DE102022206112A1

DE102022206112A1 - Abbildende EUV-Optik zur Abbildung eines Objektfeldes in ein Bildfeld

Info

Publication number: DE102022206112A1
Application number: DE102022206112.8A
Authority: DE
Inventors: Michael Brehm; Susanne Beder; Christoph Menke; Marco Pretorius
Original assignee: Carl Zeiss SMT GmbH
Current assignee: Carl Zeiss SMT GmbH
Priority date: 2022-06-20
Filing date: 2022-06-20
Publication date: 2023-12-21
Also published as: US20250130503A1; WO2023247170A1; TW202414108A; CN119365823A; JP2025519867A; KR20250025723A; EP4540660A1

Abstract

Eine abbildende EUV-Optik (24) dient zur Abbildung eines Objektfeldes (5) in ein Bildfeld (11). Die EUV-Optik (24) hat eine Mehrzahl von Spiegeln (M1 bis M4) zur Führung von EUV-Abbildungslicht (16) mit einer Wellenlänge, die kleiner ist als 30 nm, längs eines Abbildungsstrahlengangs vom Objektfeld (5) hin zum Bildfeld (11). Die EUV-Optik (24) hat vier NI-Spiegel (M1 bis M4). Die Gesamttransmission der NI-Spiegel (M1 bis M4) ist größer als 10 %. Die Spiegel (M1 bis M4) führen bei Verwendung von linear polarisiertem EUV-Abbildungslicht (16) längs des Abbildungsstrahlengangs zu einer Gesamt-Polarisationsdrehung von höchstens 10°. Es resultiert eine abbildende EUV-Optik, bei der unter Einhaltung anspruchsvoller Anforderungen an die Abbildungsqualität ein EUV-Durchsatz erhöht ist.

Description

Die Erfindung betrifft eine abbildende EUV-Optik zur Abbildung eines Objektfeldes in ein Bildfeld. Ferner betrifft die Erfindung ein optisches System mit einer derartigen abbildenden Optik, eine Projektionsbelichtungsanlage mit einem derartigen optischen System, ein Verfahren zur Herstellung eines mikro- beziehungsweise nanostrukturierten Bauteils mit einer derartigen Projektionsbelichtungsanlage sowie ein mit diesem Verfahren hergestelltes mikro- beziehungsweise nanostrukturiertes Bauelement.
Abbildende Optiken der eingangs genannten Art sind bekannt aus der DE 10 2018 214 437 A1 , der US 8,018,650 B2 , der WO 2018/043 433 A1 , der US 6,353,470 B1 und der US 5,291,340 .
Es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine abbildende EUV-Optik der eingangs genannten Art derart weiterzubilden, dass unter Einhaltung anspruchsvoller Anforderungen an die Abbildungsqualität ein EUV-Durchsatz erhöht ist.
Diese Aufgabe ist erfindungsgemäß gelöst durch eine abbildende EUV-Optik mit dem in Anspruch 1 angegebenen Merkmalen.
Erfindungsgemäß wurde erkannt, dass eine geringe Polarisationsdrehung der abbildenden EUV-Optik von höchstens 10° eine Abbildung auch von linear polarisiertem Abbildungslicht ermöglicht, ohne dass es bei der zur Abbildung erforderlichen Interferenz verschiedener Beugungsordnungen, die im Abbildungsstrahlengang geführt werden, zu unerwünschten Kontrastverlusten kommt. Die Gesamt-Polarisationsdrehung kann kleiner sein als 10°, kann kleiner sein als 8°, kann kleiner sein als 7°, kann kleiner sein als 6°, kann kleiner sein als 5° und kann auch kleiner sein als 4,5°. Auch eine noch kleinere Gesamt-Polarisationsdrehung ist möglich. Regelmäßig ist die Gesamt-Polarisationsdrehung größer als 0,1°. Die Gesamt-Polarisationsdrehung beschreibt die kumulative polarisationsdrehende Wirkung aller Spiegel der abbildenden EUV-Optik.
Die EUV-Optik kann 3 NI-Spiegel oder auch 4 NI-Spiegel aufweisen. Auch eine insbesondere kleinere Anzahl von NI-Spiegeln ist grundsätzlich möglich.
Die Gesamttransmission der abbildenden EUV-Optik größer als 10 % stellt im Vergleich zum Stand der Technik, der Gesamttransmissionen offenbart, die regelmäßig deutlich geringer sind als 10 %, eine ganz erhebliche Verbesserung dar, da bei absolut kleinen Gesamttransmissionen jedes Prozent, das bei der Gesamttransmission gewonnen wird, einen erheblichen Zuwachs an EUV-Durchsatz durch die abbildende EUV-Optik bedeutet. Dies spielt insbesondere beim Einsatz der abbildenden EUV-Optik bei der Projektionsbelichtung zur Chipherstellung eine entscheidende Rolle.
Die Gesamttransmission der abbildenden EUV-Optik kann größer sein als 11 %, kann größer sein als 12 %, kann größer sein als 13 %, kann größer sein als 14 %, kann größer sein als 15 %, kann größer sein als 16 %, kann größer sein als 17 %, kann größer sein als 18 % und kann auch größer sein als 19 %. Die Gesamttransmission ist regelmäßig kleiner als 30 %.
Eine bildseitige numerische Apertur der abbildenden EUV-Optik kann kleiner sein als 0,5, was die Abbildungsfehlerkorrektur sowie zur Reflektivitätssteigerung nutzbare kleine Einfallswinkel beziehungsweise kleine Einfallswinkel-Bandbreiten auf den NI-Spiegeln begünstigt. Mindestens einer der Spiegel der abbildenden EUV-Optik kann als Freiformfläche gestaltet sein, die nicht mithilfe einer Rotations-Symmetrieachse beschrieben werden kann. Auch mehrere oder alle der Spiegel können als solche Freiformflächen gestaltet sein.
Die abbildende EUV-Optik kann eine Spiegelabfolge längs des Abbildungsstrahlengangs aufweisen, bei der zunächst ein sammelnder Spiegel, nachfolgend ein zerstreuender Spiegel und wiederum nachfolgend wieder ein sammelnder Spiegel, insbesondere in der Ebene längs einer langen Feldrichtung, soweit ein Objektfeld mit einem Aspektverhältnis größer als 1 eingesetzt ist, eingesetzt ist.
Bei der abbildenden EUV-Optik kann eine Objektebene parallel zu einer Bildebene verlaufen. Alternativ ist es möglich, die Objektebene zur Bildebene zu verkippen, was insbesondere bauraumoptimierende Gründe haben kann.
Mindestens ein Spiegel der abbildenden EUV-Optik kann eine sattelförmige Grundform aufweisen. Auch 2, 3 oder noch mehr der Spiegel der abbildenden EUV-Optik können eine sattelförmige Grundform aufweisen.
Ein Hauptstrahl-Winkel zwischen Hauptstrahlen eines Abbildungsstrahlengangs der abbildenden EUV-Optik mit einer Normalen auf einer Objektebene, in der das Objektfeld liegt, kann im Bereich zwischen 4,5 ° und 7 °, beispielsweise im Bereich zwischen 5 ° und 6 °liegen.
Eine abbildende EUV-Optik nach Anspruch 2 hat aufgrund der vergleichsweise geringen NI-Spiegelanzahl eine vorteilhaft hohe Gesamttransmission, wobei, wie sich herausgestellt hat, noch immer auch anspruchsvollen Anforderungen an die zu erreichende Abbildungsqualität Rechnung getragen werden kann.
Es wurde zudem erkannt, dass es möglich ist, auch hohen Anforderungen an die Abbildungsqualität der EUV-Optik Rechnung zu tragen, wenn nach Anspruch 3 ausschließlich NI-Spiegel verwendet werden, also keine zusätzlichen GI-Spiegel, die grundsätzlich eine hohe EUV-Reflektivität haben können, zur weiteren Abbildungsfehlerkorrektur eingesetzt werden.
Eine Ausgestaltung der abbildenden EUV-Optik nach Anspruch 4 ohne Zwischenbild zwischen dem Objektfeld und dem Bildfeld ermöglicht es, insbesondere kleine Einfallswinkel-Bandbreiten auf den beteiligten NI-Spiegeln bereitzustellen. Dies erleichtert die Vorgabe hochreflektierender Beschichtungen insbesondere auf den NI-Spiegeln der abbildenden EUV-Optik.
Eine geringe Polarisationsdrehung der abbildenden EUV-Optik nach Anspruch 4 ermöglicht die Abbildung von linear polarisiertem Abbildungslicht.
Eine Sattelflächengestaltung mindestens eines der Spiegel nach Anspruch 5, also unterschiedliche Krümmungs-Vorzeichen der jeweiligen Spiegel-Reflexionsfläche in zueinander senkrechten Reflexionsflächen-Schnittebenen, hat sich für das optische Design der abbildenden EUV-Optik als besonders geeignet herausgestellt.
Ein Aspektverhältnis nach Anspruch 6 ermöglicht eine Führung des Abbildungsstrahlengangs mit geringen Einfallswinkel-Bandbreiten auch dann, wenn das abzubildende Feld ein großes Aspektverhältnis aufweist, das beispielsweise größer sein kann als 3, größer sein kann als 5, größer sein kann als 8 und auch größer sein kann als 10. Das Aspektverhältnis der Spiegel-Reflexionsfläche kann größer sein als 1,7, kann größer sein als 2 und kann auch größer sein als 2,5. Regelmäßig ist dieses Aspektverhältnis der Spiegel-Reflexionsfläche kleiner als 5. Ein entsprechendes Aspektverhältnis kann insbesondere für einen der NI-Spiegel der abbildenden EUV-Optik gelten.
Ein ringelfeldförmiges Bildfeld nach Anspruch 7 lässt sich gut korrigieren. Alternativ kann das Bildfeld rechteckig oder auch nicht ringfeldförmig bogenförmig ausgeführt sein.
Je nach Ausführung der abbildenden EUV-Optik kann ein Kreuzungsbereich nach Anspruch 8 zur Realisierung kleiner Einfallswinkel auf den NI-Spiegeln und/oder zur Realisierung kleiner Einfallswinkel-Bandbreiten führen, was jeweils zum Erreichen hoher Reflektivitäten günstig ist.
Ein Design nach Anspruch 9 hat sich als besonders geeignet herausgestellt.
Ein Kreuzungsbereich kann auch zwischen einem Abbildungsstrahlengang-Abschnitt zwischen einem drittletzten und einem vorletzten Spiegel im Abbildungsstrahlengang und einem Abbildungsstrahlengang-Abschnitt zwischen dem letzten Spiegel und dem Bildfeld vorliegen.
Eine Eintrittspupille im Abbildungsstrahlengang vor dem Objektfeld nach Anspruch 10, also außerhalb des Abbildungsstrahlengangs zwischen dem Objektfeld und dem Bildfeld, ermöglicht es, eine entsprechende beleuchtungsoptische Komponente in den Bereich dieser Eintrittspupille anzuordnen, sodass keine Abbildung einer Pupille nahanzuordnenden beleuchtungsoptischen Komponente in eine ansonsten nicht zugängliche Eintrittspupille der abbildenden EUV-Optik erforderlich ist. Dies spart lichtführende Komponenten und erhöht somit ebenfalls den EUV-Durchsatz.
Mindestens ein Spiegel mit einer Durchtrittsöffnung nach Anspruch 11 ermöglicht die Gestaltung der abbildenden EUV-Optik als obskuriertes System. Die abbildende EUV-Optik kann einfach obskuriert ausgeführt sein, wobei genau einer der Spiegel eine Durchtrittsöffnung zum Durchtritt des Abbildungsstrahlengangs aufweist. Alternativ können auch zwei Spiegel mit derartigen Durchtrittsöffnungen und es kann insbesondere dann ein doppelt obskuriertes System vorliegen. Derartige Spiegel-Durchtrittsöffnungen ermöglichen Designs mit kleinen Einfallswinkeln und/oder kleinen Einfallswinkel-Bandbreiten auf den jeweiligen NI-Spiegeln. Alternativ kann die abbildende EUV-Optik auch nicht obskuriert ausgeführt sein.
Die Vorteile eines optischen Systems nach Anspruch 12, einer Projektionsbelichtungsanlage nach Anspruch 13, eines Herstellungsverfahrens nach Anspruch 14 und eines mikro- bzw. nanostrukturierten Bauteils nach Anspruch 15 entsprechen denen, die vorstehend unter Bezugnahme auf die erfindungsgemäße Projektionsoptik bereits erläutert wurden. Die EUV-Lichtquelle der Projektionsbelichtungsanlage kann so ausgeführt sein, dass eine Nutzwellenlänge resultiert, die höchstens 30 nm, höchstens 25 nm, höchstens 20 nm oder höchstens 13,5 nm beträgt, die kleiner ist als 13,5 nm, die kleiner ist als 10 nm, die kleiner ist als 8 nm, die kleiner ist als 7 nm und die beispielsweise 6,7 nm oder 6,9 nm beträgt. Auch eine Nutzwellenlänge kleiner als 6,7 nm und insbesondere im Bereich von 6 nm ist möglich.
Hergestellt werden kann mit der Projektionsbelichtungsanlage insbesondere ein Halbleiter-Bauteil, beispielsweise ein Speicherchip.
Nachfolgend wird anhand der Zeichnung mindestens ein Ausführungsbeispiel der Erfindung beschrieben. In der Zeichnung zeigen:

1 schematisch im Meridionalschnitt eine Projektionsbelichtungsanlage für die EUV-Projektionslithografie;
2 in einem Meridionalschnitt eine Ausführung einer abbildenden EUV-Optik, die als Projektionsobjektiv in der Projektionsbelichtungsanlage nach 1 einsetzbar ist, wobei ein Abbildungsstrahlengang für Hauptstrahlen und für einen oberen und einen unteren Komastrahl dreier ausgewählter Feldpunkte dargestellt ist;
3 bis 9 in jeweils zur 2 ähnlichen Darstellungen weitere Ausführungen einer abbildenden EUV-Optik, wiederum jeweils einsetzbar als Projektionsobjektiv in der Projektionsbelichtungsanlage nach 1; und
10 eine Ansicht auf die abbildende EUV-Optik nach 9, gesehen aus Blickrichtung X in 9.

Im Folgenden werden zunächst unter Bezugnahme auf die 1 exemplarisch die wesentlichen Bestandteile einer Projektionsbelichtungsanlage 1 für die Mikrolithographie beschrieben. Die Beschreibung des grundsätzlichen Aufbaus der Projektionsbelichtungsanlage 1 sowie deren Bestandteile sei hierbei nicht einschränkend verstanden.
Eine Ausführung eines Beleuchtungssystems 2 der Projektionsbelichtungsanlage 1 hat neben einer Licht- bzw. Strahlungsquelle 3 eine Beleuchtungsoptik 4 zur Beleuchtung eines Objektfeldes 5 in einer Objektebene 6. Bei einer alternativen Ausführung kann die Lichtquelle 3 auch als ein zum sonstigen Beleuchtungssystem separates Modul bereitgestellt sein. In diesem Fall umfasst das Beleuchtungssystem die Lichtquelle 3 nicht.
Belichtet wird ein im Objektfeld 5 angeordnetes Retikel 7. Das Retikel 7 ist von einem Retikelhalter 8 gehalten. Der Retikelhalter 8 ist über einen Retikelverlagerungsantrieb 9 insbesondere in einer Scanrichtung verlagerbar.
In der 1 ist zur Erläuterung ein kartesisches xyz-Koordinatensystem eingezeichnet. Die x-Richtung verläuft senkrecht zur Zeichenebene hinein. Die y-Richtung verläuft horizontal und die z-Richtung verläuft vertikal. Die Scanrichtung verläuft in der 1 längs der y-Richtung. Die z-Richtung verläuft senkrecht zur Objektebene 6.
Die Projektionsbelichtungsanlage 1 umfasst eine Projektionsoptik 10. Die Projektionsoptik 10 dient als abbildende Optik zur Abbildung des Objektfeldes 5 in ein Bildfeld 11 in einer Bildebene 12. Die Bildebene 12 verläuft parallel zur Objektebene 6. Alternativ ist auch ein von 0 ° verschiedener Winkel zwischen der Objektebene 6 und der Bildebene 12 möglich.
Abgebildet wird eine Struktur auf dem Retikel 7 auf eine lichtempfindliche Schicht eines im Bereich des Bildfeldes 11 in der Bildebene 12 angeordneten Wafers 13. Der Wafer 13 wird von einem Waferhalter 14 gehalten. Der Waferhalter 14 ist über einen Waferverlagerungsantrieb 15 insbesondere längs der y-Richtung verlagerbar. Die Verlagerung einerseits des Retikels 7 über den Retikelverlagerungsantrieb 9 und andererseits des Wafers 13 über den Waferverlagerungsantrieb 15 kann synchronisiert zueinander erfolgen.
Bei der Strahlungsquelle 3 handelt es sich um eine EUV- (extremes ultraviolett) Strahlungsquelle. Die Strahlungsquelle 3 emittiert insbesondere EUV-Strahlung 16, welche im Folgenden auch als Nutzstrahlung, Beleuchtungsstrahlung, Beleuchtungslicht oder Abbildungslicht bezeichnet wird. Die Nutzstrahlung hat insbesondere eine Wellenlänge im Bereich zwischen 5 nm und 30 nm. Bei der Strahlungsquelle 3 kann es sich um eine Plasmaquelle handeln, zum Beispiel um eine LPP-Quelle (Laser Produced Plasma, mithilfe eines Lasers erzeugtes Plasma) oder um eine DPP-Quelle (Gas Discharged Produced Plasma, mittels Gasentladung erzeugtes Plasma). Es kann sich auch um eine synchrotronbasierte Strahlungsquelle handeln. Bei der Strahlungsquelle 3 kann es sich um einen Freie-Elektronen-Laser (Free-Electron-Laser, FEL) handeln.
Die Beleuchtungsstrahlung 16, die von der Strahlungsquelle 3 ausgeht, wird von einem Kollektor 17 gebündelt. Bei dem Kollektor 17 kann es sich um einen Kollektor mit einer oder mit mehreren ellipsoidalen und/oder hyperboloiden Reflexionsflächen handeln. Die mindestens eine Reflexionsfläche des Kollektors 17 kann im streifenden Einfall (Grazing Incidence, GI), also mit Einfallswinkeln größer als 45°, oder im normalen Einfall (Normal Incidence, NI), also mit Einfallwinkeln kleiner als 45°, mit der Beleuchtungsstrahlung 16 beaufschlagt werden. Der Kollektor 17 kann einerseits zur Optimierung seiner Reflektivität für die Nutzstrahlung und andererseits zur Unterdrückung von Falschlicht strukturiert und/oder beschichtet sein.
Nach dem Kollektor 17 propagiert die Beleuchtungsstrahlung 16 durch einen Zwischenfokus in einer Zwischenfokusebene 18. Die Zwischenfokusebene 18 kann eine Trennung zwischen einem Strahlungsquellenmodul, aufweisend die Strahlungsquelle 3 und den Kollektor 17, und der Beleuchtungsoptik 4 darstellen.
Die Beleuchtungsoptik 4 umfasst einen Umlenkspiegel 19 und diesem im Strahlengang nachgeordnet einen ersten Facettenspiegel 20. Bei dem Umlenkspiegel 19 kann es sich um einen planen Umlenkspiegel oder alternativ um einen Spiegel mit einer über die reine Umlenkungswirkung hinaus bündelbeeinflussenden Wirkung handeln. Alternativ oder zusätzlich kann der Umlenkspiegel 19 als Spektralfilter ausgeführt sein, der eine Nutzlichtwellenlänge der Beleuchtungsstrahlung 16 von Falschlicht einer hiervon abweichenden Wellenlänge trennt. Sofern der erste Facettenspiegel 20 in einer Ebene der Beleuchtungsoptik 4 angeordnet ist, die zur Objektebene 6 als Feldebene optisch konjugiert ist, wird dieser auch als Feldfacettenspiegel bezeichnet. Der erste Facettenspiegel 20 umfasst eine Vielzahl von einzelnen ersten Facetten 21, welche im Folgenden auch als Feldfacetten bezeichnet werden. Von diesen Facetten 21 sind in der 1 nur beispielhaft einige dargestellt.
Die ersten Facetten 21 können als makroskopische Facetten ausgeführt sein, insbesondere als rechteckige Facetten oder als Facetten mit bogenförmiger oder teilkreisförmiger Randkontur. Die ersten Facetten 21 können als plane Facetten oder alternativ als konvex oder konkav gekrümmte Facetten ausgeführt sein.
Wie beispielsweise aus der DE 10 2008 009 600 A1 bekannt ist, können die ersten Facetten 21 selbst jeweils auch aus einer Vielzahl von Einzelspiegeln, insbesondere einer Vielzahl von Mikrospiegeln, zusammengesetzt sein. Der erste Facettenspiegel 20 kann insbesondere als mikroelektromechanisches System (MEMS-System) ausgebildet sein. Für Details wird auf die DE 10 2008 009 600 A1 verwiesen.
Zwischen dem Kollektor 17 und dem Umlenkspiegel 19 verläuft die Beleuchtungsstrahlung 16 horizontal, also längs der y-Richtung.
Im Strahlengang der Beleuchtungsoptik 4 ist dem ersten Facettenspiegel 20 nachgeordnet ein zweiter Facettenspiegel 22. Sofern der zweite Facettenspiegel 22 in einer Pupillenebene der Beleuchtungsoptik 4 angeordnet ist, wird dieser auch als Pupillenfacettenspiegel bezeichnet. Der zweite Facettenspiegel 22 kann auch beabstandet zu einer Pupillenebene der Beleuchtungsoptik 4 angeordnet sein. In diesem Fall wird die Kombination aus dem ersten Facettenspiegel 20 und dem zweiten Facettenspiegel 22 auch als spekularer Reflektor bezeichnet. Spekulare Reflektoren sind bekannt aus der US 2006/0132747 A1 , der EP 1 614 008 B1 und der US 6,573,978 .
Der zweite Facettenspiegel 22 umfasst eine Mehrzahl von zweiten Facetten 23. Die zweiten Facetten 23 werden im Falle eines Pupillenfacettenspiegels auch als Pupillenfacetten bezeichnet.
Bei den zweiten Facetten 23 kann es sich ebenfalls um makroskopische Facetten, die beispielsweise rund, rechteckig oder auch hexagonal berandet sein können, oder alternativ um aus Mikrospiegeln zusammengesetzte Facetten handeln. Diesbezüglich wird ebenfalls auf die DE 10 2008 009 600 A1 verwiesen.
Die zweiten Facetten 23 können plane oder alternativ konvex oder konkav gekrümmte Reflexionsflächen aufweisen.
Die Beleuchtungsoptik 4 bildet somit ein doppelt facettiertes System. Dieses grundlegende Prinzip wird auch als Wabenkondensor (Fly's Eye Integrator) bezeichnet.
Es kann vorteilhaft sein, den zweiten Facettenspiegel 22 nicht exakt in einer Ebene, welche zu einer Pupillenebene der Projektionsoptik 10 optisch konjugiert ist, anzuordnen. Insbesondere kann der Pupillenfacettenspiegel 22 gegenüber einer Pupillenebene der Projektionsoptik 10 verkippt angeordnet sein, wie es zum Beispiel in der DE 10 2017 220 586 A1 beschrieben ist.
Mit Hilfe des zweiten Facettenspiegels 22 werden die einzelnen ersten Facetten 21 in das Objektfeld 5 abgebildet. Der zweite Facettenspiegel 22 ist der letzte bündelformende oder auch tatsächlich der letzte Spiegel für die Beleuchtungsstrahlung 16 im Strahlengang vor dem Objektfeld 5.
Bei einer weiteren, nicht dargestellten Ausführung der Beleuchtungsoptik 4 kann im Strahlengang zwischen dem zweiten Facettenspiegel 22 und dem Objektfeld 5 eine Übertragungsoptik angeordnet sein, die insbesondere zur Abbildung der ersten Facetten 21 in das Objektfeld 5 beiträgt. Die Übertragungsoptik kann genau einen Spiegel, alternativ aber auch zwei oder mehr Spiegel aufweisen, welche hintereinander im Strahlengang der Beleuchtungsoptik 4 angeordnet sind. Die Übertragungsoptik kann insbesondere einen oder zwei Spiegel für senkrechten Einfall (NI-Spiegel, Normal Incidence Spiegel) und/oder einen oder zwei Spiegel für streifenden Einfall (Gl-Spiegel, Gracing Incidence Spiegel) umfassen.
Die Beleuchtungsoptik 4 hat bei der Ausführung, die in der 1 gezeigt ist, nach dem Kollektor 17 genau drei Spiegel, nämlich den Umlenkspiegel 19, den Feldfacettenspiegel 20 und den Pupillenfacettenspiegel 22.
Bei einer weiteren Ausführung der Beleuchtungsoptik 4 kann der Umlenkspiegel 19 auch entfallen, so dass die Beleuchtungsoptik 4 nach dem Kollektor 17 dann genau zwei Spiegel aufweisen kann, nämlich den ersten Facettenspiegel 20 und den zweiten Facettenspiegel 22.
Die Abbildung der ersten Facetten 21 mittels der zweiten Facetten 23 beziehungsweise mit den zweiten Facetten 23 und einer Übertragungsoptik in die Objektebene 6 ist regelmäßig nur eine näherungsweise Abbildung.
Die Projektionsoptik 10 umfasst eine Mehrzahl von Spiegeln Mi, welche gemäß ihrer Anordnung im Strahlengang der Projektionsbelichtungsanlage 1 durchnummeriert sind.
Bei dem in der 1 dargestellten Beispiel umfasst die Projektionsoptik 10 sechs Spiegel M1 bis M6. Alternativen mit vier, acht, zehn, zwölf oder einer anderen Anzahl an Spiegeln Mi sind ebenso möglich. Bei der Projektionsoptik 10 handelt es sich um eine doppelt obskurierte Optik. Der vorletzte Spiegel M5 und der letzte Spiegel M6 haben jeweils eine Durchtrittsöffnung für die Beleuchtungsstrahlung 16.
Durch die Durchtrittsöffnung des Spiegels M5 tritt Abbildungslicht 16, das vom letzten Spiegel M6 hin zum Bildfeld 11 geführt wird. Durch die Durchtrittsöffnung des Spiegels M6 tritt Abbildungslicht 16, das vom drittletzten Spiegel M4 hin zum vorletzten Spiegel M5 reflektiert wird. Die Spiegel M5 und M6 werden um ihre Durchtrittsöffnungen herum reflektiv zur Führung des Abbildungslichts 16 genutzt.
Die Projektionsoptik 10 hat eine bildseitige numerische Apertur, die größer ist als 0,25 und die auch größer sein kann als 0,3 und die beispielsweise 0,33 betragen kann.
Die bildseitige numerische Apertur ist regelmäßig kleiner als 0,9, kleiner als 0,75, kleiner als 0,6 und kann kleiner sein als 0,5. Grundsätzlich kann die bildseitige numerische Apertur auch größer sein.
Reflexionsflächen der Spiegel Mi können als Freiformflächen ohne Rotationssymmetrieachse ausgeführt sein. Alternativ können die Reflexionsflächen der Spiegel Mi als asphärische Flächen mit genau einer Rotations-symmetrieachse der Reflexionsflächenform gestaltet sein. Die Spiegel Mi können, genauso wie die Spiegel der Beleuchtungsoptik 4, hoch reflektierende Beschichtungen für die Beleuchtungsstrahlung 16 aufweisen. Diese Beschichtungen können als Multilayer-Beschichtungen, insbesondere mit alternierenden Lagen aus Molybdän und Silizium, gestaltet sein.
Die Projektionsoptik 10 hat einen Objekt-Bild-Versatz in der y-Richtung zwischen einer y-Koordinate eines Zentrums des Objektfeldes 5 und einer y-Koordinate des Zentrums des Bildfeldes 11. Dieser Objekt-Bild-Versatz in der y-Richtung kann in etwa so groß sein wie ein z-Abstand zwischen der Objektebene 6 und der Bildebene 12.
Die Projektionsoptik 10 kann insbesondere anamorphotisch ausgebildet sein. Sie weist insbesondere unterschiedliche Abbildungsmaßstäbe β_x, β_y in x- und y-Richtung auf. Die beiden Abbildungsmaßstäbe β_x, β_y der Projektionsoptik 10 liegen bevorzugt bei (β_x, β_y) = (+/- 0,25, /+- 0,125). Ein positiver Abbildungsmaßstab β bedeutet eine Abbildung ohne Bildumkehr. Ein negatives Vorzeichen für den Abbildungsmaßstab β bedeutet eine Abbildung mit Bildumkehr.
Die Projektionsoptik 10 hat zum Beispiel in x-Richtung, das heißt in Richtung senkrecht zur Scanrichtung, eine Verkleinerung im Verhältnis 4:1.
Bei anamorphotischer Ausführung hat die Projektionsoptik 10 in y-Richtung, das heißt in Scanrichtung, eine Verkleinerung von 8:1.
Andere Abbildungsmaßstäbe sind ebenso möglich. Auch vorzeichengleiche und absolut gleiche Abbildungsmaßstäbe in x- und y-Richtung, zum Beispiel mit Absolutwerten von 0,125 oder von 0,25, sind möglich.
Die Anzahl von Zwischenbildebenen in der x- und in der y-Richtung im Strahlengang zwischen dem Objektfeld 5 und dem Bildfeld 11 kann gleich sein oder kann, je nach Ausführung der Projektionsoptik 10, unterschiedlich sein. Beispiele für Projektionsoptiken mit unterschiedlichen Anzahlen derartiger Zwischenbilder in x- und y-Richtung sind bekannt aus der US 2018/0074303 A1 .
Jeweils eine der Pupillenfacetten 23 ist genau einer der Feldfacetten 21 zur Ausbildung jeweils eines Beleuchtungskanals zur Ausleuchtung des Objektfeldes 5 zugeordnet. Es kann sich hierdurch insbesondere eine Beleuchtung nach dem Köhlerschen Prinzip ergeben. Das Fernfeld wird mit Hilfe der Feldfacetten 21 in eine Vielzahl an Objektfeldern 5 zerlegt. Die Feldfacetten 21 erzeugen eine Mehrzahl von Bildern des Zwischenfokus auf den diesen jeweils zugeordneten Pupillenfacetten 23.
Die Feldfacetten 21 werden jeweils von einer zugeordneten Pupillenfacette 23 einander überlagernd zur Ausleuchtung des Objektfeldes 5 auf das Retikel 7 abgebildet. Die Ausleuchtung des Objektfeldes 5 ist insbesondere möglichst homogen. Sie weist vorzugsweise einen Uniformitätsfehler von weniger als 2 % auf. Die Felduniformität kann über die Überlagerung unterschiedlicher Beleuchtungskanäle erreicht werden.
Durch eine Anordnung der Pupillenfacetten kann geometrisch die Ausleuchtung der Eintrittspupille der Projektionsoptik 10 definiert werden. Durch Auswahl der Beleuchtungskanäle, insbesondere der Teilmenge der Pupillenfacetten, die Licht führen, kann die Intensitätsverteilung in der Eintrittspupille der Projektionsoptik 10 eingestellt werden. Diese Intensitätsverteilung wird auch als Beleuchtungssetting oder Beleuchtungspupillenfüllung bezeichnet.
Eine ebenfalls bevorzugte Pupillenuniformität im Bereich definiert ausgeleuchteter Abschnitte einer Beleuchtungspupille der Beleuchtungsoptik 4 kann durch eine Umverteilung der Beleuchtungskanäle erreicht werden.
Im Folgenden werden weitere Aspekte und Details der Ausleuchtung des Objektfeldes 5 sowie insbesondere der Eintrittspupille der Projektionsoptik 10 beschrieben.
Die Projektionsoptik 10 kann insbesondere eine homozentrische Eintrittspupille aufweisen. Diese kann zugänglich sein. Sie kann auch unzugänglich sein.
Die Eintrittspupille der Projektionsoptik 10 lässt sich regelmäßig mit dem Pupillenfacettenspiegel 22 nicht exakt ausleuchten. Bei einer Abbildung der Projektionsoptik 10, welche das Zentrum des Pupillenfacettenspiegels 22 telezentrisch auf den Wafer 13 abbildet, schneiden sich die Aperturstrahlen oftmals nicht in einem einzigen Punkt. Es lässt sich jedoch eine Fläche finden, in welcher der paarweise bestimmte Abstand der Aperturstrahlen minimal wird. Diese Fläche stellt die Eintrittspupille oder eine zu ihr konjugierte Fläche im Ortsraum dar. Insbesondere zeigt diese Fläche eine endliche Krümmung.
Es kann sein, dass die Projektionsoptik 10 unterschiedliche Lagen der Eintrittspupille für den tangentialen und für den sagittalen Strahlengang aufweist. In diesem Fall sollte ein abbildendes Element, insbesondere ein optisches Bauelement der Übertragungsoptik, zwischen dem zweiten Facettenspiegel 22 und dem Retikel 7 bereitgestellt werden. Mit Hilfe dieses optischen Elements kann die unterschiedliche Lage der tangentialen Eintrittspupille und der sagittalen Eintrittspupille berücksichtigt werden.
Bei der in der 1 dargestellten Anordnung der Komponenten der Beleuchtungsoptik 4 ist der Pupillenfacettenspiegel 22 in einer zur Eintrittspupille der Projektionsoptik 10 konjugierten Fläche angeordnet. Der Feldfacettenspiegel 20 ist verkippt zur Objektebene 6 angeordnet. Der erste Facettenspiegel 20 ist verkippt zu einer Anordnungsebene angeordnet, die vom Umlenkspiegel 19 definiert ist.
Der erste Facettenspiegel 20 ist verkippt zu einer Anordnungsebene angeordnet, die vom zweiten Facettenspiegel 22 definiert ist.
2 zeigt eine weitere Ausführung einer Projektionsoptik, beziehungsweise abbildenden Optik 24, die anstelle der Projektionsoptik 10 der Ausführung nach 1 bei der Projektionsbelichtungsanlage 1 zum Einsatz kommen kann. Komponenten und Funktionen, die denjenigen entsprechen, die vorstehend unter Bezugnahme auf die 1 bereits erläutert wurden, tragen die gleichen Bezugsziffern und werden nicht nochmals im Einzelnen diskutiert.
Dargestellt ist in der 2 der Strahlengang jeweils dreier Einzelstrahlen 25, die von drei in der 2 zueinander in der y-Richtung beabstandeten Objektfeldpunkten ausgehen. Dargestellt sind Hauptstrahlen 26, also Einzelstrahlen 25, die durch das Zentrum einer Pupille in einer Pupillenebene der Projektionsoptik 24 verlaufen, sowie jeweils ein oberer und ein unterer Komastrahl dieser drei Objektfeldpunkte. Ausgehend vom Objektfeld 5 schließen die Hauptstrahlen 26 mit der Normalen auf die Objektebene 6 einen Winkel CRA von 5,22° ein. Aufgrund dieses Hauptstrahlwinkels CRA ist eine Auslegung der Projektionsoptik 24 für das reflektierende Retikel 7 gegeben. Es ist also gewährleistet, dass ein Strahlengang des auf das Retikel 7 einfallenden Beleuchtungslichts 16 sich mit einem Strahlengang des vom Retikel 7 ausfallenden Beleuchtungs- bzw. Abbildungslichts 16 nicht stört.
Die Projektionsoptik 24 hat eine bildseitige numerische Apertur von 0,33.
Die Projektionsoptik 24 nach 2 hat insgesamt vier Spiegel, die in der Reihenfolge des Strahlengangs der Einzelstrahlen 25, ausgehend vom Objektfeld 4, mit M1 bis M4 durchnummeriert sind.
Dargestellt sind in der 2 Abschnitte der berechneten Reflexionsflächen der Spiegel M1 bis M4. Ein tatsächlich genutzter Bereich der Reflexionsflächen ist zuzüglich eines Überstandes bei den realen Spiegeln M1 bis M4 vorhanden. Diese Nutz-Reflexionsflächen werden in bekannter Weise von Spiegelkörpern getragen, die in der 2 nicht dargestellt sind.
Bei der Projektionsoptik 24 nach 2 sind alle Spiegel M1 bis M4 als Spiegel für senkrechten bzw. normalen Einfall ausgeführt, also als Spiegel, auf die das Abbildungslicht 16 mit einem Einfallswinkel trifft, der kleiner ist als 45 °. Diese Spiegel für senkrechten Einfall werden auch als NI (Normal Incidence)-Spiegel bezeichnet.
Die Spiegel M1 bis M4 tragen eine die Reflektivität der Spiegel M1 bis M4 für das Abbildungslicht 16 optimierende Beschichtung. Hierbei kann es sich um eine Ruthenium-Beschichtung, um eine Molybdän-Beschichtung oder um eine Molybdän-Beschichtung mit einer obersten Schicht aus Ruthenium handeln. Diese hoch reflektierenden Schichten können als Mehrlagen-Schichten ausgeführt sein, wobei aufeinanderfolgende Schichten aus unterschiedlichen Materialien gefertigt sein können. Auch alternierende Materialschichten können zum Einsatz kommen. Eine typische Mehrlagenschicht kann fünfzig Bilagen aus jeweils einer Schicht Molybdän und einer Schicht Silizium aufweisen.
Zur Berechnung einer Gesamt-Reflektivität der Projektionsoptik 24 wird eine Systemtransmission wie folgt berechnet: Eine Spiegel-Reflektivität wird in Abhängigkeit vom Einfallswinkel eines Führungsstrahls, also eines Hauptstrahls eines zentralen Objektfeldpunktes, an jeder Spiegelfläche bestimmt und multiplikativ zur Systemtransmission zusammengefasst.
Details zur Reflektivitätsberechnung sind erläutert in der WO 2015/014 753 A1 .Weitere Informationen zur Reflektivität von NI-Spiegeln (Normal Incidence Spiegeln) finden sich in der DE 101 55 711 A .
Eine System- beziehungsweise Gesamttransmission der Projektionsoptik 24, also der Mehrzahl der Spiegel M1 bis M4, beträgt 17,55 %. Im Mittel hat jeder einzelne der vier Spiegel also eine Reflektivität im Bereich von 64,7 %.
Die Polarisationsdrehung von linear polarisiertem Abbildungslicht 16 im Abbildungsstrahlengang der Projektionsoptik 24 zwischen dem Objektfeld 5 und dem Bildfeld 11 beträgt etwa 3,6 °.
Die Spiegel M1 bis M4 haben keine Durchtrittsöffnung und werden in einem lückenlos zusammenhängenden Bereich reflektiv genutzt. Die Spiegel M1 bis M4 haben also eine öffnungsfrei genutzte Reflexionsfläche.
Bei der Projektionsoptik 24 ist das Bildfeld 11 das erste Feld im Abbildungsstrahlengang nach dem Objektfeld 5. Die Projektionsoptik 24 hat also keine Zwischenbildebene.
Ein z-Abstand zwischen dem Objektfeld und dem Bildfeld 8 (Baulänge) beträgt etwa 1750 mm. Ein y-Abstand zwischen einem zentralen Feldpunkt des Objektfeldes 5 und einem zentralen Feldpunkt des Bildfeldes 11 (Objekt-Bild-Versatz) beträgt etwa 1380 mm. In der xz-Ebene liegt eine Eintrittspupille der Projektionsoptik 24 etwa 4100 mm im Abbildungsstrahlengang nach dem Objektfeld 5. In der yz-Ebene liegt die Eintrittspupille mehr als 10 m im Abbildungsstrahlengang vor dem Objektfeld 5. Die Projektionsoptik 24 ist also in guter Näherung objektseitig telezentrisch ausgeführt.
Die Projektionsoptik 24 ist bildseitig telezentrisch ausgeführt.
Ein minimaler Abstand zwischen dem Wafer 13 und dem Wafer nächsten Spiegel M3, der auch als Arbeitsabstand bezeichnet wird, beträgt 75 mm.
Ein mittlerer Wellenfrontfehler RMS der Projektionsoptik 24 beträgt weniger als 35 mλ, bei einer Nutzwellenlänge des Abbildungslichts 3 von 13,5 nm.

In den nachfolgenden Tabellen 1 und 2 sind wesentliche Daten der Projektionsoptik 24 nochmals zusammengefasst: Tabelle 1 zu Fig. 2

Nutzwellenlänge	13,5 nm
bildseitige numerische Apertur	0,33
Abbildungsmaßstab	-4,00
Hauptstrahlwinkel CRA	5,22 °
Etendue	7,08 mm²
mittlerer Wellenfrontfehler RMS	33,28 mλ
Gesamttransmission	17,55 %
Position Eintrittspupille (x)	4101,25 mm
Position Eintrittspupille (y)	-39609,53 mm
Objekt-Bild-Versatz	1379,52 mm
Arbeitsabstand (M3 zu Bildfeld)	75 mm
z-Abstand zwischen Objektfeld und Bildfeld	2156,00 mm
Winkel zwischen Objekt- und Bildebene	-0,0 °
Bauraumerfordernis xyz	(980 × 1703 × 1756) mm

Tabelle 2 zu Fig. 2

	M1	M2	M3	M4
max. Einfallswinkel/°	10,1	14,9	23,7	17,0
min. Einfallswinkel/°	2,6	11,9	16,9	3,8
Spiegelerstreckung (x)/mm	388,4	980,1	571,3	738,4
Spiegelerstreckung (y)/mm	326,4	460,3	519,4	721,4
max. Spiegeldurchmesser/mm	388,7	980,2	585,1	738,9

Die in der Tabelle 2 angegebenen Erstreckungen beziehen sich jeweils auf die genutzte Reflexionsfläche des Spiegels M1 bis M4.
Der größte Einfallswinkel des Abbildungslichts 16 auf den Spiegeln M1 bis M4 liegt beim Spiegel M3 vor und ist auch dort kleiner als 25 °.
Der kleinste Einfallswinkel liegt beim Spiegel M1 vor und ist dort größer als 2,5 °. Eine größte Einfallswinkelbandbreite, also die Differenz zwischen dem maximalen und dem minimalen Einfallswinkel des Abbildungslichts 16, liegt beim letzten Spiegel M4 vor und ist dort kleiner als 15 °. Die kleinste Einfallswinkelbandbreite liegt beim Spiegel M2 vor und beträgt dort 3 °.
Keiner der Spiegel M1 bis M4 hat einen Durchmesser, der größer ist als 1.000 mm. Hinsichtlich der x-Erstreckung ist der M2-Spiegel der größte Spiegel der Projektionsoptik 24. Der Spiegel M2 hat insbesondere eine größere x-Erstreckung als der Spiegel M4.
Der Spiegel M2 hat eine Reflexionsfläche mit einem x/y-Aspektverhältnis zwischen einer größeren x-Flächenerstreckung und einer kleineren y-Flächenerstreckung, das größer ist als 1,5 und beim Spiegel M2 der Projektionsoptik 24 2,13 beträgt, also auch größer ist als 2.
Das Bildfeld 11 ist bei der Projektionsoptik 24 ringfeldförmig mit einem Ringfeld-Radius von 260 mm. Eine x-Erstreckung des Bildfeldes 11 beträgt 26 mm. Eine y-Erstreckung des Bildfeldes 11 beträgt 2,5 mm.
Die Spiegel M1 bis M4 sind als nicht durch eine rotationssymmetrische Funktion beschreibbare Freiformflächen ausgeführt. Es sind auch andere Ausführungen der Projektionsoptik 24 möglich, bei denen mindestens einer der Spiegel M1 bis M4 als rotationssymmetrische Asphäre ausgeführt ist. Auch alle Spiegel M1 bis M4 können als derartige Asphären ausgeführt sein.
Eine Freiformfläche kann durch folgende Freiformflächengleichung (Gleichung 1) beschrieben werden: $\begin{array}{l} Z = \frac{c_{x} x^{2} + c_{y} y^{2}}{1 + \sqrt{1 - (1 + k_{x}) {(c_{x} x)}^{2} - (1 + k_{y}) {(c_{y} y)}^{2}}} \\ + C_{1} x + C_{2} y \\ + C_{3} x^{2} + C_{4} xy + C_{5} y^{2} \\ + C_{6} x^{4} + \dots + C_{9} y^{3} \\ + C_{10} x^{4} + \dots + C_{12} x^{2} y^{2} + \dots + C_{14} y^{2} \\ + C_{15} x^{5} + \dots + C_{20} y^{5} \\ + C_{21} x^{6} + \dots + C_{24} x^{3} y^{3} + \dots + C_{27} y^{6} \\ + \dots \end{array}$
Für die Parameter dieser Gleichung (1) gilt:

Z ist die Pfeilhöhe der Freiformfläche am Punkt x, y, wobei x² + y² = r². r ist hierbei der Abstand zur Referenzachse der Freiformflächengleichung (x = 0; y = 0).

In der Freiformflächengleichung (1) bezeichnen C₁, C₂, C₃... die Koeffizienten der Freiformflächen-Reihenentwicklung in den Potenzen von x und y.
Im Falle einer konischen Grundfläche ist c_x, c_y eine Konstante, die der Scheitelpunktkrümmung einer entsprechenden Asphäre entspricht. Es gilt also c_x = 1/RDX und c_y = 1/RDY. k_x und k_y, die auch als CCX und CCY bezeichnet werden, entsprechen jeweils einer konischen Konstante einer entsprechenden Asphäre. Die Gleichung (1) beschreibt also eine bikonische Freiformfläche.
Eine alternativ mögliche Freiformfläche kann aus einer rotationssymmetrischen Referenzfläche erzeugt werden. Derartige Freiformflächen für Reflexionsflächen der Spiegel von Projektionsoptiken von Projektionsbelichtungsanlagen für die Mikrolithographie sind bekannt aus der US 2007-0058269 A1 .
Alternativ können Freiformflächen auch mit Hilfe zweidimensionaler Spline-Oberflächen beschrieben werden. Beispiele hierfür sind Bezier-Kurven oder nicht-uniforme rationale Basis-Splines (non-uniform rational basis splines, NURBS). Zweidimensionale Spline-Oberflächen können beispielsweise durch ein Netz von Punkten in einer xy-Ebene und zugehörige z-Werte oder durch diese Punkte und ihnen zugehörige Steigungen beschrieben werden. Abhängig vom jeweiligen Typ der Spline-Oberfläche wird die vollständige Oberfläche durch Interpolation zwischen den Netzpunkten unter Verwendung zum Beispiel von Polynomen oder Funktionen, die bestimmte Eigenschaften hinsichtlich ihrer Kontinuität und Differenzierbarkeit haben, gewonnen. Beispiele hierfür sind analytische Funktionen.
Eine pupillendefinierende Aperturblende AS ist bei der Projektionsoptik 24 im Bereich oder auf dem Spiegel M3, was in der 2 angedeutet ist, angeordnet. Realisierungsmöglichkeiten für eine derartige Aperturblende sind beispielsweise offenbart in der WO 2016/188934 A1 . Anstelle einer einzigen pupillendefinierenden Aperturblende AS kann deren Wirkung auch von mehreren pupillendefinierenden Teil-Blenden übernommen werden, die an verschiedenen Stellen der Projektionsoptik 24 angeordnet sind.
Eine Anordnungsebene der Aperturblende AS fällt mit einer Pupillenebene der Projektionsoptik 24 zusammen.
Die optischen Designdaten der Reflexionsflächen der Spiegel M1 bis M4 der Projektionsoptik 24 können den nachfolgenden weiteren Tabellen entnommen werden.
Die Tabelle 3 gibt Koordinaten eines Flächenursprungs einer jeweiligen Spiegelfläche sowie einer Fläche des Objektfeldes5bezogen auf ein xyz-Koordinatensystem des Bildfeldes 11 an.
Die erste Spalte gibt den Abstand des jeweiligen Spiegels bzw. des Objektfeldes 5 von einem Koordinatenursprung im Zentrum des Bildfeldes 11 in z-Richtung (erste Spalte) und in y-Richtung (zweite Spalte) an.
Die dritte Spalte der Tabelle 3 gibt noch einen Verkippungswert der jeweiligen Fläche des Spiegels M1 bis M4 bzw. des Objektfeldes 5 in Bezug auf die xy-Ebene des Bildfeldes 11 an. Bei der Ausführung nach 2 sind weder das Objektfeld 5 noch das Bildfeld 11 zur x-Achse verkippt und verlaufen parallel zueinander.
Die Tabelle 4 tabelliert getrennt für die Spiegel M4 bis M1 die Parameter RDX, RDY, CCX, CCY sowie, sortiert nach den Potenzen in x und y, die Werte der Koeffizienten C1, C2, C3 ... der Freiformfläche-Reihenentwicklung gemäß der obigen Gleichung (1).

Spiegel mit unterschiedlichen Vorzeichen bei den Werten RDX und RDY haben eine sattelflächenförmige oder sattelförmige Grundform. Tabelle 3 zu Fig. 2

z-Abstand [mm]	y-Abstand [mm]	Verkippung um x-Achse [Grad]
Bildfeld
0	0	0
M4
1052.341063	0	15.501098
M3
85.619483	580.915378	10.659276
M2
1817.74382	876.483984	12.560313
M1
263.752971	1956.707604	21.254751
Objektfeld
2156	1379.517221	0

M4
RDX	-1713.789502
RDY	-1630.972761
CCX	0
CCY	0
x**i	y**j	Koeffizient
0	1	-8.808510E-02
2	1	-9.112639E-08
0	3	5.902912E-09
4	0	-3.180900E-12
2	2	5.704739E-12
0	4	-7.770599E-12
4	1	-3.760234E-14
2	3	-3.175126E-14
0	5	3.649456E-15
6	0	-2.863198E-18
4	2	-9.789031E-19
2	4	-4.265595E-18
0	6	1.071927E-17
6	1	-1.695599E-20
4	3	-2.536641E-20
2	5	-2.486809E-20
0	7	-1.099456E-19
8	0	-1.128310E-23
6	2	-6.555056E-23
4	4	-6.010323E-23
2	6	8.724420E-23
0	8	-3.350535E-22
8	1	1.669458E-25
6	3	3.233473E-25
4	5	-2.112255E-25
2	7	4.848322E-25
0	9	2.455471E-24
10	0	2.190074E-28
8	2	1.654072E-27
6	4	2.517111E-27
4	6	1.214618E-27
2	8	-3.509487E-27
0	10	4.299321E-27
10	1	-4.097278E-30
8	3	-1.609570E-29
6	5	-9.024499E-30
4	7	8.044016E-30
2	9	-7.508526E-30
0	11	-3.362530E-29
12	0	-2.817127E-33
10	2	-2.522775E-32
8	4	-5.162542E-32
6	6	-5.104284E-32
4	8	-2.182309E-33
2	10	7.275936E-32
0	12	-2.728356E-32
12	1	5.190002E-35
10	3	3.027273E-34
8	5	3.943689E-34
6	7	5.297904E-35
4	9	-1.911727E-34
2	11	2.320012E-35
0	13	2.794200E-34
14	0	2.116939E-38
12	2	2.173602E-37
10	4	5.792844E-37
6	10	-1.390506E-42
4	12	3.955854E-42
2	14	4.807288E-42
0	16	6.718872E-43
16	1	1.392492E-45
14	3	1.386113E-44
12	5	3.796803E-44
10	7	4.229694E-44
8	9	1.688964E-44
6	11	-1.295477E-44
4	13	-1.904230E-44
2	15	-6.459948E-45
0	17	2.551614E-45
18	0	1.460048E-49
16	2	1.846243E-48
14	4	6.918107E-48
12	6	1.478223E-47
10	8	1.989426E-47
8	10	1.825423E-47
6	12	-6.581802E-48
4	14	-1.409239E-47
2	16	-1.109145E-47
0	18	-2.289845E-48
18	1	-2.173200E-51
16	3	-2.660179E-50
14	5	-9.153331E-50
12	7	-1.416227E-49
10	9	-1.094782E-49
8	11	-2.473363E-50
6	13	6.467927E-50
4	15	5.298103E-50
2	17	1.907427E-50
0	19	-4.764273E-52

M3
RDX	1944.036655
RDY	5405.334997
CCX	0
CCY	0
x**i	y**j	Koeffizient
0	1	2.182169E-01
2	1	5.374768E-07
0	3	3.368410E-08
4	0	1.882522E-10
2	2	4.814931E-10
0	4	9.895669E-11
4	1	7.788498E-13
2	3	6.655805E-13
0	5	2.429776E-14
6	0	2.933456E-16
4	2	1.882627E-15
2	4	6.696989E-16
0	6	-7.402579E-16
6	1	1.696766E-18
4	3	3.040842E-18
2	5	-1.099018E-18
0	7	1.814895E-18
8	0	-8.465651E-23
6	2	4.816016E-22
4	4	8.508120E-21
2	6	1.060992E-20
0	8	7.815341E-20
8	1	-1.116409E-23
6	3	-6.898817E-23
4	5	2.846265E-22
2	7	2.976935E-22
0	9	4.324007E-22
10	0	8.024701E-27
8	2	-1.231676E-25
6	4	-4.735824E-25
4	6	4.278970E-24
2	8	2.128412E-24
0	10	-1.134089E-25
10	1	3.040809E-28
8	3	8.683881E-28
6	5	-2.322014E-28
4	7	3.424304E-26
2	9	6.179735E-27
0	11	-1.054361E-26
12	0	-1.638002E-32
10	2	6.917495E-30
8	4	2.450668E-29
6	6	5.925965E-30
4	8	1.642812E-28
2	10	-2.386667E-30
0	12	-4.589280E-29
12	1	5.026753E-34
10	3	6.136948E-32
8	5	1.827506E-31
6	7	-5.298501E-32
4	9	4.686861E-31
2	11	-6.146641E-32
0	13	-7.460826E-32
14	0	-5.233984E-38
12	2	-4.272331E-35
10	4	1.957149E-34
8	6	6.365410E-34
6	8	-8.208325E-34
4	10	6.365528E-34
2	12	-9.232637E-35
0	14	1.442545E-35
14	1	-5.558016E-38
12	3	-7.260530E-37
10	5	-1.903403E-37
8	7	8.690662E-37
6	9	-4.244290E-36
4	11	-4.302095E-37
2	13	3.732467E-37
0	15	1.478303E-37
16	0	-1.929915E-41
14	2	-7.147137E-40
12	4	-4.323496E-39
10	6	-2.917091E-39
8	8	-1.008731E-39
6	10	-1.177587E-38
4	12	-3.455714E-39
2	14	1.787315E-39
0	16	-1.865963E-40
16	1	-2.080615E-43
14	3	-3.260409E-42
12	5	-1.215807E-41
10	7	-7.904989E-42
8	9	-5.382044E-42
6	11	-1.880333E-41
4	13	-6.327925E-42
2	15	3.223156E-42
0	17	-1.083953E-42
18	0	-3.356665E-48
16	2	-6.570102E-46
14	4	-6.355054E-45
12	6	-1.648753E-44
10	8	-9.404019E-45
8	10	-7.297624E-45
6	12	-1.636786E-44
4	14	-5.552461E-45
2	16	2.837263E-45
0	18	-1.406749E-45
18	1	-5.363855E-51
16	3	-6.119500E-49
14	5	-4.576056E-48
12	7	-8.682921E-48
10	9	-4.344941E-48
8	11	-3.501716E-48
6	13	-6.055526E-48
4	15	-2.007776E-48
2	17	1.012732E-48
0	19	-6.280638E-49

M2
RDX	-3324.566351
RDY	-9483.274483
CCX	0
CCY	0
x**i	y**j	Koeffizient
0	1	-3.382629E-01
2	1	-1.071863E-07
0	3	2.867961E-08
4	0	3.646136E-12
2	2	2.026522E-11
0	4	2.338237E-11
4	1	-2.380059E-14
2	3	-2.851575E-14
0	5	2.370796E-14
6	0	1.375465E-18
4	2	1.816337E-17
2	4	3.689470E-17
0	6	-3.927614E-17
6	1	-8.861441E-21
4	3	-3.345473E-20
2	5	-5.108831E-20
0	7	1.254309E-18
8	0	3.214031E-24
6	2	3.953073E-23
4	4	-1.934866E-22
2	6	-3.485323E-21
0	8	-1.529886E-20
8	1	-2.518043E-26
6	3	-2.114232E-25
4	5	1.267461E-24
2	7	2.626988E-23
0	9	-4.949649E-23
10	0	-2.549859E-29
8	2	-5.812428E-29
6	4	1.698673E-27
4	6	2.527500E-26
2	8	1.669312E-25
0	10	1.375769E-24
10	1	3.780417E-31
8	3	1.499086E-30
6	5	-2.212016E-30
4	7	-3.564862E-28
2	9	-2.508847E-27
0	11	-4.841319E-27
12	0	1.526141E-34
10	2	-1.668335E-33
8	4	-6.543909E-33
6	6	-1.789348E-31
4	8	1.133507E-30
2	10	4.120133E-30
0	12	-2.166689E-29
12	1	-2.725810E-36
10	3	-5.983401E-36
8	5	-4.725667E-35
6	7	2.372085E-33
4	9	9.674447E-33
2	11	6.880258E-32
0	13	2.104488E-31
14	0	-5.145899E-40
12	2	2.019986E-38
10	4	6.151038E-38
8	6	2.982274E-37
6	8	-1.709548E-35
4	10	-1.023535E-34
2	12	-4.192489E-34
0	14	-5.171864E-34
14	1	8.441310E-42
12	3	-1.255458E-41
10	5	5.441572E-40
8	7	5.400383E-39
6	9	7.253605E-38
4	11	3.560909E-37
2	13	6.153482E-37
0	15	-4.737862E-37
16	0	1.009312E-45
14	2	-8.690749E-44
12	4	-7.389234E-43
10	6	-1.046126E-41
8	8	-5.665240E-41
6	10	-1.456557E-40
4	12	-2.825150E-40
2	14	2.217120E-39
0	16	5.617953E-39
16	1	-5.943041E-48
14	3	4.510326E-46
12	5	5.758296E-45
10	7	5.731059E-44
8	9	2.046469E-43
6	11	-1.864067E-44
4	13	-1.444615E-42
2	15	-1.058514E-41
0	17	-1.377045E-41
18	0	-1.479107E-51
16	2	3.466199E-50
14	4	-1.381294E-48
12	6	-1.826969E-47
10	8	-1.325469E-46
8	10	-3.175971E-46
6	12	5.512598E-46
4	14	4.037566E-45
2	16	1.675399E-44
0	18	1.574392E-44
18	1	5.882889E-54
16	3	-1.000900E-52
14	5	2.138644E-51
12	7	1.999396E-50
10	9	1.122599E-49
8	11	1.704435E-49
6	13	-6.225197E-49
4	15	-3.181412E-48
2	17	-9.754343E-48
0	19	-7.315424E-48

Tabelle 4 zu Fig. 2

M1
RDX	-1202.543664
RDY	-1250.239722
CCX	0
CCY	0
x**i	y**j	Koeffizient
0	1	-1.608492E-01
2	1	-4.553729E-06
0	3	3.531343E-06
4	0	-5.383125E-08
2	2	-1.036445E-08
0	4	1.175888E-08
4	1	-3.605367E-10
2	3	-7.632990E-12
0	5	1.276139E-11
6	0	5.814080E-13
4	2	-7.904053E-13
2	4	-2.462679E-15
0	6	-7.187144E-16
6	1	5.227958E-15
4	3	-3.444078E-16
2	5	-4.638409E-18
0	7	-9.529463E-18
8	0	4.879792E-17
6	2	1.595287E-17
4	4	6.873424E-19
2	6	2.433790E-20
0	8	-1.420795E-21
8	1	3.140876E-19
6	3	1.635033E-20
4	5	-2.822595E-22
2	7	3.354631E-23
0	9	2.177824E-24
10	0	-1.129971E-22
8	2	6.858662E-22
6	4	-4.976489E-24
4	6	-1.902997E-24
2	8	-9.626517E-26
0	10	-1.972173E-27
10	1	-5.070592E-25
8	3	3.244055E-25
6	5	-2.529376E-27
4	7	8.607357E-29
2	9	-1.435733E-28
0	11	1.735592E-30
12	0	-2.123660E-26
10	2	-2.078327E-28
8	4	-7.541069E-28
6	6	3.280078E-29
4	8	1.534835E-30
2	10	5.992828E-32
0	12	1.406172E-33
12	1	-1.759678E-28
10	3	3.964315E-30
8	5	-4.740502E-31
6	7	2.032458E-33
4	9	-1.583307E-33
2	11	5.971554E-35
0	13	-3.170590E-36
14	0	-2.925593E-31
12	2	-5.349341E-31
10	4	1.124492E-32
8	6	1.238620E-33
6	8	-6.048986E-35
4	10	-1.482595E-36
2	12	-1.615024E-37
0	14	3.224503E-39
14	1	-1.840085E-33
12	3	-6.484121E-34
10	5	4.202589E-36
8	7	8.323025E-37
6	9	1.140934E-38
4	11	2.886884E-39
2	13	-8.325232E-42
0	15	3.719157E-42
16	0	-3.096944E-38
14	2	-4.575138E-36
12	4	5.179296E-38
10	6	-3.239485E-38
8	8	-1.873420E-39
6	10	1.283441E-40
4	12	2.020349E-42
2	14	2.576550E-43
0	16	-6.193179E-45
16	1	-6.350078E-41
14	3	-5.622070E-39
12	5	9.077445E-40
10	7	-6.493625E-41
8	9	-2.768084E-42
6	11	1.025629E-43
4	13	-2.297136E-45
2	15	1.238093E-46
0	17	-5.677907E-48
18	0	-1.005481E-44
16	2	-1.322724E-45
14	4	-3.415610E-42
12	6	8.359513E-43
10	8	-5.006957E-44
8	10	-1.314784E-45
6	12	1.840471E-47
4	14	-2.599925E-48
2	16	-6.227256E-50
0	18	5.924167E-52
18	1	-9.759547E-48
16	3	3.668009E-47
14	5	-8.212843E-46
12	7	2.482996E-46
10	9	-1.427232E-47
8	11	-1.974772E-49
6	13	-4.441671E-51
4	15	-6.928630E-52
2	17	-4.009669E-53
0	19	1.054394E-54

3 zeigt eine weitere Ausführung einer Projektionsoptik, beziehungsweise abbildenden Optik 27, die anstelle der Projektionsoptik 10 der Ausführung nach 1 bei der Projektionsbelichtungsanlage 1 zum Einsatz kommen kann. Komponenten und Funktionen, die denjenigen entsprechen, die vorstehend im Zusammenhang mit den 1 und 2 und insbesondere im Zusammenhang mit der 2 bereits erläutert wurden, tragen die gleichen Bezugsziffern und werden nicht nochmals im Einzelnen diskutiert.
Ein Ringfeld-Radius des Bildfeldes 11 beträgt bei der Projektionsoptik 27 80 mm. Die Bildfelddimensionen in x- und y-Richtung sind bei der Projektionsoptik 27 so wie bei der Projektionsoptik 24.

Nachfolgend sind in Bezug auf die Projektionsoptik 27 wieder Kernparameter des optischen Designs tabelliert: Tabelle 1 zu Fig. 3

Nutzwellenlänge	13,5 nm
bildseitige numerische Apertur	0,25
Abbildungsmaßstab	-4,00
Hauptstrahlwinkel CRA	5,86 °
Etendue	4,06 mm²
mittlerer Wellenfrontfehler RMS	17,57 mλ
Gesamttransmission	17,59 %
Position Eintrittspupille (x)	4095,77 mm
Position Eintrittspupille (y)	-40778,74 mm
Objekt-Bild-Versatz	1413,37 mm
Arbeitsabstand (M3 zu Bildfeld)	81 mm
z-Abstand zwischen Objektfeld und	2156,00 mm
Bildfeld
Winkel zwischen Objekt- und Bildebene	0,0 °
Bauraumerfordernis xyz	(758 x 1600 x 1742) mm

Tabelle 2 zu Fig. 3

	M1	M2	M3	M4
max. Einfallswinkel/°	9,4	14,8	22,9	15,5
min. Einfallswinkel/°	3,9	12,5	17,9	5,3
Spiegelerstreckung (x)/mm	306,2	758,3	431,7	560,4
Spiegelerstreckung (y)/mm	252,8	353,9	393,7	543,4
max. Spiegeldurchmesser/mm	306,8	758,4	437,0	561,0

Der größte Einfallswinkel des Abbildungslichts 16 auf den Spiegeln M1 bis M4 liegt auf dem Spiegel M3 vor und beträgt 22,9 °. Auf allen Spiegeln M1 bis M4 der Projektionsoptik 27 liegt also ein Einfallswinkel vor, der für alle Einzelstrahlen kleiner ist als 25 °.
Der minimale Einfallswinkel liegt auf dem Spiegel M1 vor und beträgt 3,9 °. Eine Einfallswinkelbandbreite zwischen dem minimalen Einfallswinkel und dem maximalen Einfallswinkel ist bei allen Spiegeln M1 bis M4 kleiner als 10 ° und beträgt bei den Spiegeln M1 bis M3 jeweils höchstens 6 °. Die kleinste Einfallswinkelbandbreite, also Differenz zwischen dem maximalen und dem minimalen Einfallswinkel, liegt auf dem Spiegel M2 vor und ist dort kleiner als 2,5 °.
Keiner der Spiegel M1 bis M4 hat einen Durchmesser, der größer ist als 760 mm. Hinsichtlich der x-Erstreckung ist der Spiegel M2 der größte Spiegel. Der Spiegel M2 hat insbesondere eine größere x-Erstreckung als der letzte Spiegel M4 der Projektionsoptik 27.
Der mittlere Wellenfrontfehler RMS beträgt bei der Projektionsoptik 27 weniger als 20 mλ.
Die bildseitige numerische Apertur der Projektionsoptik 27 beträgt 0,25.
Ein maximales x/y-Aspektverhältnis der Flächenerstreckungen liegt bei der Projektionsoptik 27 beim Spiegel M2 vor und beträgt dort 2,14.
Die Gesamttransmission beträgt bei der Projektionsoptik 27 17,59 %.
Die Polarisationsdrehung von linear polarisiertem Abbildungslicht 16 im Abbildungsstrahlengang der Projektionsoptik 27 zwischen dem Objektfeld 5 und dem Bildfeld 11 beträgt etwa 2,8 °.

Nachfolgend sind zur Projektionsoptik 27 nach 3 wiederum die optischen Designdaten im gleichen Format tabelliert, das oben zur Ausführung nach 2 bereits erläutert wurde. Tabelle 3 zu Fig. 3

z-Abstand [mm]	y-Abstand [mm]	Verkippung um x-Achse [Grad]
Bildfeld
0	0	0
M4
1052.151834	0	15.511974
M3
85.639487	581.289186	10.665766
M2
1816.248985	876.871977	12.551063
M1
262.173154	1956.763329	21.244435
Objektfeld
2156	1413.368133	0

M4
RDX		-1718.361974
RDY		-1630.972683
CCX		0
CCY		0
x**i		y**j		Koeffizient
	0		1		-8.958776E-02
	2		1		-9.203320E-08
	0		3		5.439527E-09
	4		0		-3.058412E-12
	2		2		6.174640E-12
	0		4		-7.522104E-12
	4		1		-3.783620E-14
	2		3		-3.220679E-14
	0		5		2.647345E-15
	6		0		-2.301182E-18
	4		2		-1.017562E-18
	2		4		-3.208626E-18
	0		6		1.298458E-17
	6		1		-3.692393E-20
	4		3		-5.869952E-20
	2		5		-5.103198E-20
	0		7		-8.809417E-20
	8		0		-5.073881E-23
	6		2		-1.098772E-22
	4		4		1.183205E-23
	2		6		4.135545E-23
	0		8		-4.805095E-22
	8		1		1.404190E-24
	6		3		3.088309E-24
	4		5		1.822223E-24
	2		7		1.581019E-24
	0		9		2.506186E-24
	10		0		2.036646E-27
	8		2		7.583794E-27
	6		4		3.749259E-27
	4		6		-1.063745E-27
	2		8		-1.846348E-27
	0		10		7.439352E-27
	10		1		-5.308849E-29
	8		3		-1.791125E-28
	6		5		-1.699788E-28
	4		7		-6.460812E-29
	2		9		-3.708372E-29
	0		11		-4.750018E-29
	12		0		-4.826737E-32
	10		2		-2.550668E-31
	8		4		-2.809812E-31
	6		6		-1.296886E-31
	4		8		2.312623E-32
	2		10		3.322372E-32
	0		12		-6.684701E-32
	12		1		1.188398E-33
	10		3		5.588491E-33
	8		5		7.828409E-33
	6		7		5.177536E-33
	4		9		1.146493E-33
	2		11		5.680166E-34
	0		13		6.281564E-34
	14		0		6.629312E-37
	12		2		4.558611E-36
	10		4		7.529084E-36
	8		6		7.867152E-36
	6		8		3.746548E-36
	4		10		-5.719726E-37
	2		12		-1.080816E-37
	0		14		3.392424E-37
	14		1		-1.563712E-38
	12		3		-9.550645E-38
	10		5		-1.836836E-37
	8		7		-1.763546E-37
	6		9		-9.076810E-38
	4		11		-5.780125E-39
	2		13		-6.975318E-39
	0		15		-5.708644E-39
	16		0		-4.898875E-42
	14		2		-4.175324E-41
	12		4		-8.952951E-41
	10		6		-1.316286E-40
	8		8		-1.457488E-40
	6		10		-3.561932E-41
	4		12		7.311069E-42
	2		14		-3.710146E-42
	0		16		-1.471567E-42
	16		1		1.118489E-43
	14		3		8.433103E-43
	12		5		2.085672E-42
	10		7		2.699934E-42
	8		9		2.123616E-42
	6		11		7.511531E-43
	4		13		-6.338613E-44
	2		15		6.709825E-44
	0		17		3.389982E-44
	18		0		1.505551E-47
	16		2		1.541238E-46
	14		4		4.023052E-46
	12		6		7.133920E-46
	10		8		1.119568E-45
	8		10		9.361065E-46
	6		12		2.247014E-47
	4		14		-2.050393E-47
	2		16		2.884056E-47
	0		18		5.387059E-48
	18		1		-3.355919E-49
	16		3		-3.009031E-48
	14		5		-9.134997E-48
	12		7		-1.488706E-47
	10		9		-1.589345E-47
	8		11		-1.004847E-47
	6		13		-1.880511E-48
	4		15		5.475794E-49
	2		17		-3.047415E-49
	0		19		-9.727850E-50

M3
RDX		1950.769311
RDY			5405.33455
CCX			0
CCY			0
x**i		y**j		Koeffizient
	0		1		2.211959E-01
	2		1		5.363149E-07
	0		3		3.395479E-08
	4		0		1.864443E-10
	2		2		4.823368E-10
	0		4		9.157018E-11
	4		1		7.645753E-13
	2		3		6.891428E-13
	0		5		-2.570660E-14
	6		0		2.467281E-16
	4		2		1.618139E-15
	2		4		8.325315E-16
	0		6		-8.820476E-16
	6		1		6.337835E-19
	4		3		2.254354E-19
	2		5		-4.831058E-19
	0		7		1.843931E-18
	8		0		1.040700E-21
	6		2		-6.931574E-21
	4		4		-5.203138E-21
	2		6		1.117601E-20
	0		8		7.896627E-20
	8		1		2.520620E-23
	6		3		-7.530962E-23
	4		5		2.702727E-22
	2		7		2.957338E-22
	0		9		4.321044E-22
	10		0		2.324394E-27
	8		2		1.716953E-25
	6		4		-3.636255E-25
	4		6		4.395988E-24
	2		8		2.130226E-24
	0		10		-1.174848E-25
	10		1		-2.162324E-28
	8		3		1.562169E-27
	6		5		2.219468E-29
	4		7		3.452406E-26
	2		9		6.192937E-27
	0		11		-1.053470E-26
	12		0		-1.345201E-30
	10		2		3.487516E-30
	8		4		2.301171E-29
	6		6		6.508609E-30
	4		8		1.638736E-28
	2		10		-2.420174E-30
	0		12		-4.587658E-29
	12		1		-2.759759E-32
	10		3		5.445478E-32
	8		5		1.784350E-31
	6		7		-4.197042E-32
	4		9		4.689537E-31
	2		11		-6.143645E-32
	0		13		-7.467778E-32
	14		0		9.162545E-36
	12		2		-4.524112E-34
	10		4		2.012209E-34
	8		6		6.747699E-34
	6		8		-7.939156E-34
	4		10		6.439473E-34
	2		12		-9.179677E-35
	0		14		1.444574E-35
	14		1		2.497393E-38
	12		3		-3.240023E-36
	10		5		1.046025E-37
	8		7		9.506375E-37
	6		9		-4.333504E-36
	4		11		-4.314460E-37
	2		13		3.739944E-37
	0		15		1.480508E-37
	16		0		-4.495069E-41
	14		2		2.446468E-39
	12		4		-8.023350E-39
	10		6		-2.675986E-39
	8		8		-9.165381E-40
	6		10		-1.193130E-38
	4		12		-3.489656E-39
	2		14		1.791866E-39
	0		16		-1.871617E-40
	16		1		2.125963E-42
	14		3		3.071722E-41
	12		5		-1.554874E-42
	10		7		-1.564685E-41
	8		9		-2.155536E-42
	6		11		-1.761698E-41
	4		13		-6.269715E-42
	2		15		3.245717E-42
	0		17		-1.082520E-42
	18		0		1.924996E-46
	16		2		2.443271E-44
	14		4		1.066775E-43
	12		6		1.074146E-44
	10		8		-3.435471E-44
	8		10		5.302669E-45
	6		12		-1.291405E-44
	4		14		-5.259902E-45
	2		16		2.876640E-45
	0		18		-1.397427E-45
	18		1		3.244719E-48
	16		3		5.195045E-47
	14		5		1.079975E-46
	12		7		9.818738E-49
	10		9		-2.530050E-47
	8		11		9.709033E-48
	6		13		-3.512977E-48
	4		15		-1.753958E-48
	2		17		1.035584E-48
	0		19		-6.191131E-49

M2
RDX		-3324.161871
RDY		-9483.273952
CCX			0
CCY			0
x**i		y**j		Koeffizient
	0		1		-3.352548E-01
	2		1		-1.066975E-07
	0		3		2.828071E-08
	4		0		3.674763E-12
	2		2		2.111023E-11
	0		4		1.836277E-11
	4		1		-2.399790E-14
	2		3		-2.765283E-14
	0		5		7.073497E-14
	6		0		1.435970E-18
	4		2		1.591669E-17
	2		4		-5.270059E-19
	0		6		-5.617890E-16
	6		1		-9.649586E-21
	4		3		-2.256619E-20
	2		5		4.525704E-19
	0		7		5.503615E-18
	8		0		1.066142E-23
	6		2		1.909708E-22
	4		4		4.811811E-22
	2		6		-8.495791E-21
	0		8		-3.175982E-20
	8		1		-1.732938E-25
	6		3		-1.299077E-24
	4		5		-2.361479E-24
	2		7		6.539053E-23
	0		9		-4.459133E-23
	10		0		-2.078057E-28
	8		2		-3.119694E-27
	6		4		-2.336766E-26
	4		6		-3.032869E-26
	2		8		-3.098679E-26
	0		10		1.492980E-24
	10		1		5.797700E-30
	8		3		6.751324E-29
	6		5		3.639691E-28
	4		7		3.180267E-28
	2		9		-2.168906E-27
	0		11		-4.723878E-27
	12		0		2.019976E-33
	10		2		-5.852430E-33
	8		4		-2.695835E-31
	6		6		-1.615166E-30
	4		8		-1.625220E-30
	2		10		6.437924E-30
	0		12		-2.309351E-29
	12		1		-7.225996E-35
	10		3		-7.881430E-34
	8		5		-1.560118E-33
	6		7		6.447943E-35
	4		9		1.555573E-32
	2		11		5.635467E-32
	0		13		2.076124E-31
	14		0		-8.318004E-39
	12		2		5.361877E-37
	10		4		8.027278E-36
	8		6		1.445372E-35
	6		8		8.520528E-36
	4		10		-1.298243E-34
	2		12		-4.262780E-34
	0		14		-5.039513E-34
	14		1		3.970989E-40
	12		3		1.164289E-39
	10		5		-3.866255E-38
	8		7		-1.459056E-38
	6		9		1.196716E-37
	4		11		4.874640E-37
	2		13		7.427533E-37
	0		15		-4.298059E-37
	16		0		-1.748162E-45
	14		2		-4.270297E-42
	12		4		-3.026188E-41
	10		6		1.248911E-40
	8		8		-1.998889E-40
	6		10		-1.050110E-39
	4		12		-1.788739E-40
	2		14		2.544837E-39
	0		16		5.525771E-39
	16		1		-5.109127E-46
	14		3		1.840306E-44
	12		5		1.588798E-43
	10		7		-3.775213E-43
	8		9		8.934178E-43
	6		11		3.463040E-42
	4		13		-4.296729E-42
	2		15		-1.423987E-41
	0		17		-1.439764E-41
	18		0		3.907694E-50
	16		2		5.376711E-48
	14		4		-4.447702E-47
	12		6		-3.808184E-46
	10		8		9.638937E-46
	8		10		-1.626263E-45
	6		12		-5.468425E-45
	4		14		1.260476E-44
	2		16		2.570582E-44
	0		18		1.785736E-44
	18		1		-2.187170E-52
	16		3		-1.302474E-50
	14		5		6.509474E-50
	12		7		3.255861E-49
	10		9		-1.115572E-48
	8		11		1.261492E-48
	6		13		3.423631E-48
	4		15		-1.147906E-47
	2		17		-1.714431E-47
	0		19		-9.157444E-48

Tabelle 4 zu Fig. 3

M1
RDX		-1202.543882
RDY		-1250.019936
CCX			0
CCY			0
x**i		y**j		Koeffizient
	0		1		-1.563425E-01
	2		1		-4.531102E-06
	0		3		3.532752E-06
	4		0		-5.415418E-08
	2		2		-1.030738E-08
	0		4		1.175951E-08
	4		1		-3.615123E-10
	2		3		-7.628358E-12
	0		5		1.275970E-11
	6		0		5.882071E-13
	4		2		-7.905420E-13
	2		4		-2.531874E-15
	0		6		-7.172501E-16
	6		1		5.248282E-15
	4		3		-3.433417E-16
	2		5		-4.593723E-18
	0		7		-9.529411E-18
	8		0		4.858136E-17
	6		2		1.596273E-17
	4		4		6.863731E-19
	2		6		2.438932E-20
	0		8		-1.421542E-21
	8		1		3.137142E-19
	6		3		1.636644E-20
	4		5		-2.829057E-22
	2		7		3.344288E-23
	0		9		2.180154E-24
	10		0		-1.507050E-22
	8		2		6.871118E-22
	6		4		-4.947241E-24
	4		6		-1.900225E-24
	2		8		-9.619657E-26
	0		10		-1.974095E-27
	10		1		-5.922204E-25
	8		3		3.235591E-25
	6		5		-2.634030E-27
	4		7		8.633161E-29
	2		9		-1.435327E-28
	0		11		1.737266E-30
	12		0		-2.089061E-26
	10		2		-2.240346E-28
	8		4		-7.627932E-28
	6		6		3.269388E-29
	4		8		1.531835E-30
	2		10		5.986287E-32
	0		12		1.407014E-33
	12		1		-1.774134E-28
	10		3		3.891570E-30
	8		5		-4.738407E-31
	6		7		2.078089E-33
	4		9		-1.588538E-33
	2		11		6.002127E-35
	0		13		-3.174629E-36
	14		0		-2.659417E-31
	12		2		-5.413750E-31
	10		4		1.100674E-32
	8		6		1.246581E-33
	6		8		-6.055077E-35
	4		10		-1.488641E-36
	2		12		-1.616775E-37
	0		14		3.230342E-39
	14		1		-1.707796E-33
	12		3		-6.490427E-34
	10		5		4.220081E-36
	8		7		8.171585E-37
	6		9		1.153092E-38
	4		11		2.891004E-39
	2		13		-8.898599E-42
	0		15		3.717090E-42
	16		0		-6.969664E-37
	14		2		-4.371025E-36
	12		4		6.033881E-38
	10		6		-3.223343E-38
	8		8		-1.884409E-39
	6		10		1.286094E-40
	4		12		2.026228E-42
	2		14		2.579207E-43
	0		16		-6.194114E-45
	16		1		-1.805419E-39
	14		3		-5.737127E-39
	12		5		9.048566E-40
	10		7		-6.520915E-41
	8		9		-2.755574E-42
	6		11		1.022544E-43
	4		13		-2.309566E-45
	2		15		1.237944E-46
	0		17		-5.667040E-48
	18		0		1.714397E-42
	16		2		-1.467642E-42
	14		4		-3.943840E-42
	12		6		8.266524E-43
	10		8		-5.059477E-44
	8		10		-1.316345E-45
	6		12		1.795255E-47
	4		14		-2.619794E-48
	2		16		-6.312609E-50
	0		18		5.841591E-52
	18		1		2.298365E-45
	16		3		-3.955873E-46
	14		5		-1.143973E-45
	12		7		2.469066E-46
	10		9		-1.452947E-47
	8		11		-2.061163E-49
	6		13		-4.538537E-51
	4		15		-7.007726E-52
	2		17		-4.054179E-53
	0		19		1.042343E-54

4 zeigt eine weitere Ausführung einer Projektionsoptik, beziehungsweise abbildenden Optik 28, die anstelle der Projektionsoptik 10 der Ausführung nach 1 bei der Projektionsbelichtungsanlage 1 zum Einsatz kommen kann. Komponenten und Funktionen, die denjenigen entsprechen, die vorstehend im Zusammenhang mit den 1 bis 3 und insbesondere im Zusammenhang mit der 2 und 3 bereits erläutert wurden, tragen die gleichen Bezugsziffern und werden nicht nochmals im Einzelnen diskutiert.
Das Bildfeld 11 der Projektionsoptik 28 ist rechteckig und die x-Erstreckung des Bildfeldes 11 beträgt 26 mm. Die y-Erstreckung des Bildfeldes 11 beträgt 2,5 mm.
Eine Aperturblende AS kann im Bereich einer Eintrittspupille angeordnet sein, die im Strahlengang des Abbildungslichts 16 zwischen den Spiegeln M3 und M4 liegt.

In den nachfolgenden Tabellen 1 und 2 sind wesentliche Daten der Projektionsoptik 28 nochmals zusammengefasst: Tabelle 1 zu Fig. 4

Nutzwellenlänge	13,5 nm
bildseitige numerische Apertur	0,28
Abbildungsmaßstab	-4,00
Hauptstrahlwinkel CRA	4,99°
Etendue	5,10 mm²
mittlerer Wellenfrontfehler RMS	105,11 mλ,
Gesamttransmission	19,21 %
Position Eintrittspupille (x)	-1787,10 mm
Position Eintrittspupille (y)	-1744,09 mm
Objekt-Bild-Versatz	959,98 mm
Arbeitsabstand (M3 zu Bildfeld)	77 mm
z-Abstand zwischen Objektfeld und Bildfeld	2155,72 mm
Winkel zwischen Objekt- und Bildebene	0,0°
Bauraumerfordernis xyz	(740 × 1289 × 1808) mm

Tabelle 2 zu Fig. 4

	M1	M2	M3	M4
max. Einfallswinkel/°	7,0	10,3	18,0	7,0
min. Einfallswinkel/°	2,6	9,4	6,5	2,6
Spiegelerstreckung (x)/mm	464,9	418,3	236,1	739,6
Spiegelerstreckung (y)/mm	277,2	293,6	228,5	717,7
max. Spiegeldurchmesser/mm	465,7	419,3	236,8	740,4

Auf den Spiegeln M1 bis M4 liegen jeweils sehr kleine Einfallswinkel-Bandbreiten vor, die für alle Einzelstrahlen des Abbildungslichts 16 kleiner sind als 12 °. Auf dem Spiegel M2 der Projektionsoptik 28 liegt eine sehr kleine Einfallswinkel-Bandbreite vor, die kleiner ist als 2 ° und sogar kleiner ist als 1 °. Auch die absoluten Einfallswinkel sind auf den Spiegeln M1 bis M4 jeweils recht klein, nämlich für alle Einzelstrahlen kleiner als 20 °. Bei den Spiegeln M1 und M4 sind diese absoluten Einfallswinkel sogar für alle Einzelstrahlen kleiner als 10 ° und sogar kleiner als 8 °.
Keiner der Spiegel M1 bis M4 der Projektionsoptik 28 hat einen Durchmesser, der größer ist als 750 mm.
Ein maximales x/y-Aspektverhältnis der Flächenerstreckungen liegt bei der Projektionsoptik 28 beim Spiegel M1 vor und beträgt dort 1,68.
Die bildseitige numerische Apertur der Projektionsoptik 28 beträgt 0,28.
Die Projektionsoptik 28 hat eine Gesamttransmission von 19,21 %.
Die Polarisationsdrehung von linear polarisiertem Abbildungslicht 16 im Abbildungsstrahlengang der Projektionsoptik 28 zwischen dem Objektfeld 5 und dem Bildfeld 11 beträgt etwa 0 °.
Die Eintrittspupille der Projektionsoptik 28 liegt sowohl in der xz-Ebene als auch in der yz-Ebene im Abbildungsstrahlengang vor dem Objektfeld 5 und zwar etwa 1750 mm im Abbildungsstrahlengang vor dem Objektfeld 5. Dort kann insbesondere ein Pupillenfacettenspiegel der Beleuchtungsoptik 4 angeordnet sein.

Nachfolgend sind zur Projektionsoptik 28 nach 4 wiederum die optischen Designdaten im gleichen Format tabelliert, das oben zur Ausführung nach 2 bereits erläutert wurde. Tabelle 3 zu Fig. 4

z-Abstand [mm]	y-Abstand [mm]	Verkippung um x-Achse [Grad]
Bildfeld
0	0	0
M4
1265.259208	0	-4.891753
M3
87.643865	-203.060378	2.252342
M2
1874.587205	-658.154257	4.467444
M1
344.596382	-801.522927	-0.176651
Objektfeld
2155.723202	-959.975992	0

M4
RDX	-1459.985984
RDY	-1471.16496
CCX	0
CCY	0
x**i	y**j	Koeffizient
0	1	-7.411356E-04
2	1	-1.817703E-09
0	3	-1.142046E-10
4	0	-4.505287E-12
2	2	-9.337127E-12
0	4	-5.218128E-12
4	1	-8.902935E-16
2	3	-3.582759E-16
0	5	3.062720E-15
6	0	-2.276580E-18
4	2	-6.683108E-18
2	4	-7.875132E-18
0	6	-1.488301E-18
6	1	-3.286883E-21
4	3	-1.470188E-20
2	5	-4.386099E-20
0	7	-8.991473E-20
8	0	-3.452340E-24
6	2	-2.155999E-23
4	4	-4.893344E-23
2	6	2.633672E-23
0	8	8.990355E-23
8	1	3.023767E-26
6	3	2.218767E-25
4	5	4.968627E-25
2	7	9.922682E-25
0	9	1.014563E-24
10	0	3.887180E-29
8	2	2.997838E-28
6	4	9.380474E-28
4	6	1.137132E-27
2	8	-7.444560E-28
0	10	-1.439654E-27
10	1	-1.408401E-31
8	3	-2.327731E-30
6	5	-4.951165E-30
4	7	-8.803809E-30
2	9	-1.213767E-29
0	11	-6.185665E-30
12	0	-4.045153E-34
10	2	-3.641017E-33
8	4	-9.553028E-33
6	6	-2.308243E-32
4	8	-1.346996E-32
2	10	8.564910E-33
0	12	9.433408E-33
12	1	5.750699E-38
10	3	1.233052E-35
8	5	3.313836E-35
6	7	4.657227E-35
4	9	7.419267E-35
2	11	7.392669E-35
0	13	2.015834E-35
14	0	2.183652E-39
12	2	2.402104E-38
10	4	5.321841E-38
8	6	1.569644E-37
6	8	2.211418E-37
4	10	6.886862E-38
2	12	-4.654317E-38
0	14	-2.643409E-38
14	1	9.268157E-43
12	3	-2.473635E-41
10	5	-9.401326E-41
8	7	-1.324523E-40
6	9	-1.694528E-40
4	11	-2.350844E-40
2	13	-1.759871E-40
0	15	-2.796266E-41
16	0	-4.747404E-45
14	2	-6.265481E-44
12	4	-1.401714E-43
10	6	-3.678372E-43
8	8	-8.212117E-43
6	10	-6.930776E-43
4	12	-1.249946E-43
2	14	9.437368E-44
0	16	2.016067E-44

M3
RDX	993.417469
RDY	1047.579204
CCX	0
CCY	0
x**i	y**j	Koeffizient
0	1	-1.740816E-03
2	1	-1.564476E-07
0	3	-2.242914E-07
4	0	5.071709E-10
2	2	1.035067E-09
0	4	6.298150E-10
4	1	-5.531917E-13
2	3	-1.604328E-12
0	5	-2.083537E-12
6	0	1.291818E-15
4	2	4.819062E-15
2	4	8.579477E-15
0	6	8.389321E-15
6	1	1.331430E-17
4	3	3.811486E-17
2	5	1.325720E-16
0	7	2.818392E-16
8	0	7.660155E-20
6	2	-5.114559E-20
4	4	-8.478639E-20
2	6	-1.440522E-18
0	8	-2.876140E-18
8	1	-2.248822E-21
6	3	-6.556521E-21
4	5	-1.744590E-20
2	7	-3.022254E-20
0	9	-2.113127E-20
10	0	-1.236249E-23
8	2	2.701220E-23
6	4	1.738656E-24
4	6	9.451001E-23
2	8	3.054578E-22
0	10	3.596652E-22
10	1	1.689984E-25
8	3	5.727559E-25
6	5	1.428133E-24
4	7	3.256573E-24
2	9	3.468505E-24
0	11	2.388918E-25
12	0	1.215538E-27
10	2	-3.416089E-27
8	4	-3.094976E-27
6	6	3.846174E-28
4	8	-2.371755E-26
2	10	-3.317170E-26
0	12	-2.051409E-26
12	1	-5.749715E-30
10	3	-2.619638E-29
8	5	-6.240658E-29
6	7	-1.669648E-28
4	9	-2.781630E-28
2	11	-2.001536E-28
0	13	4.202469E-29
14	0	-6.120780E-32
12	2	1.794892E-31
10	4	4.684304E-31
8	6	-2.924202E-31
6	8	5.736029E-31
4	10	2.234436E-30
2	12	1.801868E-30
0	14	4.752822E-31
14	1	5.404010E-35
12	3	4.390788E-34
10	5	1.069309E-33
8	7	3.263713E-33
6	9	7.175869E-33
4	11	8.656268E-33
2	13	4.525034E-33
0	15	-1.508141E-33
16	0	1.221936E-36
14	2	-3.237546E-36
12	4	-1.768236E-35
10	6	2.943503E-36
8	8	9.790991E-36
6	10	-4.485353E-35
4	12	-7.093981E-35
2	14	-3.856464E-35
0	16	-1.425716E-36

M2
RDX	-12328.55323
RDY	-14249.78736
CCX	0
CCY	0
x**i	y**j	Koeffizient
0	1	8.441191E-03
2	1	1.702516E-08
0	3	3.597981E-08
4	0	-3.195563E-12
2	2	-3.584015E-12
0	4	-7.192425E-12
4	1	-1.273679E-15
2	3	9.673514E-15
0	5	7.429591E-15
6	0	-2.337422E-17
4	2	-4.113079E-17
2	4	-3.482538E-16
0	6	-1.250780E-15
6	1	3.393081E-19
4	3	-4.824056E-19
2	5	-1.266943E-18
0	7	1.087581E-17
8	0	1.841089E-21
6	2	4.421445E-21
4	4	9.901407E-21
2	6	6.548610E-20
0	8	1.270313E-19
8	1	-3.530077E-23
6	3	1.269091E-23
4	5	1.448321E-22
2	7	8.086313E-23
0	9	-2.340839E-21
10	0	-9.053332E-26
8	2	-2.749048E-25
6	4	-6.741347E-25
4	6	-1.346474E-24
2	8	-6.445753E-24
0	10	-5.433212E-24
10	1	1.704017E-27
8	3	1.130479E-27
6	5	-8.654484E-27
4	7	-1.541699E-26
2	9	-2.554007E-27
0	11	2.001114E-25
12	0	2.615771E-30
10	2	1.047683E-29
8	4	2.303065E-29
6	6	4.357951E-29
4	8	8.176319E-29
2	10	3.392389E-28
0	12	2.950021E-28
12	1	-3.884804E-32
10	3	-7.029084E-32
8	5	2.130590E-31
6	7	6.452493E-31
4	9	8.960452E-31
2	11	1.072324E-31
0	13	-8.072254E-30
14	0	-4.143649E-35
12	2	-2.319745E-34
10	4	-4.466640E-34
8	6	-3.691570E-34
6	8	-5.126553E-34
4	10	-1.115748E-33
2	12	-8.633275E-33
0	14	-1.693128E-32
14	1	3.398984E-37
12	3	1.036930E-36
10	5	-1.454444E-36
8	7	-9.455322E-36
6	9	-1.608054E-35
4	11	-2.270646E-35
2	13	-3.120909E-36
0	15	1.281055E-34
16	0	2.797219E-40
14	2	2.191745E-39
12	4	4.806919E-39
10	6	-3.144938E-39
8	8	-1.834862E-38
6	10	-3.041114E-38
4	12	-4.437899E-38
2	14	7.810250E-38
0	16	3.822764E-37

Tabelle 4 zu Fig. 4

M1
RDX	-4049.940492
RDY	-4011.364431
CCX	0
CCY	0
x**i	y**j	Koeffizient
0	1	-5.481922E-03
2	1	-6.747788E-09
0	3	-1.583252E-08
4	0	2.277802E-13
2	2	2.117441E-12
0	4	9.949218E-12
4	1	4.564205E-17
2	3	-1.739245E-14
0	5	-1.227968E-13
6	0	7.151025E-18
4	2	-2.590453E-17
2	4	1.793620E-17
0	6	1.120764E-15
6	1	-1.604675E-19
4	3	1.004635E-19
2	5	3.727676E-18
0	7	2.164669E-17
8	0	-5.441412E-22
6	2	1.816302E-21
4	4	8.206931E-21
2	6	-1.697825E-20
0	8	-3.319486E-19
8	1	1.302569E-23
6	3	-4.434767E-24
4	5	-3.219492E-23
2	7	-5.340782E-22
0	9	-1.457772E-21
10	0	2.421402E-26
8	2	-4.261739E-26
6	4	-5.147908E-25
4	6	-7.349540E-25
2	8	3.211751E-24
0	10	3.694368E-23
10	1	-5.067503E-28
8	3	-1.989270E-28
6	5	2.259795E-27
4	7	2.745965E-27
2	9	4.114472E-26
0	11	3.673559E-26
12	0	-5.865349E-31
10	2	-3.692018E-32
8	4	1.402344E-29
6	6	3.771171E-29
4	8	2.747047E-29
2	10	-2.713491E-28
0	12	-2.126680E-27
12	1	9.300679E-33
10	3	1.282166E-32
8	5	-5.168761E-32
6	7	-1.174732E-31
4	9	-1.259425E-31
2	11	-1.596138E-30
0	13	1.951698E-31
14	0	7.321206E-36
12	2	1.458921E-35
10	4	-1.658061E-34
8	6	-7.491998E-34
6	8	-1.098496E-33
4	10	-4.891952E-34
2	12	1.091569E-32
0	14	6.247808E-32
14	1	-6.524460E-38
12	3	-1.594904E-37
10	5	3.026949E-37
8	7	1.614172E-36
6	9	1.830610E-36
4	11	2.652557E-36
2	13	2.417602E-35
0	15	-1.697322E-35
16	0	-3.709766E-41
14	2	-1.443243E-40
12	4	6.063705E-40
10	6	5.172541E-39
8	8	1.082790E-38
6	10	1.302819E-38
4	12	4.199247E-39
2	14	-1.692833E-37
0	16	-7.411635E-37

5 zeigt eine weitere Ausführung einer Projektionsoptik, beziehungsweise abbildenden Optik 29, die anstelle der Projektionsoptik 10 der Ausführung nach 1 bei der Projektionsbelichtungsanlage 1 zum Einsatz kommen kann. Komponenten und Funktionen, die denjenigen entsprechen, die vorstehend im Zusammenhang mit den 1 bis 4 und insbesondere im Zusammenhang mit den 2 bis 4 bereits erläutert wurden, tragen die gleichen Bezugsziffern und werden nicht nochmals im Einzelnen diskutiert.
Das grundsätzliche Design der Projektionsoptik 29 ähnelt dem der Ausführung beispielweise nach 2 der DE 10 2018 214 437 A1 .
Die ersten beiden Spiegel M1 und M2 werden durchgehend reflektiv genutzt und die beiden nachfolgenden Spiegel M3 und M4 haben jeweils eine Durchtrittsöffnung 30, 31 zum Durchtritt des Abbildungslichts 16 im Abbildungsstrahlengang der Projektionsoptik 29.
Aufgrund der Durchtrittsöffnung 30 sind 25,3 % einer gesamten Reflexionsfläche des Spiegels M3 obskuriert. Aufgrund der Durchtrittsöffnung 31 sind 25,6 % einer gesamten Reflexionsfläche des Spiegels M4 obskuriert.
Die Projektionsoptik 29 hat eine bildseitige numerische Apertur von 0,33.
Das Bildfeld 11 der Projektionsoptik 29 ist rechteckig. Das Bildfeld 11 hat eine x-Erstreckung von 26 mm und eine y-Erstreckung von 2,5 mm.
Eine Pupillenebene liegt im Abbildungsstrahlengang zwischen den Spiegeln M3 und M4 vor. Dort kann eine Aperturblende AS angeordnet sein, wie in der 5 angedeutet.
Eine Gesamttransmission beträgt bei der Projektionsoptik 29 17,28 %.
Die Polarisationsdrehung von linear polarisiertem Abbildungslicht 16 im Abbildungsstrahlengang der Projektionsoptik 29 zwischen dem Objektfeld 5 und dem Bildfeld 11 beträgt etwa 0 °.
Ein Objekt-Bild-Versatz ist bei der Projektionsoptik 29 deutlich kleiner als bei den Projektionsoptiken 27 und 28 und beträgt bei der Projektionsoptik 29 etwa 200 mm.

Nachfolgend sind in Bezug auf die Projektionsoptik 29 wieder Kernparameter des optischen Designs tabelliert: Tabelle 1 zu Fig. 5

Nutzwellenlänge	13,5 nm
bildseitige numerische Apertur	0,33
Abbildungsmaßstab	-4,00
Hauptstrahlwinkel CRA	5,00 °
Etendue	7,08 mm²
mittlerer Wellenfrontfehler RMS	50,64 mλ
Gesamttransmission	17,28 %
Position Eintrittspupille (x)	2812,91 mm
Position Eintrittspupille (y)	2964,98 mm
Objekt-Bild-Versatz	203,26 mm
Arbeitsabstand (M3 zu Bildfeld)	75 mm
z-Abstand zwischen Objektfeld und Bildfeld	2385,61 mm
Winkel zwischen Objekt- und Bildebene	-0,0 °
Bauraumerfordernis xyz	(1096 × 1070 × 2051) mm

Tabelle 2 zu Fig. 5

	M1	M2	M3	M4
max. Einfallswinkel/°	26,2	23,5	9,5	3,3
min. Einfallswinkel/°	14,4	13,2	0,2	0,2
Spiegelerstreckung (x)/mm	164,8	235,0	381,0	1096,1
Spiegelerstreckung (y)/mm	92,7	152,7	370,7	1069,6
max. Spiegeldurchmesser/mm	165,4	235,8	381,7	1096,1

Bei der Projektionsoptik 29 liegen auf den Spiegeln M3 und M4 jeweils sehr kleine Einfallswinkel vor, die für jeden Einzelstrahl kleiner sind als 10 °. Beim Spiegel M4 ist der größte Einfallswinkel sogar kleiner als 5 °, sogar kleiner als 4 °.
Ein maximales x/y-Aspektverhältnis der Reflexionsflächenerstreckungen liegt bei der Projektionsoptik 29 beim Spiegel M1 vor und beträgt dort 1,77.
Keiner der Spiegel M1 bis M4 hat einen Durchmesser, der größer ist als 1100 mm.

Nachfolgend sind zur Projektionsoptik 29 nach 5 wiederum die optischen Designdaten im gleichen Format tabelliert, das oben zur Ausführung nach 2 bereits erläutert wurde. Tabelle 3 zu Fig. 5

z-Abstand [mm]	y-Abstand [mm]	Verkippung um x-Achse [Grad]
Bildfeld
0	0	0
M4
1602.762713	0	-0.221361
M3
85.563209	-10.89504	-0.7957
M2
2105.234774	28.179636	17.232651
M1
1916.355899	161.567845	15.328909
Objektfeld
2385.606084	203.256135	0

M4
RDX		-1896.612449
RDY		-1898.000451
CCX			0
CCY			0
x**i		y**j		Koeffizient
	2		1		-2.774952E-10
	0		3		-2.592514E-10
	4		0		-2.034136E-12
	2		2		-4.046657E-12
	0		4		-2.193125E-12
	4		1		-4.941871E-17
	2		3		-8.317272E-17
	0		5		-5.068573E-16
	6		0		-6.915420E-19
	4		2		-2.075615E-18
	2		4		-2.142960E-18
	0		6		1.472719E-19
	6		1		2.263475E-23
	4		3		-6.450748E-23
	2		5		-4.341871E-22
	0		7		1.229492E-21
	8		0		-1.981639E-25
	6		2		-6.187089E-25
	4		4		-1.265732E-24
	2		6		6.304428E-26
	0		8		-3.359561E-24
	8		1		-3.685176E-28
	6		3		-5.177311E-28
	4		5		1.189740E-27
	2		7		3.423550E-27
	0		9		-2.160284E-27
	10		0		-1.601533E-31
	8		2		-2.591068E-30
	6		4		-1.846959E-30
	4		6		3.998578E-30
	2		8		-6.319116E-30
	0		10		7.185171E-30
	10		1		1.889933E-33
	8		3		6.119518E-33
	6		5		-1.288347E-33
	4		7		-1.151201E-32
	2		9		-1.915542E-32
	0		11		-3.586685E-34
	12		0		6.058319E-37
	10		2		1.343291E-35
	8		4		1.890085E-35
	6		6		-1.512723E-35
	4		8		-4.940575E-35
	2		10		2.593279E-35
	0		12		-6.752728E-36
	12		1		-4.796194E-39
	10		3		-2.305475E-38
	8		5		-1.913224E-38
	6		7		2.577847E-38
	4		9		4.190837E-38
	2		11		5.627113E-38
	0		13		1.060108E-38
	14		0		-1.657266E-42
	12		2		-3.773344E-41
	10		4		-8.364551E-41
	8		6		-2.694547E-41
	6		8		1.502360E-40
	4		10		1.967819E-40
	2		12		-6.174345E-41
	0		14		-4.860142E-42
	14		1		4.836337E-45
	12		3		2.918613E-44
	10		5		5.068683E-44
	8		7		2.594062E-47
	6		9		-5.659188E-44
	4		11		-5.363765E-44
	2		13		-6. 584444 E-44
	0		15		-1.482130E-44
	16		0		1.655768E-48
	14		2		4.016054E-47
	12		4		1.199545E-46
	10		6		1.177798E-46
	8		8		-7.418456E-47
	6		10		-3.348069E-46
	4		12		-2.699080E-46
	2		14		6.040288E-47
	0		16		1.017435E-47

M3
RDX		2152.094958
RDY		2170.791343
CCX			0
CCY			0
x**i		y**j		Koeffizient
	2		1		4.621465E-09
	0		3		4.171487E-09
	4		0		1.490248E-10
	2		2		2.950115E-10
	0		4		1.607555E-10
	4		1		9.401010E-15
	2		3		1.629859E-14
	0		5		1.123310E-13
	6		0		1.525762E-16
	4		2		4.530267E-16
	2		4		4.915723E-16
	0		6		-4.203565E-16
	6		1		-4.795272E-21
	4		3		-2.488879E-20
	2		5		5.671921E-19
	0		7		-2.369938E-18
	8		0		6.258650E-22
	6		2		2.102143E-21
	4		4		4.441941E-21
	2		6		-2.712567E-21
	0		8		1.865416E-20
	8		1		5.860996E-25
	6		3		1.447554E-23
	4		5		3.167383E-24
	2		7		-3.814351E-23
	0		9		3.809653E-23
	10		0		-2.394789E-26
	8		2		-7.996981E-26
	6		4		-3.002289E-25
	4		6		-4.293578E-25
	2		8		2.253172E-25
	0		10		-3.830409E-25
	10		1		2.027308E-29
	8		3		-7.461065E-28
	6		5		-1.039090E-27
	4		7		2.731521E-28
	2		9		1.890663E-27
	0		11		-1.427744E-28
	12		0		8.323626E-31
	10		2		2.959543E-30
	8		4		1.387158E-29
	6		6		2.704898E-29
	4		8		2.693460E-29
	2		10		-8.501992E-30
	0		12		4.197506E-30
	12		1		-1.084649E-33
	10		3		1.565999E-32
	8		5		4.332552E-32
	6		7		2.326563E-32
	4		9		-1.735573E-32
	2		11		-4.887520E-32
	0		13		-7.735360E-33
	14		0		-1.502837E-35
	12		2		-5.727984E-35
	10		4		-3.132230E-34
	8		6		-7.367812E-34
	6		8		-1.015308E-33
	4		10		-7.698205E-34
	2		12		1.705278E-34
	0		14		-1.365811E-35
	14		1		1.231658E-38
	12		3		-1.099287E-37
	10		5		-5.353450E-37
	8		7		-6.055353E-37
	6		9		-1.346645E-37
	4		11		2.629146E-37
	2		13		4.961818E-37
	0		15		1.062565E-37
	16		0		1.107682E-40
	14		2		4.675367E-40
	12		4		2.782630E-39
	10		6		7.946130E-39
	8		8		1.216237E-38
	6		10		1.382898E-38
	4		12		8.159712E-39
	2		14		-1.356714E-39
	0		16		-4.702174E-41

M2
RDX		-1923.1304
RDY		-2219.473474
CCX			0
CCY			0
x**i		y**j		Koeffizient
	2		1		-5.748117E-08
	0		3		-5.004139E-08
	4		0		4.009398E-11
	2		2		6.746734E-11
	0		4		-1.594106E-10
	4		1		-1.230988E-14
	2		3		-5.006134E-14
	0		5		-3.174698E-12
	6		0		5.542537E-17
	4		2		4.325988E-16
	2		4		-1.568903E-15
	0		6		5.226648E-14
	6		1		-2.656489E-18
	4		3		-1.430353E-17
	2		5		-3.423005E-18
	0		7		5.628867E-16
	8		0		-5.365074E-21
	6		2		-1.468642E-19
	4		4		-9.741380E-20
	2		6		1.308915E-18
	0		8		-1.410339E-17
	8		1		4.972131E-22
	6		3		2.366641E-21
	4		5		1.210811E-20
	2		7		4.231993E-21
	0		9		-7.738693E-20
	10		0		2.736194E-25
	8		2		3.243836E-23
	6		4		6.849828E-23
	4		6		-4.760068E-25
	2		8		-5.749294E-22
	0		10		2.976643E-21
	10		1		-5.763081E-26
	8		3		-2.920835E-25
	6		5		-1.414582E-24
	4		7		-4.641822E-24
	2		9		-1.429389E-24
	0		11		6.416399E-24
	12		0		8.738299E-30
	10		2		-3.688634E-27
	8		4		-1.252427E-26
	6		6		-1.708211E-26
	4		8		3.385225E-27
	2		10		1.397095E-25
	0		12		-4.367528E-25
	12		1		3.426769E-30
	10		3		2.091941E-29
	8		5		7.711087E-29
	6		7		3.839325E-28
	4		9		7.460093E-28
	2		11		2.815766E-28
	0		13		-5.627423E-29
	14		0		-1.572900E-33
	12		2		2.085214E-31
	10		4		9.511523E-31
	8		6		2.105344E-30
	6		8		2.965991E-30
	4		10		-2.065715E-31
	2		12		-1.641397E-29
	0		14		3.933252E-29
	14		1		-7.846332E-35
	12		3		-6.205612E-34
	10		5		-1.047769E-33
	8		7		-1.182934E-32
	6		9		-2.637610E-32
	4		11		-4.848910E-32
	2		13		-2.268051E-32
	0		15		-2.243898E-32
	16		0		4.842555E-38
	14		2		-4.655643E-36
	12		4		-2.666823E-35
	10		6		-6.958593E-35
	8		8		-1.815569E-34
	6		10		-1.816555E-34
	4		12		-7.206911E-35
	2		14		7.115489E-34
	0		16		-1.638864E-33

Tabelle 4 zu Fig. 5

M1
RDX		1755.063305
RDY		2147.601582
CCX			0
CCY			0
x**i		y**j		Koeffizient
	2		1		1.184699E-07
	0		3		9.573008E-08
	4		0		-1.428257E-10
	2		2		-2.292500E-10
	0		4		4.643347E-10
	4		1		-2.924438E-14
	2		3		1.123224E-13
	0		5		2.386181E-11
	6		0		-1.557101E-16
	4		2		-1.199582E-15
	2		4		2.034369E-14
	0		6		-4.478883E-13
	6		1		5.281243E-17
	4		3		1.609890E-16
	2		5		6.441107E-17
	0		7		-1.432148E-14
	8		0		-2.071742E-21
	6		2		9.858022E-19
	4		4		-1.727492E-18
	2		6		-3.838913E-17
	0		8		3.742033E-16
	8		1		-2.372994E-20
	6		3		-5.674282E-20
	4		5		-3.447810E-19
	2		7		-1.578190E-19
	0		9		7.142425E-18
	10		0		1.144218E-23
	8		2		-6.459108E-22
	6		4		-3.927221E-22
	4		6		3.937244E-21
	2		8		4.270203E-20
	0		10		-2.443914E-19
	10		1		5.927660E-24
	8		3		1.757922E-23
	6		5		7.237423E-23
	4		7		3.537100E-22
	2		9		1.449351E-22
	0		11		-2.532107E-21
	12		0		-3.266350E-27
	10		2		1.813940E-25
	8		4		4.934095E-25
	6		6		-2.791265E-25
	4		8		-3.336562E-24
	2		10		-2.685800E-23
	0		12		1.091363E-22
	12		1		-7.321071E-28
	10		3		-2.950208E-27
	8		5		-7.408885E-27
	6		7		-5.487276E-26
	4		9		-1.424537E-25
	2		11		-8.244894E-26
	0		13		5.001853E-25
	14		0		4.113048E-31
	12		2		-2.295726E-29
	10		4		-1.048887E-28
	8		6		-1.347135E-28
	6		8		1.452659E-28
	4		10		1.243200E-27
	2		12		8.407264E-27
	0		14		-2.887808E-26
	14		1		3.482369E-32
	12		3		1.831772E-31
	10		5		1.965410E-31
	8		7		3.080072E-30
	6		9		9.355299E-30
	4		11		2.367852E-29
	2		13		1.770252E-29
	0		15		-3.765155E-29
	16		0		-1.986410E-35
	14		2		1.093730E-33
	12		4		6.966547E-33
	10		6		1.404361E-32
	8		8		3.229483E-32
	6		10		-4.917594E-32
	4		12		-1.139920E-31
	2		14		-1.017838E-30
	0		16		3.372124E-30

6 zeigt eine weitere Ausführung einer Projektionsoptik, beziehungsweise abbildenden Optik 32, die anstelle der Projektionsoptik 10 der Ausführung nach 1 bei der Projektionsbelichtungsanlage 1 zum Einsatz kommen kann. Komponenten und Funktionen, die denjenigen entsprechen, die vorstehend im Zusammenhang mit den 1 bis 5 und insbesondere im Zusammenhang mit den 2 bis 5 bereits erläutert wurden, tragen die gleichen Bezugsziffern und werden nicht nochmals im Einzelnen diskutiert.
Im Unterschied zur Projektionsoptik 29 nach 5 ist bei der Projektionsoptik 32 nach 6 die Objektebene 6 zur Bildebene 12 nicht parallel, sondern zu dieser verkippt. Ein Winkel zwischen der Objektebene 6 und der Bildebene 12 beträgt bei der Projektionsoptik 32 8,3 °. Dieser Winkel ist also kleiner als 10 °.

Nachfolgend sind in Bezug auf die Projektionsoptik 32 wieder Kernparameter des optischen Designs tabelliert: Tabelle 1 zu Fig. 6

Nutzwellenlänge	13,5 nm
bildseitige numerische Apertur	0,33
Abbildungsmaßstab	-4,00
Hauptstrahlwinkel CRA	5,00°
Etendue	7,08 mm²
mittlerer Wellenfrontfehler RMS	61,41 mλ
Gesamttransmission	17,37 %
Position Eintrittspupille (x)	1883,14 mm
Position Eintrittspupille (y)	1601,18 mm
Objekt-Bild-Versatz	109,39 mm
Arbeitsabstand (M3 zu Bildfeld)	75 mm
z-Abstand zwischen Objektfeld und Bildfeld	2156,00 mm
Winkel zwischen Objekt- und Bildebene	-8,3°
Bauraumerfordernis xyz	(997 × 975 × 1797) mm

Tabelle 2 zu Fig. 6

	M1	M2	M3	M4
max. Einfallswinkel/°	24,6	26,0	9,3	3,9
min. Einfallswinkel/°	11,5	13,7	0,0	0,2
Spiegelerstreckung (x)/mm	157,3	217,9	399,7	997,0
Spiegelerstreckung (y)/mm	91,7	161,9	392,3	975,0
max. Spiegeldurchmesser/mm	157,7	218,9	400,0	997,8

Das maximale x/y-Aspektverhältnis der Reflexionsflächenerstreckung liegt bei der Projektionsoptik 32 bei Spiegel M1 vor und beträgt dort 1,71.
Die Gesamttransmission der Projektionsoptik 32 beträgt 17,37 %.
Die Polarisationsdrehung von linear polarisiertem Abbildungslicht 16 im Abbildungsstrahlengang der Projektionsoptik 32 zwischen dem Objektfeld 5 und dem Bildfeld 11 beträgt etwa 1,4 °.

Aufgrund der Durchtrittsöffnung 30 sind 24,4 % einer gesamten Reflexionsfläche des Spiegels M3 obskuriert. Aufgrund der Durchtrittsöffnung 31 sind 26,0 % einer gesamten Reflexionsfläche des Spiegels M4 obskuriert.Nachfolgend sind zur Projektionsoptik 32 nach 6 wiederum die optischen Designdaten im gleichen Format tabelliert, das oben zur Ausführung nach 2 bereits erläutert wurde. Tabelle 3 zu Fig. 6

z-Abstand [mm]	y-Abstand [mm]	Verkippung um x-Achse [Grad]
Bildfeld
0	0	0
M4
1458.185065	0	-0.266921
M3
83.461902	-13.009742	-0.41328
M2
1848.166908	-2.599705	19.513997
M1
1676.945301	137.885982	21.303345
Objektfeld
2155.999495	109.392218	8.298895

M4
RDX	-1781.351688
RDY	-1786.933058
CCX	0
CCY	0
x**i	y**j	Koeffizient
2	1	-1.577032E-09
0	3	-8.754015E-10
4	0	-2.763784E-12
2	2	-5.361566E-12
0	4	-3.499969E-12
4	1	-4.349902E-16
2	3	-6.866580E-16
0	5	-1.333906E-15
6	0	-1.125273E-18
4	2	-3.285566E-18
2	4	-3.499881E-18
0	6	2.469208E-18
6	1	-1.123221E-22
4	3	-3.026120E-22
2	5	-5.826308E-22
0	7	1.299257E-21
8	0	-3.212716E-25
6	2	-1.473202E-24
4	4	-2.399569E-24
2	6	-2.873776E-25
0	8	-1.250687E-23
8	1	-7.893464E-29
6	3	-2.928983E-28
4	5	-6.749919E-28
2	7	-5.553059E-28
0	9	3.807155E-27
10	0	-3.727491E-31
8	2	-8.324067E-31
6	4	-1.256065E-30
4	6	9.537689E-32
2	8	-4.272432E-30
0	10	2.378393E-29
10	1	9.290659E-36
8	3	-9.638184E-34
6	5	1.581225E-33
4	7	6.223740E-34
2	9	6.475910E-33
0	11	-1.673891E-32
12	0	3.309670E-37
10	2	1.698787E-37
8	4	-4.077089E-37
6	6	-1.640044E-36
4	8	-4.464894E-36
2	10	4.555441E-36
0	12	-1.966704E-35
12	1	3.665695E-41
10	3	3.355117E-39
8	5	1.871653E-39
6	7	-2.898512E-39
4	9	2.752840E-39
2	11	-1.316362E-38
0	13	1.823380E-38

M3
RDX	2756.438197
RDY	2799.881003
CCX	0
CCY	0
x**i	y**j	Koeffizient
2	1	2.336844E-08
0	3	9.616894E-09
4	0	1.269254E-10
2	2	2.433646E-10
0	4	1.560478E-10
4	1	3.072222E-14
2	3	4.943873E-14
0	5	1.421980E-13
6	0	1.106007E-16
4	2	3.153900E-16
2	4	3.619385E-16
0	6	-8.704664E-16
6	1	4.815942E-20
4	3	9.375829E-20
2	5	1.372310E-19
0	7	-1.144889E-18
8	0	1.649856E-22
6	2	6.191820E-22
4	4	1.055121E-21
2	6	-1.063376E-21
0	8	2.048025E-20
8	1	-2.720588E-25
6	3	2.436473E-24
4	5	3.138023E-24
2	7	4.993968E-24
0	9	-1.149177E-23
10	0	-6.073156E-28
8	2	-2.606917E-27
6	4	-1.922072E-27
4	6	-1.107514E-26
2	8	2.608892E-26
0	10	-2.485678E-25
10	1	1.344650E-29
8	3	-2.550393E-29
6	5	-1.370734E-28
4	7	-2.756973E-29
2	9	-1.957515E-28
0	11	3.747474E-28
12	0	8.548938E-33
10	2	5.122573E-32
8	4	6.687237E-32
6	6	9.839367E-32
4	8	2.203827E-31
2	10	-1.748925E-31
0	12	1.270232E-30
12	1	-1.425391E-34
10	3	-4.555582E-35
8	5	1.494223E-33
6	7	1.459523E-33
4	9	-5.314405E-34
2	11	2.176709E-33
0	13	-2.586810E-33

M2
RDX	-2362.925822
RDY	-2065.32297
CCX	0
CCY	0
x**i	y**j	Koeffizient
2	1	-1.601565E-07
0	3	-8.212809E-08
4	0	1.256633E-10
2	2	2.273679E-10
0	4	-3.792821E-10
4	1	-5.883858E-14
2	3	-1.282392E-13
0	5	-4.030038E-12
6	0	3.481209E-16
4	2	8.356580E-16
2	4	-2.299657E-16
0	6	7.799752E-14
6	1	-1.826514E-18
4	3	-2.126057E-18
2	5	2.370234E-17
0	7	3.766295E-16
8	0	-3.663222E-20
6	2	-8.479403E-20
4	4	-1.636193E-20
2	6	3.559382E-20
0	8	-1.031778E-17
8	1	2.040449E-22
6	3	-1.116659E-21
4	5	1.574054E-21
2	7	-7.064762E-21
0	9	-1.718828E-20
10	0	2.834490E-24
8	2	8.990412E-24
6	4	6.428969E-24
4	6	-8.874749E-24
2	8	2.605661E-23
0	10	8.388679E-22
10	1	-1.561690E-26
8	3	1.232149E-25
6	5	-5.193271E-27
4	7	-5.693922E-25
2	9	1.290030E-24
0	11	6.105191E-25
12	0	-8.680887E-29
10	2	-3.818533E-28
8	4	-4.550999E-28
6	6	3.301563E-28
4	8	6.066363E-28
2	10	-3.096519E-27
0	12	-2.959578E-26
12	1	4.264558E-31
10	3	-4.018665E-30
8	5	-6.089999E-30
6	7	4.389431E-29
4	9	3.597680E-29
2	11	-9.006648E-29
0	13	-3.287759E-29

Tabelle 4 zu Fig. 6

M1
RDX	1802.158337
RDY	1383.333286
CCX	0
CCY	0
x**i	y**j	Koeffizient
2	1	3.055289E-07
0	3	1.588269E-07
4	0	-3.233031E-10
2	2	-6.599977E-10
0	4	1.769134E-09
4	1	-7.323518E-14
2	3	7.857463E-13
0	5	2.871263E-11
6	0	-2.170601E-15
4	2	-5.922462E-15
2	4	1.141578E-14
0	6	-1.133979E-12
6	1	1.102227E-17
4	3	1.534716E-17
2	5	-8.062953E-16
0	7	-7.331779E-15
8	0	5.452183E-19
6	2	1.822246E-18
4	4	5.345617E-19
2	6	-3.704703E-18
0	8	4.846948E-16
8	1	6.366046E-22
6	3	4.847363E-20
4	5	-5.123540E-20
2	7	5.804308E-19
0	9	2.023231E-19
10	0	-7.833507E-23
8	2	-3.460998E-22
6	4	-3.977246E-22
4	6	8.773183E-22
2	8	-2.790707E-21
0	10	-1.266135E-19
10	1	-3.898393E-25
8	3	-1.076683E-23
6	5	-8.909172E-24
4	7	6.160100E-23
2	9	-2.833607E-22
0	11	1.946035E-22
12	0	4.510808E-27
10	2	2.752066E-26
8	4	3.836562E-26
6	6	-4.564857E-26
4	8	-1.917629E-25
2	10	1.179558E-24
0	12	1.431623E-23
12	1	3.899648E-29
10	3	7.419905E-28
8	5	1.765702E-27
6	7	-9.379213E-27
4	9	-8.205350E-27
2	11	5.723353E-26
0	13	-1.509316E-26

7 zeigt eine weitere Ausführung einer Projektionsoptik, beziehungsweise abbildenden Optik 33, die anstelle der Projektionsoptik 10 der Ausführung nach 1 bei der Projektionsbelichtungsanlage 1 zum Einsatz kommen kann. Komponenten und Funktionen, die denjenigen entsprechen, die vorstehend im Zusammenhang mit den 1 bis 6 und insbesondere im Zusammenhang mit den 2 bis 6 bereits erläutert wurden, tragen die gleichen Bezugsziffern und werden nicht nochmals im Einzelnen diskutiert.
Die bildseitige numerische Apertur der Projektionsoptik 33 beträgt 0,33.
Ein mittlerer Wellenfrontfehler RMS beträgt bei der Projektionsoptik 33 47,2 mλ.
Eine x-Position der Eintrittspupille liegt bei mehr als 5 m im Abbildungsstrahlengang nach dem Objektfeld 5. Eine y-Position der Eintrittspupille der Projektionsoptik 33 liegt mehr als 8 m im Abbildungsstrahlengang vor dem Objektfeld 5. Auch bei der Projektionsoptik 33 liegt also in guter Näherung eine objektseitige Telezentrie vor.
Die Gesamttransmission beträgt bei der Projektionsoptik 33 15,6 %.
Die Polarisationsdrehung von linear polarisiertem Abbildungslicht 16 im Abbildungsstrahlengang der Projektionsoptik 33 zwischen dem Objektfeld 5 und dem Bildfeld 11 beträgt etwa 0,5 °.
Alle vorstehend beschriebenen Projektionsoptiken sind so ausgeführt, dass sie eine sehr geringe polarisationsdrehende Wirkung für linear längs des Abbildungsstrahlengangs propagierendes Abbildungslicht 16 haben. Linear polarisiertes, längs des Abbildungsstrahlengangs zwischen dem Objektfeld 5 und dem Bildfeld 11 propagierendes Abbildungslicht 16 erfährt eine Polarisationsdrehung, die kleiner ist als 10 °, die kleiner ist als 7 ° und die auch kleiner sein kann als 5 °. Bei den Projektionsoptiken 28 und 29 ist diese Polarisationsdrehung sehr klein und kann insbesondere kleiner sein als 1 °. Im Regelfall ist die Polarisationsdrehung größer als 0 °.
Die Projektionsoptik 33 hat einen Hauptstrahlwinkel CRA von 6,0 °.
Bei der Projektionsoptik 33 liegt zwischen der Objektebene 6 und der Bildebene 12 ein Kippwinkel von 8,6 ° vor.
Ein Objekt-Bild-Versatz liegt bei der Projektionsoptik 33 bei 415 mm.
Ein Bauraumerfordernis in x/y-Richtung beträgt bei der Projektionsoptik 33 1450 mm.
Ein Arbeitsabstand des wafernächsten Spiegels zum Bildfeld 11 beträgt bei der Projektionsoptik 33 50 mm.
Bei der Projektionsoptik 33 kreuzt sich ein Abbildungsstrahlengang-Abschnitt zwischen dem Objektfeld 5 und dem Spiegel M1 mit einem Abbildungsstrahlengang-Abschnitt zwischen dem Spiegel M2 und dem Spiegel M3 in einem Kreuzungsbereich 34.
Auch die Spiegel M1 bis M4 der Projektionsoptik 33 haben Freiform-Reflexionsflächen. Diese Freiformflächen der Spiegel M1 bis M4 der Projektionsoptik 33 können durch eine Flächengleichung beschrieben werden, die erläutert ist in dem Fachartikel „Characterizing the shape of freeform optics" von G.W. Forbes, Optics Express, 2012, Vol. 20, Nr. 3, Seiten 2483 bis 2499. Freiformflächen in einer derartigen Flächenbeschreibung werden auch als Forbes-Freiformflächen bezeichnet.
Die Forbes-Freiformflächengleichung lautet: $\begin{matrix} z (h, θ) = \frac{ρ h^{2}}{1 + \sqrt{1} - (1 + κ) ρ^{2} h^{2}} + \frac{\sqrt{1 - κ ρ^{2} h^{2}}}{\sqrt{1 - (1 + κ) ρ^{2} h^{2}}} u^{2} (1 - u^{2}) \sum_{n = 0}^{N} a_{n}^{0} Q_{n}^{0} (u^{2}) \\ + \frac{\sqrt{1 - κ ρ^{2} h^{2}}}{\sqrt{1 - (1 + κ) ρ^{2} h^{2}}} \sum_{m = 1}^{M} u^{m} \sum_{n = 0}^{N} [a_{n}^{m} cos (m θ) + b_{n}^{m} sin (m θ)] Q_{n}^{m} (u^{2}) \end{matrix}$
Für die Parameter dieser Gleichung (2) gilt:

z ist die Pfeilhöhe der Freiformfläche am Punkt h, θ, wobei h die radiale Koordinate und θ die azimutale Koordinate dieses Punktes ist;
u = h/NH ist eine normalisierte radiale Koordinate;
ρ ist die Krümmung, ist also die Inverse des Krümmungsradius RD;
κ ist die konische Konstante, entspricht also den Werten CC der obigen Tabellen;
Q^m _n sind die orthogonalen Polynome auf dem Einheitskreis, die in dem oben erwähnten Fachartikel von Forbes beschrieben sind.

Die optischen Designdaten der Projektionsoptik 33 können den nachfolgenden Tabellen 1 und 2 entnommen werden. Die Koeffizienten in der nachfolgenden Tabelle 2 sind die Koeffizienten $a_{n}^{m}$
der obigen Gleichung (2). Die Koeffzienten $b_{n}^{m}$
sind Null.

Nachfolgend sind zur Projektionsoptik 33 nach 7 wiederum die optischen Designdaten im gleichen Format tabelliert, das oben zur Ausführung nach 2 bereits erläutert wurde. Tabelle 1 zu Fig. 7

z-Abstand [mm]	y-Abstand [mm]	Verkippung um x-Achse [Grad]
Bildfeld
0	0	0
M4
499.479655	-1.252109	-14.266825
M3
129.297951	-202.71356	0.224322
M2
1450.112914	-934.129645	23.188425
M1
74.84813	-503.522568	7.398378
Objektfeld
2080.169381	-412.759825	-8.55828

M4
RD	-674.141685
CC	-7.057546
NH	178
m (azimutal)	n (radial)	Koeffizient
0	1	2.158826E+00
0	2	9.053848E-02
0	3	8.326399E-03
0	4	7.630368E-04
0	5	7.504028E-05
0	6	7.611690E-06
0	7	7.393046E-07
0	8	5.906798E-08
0	9	3.553988E-08
0	10	1.328395E-08
1	0	-2.461487E-01
2	0	8.280850E-01
1	1	4.060911E-01
3	0	8.152266E-02
2	1	-2.177222E-02
1	2	-8.231040E-03
4	0	7.398675E-04
3	1	-2.394160E-03
2	2	1.474217E-03
1	3	6.070534E-04
5	0	-2.350329E-04
4	1	-4.210644E-05
3	2	9.123412E-05
2	3	8.582007E-05
1	4	3.820082E-05
6	0	-8.369689E-05
5	1	-2.685826E-05
4	2	-1.834685E-06
3	3	2.745246E-06
2	4	1.087568E-05
1	5	6.213705E-06
7	0	-1.841681E-05
6	1	1.368494E-06
5	2	-1.020304E-06
4	3	-4.929447E-08
3	4	-1.063891E-07
2	5	1.454338E-06
1	6	9.664322E-07

M3
RD	-703.081741
CC	-3.803876
NH	122.2
m (azimutal)	n (radial)	Koeffizient
0	1	4.007976E-01
0	2	1.117137E-03
0	3	1.362501E-04
0	4	3.380156E-06
0	5	-6.932871E-08
0	6	-2.330231E-09
0	7	-1.499203E-08
0	8	1.708493E-08
0	9	1.663774E-08
0	10	8.506459E-10
1	0	8.127828E-03
2	0	7.774468E-01
1	1	-4.475010E-02
3	0	1.146000E-01
2	1	-1.712697E-02
1	2	1.640428E-03
4	0	6.971913E-03
3	1	-2.987492E-03
2	2	4.508978E-04
1	3	-3.487619E-06
5	0	-1.168978E-03
4	1	-3.768545E-04
3	2	6.215257E-05
2	3	2.173801E-06
1	4	1.034637E-05
6	0	-2.019444E-04
5	1	-2.215596E-05
4	2	6.847336E-06
3	3	-1.864898E-06
2	4	-1.067963E-06
1	5	3.143095E-06
7	0	-3.869970E-05
6	1	1.402010E-06
5	2	-1.124569E-06
4	3	-4.110751E-07
3	4	9.245766E-08
2	5	1.239770E-07
1	6	3.386706E-07

M2
RD	-2266.478893
CC	3.87813
NH	469
m (azimutal)	n (radial)	Koeffizient
0	1	-2.429214E+00
0	2	7.665298E-02
0	3	-2.801257E-03
0	4	8.885453E-05
0	5	-2.126937E-06
0	6	-9.077928E-08
0	7	-8.362647E-08
0	8	7.011289E-08
0	9	-3.590886E-10
0	10	-1.816603E-09
1	0	9.023216E-02
2	0	5.484354E-01
1	1	-1.384427E-01
3	0	1.114467E-01
2	1	-3.595621E-03
1	2	-1.164327E-03
4	0	2.391659E-02
3	1	-3.141348E-03
2	2	-8.894507E-04
1	3	2.080530E-04
5	0	-3.882160E-03
4	1	-9.728454E-04
3	2	-1.977228E-05
2	3	6.740178E-05
1	4	-1.918278E-06
6	0	-7.882665E-04
5	1	3.950587E-05
4	2	1.751378E-06
3	3	5.893226E-07
2	4	-5.921587E-06
1	5	6.220505E-06
7	0	5.094393E-05
6	1	-6.775249E-07
5	2	-1.116946E-06
4	3	4.148667E-07
3	4	-3.048308E-07
2	5	1.082262E-06
1	6	1.077016E-06

Tabelle 2 zu Fig. 7

M1
RD	-2941.822992
CC	0
NH	188
m (azimutal)	n (radial)	Koeffizient
0	1	1.210828E-03
0	2	1.771270E-04
0	3	-1.197954E-05
0	4	3.273471E-06
0	5	-2.734902E-07
0	6	1.048878E-07
0	7	-2.920113E-08
0	8	3.789820E-08
0	9	6.366711E-09
0	10	1.721357E-08
1	0	-7.944568E-02
2	0	-3.952909E-01
1	1	7.254268E-02
3	0	6.855305E-02
2	1	5.289044E-03
1	2	-1.884276E-03
4	0	8.098740E-03
3	1	-9.639560E-04
2	2	-1.139779E-04
1	3	-2.811414E-06
5	0	-9.615278E-04
4	1	-3.034513E-04
3	2	-3.827645E-05
2	3	9.396414E-06
1	4	7.821304E-06
6	0	-2.274966E-04
5	1	-7.093649E-05
4	2	-3.361308E-06
3	3	2.146141E-07
2	4	-2.333223E-06
1	5	2.051580E-06
7	0	-4.841925E-05
6	1	-4.207961E-06
5	2	-3.969009E-07
4	3	6.252160E-08
3	4	-1.101290E-06
2	5	4.803750E-07
1	6	1.537131E-06

8 zeigt eine weitere Ausführung einer Projektionsoptik, beziehungsweise abbildenden Optik 35, die anstelle der Projektionsoptik 10 der Ausführung nach 1 bei der Projektionsbelichtungsanlage 1 zum Einsatz kommen kann. Komponenten und Funktionen, die denjenigen entsprechen, die vorstehend im Zusammenhang mit den 1 bis 7 und insbesondere im Zusammenhang mit den 2 bis 7 bereits erläutert wurden, tragen die gleichen Bezugsziffern und werden nicht nochmals im Einzelnen diskutiert.
Eine bildseitige numerische Apertur der Projektionsoptik 35 beträgt 0,26.
Ein mittlerer Wellenfrontfehler RMS beträgt bei der Projektionsoptik 35 71,8 mλ.
Eine x-Position der Eintrittspupille der Projektionsoptik 35 liegt bei mehr als 1100 mm im Abbildungsstrahlengang nach dem Objektfeld 5. Eine y-Position der Eintrittspupille der Projektionsoptik 35 liegt mehr als etwa 1100 mm im Abbildungsstrahlengang nach dem Objektfeld 5. Auch bei der Projektionsoptik 35 liegt also in guter Näherung eine objektseitige Telezentrie vor.
Die Gesamttransmission beträgt bei der Projektionsoptik 35 17,5 %.
Die Polarisationsdrehung von linear polarisiertem Abbildungslicht 16 im Abbildungsstrahlengang der Projektionsoptik 35 zwischen dem Objektfeld 5 und dem Bildfeld 11 beträgt etwa 1 °.
Die Projektionsoptik 35 hat einen Hauptstrahlwinkel CRA von 5,9 °.
Bei der Projektionsoptik 35 liegt zwischen der Objektebene 6 und der Bildebene 12 ein Kippwinkel von 18,4 ° vor.
Ein Objekt-Bild-Versatz liegt bei der Projektionsoptik 35 bei etwa 1100 mm.
Ein Lichtweg des Abbildungsstrahlengangs der Projektionsoptik 35 zwischen dem Objektfeld 5 und dem Bildfeld 11 beträgt etwa 1850 mm.
Ein Bauraumerfordernis in x/y-Richtung beträgt bei der Projektionsoptik 35 etwa 830 mm.
Ein Arbeitsabstand des wafernächsten Spiegels zum Bildfeld 11 beträgt bei der Projektionsoptik 35 75 mm.

Die optischen Designdaten der Projektionsoptik 35 können den nachfolgenden Tabellen 1 und 2 entnommen werden, die vom Grundaufbau her den Tabellen zur Ausführung nach 7 entsprechen, also eine Forbes-Freiformfläche beschreiben. Tabelle 1 zu Fig. 8

z-Abstand [mm]	y-Abstand [mm]	Verkippung um x-Achse [Grad]
Bildfeld
0	0	0
M4
1383.433074	-13.578952	-4.823026
M3
75	-241.226417	2.208116
M2
1528.071357	-566.768637	-8.212052
M1
60.587987	-1430.118911	-20.666167
Objektfeld
1822.997128	-1096.312645	-18.409534

M4
RD		-1612.45275
CC		0
NH		269.320278
m (azimutal)		n (radial)		Koeffizient
	0		1		1.760977E-02
	0		2		-8.628785E-05
	0		3		6.234087E-07
	0		4		5.174072E-09
	0		5		-2.576197E-09
	0		6		-2.407451E-09
	0		7		-5.967537E-10
	0		8		-6.061126E-11
	0		9		-2.150472E-12
	1		0		1.704289E-01
	2		0		3.486352E-02
	1		1		-5.265955E-03
	3		0		2.008072E-03
	2		1		2.174086E-04
	1		2		1.378131E-05
	4		0		-7.813876E-05
	3		1		8.054593E-05
	2		2		-5.160556E-06
	1		3		-1.458274E-07
	5		0		5.800466E-05
	4		1		-5.289889E-06
	3		2		-5.066663E-07
	2		3		1.363909E-08
	1		4		-1.645447E-08
	6		0		-3.990225E-06
	5		1		-2.912809E-07
	4		2		2.983336E-08
	3		3		5.370310E-09
	2		4		-8.373416E-09
	1		5		-5.068696E-09
	7		0		-2.243625E-09
	6		1		3.226100E-08
	5		2		8.411002E-09
	4		3		-1.396113E-09
	3		4		-1.286162E-10
	2		5		-3.510828E-10
	1		6		-3.592554E-10

M3
RD		-1320.369333
CC		0
NH		151.916317
m (azimutal)		n (radial)		Koeffizient
	0		1		2.234853E-01
	0		2		-3.494072E-03
	0		3		2.464736E-04
	0		4		-8.997152E-05
	0		5		3.994293E-05
	0		6		-1.373121E-05
	0		7		3.237536E-06
	0		8		-3.184110E-07
	0		9		-3.922443E-08
	1		0		-1.210345E+00
	2		0		4.878177E-01
	1		1		-7.295334E-01
	3		0		-8.265461E-03
	2		1		-2.177110E-02
	1		2		1.713353E-02
	4		0		-7.985117E-04
	3		1		3.437028E-03
	2		2		9.446428E-04
	1		3		-5.173699E-04
	5		0		1.810260E-03
	4		1		1.398708E-04
	3		2		-1.027657E-04
	2		3		-3.317884E-05
	1		4		1.261704E-05
	6		0		1.546091E-05
	5		1		-4.460386E-05
	4		2		-5.227008E-06
	3		3		1.502412E-06
	2		4		6.675811E-07
	1		5		1.100138E-06
	7		0		4.534528E-06
	6		1		-1.352029E-06
	5		2		2.166020E-06
	4		3		-1.556496E-07
	3		4		5.456739E-07
	2		5		-2.680866E-07
	1		6		-2.451496E-07

M2
RD		4793.987896
CC		0
NH		332.761979
m (azimutal)		n (radial)		Koeffizient
	0		1		3.461835E+00
	0		2		-6.321338E-01
	0		3		-4.551329E-01
	0		4		2.865871E-01
	0		5		1.570447E-01
	0		6		-2.681335E-01
	0		7		1.489997E-01
	0		8		-4.130630E-02
	0		9		4.878372E-03
	1		0		1.101951E+00
	2		0		1.490353E+00
	1		1		-1.512959E+00
	3		0		3.468813E+00
	2		1		1.181578E+00
	1		2		-1.713662E+00
	4		0		-1.765590E+00
	3		1		-2.796762E+00
	2		2		-4.031345E-01
	1		3		1.089376E+00
	5		0		-1.489463E-01
	4		1		1.151131E+00
	3		2		1.017497E+00
	2		3		1.477901E-01
	1		4		-4.248762E-01
	6		0		-2.770800E-02
	5		1		1.103040E-01
	4		2		-2.780892E-01
	3		3		-2.272929E-01
	2		4		-4.227557E-02
	1		5		9.912375E-02
	7		0		-7.393471E-03
	6		1		-1.723151E-04
	5		2		-1.452361E-02
	4		3		3.241639E-02
	3		4		2.269809E-02
	2		5		5.839684E-03
	1		6		-1.060217E-02

Tabelle 2 zu Fig. 8

M1
RD		2770.180378
CC			0
NH		294.960088
m (azimutal)		n (radial)		Koeffizient
	0		1		-4.458839E-02
	0		2		1.060174E-02
	0		3		-3.335210E-03
	0		4		5.393741E-04
	0		5		4.439556E-05
	0		6		-5.511384E-05
	0		7		2.233819E-05
	0		8		-6.650336E-06
	0		9		1.001173E-06
	1		0		-4.098512E-01
	2		0		4.037363E-01
	1		1		-2.244212E-01
	3		0		-2.921199E-02
	2		1		2.755862E-02
	1		2		2.682705E-02
	4		0		1.221419E-02
	3		1		1.523907E-02
	2		2		-1.041059E-02
	1		3		-8.615941E-03
	5		0		5.609151E-03
	4		1		-3.601026E-03
	3		2		-3.429086E-03
	2		3		3.158207E-03
	1		4		2.286182E-03
	6		0		-6.881652E-04
	5		1		-7.501832E-04
	4		2		7.091527E-04
	3		3		7.364596E-04
	2		4		-5.928267E-04
	1		5		-3.476039E-04
	7		0		-9.095077E-05
	6		1		7.308780E-05
	5		2		7.928103E-05
	4		3		-7.798261E-05
	3		4		-7.472596E-05
	2		5		4.811982E-05
	1		6		2.080239E-05

9 und 10 zeigen eine weitere Ausführung einer Projektionsoptik, bzw. abbildenden Optik 36, die anstelle der Projektionsoptik 10 der Ausführung nach 1 bei der Projektionsbelichtungsanlage 1 zum Einsatz kommen kann. Komponenten und Funktionen, die denjenigen entsprechen, die vorstehend im Zusammenhang mit den 1 bis 8 und insbesondere im Zusammenhang mit den 2 bis 8 bereits erläutert wurden, tragen die gleichen Bezugsziffern und werden nicht nochmals im Einzelnen diskutiert.
Die Projektionsoptik 36 hat insgesamt sieben Spiegel M1 bis M7 im Strahlengang zwischen dem Objektfeld 5 und dem Bildfeld 11. Die Spiegel M1, M6 und M7 sind als NI-Spiegel ausgeführt. Die Spiegel M2, M3, M4 und M5 sind als Spiegel für streifenden Einfall ausgeführt, also als Spiegel, auf die das Abbildungslicht 16 mit einem Einfallswinkel trifft, der größer ist als 45°. Diese Spiegel für streifenden Einfall werden auch als GI(grazing incidence)-Spiegel bezeichnet.
Ablenkende Wirkungen der vier GI-Spiegel M2, M3, M4 und M5 addieren sich für das Abbildungslicht 16.
Abbildungsstrahlengang-Abschnitte zwischen den Spiegeln M5 und M6 einerseits und zwischen dem Spiegel M7 und dem Bildfeld 11 andererseits kreuzen sich in einem Kreuzungsbereich 37.
Im meridionalen yz-Strahlengang des Abbildungslichts 16 liegt ein y-Zwischenbild 38 zwischen den GI-Spiegeln M4 und M5. In der hierzu senkrechten Ebene (vgl. 10) liegt ein x-Zwischenfeld 39 im xz-Strahlengang des Abbildungslichts 16 zwischen dem GI-Spiegel M5 und dem NI-Spiegel M6.
Eine bildseitige nummerische Apertur der Projektionsoptik 36 beträgt 0,33.
Ein mittlerer Wellenfrontfehler RMS beträgt bei der Projektionsoptik 36 8,57 mλ.
Eine x-Position der Eintrittspupille der Projektionsoptik 36 liegt mehr als 2700 mm im Abbildungsstrahlengang hinter dem Objektfeld 5. Eine y-Position der Eintrittspupille der Projektionsoptik 36 liegt mehr als etwa 1600 mm im Abbildungsstrahlengang vor dem Objektfeld 5. Auch bei der Projektionsoptik 36 liegt in guter Näherung eine objektseitige Telezentrie vor. Die Gesamttransmission beträgt bei der Projektionsoptik 36 11,1 %.
Eine Polarisationsdrehung von linear polarisiertem Abbildungslicht 16 im Abbildungsstrahlengang der Projektionsoptik 36 zwischen dem Objektfeld 5 und dem Bildfeld 11 beträgt maximal etwa 1,8°.
Die Projektionsoptik 36 hat einen Hauptstrahlwinkel CRA von 5,05°.
Die Objektebene 6 liegt parallel zur Bildebene 12. Ein z-Abstand zwischen der Objektebene und der Bildebene liegt im Bereich von 2,1 m.
Ein Objekt-Bild-Versatz liegt bei der Projektionsoptik 36 bei etwa 3,4 m.
Ein Bauraumerfordernis in x-, y- und z-Richtung beträgt bei der Projektionsoptik 36 etwa 1140 mm × 3950 mm × 1920 mm.
Ein Arbeitsabstand des wafernächsten Spiegels zum Bildfeld 11 beträgt bei der Projektionsoptik 36 etwa 65 mm.
Die Projektionsoptik 36 hat keine Pupillenobskuration. Die Reflexionsflächen aller Spiegel M1 bis M6 werden ohne Unterbrechungen oder Durchtrittsöffnungen zusammenhängend genutzt.
Die Abbildungsmaßstäbe β_x, β_y der Projektionsoptik 36 betragen jeweils +0,25 beziehungsweise eine Verkleinerung von 4,00 in der x-Richtung und -0,25 in der y-Richtung, dies ist durch die insgesamt ungerade Spiegelanzahl und jeweils ein Zwischenbild in der x- und y-Richtung bedingt.
Das Bildfeld 11 der Projektionsoptik 36 ist rechteckig und hat in der x-Richtung eine Erstreckung von 26,0 mm und in der y-Richtung eine Erstreckung von 2,5 mm.
Der Spiegel M6 hat einen Durchmesser von knapp 1150 mm. Ein maximales y-/x-Aspektverhältnis einer Reflexionsflächenerstreckung liegt bei der Projektionsoptik 36 beim Spiegel M6 vor und beträgt dort etwa 1,56. Ein maximales x-/y-Aspektverhältnis der Reflexionsflächenerstreckung liegt bei der Projektionsoptik 36 beim Spiegel M4 vor und beträgt etwa 2,76.

Nachfolgend sind in Bezug auf die Projektionsoptik 36 Flächenerstreckungsparameter des optischen Designs tabelliert: Tabelle 1 zu Fig. 9

Nutzwellenlänge	13,5 nm
bildseitige numerische Apertur	0,33
Abbildungsmaßstab β_x	4,00
Abbildungsmaßstab β_y	-4,00
Hauptstrahlwinkel CRA	5,05°
Etendue	7,08 mm²
mittlerer Wellenfrontfehler RMS	8,57 mλ
Gesamttransmission	11,12 %
Position Eintrittspupille (x)	2914,91 mm
Position Eintrittspupille (y)	-1560,59 mm
Objekt-Bild-Versatz	3359,91 mm
Arbeitsabstand (M3 zu Bildfeld)	65 mm
z-Abstand zwischen Objektfeld und Bildfeld	2156,00 mm
Winkel zwischen Objekt- und Bildebene	0,0°
Bauraumerfordernis xyz	(1138 × 3950 × 1916) mm

Tabelle 2 zu Fig. 9

	M1	M2	M3	M4	M5	M6	M7
Spiegelerstreckung (x)/mm	373,9	468,5	565,1	586,2	494,4	356,4	1137,7
Spiegelerstreckung (y)/mm	378,9	679,5	566,1	212,4	233,0	556,4	1144,1

Nachfolgend sind zur Projektionsoptik 36 nach 9 und 10 wiederum die optischen Designdaten im gleichen Format tabelliert, das oben zur Ausführung nach 2 bereits erläutert wurde. Tabelle 3 zu Fig. 9

z-Abstand [mm]	y-Abstand [mm]	Verkippung um x-Achse [Grad]
Bildfeld
0	0	0
M7
1701.872691	0	-6.384275
M6
194.410382	-341.616989	-25.88081
M5
1855.02607	1002.790559	32.318876
M4
1982.035966	1526.553549	2.609139
M3
1909.396635	2017.721981	-27.21016
M2
1197.193943	2705.301372	-58.990586
M1
67.626497	3072.900031	185.646125
Objektfeld
2156	3359.913113	0

M7
RDX	-1896.361096
RDY	-2172.735368
CCX	0
CCY	0
x**i	y**j	Koeffizient
2	1	3.748844E-09
0	3	4.082096E-09
4	0	1.862746E-13
2	2	-2.732195E-12
0	4	-2.632870E-12
4	1	1.033608E-15
2	3	3.096581E-15
0	5	3.520198E-15
6	0	5.719348E-20
4	2	-8.213125E-19
2	4	-1.308788E-18
0	6	-8.472091E-19
6	1	3.676281E-22
4	3	1.442725E-21
2	5	2.098759E-21
0	7	1.956110E-21
8	0	-9.972197E-26
6	2	-5.299823E-25
4	4	-1.080368E-24
2	6	-4.511630E-25
0	8	1.273511E-24
8	1	3.183031E-28
6	3	9.255918E-28
4	5	1.120184E-27
2	7	1.307992E-28
0	9	-1.741799E-28
10	0	1.969533E-31
8	2	5.127748E-31
6	4	-9.600424E-31
4	6	1.656009E-30
2	8	1.018525E-30
0	10	-2.959197E-30
10	1	4.372614E-34
8	3	1.719123E-35
6	5	-2.108602E-33
4	7	-1.091440E-33
2	9	2.053459E-33
0	11	-2.688917E-34
12	0	-4.027581E-37
10	2	-2.776349E-36
8	4	1.232076E-36
6	6	1.082332E-36
4	8	-5.268002E-36
2	10	-9.245996E-37
0	12	8.001718E-36
12	1	-2.436417E-39
10	3	-1.522524E-39
8	5	1.700099E-39
6	7	3.507475E-39
4	9	1.089576E-39
2	11	3.717227E-41
0	13	5.267335E-39
14	0	9.757780E-44
12	2	3.145867E-42
10	4	-1.385886E-43
8	6	-1.150477E-42
6	8	3.060764E-42
4	10	7.692377E-42
2	12	2.116562E-42
0	14	-6.199603E-42
14	1	3.488520E-45
12	3	4.245401E-45
10	5	-2.569037E-45
8	7	2.555412E-45
6	9	-5.758646E-46
4	11	4.514985E-45
2	13	1.213940E-45
0	15	-4.943294E-45

M6
RDX	3728.135312
RDY	7192.393986
CCX	0
CCY	0
x**i	y**j	Koeffizient
2	1	-5.393279E-08
0	3	-5.205158E-08
4	0	-4.089258E-11
2	2	1.624848E-10
0	4	6.050377E-11
4	1	-4.619295E-14
2	3	-7.979284E-14
0	5	-1.140717E-13
6	0	3.279642E-16
4	2	1.116363E-16
2	4	1.375112E-16
0	6	9.134526E-17
6	1	1.451666E-19
4	3	-1.747643E-19
2	5	-3.176467E-19
0	7	-3.025259E-19
8	0	-2.941911E-22
6	2	1.667975E-22
4_	4	4.611044E-22
2	6	4.351916E-22
0	8	-2.937721E-23
8	1	-7.048831E-24
6	3	-2.273726E-24
4	5	4.048946E-25
2	7	1.712014E-25
0	9	3.678786E-25
10	0	-2.729863E-26
8	2	-1.355962E-26
6	4	6.322920E-27
4	6	-1.524334E-28
2	8	5.527098E-28
0	10	4.030633E-27
10	1	1.485617E-28
8	3	4.872947E-29
6	5	-8.988320E-30
4	7	-2.831372E-29
2	9	-1.347069E-29
0	11	-6.417311E-30
12	0	7.289430E-31
10	2	7.728636E-31
8	4	-9.289212E-32
6	6	-4.714241E-32
4	8	6.145293E-33
2	10	-8.664941E-33
0	12	-3.801942E-32
12	1	-1.717065E-33
10	3	-2.483910E-34
8	5	2.537493E-34
6	7	8.942128E-34
4	9	4.358207E-34
2	11	1.043728E-34
0	13	3.153255E-35
14	0	-4.896352E-36
12	2	-1.175634E-35
10	4	-1.512621E-36
8	6	8.887877E-37
6	8	-6.522441E-37
4	10	1.800487E-38
2	12	1.063532E-37
0	14	1.671668E-37
14	1	7.850924E-39
12	3	-1.543486E-38
10	5	-2.410394E-40
8	7	-1.148893E-38
6	9	-7.554073E-39
4	11	-2.435783E-39
2	13	-5.685012E-40
0	15	-1.341775E-40

M5
RDX	-1506.373665
RDY	9682.42776
CCX	0
CCY	0
x**i	y**j	Koeffizient
0	1	3.695139E-02
2	1	2.174022E-07
0	3	1.198814E-07
4	0	5.228456E-11
2	2	6.082154E-11
0	4	1.079968E-10
4	1	1.079134E-13
2	3	-5.953051E-13
0	5	9.794550E-14
6	0	5.711273E-17
4	2	-1.729307E-15
2	4	-1.353663E-15
0	6	2.947486E-16
6	1	-1.617052E-18
4	3	2.211238E-19
2	5	-5.221851E-18
0	7	-1.684650E-17
8	0	-3.980622E-22
6	2	6.198850E-21
4	4	-8.426873E-21
2	6	-1.666015E-19
0	8	-1.813809E-19
8	1	6.533429E-24
6	3	-1.864443E-23
4	5	-5.558139E-22
2	7	-9.943919E-22
0	9	2.952293E-22
10	0	-1.099102E-27
8	2	-5.519478E-26
6	4	-1.347142E-24
4	6	-3.289187E-24
2	8	6.324697E-24
0	10	1.737896E-23
10	1	-5.363127E-29
8	3	-1.976566E-27
6	5	-6.243899E-27
4	7	1.676398E-26
2	9	8.940936E-26
0	11	1.118919E-25
12	0	1.205791E-32
10	2	-1.502974E-30
8	4	4.049948E-31
6	6	7.098927E-29
4	8	2.680790E-28
2	10	1.782132E-28
0	12	-9.493938E-29
12	1	-5.045951E-34
10	3	1.316709E-32
8	5	1.828502E-31
6	7	8.846240E-31
4	9	1.128468E-30
2	11	-1.706570E-30
0	13	-4.727743E-30
14	0	-4.213386E-38
12	2	1.595653E-35
10	4	1.884417E-34
8	6	1.174042E-33
6	8	3.721732E-33
4	10	1.459186E-33
2	12	-9.424750E-33
0	14	-2.374136E-32
14	1	6.492504E-39
12	3	7.275952E-38
10	5	5.123507E-37
8	7	2.326211E-36
6	9	5.834886E-36
4	11	-1.104588E-36
2	13	-1.328283E-35
0	15	-4.087884E-35

M4
RDX	-1210.804598
RDY	12074.63832
CCX	0
CCY	0
x**i	y**j	Koeffizient
0	1	-2.698176E-02
2	1	1.178448E-07
0	3	-3.129178E-07
4	0	4.657755E-11
2	2	-1.372316E-09
0	4	1.796566E-09
4	1	-2.185153E-12
2	3	1.307724E-11
0	5	-3.077661E-12
6	0	-1.111985E-15
4	2	3.684560E-14
2	4	-3.595395E-14
0	6	-2.860790E-14
6	1	3.737178E-17
4	3	-2.793525E-16
2	5	-4.710552E-16
0	7	9.377458E-17
8	0	1.175436E-20
6	2	-5.367565E-19
4	4	1.428120E-19
2	6	5.266838E-18
0	8	8.388553E-19
8	1	-3.534523E-22
6	3	3.580506E-21
4	5	1.530824E-20
2	7	-1.958050E-20
0	9	-5.038368E-21
10	0	-7.184751E-26
8	2	4.380259E-24
6	4	-2.318354E-24
4	6	-1.271641E-22
2	8	6.673241E-24
0	10	3.050330E-24
10	1	1.840476E-27
8	3	-2.568708E-26
6	5	-1.277058E-25
4	7	4.551157E-25
2	9	1.077744E-25
0	11	-1.819502E-26
12	0	2.158967E-31
10	2	-1.794638E-29
8	4	3.962308E-29
6	6	8.361486E-28
4	8	-7.058497E-28
2	10	1.445944E-28
0	12	5.444797E-28
12	1	-4.446554E-33
10	3	8.403974E-32
8	5	3.393547E-31
6	7	-1.942772E-30
4	9	7.642385E-31
2	11	-1.855720E-30
0	13	-2.745713E-30
14	0	-2.171509E-37
12	2	2.690822E-35
10	4	-1.679465E-34
8	6	-1.870776E-33
6	8	1.051877E-34
4	10	-3.982437E-33
2	12	2.705501E-33
0	14	5.454767E-33
14	1	3.141298E-39
12	3	-6.000786E-38
10	5	6.918862E-38
8	7	2.938557E-36
6	9	4.343960E-36
4	11	8.531465E-36
2	13	6.164676E-37
0	15	-3.804903E-36

M3
RDX	-5104.296222
RDY	-3534.780862
CCX	0
CCY	0
x**i	y**j	Koeffizient
2	1	6.531888E-08
0	3	3.167985E-08
4	0	-4.423171E-11
2	2	-1.013646E-10
0	4	-1.340077E-10
4	1	9.837574E-14
2	3	2.414040E-13
0	5	2.506732E-13
6	0	-3.082922E-17
4	2	-3.088992E-16
2	4	-7.293534E-16
0	6	-8.437465E-16
6	1	1.918791E-19
4	3	1.130788E-18
2	5	2.455702E-18
0	7	2.901385E-18
8	0	8.357363E-23
6	2	-7.973007E-22
4	4	-4.150210E-21
2	6	-9.802640E-21
0	8	-1.096302E-20
8	1	1.035430E-25
6	3	5.288504E-24
4	5	1.583854E-23
2	7	3.796260E-23
0	9	3.380245E-23
10	0	-6.868755E-28
8	2	-4.750674E-27
6	4	-3.284931E-26
4	6	-6.137077E-26
2	8	-1.191020E-25
0	10	-7.006751E-26
10	1	2.793833E-30
8	3	3.109342E-29
6	5	1.536285E-28
4	7	2.033108E-28
2	9	2.707037E-28
0	11	6.574669E-29
12	0	-3.651869E-33
10	2	8.435172E-33
8	4	-1.105801E-31
6	6	-4.536009E-31
4	8	-4.758056E-31
2	10	-4.173359E-31
0	12	6.917769E-32
12	1	4.110075E-35
10	3	-6.825978E-35
8	5	2.546793E-34
6	7	7.220391E-34
4	9	6.765513E-34
2	11	3.997285E-34
0	13	-2.883785E-34
14	0	5.921250E-38
12	2	-2.582457E-38
10	4	1.624420E-37
8	6	-2.096781E-37
6	8	-4.739309E-37
4	10	-4.932859E-37
2	12	-1.998481E-37
0	14	3.401283E-37
14	1	-3.946315E-40
12	3	1.665930E-40
10	5	-3.647359E-40
8	7	-5.456105E-42
6	9	2.134393E-41
4	11	1.279886E-40
2	13	3.027152E-41
0	15	-1.505878E-40

M2
RDX	-7297.668572
RDY	3197.447216
CCX	0
CCY	0
x**i	y**j	Koeffizient
2	1	-5.122909E-08
0	3	1.894170E-07
4	0	8.648669E-12
2	2	-1.039141E-10
0	4	2.583551E-10
4	1	3.454564E-14
2	3	-1.609929E-13
0	5	3.504233E-13
6	0	1.448146E-16
4	2	6.887309E-17
2	4	-1.523273E-16
0	6	4.504717E-16
6	1	-8.019700E-20
4	3	8.908636E-19
2	5	4.364543E-19
0	7	5.328307E-19
8	0	7.537477E-22
6	2	2.489353E-21
4	4	3.999364E-21
2	6	1.813683E-21
0	8	2.781947E-22
8	1	1.183138E-24
6	3	7.647074E-24
4	5	5.984084E-24
2	7	-4.469528E-24
0	9	-1.279703E-24
10	0	-1.385165E-26
8	2	-5.258781E-26
6	4	-3.476266E-27
4	6	-4.157106E-26
2	8	-3.764762E-26
0	10	-4.303524E-27
10	1	9.379214E-29
8	3	-7.409396E-29
6	5	-2.285401E-28
4	7	-1.951522E-28
2	9	-5.324588E-29
0	11	-8.489304E-30
12	0	1.382581E-31
10	2	9.276146E-31
8	4	-2.820662E-31
6	6	-5.621783E-31
4	8	-5.830185E-32
2	10	1.641277E-31
0	12	-2.289666E-32
12	1	-2.487975E-33
10	3	-1.101905E-33
8	5	9.657612E-34
6	7	4.854499E-34
4	9	1.187933E-33
2	11	7.038510E-34
0	13	-5.722195E-35
14	0	-2.713939E-37
12	2	-6.052809E-36
10	4	6.399608E-37
8	6	4.484671E-36
6	8	3.162514E-36
4	10	2.601808E-36
2	12	9.818499E-37
0	14	-7.675191E-38
14	1	1.840219E-38
12	3	1.870627E-38
10	5	-9.453009E-40
8	7	5.173327E-39
6	9	2.967839E-39
4	11	1.736632E-39
2	13	5.001498E-40
0	15	-4.024847E-41

Tabelle 4 zu Fig. 9

M1
RDX	-8297.712811
RDY	-1899.720256
CCX	0
CCY	0
x**i	y**j	Koeffizient
2	1	4.110040E-08
0	3	1.498006E-08
4	0	1.000736E-10
2	2	1.683917E-11
0	4	-1.850263E-11
4	1	5.430346E-14
2	3	4.291417E-14
0	5	1.608453E-14
6	0	-1.063478E-16
4	2	1.196291E-17
2	4	7.109851E-17
0	6	-5.467158E-17
6	1	-1.407651E-19
4	3	-2.070012E-19
2	5	-7.562967E-20
0	7	1.591316E-19
8	0	-3.205437E-22
6	2	-3.080155E-22
4	4	-7.305611E-23
2	6	8.803919E-22
0	8	6.031381E-22
8	1	-5.084704E-25
6	3	5.341415E-24
4	5	1.998606E-23
2	7	2.419009E-23
0	9	-1.669778E-24
10	0	2.036647E-26
8	2	3.818484E-27
6	4	2.062521E-26
4	6	1.148952E-25
2	8	5.836606E-26
0	10	-8.015138E-26
10	1	1.261190E-29
8	3	-3.142738E-28
6	5	-6.349733E-28
4	7	-1.105741E-27
2	9	-9.774871E-28
0	11	-6.495095E-28
12	0	-4.915872E-31
10	2	-6.859774E-31
8	4	-2.708558E-30
6	6	-8.764355E-30
4	8	-1.645344E-29
2	10	-8.426611E-30
0	12	-2.684331E-30
12	1	-1.278878E-33
10	3	2.905399E-33
8	5	-1.151829E-32
6	7	-5.073007E-32
4	9	-8.237880E-32
2	11	-2.939263E-32
0	13	-6.309762E-33
14	0	4.347084E-36
12	2	1.653236E-35
10	4	2.405335E-35
8	6	-3.165639E-35
6	8	-1.423336E-34
4	10	-1.902241E-34
2	12	-4.996666E-35
0	14	-8.294123E-36
14	1	3.113712E-38
12	3	3.321563E-38
10	5	3.877339E-38
8	7	-4.393832E-38
6	9	-1.559501E-37
4	11	-1.701134E-37
2	13	-3.396555E-38
0	15	-4.672410E-39

Wie man aus obigen Tabellen an den Vorzeichen der Krümmungsradien ersehen kann, liegen bei den Spiegeln M2, M4 und M5 Sattelflächen vor.
Grundsätzlich sind auch noch andere Kombinationen von NI- und GI-Spiegelabfolgen denkbar. Insbesondere kann die Spiegelanzahl der aufeinanderfolgenden GI-Spiegel zwischen drei und fünf variieren, ohne dass sich eine zu stark verändernde Transmission ergibt, da die GI-Spiegel bei erhöhter Anzahl unter streifenderem Einfall getroffen werden und dadurch die Transmission jedes einzelnen Spiegels hoch ist.
Bei keiner der vorstehend beschriebenen Projektionsoptiken liegt eine Polarisationsdrehung von linear polarisiertem Abbildungslicht 16 im Abbildungsstrahlengang zwischen dem Objektfeld 5 und dem Bildfeld 11 vor, die größer ist als 10°. Tatsächlich ist diese Polarisationsdrehung bei den vorstehend beschriebenen Projektionsoptik-Ausführungen kleiner als 10°, ist kleiner als 7°, kleiner als 6°, kleiner als 5° und ist auch kleiner als 4,5°.
Zur Herstellung eines mikro- oder nanostrukturierten Bauteils wird die Projektionsbelichtungsanlage 1 folgendermaßen eingesetzt: Zunächst werden die Reflexionsmaske 10 beziehungsweise das Retikel und das Substrat beziehungsweise der Wafer 11 bereitgestellt. Anschließend wird eine Struktur auf dem Retikel 10 auf eine lichtempfindliche Schicht des Wafers 11 mithilfe der Projektionsbelichtungsanlage 1 projiziert. Durch Entwicklung der lichtempfindlichen Schicht wird dann eine Mikro- oder Nanostruktur auf dem Wafer 11 und somit das mikrostrukturierte Bauteil erzeugt.
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur

DE 102018214437 A1 [0002, 0139]
US 8018650 B2 [0002]
WO 2018/043433 A1 [0002]
US 6353470 B1 [0002]
US 5291340 [0002]
DE 102008009600 A1 [0040, 0044]
US 2006/0132747 A1 [0042]
EP 1614008 B1 [0042]
US 6573978 [0042]
DE 102017220586 A1 [0047]
US 2018/0074303 A1 [0064]
WO 2015/014753 A1 [0083]
DE 10155711 A [0083]
US 20070058269 A1 [0104]
WO 2016/188934 A1 [0106]

Zitierte Nicht-Patentliteratur

Fachartikel „Characterizing the shape of freeform optics“ von G.W. Forbes, Optics Express, 2012, Vol. 20, Nr. 3, Seiten 2483 bis 2499 [0173]

Claims

Abbildende EUV-Optik (10; 24; 27; 28; 29; 32; 33; 35; 36) zur Abbildung eines Objektfeldes (5) in ein Bildfeld (11), - mit einer Mehrzahl von Spiegeln (M1 bis M4; M1 bis M7, M1 bis M6, M1-M8) zur Führung von EUV-Abbildungslicht (16) mit einer Wellenlänge, die kleiner ist als 30 nm, längs eines Abbildungsstrahlengangs vom Objektfeld (5) hin zum Bildfeld (11), - wobei die EUV-Optik (10; 24; 27; 28; 29; 32; 33; 35; 36) mindestens drei NI-Spiegel (M1 bis M4; M1, M6, M7; M1, M5, M6; M1, M7, M8) aufweist, - mit einer Gesamttransmission der NI-Spiegel (M1 bis M4; M1 bis M7, M1 bis M6, M1 bis M8), die größer ist als 10 %, - wobei eine Gesamtzahl der Spiegel (M1 bis M4) bei Verwendung von linear polarisiertem EUV-Abbildungslicht (16) längs des Abbildungsstrahlengangs zu einer Gesamt-Polarisationsdrehung von höchstens 10 ° führt.
Abbildende EUV-Optik nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch genau vier NI-Spiegel (M1 bis M4).
Abbildende EUV-Optik nach Anspruch 1 oder, dadurch gekennzeichnet, dass die EUV-Optik (10; 24; 27; 28; 29; 32; 33; 35; 36) ausschließlich NI-Spiegel (M1 bis M4) aufweist.
Abbildende EUV-Optik nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, dass im Bildfeld (11) eine erste Abbildung des Objektfeldes (5) im Abbildungsstrahlengang erfolgt.
Abbildende EUV-Optik nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens einer der Spiegel (M1 bis M4; M1 bis M6/M7/M8) eine sattelförmige Reflexionsfläche aufweist.
Abbildende EUV-Optik nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens einer der Spiegel (M2; M1; M1, M2; M2, M3) eine Reflexionsfläche mit einem Aspektverhältnis (x/y) zwischen einer größeren Flächenerstreckung längs einer ersten Reflexionsflächendimension (x) und einer kleineren Flächenerstreckung längs einer hierzu senkrechten zweiten Reflexionsdimension (y) aufweist, das größer ist als 1,5.
Abbildende EUV-Optik nach einem der Ansprüche 1 bis 6, gekennzeichnet durch ein ringfeldförmiges Bildfeld (11).
Abbildende EUV-Optik nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass sich zwei Abbildungsstrahlengang-Abschnitte - zwischen jeweils dem Objektfeld (5) und dem ersten Spiegel (M1) im Abbildungsstrahlengang, - zwischen jeweils zwei aufeinanderfolgenden Spiegeln (M2, M3; M4, M5) oder - zwischen dem letzten Spiegel (M6) im Abbildungsstrahlengang und dem Bildfeld (11) in einem Kreuzungsbereich (34; 37) kreuzen.
Abbildende EUV-Optik nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass es sich bei den beiden sich kreuzenden Abbildungsstrahlengang-Abschnitten - um einen Abbildungsstrahlengang-Abschnitt zwischen dem Objektfeld (5) und dem ersten Spiegel (M1) im Abbildungsstrahlengang und - um einen Abbildungsstrahlengang-Abschnitt zwischen dem im Abbildungsstrahlengang zweiten Spiegel (M2) und dem im Abbildungsstrahlengang dritten Spiegel (M3) handelt.
Abbildende EUV-Optik nach einem der Ansprüche 1 bis 9, gekennzeichnet durch eine Eintrittspupille, angeordnet im Abbildungsstrahlengang vor dem Objektfeld (5).
Abbildende EUV-Optik nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens einer der Spiegel (M3, M4) eine Durchtrittsöffnung (30, 31) zum Durchtritt des Abbildungsstrahlengangs aufweist.
Optisches System - mit einer Beleuchtungsoptik (4) zur Beleuchtung des Objektfeldes (5) mit dem Abbildungslicht (16), - mit einer abbildenden EUV-Optik (10; 24; 27; 28; 29; 32; 33; 35; 36) nach einem der Ansprüche 1 bis 11.
Projektionsbelichtungsanlage mit einem optischen System nach Anspruch 12 und mit einer EUV-Lichtquelle (3).
Verfahren zur Herstellung eines strukturierten Bauteils mit folgenden Verfahrensschritten: - Bereitstellen eines Retikels (7) und eines Wafers (13), - Projizieren einer Struktur auf dem Retikel (7) auf eine lichtempfindliche Schicht des Wafers (13) mithilfe der Projektionsbelichtungsanlage nach Anspruch 13, - Erzeugen einer Mikro- beziehungsweise Nanostruktur auf dem Wafer (13).
Strukturiertes Bauteil, hergestellt nach einem Verfahren nach Anspruch 14.