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Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen eines Elektronikmoduls mit mindestens folgenden Schritten: Bereitstellen einer mit einer ersten elektrisch leitfähigen Strukturierung versehenen Leiterplatte, Anbringen mindestens eines elektronischen Bauelements an der ersten Strukturierung und darauf Aufbringen einer zweiten elektrisch leitfähigen Strukturierung. Die Erfindung betrifft auch ein Elektronikmodul, aufweisend eine mit einer ersten elektrisch leitfähigen Strukturierung versehene Leiterplatte, mindestens ein auf der ersten elektrischen Strukturierung angeordnetes elektronisches Bauelement und eine darauf aufgebrachte zweite elektrisch leitfähige Strukturierung. Die Erfindung ist insbesondere anwendbar auf Leistungselektronikmodule.
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Aktuell basiert die klassische Aufbautechnik von Leistungsbauelementen wie IGBTs auf strukturierten, leitenden Bahnen auf einem isolierenden Substrat (meist aus Keramik) sowie aus Verbindungselementen zwischen diesen Bahnen in Form von Drähten (z.B. sog. Bonddrähten) oder Bändern. Bekannt ist insbesondere eine Verwendung einer mit leitenden Bahnen aus Kupfer belegten Keramikplatte, einer sog. DCB(„Direct Copper Bonded”, auch DBC, „Direct Bonded Copper”)-Leiterplatte. Diese Leiterplatte wird häufig auch als „Substrat” bezeichnet, z.B. als „DCB-Substrat”.
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Neuere Entwicklungen im Bereich von Leistungselektronikmodulen ermöglichen durch eine planare Aufbauweise eine höhere Zuverlässigkeit und verbesserte niederinduktive Aufbaumöglichkeiten zur Verringerung von Verlustleistungen sowie zur Realisierung von höheren Schaltfrequenzen. Zusätzlich wird auf lebensdauerreduzierende Verbindungsstellen, die in fehleranfälligen, seriellen Prozessen wie einem Bonden hergestellt werden, verzichtet. Beispiele für eine planare Aufbauweise stellen die „SKiN“-Technologie der Fa. Semikron oder die „SiPLIT“-Technologie der Fa. Siemens dar. Charakteristisch für die SKiN-Technologie ist der Ersatz von Bonddrähten durch eine flexible, strukturierte Folie, die flächig auf die DCB-Leiterplatte mit den darauf befestigten Leistungselektronik-Bauelementen aufgesintert wird. Bei der SiPLIT-Technologie erfolgt die planare Verdrahtung auf einer zunächst unstrukturierten Folie, die gleichzeitig als Dielektrikum fungiert. Die anschließende Strukturierung und Kontaktierung erfolgt galvanisch. Letzteres geschieht über zuvor durch Laserablation freigestellte Öffnungen in der Folie.
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Beiden planaren Aufbautechnologien ist gemeinsam, dass diese obere Verdrahtungsebene entweder vor ihrer Aufbringung oder bei der Modulfertigung in aufwändigen galvanischen Prozessen hergestellt werden muss. Bei der SKiN-Technologie geschieht dies unabhängig von der eigentlichen Modulfertigung auf der flexiblen Folie in Leiterplattentechnik. Bei der SiPLIT-Technologie wird in mehreren Prozessschritten bis zur Endkupferdicke galvanisch aufgebaut.
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Die Prozessfolgen bei den planaren Aufbautechniken beinhalten zudem eine Kombination von subtraktiven und additiven Prozessen bei der Herstellung der Verbindungen. Im Fall der SKiN-Technologie muss die flexible Folie beispielsweise vor der Aufbringung ätzstrukturiert und zusammen mit den einzelnen Komponenten (z.B. Kühlkörper, Anschlussterminals, DCB-Substrat, Flexboard) dann in einem mehrstufigen Sinterprozess miteinander zu einem Modul verbunden werden. Im Fall der SiPLIT-Technologie wird die zuvor aufgebrachte Folie in mehreren, unterschiedlichen Prozessen metallisiert und strukturiert sowie galvanisch auf die Endkupferdicke aufgebaut.
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Zur Kontaktierung des Moduls mit einer Steuerplatine zur Ein- und Auskopplung von Leistungs- und Steuersignalen existieren unterschiedliche Lösungen, beispielsweise mittels einer Verwendung von Federkontakten über angeschweißte, gelötete oder gesinterte Elemente bis hin zu Einpresspins.
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Es ist die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, die Nachteile des Standes der Technik zumindest teilweise zu überwinden und insbesondere eine Möglichkeit zur vereinfacht hergestellten Verdrahtung eines Elektronikmoduls bereitzustellen, insbesondere eines Leistungselektronikmoduls. Es ist insbesondere eine Aufgabe eine obere Verdrahtungsebene vereinfacht herzustellen.
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Diese Aufgabe wird gemäß den Merkmalen der unabhängigen Ansprüche gelöst. Bevorzugte Ausführungsformen sind insbesondere den abhängigen Ansprüchen entnehmbar.
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Die Aufgabe wird gelöst durch ein Verfahren zum Herstellen eines Elektronikmoduls mit mindestens folgenden Schritten: (i) Bereitstellen einer mit einer ersten elektrisch leitfähigen Strukturierung versehenen Leiterplatte, (ii) Anbringen mindestens eines elektronischen Bauelements an der ersten Strukturierung und (iii) darauf rein additives Herstellen einer zweiten elektrisch leitfähigen Strukturierung.
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Die erste Strukturierung oder Leitungsstruktur mag einer unteren Verdrahtungsebene entsprechen. Die erste Strukturierung oder Leitungsstruktur mag einer oberen Verdrahtungsebene entsprechen.
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Dieses Verfahren weist den Vorteil auf, dass auf kosten- und zeitintensive Prozesse zur Strukturierung und Metallisierung der zweiten elektrisch leitfähigen Strukturierung verzichtet werden kann. Auch entfallen zusätzliche serielle Prozesse zur Herstellung von Anschlussstrukturen zur Kontaktierung der Steuerplatine. In einem einzigen Prozess können alle benötigten Schichten zum Aufbau des Moduls dreidimensional in nahezu beliebiger Schichtdicke ohne subtraktive oder ablative bzw. materialabtragende Prozesse erzeugt werden. Bekannte Probleme gängiger Verfahren wie z.B. eine reduzierte Isolationsschichtdicke bei einer Kantenabdeckung oder Limitierungen in einer erzielbaren Schichtdicke der leitenden Strukturierungen bzw. Strukturen lassen sich gezielt vermeiden.
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Die mit der ersten Strukturierung versehene Leiterplatte mag insbesondere ein Keramiksubstrat aufweisen, insbesondere eine Keramikplatte. Das Keramiksubstrat mag einseitig oder beidseitig mit einer ersten elektrisch leitfähigen Strukturierung belegt sein. Die erste elektrisch leitfähige Strukturierung mag insbesondere aus Kupfer bestehen. Insbesondere mag das Keramiksubstrat an einer Seite, z.B. der „Unter- oder Rückseite“, mit einer vollflächigen (insbesondere unstrukturierten) metallischen Lage versehen sein und an der anderen Seite („Ober- oder Vorderseite“) mit der ersten elektrisch leitfähigen Strukturierung versehen sein. Die vollflächige metallische Lage mag z.B. aus Kupfer bestehen, wobei die Leiterplatte beispielsweise eine DCB-Leiterplatte sein kann. Die vollflächige metallische Lage mag aber z.B. auch aus Aluminium bestehen, wobei die Leiterplatte beispielsweise eine IMS(„Insulated Metal Substrate“)-Leiterplatte sein kann. Jedoch sind die Materialien des Substrats und der darauf aufgebrachten mindestens einen elektrisch leitfähigen (strukturierten oder unstrukturierten) Lage grundsätzlich beliebig wählbar. So kann als Material des Substrats für biegbare Leiterplatten auch Polyimid verwendet werden.
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Das Anbringen mindestens eines elektronischen Bauelements an der ersten elektrischen Strukturierung in Schritt (ii) mag z.B. mittels eines Bestückautomaten durchgeführt werden. Das mindestens eine elektronische Bauelement mag insbesondere mindestens ein Leistungsbauelement umfassen, insbesondere mindestens einen Leistungshalbleiter. Das mindestens eine Leistungsbauelement mag z.B. mindestens einen IGBT, mindestens einen Leistungs-MOSFET, mindestens eine Leistungsdiode, mindestens einen Thyristor, mindestens einen Triac usw. aufweisen. Die mit dem mindestens einen elektronischen Bauelement versehene Leiterplatte mag im Folgenden auch als „bestückte Leiterplatte“ bezeichnet werden. Die Leiterplatte mag einseitig oder beidseitig bestückt sein.
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Das Herstellen der zweiten Strukturierung (die insbesondere als obere Verdrahtungsebene dient) in Schritt (iii) umfasst insbesondere, dass die zweite Strukturierung erst auf der gemäß Schritt (i) und (ii) bestückten Leiterplatte erzeugt wird und nicht wie bisher z.B. bei der SKiN-Technologie vorgefertigt und dann an der bestückten Leiterplatte befestigt wird.
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Das rein additive Herstellen der zweiten Strukturierung in Schritt (iii) umfasst insbesondere, dass keine aufwändigen ablativen oder materialabtragenden Prozessschritte durchgeführt zu werden brauchen. Unter einem ablativen oder materialabtragenden Prozessschritt wird insbesondere ein Prozessschritt verstanden, bei dem ein ansonsten dauerhaft verbleibendes Materialvolumen entfernt wird. Reinigungsprozesse zum Entfernen von ansonsten nicht dauerhaft verbleibendem Material fallen insbesondere nicht unter einen ablativen oder materialabtragenden Prozessschritt und mögen bei dem vorliegenden Verfahren verwendet werden. Ein Reinigungsprozess mag beispielweise ein Waschen und/oder ein Druckluftreinigen umfassen, z.B. um loses Pulver zu entfernen.
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Das additive Herstellen mag auch als additive Fertigung oder als generative Fertigung bezeichnet werden.
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Das Elektronikmodul kann auch als Leistungselektronikmodul bezeichnet werden. Solche Leistungselektronikmodule unterschieden sich in der Regel in Bezug auf die Anforderungen an ihren Aufbau erheblich von Elektronikmodulen ohne Leistungsbauelemente.
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Es ist eine Ausgestaltung, dass dem Herstellen der zweiten elektrisch leitfähigen Strukturierung ein Aufbringen einer isolierenden Schicht vorangeht. Dies unterdrückt eine Bildung parasitärer Kriechströme, verbessert eine Durchschlagsicherheit und/oder verhindert ggf. sogar einen Kurzschluss. Die zweite elektrisch leitfähige Strukturierung kann insbesondere zumindest teilweise auf der isolierenden Schicht hergestellt sein. Beispielsweise mag die zweite elektrisch leitfähige Strukturierung außer an Kontaktierungsstellen auf der isolierenden Schicht hergestellt sein.
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Es ist auch eine Ausgestaltung, dass das additive Aufbringen der zweiten Strukturierung in Schritt (iii) umfasst: (iiia) Aufbringen einer thermisch aktivierbaren Schicht, welche in einem nicht erwärmten Zustand elektrisch isolierend ist und nach Erwärmen dauerhaft elektrisch leitfähig wird, und (iiib) lokales Erwärmen der thermisch aktivierbaren Schicht. So kann auf eine besonders einfache Weise durch ausreichend energiereiches und damit ausreichend heißes lokales Erwärmen an den Stellen, an denen ein elektrisch leitfähiger Bereich entstehen soll, die zweite elektrisch leitfähige Strukturierung erzeugt werden. Wo die thermisch aktivierbare Schicht nicht ausreichend erwärmt wird, bleibt sie elektrisch isolierend.
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Die thermisch aktivierbare Schicht mag beispielsweise eine Kunststoff-Matrix aufweisen, in welcher Metallpartikel als Füllstoff gelöst sind. Wird einem Materialvolumen der Schicht eine ausreichende Energie zugeführt, wird der Kunststoff dort entfernt oder verdrängt, und die Metallpartikel werden miteinander zu einem elektrisch leitfähigen Volumen verschmolzen.
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Die thermisch aktivierbare Schicht mag zumindest bereichsweise auf der isolierenden Schicht aufgebracht und/oder lokal erwärmt werden.
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Es ist eine Ausgestaltung davon, dass das lokale Erwärmen der thermisch aktivierbaren Schicht mittels mindestens eines Laserstrahls durchgeführt wird. Dies ergibt den Vorteil, dass eine zum Herstellen einer elektrischen Leitfähigkeit ausreichende Energiemenge, preiswert, präzise und mit hoher Strukturauflösung eingebracht werden kann.
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Die thermisch aktivierbare Schicht kann grundsätzlich auf verschiedene Weisen erzeugt werden. Sie kann z.B. durch Auflegen einer Folie erzeugt werden. Es ist noch eine Ausgestaltung, dass das Aufbringen der thermisch aktivierbaren Schicht ein Aufdrucken oder ein Aufsprühen umfasst. Das Aufdrucken mag z.B. mittels ein oder mehrerer Rakel und/oder Walzen durchgeführt werden. So wird der Vorteil erlangt, dass die thermisch aktivierbare Schicht ohne zusätzlichen Aufwand spaltfrei auch auf Kanten oder Stufen usw. aufgebracht werden kann. Der gleiche Vorteil kann auch durch ein Aufbringen mittels eines Gussverfahrens, insbesondere Spritzgussverfahrens, erreicht werden.
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Es ist eine Weiterbildung, dass die zweite Strukturierung in Schritt (iii) durch sog. Lasersintern oder Laserschmelzen hergestellt wird. Bei dem Lasersintern wird Metallpulver mittels eines Laserstrahls oder eines anderen Strahlungsmittels zusammengesintert. Insbesondere kann ein sog. Selektives Lasersintern (SLS) verwendet werden. Das Pulver mag Binder aufweisen, welcher z.B. auch als Sinterhilfsmittel verwendet werden kann, z.B. zur Vereinfachung eines Flüssigphasensinterns. Möglich ist auch die direkte Verwendung metallischer Pulver ohne Zusatz eines Binders. Die Metallpulver können dabei vollständig aufgeschmolzen werden. Dafür können beispielsweise CW-Laser eingesetzt werden. Diese Verfahrensvariante wird auch als Selektives Laserschmelzen (SLM) bezeichnet. Als Ausgangsstoff für das Lasersintern und/oder das Laserschmelzen mag auch der bereits oben beschriebene Kunststoff/Metallpartikel-Verbund verwendet werden.
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Grundsätzlich sind auch andere Arten von Strahlen einsetzbar, z.B. Elektronen für ein Elektronenstrahlsintern usw.
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Es ist eine weitere Ausgestaltung, dass das additive Aufbringen der zweiten Strukturierung ein Aufbringen und Aktivieren eines energieaktivierbaren Mediums in Form zumindest eines Teils der zweiten Strukturierung umfasst. Dies mag eine besonders einfache Herstellung der zweiten Strukturierung ergeben, insbesondere falls das energieaktivierbare Medium auf einer planen Oberfläche aufgebracht wird. Das energieaktivierbare Medium mag z.B. in Form einer reaktiven Folie (z.B. NanoFoil der Fa. Indium Corporation) aufgebracht werden. Wird die reaktive Nanofolie an einer Stelle durch Energieeintrag (z.B. einen Funken, eine ausreichend hohe elektrische Spannung, eine Flamme, Mikrowellen, einen Laserstrahl usw.) aktiviert, breitet sich von dieser Stelle eine exotherme Reaktion durch die Nanofolie aus, so dass diese auf ihren Untergrund als die zweite Strukturierung aufschmilzt. Wenn z.B. die reaktive Folie einen Mehrschichtstapel aus sich abwechselnden Al- und Ni-Schichten aufweist, wird die daraus hergestellte zweite Strukturierung insbesondere aus einer Al-Ni-Mischung, insbesondere Legierung, bestehen.
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Es ist eine Weiterbildung, dass vor dem Aufbringen der zweiten Strukturierung in Schritt (iii) eine elektrisch isolierende Schicht auf die bestückte Leiterplatte aufgebracht wird. Die elektrisch isolierende Schicht wird so aufgebracht, dass sie zumindest an den Stellen, an denen die bestückte Leiterplatte von der zweiten Strukturierung elektrisch kontaktiert werden soll, Aussparungen aufweist. Aussparungen können sich insbesondere an der ersten Strukturierung und an einem Kontaktfeld oder Anschlussbereich eines elektronischen Bauelements befinden. So wird eine besonders vielseitig ausgestaltbare und gegenüber der bestückten Leiterplatte elektrisch sichere Herstellung der zweiten Strukturierung ermöglicht.
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Es ist ferner eine Ausgestaltung, dass auf der zweiten Strukturierung mindestens ein Kontaktelement additiv hergestellt wird, z.B. ein Kontaktstift. Das Kontaktelement mag z.B. eine Kontaktierung einer Steuerplatine bewirken. Die Herstellung des mindestens einen Kontaktelements kann insbesondere im gleichen Prozessschritt geschehen, bei der auch die zweite Strukturierung hergestellt wird. Insbesondere auch dadurch wird es ermöglicht, dass das mindestens eine Kontaktelement einstückig mit der zweiten Strukturierung ausgebildet ist bzw. einen integralen, einstückigen Teil der zweiten Strukturierung darstellt. Alternativ mag das Kontaktelement separat hergestellt und dann auf die zweite Strukturierung aufgebracht werden, z.B. mittels eines energieaktivierbaren Verbindungsmediums, z.B. einer reaktiven Folie.
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Alternativ kann die Kontaktierung mittels drucklosen Sinterns oder mit Hilfe von silberhaltigen Pasten, die unter Druck und gleichzeitiger Wärmeeinbringung versintern (z.B. in einem sog. „Sinterpressvorgang“), hergestellt werden. Letzteres kann direkt in einem Bestückprozess des Bauelementes erreicht werden.
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Es ist darüber hinaus eine Ausgestaltung, dass das additive Aufbringen der zweiten Strukturierung mittels eines sog. „3D-Druckers“ durchgeführt wird. Dies ermöglicht eine besonders einfache Herstellung. Dazu mag beispielsweise die bestückte Leiterplatte in den 3D-Drucker eingebracht werden und folgend der 3D-Drucker zur Herstellung der zweiten Strukturierung betrieben werden, insbesondere mittels einer schichtweisen Herstellung.
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Es ist eine Weiterbildung, dass auch die optionale isolierende Schicht mittels eines 3D-Druckers aufgebracht werden kann.
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Es ist außerdem eine Ausgestaltung, dass das Anbringen mindestens eines elektronischen Bauelements an der ersten elektrischen Strukturierung mittels eines energieaktivierbaren Verbindungsmediums durchgeführt wird, z.B. einer reaktiven Folie (z.B. NanoFoil der Fa. Indium Corporation). So ergibt sich eine besonders preiswerte Anbringung. Darüber hinaus kann die Kontaktierung auch über leitfähige Schichten, wie z. B. Argomax der Firma Alpha Cookson, direkt beim Bestücken des Bauelements unter Einwirkung von Wärme und Druck erzielt werden.
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Die Aufgabe wird auch gelöst durch ein Elektronikmodul, welches mittels des oben beschriebenen Verfahrens hergestellt worden ist.
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Die Aufgabe wird auch gelöst durch ein Elektronikmodul, aufweisend eine mit einer ersten elektrisch leitfähigen Strukturierung versehene Leiterplatte, mindestens ein auf der ersten elektrischen Strukturierung angeordnetes elektronisches Bauelement und eine darauf aufgebrachte zweite elektrisch leitfähige Strukturierung, wobei die zweite Strukturierung mittels eines additiven oder generativen Materialaufgabeverfahrens erzeugt worden ist.
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Die oben beschriebenen Eigenschaften, Merkmale und Vorteile dieser Erfindung sowie die Art und Weise, wie diese erreicht werden, werden klarer und deutlicher verständlich im Zusammenhang mit der folgenden schematischen Beschreibung eines Ausführungsbeispiels, das im Zusammenhang mit den Zeichnungen näher erläutert wird. Dabei können zur Übersichtlichkeit gleiche oder gleichwirkende Elemente mit gleichen Bezugszeichen versehen sein.
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1 zeigt im Querschnitt ein erfindungsgemäßes Elektronikmodul.
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1 zeigt ein Elektronikmodul 1, das folgendermaßen hergestellt worden ist: Zunächst wird eine DCB-Leiterplatte 2 bereitgestellt, die ein plattenförmiges Keramiksubstrat 3 mit einer Vorderseite 3a und einer Rückseite 3b aufweist. Die Rückseite 3b ist mit einer nicht-strukturierten metallischen Schicht 4 aus Aluminium oder Kupfer belegt. Die Vorderseite 3a ist mit einer ersten Strukturierung 5 belegt, welche z.B. mehrere schichtartige Bereiche (z.B. Leitungsführungen) 5a und 5b aus Kupfer aufweist. Die erste Strukturierung 5 ist also elektrisch leitfähig und stellt eine unterseitige Verdrahtungsebene dar.
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Auf der ersten Strukturierung 5, nämlich dem Streifen 5a, ist ein Leistungsbauelement 6, z.B. ein IGBT, angeordnet. Das Leistungsbauelement 6 ist unterseitig und oberseitig kontaktierbar, wobei seine Unterseite hier mittels eines energieaktivierten Verbindungsmediums in Form einer zuvor (z.B. mittels eines Laserstrahls) aktivierten reaktiven Folie 7 verbunden und damit angebracht ist. Die reaktive Folie 7 ist z.B. eine Folie vom Typ NanoFoil der Fa. Indium Corporation. Alternativ kann die Kontaktierung in einem drucklosen Sinterprozess oder mit Hilfe von speziellen, silberhaltigen Pasten, die unter Druck und gleichzeitiger Wärmeeinbringung versintern (z.B. in einem sog. „Sinterpressvorgang“), hergestellt werden. Letzteres kann direkt in einem Bestückprozess des Leistungsbauelements 6 auf die DCB-Leiterplatte 2, z.B. auf einen Bereich 5a oder 5b, oder auf das Keramiksubstrat 3 erreicht werden.
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In einem weiteren Schritt wird auf einem Teilbereich einer Ober- oder Vorderseite 8 der wie zuvor beschrieben bestückten Leiterplatte 2 bis 7 eine elektrische Isolierungsschicht 9 aufgebracht, nämlich mindestens zwischen den Bereichen 5a und 5b bis zu einer Ober- oder Vorderseite 10 des Leistungsbauelements 6.
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In einem folgenden Schritt wird auf einem Teil der Oberseite der bisher hergestellten Struktur 2 bis 9 („darauf“) rein additiv eine zweite elektrisch leitfähige Strukturierung 11 herstellt, und zwar zumindest zwischen dem zweiten Bereich 5b und einem elektrisch kontaktierbaren Bereich der Ober- oder Vorderseite 10 des Leistungsbauelements 6. Die zweite elektrisch leitfähige Strukturierung 11 wird dabei zunächst in Form einer thermisch aktivierbaren Schicht aufgebracht, und zwar als eine Kunststoff/Metallpartikel-Schicht mit einer Kunststoff-Matrix mit darin verteilten Metallpartikeln. Das Aufbringen kann beispielsweise durch Aufdrucken (z.B. mittels mindestens eines Rakels und/oder mindestens einer Walze), durch Aufsprühen usw. geschehen. Diese Kunststoff/Metallpartikel-Schicht ist in einem nicht (ausreichend) erwärmten Zustand elektrisch isolierend ist und nach Erwärmen dauerhaft elektrisch leitfähig. In einem darauffolgenden Schritt ist die Kunststoff/Metallpartikel-Schicht lokal erwärmt worden, und zwar in dem gezeigten Ausführungsbeispiel zumindest in einer Spur zwischen dem zweiten Bereich 5b und der Vorderseite des Leistungsbauelements 6. Das lokale Erwärmen geschieht hier z.B. mittels eines Laserstrahls. Dadurch wird aufgrund einer Verschmelzung und/oder Sinterung der Metallpartikel eine elektrische Leitung oder Leiterbahn zwischen dem zweiten Bereich 5b und der Vorderseite 10 des Leistungsbauelements 6 hergestellt, welche zumindest einen Teil der zweiten Strukturierung 11 darstellt. Die zweite Strukturierung 11 mag auch als eine obere Verdrahtungsebene angesehen werden.
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Auf der zweiten Strukturierung 11 wird oberhalb des zweiten Bereichs 5b ein Kontaktelement 12 additiv hergestellt, z.B. ein Kontaktstift, ein Kontaktstreifen oder eine Kontaktfeder usw. Das Kontaktelement 12 ist hier als ein einstückiger, nicht separat hergestellter Teil der zweiten Strukturierung 11 dargestellt. Alternativ könnte das Kontaktelement 12 auch separat hergestellt worden sein und dann an der zweiten Strukturierung 11 befestigt worden sein.
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Einige oder alle auf die bestückte Leiterbahn 2 bis 7 aufgebrachten Strukturen 9, 11, 12 mögen insbesondere mittels eines 3D-Druckers additiv oder generativ hergestellt worden sein.
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In einem folgenden Schritt wird optional noch eine elektrisch isolierende Deckschicht 13 aufgebracht, welche jedoch das Kontaktelement 12 nicht vollständig bedeckt.
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Obwohl die Erfindung im Detail durch das gezeigte Ausführungsbeispiel näher illustriert und beschrieben wurde, so ist die Erfindung nicht darauf eingeschränkt und andere Variationen können vom Fachmann hieraus abgeleitet werden, ohne den Schutzumfang der Erfindung zu verlassen.
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Allgemein kann unter "ein", "eine" usw. eine Einzahl oder eine Mehrzahl verstanden werden, insbesondere im Sinne von "mindestens ein" oder "ein oder mehrere" usw., solange dies nicht explizit ausgeschlossen ist, z.B. durch den Ausdruck "genau ein" usw.
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Auch kann eine Zahlenangabe genau die angegebene Zahl als auch einen üblichen Toleranzbereich umfassen, solange dies nicht explizit ausgeschlossen ist.