[go: up one dir, main page]

DE10207393A1 - Rapid Prototyping durch Drucken von organischen Substanzen und deren Verfestigung - Google Patents

Rapid Prototyping durch Drucken von organischen Substanzen und deren Verfestigung

Info

Publication number
DE10207393A1
DE10207393A1 DE10207393A DE10207393A DE10207393A1 DE 10207393 A1 DE10207393 A1 DE 10207393A1 DE 10207393 A DE10207393 A DE 10207393A DE 10207393 A DE10207393 A DE 10207393A DE 10207393 A1 DE10207393 A1 DE 10207393A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
carrier
components
polymer
substances
solidifiable
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE10207393A
Other languages
English (en)
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Individual
Original Assignee
Individual
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Individual filed Critical Individual
Priority to DE10207393A priority Critical patent/DE10207393A1/de
Publication of DE10207393A1 publication Critical patent/DE10207393A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B44DECORATIVE ARTS
    • B44CPRODUCING DECORATIVE EFFECTS; MOSAICS; TARSIA WORK; PAPERHANGING
    • B44C3/00Processes, not specifically provided for elsewhere, for producing ornamental structures
    • B44C3/04Modelling plastic materials, e.g. clay
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C64/00Additive manufacturing, i.e. manufacturing of three-dimensional [3D] objects by additive deposition, additive agglomeration or additive layering, e.g. by 3D printing, stereolithography or selective laser sintering
    • B29C64/10Processes of additive manufacturing
    • B29C64/106Processes of additive manufacturing using only liquids or viscous materials, e.g. depositing a continuous bead of viscous material
    • B29C64/112Processes of additive manufacturing using only liquids or viscous materials, e.g. depositing a continuous bead of viscous material using individual droplets, e.g. from jetting heads
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B33ADDITIVE MANUFACTURING TECHNOLOGY
    • B33YADDITIVE MANUFACTURING, i.e. MANUFACTURING OF THREE-DIMENSIONAL [3-D] OBJECTS BY ADDITIVE DEPOSITION, ADDITIVE AGGLOMERATION OR ADDITIVE LAYERING, e.g. BY 3-D PRINTING, STEREOLITHOGRAPHY OR SELECTIVE LASER SINTERING
    • B33Y10/00Processes of additive manufacturing
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81CPROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
    • B81C99/00Subject matter not provided for in other groups of this subclass
    • B81C99/0075Manufacture of substrate-free structures
    • B81C99/0095Aspects relating to the manufacture of substrate-free structures, not covered by groups B81C99/008 - B81C99/009
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C41/00Shaping by coating a mould, core or other substrate, i.e. by depositing material and stripping-off the shaped article; Apparatus therefor
    • B29C41/34Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
    • B29C41/36Feeding the material on to the mould, core or other substrate
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81BMICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
    • B81B2201/00Specific applications of microelectromechanical systems
    • B81B2201/05Microfluidics
    • B81B2201/058Microfluidics not provided for in B81B2201/051 - B81B2201/054
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81CPROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
    • B81C2201/00Manufacture or treatment of microstructural devices or systems
    • B81C2201/01Manufacture or treatment of microstructural devices or systems in or on a substrate
    • B81C2201/0174Manufacture or treatment of microstructural devices or systems in or on a substrate for making multi-layered devices, film deposition or growing
    • B81C2201/0197Processes for making multi-layered devices not provided for in groups B81C2201/0176 - B81C2201/0192

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Dispersion Chemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)

Abstract

Rapid Prototyping ist eine Technologie, die es erlaubt, in sehr kurzer Zeit aus Rohsubstanzen Form und Funktionsmodelle von Produkten herzustellen. Diese Technologie zeichnet sich vor allem durch den Vorteil aus, auf komplizierte Herstellungsschritte des Formbaus verzichten zu können. So kann man CAD-gesteuert innerhalb kurzer Zeit aus einem polymerisierbaren Gemisch einen Festkörper herstellen. Die bisher bekannten Systeme haben unter anderem den Nachteil, dass keine Mikrostrukturen synthetisiert werden können. Die hier vorgestellte Technik erlaubt es, durch schichtweises Drucken und Verfestigen der aufgedruckten Substanzen, einen dreidimensionalen Aufbau durchzuführen, bei dem vor allem die Möglichkeit besteht, innere Strukturen, wie z. B. Mikrokanäle, ebenfalls zu erzeugen und evtl. mittels einer Opferkomponente auch in komplizierter Geometrie aufzubauen. Das Auftragen der strukturgenerierenden Polymeren erfolgt mittels geeigneter Druckverfahren, z. B. mit Hilfe von Nadeldruckern oder Tintenstrahldruckern. Wahlweise kann auch ein Powerjetverfahren angewandt werden. Ebenfalls vorstellbar ist ein Sinterverfahren, bei dem Partikel mit reaktiven Gruppen beschichtet sind. Schwierig zu druckende Strukturen können durch zusätzliche mechanische oder lichtinduzierte Bearbeitung während oder nach dem Herstellungsprozess erzeugt werden. Es kann so ein Prototyp der Dicke m*n durch n Durchgänge, bei denen jeweils eine Schicht der Dicke m aufgetragen und verfestigt wird, ...

Description

    Gegenstand der Erfindung
  • Der Gegenstand der Erfindung ist eine Verfahren und ein Gerät zur Herstellung von Form- und Funktionsmustern aus Kunststoff, beispielsweise für mikrofluidische Anwendungen. Der Aufbau der Muster erfolgt über die Deposition von kleinen Mengen einer verfestigbaren Substanz und anschließendes Verfestigen dieser Substanz. Eine zusätzliche Strukturierung des Produktes kann durch die Verwendung von Opferschichten oder durch Abtragung während des Druckprozesses erfolgen.
  • Stand der Technik
  • Bei den bislang bekannten Rapid Prototyping Anwendungen werden große Strukturen (typischerweise mit Abmessungen im Zentimeterbereich) durch das gezielte Polymerisieren von Monomeren in einer Großanlage hergestellt. Weitere Techniken sehen die mechanische Bearbeitung von dünnen Platten vor, um dann durch Verkleben dieser dünnen Schichten zu einem Prototyp zu erreichen. Die Auflösung dieser Methode ist durch die Dickenbeschränkung der einzelnen Platten gegeben.
  • Bei den bislang beschriebenen Verfahren kommt es vor allem darauf an, Formmuster zu erzeugen. Kleine und komplexe Strukturen und Funktionsmuster lassen sich mit den bislang üblichen Fertigungsverfahren nicht in einfacher Weise herstellen. Eine Übersicht zu den verschiedenen Fertigungsverfahren beim rapid prototyping bzw. Anwendungen der Verfahren sind zu finden in z. B. Webb, PA: A review of rapid prototyping (RP) techniques in the medical and biomedical sector, Journal of medical engineering & technology 2000, Vol. 24, Iss 4, pp 149-153 oder Calvert, P: Freeforming of polymers, Current opinion in solid state & materials science, 1998, Vol 3 Iss 6, pp 585-588.
  • Verfestigbare Substanzen im Sinne dieser Erfindung sind neben den herkömmlichen polymerisierbaren bzw. vernetzungsfähigen Substanzen und thermoplastischen Polymeren, die durch Abkühlen bzw. Vernetzen verfestigt werden können, auch alle Arten von beschichteten Partikeln, die für Verfestigungsreaktionen über interpartikuläre Vernetzung geeignet sind. Als Beispiel für solche Partikel sei mit einem benzophenongruppenhaltigen Polymeren beschichtete Mikroglaskugeln genannt.
  • Erfindungsgemäß werden verfestigbare Substanzen auf einen Träger in Form von Tropfen, Linien oder dünnen Schichten aufgebracht. Dabei ist nicht die Art der Aufbringung von Relevanz, sondern die Tatsache, daß ein Aufbau durch Verfestigen von Kunststofflagen stattfindet. Diese Schichten werden verfestigt, vorzugsweise durch Polymerisieren oder Vernetzung. Anschließend wird die nächste Schicht aufgebracht. Vorzugsweise sind diese Schichten sehr dünn (1 nm bis 100 µm) um so eine möglichst exakte Strukturierung des Produktes zu gewährleisten. Bei der Verwendung von Hochgeschwindigkeitsdrucksystemen, wie z. B. Continuous Jet Printern, ist es auch möglich im Produktionsstil mit dieser Technik zu arbeiten. Nach dem Aufbringen der Schicht wird das jeweilige Material verfestigt, z. B. durch thermische oder lichtinduzierte Polymerisation beziehungsweise durch Vernetzten oder durch Abkühlen eines thermoplastisch verformbaren Polymeren. Der Prozess wird solange wiederholt, bis die gewünschte Dicke des Objektes erreicht ist.
  • Werden Strukturen benötigt, die keine selbsttragende Aufbauweise ermöglichen, so wird eine zweite Substanz mit aufgebracht, die anschließend durch Auflösen oder chemische Degradation, wieder entfernt werden kann (Opferschicht). Eine solche Substanz kann z. B. ein thermisch instabiler Kunststoff, ein photochemisch degradierbares Polymer oder einfach nur eine wasserlösliche Substanz sein.
  • Eine bevorzugte Ausführungsform der Erfindung ist die Herstellung eines mikrofluidischen Systems aus einem inerten Polymer polymethylmethacrylat (PMMA) durch lichtinduzierte Polymerisation von aufgedruckten Methylmethacrylattröpfchen. Als Opferschicht für die Herstellung von Kanälen wird Polydimethylacrylamid eingesetzt. Nach Abschluss der Herstellung des Bauteils wird das Opferpolymer ausgewaschen. Bei der Polymerisation des Methylmethacrylats wird jedoch dabei an den Rändern der mikrofluidischen Kanäle eine monomolekulare Schicht des hydrophile Polydimethylacrylamids an die formgebende Komponente (PMMA) chemische gebunden. Da Diese Monolage chemisch mit dem strukturgebenden Polymeren verknüpft ist, kann sie nicht mit den restlichen Molekülen der Opferschicht ausgespült werden, so dass direkt Kanäle mit einer hydrophilen Oberfläche resultieren. Bei anderen Ausführungen ist es möglich, besonders hydrophobe Monomere zur Ausbildung der Opferkomponente zu verwenden. Da diese ebenso an den Kontaktstellen mit eingebaut werden können, wird so eine gezielte Hydrophobisierung der (inneren) Oberflächen erzeugt.
  • Bei Prozessen, die exakte Kanten oder geringe Rauhigkeiten voraussetzen, kann zudem während des Herstellungsprozesses eine Aufarbeitung durch Laserablation (oder eine äquivalente Technik) erfolgen. Die Printabfolge der Substanzen wird durch ein computergesteuertes System gewährleistet.
  • In einer weiteren bevorzugten Ausführung wird die Formgebung auf einem Halbprodukt, z. B. elektrische Kontakte und Elektroden durchgeführt, so dass mit dieser Methode auch z. B. Kapillarelektrophoreseeinheiten etc. hergestellt werden können.
  • Vorteile der Erfindung
  • Die Erfindung erlaubt es, in bisher nicht möglicher Art und Geschwindigkeit, Klein- und Kleinstteile aus Kunststoffen herzustellen. Insbesondere die Möglichkeiten zur äußeren und inneren Strukturierung, sowie die Option zur gezielten chemischen Maßschneiderung von Oberflächen erlauben es, mit Hilfe dieser Technik komplizierte Bauteile, z. B. für fluidische Systeme herzustellen und direkt zu testen.
  • Beispiele Einfacher Aufbau ohne Innenstruktur
  • Mittels eines Piezostackprinters (z. B. Typ GeSiM) wird ein Formteil von 10 × 10 × 2 mm × mm × mm aufgebaut, in dem im Abstand von 1 mm (Mitte zu Mitte) Vertiefungen von 1 mm generiert werden. Dazu wird ein polymerisierbares Gemisch aus Styrol und Benzophenon (1000 : 1 Mol/Mol) in Tröpfchen von 1 nl gedruckt. Da die Mikropipette aus Silizium ist, kann während des Druckvorganges die Polymerisation mittels UV-Licht (300 nm) induziert werden. Die Tropfen werden dabei so eng gedruckt, dass sie einander nicht berühren, sondern ca. 0,8 Tropfendurchmesser Abstand haben. Die fohlenden Tropfen zum Aufbau der Lage werden in einem zweiten Durchgang gedruckt um das Ineinanderfließen der flüssigen Monomere zu verhindern. Nach Aufbau einer Schicht von 1 mm wird an den Stellen, an denen die Vertiefungen auftreten kein Monomer mehr gedruckt. Nach Erreichen von 2 mm Schichtdicke ist der Vorgang beendet.
  • Aufbau mit Innenstruktur
  • Mittels eines Piezostackprinters (z. B. Typ GeSiM) wird ein Formteil von der Größe 10 × 10 × 3 mm × mm × mm realisiert, in dem in der Mitte ein Kanal mit den Dimensionen 10 × 3 × 1 mm × mm × mm eingebaut wird. Dazu wird ein polymerisierbares Gemisch aus Styrol und Benzophenon (1000 : 1 Mol/Mol) in Tröpfchen von 1 nl gedruckt. Da die Mikropipette aus Silizium ist, kann während des Druckvorganges die Polymerisation mittels UV-Licht (300 am) induziert werden. Nach Aufbau einer Schicht von 1 mm Dicke wird eine zweite Mikropipette an den Stellen, wo der Mikrokanal entstehen soll, ein zweites Gemisch, bestehend aus Dimethylacrylamid und Benzophenon (1000 : 1 Mol/Mol) in Tröpfchen von 1 nl gedruckt. Nach Erreichen der Schichtdicke von 0,2 mm wird nur noch mit dem Styrol/Benzophenon gedruckt, bis eine 1 mm dicke Schicht auf dem hydrophilen Polymer gedruckt ist. Nach dem Aushärten der Polymere, wird das Polydimethylacrylamid durch Auflösen in Wasser entfernt. Der Auflösevorgang wird durch 1 h Ultraschallbehandlung in Wasser, dem ein Tensid zugesetzt wurde, beschleunigt.

Claims (12)

1. Methode cum Herstellen von Form- und Funktionsbauteilen aus Kunststoff bestehend aus:
a) Aufbringen einer ersten Schicht bestehend aus einer oder mehreren verfestigbaren Substanzen auf einen Träger
b) Verfestigen des Gemisches
c) Aufbringen der nächsten Schicht des verfestigbaren Substanz
d) Wiederholen der Schritte (b) und (c) bis zur Fertigstellung des Aufbaus
2. Methode nach Anspruch 1 wobei mindestens zwei Polymere verwendet werden, von denen eines nach Fertigstellung des Aufbaus chemisch oder physikalisch wieder entfernt werden kann.
3. Methode nach Anspruch 1 und 2 bei denen die verfestigbaren Substanzen mit einem Drucker auf den Träger aufgebracht werden.
4. Methode nach Claim 3 bei denen die einzelnen Tropfen ein Volumen von < 1 µl haben.
5. Methode nach Claim 3 bei denen die einzelnen Tropfen ein Volumen von < 1 nl haben.
6. Methode nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei denen die verfestigbaren Substanzen mit einem Nadeldrucker aufgebracht werden.
7. Methode nach Ansprüchen 1 bis 5 bei denen die verfestigbaren Substanzen mit einem kontaktfreien Verfahren aufgebracht werden.
8. Methode nach Anspruch 7 bei der die verfestigbaren Substanzen mit einem kontaktfreien Tintenstrahldrucker aufgebracht wird.
9. Methode nach den Ansprüchen 1 bis 8 bei der die Verfestigung mit Hilfe von Licht hervorgerufen wird.
10. Methode nach den Ansprüchen 1 bis 8 bei der die Verfestigung thermisch induziert wird.
11. Methode nach den Ansprüchen 1 bis 10, bei der durch die Verwendung einer weiteren Substanzkomponente während des Druckprozesses und der Bindung dieser Substanz an eine Oberfläche des Bauteils ein gezieltes Maßschneidern der Oberflächeneigenschaften des Bauteils möglich ist.
12. Gerät zur Durchführung einer Methode laut Ansprüchen 1 bis 11 bestehend aus
a) Steuereinheit
b) Drucksystem
c) Träger
d) Einrichtung zum Verfestigen der gedruckten Substanzen.
DE10207393A 2002-02-21 2002-02-21 Rapid Prototyping durch Drucken von organischen Substanzen und deren Verfestigung Withdrawn DE10207393A1 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10207393A DE10207393A1 (de) 2002-02-21 2002-02-21 Rapid Prototyping durch Drucken von organischen Substanzen und deren Verfestigung

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10207393A DE10207393A1 (de) 2002-02-21 2002-02-21 Rapid Prototyping durch Drucken von organischen Substanzen und deren Verfestigung

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE10207393A1 true DE10207393A1 (de) 2003-09-04

Family

ID=27674824

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE10207393A Withdrawn DE10207393A1 (de) 2002-02-21 2002-02-21 Rapid Prototyping durch Drucken von organischen Substanzen und deren Verfestigung

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE10207393A1 (de)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102004005337A1 (de) * 2004-02-04 2005-08-25 Studiengesellschaft Kohle Mbh Mikrofluidische Chips mit immanenten hydrophilen Oberflächen
DE102005026528A1 (de) * 2005-06-08 2006-12-21 Infineon Technologies Ag Halbleiterbauteil mit Medienkanal und Verfahren zur Herstellung desselben
DE102004013161B4 (de) * 2004-03-17 2008-04-10 microTec Gesellschaft für Mikrotechnologie mbH Mikrofluidik-Chip
EP2133306A1 (de) * 2008-06-13 2009-12-16 Stichting Dutch Polymer Institute Polymer-Mikroaktoren die auf eine oder mehrere Anregungen reagieren
DE102014114975A1 (de) 2013-10-30 2015-04-30 Bpe E.K. Verfahren zum Herstellen eines mikrostrukturierten Werkstücks

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102004005337A1 (de) * 2004-02-04 2005-08-25 Studiengesellschaft Kohle Mbh Mikrofluidische Chips mit immanenten hydrophilen Oberflächen
DE102004013161B4 (de) * 2004-03-17 2008-04-10 microTec Gesellschaft für Mikrotechnologie mbH Mikrofluidik-Chip
DE102005026528A1 (de) * 2005-06-08 2006-12-21 Infineon Technologies Ag Halbleiterbauteil mit Medienkanal und Verfahren zur Herstellung desselben
US7516543B2 (en) 2005-06-08 2009-04-14 Infineon Technologies Ag Method for manufacturing semiconductor component with a media channel
DE102005026528B4 (de) * 2005-06-08 2019-08-22 Infineon Technologies Ag Halbleiterbauteil mit mindestens einem Medienkanal und Verfahren zur Herstellung von Halbleiterbauteilen jeweils mit mindestens einem Medienkanal
EP2133306A1 (de) * 2008-06-13 2009-12-16 Stichting Dutch Polymer Institute Polymer-Mikroaktoren die auf eine oder mehrere Anregungen reagieren
WO2009150610A1 (en) * 2008-06-13 2009-12-17 Stichting Dutch Polymer Institute Polymer micro-actuators sensitive to one or more inputs
DE102014114975A1 (de) 2013-10-30 2015-04-30 Bpe E.K. Verfahren zum Herstellen eines mikrostrukturierten Werkstücks
DE102014114975B4 (de) 2013-10-30 2018-07-05 Bpe E.K. Verfahren zum Herstellen eines mikrostrukturierten Werkstücks

Similar Documents

Publication Publication Date Title
AU2020202234A1 (en) Polymer membranes having open through holes, and method of fabrication thereof
DE60310443T2 (de) Druckverfahren mit gummistempel
EP2888629B1 (de) Verfahren zum mikrokontaktprägen
WO2007096082A1 (de) Strukturierungsverfahren und bauteil mit einer strukturierten oberfläche
DE10392199T5 (de) Folie mit Mikroarchitektur
DE3108206A1 (de) Tintenstrahlkopf und verfahren zur herstellung desselben
EP1646507A1 (de) Verfahren zur erzeugung eines flächenmusters hoher auflösung
EP1523413B1 (de) Verfahren und einrichtung zur herstellung eines stempels
DE10207393A1 (de) Rapid Prototyping durch Drucken von organischen Substanzen und deren Verfestigung
DE102007050976A1 (de) Verfahren zur Umformung einer Folie
DE102008048064A1 (de) Mikrofluidisches Ventil, mikrofluidische Pumpe, mikrofluidisches System und ein Herstellungsverfahren
DE102013203829B4 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung beidseitig mikrostrukturierter Verbundfolien
EP3159740B1 (de) Verfahren zu generativen herstellung von reliefdruckformen
DE102014114975B4 (de) Verfahren zum Herstellen eines mikrostrukturierten Werkstücks
EP3802059B1 (de) Verfahren zur herstellung eines formkörpers
WO2022175361A1 (de) Mikrofluidisches system aus einer gefalteten folie und herstellungsverfahren
DE102017130947B4 (de) Verfahren zur Herstellung eines Mikrosystembauteils
EP1764648B1 (de) Stempel mit einer Nanostempelstruktur sowie Vorrichtung und Verfahren zu dessen Herstellung
EP2769767A2 (de) Nicht-planarer Formkörper, Verfahren zu seiner Herstellung, seine Verwendung, Verfahren zur Herstellung eines Mikrogerüsts und dessen Verwendung
CH712596A2 (de) Schichtweiser Aufbau von Formkörpern mit generativem Fertigungsverfahren.
WO2006005487A1 (de) Mikrostrukturierte vorrichtung und verfahren zu ihrer herstellung
EP2200930B1 (de) Verfahren zum aufdrucken einer nano- und/oder mikrostruktur
JP7743000B2 (ja) 微細構造体デバイス製造システム及び微細構造体デバイス製造方法
EP1515832B1 (de) Verfahren zum einbringen einer innenhöhlung in ein substrat
WO2022152654A1 (de) Verfahren zur herstellung von material- und/oder funktionalstrukturierten bauteilen

Legal Events

Date Code Title Description
8139 Disposal/non-payment of the annual fee