[go: up one dir, main page]

DE10212908A1 - Temperatursensor und Herstellungsverfahren dafür - Google Patents

Temperatursensor und Herstellungsverfahren dafür

Info

Publication number
DE10212908A1
DE10212908A1 DE10212908A DE10212908A DE10212908A1 DE 10212908 A1 DE10212908 A1 DE 10212908A1 DE 10212908 A DE10212908 A DE 10212908A DE 10212908 A DE10212908 A DE 10212908A DE 10212908 A1 DE10212908 A1 DE 10212908A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
electrode wires
temperature sensor
thermistor device
holding
sensor according
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE10212908A
Other languages
English (en)
Other versions
DE10212908B4 (de
Inventor
Tomohiro Adachi
Atsushi Kurano
Kazuto Koshimizu
Norihiko Shimura
Takamasa Yoshiwara
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shibaura Electronics Co Ltd
Denso Corp
Original Assignee
Shibaura Electronics Co Ltd
Denso Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shibaura Electronics Co Ltd, Denso Corp filed Critical Shibaura Electronics Co Ltd
Publication of DE10212908A1 publication Critical patent/DE10212908A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE10212908B4 publication Critical patent/DE10212908B4/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01KMEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01K7/00Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements
    • G01K7/16Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements using resistive elements
    • G01K7/22Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements using resistive elements the element being a non-linear resistance, e.g. thermistor
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01CRESISTORS
    • H01C1/00Details
    • H01C1/02Housing; Enclosing; Embedding; Filling the housing or enclosure
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01CRESISTORS
    • H01C1/00Details
    • H01C1/14Terminals or tapping points or electrodes specially adapted for resistors; Arrangements of terminals or tapping points or electrodes on resistors
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01CRESISTORS
    • H01C1/00Details
    • H01C1/14Terminals or tapping points or electrodes specially adapted for resistors; Arrangements of terminals or tapping points or electrodes on resistors
    • H01C1/148Terminals or tapping points or electrodes specially adapted for resistors; Arrangements of terminals or tapping points or electrodes on resistors the terminals embracing or surrounding the resistive element

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Thermistors And Varistors (AREA)
  • Measuring Temperature Or Quantity Of Heat (AREA)

Abstract

Bei einem ein Paar von Elektrodendrähten zur Signalherausführung beinhaltenden Temperatursensor, die mit den beiden gegenüberliegenden Endflächen einer Thermistorvorrichtung verbunden sind, zielt die vorliegende Erfindung auf das Verhindern der Abschälung der Verbindungsabschnitte zwischen den Elektrodendrähten und der Thermistorvorrichtung. Diese Aufgabe kann durch eine Versiegelung der Thermistorvorrichtung 3 und der Verbindungsabschnitte zwischen der Thermistorvorrichtung 3 und den Elektrodendrähten 4 unter Verwendung eines elektrisch isolierenden Glaselementes 6 und das Halten des Elektrodendrahtpaares 4 unter Verwendung eines Halteelementes 8 aus einer elektrisch isolierenden Keramik erreicht werden, während zwischen ihnen eine Lücke gehalten wird.

Description

Die Erfindung betrifft einen Temperatursensor mit einem Paar Signalherausführungselektrodendrähten, die mit den beiden gegenüberliegenden Endflächen einer Thermistorvorrichtung verbundenen sind.
Ein Temperatursensor dieser Art ist in der Druckschrift JP-A-52-7535 beschrieben. Bei diesem Temperatursensor ist ein Paar Elektrodendrähte mit den beiden gegenüberliegenden Endflächen einer Thermistorvorrichtung derartig verbunden, dass die Thermistorvorrichtung zwischen ihnen angeordnet ist, wobei sie aus der Thermistorvorrichtung herausgeführt sind. Die Elektrodendrähte und die Thermistorvorrichtung sind unter Verwendung eines wärmebeständigen elektrisch leitenden Materials durch einen Backvorgang miteinander verbunden.
Bei dem vorstehend beschriebenen bekannten Temperatursensor treten jedoch Risse an den Verbindungsabschnitten zwischen den Elektrodendrähten und der Thermistorvorrichtung aufgrund von Vibration und thermischer Einwirkung auf, und dies führt im schlimmsten Falle zum Auftreten eines Abschälvorgangs. Daher ist eine Verbesserung bei der Festigkeit der Verbindungsabschnitte erforderlich.
Demzufolge liegt der vorliegenden Erfindung die Aufgabe zugrunde, die Nachteile aus dem Stand der Technik zu beseitigen.
Erfindungsgemäß wird gemäß einer ersten Ausgestaltung ein Temperatursensor angegeben, der versehen ist mit einer Thermistorvorrichtung (3) und einem Paar Elektrodendrähte (4) zum Herausführen eines Thermistorsignals, die mit den beiden gegenüberliegenden Endflächen der Thermistorvorrichtung derartig verbunden sind, dass die Thermistorvorrichtung zwischen ihren einen Endseiten angeordnet ist und die andere Endseite von der Thermistorvorrichtung herausgeführt wird; wobei der Temperatursensor ein elektrisch isolierendes Halteelement (8) zum Halten des Elektrodendrahtpaares umfasst, während die Elektrodendrähte eine Lücke zwischen ihnen beibehalten.
Gemäß diesem Aufbau hält das elektrisch isolierende Halteelement das Elektrodendrahtpaar, während die Elektrodendrähte eine Lücke zwischen sich aufweisen. Daher können erfindungsgemäß Kurzschlüsse zwischen den Elektrodendrähten und eine von Vibration und thermischer Einwirkung resultierende Ablenkung der Elektrodendrähte verhindert werden, und schließlich kann das Abschälen der Verbindungsabschnitte zwischen den Elektrodendrähten und der Thermistorvorrichtung verhindert werden.
Dabei kann das Halteelement (8) ein Element mit Löchern (8a) verwenden, in welche das Paar Elektrodendrähte jeweils eingefügt wird.
Vorzugsweise kann ein elektrisch isolierendes Glaselement (6) die Thermistorvorrichtung (3) und die Verbindungsabschnitte zwischen der Thermistorvorrichtung und den Elektrodendrähten (4) versiegeln, und das Halteelement (8) kann auf der anderen Endseite das Paares Elektrodendrähte bezüglich des Glaselementes angeordnet werden.
Da der Glasabschnitt die Verbindungsabschnitte zwischen der Thermistorvorrichtung und den Elektrodendrähten versiegelt, kann ein Abschälen der Verbindungsabschnitte besser verhindert werden. Dabei wird das Halteelement auf der anderen Endseite des Paares der Elektrodendrähte bezüglich des Glaselementes angeordnet.
Hierbei können das Glaselement (6) und das Halteelement (8) voneinander beabstandet sein, aber vorzugsweise sind sie nahe beieinander angeordnet, weil die Position des Glaselementes und ihre Größe bezüglich des Halteelementes als Bezug leichter bestimmt werden kann.
Vorzugsweise wird eine Abdeckung (7) aus Aluminiumoxid auf das Äußere des Glaselementes (6) gesetzt, weil der Wärmewiderstand der Verbindungsabschnitte zwischen der Thermistorvorrichtung und den Elektrodendrähten auf eine höhere Temperatur verbessert werden kann.
Der erfindungsgemäße Temperatursensor kann eine Vielzahl von Halteelementen (8) beinhalten. Jede der vorstehend beschriebenen Einrichtungen kann ihre Wirkung vollständig entfalten, wenn der erfindungsgemäße Temperatursensor auf einen in einer Hochtemperaturumgebung von nicht weniger als 500°C verwendeten Sensor angewendet wird.
Die Elektrodendrähte (4) können aus einem hochschmelzenden Metall wie etwa Platin oder einer Platinlegierung ausgebildet werden, und das Halteelement (8) und die Elektrodendrähte (4) können im Voraus gleichzeitig gebrannt oder verbunden werden. Sie weisen eine ausgezeichnete Hochtemperaturfestigkeit und Vibrationswiderstandsfähigkeit auf.
Als zweite erfindungsgemäße Ausgestaltung wird die Aufgabe durch ein Verfahren zur Herstellung eines Temperatursensors gelöst, der versehen ist mit einer Thermistorvorrichtung (3), einem Paar Elektrodendrähte (4) zum Herausführen eines Thermistorsignals, die mit den beiden gegenüberliegenden Endflächen der Thermistorvorrichtung derartig verbunden sind, dass die Thermistorvorrichtung zwischen ihren einen Endseiten angeordnet ist und die andere Endseite von der Thermistorvorrichtung herausgeführt wird, und einem elektrisch isolierenden Halteelement (8) zum Halten des Elektrodendrahtpaares, während eine Lücke zwischen ihnen beibehalten wird; dabei ist das Verfahren versehen mit den Schritten Verwenden eines hochschmelzenden Metalls wie etwa Platin oder einer Platinlegierung für die Elektrodendrähte (4), Gießen eines keramischen Pulvers wie etwa Aluminiumoxid oder Zirkonoxid in eine Form mit zwei Löchern für die Halteelemente (8), und Einsetzen der Elektrodendrähte in die Löcher sowie deren gleichzeitiges Brennen.
Dieses Herstellungsverfahren kann den bei der ersten Ausgestaltung beschriebenen Temperatursensor zweckmäßig herstellen, und kann außerdem ein mit hochschmelzenden Metalldrähten (hochschmelzenden Elektrodendrähten) ausgerüstetes Halteelement zweckmäßig herstellen, das eine ausgezeichnete Hochtemperaturwiderstandsfähigkeit und Vibrationswiderstandsfähigkeit aufweist.
Bei diesem Herstellungsverfahren kann keramisches Pulver granuliert und sodann präzisionsgegossen werden, und gleichzeitiges Brennen kann in einem atmosphärischen Brennofen oder einem reduzierenden Brennofen bei 1500 bis 1600°C ausgeführt werden.
Die in Klammern gesetzten Bezugszeichen für jede vorstehend beschriebene Einrichtung bezeichnet eine Entsprechung zu der konkreten Einrichtung bei dem nachstehend aufgeführten Ausführungsbeispiel.
Fig. 1 zeigt eine Gesamtübersicht eines Temperatursensors gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung;
Fig. 2 zeigt eine vergrößerte Schnittansicht eines temperaturempfindlichen Abschnitts aus Fig. 1.
Die Fig. 3(a) und 3(b) zeigen Gesamtübersichten eines Einzelkörperaufbaus von einem Halteelement bzw. eines mit Elektrodendrähten ausgerüsteten Halteelementes;
Fig. 4 zeigt ein Beispiel, bei dem das Halteelement von einem Glaselement getrennt ist; und
Fig. 5 zeigt ein Beispiel, bei dem eine Vielzahl von Halteelementen angeordnet ist.
Die Erfindung wird nachstehend unter Verwendung der in der beiliegenden Zeichnung gezeigten mehreren bevorzugten Ausführungsbeispiele beschrieben. Fig. 1 zeigt eine Ansicht des Gesamtaufbaus eines Temperatursensors S1 gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung. Fig. 2 zeigt eine vergrößerte Ansicht des Aufbaus im Querschnitt innerhalb einer Metallabdeckung (Metallrohr) 2, der einen temperaturempfindlichen Abschnitt in Fig. 1 bildet. Dieser Temperatursensor S1 kann beispielsweise auf einen in einer Hochtemperaturumgebung von zumindest 500°C verwendeten Abgastemperatursensor angewendet werden.
Unter Bezugnahme auf Fig. 1 bezeichnet das Bezugszeichen 1 ein Gehäuse mit der Gestalt eines gestuften Zylinders. Das Gehäuse 1 ist aus einem Metallmaterial (wie etwa rostfreiem Stahl) mit einer hohen Wärmebeständigkeit ausgebildet. Ein Schraubenabschnitt 1a, der zur Schraubenkopplung mit einem Einpassloch eines Elementes wie etwa einem Abgasrohr in der Lage ist, ist auf eine äußeren Randoberfläche des Gehäuses 1 an einem seinen Enden ausgebildet. Ein mit Verdrahtungselementen zu verbindender Verbindungsabschnitt 1b ist an dem anderen Ende des Gehäuses 1 für den Aufbau einer elektrischen Verbindung mit einer externen Schaltung ausgebildet.
Das Gehäuse 1 beinhaltet ferner einen Mutterabschnitt 1c zur Schraubenkopplung mit dem Schraubenabschnitt 1a, und ein Versiegelungselement 1d mit einem O-Ring und einer Dichtungsmanschette, um die Luftdichtigkeit mit dem zu messenden Element zu erhalten. Die Metallabdeckung 2 wird durch Laserschweißen usw. hinter einem verkürzten Abschnitt an einem der Enden des Gehäuses 1 eingepasst und fixiert.
Die Metallabdeckung 2 teilt den Hauptkörper des wärmeempfindlichen Abschnitts auf. Es ist der Abschnitt, der einer Messumgebung ausgesetzt ist, während der Sensor S1 mit dem zu messenden Element verschraubt ist. Die Metallabdeckung 2 ist aus einem wärmebeständigen Metall wie etwa rostfreiem Stahl ausgebildet. Die Metallabdeckung 2 ist ein geschlossener Zylinder mit einem Bodenabschnitt auf einer seiner Endseiten und einem offenen Abschnitt auf der anderen Seite, und sie weist einen Durchmesser von beispielsweise Ø 1,3 mm auf. Die andere Endseite der Metallabdeckung 2 ist mit dem Gehäuse verbunden, und Fig. 2 zeigt den inneren Aufbau der Metallabdeckung 2.
Eine Thermistorvorrichtung 3 ist innerhalb der Metallabdeckung 2 auf einer ihrer Endseiten (Bodenseite) angepasst. Die Thermistorvorrichtung 3 ist eine schichtartige gesinterte Gussform, die aus einem beispielsweise aus einem Yttriumchrommanganoxid als seinem Hauptbestandteil bestehenden Halbleitermaterial (Thermistormaterial) ausgebildet ist, und kann einer hohen Temperatur (beispielsweise 1000°C oder mehr) wiederstehen.
Ein aus Platin oder dergleichen ausgebildetes Elektrodendrahtpaar 4 ist mit der Thermistorvorrichtung 3 innerhalb der Metallabdeckung 2 verbunden, so dass ein Thermistorsignal (ein Ausgangssignal unter Verwendung der Widerstands-Temperatur-Charakteristik (R-T-Charakteristik)) herausgeführt wird.
Eines der Enden jedes Elektrodendrahtes 4 ist mit einem der gegenüberliegenden Endflächen der Thermistorvorrichtung 3 verbunden, während es von der Thermistorvorrichtung freigelegt ist. Hierbei sind die Thermistorvorrichtung 3 und jeder Elektrodendraht 4 miteinander durch einen Backvorgang unter Verwendung eines wärmebeständigen elektrisch leitenden Materials (beispielsweise eine Platinvanadiumpaste, eine Goldnickelpaste, eine Silberkupferpaste, usw.) miteinander verbunden. Die Elektrodendrähte 4 sind voneinander getrennt und zueinander parallel, so dass sich das andere Ende jedes Elektrodendrahtes 4 zu dem anderen Ende der Metallbedeckung 2 hin (zu der offenen Seite hin) entlang der Achse der Metallbedeckung 2 erstreckt. Wenngleich es nicht gezeigt ist, ist das andere Ende jedes Elektrodendrahtes 4 mit einem an dem Verbindungsabschnitt 1b durch ein Verdrahtungselement innerhalb des Gehäuses 1 bereitgestellten Anschluss elektrisch verbunden.
Jeder sich innerhalb der Metallbedeckung 2 erstreckende Elektrodendraht 4 dringt durch ein Isolatorrohr 5 hindurch, wird durch dieses Isolatorrohr gehalten, und eine elektrische Isolation wird zwischen den Elektrodendrähten 4 und zwischen dem Elektrodendraht 4 und der Metallbedeckung 2 sichergestellt. Zwei aufgespaltete Elemente werden beispielsweise zur Ausbildung des Isolatorrohrs 5 zusammengebaut.
Ein elektrisch isolierendes Glaselement 6 versiegelt die Thermistorvorrichtung 3 und die Verbindungsabschnitte zwischen der Thermistorvorrichtung 3 und den Elektrodendrähten 4. Dieses Glaselement 6 ist aus Aluminiumoxid oder einem kristallisierten Glas wie etwa Quarzglas ausgebildet. Eine Abdeckung 7 aus Aluminiumoxid ist außerhalb dieses Glaselementes 6 aufgesetzt und um die glasversiegelte Thermistorvorrichtung 3 gewunden.
Bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel ist ein elektrisch isolierendes Halteelement 8 in der Nähe der Thermistorvorrichtung 3 innerhalb der Metallabdeckung 2 angeordnet, so dass das Elektrodendrahtpaar 4 gehalten wird. Fig. 3(a) zeigt einen Einzelkörperaufbau von diesem Halteelement 8.
Das Halteelement 8 ist ein aus einer isolierenden Keramik wie etwa Aluminiumoxid ausgebildeter gegossener Gegenstand, und umfasst Löcher 8a, in welche die Elektrodendrähte 4 jeweils eingesetzt werden, und die voneinander in einem der Lücke zwischen den beiden Elektrodendrähten 4 entsprechenden Abstand beabstandet sind. Das Halteelement 8 ist in Kontakt mit dem Glaselement 6 zwischen dem Glaselement 6 und dem isolierenden Rohr 5 gemäß Fig. 2 angeordnet.
Die andere Endseite jedes Elektrodendrahtes 4 von dem Versiegelungsteil des Glaselementes 6 dringt durch jedes Loch 8a des Halteelementes 8 hindurch. Daher hält das Halteelement 8 die Elektrodendrähte 4, während sie eine Lücke zwischen sich beibehalten. Im übrigen können die Elektrodendrähte 4 gehalten werden, während sie sich in Kontakt mit der inneren Oberfläche des Loches 8a befinden, oder sie können mit dem Loch 8a unter Verwendung eines wärmebeständigen Glases, eines anorganischen Haftmittels, des vorstehend aufgeführten leitenden Materials oder eines Lötmaterials verbunden und fixiert werden.
Alternativ verwendet der Elektrodendraht ein hochschmelzendes Metall wie etwa Platin oder eine Platinlegierung (Platiniridium, Platinrhodium, usw.) und das Halteelement 8 ist durch das Schmelzen eines keramischen Pulvers wie etwa Aluminiumoxid, Zirkonoxid, usw. im Voraus in einer Form mit zwei Löchern (8a) ausgebildet. Der hochschmelzenden Elektrodendraht wird sodann in den gegossenen Gegenstand eingesetzt, und sie werden gleichzeitig gebrannt. Das resultierende Erzeugnis ist am bevorzugtesten, weil es eine Hochtemperaturfestigkeit und Vibrationswiderstandsfähigkeit aufweist.
Das vorstehend beschriebene keramische Pulver wird granuliert und sodann präzisionsgegossen. Ein gleichzeitiger Brennvorgang kann innerhalb eines atmosphärischen Brennofens oder eines reduzierendes Brennofens bei 1500°C bis 1600°C ausgeführt werden. Auf diese Weise kann das mit den hochschmelzenden Metalldrähten (hochschmelzende Elektrodendrähte) ausgerüstete Halteelement 8 erhalten werden. Fig. 3(b) zeigt ein derartiges Halteelement 8.
Der Temperatursensor S1 kann auf die nachstehend als Beispiel aufgeführte Weise zusammengebaut werden. Die Elektrodendrähte 4 werden an die beiden Endflächen der in die schichtartige Form unter Verwendung des vorstehend beschriebenen elektrisch leitenden Materials gebrannten und gegossenen Thermistorvorrichtung 3 gebrannt und dazu integriert. Danach wird die resultierende Baugruppe in flüssiges Glas eingetaucht, so dass das Glaselement 6 die Baugruppe versiegelt. Das Glaselement 6 wird sodann mit der Abdeckung 7 verstöpselt.
Die Versiegelung durch das Glaselement 6 kann außerdem durch die Anordnung der Thermistorvorrichtung 3, integriert mit den Elektrodendrähten 4, innerhalb der Abdeckung 7 ausgeführt werden, indem sodann flüssiges Glas hinzugefügt wird. Dabei verbindet die Bindekraft des erstarrenden Glases die Abdeckung und das Glaselement 6.
Hierbei kann der Schritt zum Einsetzen jedes Elektrodendrahtes 4 durch das Loch 8a des Halteelementes 8 und das Zusammenbaus des Halteelementes 8 mit jedem Elektrodendraht 4 entweder vor oder nach dem Versiegelungsschritt durch das vorstehend beschriebene Glaselement 6 ausgeführt werden. Da das vorliegende Ausführungsbeispiel einen Aufbau verwendet, bei dem Glaselement 6 und das Haltelement 8 miteinander Kontakt halten, kann die Position des Glaselementes 6 und seine Größe bezüglich der Position des Halteelementes 8 und dessen Größe als Bezugspunkt mit Leichtigkeit bestimmt werden, falls der Zusammenbauschritt vor dem Glasversiegelungsschritt durchgeführt wird.
Wenn der Zusammenbau des Halteelementes 8 nach dem Glasversiegelungsschritt ausgeführt wird, können das Halteelement 8 und das Glaselement 6 lediglich miteinander Kontakt halten oder verbunden und fixiert werden, indem ein anorganisches Haftmittel verwendet wird. Wenn der Zusammenbau des Halteelementes 8 vor dem Glasversiegelungsschritt ausgeführt wird, werden das Halteelement 8 und das Glaselement 6 miteinander durch die Bindekraft von Glas beim Erstarren miteinander verbunden.
Die Thermistorvorrichtung 3, die Elektrodendrähte 4, das Glaselement 6, die Abdeckung 7 und das Halteelement 8 werden miteinander auf die vorstehend beschriebene Weise integriert. Die Isolatorröhre 5 wird sodann mit der so erhaltenen einheitlichen Baugruppe zusammengebaut, und die Elektrodendrähte 4 und die Anschlüsse des Verbindungsabschnitts 1b des Gehäuses 1 werden miteinander verbunden. Die Metallabdeckung 2 wird auf die Thermistorvorrichtung 3 gesetzt, und mit dem Gehäuse 1 verbunden, wodurch der Temperatursensor S1 vervollständigt wird.
Dieser Temperatursensor S1 wird in ein in einem Abgasrohr beispielsweise eines Automobils ausgebildeten (nicht gezeigten) Einpassloch eingesetzt, und wird mit dem Einpassloch durch die Mutter 1c und den Schraubenabschnitt 1a verschraubt. Wenn eine zu messende Flüssigkeit (wie etwa ein Abgas) auf den temperaturempfindlichen Abschnitt einwirkt, gibt die Thermistorvorrichtung 3 ein der Temperatur der zu messenden Flüssigkeit entsprechendes Signal durch die Elektrodendrähte 4 und die Anschlüsse des Verbindungsabschnitts 1b aus.
Gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel hält das elektrisch isolierende Halteelement 8 das Elektrodendrahtpaar 4, während sie zueinander eine Lücke beibehalten. Daher kann das vorliegende Ausführungsbeispiel einen Kurzschluss zwischen den Elektrodendrähten 4 und ein von Vibration und einer thermischen Einwirkung herrührende Abweichung der Elektrodendrähte 4 verhindern. Folglich kann das vorliegende Ausführungsbeispiel ein Abschälen der Verbindungsabschnitte zwischen den Elektrodendrähten 4 und der Thermistorvorrichtung 3 verhindern.
Bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel versiegelt das elektrisch isolierende Glaselement 6 die Thermistorvorrichtung 3 und die Verbindungsabschnitte zwischen der Thermistorvorrichtung 3 und den Elektrodendrähten 4, und das Halteelement 8 ist auf der anderen Endseite des Paares Elektrodendrähte 4 von dem Glaselement 6 angeordnet. Daher unterdrückt das vorliegende Ausführungsbeispiel wünschenswerter Weise das Abschälen der Verbindungsabschnitte durch eine Glasversiegelung zusätzlich zu der durch das Halteelement 8 hervorgebrachten Wirkung.
Bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel ist das Halteelement 8 angeordnet, während es den Kontakt mit dem Glaselement 6 hält. Daher kann die Position des Glaselementes 6 und seine Größe mit Leichtigkeit bezüglich dem Halteelement 8 als Bezugspunkt in dem vorstehend beschriebenen Glasversiegelungsschritt bestimmt werden.
Gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel wird die aus Aluminiumoxid ausgebildete Abdeckung 7 auf die Außenseite des Glaselementes 6 aufgesetzt. Daher kann die Wärmewiderstandsfähigkeit der Verbindungsabschnitte zwischen der Thermistorvorrichtung 3 und den Elektrodendrähten 4 wünschenswerter Weise zu einer höheren Temperatur verbessert werden.
(Andere Ausführungsbeispiele)
Bei dem vorstehend beschriebenen Ausführungsbeispiel hält das Halteelement 8 Kontakt mit dem Glaselement 6 und der Thermistorvorrichtung 3. Das Glaselement 6 und das Haltelement 8 können jedoch gemäß Fig. 4 voneinander getrennt sein. Außerdem kann eine Vielzahl von Halteelementen 8 bereitgestellt werden, wie es in Fig. 5 gezeigt ist (wobei zwei Halteelemente gezeigt werden).
Unter Bezugnahme auf Fig. 2 sind die Abdeckung 7, das Halteelement 8, das Isolatorrohr 5 und die Metallabdeckung 2 miteinander in Kontakt stehend gezeigt, aber sie können auch getrennt sein. Sie stehen jedoch vorzugsweise in Kontakt miteinander, weil der Durchmesser des temperaturempfindlichen Abschnitts verringert und sein Ansprechen verbessert werden kann.
Bei dem vorstehend angegebenen Ausführungsbeispiel verhindert zumindest die Wirkung des Halteelementes 8 ein Abschälen der Verbindungsabschnitte. Daher können das Glaselement 6 und die Abdeckung 7 weggelassen werden.
Bei einem ein Paar von Elektrodendrähten zur Signalherausführung beinhaltenden Temperatursensor, die mit den beiden gegenüberliegenden Endflächen einer Thermistorvorrichtung verbunden sind, zielt die vorliegende Erfindung auf das Verhindern der Abschälung der Verbindungsabschnitte zwischen den Elektrodendrähten und der Thermistorvorrichtung. Diese Aufgabe kann durch eine Versiegelung der Thermistorvorrichtung 3 und der Verbindungsabschnitte zwischen der Thermistorvorrichtung 3 und den Elektrodendrähten 4 unter Verwendung eines elektrisch isolierenden Glaselementes 6 und das Halten des Elektrodendrahtpaares 4 unter Verwendung eines Halteelementes 8 aus einer elektrisch isolierenden Keramik erreicht werden, während zwischen ihnen eine Lücke gehalten wird.

Claims (13)

1. Temperatursensor, mit
einer Thermistorvorrichtung (3); und
einem Paar Elektrodendrähte (4) zum Herausführen eines Thermistorsignals, die mit den beiden gegenüberliegenden Endflächen der Thermistorvorrichtung derartig verbunden sind, dass die Thermistorvorrichtung zwischen ihren einen Endseiten angeordnet ist und die andere Endseite von der Thermistorvorrichtung herausgeführt wird;
wobei der Temperatursensor ein elektrisch isolierendes Halteelement (8) zum Halten des Elektrodendrahtpaares umfasst, während die Elektrodendrähte eine Lücke zwischen ihnen beibehalten.
2. Temperatursensor nach Anspruch 1, wobei das Halteelement (8) Löcher (8a) aufweist, in welche die Elektrodendrähte eingefügt sind.
3. Temperatursensor nach Anspruch 1, wobei die Thermistorvorrichtung (3) und die Verbindungsabschnitte zwischen der Thermistorvorrichtung und dem Paar Elektrodendrähte (4) durch ein elektrisch isolierendes Glaselement (6) versiegelt sind, und das Halteelement (8) auf der anderen Endseite das Paares Elektrodendrähte bezüglich des Glaselementes angeordnet ist.
4. Temperatursensor nach Anspruch 3, wobei das Glaselement (6) und das Haltelement (8) miteinander in Kontakt stehen.
5. Temperatursensor nach Anspruch 3, wobei das Glaselement (6) und das Halteelement (8) voneinander beabstandet sind.
6. Temperatursensor nach Anspruch 3, wobei eine Abdeckung (7) aus Aluminiumoxid auf das Äußere des Glaselementes (6) gesetzt ist.
7. Temperatursensor nach Anspruch 1, der eine Vielzahl von Halteelementen (8) beinhaltet.
8. Temperatursensor nach Anspruch 1, der in einer Umgebung mit einer Temperatur von mehr als 500°C verwendetet wird.
9. Temperatursensor nach Anspruch 1, wobei die Elektrodendrähte (4) ein hochschmelzendes Metall wie etwa Platin oder eine Platinlegierung verwenden.
10. Temperatursensor nach Anspruch 1, wobei das Halteelement (8) und die Elektrodendrähte (4) im Voraus gleichzeitig gebrannt oder verbunden sind.
11. Verfahren zur Herstellung eines Temperatursensors mit einer Thermistorvorrichtung (3) und einem Paar Elektrodendrähte (4) zum Herausführen eines Thermistorsignals, die mit den beiden gegenüberliegenden Endflächen der Thermistorvorrichtung derartig verbunden sind, dass die Thermistorvorrichtung zwischen ihren einen Endseiten angeordnet ist und die andere Endseite von der Thermistorvorrichtung herausgeführt wird, und ferner mit einem elektrisch isolierenden Halteelement (8) zum Halten des Elektrodendrahtpaares, während eine Lücke zwischen ihnen beibehalten wird;
dabei ist das Verfahren versehen mit den Schritten:
Verwenden eines hochschmelzenden Metalls wie etwa Platin oder einer Platinlegierung für die Elektrodendrähte (4);
Gießen eines keramischen Pulvers wie etwa Aluminiumoxid oder Zirkonoxid in eine Form mit zwei Löchern für die Halteelemente (8), und
Einsetzen der Elektrodendrähte in die Löcher sowie deren gleichzeitiges Brennen.
12. Verfahren zur Herstellung eines Temperatursensors nach Anspruch 11, wobei das keramische Pulver granuliert und sodann präzisionsgegossen wird.
13. Verfahren zur Herstellung eines Temperatursensors nach Anspruch 11, wobei die Temperatur bei dem gleichzeitigen Brennen 1500°C bis 1600°C beträgt, und dieser gleichzeitige Brennvorgang in einem atmosphärischen Brennofen oder einem reduzierenden Brennofen ausgeführt wird.
DE10212908A 2001-03-23 2002-03-22 Temperatursensor und Herstellungsverfahren dafür Expired - Fee Related DE10212908B4 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JPP01-85723 2001-03-23
JP2001085723A JP2002289407A (ja) 2001-03-23 2001-03-23 温度センサおよびその製造方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE10212908A1 true DE10212908A1 (de) 2002-11-14
DE10212908B4 DE10212908B4 (de) 2005-05-12

Family

ID=18941189

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE10212908A Expired - Fee Related DE10212908B4 (de) 2001-03-23 2002-03-22 Temperatursensor und Herstellungsverfahren dafür

Country Status (4)

Country Link
US (1) US6880969B2 (de)
JP (1) JP2002289407A (de)
DE (1) DE10212908B4 (de)
FR (1) FR2822542B1 (de)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102004035628B4 (de) * 2004-07-22 2007-03-29 Sensotherm Temperatursensorik Gmbh Temperaturerfassungseinheit und Verfahren zu deren Herstellung
DE102011012684A1 (de) * 2011-03-01 2012-09-06 Hella Kgaa Hueck & Co. Hochtemperatursensor mit einem Sensorelement und einer Vorrichtung zum Halten und Positionieren des Sensorelementes, insbesondere für automobile Anwendungen

Families Citing this family (32)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7218934B2 (en) * 2002-02-14 2007-05-15 Nokia Corporation Mobile station speed estimation
JP4041018B2 (ja) * 2003-06-25 2008-01-30 Tdk株式会社 温度センサ
FR2856880B1 (fr) * 2003-06-27 2005-09-23 Auxitrol Sa Resistance chauffante notamment pour la chauffe d'une piece massive telle qu'une sonde de temperature et/ou de prise de pression
DE112004002835D2 (de) * 2004-02-09 2006-12-28 Temperaturmestechnik Geraberg Hochtemperatursensor
US7128467B2 (en) * 2004-03-18 2006-10-31 General Electric Company Thermistor probe assembly and method for positioning and moisture proofing thermistor probe assembly
US7581879B2 (en) * 2004-06-30 2009-09-01 Ngk Spark Plug Co., Ltd. Temperature sensor
US7855632B1 (en) 2005-03-02 2010-12-21 Watlow Electric Manufacturing Company Temperature sensor and method of manufacturing
US7316507B2 (en) * 2005-11-03 2008-01-08 Covidien Ag Electronic thermometer with flex circuit location
US7360947B2 (en) * 2006-02-22 2008-04-22 Honeywell International Inc. Temperature sensor apparatus
US7458718B2 (en) * 2006-02-22 2008-12-02 Honeywell International Inc. Temperature sensor that achieves a fast response in an exhaust gas environment
US7997795B2 (en) * 2006-05-02 2011-08-16 Watlow Electric Manufacturing Company Temperature sensors and methods of manufacture thereof
US7749170B2 (en) 2007-05-22 2010-07-06 Tyco Healthcare Group Lp Multiple configurable electronic thermometer
GB0717994D0 (en) * 2007-09-14 2007-10-24 Epiq Nv Temperature sensor
JP2009099662A (ja) * 2007-10-15 2009-05-07 Oizumi Seisakusho:Kk 高温用センサ
US8496377B2 (en) * 2007-12-31 2013-07-30 Covidien Lp Thermometer having molded probe component
JP5205180B2 (ja) * 2008-09-03 2013-06-05 株式会社デンソー 温度センサ用感温体
FR2958036B1 (fr) * 2010-03-26 2013-05-10 Sc2N Sa Capteur de temperature
FR2958038B1 (fr) * 2010-03-26 2013-04-12 Sc2N Sa Capteur de temperature
US8523430B2 (en) * 2010-07-28 2013-09-03 Lattron Co. Ltd. Ultra thin temperature sensor device
JP5523982B2 (ja) 2010-08-16 2014-06-18 株式会社芝浦電子 温度センサ
JP5847517B2 (ja) * 2011-09-28 2016-01-20 株式会社芝浦電子 水素充填システム
JP5938191B2 (ja) * 2011-11-08 2016-06-22 本田技研工業株式会社 ガラス封止型サーミスタとその製造方法
DE102012110845A1 (de) * 2012-11-12 2014-05-15 Epcos Ag Temperaturfühler und Verfahren zur Herstellung eines Temperaturfühlers
JP6412309B2 (ja) 2013-03-12 2018-10-24 日本特殊陶業株式会社 サーミスタ素子、温度センサ及びサーミスタ素子の製造方法
FR3018604B1 (fr) * 2014-03-17 2017-11-10 Auxitrol Sa Procede de fabrication d'un element sensible, element sensible et dispositif de mesure correspondants
JP6301753B2 (ja) * 2014-06-25 2018-03-28 日本特殊陶業株式会社 温度センサ
EP3112830B1 (de) * 2015-07-01 2018-08-22 Sensata Technologies, Inc. Temperatursensor und verfahren zur herstellung eines temperatursensors
DE102017118198A1 (de) * 2016-11-03 2018-05-03 Danfoss A/S Rohrförmige Leitungsabschirmung für eine Abgastemperatursensoranordnung, Abgastemperatursensoranordnung und Verfahren zum Zusammenbauen einer Abgastemperatursensoranordnung
CN108122651B (zh) * 2017-12-20 2020-07-28 肇庆爱晟传感器技术有限公司 一种陶瓷薄膜玻璃封装电阻及其制备方法
US11682505B2 (en) 2020-03-03 2023-06-20 Deroyal Industries, Inc. Radiation curable thermistor encapsulation
DE102020126833A1 (de) * 2020-10-13 2022-04-14 Tdk Electronics Ag Sensoranordnung und Verfahren zur Herstellung einer Sensoranordnung
DE102021113989A1 (de) * 2021-05-31 2022-12-01 Purem GmbH Abgasheizer

Family Cites Families (41)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3949609A (en) * 1972-01-31 1976-04-13 Hammerslag Julius G Resistance thermometer and disposable probe
JPS527535B2 (de) * 1972-05-02 1977-03-03
JPS527535A (en) * 1975-07-02 1977-01-20 Ishikawajima Kenki Kk Drive system for catapillar type construction system vehicle
JPS55103435A (en) * 1979-02-05 1980-08-07 Hitachi Ltd Temperature sensor
US4246786A (en) * 1979-06-13 1981-01-27 Texas Instruments Incorporated Fast response temperature sensor and method of making
JPS57180101A (en) * 1981-04-30 1982-11-06 Hitachi Ltd High temperature thermistor
JPS58150833A (ja) * 1982-05-31 1983-09-07 Okazaki Seisakusho:Kk 測温抵抗体
DE3300733A1 (de) * 1983-01-12 1984-07-12 Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart Temperaturfuehler
DE3302080A1 (de) * 1983-01-22 1984-07-26 Leybold-Heraeus GmbH, 5000 Köln Thermischer massendurchflussmesser, insbesondere fuer gase
DE8536390U1 (de) * 1985-12-23 1986-02-06 BERU Ruprecht GmbH & Co KG, 7140 Ludwigsburg Sensorvorrichtung
JPH07111382B2 (ja) * 1986-08-08 1995-11-29 株式会社大泉製作所 温度センサの製造方法
JPS63101720A (ja) * 1986-10-17 1988-05-06 Matsushita Electric Ind Co Ltd 温度検出器
DE3703465C2 (de) * 1987-02-05 1998-02-19 Behr Thomson Dehnstoffregler Verfahren zum Herstellen eines elektrischen Schaltgerätes und elektrisches Schaltgerät
JPH01293504A (ja) * 1988-05-20 1989-11-27 Matsushita Electric Ind Co Ltd ガラス封入形サーミスタの製造法
JP2819536B2 (ja) * 1988-09-29 1998-10-30 ティーディーケイ株式会社 ガラス封止型高温用サーミスタ素子
JPH0297001A (ja) * 1988-10-03 1990-04-09 Tdk Corp ガラス封止型サーミスタ素子
JPH02116101A (ja) * 1988-10-26 1990-04-27 Matsushita Electric Ind Co Ltd サーミスタ
JPH02152203A (ja) * 1988-12-05 1990-06-12 Murata Mfg Co Ltd 温度抵抗素子
US4934831A (en) * 1989-03-20 1990-06-19 Claud S. Gordon Company Temperature sensing device
JPH0464026A (ja) * 1990-07-03 1992-02-28 Toshiba Corp 温度センサ
JP3150180B2 (ja) * 1991-12-19 2001-03-26 ティーディーケイ株式会社 サーミスタ素子の製造方法
JPH06249716A (ja) * 1993-02-24 1994-09-09 Makoto Kikuchi サーミスタ温度センサ
US5348397A (en) * 1993-03-29 1994-09-20 Ferrari R Keith Medical temperature sensing probe
US5681111A (en) * 1994-06-17 1997-10-28 The Ohio State University Research Foundation High-temperature thermistor device and method
US5497139A (en) * 1994-09-23 1996-03-05 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Temperature sensor and its manufacturing method
JP2904066B2 (ja) * 1995-08-31 1999-06-14 松下電器産業株式会社 温度センサ及びその製造方法
DE19638577C1 (de) * 1996-09-20 1998-01-15 Bruker Franzen Analytik Gmbh Simultane Fokussierung aller Massen in Flugzeitmassenspektrometern
KR100228046B1 (ko) * 1997-03-19 1999-11-01 정명세 고온정밀백금저항온도센서
JPH11218449A (ja) * 1997-11-21 1999-08-10 Denso Corp 温度センサ及びその製造方法
JPH11295126A (ja) * 1998-04-06 1999-10-29 Mitsubishi Electric Corp 流量検出素子及び流量センサ
JP3666289B2 (ja) * 1998-05-20 2005-06-29 株式会社デンソー サーミスタ式温度センサ
JP3485027B2 (ja) * 1998-07-24 2004-01-13 株式会社デンソー 温度センサおよびその製造方法
US6082895A (en) * 1998-09-18 2000-07-04 General Electric Company Thermistor
US6305841B1 (en) * 1998-09-29 2001-10-23 Denso Corporation Temperature sensor with thermistor housed in blocked space having ventilation
FR2793021B1 (fr) * 1999-04-30 2001-08-03 Siemens Automotive Sa Capteur de temperature et procede de fabrication d'un tel capteur
DE10062041C2 (de) * 2000-12-13 2003-03-13 Beru Ag Temperatursensor
JP2002267547A (ja) * 2001-03-14 2002-09-18 Denso Corp 温度センサ
GB2373582A (en) * 2001-03-20 2002-09-25 Ceramaspeed Ltd Temperature sensing probe assembly
JP3788363B2 (ja) * 2001-03-23 2006-06-21 株式会社デンソー 温度センサ
JP2003234203A (ja) * 2002-02-07 2003-08-22 Denso Corp 温度センサの製造方法
US7121722B2 (en) * 2003-05-02 2006-10-17 Ngk Spark Plug Co., Ltd. Temperature sensor

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102004035628B4 (de) * 2004-07-22 2007-03-29 Sensotherm Temperatursensorik Gmbh Temperaturerfassungseinheit und Verfahren zu deren Herstellung
DE102011012684A1 (de) * 2011-03-01 2012-09-06 Hella Kgaa Hueck & Co. Hochtemperatursensor mit einem Sensorelement und einer Vorrichtung zum Halten und Positionieren des Sensorelementes, insbesondere für automobile Anwendungen
US9464941B2 (en) 2011-03-01 2016-10-11 Hella Kgaa Hueck & Co. High-temperature sensor with a sensor element and a device for holding and positioning the sensor element, especially for automotive uses

Also Published As

Publication number Publication date
FR2822542A1 (fr) 2002-09-27
US6880969B2 (en) 2005-04-19
JP2002289407A (ja) 2002-10-04
DE10212908B4 (de) 2005-05-12
US20020172258A1 (en) 2002-11-21
FR2822542B1 (fr) 2004-02-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE10212908A1 (de) Temperatursensor und Herstellungsverfahren dafür
DE3217951C2 (de)
EP0087626B1 (de) Gassensor, insbesondere für Abgase von Brennkraftmaschinen
EP0648977B2 (de) Glühkerze
EP0168589B1 (de) Sauerstoffmessfühler
DE3525903C2 (de)
DE2907032A1 (de) Elektrochemischer messfuehler fuer die bestimmung des sauerstoffgehaltes in gasen, insbesondere in abgasen von verbrennungsmotoren
DE2854071C2 (de) Zündkerze
DE3716391A1 (de) Subminiatur-sicherung
WO2010060616A2 (de) Glühkerze und verfahren zu ihrer herstellung
DE69213665T2 (de) Kapazitiver Sensor mit leitender Frontseite, zur Bildung einer Kondensatorarmatur und einem mineralisierten abgeschirmten Koaxialkabel
DE102010001921A1 (de) Thermistorgerät
DE102004040471A1 (de) Gassensoraufbau mit stabiler elektrischer Verbindungsstelle
DE102017105680A1 (de) Oberflächenmontierter Widerstand
DE3446128A1 (de) Zuendkerze fuer brennkraftmaschinen
DE19523977A1 (de) Microchip-Sicherung
DE3203149C2 (de)
DE102017102067B4 (de) Temperatursensor und Verfahren zu dessen Herstellung
DE19803594A1 (de) Metallteil-Verbindungsstruktur, Metallteil-Verbindungsverfahren, keramische Heizvorrichtung und Herstellungsverfahren für keramische Heizvorrichtung
DE19735559A1 (de) Gasmeßfühler
EP0829897B1 (de) Elektrische Sicherung
DE10152886A1 (de) Keramische Heizvorrichtung
DE19911516C1 (de) Sensoranordnung für gasförmige Medien
DE3936103A1 (de) Anordnung zum befestigen eines drahtes an einem festelektrolytelement
DE102004035628B4 (de) Temperaturerfassungseinheit und Verfahren zu deren Herstellung

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
8180 Miscellaneous part 1

Free format text: DER ANMELDETAG IST ZU AENDERN IN: "22.03.02"

8364 No opposition during term of opposition
8339 Ceased/non-payment of the annual fee