DE10215284A1 - Verfahren und Vorrichtung zum Trocknen von Substraten - Google Patents

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Trocknen von Substraten (S), wobei die Substrate (S) in einem in eine Behandlungsflüssigkeit eingetauchten Träger (T) aufgenommen sind, umfassend: eine erste Hubeinrichtung zum Heben des Trägers (T) aus der Behandlungsflüssigkeit, wobei die erste Hubeinrichtung einen Hubarm (20) zur Aufnahme des Trägers (T) aufweist, eine erste Hubeinrichtung zum Abheben der Substrate (S) von mindestens einem am Träger (T) vorgesehenen Trägerelement (2, 3). Zur Vereinfachung der Vorrichtung ist erfindungsgemäß vorgesehen, dass die erste Hubeinrichtung am Hubarm (20) angebracht ist.

Description

• Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Trocknen von Substraten.
• Aus der US 4,772,752 sind ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Spülen und Trocknen von Substraten bekannt. Dabei sind die Substrate in einem Träger aufgenommen, der am Boden einen Durchbruch aufweist. Der Träger wird mittels einer ersten Hubeinrichtung in ein Behandlungsbad eingetaucht. Zum Herausgeben der Substrate aus dem Behandlungsbad wird ein Hubelement einer zweiten Hubeinrichtung angehoben, das den bodenseitigen Durchbruch des Trägers durchgreift und die Substrate aus dem Träger heraus und über die Oberfläche der Behandlungsflüssigkeit heraushebt. Das Herausheben der Substrate erfolgt so langsam, dass daran anhaftende Behandlungsflüssigkeit vollständig abgezogen wird. Sobald die Substrate vollständig aus der Behandlungsflüssigkeit herausgehoben worden sind, wird mittels der ersten Hubeinrichtung der Träger ebenfalls langsam aus der Behandlungsflüssigkeit herausgehoben, so dass auch daran anhaftende Behandlungsflüssigkeit vollständig abgezogen wird. Der Träger wird soweit angehoben, dass darin anschließend die Substrate wieder aufgenommen werden.
• Das bekannte Verfahren ist zeitaufwendig, weil nacheinander die Substrate und dann der Träger getrocknet werden. Beim Verfahren werden in der Behandlungsflüssigkeit mitunter Gasbläschen gebildet oder erzeugt. Diese können an der Oberfläche der Substrate anhaften. Es kann infolgedessen insbesondere bei dünnen Substraten ein Auftrieb entstehen, welcher die Substrate aus dem Träger heraushebt. Beim Herausheben der im Träger aufgenommenen Substrate können diese außerdem unerwünschterweise aneinanderliegen. Dabei kann Behandlungsflüssigkeit herausgeschleppt werden. Ein kontrolliertes rückstandsfreies Trocknen findet an den Kontaktstellen nachteiligerweise nicht statt.
• Aus der DE 195 46 990 C2 ist ein ähnliches Verfahren bekannt. Dabei wird zum Trocknen des Trägers nach dem vollständigen Herausheben der Substrate aus der Behandlungsflüssigkeit diese abgepumpt. Anschließend werden die Substrate wieder im getrockneten Träger aufgenommen.
• Bei dem aus der WO 98/14282 bekannten Verfahren ist zusätzlich ein Tropfen-Ableitelement vorgesehen, mit dem eventuell an der Unterkante der Substrate hängende Tropfen beim Herausheben derselben über der Flüssigkeitsoberfläche abgeleitet werden können.
• Bei den beiden vorgenannten Verfahren werden die Substrate zum Trocknen vollständig vom Träger abgehoben und in ein Aufnahmeelement geschoben. Sie werden nach dem Trocknen des Trägers wieder auf diesem abgestützt. Diese Verfahren bergen das Risiko von Fehlfunktionen. Es kann beim Überführen in das Aufnahmeelement zum Verkanten oder zum Bruch von Substraten kommen. Durch die Gleitbewegung innerhalb des Aufnahmeelements können sich Partikel lösen; es kann zu unerwünschten Kontaminationen auf der Oberfläche der Substrate kommen.
• Aufgabe der Erfindung ist es, ein Verfahren und eine Vorrichtung anzugeben, mit denen die Nachteile nach dem Stand der Technik beseitigt werden. Es soll insbesondere ein Verfahren angegeben werden, bei dem auf einfache Weise ein unerwünschtes Herausheben von Substraten aus dem Träger vermieden werden kann. Außerdem soll beim Herausheben des Trägers aus der Behandlungsflüssigkeit ein Aneinanderliegen der Substrate vermieden werden. Ein weiteres Ziel der Erfindung ist es, eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens bereitzustellen, die möglichst einfach aufgebaut ist.
• Die verfahrensseitige Aufgabe wird mit den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst. Zweckmäßige Ausgestaltungen ergeben sich aus den Merkmalen der Ansprüche 2 bis 18.
• Das erfindungsgemäße Verfahren ermöglicht ein vollständiges Trocknen der Substrate. Gleichzeitig wird ein Herausheben der in die Behandlungsflüssigkeit eingetauchten Substrate aus dem Träger sicher vermieden. Ein Aneinanderliegen beim Herausheben wird ebenfalls vermieden.
• Nach einer Ausgestaltung sind das Trägerelement und die Haltevorrichtung beim Verschieben der Substrate von der zweiten Position in die erste Position trocken. Damit wird verhindert, dass eventuell am Trägerelement anhaftende Behandlungsflüssigkeit die Substrate nach dem Herausheben wieder benetzt. Eine durch eine solche Benetzung verursachte unerwünschte Kontamination der Substrate wird vermieden.
• Zweckmäßigerweise werden die Substrate zwischen der ersten und zweiten Position mittels der ersten Hubeinrichtung um höchstens 10 mm, vorzugsweise 3 bis 5 mm, verschoben. Die vorerwähnten Merkmale ermöglichen die Durchführung des Verfahrens mit einer konstruktiv besonders einfach ausgeführten Vorrichtung.
• Nach einer weiteren Ausgestaltung werden die Substrate kontinuierlich angehoben. An den Substraten anhaftende Behandlungsflüssigkeit wird in einer kontinuierlichen Bewegung abgezogen. Damit wird verhindert, dass sich an der Grenzlinie der Behandlungsflüssigkeit zum Substrat Kontaminationen anreichern und auf dem Substrat ablagern können.
• Nach einer weiteren Ausgestaltung werden die Substrate so langsam angehoben, dass ein daran anhaftender Behandlungsflüssigkeitsfilm bis zum Abheben des Substrats von der Oberfläche der Behandlungsflüssigkeit stets in Verbindung der im Behandlungsbecken aufgenommenen Behandlungsflüssigkeit bleibt. Es wird so die Bildung isolierter Tropfen auf der Oberfläche der Substrate vermieden. Bei einer Verdunstung derartiger Tropfen besteht die Gefahr, dass Kontaminationen auf der Oberfläche des Substrats zurückbleiben.
• Es hat sich als zweckmäßig erwiesen, dass die Geschwindigkeit beim Herausheben zwischen 0,1 und 20 mm/sec, vorzugsweise zwischen 0,5 mm/sec und 3,0 mm/sec, beträgt. Bei einer solchen Geschwindigkeit kann in der Regel ein unerwünschtes Abreißen des am Substrat anhaftenden Behandlungsflüssigkeitsfilms vermieden werden.
• Zweckmäßigerweise werden die Substrate mittels der ersten Hubeinrichtung vollständig aus der Behandlungsflüssigkeit herausgehoben. Damit kann erreicht werden, dass die Substrate bereits vollständig trocken sind, wenn sie nachfolgend wieder vom Träger übernommen werden.
• Nach einer weiteren besonders vorteilhaften Ausgestaltung weist das Trägergegenelement eine weitere Haltevorrichtung auf. In diesem Fall werden die Substrate beim Schritt lit. b in der weiteren Haltevorrichtung von einer ersten in eine zweite Position und beim Schritt lit. d von der zweiten in die erste Position verschoben. Die Substrate werden in diesem Fall also zu jedem Zeitpunkt während des Heraushebens sowohl am Trägerelement als auch am Trägergegenelement in Haltevorrichtungen gehalten. Damit wird sichergestellt, dass die Substrate jederzeit in einer vertikalen voneinander beabstandeten parallelen Position im Träger gehalten werden.
• Die Haltevorrichtung und/oder die weitere Haltevorrichtung können aus nebeneinander liegenden Zähnen oder schlitzartigen Ausnehmungen gebildet sein.
• Vorteilhafterweise ist/sind das Trägergegenelement und ggf. die daran vorgesehene weitere Haltevorrichtung beim Schritt lit. b trocken. So wird eine unerwünschte Benetzung der bereits trockenen Substrate sicher vermieden.
• An einer Unterkante der Substrate eventuell hängende Tropfen können mittels eines sich von der Substratstützleiste erstreckenden Tropfenableitelements abgeleitet werden. Auch diese Maßnahme stellt ein vollständiges und kontaminationsfreies Trocknen der Substrate sicher.
• Nach einer weiteren besonders vorteilhaften Ausgestaltung ist zur Erzeugung der Relativbewegung eine zweite den in die Behandlungsflüssigkeit eingetauchten Träger tragende Hubeinrichtung vorgesehen, mittels derer der Träger angehoben wird. Die Bewegung der ersten Hubeinrichtung relativ zur ersten Hubeinrichtung kann mittels einer Steuereinrichtung gesteuert werden, die eine fest am Behandlungsbecken angebrachte Kulissenführung aufweist. Zweckmäßigerweise weist die erste Hubeinrichtung zwei parallel zu einem an der zweiten Hubeinrichtung vorgesehenen Hubarm verlaufende Wellen auf, an denen endständig jeweils ein Hebel vorgesehen ist, der zum Drehen der Wellen um einen vorgegebenen Winkel mit daran vorgesehenen Zapfen in die Kulissenführung eingreift. Eine solche Steuereinrichtung kann ohne großen Aufwand realisiert werden. Zur Betätigung der ersten Hubeinrichtung sind keine gesonderten Motoren oder Pneumatikzylinder erforderlich. Das vorgeschlagene Verfahren kann mittels einer konstruktiv besonders einfach ausgeführten Vorrichtung realisiert werden.
• Nach einer weiteren Ausgestaltung weist die erste Hubeinrichtung eine Aufnahme für den Träger auf. Die Aufnahme kann an den Wellen befestigte Aufnahmehebel zum Heben und Senken des darauf aufgenommenen Trägers aufweisen. So kann der Träger zum Abstützen der Substrate auf dem Trägerelement beim Schritt lit. d mittels der ersten Hubeinrichtung abgesenkt werden.
• Ferner weist die erste Hubeinrichtung vorteilhafterweise eine fest am Hubarm angebrachte Substratstützleiste auf, auf der die Substrate bei relativ zum Hubarm abgesenktem Träger abgestützt werden können.
• Nach einer alternativen Ausführungsform kann zur Erzeugung der Relativbewegung auch Behandlungsflüssigkeit aus dem Behandlungsbecken entfernt werden. Dazu kann z. B. am Boden des Behandlungsbeckens ein Ablauf mit einem steuerbaren Ventil vorgesehen sein. Durch entsprechende Ansteuerung des Ventils kann eine kontinuierliche Absenkung der Oberfläche der Behandlungsflüssigkeit relativ zum z. B. auf den Boden des Behandlungsbeckens abgestellten Träger erreicht werden. Die erste Hubeinrichtung ist in diesem Fall ebenfalls im Bereich des Bodens des Behandlungsbeckens unterhalb des Trägers angebracht.
• Die vorrichtungsseitige Aufgabe der Erfindung wird mit den Merkmalen des Anspruchs 19 gelöst. Zweckmäßige Ausgestaltungen ergeben sich aus den Merkmalen der Ansprüche 20 bis 55.
• Die vorgeschlagene Vorrichtung ist besonders einfach und kompakt ausgebildet.
• Nach einer Ausgestaltung ist eine Steuereinrichtung zur Steuerung der Bewegung der ersten Hubeinrichtung relativ zur zweiten Hubeinrichtung vorgesehen. Mittels der Steuereinrichtung ist die Bewegung der ersten Hubeinrichtung relativ zur zweiten Hubeinrichtung zweckmäßigerweise derart steuerbar, dass die Substrate im Träger vom Trägerelement abgehoben und in einer am Trägerelement vorgesehenen Haltevorrichtung von einer ersten Position in eine zweite Position verschiebbar sind, wenn ein Trägergegenelement sich vollständig oberhalb einer Oberfläche der Behandlungsflüssigkeit befindet und das Trägerelement in die Behandlungsflüssigkeit eingetaucht ist, und die Substrate in der Haltevorrichtung von der zweiten Position wieder in die erste Position verschiebbar und auf das Trägerelement abstützbar sind, wenn das Trägerelement oberhalb der Flüssigkeitsoberfläche sich befindet. Eine solche Steuereinrichtung ermöglicht ein vollständig trockenes Herausheben der Substrate aus der Behandlungsflüssigkeit.
• Bei einer besonders vorteilhaften Ausgestaltung weist die Steuereinrichtung eine fest am Behandlungsbecken angebrachte Kulissenführung auf. Die erste Hubeinrichtung weist zweckmäßigerweise zwei parallel zu einem an der ersten Hubeinrichtung vorgesehenen Hubarm verlaufende Wellen auf, an denen endständig jeweils ein Hebel vorgesehen ist, der zum Drehen der Wellen um einen vorgegebenen Winkel mit daran vorgesehenen Zapfen in die Kulissenführung eingreift. Eine solche mechanische Steuerung der ersten Hubeinrichtung ist besonders einfach realisierbar. Sie ist reparaturunanfällig.
• Die erste Hubeinrichtung kann eine Aufnahme für den Träger aufweisen, wobei die Aufnahme an den Wellen befestigte Aufnahmehebel zum Heben und Senken des darauf aufgenommenen Trägers aufweisen kann. Die erste Hubeinrichtung kann ferner eine fest am Hubarm angebrachte Substratstützleiste aufweisen. Zweckmäßigerweise ist der Träger mittels der Aufnahmehebel relativ zur Substratstützleiste in der Höhe um höchstens 10 mm, vorzugsweise um 3 bis 5 mm, bewegbar. Mit den vorerwähnten Merkmalen kann die Vorrichtung besonders einfach und effizient ausgestaltet werden.
• Nach einer weiteren Ausgestaltung ist an der Substratstützleiste ein sich davon erstreckendes Tropfenableitelement vorgesehen. Bei einem solchen Tropfenableitelement kann es sich um eine flexible Kunststoffzunge handeln, welche an einem tiefsten Punkt der Substrate anliegt, wenn diese auf der Substratstützleiste abgestützt sind. Die Substratstützleiste kann nach Art eines U-Profils mit zwei parallel zueinander angeordneten Stützschenkeln ausgebildet sein. Ein die Stützschenkel verbindender Boden des U-Profils kann eine Vielzahl von Durchbrüchen aufweisen. Das gewährleistet ein Ablaufen der Behandlungsflüssigkeit beim Herausheben der Substratstützleiste.
• Die Substratstützleiste ist zweckmäßigerweise aus einem besonders verschleißfesten Kunststoff, vorzugsweise aus Ultem (Bitte genaue Bezeichnung angeben!), hergestellt. Dadurch wird eine Beschädigung der Substratstützleiste durch das wiederkehrende Abstützen von scharfkantigen Substraten vermieden.
• Das Trägerelement und das Trägergegenelement können mindestens zwei einander gegenüberliegende Wände des Trägers verbinden. Das Trägergegenelement ist zweckmäßigerweise bezüglich des Trägerelements so angeordnet oder ausgebildet, dass damit eine Bewegung der Substrate in Vertikalrichtung begrenzbar ist, und die Substrate lediglich schräg bezüglich der Vertikalrichtung be- bzw. entladbar sind. Ein solcher Träger lässt sich einfach handhaben. Es wird gleichzeitig damit ein Aufschwimmen der Substrate in der Behandlungsflüssigkeit sicher vermieden.
• Das Trägerelement kann als Haltemittel schlitzartige Ausnehmungen oder Zähne aufweisen. Die Zähne sind zweckmäßigerweise so auf dem Trägerelement angebracht, dass ein Zahngrund der Zähne auf der oberen Scheitellinie des Trägerelements liegt. Das Trägergegenelement kann in Richtung des Trägerelements weisende als schlitzartige Ausnehmungen oder Zähne ausgebildete weitere Haltemittel aufweisen. Die Zähne können so auf dem Trägergegenelement angebracht sein, dass ein Zahngrund der Zähne auf einer unteren Scheitellinie des Trägergegenelements liegt. Die vorgeschlagene Ausbildung der Haltemittel gewährleistet, dass Behandlungsflüssigkeit beim Herausheben der Haltemittel schnell und zuverlässig davon abläuft, auch wenn die Substrate zumindest teilweise in die Haltemittel eingreifen.
• Nach einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung ist das Trägergegenelement bezüglich des Trägerelements so angeordnet oder ausgebildet, dass die Substrate stets in den Haltemitteln und/oder den weiteren Haltemitteln gehalten werden. Der Abstand des Trägergegenelements zum Trägerelement ist durch die Geometrie und Größe der Substrate vorgegeben. Indem die Substrate gleichzeitig in die Haltemittel und die weiteren Haltemittel eingreifen, wird stets eine vertikale parallele Ausrichtung der Substrate gewährleistet, wobei diese sich während des Heraushebens aus der Behandlungsflüssigkeit zu keinem Zeitpunkt berühren können. Bei einer Berührung der Substrate kann es unerwünschterweise zu einem Herausschleppen von Behandlungsflüssigkeit zwischen zwei aneinanderliegenden Substraten kommen.
• Nach einem weiteren Ausgestaltungsmerkmal weist das Trägerelement einen im wesentlichen vertikal nach unten sich erstreckenden Ablaufsteg auf. In ähnlicher Weise kann das Trägergegenelement einen im wesentlichen vertikal nach oben sich erstreckenden weiteren Ablaufsteg aufweisen. Eine Breite des Ablauflaufstegs und/oder des weiteren Ablaufstegs kann zur Mitte des Trägerelements bzw. des Trägergegenelements hin zunehmen. Die vorgenannten Merkmale erleichtern ein vollständiges Ablaufen von Behandlungsflüssigkeit vom Trägerelement bzw. Trägergegenelement.
• Nach einer weiteren Ausgestaltung können die Kanten der Wände abgeschrägt sein. Zweckmäßigerweise fallen die Unterkanten der Wände beidseits einer mittig angeordneten U-förmigen ersten Ausnehmung schräg ab. Ein wesentlicher Abschnitt der Seitenkanten der Wände verläuft vorteilhafterweise vertikal. Auch diese Merkmale tragen zu einem erleichtertem Ablaufen von Behandlungsflüssigkeit vom Träger bei.
• Die Seitenkanten können in einem oberen Abschnitt in einander gegenüberliegende Anordnung zweite Ausnehmungen zum Eingriff einer Greifvorrichtung aufweisen. Eine Oberkante der Wände kann eine dritte Ausnehmung zum Eingreifen einer Be- bzw. Entladevorrichtung für Substrate aufweisen. Die dritte Ausnehmung wird zweckmäßigerweise durch wenigstens zwei schräg zu den Seitenkanten verlaufende Ausnehmungskanten begrenzt. Diese Merkmale ermöglichen ein schräges Be- bzw. Entladen der Substrate bei aus dem Behandlungsbad herausgehobenem Träger. Gleichzeitig wird ein Aufschwimmen der Substrate im Behandlungsbad vermieden. Bei in das Behandlungsbad eingetauchtem Träger stoßen die Substrate bei einer Schrägbewegung an der Wand des Behandlungsbeckens an. Sie werden im Behandlungsbad jederzeit sicher im Träger gehalten.
• Das Trägerelement und/oder das Trägergegenelement können aus einer mit einem ersten Kunststoff ummantelten Versteifungsstruktur gebildet sein. Die Versteifungsstruktur kann aus einer mit Kohlefaser zweiten Kunststoff hergestellt sein. Diese Merkmale wirken einer Verformung des Trägerelements bzw. des Trägergegenelements entgegen. Es ist eine Benutzung eines solchen Trägers auch in heißen Behandlungsflüssigkeiten möglich.
• Nach einer weiteren Ausgestaltung können die Wände aus dem ersten Kunststoff hergestellt sein. Der erste Kunststoff ist zweckmäßigerweise gegen Säuren und Basen resistent. Er kann vorzugsweise aus der folgenden Gruppe ausgewählt sein: PFA, PTFE und PVDF.
• Nach einer weiteren konstruktiven Ausgestaltung verbinden vier Trägerelemente die Wände. Es können zwei untere Trägerelemente in der Nähe einer Unterkante der Wände und zwei obere Trägerelemente in der Nähe eines unteren Abschnitts der Seitenkanten der Wände angebracht sein. Das Trägergegenelement ist zweckmäßigerweise in der Nähe einer Oberkante der Seitenwände angebracht.
• Nach einer besonders vorteilhaften Ausgestaltung ist das Trägergegenelement bezüglich einer die Anordnung oder Ausbildung des/der Trägerelements/e betreffenden und parallel zu dieser/diesen verlaufenden Symmetrieebene versetzt angeordnet. Ein solcher Träger ist besonders einfach ausgestaltet. Er ist relativ kostengünstig herstellbar.
• Nach einer weiteren - selbstständigen - vorrichtungsseitigen Lösung ist eine Vorrichtung zum Trocknen von Substraten vorgesehen, wobei die Substrate in einem mindestens ein Trägerelement sowie mindestens ein Trägergegenelement aufweisenden Träger aufgenommen sind, welcher in einer Behandlungsflüssigkeit eingetaucht ist, wobei eine Steuerung vorgesehen ist a) zum Erzeugen einer Relativbewegung zwischen dem Träger und einer Oberfläche der Behandlungsflüssigkeit bis das Trägergegenelement sich vollständig oberhalb der Oberfläche der Behandlungsflüssigkeit findet und das Trägerelement in die Behandlungsflüssigkeit eingetaucht ist, b) zum Abheben der Substrate vom eingetauchten Trägerelement mittels einer ersten Hubeinrichtung, so dass die Substrate im Träger in einer am Trägerelement vorgesehenen Haltevorrichtung von einer ersten Position in eine zweite Position verschoben werden, c) zur Erzeugung einer weiteren Relativbewegungen zwischen dem Träger und der Oberfläche der Behandlungsflüssigkeit, bis das Trägerelement sich vollständig oberhalb der Oberfläche der Behandlungsflüssigkeit befindet, und d) zum Abstützen der Substrate auf das oberhalb der Oberfläche der Behandlungsflüssigkeit befindliche Trägerelement, wobei die Substrate in der am Trägerelement vorgesehenen Haltevorrichtung von der zweiten Position wieder in die erste Position verschoben werden.
• Bei der vorgenannten Vorrichtung kann die Steuereinrichtung sowohl die erste Hubeinrichtung als auch ein am Boden des Behandlungsbeckens vorgesehenes steuerbares Ventil steuern. Die Steuerung erfolgt derart, dass damit die vorgenannten Verfahrensschritte zum Trocknen der Substrate durchgeführt werden. Bei der Steuereinrichtung handelt es sich zweckmäßigerweise um eine programmierbare oder auch fest programmierte Steuerung, welche einen Mikroprozessor aufweist.
• Nachfolgend werden Ausführungsbeispiele der Erfindung anhand der Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen:
• Fig. 1 eine Ansicht auf die Längsseite einer Vorrichtung,
• Fig. 2 die Ansicht A gemäß Fig. 1,
• Fig. 3 die Ansicht B gemäß Fig. 1,
• Fig. 4 eine schematische Querschnittsansicht eines Trägerelements bzw. eines Trägergegenelements,
• Fig. 5 eine Seitenansicht auf die Längsseite einer Vorrichtung mit darauf aufgenommenem Träger,
• Fig. 6 eine Draufsicht auf die Vorrichtung gemäß Fig. 5 ohne Träger,
• Fig. 7 eine Querschnittsansicht gemäß der Schnittlinie A-A' in Fig. 5 und
• Fig. 8a-d den Verfahrensablauf beim Herausheben der Substrate.
• In den Fig. 1-4 ist ein Träger zur Aufnahme von Substraten und dgl. in verschiedenen Ansichten gezeigt. Zwei Wände 1 sind unlösbar verbunden mit zwei unteren Trägerelementen 2, zwei oberen Trägerelementen 3 sowie einem Trägergegenelement 4. Die unteren 2 und oberen Trägerelemente 3 sind bezüglich einer Symmetrieebene E symmetrisch angeordnet. Das Trägergegenelement 4 ist bezüglich der Symmetrieebene E versetzt angeordnet. Es ist ebenfalls unlösbar mit den Wänden 1 verbunden.
• Wie insbesondere aus den Fig. 2 und 3 ersichtlich ist, sind die Wände 1 spiegelbildlich ausgebildet. Ein in der Vorrichtung aufgenommenes Substrat ist mit S bezeichnet. Das Substrat S ist abgestützt auf den unteren 2 und den oberen Trägerelementen 3. Eine Bewegung des Substrats S in eine mit V bezeichnete Vertikalrichtung wird durch das Trägergegenelement 4 begrenzt. Dagegen ist ein Be- bzw. Entladen der Vorrichtung in einer mit SR bezeichneten Schrägrichtung möglich.
• Auf den Trägerelementen 2, 3 sind als Haltemittel Zähne 5 vorgesehen. Die Zähne 5 sind hier vertikal nach oben angeordnet. Es ist aber auch möglich, dass die Zähne 5 in Richtung in einer mit ZA bezeichneten Zentralachse weisen. Die an den Trägergegenelementen 4 vorgesehenen Zähne 5 weisen vertikal nach unten. Auch hier ist es möglich, dass die Zähne 5 in Richtung der Zentralachse ZA weisen. Ein durch zwei nebeneinanderliegende Zähne 5 gebildeter Schlitz verjüngt sich in Richtung des Trägerelements 2, 3 bzw. des Trägerelements 4.
• Die an den Wänden 1 befindlichen umlaufenden Kanten sind mit Abschrägungen 6 versehen.
• Die Trägerelemente 2, 3 weisen jeweils vertikal nach unten sich erstreckende Ablaufstege 7a, das Trägergegenelement 4 einen sich vertikal nach oben erstreckenden weiteren Ablaufsteg 7b auf. Eine Breite bzw. Höhe der Ablaufstege 7a, 7b nimmt zur Mitte der Trägerelemente 2, 3 bzw. des Trägergegenelements 4 zu.
• Unterkanten 8 der Wände 1 weisen mittig eine U-förmige erste Ausnehmung 9 auf. Die Unterkanten 8 fallen beidseits der U- förmigen ersten Ausnehmung 9 nach außen hin ab.
• Seitenkanten 10 verlaufen im wesentlichen vertikal, d. h. parallel zur Vertikalrichtung V. Sie weisen in einem oberen Abschnitt zweite Ausnehmungen 11 zum Eingriff einer (hier nicht gezeigten) Greifeinrichtung zum Greifen der Vorrichtung auf.
• An einer Oberkante 12 der Wände 1 ist außerdem eine dritte Ausnehmung 13. Die dritte Ausnehmung 13 ermöglicht das Eingreifen eines Greifarms zum Be- und Entladen der Vorrichtung mit Substraten S. Mindestens zwei der die dritte Ausnehmung begrenzenden Ausnehmungskanten 14a, 14b verlaufen schräg zu den Seitenkanten 10. Die so gebildete schräge dritte Ausnehmung 13 ermöglicht ein Be- und Entladen der Vorrichtung mit Substraten S in der Schrägrichtung SR.
• In Fig. 4 ist ein Querschnitt durch ein unteres Trägerelement 2 gezeigt. Das untere Trägerelement 2 ist gebildet aus einer zentralen Versteifungsstruktur 15, die zweckmäßigerweise aus einem mit Kohlefaser verstärkten zweiten Kunststoff hergestellt ist. Selbstverständlich kann die Versteifungsstruktur auch aus anderen Materialien hergestellt sein, wobei nichtmetallische Materialien bevorzugt sind. Die Versteifungsstruktur 15 weist eine aus einem ersten Kunststoff hergestellte Ummantelung 16 auf. Der erste Kunststoff ist zweckmäßigerweise resistent gegen Säuren und Basen. Es kann sich dabei beispielsweise handeln um PFA, PTFE, PVDF (bitte ergänzen, wofür die Abkürzungen stehen).
• Die Zähne 5 und die Ablaufstege 7a, 7b sind zweckmäßigerweise in einstückiger Ausbildung mit der Ummantelung 16 hergestellt. Mit 17 ist ein oberer Scheitelpunkt des hier zylindrisch ausgebildeten unteren Trägerelements 2 bezeichnet. Ein Zahngrund 18 ist im Querschnitt die hier kreissegmentförmige ausgebildete Kontaktlinie zwischen dem Zahn 5 und dem unteren Trägerelement 2. Damit stets ein vollständiger Ablauf von Reinigungsflüssigkeit gewährleistet ist, sind die Zähne 5 so anzuordnen, dass der obere Scheitelpunkt 17 Bestandteil des Zahngrunds 18 ist.
• Die gezeigte Anordnungen der Zähne 5 gilt in gleicher Weise für die oberen Trägerelemente 3. Sie gilt in analoger Weise für das Trägergegenelement 4, wobei hier bezüglich der Anordnung der Zähne 5 auf einem unteren Scheitelpunkt abzustellen ist, der in Fig. 4 mit dem Bezugszeichen 19 angedeutet ist.
• Im Rahmen der vorliegenden Erfindung ist es selbstverständlich möglich, die Anzahl und Ausbildung der Trägerelemente 2, 3 sowie des Trägergegenelements 4 zu ändern, insbesondere an die Geometrie des jeweils zu transportierenden Substrats S anzupassen. So ist es beispielsweise auch möglich, statt der im vorliegenden Ausführungsbeispiel beschriebenen vier Trägerelemente nur zwei oder ein Trägerelement/e zu verwenden.
• Mit dem im Rahmen der vorliegenden Erfindung vorgeschlagenen Träger wird auf einfache Weise eine unerwünschte Vertikalbewegung von Substraten S in einem Behandlungsbad unterbunden.
• Gleichzeitig ist ein einfaches Be- und Entladen der Vorrichtung möglich, ohne dass dazu ein Niederhalteelement, wie das Trägergegenelement 4, von der Vorrichtung entfernt werden muss.
• Fig. 5 bis 7 zeigen eine Vorrichtung zum Trocknen von Substraten S. Eine zweite Hubeinrichtung weist einen im wesentlichen horizontal verlaufenden Hubarm 20, der mittels einer vertikalen Hubstange 21 mit einem (hier nicht gezeigten) Hubantrieb verbunden ist. Bei dem Hubantrieb kann es sich um einen herkömmlichen elektrisch, hydraulisch oder pneumatisch betreibbaren Hubantrieb handeln. Auf dem Hubarm 20 ist eine zweite Hubeinrichtung aufgenommen. Dazu sind Lagerhalter 22 vorgesehen, welche fest mit dem Hubarm verbunden sind. In den Lagerhaltern 22 sind beidseits des Hubarms 20 drehbar Wellen 23 gehalten. Wie insbesondere aus Fig. 6 gut ersichtlich ist, erstrecken sich von den Lagerhaltern 22 vertikal nach oben Führungsnasen 24, in denen die Träger T mit ihrer ersten U- förmigen Ausnehmung 9 gleitend geführt sind.
• An den einen Enden sind die Wellen 20 fest mit Hebeln 25 verbunden, die mit daran vorgesehenen Zapfen 26 in eine Kulissenführung 27 eingreifen. Die Kulissenführung 27 ist hier als Schlitz in einer Kulissenführungsplatte 28 ausgebildet. Die Kulissenführungsplatte 28 ist fest an einer Wand eines Behandlungsbeckens angebracht (hier nicht gezeigt). Fest mit den Wellen 23 verbunden sind Aufnahmehebel 29, die zur Aufnahme des Trägers T dienen. Die Aufnahmehebel 29 können mit Führungsrollen 30 versehen sein.
• Auf den Lagerhaltern 22 sind ferner Substratstützleisten 31 montiert, die im Querschnitt U-förmig ausgebildet sind. Von einem Boden 31a erstrecken sich zwei parallel zueinander angeordnete Stützschenkel 31b. Der Boden 31a weist eine Vielzahl von Durchbrüchen auf.
• Ein Behandlungsbecken ist in Fig. 7 mit B angedeutet. Es ist erkennbar, dass der Träger T so nahe an den Wänden des Behandlungsbeckens B vorbeigeführt wird, dass bei einer schräg aufwärts gerichteten Bewegung der Substrate S diese an der Wand des Behandlungsbeckens B anstoßen. Sie können während des Heraushebens aus dem Behandlungsbad nicht aus dem Träger T entweichen.
• Die Funktion der Vorrichtung wird nun in Zusammensicht mit den Fig. 8a-d näher erläutert. In Fig. 8a-d sind der Übersichtlichkeit halber lediglich die unteren Trägerelemente 2 und das Trägergegenelement 4 des Trägers T dargestellt. Ebenfalls der Übersichtlichkeit halber sind in Fig. 8b-c die Wand 1 des Trägers weggelassen worden.
• In einer ersten Phase des Trocknungsverfahrens sind die Substrate S vollständig unterhalb der Flüssigkeitsoberfläche FO untergetaucht. Die Stützschenkel 31a der Substratstützleiste 31 sind nicht im Kontakt mit den Substraten S. Die Substrate S sind abgestützt auf den Trägerelementen 2, 3. Der Träger T wiederum ist abgestützt auf den Aufnahmehebeln 29.
• In einer zweiten Phase des Trocknungsverfahrens wird der Hubarm 20 angehoben. Der Träger T mit den darin aufgenommenen Substraten S wird über die Flüssigkeitsoberfläche FO herausgehoben (Fig. 8a).
• Sobald das Trägergegenelement 4 vollständig über die Flüssigkeitsoberfläche FO herausgehoben worden ist, beginnen die Aufnahmehebel 29 entgegen der Hubrichtung nach unten zu rotieren. Die Rotationsbewegung der Aufnahmehebel 29 wird gesteuert über die an den Wellen 23 angebrachten Hebel 25, deren Stellung durch die Kulissenführung 27 in Abhängigkeit des jeweiligen Hubs bestimmt wird. Wie aus Fig. 8b ersichtlich ist, wird der Träger T mit den Trägerelementen 2, 3 gegenüber dem Hubarm bzw. der fest damit verbundenen Substratstützleiste 31 so weit abgesenkt, dass die Substrate S auf den Stützschenkeln 31a der Substratstützleiste 31 abgestützt werden. Die Substrate S werden somit von den Trägerelementen 2, 3 abgehoben. Sie werden jedoch nur um etwa 3 bis 5 mm von den Trägerelementen 2, 3 abgehoben, so dass die Substrate S auch im abgehobenen Zustand noch in den durch die Zähne 5 gebildeten Schlitzen geführt sind. Die Substrate S werden also von einer ersten auf den Trägerelementen 2, 3 abgestützten Position in eine zweite Position verschoben, in der sie nicht mehr auf den Trägerelementen 2, 3 abgestützt sind. Die Verschiebung der Substrate S erfolgt in analoger Weise entsprechend in den durch die Zähne 5 gebildeten Schlitzen am Trägergegenelement 4.
• Während des Durchtritts der Trägerelemente 2, 3 durch die Flüssigkeitsoberfläche FO sind die Substrate S nicht auf die Trägerelemente 2, 3 abgestützt. Das ermöglicht ein vollständiges Ablaufen von Behandlungsflüssigkeit von den Trägerelementen 2, 3. Sobald die Trägerelemente zu einem wesentlichen Teil über die Flüssigkeitsoberfläche FO herausgehoben worden sind, wird der Träger T mittels der Aufnahmehebel 29 gegenüber der Substratstützleiste 31 wieder angehoben. Die Substrate S werden wieder auf die Trägerelemente 2, 3 abgestützt, d. h. sie werden in den durch die Zähne 5 gebildeten Schlitzen wieder von der zweiten in die erste Position verschoben. Dieser Verfahrensschritt ist in Fig. 8c gezeigt.
• Anschließend wird der noch in die Behandlungsflüssigkeit eintauchende restliche Abschnitt des Substrats S mittels der Trägerelemente 2, 3 aus dem Behandlungsbad herausgehoben. Zweckmäßigerweise werden die Substrate S erst dann wieder auf die Trägerelemente 2, 3 aufgesetzt, wenn sie vollständig aus der Behandlungsflüssigkeit herausgehoben worden sind.
• Mit dem vorgeschlagenen Verfahren wird beim Durchtritt des Trägergegenelements 4 sowie der Trägerelemente 2, 3 durch die Flüssigkeitsoberfläche FO stets vermieden, dass zu diesem Zeitpunkt die Substrate S am Trägergegenelement 4 oder den Trägerelementen 2, 3 anliegen. Beim Durchtritt durch die Flüssigkeitsoberfläche ist stets die Kante des Substrats beabstandet vom Trägergegenelement 4 bzw. den Trägerelementen 2, 3. Diese Maßnahme gewährleistet ein vollständiges Abfließen von Behandlungsflüssigkeit, welche sich beim Herausheben in dem zwischen zwei benachbarten Zähnen 5 gebildeten Schlitz befindet.
• Mit dem vorgeschlagenen Verfahren wird auch ein unerwünschtes Aufschwimmen der Substrate S im Behandlungsbad vermieden. Im Falle eines Auftriebs von Substraten S durch anhaftende Wasserstoffbläschen wird das Substrat S in seiner Aufwärtsbewegung bzw. Vertikalbewegung durch das Trägergegenelement 4 gehemmt.
• Das vorbeschriebene Verfahren kann selbstverständlich auch nur unter Verwendung der ersten Hubeinrichtung durchgeführt werden. Diese kann in diesem Fall z. B. am Boden des Behandlungsbeckens angeordnet sein. Die Relativbewegung zwischen dem Träger T und der Oberfläche FO der Behandlungsflüssigkeit kann auch durch Ablassen der Behandlungsflüssigkeit aus dem Behandlungsbecken durch ein (hier nicht gezeigtes) steuerbares Ventil erreicht werden, mit dem ein im Boden des Behandlungsbeckens vorgesehener Abfluss verschliessbar ist. Sowohl das Ventil als auch die erste Hubeinrichtung können in diesem Fall durch eine geeignete Steuereinrichtung entsprechend den vorgenannten Verfahrensschritten gesteuert werden. Bezugszeichenliste 1 Wand
  2 unteres Trägerelement
  3 oberes Trägerelement
  4 Trägergegenelement
  5 Zahn
  6 Abschrägung
  7a, b Ablaufsteg
  8 Unterkante
  9 erste Ausnehmung
  10 Seitenkante
  11 zweite Ausnehmung
  12 Oberkante
  13 dritte Ausnehmung
  14a, b Ausnehmungskanten
  15 Versteifungsstruktur
  16 Ummantelung
  17 oberer Scheitelpunkt
  18 Zahngrund
  19 unterer Scheitelpunkt
  20 Hubarm
  21 Hubstange
  22 Lagerhalter
  23 Welle
  24 Führungsnase
  25 Hebel
  26 Zapfen
  27 Kulissenführung
  28 Kulissenführungsplatte
  29 Aufnahmehebel
  30 Führungsrolle
  31 Substratstützleiste
  31a Boden
  31b Stützschenkel
  V Vertikalrichtung
  SR Schrägrichtung
  S Substrat
  E Symmetrieebene
  ZA Zentralachse
  T Träger
  FO Flüssigkeitsoberfläche
  

Claims (55)

1. Verfahren zum Trocknen von Substraten (S), wobei die Substrate (S) in einem mindestens ein Trägerelement (2, 3) sowie mindestens ein Trägergegenelement (4) aufweisenden Träger (T) aufgenommen sind, welcher in eine Behandlungsflüssigkeit eingetaucht ist, mit folgenden Schritten:

a) Erzeugen einer Relativbewegung zwischen dem Träger (T) und einer Oberfläche (FO) der Behandlungsflüssigkeit, bis das Trägergegenelement (4) sich vollständig oberhalb der Oberfläche (FO) der Behandlungsflüssigkeit befindet und das Trägerelement (2, 3) in die Behandlungsflüssigkeit eingetaucht ist,

b) Abheben der Substrate (S) vom eingetauchten Trägerelement (2, 3) mittels einer ersten Hubeinrichtung, so dass die Substrate (S) im Träger (T) in einer am Trägerelement (2, 3) vorgesehenen Haltevorrichtung (5) von einer ersten Position in eine zweite Position verschoben werden,

c) weitere Relativbewegung zwischen dem Träger (T) und der Oberfläche (FO) der Behandlungsflüssigkeit bis das Trägerelement (2, 3) sich vollständig oberhalb der Oberfläche (FO) der Behandlungsflüssigkeit befindet und

d) Abstützen der Substrate (S) auf das oberhalb der Oberfläche (FO) der Behandlungsflüssigkeit befindliche Trägerelement (2, 3), wobei die Substrate (S) in der am Trägerelement (2, 3) vorgesehenen Haltevorrichtung von der zweiten Position wieder in die erste Position verschoben werden.

2. Verfahren nach Anspruch 1, wobei das Trägerelement (2, 3) und die Haltevorrichtung (5) beim Verschieben der Substrate (S) von der zweiten Position in die erste Position trocken sind.

3. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Substrate (5) mittels der ersten Hubeinrichtung zwischen der ersten und der zweiten Position um höchstens 10 mm, vorzugsweise 3-5 mm, verschoben werden.

4. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Substrate (S) kontinuierlich angehoben werden.

5. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Substrate (S) so langsam angehoben werden, dass ein daran anhaftender Behandlungsflüssigkeitsfilm bis zum Abheben des Substrats (S) von der Oberfläche (FO) der Behandlungsflüssigkeit (B) stets in Verbindung mit der im Behandlungsbecken aufgenommenen Behandlungsflüssigkeit bleibt.

6. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Geschwindigkeit beim Herausheben zwischen 0,1 und 20 mm/sec, vorzugsweise zwischen 0,5 mm/sec und 3,0 mm/sec, beträgt.

7. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei das Trägergegenelement (4) eine weitere Haltevorrichtung (5) aufweist.

8. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Substrate (S) beim Schritt lit. b in der weiteren Haltevorrichtung (5) von einer ersten in eine zweite Position und beim Schritt lit. d von der zweiten in die erste Position verschoben werden.

9. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Haltevorrichtung (5) und/oder die weitere Haltevorrichtung (5) aus nebeneinander liegenden Zähnen oder schlitzartigen Ausnehmungen gebildet ist/sind.

10. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei das Trägergegenelement (4) und ggf. die daran vorgesehene weitere Haltevorrichtung (5) beim Schritt lit. b trocken ist/sind.

11. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei an einer Unterkante der Substrate (S) eventuell hängende Tropfen mittels eines sich von der Substratstützleiste (31) erstreckenden Tropfenableitelements abgeleitet werden.

12. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei zur Erzeugung der Relativbewegung eine zweite den in die Behandlungsflüssigkeit eingetauchten Träger (T) tragende Hubeinrichtung vorgesehen ist, mittels derer der Träger (T) angehoben wird.

13. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Bewegung der ersten Hubeinrichtung relativ zur zweiten Hubeinrichtung mittels einer Steuereinrichtung gesteuert wird, die eine fest am Behandlungsbecken (B) angebrachte Kulissenführung (27) aufweist.

14. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die erste Hubeinrichtung zwei parallel zu einem an der zweiten Hubeinrichtung vorgesehenen Hubarm (20) verlaufende Wellen (23) aufweist, an denen endständig jeweils ein Hebel (25) vorgesehen ist, der zum Drehen der Wellen (23) um einen vorgegebenen Winkel mit daran vorgesehenen Zapfen (26) in die Kulissenführung (27) eingreift.

15. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die erste Hubeinrichtung eine Aufnahme für den Träger (T) aufweist.

16. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Aufnahme an den Wellen (23) befestigte Aufnahmehebel (29) zum Heben und Senken des darauf aufgenommenen Trägers (T) aufweist.

17. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die erste Hubeinrichtung eine fest am Hubarm (20) angebrachte Substratstützleiste (31) aufweist, auf der die Substrate bei relativ zum Hubarm (20) abgesenktem Träger (T) abgestützt werden.

18. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei zur Erzeugung der Relativbewegung Behandlungsfüssigkeit aus dem Behandlungsbecken (B) entfernt wird.

19. Vorrichtung zum Trocknen von Substraten (S), wobei die Substrate (S) in einem in eine Behandlungsflüssigkeit eingetauchten Träger (T) aufgenommen sind, umfassend:
eine erste Hubeinrichtung zum Abheben der Substrate (S) von mindestens einem am Träger (T) vorgesehenen Trägerelement (2, 3),
eine zweite Hubeinrichtung zum Heben des Trägers (T) aus der Behandlungsflüssigkeit, wobei die erste Hubeinrichtung einen den Trägers (T) tragenden Hubarm (20) aufweist,
dadurch gekennzeichnet, dass
die erste Hubeinrichtung am Hubarm (20) angebracht ist.

20. Vorrichtung nach Anspruch 19, wobei eine Steuereinrichtung zur Steuerung der Bewegung der ersten Hubeinrichtung relativ zur zweiten Hubeinrichtung vorgesehen ist.

21. Vorrichtung nach Anspruch 20, wobei mittels der Steuereinrichtung die Bewegung der ersten Hubeinrichtung relativ zur zweiten Hubeinrichtung derart steuerbar ist, dass die Substrate (S) im Träger (T) vom Trägerelement (2, 3) abgehoben und in einer am Trägerelement (2, 3) vorgesehenen Haltevorrichtung von einer ersten Position in eine zweite Position verschiebbar sind, wenn ein Trägergegenelement (4) sich vollständig oberhalb einer Oberfläche (FO) der Behandlungsflüssigkeit befindet und das Trägerelement (2, 3) in die Behandlungsflüssigkeit eingetaucht ist, und die Substrate (S) in der Haltevorrichtung von der zweiten Position wieder in die erste Position verschiebbar und auf das Trägerelement (2, 3) abstützbar sind, wenn das Trägerelement oberhalb der Flüssigkeitsoberfläche (FO) sich befindet.

22. Vorrichtung nach Anspruch 20 oder 21, wobei die Steuereinrichtung eine fest am Behandlungsbecken (B) angebrachte Kulissenführung (27, 28) aufweist.

23. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 19 bis 22, wobei die erste Hubeinrichtung zwei parallel zu einem an der ersten Hubeinrichtung vorgesehenen Hubarm (20) verlaufende Wellen (23) aufweist, an denen endständig jeweils ein Hebel (29) vorgesehen ist, der zum Drehen der Wellen (23) um einen vorgegebenen Winkel mit daran vorgesehenen Zapfen (26) in die Kulissenführung (27) eingreift.

24. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 19 bis 23, wobei die erste Hubeinrichtung eine Aufnahme für den Träger (T) aufweist.

25. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 19 bis 24, wobei die Aufnahme an den Wellen (23) befestigte Aufnahmehebel (29) aufweist.

26. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 19 bis 25, wobei die erste Hubeinrichtung eine fest am Hubarm (20) angebrachte Substratstützleiste (31) aufweist.

27. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 19 bis 26, wobei der Träger (T) mittels der Aufnahmehebel (29) relativ zur Substratstützleiste (31) in der Höhe um höchstens 10 mm, vorzugsweise 3-5 mm, bewegbar ist.

28. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 19 bis 27, wobei an der Substratstützleiste (31) ein sich davon erstreckendes Tropfenableitelement vorgesehen ist.

29. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 19 bis 28, wobei die Substratstützleiste (31) nach Art eine U-Profils mit zwei parallel zueinander angeordneten Stützschenkeln (31a) ausgebildet ist.

30. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 19 bis 29, wobei ein die Stützschenkel (31a) verbindender Boden (31b) des U- Profils eine Vielzahl von Durchbrüchen aufweist.

31. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 19 bis 30, wobei die Substratstützleiste (31) aus Ultem hergestellt ist.

32. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 19-30, wobei das Trägerelement (2, 3) und das Trägergegenelement (4) mindestens zwei einander gegenüberliegende Wände (1) der Trägers (T) verbinden.

33. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 19 bis 31, wobei das Trägergegenelement (4) bezüglich des Trägerelements (2, 3) so angeordnet oder ausgebildet ist, dass damit eine Bewegung der Substrate (S) in Vertikalrichtung (VK) begrenzbar ist, und die Substrate (S) lediglich schräg bezüglich der Vertikalrichtung (VK) be- bzw. entladbar sind.

34. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 19 bis 32, wobei das Trägerelement (2, 3) als Haltemittel schlitzartige Ausnehmungen oder Zähne (5) aufweisen.

35. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 19 bis 33, wobei die Zähne (5) so auf dem Trägerelement (2, 3) angebracht sind, dass ein Zahngrund (18) der Zähne (5) auf der oberen Scheitellinie (17) des Trägerelements (2, 3) liegt.

36. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 19 bis 34, wobei das Trägergegenelement (4) in Richtung des Trägerelements (2, 3) weisende als schlitzartige Ausnehmungen oder Zähne (5) ausgebildete weitere Haltemittel aufweist.

37. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 19 bis 35, wobei die Zähne (5) so auf dem Trägergegenelement angebracht sind, dass ein Zahngrund (18) der Zähne (5) auf einer unteren Scheitellinie (19) des Trägergegenelements (4) liegt.

38. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 19 bis 36, wobei das Trägergegenelement (4) bezüglich des Trägerelements (2, 3) so angeordnet oder ausgebildet ist, dass die Substrate (S) stets in den Haltemitteln und/oder den weiteren Haltemitteln gehalten werden.

39. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 19 bis 37, wobei das Trägerelement (2, 3) einen im wesentlichen vertikal nach unten sich erstreckenden Ablaufsteg (7a) aufweist.

40. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 19 bis 38, wobei das Trägergegenelement (4) einen im wesentlich vertikal nach oben sich erstreckenden weiteren Ablaufsteg (7b) aufweist.

41. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 19 bis 39, wobei eine Breite des Ablaufstegs (7a) und/oder des weiteren Ablaufstegs (7b) zur Mitte des Trägerelements (2, 3) bzw. des Trägergegenelements (4) hin zunimmt.

42. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 19 bis 40, wobei die Kanten der Wände (1) abgeschrägt sind.

43. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 19 bis 41, wobei die Unterkanten (8) der Wände (1) beidseits einer mittig angeordneten U-förmigen ersten Ausnehmung (9) schräg abfallen.

43. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 19 bis 41, wobei ein wesentlicher Abschnitt der Seitenkanten (10) der Wände (1) vertikal verläuft.

44. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 19 bis 43, wobei die Seitenkanten (10) in einem oberen Abschnitt in einander gegenüberliegenden Anordnung zweite Ausnehmungen (11) zum Eingriff einer Greifvorrichtung aufweisen.

45. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 19 bis 44, wobei eine Oberkante (12) der Wände (1) eine dritte Ausnehmung (13) zum Eingreifen einer Be- bzw. Entladevorrichtung für Substrate (S) aufweist.

46. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 19 bis 45, wobei die dritte Ausnehmung (13) durch wenigstens zwei schräg zu den Seitenkanten (10) verlaufende Ausnehmungskanten (14a, 14b) begrenzt wird.

47. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 19 bis 46, wobei das Trägerelement (2, 3) und/oder das Trägergegenelement (4) aus einer mit einem ersten Kunststoff ummantelten Versteifungsstruktur (15) gebildet sind.

48. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 19 bis 47, wobei die Versteifungsstruktur (15) aus einem mit Kohlefaser verstärkten zweiten Kunststoff hergestellt ist.

49. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 19 bis 48, wobei die Wände (1) aus dem ersten Kunststoff hergestellt sind.

50. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 19 bis 49, wobei der erste Kunststoff ein gegen Säuren und Basen resistenter Kunststoff ist, der vorzugsweise aus der folgenden Gruppe ausgewählt ist: PFA, PTFE, PVDF.

51. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 19 bis 50, wobei vier Trägerelemente (2, 3) die Wände (1) verbinden.

52. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 19 bis 51, wobei zwei untere Trägerelemente (2) in der Nähe einer Unterkante der Wände (1) und zwei obere Trägerelemente (3) in der Nähe eines unteren Abschnitts der Seitenkanten (10) der Wände (1) angebracht sind.

53. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 19 bis 52, wobei das Trägergegenelement (4) in der Nähe einer Oberkante der Seitenwände (10) angebracht ist.

54. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 19 bis 53, wobei das Trägergegenelement (4) bezüglich einer die Anordnung oder Ausbildung des/der Trägerelements/Trägerelemente (2, 3) betreffenden und parallel zu dieser/diesen verlaufenden Symmetrieebene (E) versetzt angeordnet ist.