegeben wird, wenn die Vorderkante 503 des bewegten Substrates gerade eine bestimmte Position erreicht. Im Falle der geraden Vor­ derkante des Substrates 501a wird das Sensorelement derart positioniert, dass sich der Erfassungsbereich 107a nahe der gewünschten Position befindet. Bei der Verwendung eines Sub­ strates 501b mit der Aussparung 502 an seiner vorderen rech­ ten Ecke muss der Erfassungsbereich 107b um eine bestimmte Strecke 400 entgegen der Transportrichtung 102 verschoben werden, um somit zu gewährleisten, dass genau dann ein Signal ausgegeben wird, wenn sich die vorstehende Vorderkante 504 des Substrates 501b gerade die gewünschte Position passiert.

Die Fig. 6a und 6b zeigen eine Frontansicht und eine Draufsicht des Substrates 501b, welches an seinen beiden vor­ deren Ecken jeweils Aussparungen 502 aufweist. Die vorderste Kante des Substrates 501b ist infolge der Schwerkraft leicht nach unten gebogen. Da erfindungsgemäß die Lichtschranke der­ art angeordnet ist, dass sich der Erfassungsbereich bis unter das Auflageniveau des Substrates 501b auf dem Transportband 302 erstreckt, wird gewährleistet, dass die vorderste Kante 504 des Substrates 501b zuverlässig erfasst wird.

Fig. 7 zeigt in einer schematischen Darstellung die räumli­ chen Lage des Erfassungsbereiches 105 und des Lichtdetektors relativ zu dem Auflageniveau 701 des zu positionierenden Sub­ strates auf dem Transportband. Der Lichtdetektor weist eine effektive Detektorfläche 700 auf, welche wesentlich größer ist als der Querschnitt des Erfassungsbereiches 105. Auf die­ se Weise wird gewährleistet, dass eine zuverlässige Erfassung der Stopp-Position auch dann erfolgt, wenn bei Einstellung der Breite der Transportstrecke die beiden Transportseiten nicht parallel verschoben werden. Gemäß dem hier dargestell­ ten Ausführungsbeispiel der Erfindung weist die Detektorflä­ che 700 eine Breite b_d von ungefähr 5 mm und eine Höhe h_d von ebenfalls ungefähr 5 mm auf. Der Erfassungsbereich 105 weist eine Höhe h von ungefähr 4 mm und eine Breite b von ungefähr 0,3 mm auf. Der Erfassungsbereich 105, welcher parallel zu dem Auflageniveau 701 verläuft, ist derart angeordnet, dass sich der Erfassungsbereich 105 nach unten bis zu einer Höhe x von ungefähr 1 mm unterhalb des Auflageniveaus 701 erstreckt. Auf diese Weise wird sichergestellt, dass die vorderste Kante eines Substrates, welches an seiner vorderen Seite Aussparun­ gen aufweist, auch dann zuverlässig von der Lichtschranke er­ fasst wird, wenn sich die vorderste Kante nicht mehr als un­ gefähr 1 mm unterhalb des Auflageniveaus 701 befindet. Es wird darauf hingewiesen, dass selbstverständlich die Höhenla­ ge des Erfassungsbereichs 105 relativ zu dem Auflageniveau 701 größer oder kleiner als im hier dargestellten Ausfüh­ rungsbeispiel gewählt werden kann, so dass je nach Größe und Dicke bzw. Steifheit der zu positionierenden Substrate die vordersten Kanten auch dann zuverlässig erfasst werden, wenn diese unterschiedlich stark durchhängen.

Fig. 8 zeigt die Führung des Transportbandes 302, welches mittels einer ersten Umlenkrolle 800a, einer zweiten Umlenk­ rolle 800b und einer dritten Umlenkrolle 800c um den Erfas­ sungsbereich der Lichtschranke, welche die Laserlichtquelle 103 und den Lichtdetektor 104 aufweist, herumgeführt wird. Durch das Ausschleifen des Transportbandes 302 unterhalb der Lichtschranke wird gewährleistet, dass sich der Erfassungsbe­ reich der Lichtschranke auch unterhalb des Auflageniveaus quer über die gesamte Transportstrecke des Substrates 101 erstrecken kann und somit zuverlässig auch nach unten durchhängende Vorderkanten des Substrates erfassbar sind.

Zusammenfassend schafft die Erfindung eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Positionieren eines Substrates 101 auf einer ein Transportband 302 aufweisenden Transportstrecke 100. Erfindungsgemäß wird die Position des transportierten Substrates 101 bestimmt, indem die in Transportrichtung 102 gesehene vorderste Kante des Substrates 101 mittels einer Lichtschranke erfasst wird. Der Erfassungsbereich 105 der Lichtschranke erstreckt sich bis unterhalb des Auflageniveaus 701 des Substrates 101 auf dem Transportband 302. Somit wird die Substratvorderkante auch dann erfasst, wenn sich diese beispielweise infolge eines Durchbiegens unterhalb des Auflageniveaus 701 befindet. Das Transportband 302 wird in einer Schleife um den Erfassungsbereich 105 der Lichtschranke herumgeführt, so dass sich der Erfassungsbereich 105 der Lichtschranke quer über die gesamte Transportstrecke 100 verlaufen kann. Gemäß einer Weiterbildung wird zusätzlich ein Sensorelement 106 verwendet, welches relativ zu der Lichtschranke stromaufwärts an der Transportstrecke 100 angebracht ist und mittels welchem ebenfalls die Vorderkante des zu positionierenden Substrates 101 erfassbar ist. Auf diese Weise kann ein besonders schonendes Abbremsen des entlang der Transportstrecke 100 bewegten Substrates 101 erreicht werden.

Claims (14)

1. Vorrichtung zum Positionieren eines plattenförmigen Sub­ strates entlang einer zumindest ein Transportband (302) auf­ weisenden Transportstrecke (100), mit
einer Lichtschranke, welche derart angeordnet ist, dass de­ ren Erfassungsbereich (105) parallel zu der Auflageebene und senkrecht zu der Transportrichtung (102) des Substrates (101) verläuft und die Position der in Transportrichtung (102) weisenden Stirnseite des Substrates (101) erfassbar ist, wobei sich der Erfassungsbereich (105) der Licht­ schranke bis unter das Auflageniveau (701) des Substrats (101) erstreckt, und
zumindest einer Auslenkvorrichtung, mittels welcher das Transportband (302) in einer zumindest teilweise unterhalb des Auflageniveaus (701) ausgebildeten Schleife um den Er­ fassungsbereich (105) der Lichtschranke herum geführt wird.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, bei der die Lichtschranke entlang der Transportstrecke (100) verschiebbar ist.

3. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 2, bei der die Lichtschranke auf der einen Seite der Transportstrecke (100) eine Lichtquelle (103) und auf der anderen Seite der Trans­ portstrecke (100) einen Lichtempfänger (104) aufweist.

4. Vorrichtung nach Anspruch 3, bei welcher die Lichtquelle (103) ein Laser ist.

5. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 3 bis 4, bei welcher der Lichtempfänger (104) eine lichtempfindliche Fläche (700) aufweist, welche größer ist als der Querschnitt des von der Lichtquelle (103) emittierten Lichtstrahls.

6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, bei der die Auslenkvorrichtung zumindest eine Umlenkrolle und bevorzugt drei Umlenkrollen (800a, 800b, 800c) aufweist.

7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, zusätzlich mit zumindest einem Sensorelement (106), welches relativ zu der Lichtschranke stromaufwärts derart an der Transportstre­ cke (100) angebracht ist, dass ein entlang der Transportstre­ cke (100) transportiertes Substrat (101) vor einem Auslösen der Lichtschranke in den Erfassungsbereich (107) des Sensor­ elements (106) eindringt.

8. Vorrichtung nach Anspruch 7, bei welcher das Sensorelement (106) an einem Führungselement (300) des Transportbandes (302) und/oder des Substrates (101) angebracht ist.

9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 7 bis 8, bei welcher das Sensorelement (106) derart justiert ist, dass sich der Erfassungsbereich (107) seitlich neben dem Transportband (302) befindet.

10. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 7 bis 9, bei welcher beim Eindringen des Substrates (101) in den Erfassungsbereich (107) des Sensorelements (106) ein Signal ausgebbar ist, mit­ tels welchem die Geschwindigkeit des Transportbandes (302) steuerbar ist.

11. Verfahren zum Positionieren eines plattenförmigen Sub­ strates entlang einer zumindest ein Transportband (302) auf­ weisenden Transportstrecke (100) unter Verwendung der Vor­ richtung gemäß einem der Ansprüche 7 bis 10, bei dem
beim Eindringen des Substrates (101) in den Erfassungsbe­ reich (107) des Sensorelementes (106) die Transportge­ schwindigkeit reduziert wird und
beim Auslösen der Lichtschranke durch die Stirnseite des Substrates (101) die Bewegung des Substrates (101) gestoppt wird.

12. Verfahren nach Anspruch 11, bei dem die Transportge­ schwindigkeit vor dem Auslösen der Lichtschranke kontinuier­ lich reduziert wird.

13. Verfahren nach Anspruch 12, bei dem die Transportge­ schwindigkeit in Form eines rampenartigen Geschwindigkeits­ verlaufes von einer Maximalgeschwindigkeit (v1) auf eine Mi­ nimalgeschwindigkeit (v2) reduziert wird.

14. Verfahren nach Anspruch 13, bei dem die Minimalgeschwin­ digkeit (v1) erreicht wird, bevor die Lichtschranke ausgelöst wird.