DE102021200617A1

DE102021200617A1 - Verfahren zum anpassen einer helligkeit einer beleuchtung in einer bearbeitungsvorrichtung

Info

Publication number: DE102021200617A1
Application number: DE102021200617.5A
Authority: DE
Inventors: Takafumi Omori; Satoshi Miyata
Original assignee: Disco Corp
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2020-01-27
Filing date: 2021-01-25
Publication date: 2021-07-29
Also published as: US11140335B2; US20210235007A1; CN113253543B; TWI859400B; KR20210095991A; JP7330636B2; KR102816813B1; CN113253543A; JP2021115668A; TW202142357A

Abstract

Ein Verfahren zum Anpassen der Helligkeit einer Beleuchtung in einer Bearbeitungsvorrichtung beinhaltet durch eine erste Bearbeitungsvorrichtung Speichern eines Beispielbilds, das durch Fotografieren eines Werkstücks mit einer Helligkeit erhalten wird, die durch einen ersten Steuerungswert spezifiziert wird, zusammen mit dem ersten Steuerungswert, Kopieren des Beispielbilds, des ersten Steuerungswerts und einer Bearbeitungsbedingung zu einer zweiten Bearbeitungsvorrichtung, Speichern von mehreren Vergleichsbildern durch die zweite Bearbeitungsvorrichtung, die durch Fotografieren des Werkstücks mit Helligkeiten erhalten werden, die durch mehrere verschiedene Steuerungswerte spezifiziert werden, Identifizieren eines Steuerungswerts zu einem Zeitpunkt eines Fotografierens eines Vergleichsbilds, das einen minimalen Helligkeitsunterschied zu dem Beispielbild aufweist, als einen zweiten Steuerungswert durch Vergleichen des Beispielbilds mit den mehreren Vergleichsbildern und Einstellen eines Unterschieds zwischen den ersten und zweiten Steuerungswerten als ein Korrekturwert des Steuerungswerts der zweiten Bearbeitungsvorrichtung.

Description

HINTERGRUND DER ERFINDUNG
Technisches Gebiet
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Anpassungsverfahren zum Anpassen der Helligkeit einer Beleuchtung in einer Bearbeitungsvorrichtung, die eine Kameraeinheit zum Fotografieren eines Werkstücks beinhaltet, wobei die Kameraeinheit die Beleuchtung aufweist, und eine Bearbeitungseinheit zum Bearbeiten des Werkstücks.
Beschreibung des Stands der Technik
Eine Bearbeitungsvorrichtung ist bekannt, die Werkstücke wie Halbleiter-Wafer oder dergleichen bearbeitet, die verschiedene Muster aus Schaltungen, Bauelementen oder dergleichen an einer Oberflächenseite ausgebildet aufweisen. Als Bearbeitungsvorrichtungen existieren zum Beispiel eine Schneidvorrichtung, die ein Werkstück entlang geplanter Teilungslinien (Straßen) teilt, die an der einen Oberflächenseite des Werkstücks gesetzt sind, und eine Laserbearbeitungsvorrichtung, welche das Werkstück durch Abrastern des gesammelten Punkts eines Laserstrahls entlang der geplanten Teilungslinien bearbeitet.
Wenn das Werkstück entlang der geplanten Teilungslinien bearbeitet werden soll, wird die eine Oberflächenseite des Werkstücks zuerst unter Verwendung einer Kamera fotografiert, die oberhalb des Werkstücks angeordnet ist. Dann wird die Position eines vorbestimmten Musters (ein sogenanntes Schlüsselmuster), das an der einen Oberflächenseite bereitgestellt ist, durch Durchführen einer Bildbearbeitung wie einer Kantenerkennung oder dergleichen bei einem resultierenden Bild durchgeführt und die Position einer geplanten Teilungslinie wird unter Verwendung der Position des Schlüsselmusters identifiziert. Zusätzlich, nachdem das Werkstück entlang der geplanten Teilungslinien bearbeitet wurde, werden die Position, der Bereich, der Zustand und dergleichen einer geschnittenen Nut, die durch Schneiden ausgebildet wurde, oder einer laserbearbeiteten Spur, die durch Laserbearbeitung ausgebildet wurde, durch Durchführen einer Bildbearbeitung an einem Bild untersucht, das durch Aufnehmen der einen Oberflächenseite des Werkstücks erhalten wurde.
Die Kamera, die in der Bearbeitungsvorrichtung beinhaltet ist, beinhaltet eine Objektivlinse und eine Beleuchtung (siehe zum Beispiel die japanische Offenlegungsschrift Nr. 2002-11641 ). Als die Beleuchtung sind eine koaxiale Epi-Beleuchtungseinheit, welche die eine Oberflächenseite des Werkstücks mit Licht entlang der optischen Achse der Objektivlinse bestrahlt, und eine Seitenbeleuchtungslichteinheit, welche die eine Oberflächenseite des Werkstücks mit Licht entlang einer Richtung bezüglich der optischen Achse der Objektivlinse geneigt bestrahlt. Wenn die eine Oberflächenseite des Werkstücks aufgenommen wird, wird ein Fotografieren durchgeführt, nachdem die Lichtmenge der koaxialen Epi-Beleuchtungseinheit und die Lichtmenge der Seitenbeleuchtungslichteinheit geeignet durch einen Dimmer angepasst wurden. Während verschiedene Steuerungsverfahren als Dimm-Verfahren existieren, wird zum Beispiel ein Phasensteuerungsverfahren angepasst.
In einem Fall, in dem ein Dimmen durch das Phasensteuerungsverfahren durchgeführt wird, beinhaltet der Dimmer zum Beispiel ein Halbleiterelement, das dazu geeignet ist, elektrisch eine Wechselspannungsleistungszufuhr und eine Lichtquelle wie eine Halogenlampe oder dergleichen zu verbinden und eine Steuerungsschaltung, die eine Zeit steuert, zu der die Lichtquelle mit Energie versorgt wird, indem ein vorbestimmtes Signal zu dem Halbleiterelement zugeführt wird und dadurch das Halbleiterelement dazu gebracht wird, Strom zu leiten. Ein Dimm-Signal, das einen Steuerungswert angibt, der die Energiemenge der Lichtquelle spezifiziert, wird in die Steuerungsschaltung eingegeben. Die Lichtmenge von jeder Beleuchtungseinheit wird durch Anpassen der Energiemenge der Lichtquelle angepasst. Im Übrigen in einem Fall, in dem eine Licht emittierende Diode (LED) als Lichtquelle verwendet wird, kann die Lichtmenge angepasst werden, indem eine Spannung angepasst wird, die an die LED angelegt wird. Geeignetes Anpassen der Lichtmenge der Lichtquelle für jede Beleuchtungseinheit vereinfacht eine Identifikation des Schlüsselmusters, der geschnittenen Nut, der Laserbearbeitungsspur und dergleichen, wenn eine Bildbearbeitung an dem Bild durchgeführt wird, das durch Fotografieren erhalten wurde. Ein Ergebnis der Bildbearbeitung kann sich deutlich unterscheiden, wenn die Lichtmenge der Lichtquelle der koaxialen Epi-Beleuchtungseinheit und die Lichtmenge der Lichtquelle der Seitenbeleuchtungslichteinheit sich voneinander nur um ein paar Prozent unterscheiden. Die Lichtmenge von jeder Lichtquelle ist deswegen für eine Fotografiebedingung wichtig.
In einer Fabrik, in der mehrere Bearbeitungsvorrichtungen desselben Typs installiert sind, werden mehrere Werkstücke derselben Art oftmals unter Verwendung der mehreren Bearbeitungsvorrichtungen bearbeitet. In diesem Fall werden eine Fotografiebedingung wie ein Steuerungswert oder dergleichen und eine Bearbeitungsbedingung zu einem Zeitpunkt des Bearbeitens der Werkstücke von der ersten Bearbeitungsvorrichtung zu der zweiten Bearbeitungsvorrichtung kopiert. Folglich führt die zweite Bearbeitungsvorrichtung ein Fotografieren, Bearbeiten und dergleichen des Werkstücks unter denselben Bedingungen wie die erste Bearbeitungsvorrichtung durch. Jedoch kann in den Bearbeitungsvorrichtungen die Helligkeit einer Lichtquelle verringert aufgrund einer Ermüdung der Lichtquelle, Anhaften von Schmutz an der Lichtquelle oder dergleichen sein (siehe zum Beispiel die japanische Offenlegungsschrift Nr. 2003-319253 ).
DARSTELLUNG DER ERFINDUNG
Zum Beispiel in einem Fall, in dem die Leistungsfähigkeit der Lichtquelle der zweiten Bearbeitungsvorrichtung abgenommen hat, erhält die zweite Bearbeitungsvorrichtung ein anderes Bild hinsichtlich der Beschattung oder Helligkeit im Vergleich zu einem Bild, das durch die erste Bearbeitungsvorrichtung erhalten wird, sogar wenn ein Dimm-Signal, das den gleichen Steuerungswert angibt, als ein Steuerungssignal, das in der ersten Bearbeitungsvorrichtung verwendet wird, in den Dimmer der zweiten Bearbeitungsvorrichtung eingegeben wird. In diesem Fall der zweiten Bearbeitungsvorrichtung kann ein Problem beim Identifizieren der Position einer geplanten Teilungslinie oder Untersuchen der Position, eines Bereichs, Zustands oder dergleichen einer geschnittenen Nut, einer laserbearbeiteten Spur oder dergleichen auftreten. Die vorliegende Erfindung wurde unter Beachtung dieses Problems gemacht. Es ist ein Ziel der vorliegenden Erfindung, einen Helligkeitsunterschied zwischen Beleuchtungen in mehreren Bearbeitungsvorrichtungen zu reduzieren.
In Übereinstimmung mit einem Aspekt der vorliegenden Erfindung ist ein Verfahren zum Anpassen einer Helligkeit einer Beleuchtung in einer Bearbeitungsvorrichtung bereitgestellt, wobei das Verfahren beinhaltet einen ersten Speicherschritt eines Speicherbauelements einer ersten Bearbeitungsvorrichtung, die ein Beispielbild speichert, das durch Fotografieren eines vorbestimmten Musters erhalten wird, das an einem Werkstück angeordnet ist, mit einer Helligkeit einer Beleuchtung, wobei die Helligkeit durch einen ersten Steuerungswert spezifiziert wird, zusammen mit dem ersten Steuerungswert in der ersten Bearbeitungsvorrichtung unter mehreren Bearbeitungsvorrichtungen, die jeweils eine Kameraeinheit beinhalten, die eine Beleuchtung, die hinsichtlich ihrer Helligkeit angepasst werden kann, eine Objektivlinse und ein Bildaufnahmeelement beinhaltet und dazu ausgestaltet ist, ein Werkstück zu fotografieren, indem reflektiertes Licht von Licht, das von der Beleuchtung auf dem Werkstück aufgebracht wird, auf das Aufnahmeelement durch die Objektivlinse trifft, eine Bearbeitungseinheit, die dazu ausgestaltet ist, das Werkstück auf der Basis eines Bilds zu bearbeiten, das durch die Kameraeinheit erhalten wurde, und ein Speicherbauelement, das dazu ausgestaltet ist, einen Steuerungswert zu speichern, der die Helligkeit der Beleuchtung spezifiziert, und eine Bearbeitungsbedingung der Bearbeitungseinheit zu speichern, wenn die Bearbeitungseinheit das Werkstück bearbeitet, einen Kopierschritt zum Kopieren des Beispielbilds und des ersten Steuerungswerts, die in dem Speicherbauelement der ersten Bearbeitungsvorrichtung gespeichert sind, zusammen mit der Bearbeitungsbedingung, die in der ersten Bearbeitungsvorrichtung verwendet wird, und Speichern des Beispielbildes, des ersten Steuerungswerts und der Bearbeitungsbedingung in dem Speicherbauelement der zweiten Bearbeitungsvorrichtung, einen zweiten Speicherschritt des Speicherbauelements der zweiten Bearbeitungsvorrichtung, der mehrere Vergleichsbilder, die durch Fotografieren des vorbestimmten Musters auf dem Werkstück mit Helligkeiten der Beleuchtungen erhalten werden, wobei die Helligkeiten durch mehrere verschiedene Steuerungswerte spezifiziert werden, in der zweiten Bearbeitungsvorrichtung speichert, einen Identifizierungsschritt für einen Steuerungswert zum Vergleichen des Beispielbilds mit den mehreren Vergleichsbildern und Identifizieren als einen zweiten Steuerungswert einen Steuerungswert zu einem Zeitpunkt des Fotografierens eines Vergleichsbilds, das einen minimalen Unterschied hinsichtlich der Helligkeit zu dem Beispielbild aufweist, und einen Einstellschritt für einen Korrekturwert zum Setzen in der zweiten Bearbeitungsvorrichtung eines Unterschieds zwischen dem zweiten Steuerungswert und dem ersten Steuerungswert als einen Korrekturwert des Steuerungswerts der zweiten Bearbeitungsvorrichtung bezüglich der ersten Bearbeitungsvorrichtung.
Vorzugsweise werden in dem Steuerungswert-Identifizierungsschritt Unterschiede zwischen numerischen Werten, die Helligkeitswerte der jeweiligen Bild-ausbildenden Pixel angeben, an jeweils identischen Positionen in einer vertikalen Richtung und einer horizontalen Richtung in dem Beispielbild berechnet und jedem der Vergleichsbilder und eine Gesamtsumme der Unterschiede wird verglichen.
Zusätzlich beinhaltet die Beleuchtung vorzugsweise eine koaxiale Epi-Beleuchtungseinheit, die dazu ausgestaltet ist, Licht entlang einer optischen Achse einer Objektivlinse aufzubringen, und eine Seitenbeleuchtungslichteinheit, die dazu ausgestaltet ist, Licht geneigt bezüglich der optischen Achse der Objektivlinse aufzubringen. In dem ersten Speicherschritt beinhaltet der erste Steuerungswert einen dritten Steuerungswert und einen vierten Steuerungswert, das Beispielbild beinhaltet ein erstes Beispielbild und ein zweites Beispielbild, das Speicherbauelement der ersten Bearbeitungsvorrichtung speichert zusammen mit dem dritten Steuerungswert und dem vierten Steuerungswert das erste Beispielbild, das durch Fotografieren des vorbestimmten Musters des Werkstücks mit nur der koaxialen Epi-Beleuchtungseinheit leuchtend entsprechend einem dritten Steuerungswert aufgenommen wurde, und das zweite Beispielbild, das durch Fotografieren des vorbestimmten Musters des Werkstücks mit nur der Seitenbeleuchtungslichteinheit leuchtend entsprechend dem vierten Steuerungswert aufgenommen wurde. In dem zweiten Speicherschritt speichert das Speicherbauelement der zweiten Bearbeitungsvorrichtung mehrere erste Vergleichsbilder, die durch Fotografieren des vorbestimmten Musters des Werkstücks erhalten werden, wobei nur die koaxiale Epi-Beleuchtungseinheit entsprechend mehrerer jeweiliger unterschiedlicher Beleuchtungswerte leuchtet, und mehrerer zweite Vergleichsbilder, die durch Fotografieren des vorbestimmten Musters des Werkstücks erhalten werden, wobei nur die Seitenbeleuchtungslichteinheit entsprechend mehrerer jeweiliger unterschiedlicher Steuerungswerte leuchtet. In dem Identifizierungsschritt für einen Steuerungswert beinhaltet der zweite Steuerungswert einen fünften Steuerungswert und einen sechsten Steuerungswert, ein Steuerungswert zu einem Zeitpunkt des Fotografierens eines ersten Vergleichsbilds, das einen minimalen Helligkeitsunterschied zu dem ersten Beispielbild aufweist, wird als der fünfte Steuerungswert durch Vergleichen des ersten Beispielbilds mit jedem der ersten Vergleichsbilder identifiziert, und ein Steuerungswert zu einem Zeitpunkt des Fotografierens eines zweiten Vergleichsbilds, das einen minimalen Helligkeitsunterschied zu dem zweiten Beispielbild aufweist, wird als der sechste Steuerungswert durch Vergleichen des zweiten Beispielbilds mit jedem der zweiten Vergleichsbilder identifiziert. In dem Einstellschritt für einen Korrekturwert wird ein Unterschied zwischen dem fünften Steuerungswert und dem dritten Steuerungswert als ein erster Korrekturwert des Steuerungswerts der zweiten Bearbeitungsvorrichtung bezüglich der ersten Bearbeitungsvorrichtung in der zweiten Bearbeitungsvorrichtung gesetzt und ein Unterschied zwischen dem sechsten Steuerungswert und dem vierten Steuerungswert wird als ein zweiter Korrekturwert des Steuerungswerts der zweiten Bearbeitungsvorrichtung bezüglich der ersten Bearbeitungsvorrichtung in der zweiten Bearbeitungsvorrichtung gesetzt.
In einem Verfahren zum Anpassen der Helligkeit einer Beleuchtung in einer Bearbeitungsvorrichtung entsprechend einem Aspekt der vorliegenden Erfindung speichert zuerst das Speicherbauelement einer ersten Bearbeitungsvorrichtung ein Beispielbild, das durch Fotografieren eines vorbestimmten Musters erhalten wird, das in einem Werkstück angeordnet ist, mit einer Helligkeit einer Beleuchtung, wobei die Helligkeit durch einen ersten Steuerungswert spezifiziert wird, zusammen mit dem ersten Steuerungswert (erster Speicherschritt). Als nächstes werden das Beispielbild und der erste Steuerungswert zusammen mit einer Bearbeitungsbedingung kopiert und das Beispielbild, der erste Steuerungswert und die Bearbeitungsbedingung werden in dem Speicherbauelement einer zweiten Bearbeitungsvorrichtung (Kopierschritt) gespeichert. Dann speichert das Speicherbauelement der zweiten Bearbeitungsvorrichtung mehrere Vergleichsbilder, die durch Fotografieren des vorbestimmten Musters des Werkstücks mit verschiedenen Beleuchtungshelligkeiten, wobei die Helligkeiten durch mehrere verschiedene Steuerungswerte spezifiziert werden, in der zweiten Bearbeitungsvorrichtung (zweiter Speicherschritt). Danach wird das Beispielbild mit den mehreren Vergleichsbildern verglichen und ein Steuerungswert zu einem Zeitpunkt eines Fotografierens eines Vergleichsbilds, das einen minimalen Helligkeitsunterschied zu dem Beispielbild aufweist, wird als der zweite Steuerungswert identifiziert (Identifizierungsschritt für Steuerungswert). Dann wird ein Unterschied zwischen dem zweiten Steuerungswert und dem ersten Steuerungswert als ein Korrekturwert des Steuerungswerts der zweiten Bearbeitungsvorrichtung bezüglich der ersten Bearbeitungsvorrichtung in der zweiten Bearbeitungsvorrichtung gesetzt (Setzschritt für Korrekturwert).
Folglich, wenn ein Dimm-Signal, das einen gleichen Steuerungswert angibt, in den Dimmer von jeder Bearbeitungsvorrichtung eingegeben wird, kann die Helligkeit der Beleuchtung der zweiten Bearbeitungsvorrichtung unter Verwendung des Korrekturwerts korrigiert werden. Darum, sogar wenn eine Lichtquelle altert oder etwas Ähnliches in der zweiten Bearbeitungsvorrichtung auftritt, kann ein Helligkeitsunterschied zwischen den Beleuchtungen reduziert werden. Das bedeutet, dass ein Helligkeitsunterschied zwischen Bildern, die durch die Kameraeinheiten der jeweiligen Bearbeitungsvorrichtungen erhalten werden, reduziert werden kann. Zusätzlich ist es möglich, den Unterschied zwischen den Bildern, die durch die Kameraeinheiten der jeweiligen Bearbeitungsvorrichtungen erhalten werden, zu reduzieren, ohne dass die Lichtquelle oder dergleichen ersetzt werden muss und ohne dass bestimmte Teststücke zum Messen eines Unterschieds einer Lichtmenge zwischen Kameraeinheiten verwendet werden müssen.
Die obigen und weitere Ziele, Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung und die Art, diese zu realisieren, werden ersichtlicher und die Erfindung selbst wird am besten durch ein Studium der folgenden Beschreibung und der angehängten Ansprüche unter Bezugnahme auf die angehängten Zeichnungen, die bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung zeigen, verstanden.
Figurenliste

1 ist eine perspektivische Ansicht, die ein Beispiel einer Schneidvorrichtung darstellt;
2A ist ein Diagramm, das zum Erklären der Kameraeinheit dient;
2B ist eine untere Ansicht der Kameraeinheit;
3A ist ein Diagramm, das einen Zustand des Fotografierens eines Werkstücks darstellt;
3B ist ein schematisches Diagramm eines Bilds, das durch Fotografieren erhalten wurde;
4A ist ein Diagramm, das einen Zustand des Durchführens eines Fotografierens darstellt, wobei nur eine koaxiale Epi-Beleuchtungseinheit leuchtet;
4B ist eine schematische Ansicht eines Bilds, das durch Fotografieren, das in 4A dargestellt ist, erhalten wurde;
5A ist ein Diagramm, das einen Zustand des Durchführens eines Fotografierens darstellt, wobei nur eine Seitenbeleuchtungslichteinheit leuchtet;
5B ist ein schematisches Diagramm eines Bilds, das durch Fotografieren, das in 5A dargestellt ist, erhalten wird;
6 ist ein Diagramm, das mehrere Schneidvorrichtungen des gleichen Typs darstellt;
7 ist ein Flussdiagramm eines Verfahrens zum Anpassen der Helligkeit einer Beleuchtung entsprechend einer ersten Ausführungsform;
8A ist ein schematisches Diagramm eines Beispielbilds;
8B ist ein schematisches Diagramm eines Vergleichsbilds;
8C ist ein schematisches Diagramm eines Vergleichsbilds;
8D ist ein schematisches Diagramm eines Vergleichsbilds; und
9 ist ein Flussdiagramm eines Verfahrens zum Anpassen einer Beleuchtungshelligkeit entsprechend einer zweiten Ausführungsform.

DETAILLIERTE BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN
Eine Ausführungsform entsprechend einem Aspekt der vorliegenden Erfindung wird mit Bezug zu den begleitenden Figuren beschrieben. 1 ist eine perspektivische Ansicht, die ein Beispiel einer Schneidvorrichtung (Bearbeitungsvorrichtung) 2 entsprechend einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung darstellt. Im Übrigen stellt 1 einen Teil der ausbildenden Elemente in einem funktionalen Blockdiagramm dar. Zusätzlich sind eine X-Achsenrichtung (Bearbeitungszufuhrrichtung), eine Y-Achsenrichtung (eine Index-Zufuhrrichtung) und eine Z-Achsenrichtung (eine vertikale Richtung und eine Höhenrichtung) in 1 Richtungen, die orthogonal zueinander sind. Die Schneidvorrichtung 2 beinhaltet eine Basis 4, welche die ausbildenden Elemente trägt.
Eine Öffnung 4a ist in einem Endabschnitt vorne an der Basis 4 bereitgestellt. Ein Kassettenaufzug 6a, der durch einen Anhebe- und Absenkmechanismus (nicht dargestellt) angehoben und abgesenkt wird, ist in der Öffnung 4a bereitgestellt. Eine Kassette 6b zum Einhausen mehrerer Werkstücke 11 ist an der oberen Oberfläche des Kassettenaufzugs 6a befestigt. Die Werkstücke 11 sind zum Beispiel ein scheibenförmiger Wafer, der aus einem Halbleitermaterial wie Silizium oder dergleichen ausgebildet ist. Im Übrigen existiert keine Beschränkung hinsichtlich des Materials, der Form, der Struktur, der Größe und dergleichen für die Werkstücke 11. Mehrere geplante Teilungslinien (Straßen), die einander kreuzen, sind an einer oberen Oberflächenseite 11a des Werkstücks 11 gesetzt.
Ein Bauelement wie eine integrierte Schaltung (IC) oder dergleichen ist an der oberen Oberflächenseite 11a von jedem der Bereiche ausgebildet, die durch mehrere geplante Teilungslinien aufgeteilt sind. Zusätzlich ist ein Schlüsselmuster 11c (siehe 3B und dergleichen) in einem Bereich ausgebildet, in dem die Bauelemente ausgebildet sind. Das Schlüsselmuster 11c ist zum Beispiel ein Bereich, in dem eine metallische Schicht an der oberen Oberflächenseite 11a als ein Ergebnis eines teilweisen Entfernens einer Isolationsschicht in einem laminierten Aufbau, der die metallische Schicht aufweist und die Isolationsschicht an der metallischen Schicht ausgebildet aufweist, freiliegt. Jedoch ist die Konfiguration des Schlüsselmusters 11c nicht auf das vorliegende Beispiel beschränkt.
Ein Teilungsband (haftvermittelndes Band) 13, das einen Durchmesser größer als den des Werkstücks 11 aufweist, ist an einer unteren Oberfläche 11b des Werkstücks 11 fixiert, wobei die untere Oberfläche 11b an einer gegenüberliegenden Seite von der oberen Oberfläche 11a liegt. Eine Oberfläche eines ringförmigen Rahmens 15, der aus einem Metall ausgebildet ist, ist an einem äußeren umfänglichen Abschnitt des Teilungsbands 13 fixiert. In einem Zustand einer Werkstückeinheit 17, die das Werkstück 11 so durch den Rahmen 15 durch das Teilungsband 13 getragen aufweist, ist das Werkstück 11 in der Kassette 6b eingehaust. Im Übrigen sind mehrere Werkstückeinheiten 17 in der Kassette 6b eingehaust.
Eine rechteckige Öffnung 4b, die eine lange Seite entlang der X-Achsenrichtung aufweist, ist an der Seite des Kassettenaufzugs 6a ausgebildet. In der Öffnung 4b sind eine Tischabdeckung 10 und eine balgförmige Abdeckung 12 bereitgestellt, die sich in der X-Achsenrichtung ausdehnen und zusammenziehen. Ein Einspanntisch 14 ist an der Tischabdeckung 10 bereitgestellt. Zusätzlich ist eine Drehantriebsquelle (nicht dargestellt) wie ein Motor zum Drehen des Einspanntischs 14 um eine Drehachse im Wesentlichen parallel zu der Z-Achsenrichtung (vertikalen Richtung) unterhalb der Tischabdeckung 10 angeordnet. Ein X-Achsen-Bewegungsmechanismus eines Kugelrollspindeltyps (Bearbeitungszufuhreinheit), die nicht dargestellt ist, ist unterhalb der Drehantriebsquelle bereitgestellt. Der Einspanntisch 14 und die Tischabdeckung 10 werden entlang der X-Achsenrichtung durch Betätigen des X-Achsen-Bewegungsmechanismus bewegt.
Der Einspanntisch 14 weist einen scheibenförmigen Rahmenkörper auf, der aus einem Metall ausgebildet ist. Der Rahmenkörper weist einen scheibenförmigen vertieften Abschnitt darin ausgebildet auf. Ein Saugdurchgang (nicht dargestellt) ist in einem unteren Abschnitt des vertieften Abschnitts ausgebildet. Ein Ende des Saugdurchganges liegt an der unteren Oberfläche des vertieften Abschnitts frei. Ein anderes Ende des Saugdurchganges ist mit einer Saugquelle (nicht dargestellt), wie einer Saugstrahlpumpe verbunden. Eine scheibenförmige poröse Platte ist an dem vertieften Abschnitt fixiert. Die Oberfläche der porösen Platte ist im Wesentlichen flach. Wenn die Saugquelle betätigt wird, tritt ein negativer Druck an der oberen Oberfläche (Halteoberfläche 14a) der porösen Platte auf. Darüber hinaus sind Klemmen 16 zum Fixieren des Rahmens 15 an der Umgebung des Rahmenkörpers angeordnet.
Ein Paar Führungsschienen (nicht dargestellt) im Wesentlichen parallel zu der Y-Achsenrichtung ist über einem Bereich der Öffnung 4b bereitgestellt, wobei der Bereich benachbart zu der Öffnung 4a ist. Ein torähnlicher Träger 4c ist weiter innerhalb der Schneidvorrichtung 2 als das Paar Führungsschienen in der X-Achsenrichtung bereitgestellt, sodass der Träger 4c die Öffnung 4b überspannt. Eine untere Transfereinheit 18 und eine obere Transfereinheit 20, die jeweils die Werkstückeinheit 17 transferieren, sind an einer Oberflächenseite des Trägers 4c bereitgestellt. Jede der unteren Transfereinheit 18 und der oberen Transfereinheit 20 weist mehrere Saugpads auf, die die Werkstückeinheit 17 durch einen negativen Druck saugen und halten.
Ein Träger 4d eines Tortyps ist an einer gegenüberliegenden Seite des Trägers 4c von der unteren Transfereinheit 18 und der oberen Transfereinheit 20 bereitgestellt, sodass der Träger 4d die Öffnung 4b überspannt. Ein Paar Bearbeitungseinheits-Bewegungsmechanismen (eine Index-Zufuhreinheit und eine Schneid-Zufuhreinheit) 22 ist an der vorderen Oberflächenseite des Trägers 4d bereitgestellt. Das Paar Bearbeitungseinheits-Bewegungsmechanismen 22 weist ein Paar Y-Achsenführungsschienen (nicht dargestellt) auf, die an der vorderen Oberfläche des Trägers 4d und im Wesentlichen parallel mit der Y-Achsenrichtung angeordnet sind. Die zwei Y-Achsen-Bewegungsplatten 22a sind an dem Paar Y-Achsenführungsschienen angebracht, sodass sie in der Y Achsenrichtung gleitbar sind.
Ein Mutterabschnitt (nicht dargestellt) ist an der hinteren Oberflächenseite (d. h. dem Träger 4d) von jeder der Y-Achsen-Bewegungsplatten 22a bereitgestellt. Eine Y-Achsen-Kugelrollspindel (nicht dargestellt) im Wesentlichen parallel zu den Y-Achsenführungsschienen ist drehbar mit dem Mutterabschnitt gekoppelt. Ein Y-Achsen-Pulsmotor (nicht dargestellt) ist mit einem Endabschnitt von jeder Y-Achsen-Kugelrollspindel gekoppelt. Wenn die Y-Achsen-Kugelrollspindel durch den Y-Achsen-Pulsmotor gedreht wird, bewegt sich jede Y-Achsen-Bewegungsplatte 22a entlang der Y-Achsenführungsschienen.
Ein Paar Z-Achsenführungsschienen (nicht dargestellt) im Wesentlichen parallel zu der Z-Achsenrichtung ist an der vorderen Oberflächenseite (d. h. dem Träger 4c) von jeder Y-Achsen-Bewegungsplatte 22a bereitgestellt. Eine Z-Achsen-Bewegungsplatte (nicht dargestellt) ist gleitbar an den Z-Achsenführungsschienen angebracht. Ein Mutterabschnitt (nicht dargestellt) ist an der hinteren Oberflächenseite (d. h. dem Träger 4d) der Z-Achsen-Bewegungsplatte bereitgestellt. Eine Z-Achsen-Kugelrollspindel (nicht dargestellt) parallel zu den Z-Achsenführungsschienen ist drehbar mit dem Mutterabschnitt gekoppelt.
Ein Z-Achsen-Pulsmotor 22b ist mit einem Endabschnitt der Z-Achsen-Kugelrollspindel (nicht dargestellt) gekoppelt. Wenn die Z-Achsen-Kugelrollspindel durch den Z-Achsen-Pulsmotor 22b gedreht wird, bewegt sich die Z-Achsen-Bewegungsplatte in der Z-Achsenrichtung entlang der Z-Achsenführungsschienen. Eine Schneideinheit (Bearbeitungseinheit) 24, die das Werkstück 11 schneidet (bearbeitet), ist an jeder Z-Achsen-Bewegungsplatte bereitgestellt. In der vorliegenden Ausführungsform ist ein Paar Schneideinheiten 24 entlang der Y-Achsenrichtung bereitgestellt.
Die Schneideinheiten 24 weisen ein rohrförmiges Spindelgehäuse auf. Das Spindelgehäuse haust eine Spindel (nicht dargestellt) teilweise ein, die im Wesentlichen parallel zu der Y-Achsenrichtung angeordnet ist. Die Spindel ist drehbar in dem Spindelgehäuse getragen. Eine Drehantriebsquelle (nicht dargestellt) wie ein Servomotor ist mit einem Ende der Spindel gekoppelt. Zusätzlich ist eine Schneidklinge, die eine ringförmige Schneidkante aufweist, mit einem anderen Ende der Spindel verbunden. Eine Kameraeinheit 26 zum Aufnehmen des Werkstücks 11 ist in einer Position benachbart zu der Schneideinheit 24 bereitgestellt.
Die Kameraeinheit 26 wird im Folgenden mit Bezug zu 2A und 2B beschrieben. 2A ist ein Diagramm zum Erklären der Kameraeinheit 26. Im Übrigen stellt 2A einen Teil der ausbildenden Elemente als funktionelle Blöcke dar. 2B ist eine untere Ansicht der Kameraeinheit 26. Die Kameraeinheit 26 weist ein zylindrisches Gehäuse 26a auf, das im Wesentlichen parallel zu der Z-Achsenrichtung angeordnet ist. Ein Aufnahmeelement 28 wie ein Bildsensor aus einem ladungsgekoppelten Bauelement (CCD) oder ein Bildsensor aus einem Komplementär-Metalloxid-Halbleiter (CMOS) ist an einem oberen Endabschnitt des Gehäuses 26a fixiert.
Eine Objektivlinse 30 ist an einem unteren Endabschnitt des Gehäuses 26a fixiert, sodass eine optische Achse 30a der Objektivlinse 30 im Wesentlichen parallel zu der Z-Achsenrichtung ist. Das Gehäuse 26a, das Aufnahmeelement 28 und die Objektivlinse 30 bilden eine Kamera aus. Das Werkstück 11, das die untere Oberflächenseite 11b durch die Halteoberfläche 14a gehalten aufweist, ist unterhalb der Objektivlinse 30 angeordnet. Eine Öffnung 26b ist in einem Seitenabschnitt des Gehäuses 26a bereitgestellt. Ein im Wesentlichen zylindrisches Gehäuse ist so angeordnet, dass es die Öffnung 26b abdeckt. Eine erste Lichtquelle 32 wie eine Halogenlampe ist in dem Gehäuse bereitgestellt. Licht, das durch die erste Lichtquelle 32 emittiert wurde, tritt in das Innere des Gehäuses 26a durch die Öffnung 26b ein.
Ein Halbspiegel 36 ist zwischen dem Aufnahmeelement 28 und der Objektivlinse 30 in einem Zustand angeordnet, in dem die Oberfläche des Halbspiegels 36 im Wesentlichen um 45 Grad bezüglich der optischen Achse 30a der Objektivlinse 30 geneigt ist. Ein Teil des Lichts, das in das Innere des Gehäuses 26a von der Öffnung 26b eintritt, wird durch den Halbspiegel 36 reflektiert und läuft nach unten entlang der optischen Achse 30a der Objektivlinse 30. Das Licht, das durch den Halbspiegel 36 reflektiert wurde, läuft durch die Objektivlinse 30 und wird auf der oberen Oberfläche 11a des Werkstücks 11 aufgebracht. Das Licht (reflektiertes Licht), das an der oberen Oberflächenseite 11a reflektiert wurde, tritt in das Aufnahmeelement 28 durch die Objektivlinse 30, den Halbspiegel 36 und eine bildausbildende Linse (nicht dargestellt) ein. Wenn eine koaxiale Epi-Beleuchtungseinheit 38, die durch die Objektivlinse 30, die erste Lichtquelle 32, den Halbspiegel 36 und dergleichen ausgebildet wird, verwendet wird, kann die obere Oberflächenseite 11a durch das Licht fotografiert werden, das auf der oberen Oberflächenseite 11a entlang der optischen Achse 30a aufgebracht wird.
Ein ringförmiges Gehäuse 40 ist an einem Seitenabschnitt eines unteren Endabschnitts des Gehäuses 26a angeordnet. Mehrere Öffnungen 40a sind in der unteren Oberfläche des Gehäuses 40 ausgebildet. Die mehreren Öffnungen 40a sind in im Wesentlichen gleichen Abständen entlang der äußeren umfänglichen Richtung der unteren Oberfläche des Gehäuses 40 angeordnet. Ein Endabschnitt einer optischen Faser 40b ist an jeder der Öffnungen fixiert. Ein anderer Endabschnitt der optischen Faser 40b ist mit einer zweiten Lichtquelle 42 wie einer Halogenlampe verbunden, wobei die zweite Lichtquelle 42 außerhalb des Gehäuses 40 angeordnet ist. Licht, das durch die zweite Lichtquelle 42 emittiert wird, wird radial nach unten von dem einen Endabschnitt der optischen Faser 40b aufgebracht.
Das Licht, das auf die obere Oberflächenseite 11a mit einem vorbestimmten Einfallswinkel von dem einen Endabschnitt der optischen Faser 40b auftrifft, wird von der oberen Oberflächenseite 11a mit einem vorbestimmten Reflexionswinkel reflektiert und tritt in das Aufnahmeelement 28 durch die Objektivlinse 30 und den Halbspiegel 36 ein. Wenn eine Seitenbeleuchtungslichteinheit 44, die durch das Gehäuse 40, die optischen Fasern 40b und die zweite Lichtquelle 42 und dergleichen ausgebildet wird, so verwendet wird, kann die obere Oberflächenseite 11a des Werkstücks 11 in einem Zustand fotografiert werden, in dem das Licht, das in einer geneigten Weise bezüglich der optischen Achse 30a aufgebracht wird, geneigt bezüglich der oberen Oberfläche 11a aufgebracht ist.
Jede, die erste Lichtquelle 32 und die zweite Lichtquelle 42 ist mit einem Dimmer 46 verbunden, der die Lichtmenge (Helligkeit) durch Anpassen einer Energiemenge, die zu der Lichtquelle zugeführt wird, anpasst. Im Übrigen in der vorliegenden Ausführungsform werden die koaxiale Epi-Beleuchtungseinheit 38, die Seitenbeleuchtungslichteinheit 44 und der Dimmer 46 zusammen als Beleuchtung 48 bezeichnet. Der Dimmer 46 ist mit einer Steuerungseinheit 50 verbunden, welche die Betätigung des Dimmers 46 steuert. Im Übrigen steuert die Steuerungseinheit 50 auch die Betätigung des Kassettenaufzugs 6a, der Saugquelle, des X-Achsen-Bewegungsmechanismus, dem Paar Bearbeitungseinheits-Bewegungsmechanismen 22, die Schneideinheit 24, die untere Transfereinheit 18, die obere Transfereinheit 20, das Aufnahmeelement 28, eine Reinigungseinheit 60 (die später beschrieben wird) und dergleichen.
Die Steuerungseinheit 50 ist zum Beispiel durch einen Computer ausgebildet, der ein Bearbeitungsbauelement wie einen Prozessor oder dergleichen beinhaltet, das durch eine zentrale Berechnungseinheit (CPU), einen Hauptspeicher wie einen dynamischen Arbeitsspeicher (DRAM), einen statischen Arbeitsspeicher (SRAM) oder einen Festwertspeicher (ROM) und eine Hilfsspeichervorrichtung wie einen Flash-Speicher, eine Festplatte oder einer Solid-State-Speichervorrichtung ausgebildet wird. Das Hilfsspeicherbauelement speichert Software, inklusive eines vorbestimmten Programms. Funktionen der Steuerungseinheit 50 werden durch Betätigen des Bearbeitungsbauelements oder dergleichen entsprechend der Software implementiert. Im Übrigen kann die Bearbeitungsvorrichtung unter Verwendung einer anwendungsspezifischen integrierten Schaltung (ASIC), einem Field-Programmable Gate Array (FPGA) oder dergleichen ausgebildet sein.
Zumindest ein Teil des Hilfsspeicherbauelements dient als ein Speicherbauelement 50a (siehe 1), das eine Bearbeitungsbedingung (die Drehgeschwindigkeit der Spindel, eine Flussrate des Schneidwassers, die Bewegungsgeschwindigkeit des Einspanntischs 14 und dergleichen) speichert, wenn die Schneideinheit 24 das Werkstück 11 schneidet. Das Speicherbauelement 50a speichert ferner eine Fotografiebedingung, die einen Steuerungswert (der später beschrieben wird) speichert, der eine Energiemenge spezifiziert, die zu dem Dimmer 46 zugeführt wird, Bilder, die durch die Kameraeinheit 26 fotografiert wurden, usw. Im Folgenden wird ein Verfahren zum Anpassen der Helligkeit der Beleuchtung 48, die durch den Dimmer 46 durch ein Phasensteuerungsverfahren unter Verwendung der Steuerungseinheit 50 gesteuert wird, beschrieben.
Der Dimmer 46 beinhaltet zum Beispiel ein erstes Halbleiterelement (zum Beispiel einen Triac) (nicht dargestellt), das zwischen Leiten und Nicht-Leiten zwischen einer Wechselspannungsleistungszufuhr 54 und der ersten Lichtquelle 32 hin und her schaltet, und eine erste Steuerungsschaltung (nicht dargestellt), welche die Betätigung des ersten Halbleiterbauelements steuert. Zusätzlich beinhaltet der Dimmer 46 ein zweites Halbleiterelement (zum Beispiel einen Triac) (nicht dargestellt), die zwischen einem Leiten und Nicht-Leiten zwischen der Wechselstromleistungszufuhr 54 und der zweiten Lichtquelle 42 hin und her schaltet und eine zweite Steuerungsschaltung (nicht dargestellt), welche die Betätigung des zweiten Halbleiterelements steuert.
Ein Dimmer-Signal, das einen Steuerungswert 52 angibt, der die jeweiligen Energiemengen spezifiziert, die von der Wechselstromleistungszufuhr 54 zu der ersten Lichtquelle 32 und der zweiten Lichtquelle 42 zugeführt werden, wird von der Steuerungseinheit 50 zu der ersten und zweiten Steuerungsschaltung übertragen. Eine Lichtmenge von jeder Lichtquelle wird durch Spezifizieren einer Energiemenge spezifiziert. Ein Steuerungswert 52 in der vorliegenden Ausführungsform ist ein numerischer Wert, der einer Zeit von einem Startzeitpunkt einer halben Periode eines Wechselstroms zu einem Zeitpunkt, bei dem die erste Lichtquelle 32 und/oder die zweite Lichtquelle 42 mit Energie versorgt durch Anlegen eines Gate-Signals an das Halbleiterelement wird, entspricht.
Wenn das Gate-Signal in das Halbleiterelement eingegeben wird, wird die erste Lichtquelle 32 und/oder die zweite Lichtquelle 42 mit Energie versorgt und die erste Lichtquelle 32 und/oder die zweite Lichtquelle 42 wird von dem Energieversorgungszeitpunkt zu einem Endzeitpunkt der halben Periode des Wechselstroms mit Energie versorgt. Die erste Lichtquelle 32 und die zweite Lichtquelle 42 werden im Verhältnis zu einer Energieversorgungszeit heller. Ein Dimmer-Signal, das einen Steuerungswert 52 angibt, das 50 % als Energiemengen der ersten Lichtquelle 32 und der zweiten Lichtquelle 42 spezifiziert, wird zum Beispiel in Steuerungsschaltungen eingegeben. In diesem Fall, unter der Annahme, dass die halbe Periode des Wechselstroms, der von der Wechselstromleistungszufuhr 54 ausgegeben wird, T/2 ist, werden die erste Lichtquelle 32 und die zweite Lichtquelle 42 für einen Zeitraum von T/4 bis T/2 mit Energie versorgt, wie durch eine Stromwellenform 56 angeben. Solch eine Energiesteuerung wird in jeder halben Periode wiederholt. Zusätzlich, zum Beispiel wenn ein Dimmer-Signal einen Steuerungswert 52 angibt, der 0 % als die Energiemenge der ersten Lichtquelle 32 und der zweiten Lichtquelle 42 als Eingabe an die Steuerungssignale spezifiziert, wird das Gate-Signal an das erste und zweite Halbleiterelement zu Zeitpunkten eines Startzeitpunkts von T/2 eingegeben. In diesem Fall werden die erste Lichtquelle 32 und die zweite Lichtquelle 42 praktisch nicht mit Energie versorgt. Solch eine Energiesteuerung wird für jede halbe Periode wiederholt.
3A ist ein Diagramm, das einen Zustand des Fotografierens der oberen Oberflächenseite 11a des Werkstücks 11 aufweist, dessen untere Oberflächenseite 11b durch die Halteoberfläche 14a gehalten ist, unter Verwendung von beiden, der koaxialen Epi-Beleuchtungseinheit 38 und der Seitenbeleuchtungslichteinheit 44. 3B ist ein schematisches Diagramm eines Bilds, das durch Fotografieren erhalten wurde. Der Steuerungswert 52 kann einzeln Lichtmengen der ersten Lichtquelle 32 und der zweiten Lichtquelle 42 spezifizieren. In 3A ist die Energiemenge der ersten Lichtquelle 32, welche die koaxiale Epi-Beleuchtungseinheit 38 ausbildet, auf 20 % gesetzt und die Energiemenge der zweiten Lichtquelle 42, welche die Seitenbeleuchtungslichteinheit 44 ausbildet, ist auf 20 % gesetzt. In dem Bild, das in 3B erhalten wird, wird das Schlüsselmuster 11c relativ gut abgebildet.
Das Schlüsselmuster 11c in der vorliegenden Ausführungsform ist ein kreuzförmiger Bereich. Ein Bild, das das Schlüsselmuster 11c beinhaltet, wird zum Beispiel verwendet, um eine geplante Teilungslinie des Werkstücks 11 und die Schneidklinge der Schneideinheit 24 miteinander auszurichten. 4A ist ein Diagramm, das einen Zustand des Fotografierens der oberen Oberflächenseite 11a mit nur der koaxialen Epi-Beleuchtungseinheit 38 leuchtend darstellt. 4B ist ein schematisches Diagramm eines Bilds, das durch Durchführen des Fotografierens mit nur der koaxialen Epi-Beleuchtungseiheit 38 leuchtend erhalten wurde.
In 4A ist die Energiemenge der ersten Lichtquelle 32 auf 20 % gesetzt und die Energiemenge der zweiten Lichtquelle 42 ist auf 0 % gesetzt. In dem Bild, das in 4B dargestellt ist, im Vergleich mit dem Bild, das in 3B dargestellt ist, sind Vorsprünge und Rücksprünge an der oberen Oberflächenseite 11a klarer fotografiert. 5A ist ein Diagramm, das einen Zustand des Fotografierens der Oberflächenseite 11a mit nur der Seitenbeleuchtungslichteinheit 44 leuchtend darstellt. 5B ist ein schematisches Diagramm eines Bilds, das durch Durchführen des Fotografierens mit nur der Seitenbeleuchtungslichteinheit 44 leuchtend erhalten wurde. In 5A ist die Energiemenge der ersten Lichtquelle 32 auf 0 % gesetzt und die Energiemenge der zweiten Lichtquelle 42 ist auf 20 % gesetzt. In dem Bild, das in 5B dargestellt ist, im Vergleich zu dem Bild, das in 3B dargestellt ist, ist der Kontrast des gesamten Bildes verringert.
Zurück zu 1 werden die anderen ausbildendenden Elemente der Schneidvorrichtung 2 beschrieben. Eine Öffnung 4e ist in einer Position an einer gegenüberliegenden Seite der Öffnung 4a über die Öffnung 4b hinweg bereitgestellt. Die Öffnung 4e ist mit einer Reinigungseinheit 60 zum Reinigen des Werkstücks 11 nach einer Bearbeitung bereitgestellt. Die Reinigungseinheit 60 weist einen Drehtisch auf, der sich in einem Zustand des Haltens der Werkstückeinheit 17 dreht. Eine Düse zum Ausstoßen einer Gas-Flüssigkeit, die aus einem Fluid aus reinem Wasser und Luft gemischt ist, zu dem Drehtisch ist oberhalb des Drehtischs bereitgestellt.
In einer Fabrik, in der mehrere Schneidvorrichtungen 2 desselben Typs installiert sind, werden mehrere Werkstücke 11 derselben Art oftmals unter Verwendung der mehreren Schneidvorrichtungen 2 bearbeitet. 6 ist ein Diagramm, das mehrere Schneidvorrichtungen (Bearbeitungsvorrichtungen) 2 desselben Typs darstellt. Um gleichzeitige Bearbeitung der Werkstücke 11 unter Verwendung der mehreren Schneidvorrichtungen 2 durchzuführen, werden eine Fotografiebedingung 62, die den Steuerungswert 52 beinhaltet, eine Bearbeitungsbedingung 64 und dergleichen von der ersten Schneidvorrichtung 2a zu einer zweiten Schneidvorrichtung 2b, einer dritten Schneidvorrichtung 2c und dergleichen kopiert.
Folglich führen die zweite Schneidvorrichtung 2b und dergleichen Fotografieren, Bearbeiten und dergleichen des Werkstücks 11 unter der gleichen Fotografiebedingung 62 und der gleichen Bearbeitungsbedingung 64 wie denen der ersten Schneidvorrichtung 2a durch. Jedoch kann die Helligkeit der Beleuchtung 48 der zweiten Schneidvorrichtung 2b aufgrund einer Alterung oder dergleichen in der ersten Lichtquelle 32 oder dergleichen in der zweiten Schneidvorrichtung 2b zum Beispiel verringert sein. In diesem Fall, sogar wenn ein Dimmer-Signal, das den gleichen Steuerungswert 52 angibt in die erste Schneidvorrichtung 2a und die zweite Schneidvorrichtung 2b eingegeben wird, erhält die zweite Schneidvorrichtung 2b ein anderes Bild hinsichtlich der Abschattung oder Helligkeit im Vergleich mit der ersten Schneidvorrichtung 2a. Folglich kann in der zweiten Schneidvorrichtung 2b ein Problem beim Identifizieren der Position der geplanten Teilungslinie oder beim Untersuchen der Position, des Bereichs, des Zustands oder dergleichen einer geschnittenen Nut oder dergleichen auftreten. Entsprechend in der vorliegenden Ausführungsform wird die Helligkeit der Beleuchtungen 48 angepasst, sodass ein Unterschied zwischen den Beleuchtungen 48 durch Vergleichen von Bildern, die durch Anpassen der Helligkeit der Beleuchtungen 48 erhalten werden, eliminiert wird.
7 ist ein Flussdiagramm eines Verfahrens zum Anpassen der Helligkeit einer Beleuchtung 48 entsprechend einer ersten Ausführungsform. Während ein Verfahren zum Anpassen der Helligkeit einer Beleuchtung 48 in der ersten Schneidvorrichtung 2a und der zweiten Schneidvorrichtung 2b in der vorliegenden Ausführungsform beschrieben wird, kann die Helligkeit von Beleuchtungen 48 in drei oder mehr Schneidvorrichtungen 2 angepasst werden. Die vorliegende Ausführungsform führt zuerst einen ersten Speicherschritt S10 durch. Der erste Speicherschritt S10 gibt ein Dimmer-Signal, das einen ersten Steuerungswert 52a angibt, an den Dimmer 46 der ersten Schneidvorrichtung 2a, setzt die Beleuchtung 48 auf eine vorbestimmte Helligkeit, fotografiert das Schlüsselmuster 11c an der oberen Oberflächenseite 11a des Werkstücks 11 und erhält dadurch ein Beispielbild 70 (siehe 8A).
8A ist ein schematisches Diagramm des Beispielbilds 70. In 8A wird das Beispielbild 70 mit nur der koaxialen Epi-Beleuchtungseinheit 38 leuchtend erhalten, sodass die Energiemenge der ersten Lichtquelle 32 auf 20 % und die Energiemenge der zweiten Lichtquelle 42 auf 0 % entsprechend dem ersten Steuerungswert 52a gesetzt ist. Dann speichert das Speicherbauelement 50a der ersten Schneidvorrichtung 2a das Beispielbild 70 zusammen mit dem ersten Steuerungswert 52a. Nach dem ersten Speicherschritt S10 wird ein Kopierschritt S20 durchgeführt.
Der Kopierschritt S20 kopiert das Beispielbild 70, das in dem Speicherbauelement 50a der ersten Schneidvorrichtung 2a gespeichert ist, und die Fotografiebedingung 62, die den ersten Steuerungswert 52a zusammen mit der Bearbeitungsbedingung 64, die in der ersten Schneidvorrichtung 2a verwendet wird, beinhaltet, und speichert das Beispielbild 70 und die Fotografiebedingung 62 in dem Speicherbauelement 50a der zweiten Schneidvorrichtung 2b zusammen mit der Bearbeitungsbedingung 64. Die erste Schneidvorrichtung 2a und die zweite Schneidvorrichtung 2b und dergleichen sind zum Beispiel miteinander durch ein Kabel oder kabellos verbunden. In diesem Fall in dem Kopierschritt S20 wird eine Information wie das Beispielbild 70, die Fotografiebedingung 62, die den ersten Steuerungswert 52a beinhaltet, die Bearbeitungsbedingung 64 und dergleichen von der ersten Schneidvorrichtung 2a zu der zweiten Schneidvorrichtung 2b durch ein Kabel oder kabellos gesendet. Im Übrigen müssen die erste Schneidvorrichtung 2a und die zweite Schneidvorrichtung 2b nicht miteinander durch Kabel oder kabellos verbunden sein. In diesem Fall weisen die erste Schneidvorrichtung 2a und die zweite Schneidvorrichtung 2b jeweils eine Schreib- und Lesevorrichtung (nicht dargestellt) auf, welche die Information auf ein Speichermedium wie eine Compact Disc (CD), eine Digital Versatile Disc (DVD), einen Universal Serial Bus Speicher (USB) oder einen magnetoresistiven Speicher schreibt und ferner die Information von dem Aufnahmemedium ausliest.
Nachdem ein Bediener die Information wie das Beispielbild 70, die Fotografiebedingung 62, die den ersten Steuerungswert 52a beinhaltet, die Bearbeitungsbedingung 64 und dergleichen auf dem Aufnahmemedium aufgenommen hat, bringt der Bediener die Schreib- und Lesevorrichtung der zweiten Schneidvorrichtung 2b dazu, das Aufnahmemedium auszulesen. Die Information wird dadurch von der ersten Schneidvorrichtung 2a zu der zweiten Schneidvorrichtung 2b kopiert. Nach dem Kopierschritt S20 erhält die zweite Schneidvorrichtung 2b mehrere Vergleichsbilder (siehe 8B, 8C und 8D) durch Fotografieren des Schlüsselmusters 11c an der oberen Oberflächenseite 11a mit Helligkeiten der Beleuchtung 48, die durch mehrere verschiedene Steuerungswerte 52 spezifiziert sind. Genauer gesagt werden mehrere Vergleichsbilder durch Fotografieren des Schlüsselmusters 11c entsprechend mehreren jeweiligen Steuerungswerten 52 erhalten, welche eine Energiemenge spezifizieren, die kleiner als eine Energiemenge entsprechend dem ersten Steuerungswert 52a sind, die gleiche Energiemenge, wie die Energiemenge entsprechend dem ersten Steuerungswert 52a und eine Energiemenge, die größer als die Energiemenge entsprechend dem ersten Steuerungswert 52a ist.
Im Übrigen erhält die vorliegende Ausführungsform Vergleichsbilder mit nur der koaxialen Epi-Beleuchtungseinheit 38 leuchtend durch Setzen der Energiemenge der zweiten Lichtquelle 42 auf 0 % und Anpassen der Energiemenge der ersten Lichtquelle 32 auf verschiedene Werte höher als 0 %. Zum Beispiel in der zweiten Schneidvorrichtung 2b wird das Schlüsselmuster 11c entsprechend einem Steuerungswert 52-1 aufgenommen, der die Energiemenge der ersten Lichtquelle 32 auf 16 % setzt und die Energiemenge der zweiten Lichtquelle 42 auf 0 % setzt. Zusätzlich wird das Schlüsselmuster 11c entsprechend einem Steuerungswert 52-2 aufgenommen, der die Energiemenge der ersten Lichtquelle 32 auf 18 % setzt und die Energiemenge der zweiten Lichtquelle 42 auf 0 % setzt.
Ferner wird in der zweiten Schneidvorrichtung 2b das Schlüsselmuster 11c entsprechend einem Steuerungswert 52-3 aufgenommen, der die Energiemenge der ersten Lichtquelle 32 auf 20 % setzt und die Energiemenge der zweiten Lichtquelle 42 auf 0 % setzt. Zusätzlich wird das Schlüsselmuster 11c entsprechend einem Steuerungswert 52-4 aufgenommen, der die Energiemenge der ersten Lichtquelle 32 auf 22 % setzt und die Energiemenge der zweiten Lichtquelle 20 auf 0 % setzt. Zusätzlich wird das Schlüsselmuster 11c entsprechend einem Steuerungswert 52-5 aufgenommen, der die Energiemenge der ersten Lichtquelle 32 auf 24 % setzt und die Energiemenge der zweiten Lichtquelle 20 auf 0 % setzt. Das Speicherbauelement 50a der zweiten Schneidvorrichtung 2b speichert die so erhaltenen mehreren Vergleichsbilder (zweiter Speicherschritt S30) .
8B ist ein schematisches Diagramm eines Vergleichsbilds 72a, das durch Aufnehmen des Schlüsselmusters 11c entsprechend dem Steuerungswert 52-3 erhalten wurde. 8C ist ein schematisches Diagramm eines Vergleichsbilds 72b, das durch Aufnehmen des Schlüsselmusters 11c entsprechend dem Steuerungswert 52-4 erhalten wurde. 8D ist ein schematisches Diagramm eines Vergleichsbilds 72c, das durch Aufnehmen des Schlüsselmusters 11c entsprechend dem Steuerungswert 52-5 erhalten wurde. Ein Vergleichsbild, das durch Aufnehmen des Schlüsselmusters 11c entsprechend dem Steuerungswert 52-1 erhalten wurde, und ein Vergleichsbild, das durch Aufnehmen des Schlüsselmusters 11c entsprechend dem Steuerungswert 52-2 erhalten wurde, sind ausgelassen.
Nach dem zweiten Speicherschritt S30 wird das Beispielbild 70 mit den Vergleichsbildern 72a, 72b und 72c verglichen. In der vorliegenden Ausführungsform wird die Gesamtsumme N_P der Unterschiede zwischen den numerischen Werten, welche die Helligkeitswerte der jeweiligen bildausbildenden Pixel angeben, zwischen dem Beispielbild 70 und jedem der Vergleichsbilder 72a, 72b und 72c, die verglichen werden sollen, verglichen. Ein numerischer Wert, der ein Helligkeitsniveau angibt, ist zum Beispiel ein Pixelwert, der durch 8 Bits (d. h. 256 Grauniveaus) in einem Fall, in dem das Bild ein Graustufenbild ist, angegeben ist. Der Pixelwert ist auf null in dem Fall gesetzt, in dem die Farbe des Pixels schwarz ist. Der Pixelwert ist auf 255 in einem Fall gesetzt, in dem die Farbe des Pixels weiß ist. Die Bilder sind selbstverständlich nicht auf Graustufenbilder beschränkt, sondern können Farbbilder sein.
Das Beispielbild 70 und jedes der Vergleichsbilder 72a, 72b und 72c sind Bilder, welche die gleiche Anzahl vertikaler und horizontaler Pixel aufweisen. Wenn die Gesamtsumme N_P der Unterschiede zwischen den Pixelwerten des Beispielbilds 70 und der Vergleichsbilder 72a berechnet werden soll, wird ein Unterschied zwischen den Pixelwerten der jeweiligen Pixel an jeder identischen Position in einer vertikalen Richtung und einer horizontalen Richtung (d. h. an jeder identischen Koordinatenposition) in dem Beispielbild 70 und dem Vergleichsbild 72a berechnet und danach wird die Gesamtsumme dieser Unterschiede berechnet. In der vorliegenden Ausführungsform ist die Gesamtsumme N_P2 der Unterschiede zwischen den Pixelwerten der jeweiligen Pixel an identischen Koordinatenpositionen in dem Beispielbild 70 und dem Vergleichsbild 72b kleiner als die Gesamtsumme N_P1 der Unterschiede zwischen den Pixelwerten der jeweiligen Pixel an identischen Koordinatenpositionen in dem Beispielbild 70 und dem Vergleichsbild 72a. Ferner ist die Gesamtsumme N_P2 kleiner als eine Gesamtsumme N_P3 der Unterschiede zwischen den Pixelwerten der jeweiligen Pixel an identischen Koordinatenpositionen in dem Beispielbild 70 und dem Vergleichsbild 72c. Folglich ist die Gesamtsumme N_P2 ein Minimum. D. h., dass der Helligkeitsunterschied zwischen dem Beispielbild 70 und dem Vergleichsbild 72b minimal ist.
Die Steuerungseinheit 50 der zweiten Schneidvorrichtung 2b identifiziert als einen zweiten Steuerungswert 52b den Steuerungswert 52-4 zu dem Zeitpunkt des Fotografierens des Vergleichsbilds 72b, der einen minimalen Helligkeitsunterschied zu dem Beispielbild 70 entsprechend einem vorbestimmten Programm in dem Hilfsspeicherbauelement der Steuerungseinheit 50 selbst aufweist (Identifizierungsschritt S40 für Steuerungswert). Nachdem der Identifizierungsschritt S40 für einen Steuerungswert durchgeführt wurde, setzt die Steuerungseinheit 50 der zweiten Schneidvorrichtung 2b einen Unterschied zwischen dem zweiten Steuerungswert 52b und dem ersten Steuerungswert 52a als einem Korrekturwert 58 des Steuerungswerts 52 der zweiten Schneidvorrichtung 2b bezüglich der ersten Schneidvorrichtung 2a (Einstellschritt S50 für Korrekturwert).
Der erste Steuerungswert 52a bestimmt einen Energieversorgungsstartzeitpunkt der ersten Lichtquelle 32 der ersten Schneidvorrichtung 2a. Der erste Steuerungswert 52a ist zum Beispiel ein numerischer Wert, der einer Zeit von einem Startzeitpunkt einer halben Periode T/2 des Wechselstroms zu dem Zeitpunkt t₁ entspricht. Wenn ein Dimmer-Signal, das den ersten Steuerungswert 52a angibt, in den Dimmer 46 der ersten Schneidvorrichtung 2a eingegeben ist, wird die erste Lichtquelle 32 der ersten Schneidvorrichtung 2a von dem Zeitpunkt t₁ bis zu einem Endzeitpunkt der halben Periode T/2 mit Energie versorgt. In diesem Fall wird die Energiemenge der koaxialen Epi-Beleuchtungseinheit 38 der ersten Schneidvorrichtung 2a zum Beispiel 20 %.
Der zweite Steuerungswert 52b bestimmt eine Energieversorgungsstartzeit der ersten Lichtquelle 32 der zweiten Schneidvorrichtung 2b. Der zweite Steuerungswert 52b ist zum Beispiel ein numerischer Wert, der einer Zeit von einem Startzeitpunkt einer halben Periode T/2 des Wechselstroms zu einem Zeitpunkt t₂ früher als t₁ entspricht. Wenn ein Dimmer-Signal, das den zweiten Steuerungswert 52b angibt, in den Dimmer 46 der zweiten Schneidvorrichtung 2b eingegeben wird, wird ein Versorgen mit Energie von dem Zeitpunkt t₂ zu einem Endzeitpunkt der halben Periode T/2 durchgeführt. In diesem Fall ist die Energiemenge der koaxialen Epi-Beleuchtungseinheit 38 der zweiten Schneidvorrichtung 2b zum Beispiel 22 %.
Ein Unterschied zwischen dem Zeitpunkt t₂ und t₁ entspricht einem Unterschied in der Energiemenge. Der Korrekturwert 58 ist als ein numerischer Wert entsprechend dem Unterschied in der Energiemenge gesetzt. In dem Einstellschritt S50 für einen Korrekturwert speichert zum Beispiel die Steuerungseinheit 50 der zweiten Schneidvorrichtung 2b automatisch den Korrekturwert 58 in dem Speicherbauelement 50a der Speichereinheit 50 selbst. Der Korrekturwert 58 kann in dem Speicherbauelement 50a der zweiten Schneidvorrichtung 2b entsprechend einer Instruktion, einer Eingabe oder dergleichen des Bedieners gespeichert werden. Wenn ein Werkstück 11 unter Verwendung der zweiten Schneidvorrichtung 2b bearbeitet wird, wird ein Dimmer-Signal, welches den zweiten Steuerungswert 52b angibt, der durch Addieren des Korrekturwertes 58 zu dem ersten Steuerungswert 52a erhalten wird, in den Dimmer 46 der zweiten Schneidvorrichtung 2b eingegeben.
Die Energiemenge der Beleuchtung 48 der zweiten Schneidvorrichtung 2b, d. h. die Lichtmenge (Helligkeit) der Beleuchtung 48 der zweiten Schneidvorrichtung 2b wird folglich korrigiert. Darum, sogar wenn eine Lichtquelle abbaut oder dergleichen auftritt, kann ein Helligkeitsunterschied zwischen der Beleuchtung 48 reduziert werden. D. h., dass es möglich ist, einen Helligkeitsunterschied zwischen Bildern, die durch die Kameraeinheiten 26 der ersten Schneidvorrichtung 2a und der zweiten Schneidvorrichtung 2b erhalten werden, zu reduzieren. Es existiert auch ein Vorteil, dass man dazu in der Lage ist, den Unterschied zwischen den Bildern, die durch die jeweiligen Kameraeinheiten 26 erhalten werden, zu reduzieren, ohne die Lichtquelle oder dergleichen zu ersetzen, und ohne ein spezielles Teststück zum Messen eines Unterschieds der Lichtmenge zwischen den Kameraeinheiten 26 zu verwenden.
Eine allgemeine Prozedur zum Schneiden (Bearbeiten) eines Werkstücks 11 durch die Schneidvorrichtung 2 wird als nächstes beschrieben. Wenn das Werkstück 11 geschnitten werden soll, wird die Werkstückeinheit 17 zuerst aus dem Paar Führungsschienen durch einen Druck-Zugarm der unteren Transfereinheit 18 entnommen. Das Paar Führungsschienen nähert sich einander entlang der X-Achsenrichtung und dadurch wird die Position in der X-Achsenrichtung der Werkstückeinheit 17 angepasst. Als nächstes wird die Werkstückeinheit 17 von dem Paar Führungsschienen zu dem Einspanntisch 14 durch die untere Transfereinheit 18 übertragen.
Nachdem die untere Oberflächenseite 11b durch die Halteoberfläche 14a angesaugt und gehalten ist, wird ein Dimmer-Signal, das den Steuerungswert 52 angibt, in den Dimmer 46 eingegeben. Folglich wird die Beleuchtung 48 auf eine vorbestimmte Helligkeit gesetzt und die obere Oberflächenseite 11a wird durch die Kameraeinheit 26 fotografiert. In einem Fall, in dem die Helligkeit der Beleuchtung 48 angepasst werden muss, wird die Helligkeit der Beleuchtung 48 unter Verwendung des oben beschriebenen Korrekturwertes 58 angepasst. Wenn die Steuerungseinheit 50 eine vorbestimmte Bildbearbeitung an einem Bild durchführt, das durch Fotografieren erhalten wurde (d. h. auf der Basis des Bildes) wird die Position des Schlüsselmusters 11c identifiziert. Dann werden die Position, die Orientierung und dergleichen einer geplanten Teilungslinie, die an einer vorbestimmten Position angeordnet ist, aus der Position des Schlüsselmusters 11c identifiziert.
Nachdem die Orientierung des Einspanntischs 14 durch die Drehantriebsquelle angepasst wurde, sodass die Orientierung der geplanten Teilungslinie parallel zu der X-Achsenrichtung ist, wird das Werkstück 11 entsprechend einer vorbestimmten Bearbeitungsbedingung 64 geschnitten, während die Schneidklinge und der Einspanntisch 14 relativ zueinander in der X-Achsenrichtung bewegt werden. Nachdem das Werkstück entlang all der geplanten Teilungslinien geschnitten wurde, überträgt die obere Transfereinheit 20 die Werkstückeinheit 17 von dem Einspanntisch 14 zu der Reinigungseinheit 60 und die Reinigungseinheit 60 reinigt und trocknet das Werkstück 11. Dann, nachdem die untere Transfereinheit 18 die Werkstückeinheit 17 von der Reinigungseinheit zu dem Paar Führungsschienen überträgt, wird die Werkstückeinheit 17 in die Kassette 6b von dem Paar Führungsschienen durch den Druck-Zugarm der unteren Transfereinheit 18 gedrückt.
Eine zweite Ausführungsform wird als nächstes beschrieben. 9 ist ein Flussdiagramm eines Verfahrens zum Anpassen der Helligkeit der Beleuchtung 48 entsprechend der zweiten Ausführungsform. Die zweite Ausführungsform führt auch zuerst den ersten Speicherschritt S10 durch. Jedoch wird in dem ersten Speicherschritt S10 die Betätigung des Dimmers 46 angepasst, sodass die erste Lichtquelle 32 und die zweite Lichtquelle 42 einzeln die erste Schneidvorrichtung 2a beleuchten.
Zum Beispiel, wenn ein Dimmer-Signal, das einen dritten Steuerungswert 52c angibt, in den Dimmer 46 eingegeben wird, beleuchtet die Beleuchtung 48 so, dass die Energiemenge der ersten Lichtquelle 32 20 % ist und die Energiemenge der zweiten Lichtquelle 42 0 % ist. Folglich wird ein erstes Beispielbild 70 erhalten, wobei nur die koaxiale Epi-Beleuchtungseinheit 38 leuchtet. Danach, wenn ein Dimmer-Signal, das einen vierten Steuerungswert 52d angibt, in den Dimmer 46 eingegeben wird, beleuchtet die Beleuchtung 48 so, dass die Energiemenge der ersten Lichtquelle 32 0 % ist und die Energiemenge der zweiten Lichtquelle 42 20 % ist. Folglich wird ein zweites Beispielbild 80 durch Fotografieren des Schlüsselmusters 11c mit nur der Seitenbeleuchtungslichteinheit 44 leuchtend erhalten (siehe 5B). Die Reihenfolge des Beleuchtens der ersten Lichtquelle 32 und der zweiten Lichtquelle 42 kann umgekehrt sein.
Danach speichert das Speicherbauelement 50a der ersten Schneidvorrichtung 2a das erste Beispielbild 70 und das zweite Beispielbild 80 zusammen mit dem dritten Steuerungswert 52c und dem vierten Steuerungswert 52d (erster Speicherschritt S10). Als nächstes werden das erste Beispielbild 70, das zweite Beispielbild 80, die Fotografiebedingung 62, die den dritten Steuerungswert 52c und den vierten Steuerungswert 52d beinhalten und die Bearbeitungsbedingung 64 kopiert und in dem Speicherbauelement 50a der zweiten Schneidvorrichtung 2b gespeichert (Kopierschritt S20). Nachdem Kopierschritt S20 wird der zweite Speicherschritt S30 durchgeführt. Jedoch in dem zweiten Speicherschritt S30 der zweiten Ausführungsform werden mehrere erste Vergleichsbilder durch Fotografieren des Schlüsselmusters 11c erhalten, wobei nur die koaxiale Epi-Beleuchtungseinheit 38 leuchtet, und ferner mehrere zweite Vergleichsbilder durch Fotografieren des Schlüsselmusters 11c erhalten, wobei nur die Seitenbeleuchtungslichteinheit 44 leuchtet.
Wenn die mehreren ersten Vergleichsbilder und die mehreren zweiten Vergleichsbilder erhalten werden, wird das Schlüsselmuster 11c entsprechend mehrerer jeweiliger Steuerungswerte 52, die Energiemengen kleiner als die Energiemengen entsprechend dem dritten Steuerungswert 52c und dem vierten Steuerungswert 52d spezifizieren, die Energiemengen gleich den Energiemengen entsprechend dem dritten Steuerungswert 52c und dem vierten Steuerungswert 52d sind, und Energiemengen, die größer als die Energiemengen entsprechend dem dritten Steuerungswert 52c und dem vierten Steuerungswert 52d sind, wie in der ersten Ausführungsform fotografiert. Dann speichert das Speicherbauelement 50a der zweiten Schneidvorrichtung 2b die mehreren ersten Vergleichsbilder und die mehreren zweiten Vergleichsbilder (zweiter Speicherschritt S30). Nach dem zweiten Speicherschritt S30 wird der Identifizierungsschritt S40 für einen Steuerungswert durchgeführt.
In dem Identifizierungsschritt S40 für einen Steuerungswert der zweiten Ausführungsform vergleicht die Steuerungseinheit 50 der zweiten Schneidvorrichtung 2b eine Gesamtsumme N_P der Unterschiede zwischen den Pixelwerten der jeweiligen Pixel an identischen Koordinatenpositionen in dem ersten Beispielbild 70 und jedem der ersten Vergleichsbilder. Folglich wird ein Steuerungswert 52 zu dem Zeitpunkt des Fotografierens eines ersten Vergleichsbilds, das einen minimalen Unterschied in der Helligkeit zu dem ersten Beispielbild 70 aufweist, als ein fünfter Steuerungswert 52e identifiziert. Ferner vergleicht die Steuerungseinheit 50 der zweiten Schneidvorrichtung 2b eine Gesamtsumme N_P von Unterschieden zwischen den Pixelwerten der jeweiligen Pixel an identischen Koordinatenpositionen in dem zweiten Beispielbild 80 und jedem der zweiten Vergleichsbilder. Folglich wird ein Steuerungswert 52 zu dem Zeitpunkt des Fotografierens eines zweiten Vergleichsbilds, das einen minimalen Unterschied in der Helligkeit zu dem zweiten Beispielbild 80 aufweist, als ein sechster Steuerungswert 52f identifiziert.
Nach dem Identifizierungsschritt S40 für einen Steuerungswert setzt die Steuerungseinheit 50 der zweiten Schneidvorrichtung 2b einen Unterschied zwischen dem fünften Steuerungswert 52e und dem dritten Steuerungswert 52c als einen ersten Korrekturwert 58a des Steuerungswerts 52 der zweiten Schneidvorrichtung 2b bezüglich der koaxialen Epi-Beleuchtungseinheit 38 der ersten Schneidvorrichtung 2a. Ferner setzt die Steuerungseinheit 50 der zweiten Schneidvorrichtung 2b einen Unterschied zwischen dem sechsten Steuerungswert 52f und dem vierten Steuerungswert 52d als einen zweiten Korrekturwert 58b des Steuerungswerts 52 der zweiten Schneidvorrichtung 2b bezüglich der Seitenbeleuchtungslichteinheit 44 der ersten Schneidvorrichtung 2a (Einstellschritt S50 für Korrekturwert).
Der erste Korrekturwert 58a und der zweite Korrekturwert 58b sind in dem Speicherbauelement 50a der zweiten Schneidvorrichtung 2b gespeichert. Folglich, sogar wenn ein Unterschied in der Lichtmenge zwischen den ersten Lichtquellen 32 und ferner ein Unterschied in der Lichtmenge zwischen den zweiten Lichtquellen 42 auftritt, kann ein Unterschied hinsichtlich der Helligkeit zwischen den Beleuchtungen 48 der ersten Schneidvorrichtung 2a und der zweiten Schneidvorrichtung 2b reduziert werden. Die Strukturen, die Verfahren und dergleichen entsprechend den vorgenannten Ausführungsformen können modifiziert und implementiert wie geeignet werden, außer sie weichen von dem Umfang des Ziels der vorliegenden Erfindung ab. Zum Beispiel kann ein Pulsweitenmodulationsverfahren (PWM) oder ein anderes bekanntes Verfahren anstelle des Phasensteuerungsverfahrens verwendet werden.
Zusätzlich, während die vorgenannten Ausführungsformen eine Halogenlampe als die erste Lichtquelle 32 und die zweite Lichtquelle 42 verwenden, kann eine LED anstelle der Halogenlampe verwendet werden. In diesem Fall werden die optischen Fasern 40b der Seitenbeleuchtungslichteinheit 44 weggelassen und mehrere LEDs werden in dem Gehäuse 40 zum Beispiel so angeordnet, dass die Licht emittierende Oberfläche der LEDs in den mehreren Öffnungen 40a liegen. Zusätzlich kann die Helligkeit der Beleuchtung 48 durch Anpassen einer Spannung, die an die LEDs angelegt wird, angepasst werden. Ferner, während die Schneidvorrichtung 2 als ein Beispiel der Bearbeitungsvorrichtung in den vorher genannten Ausführungsformen beschrieben ist, kann die Bearbeitungsvorrichtung eine Laserbearbeitungsvorrichtung sein. Die Laserbearbeitungsvorrichtung weist eine Laserbestrahlungseinheit (Bearbeitungseinheit) auf, die nicht dargestellt ist, wobei die Einheit die obere Oberfläche 11a des Werkstücks 11, das seine untere Oberflächenseite 11b durch die Halteoberfläche 14a gehalten aufweist, mit einem Laserstrahl bestrahlt anstelle der Schneideinheit 24.
Die Laserbestrahlungseinheit weist einen Laseroszillator (nicht dargestellt) zum Generieren eines gepulsten Laserstrahls auf, der eine vorbestimmte Wellenlänge aufweist, die durch das Werkstück 11 absorbiert wird. Der Laserstrahl, der von dem Laseroszillator emittiert wurde, läuft durch ein vorbestimmtes optisches System, das eine Kondensorlinse und dergleichen beinhaltet, und wird auf der oberen Oberflächenseite 11a aufgebracht. Die oben beschriebene Kameraeinheit 26 zum Aufnehmen des Werkstücks 11 ist in einer Position benachbart zu der Laserbestrahlungseinheit bereitgestellt. Ein Bild der oberen Oberflächenseite 11a des Werkstücks 11, das durch die Halteoberfläche 14a gehalten ist, wird durch Verwendung der Kameraeinheit 26 erhalten.
Die vorliegende Erfindung ist nicht auf die Details der oben beschriebenen bevorzugten Ausführungsform beschränkt. Der Umfang der Erfindung wird durch die angehängten Patentansprüche definiert und alle Änderungen und Modifikationen, die in das Äquivalente des Schutzbereichs der Ansprüche fallen, sind daher von der Erfindung umfasst.
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur

JP 2002011641 [0004]
JP 2003319253 [0006]

Claims

Verfahren zum Anpassen einer Helligkeit einer Beleuchtung in einer Bearbeitungsvorrichtung, wobei das Verfahren umfasst: einen ersten Speicherschritt eines Speicherbauelements einer ersten Bearbeitungsvorrichtung, das ein Beispielbild, das durch Fotografieren eines vorbestimmten Musters erhalten wird, das an einem Werkstück angeordnet ist, mit einer Helligkeit einer Beleuchtung, wobei die Helligkeit durch einen ersten Steuerungswert spezifiziert wird, zusammen mit dem ersten Steuerungswert in der ersten Bearbeitungsvorrichtung aus mehreren Bearbeitungsvorrichtungen speichert, die jeweils eine Kameraeinheit beinhalten, welche die Beleuchtung, deren Helligkeit angepasst werden kann, eine Objektivlinse und ein Aufnahmeelement beinhalten und dazu ausgestaltet sind, ein Werkstück zu fotografieren, indem reflektiertes Licht des Lichts, das von der Beleuchtung auf dem Werkstück aufgebracht wurde, auf dem Aufnahmeelement durch die Objektivlinse auftrifft, eine Bearbeitungseinheit, die dazu ausgestaltet ist, das Werkstück auf der Basis eines Bilds zu bearbeiten, das durch die Kameraeinheit erhalten wurde, und ein Speicherbauelement, das dazu ausgestaltet ist, einen Steuerungswert, der die Helligkeit der Beleuchtung spezifiziert, und eine Bearbeitungsbedingung der Bearbeitungseinheit, wenn die Bearbeitungseinheit das Werkstück bearbeitet, zu speichern; einen Kopierschritt zum Kopieren des Beispielbilds und des ersten Steuerungswerts, der in dem Speicherbauelement der ersten Bearbeitungsvorrichtung gespeichert ist, zusammen mit den Bearbeitungsbedingungen, die in der ersten Bearbeitungsvorrichtung verwendet werden, und Speichern des Beispielbilds, des ersten Steuerungswerts und der Bearbeitungsbedingung in dem Speicherbauelement einer zweiten Bearbeitungsvorrichtung; einen zweiten Speicherschritt des Speicherbauelements der zweiten Bearbeitungsvorrichtung, der mehrere Vergleichsbilder speichert, die durch Fotografieren des vorbestimmten Musters des Werkstücks mit verschiedenen Helligkeiten der Beleuchtung erhalten werden, wobei die Helligkeiten durch mehrere verschiedene Steuerungswerte spezifiziert werden, in der zweiten Bearbeitungsvorrichtung; einen Identifizierungsschritt für einen Steuerungswert zum Vergleichen des Beispielbilds mit den mehreren Vergleichsbildern und Identifizieren, als einen zweiten Steuerungswert einen Steuerungswert zu einem Zeitpunkt des Fotografierens eines Vergleichsbilds, das einen minimalen Helligkeitsunterschied zu dem Beispielbild aufweist; und einen Einstellschritt für einen Korrekturwert zum Einstellen in der zweiten Bearbeitungsvorrichtung einen Unterschied zwischen dem zweiten Steuerungswert und dem ersten Steuerungswert als ein Korrekturwert des Steuerungswerts der zweiten Bearbeitungsvorrichtung bezüglich der ersten Bearbeitungsvorrichtung.
Verfahren zum Anpassen der Helligkeit der Beleuchtung in der Bearbeitungsvorrichtung nach Anspruch 1, wobei in dem Identifizierungsschritt für einen Steuerungswert Unterschiede zwischen numerischen Werten, welche die Helligkeitsniveaus der jeweiligen bildausbildenden Pixel angeben, an jeweiligen identischen Position in einer vertikalen Richtung und einer horizontalen Richtung in dem Beispielbild und jedem der Vergleichsbilder berechnet werden und eine Gesamtsumme der Unterschiede verglichen wird.
Verfahren zum Anpassen der Helligkeit der Beleuchtung der Bearbeitungsvorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, wobei die Beleuchtung eine koaxiale Epi-Beleuchtungseinheit, die dazu ausgestaltet ist, Licht entlang einer optischen Achse der Objektivlinse aufzubringen, und eine Seitenbeleuchtungslichteinheit beinhaltet, die dazu ausgestaltet ist, Licht geneigt bezüglich der optischen Achse der Objektivlinse aufzubringen, in dem ersten Speicherschritt der erste Steuerungswert einen dritten Steuerungswert und einen vierten Steuerungswert beinhaltet, das Beispielbild ein erstes Beispielbild und ein zweites Beispielbild beinhaltet, das Speicherbauelement der ersten Bearbeitungsvorrichtung zusammen mit dem dritten Steuerungswert und dem vierten Steuerungswert das erste Beispielbild, das durch Fotografieren des vorbestimmten Musters des Werkstücks mit nur der koaxialen Epi-Beleuchtungseinheit leuchtend entsprechend dem dritten Steuerungswert erhalten wurde, und das zweite Beispielbild, das durch Fotografieren des vorbestimmten Musters des Werkstücks nur mit der Seitenbeleuchtungslichteinheit leuchtend entsprechend dem vierten Steuerungswert erhalten wurde, speichert, in dem zweiten Speicherschritt das Speicherbauelement der zweiten Bearbeitungsvorrichtung mehrere erste Vergleichsbilder, die durch Fotografieren des vorbestimmten Musters des Werkstücks mit nur der koaxialen Epi-Beleuchtungseinheit leuchtend entsprechend mehreren jeweiligen unterschiedlichen Steuerungswerten erhalten wurden, und mehrere zweite Vergleichsbilder, die durch Fotografieren des vorbestimmten Musters des Werkstücks mit nur der Seitenbeleuchtungslichteinheit leuchtend entsprechend mehreren jeweiligen unterschiedlichen Steuerungswerten erhalten wurden, speichert, in dem Identifizierungsschritt für einen Steuerungswert der zweite Steuerungswert einen fünften Steuerungswert und einen sechsten Steuerungswert beinhaltet, ein Steuerungswert zum Zeitpunkt des Fotografierens eines ersten Vergleichsbilds, das einen minimalen Unterschied hinsichtlich der Helligkeit zu dem ersten Beispielbild aufweist, als der fünfte Steuerungswert durch Vergleichen des ersten Beispielbilds mit jedem der ersten Vergleichsbilder identifiziert wird und ein Steuerungswert zu einem Zeitpunkt des Fotografierens eines zweiten Vergleichsbilds, das einen minimalen Unterschied hinsichtlich der Helligkeit zu dem zweiten Beispielbild aufweist, als der sechste Steuerungswert durch Vergleichen des zweiten Beispielbilds mit jedem der zweiten Vergleichsbilder identifiziert wird, und in dem Einstellschritt für einen Korrekturwert ein Unterschied zwischen dem fünften Steuerungswert und dem dritten Steuerungswert als ein erster Korrekturwert des Steuerungswerts der zweiten Bearbeitungsvorrichtung bezüglich der ersten Bearbeitungsvorrichtung in der zweiten Bearbeitungsvorrichtung eingestellt wird und ein Unterschied zwischen dem sechsten Steuerungswert und dem vierten Steuerungswert als ein zweiter Korrekturwert des Steuerungswerts der zweiten Bearbeitungsvorrichtung bezüglich der ersten Bearbeitungsvorrichtung in der zweiten Bearbeitungsvorrichtung eingestellt wird.