[go: up one dir, main page]

DE102009031015A1 - Klebstoffschicht bildende Flüssigkeit - Google Patents

Klebstoffschicht bildende Flüssigkeit Download PDF

Info

Publication number
DE102009031015A1
DE102009031015A1 DE102009031015A DE102009031015A DE102009031015A1 DE 102009031015 A1 DE102009031015 A1 DE 102009031015A1 DE 102009031015 A DE102009031015 A DE 102009031015A DE 102009031015 A DE102009031015 A DE 102009031015A DE 102009031015 A1 DE102009031015 A1 DE 102009031015A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
adhesive layer
tin
copper
forming liquid
complexing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
DE102009031015A
Other languages
English (en)
Inventor
Matsuyuki Amagasaki-shi Kawaguchi
Satoshi Amagasaki-shi Saito
Tsuyoshi Amagasaki-shi Amatani
Yuko Amagasaki-shi Fujii
Yoichi Amagasaki-shi Sengoku
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
MEC Co Ltd
Original Assignee
MEC Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by MEC Co Ltd filed Critical MEC Co Ltd
Publication of DE102009031015A1 publication Critical patent/DE102009031015A1/de
Ceased legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09JADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
    • C09J11/00Features of adhesives not provided for in group C09J9/00, e.g. additives
    • C09J11/02Non-macromolecular additives
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/38Improvement of the adhesion between the insulating substrate and the metal
    • H05K3/386Improvement of the adhesion between the insulating substrate and the metal by the use of an organic polymeric bonding layer, e.g. adhesive
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08KUse of inorganic or non-macromolecular organic substances as compounding ingredients
    • C08K3/00Use of inorganic substances as compounding ingredients
    • C08K3/16Halogen-containing compounds
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08KUse of inorganic or non-macromolecular organic substances as compounding ingredients
    • C08K3/00Use of inorganic substances as compounding ingredients
    • C08K3/32Phosphorus-containing compounds
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08KUse of inorganic or non-macromolecular organic substances as compounding ingredients
    • C08K5/00Use of organic ingredients
    • C08K5/04Oxygen-containing compounds
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08KUse of inorganic or non-macromolecular organic substances as compounding ingredients
    • C08K5/00Use of organic ingredients
    • C08K5/36Sulfur-, selenium-, or tellurium-containing compounds
    • C08K5/39Thiocarbamic acids; Derivatives thereof, e.g. dithiocarbamates
    • C08K5/405Thioureas; Derivatives thereof
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2201/00Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
    • H05K2201/03Conductive materials
    • H05K2201/0332Structure of the conductor
    • H05K2201/0335Layered conductors or foils
    • H05K2201/0355Metal foils
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2203/00Indexing scheme relating to apparatus or processes for manufacturing printed circuits covered by H05K3/00
    • H05K2203/12Using specific substances
    • H05K2203/121Metallo-organic compounds

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Chemically Coating (AREA)
  • Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
  • Adhesives Or Adhesive Processes (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)
  • ing And Chemical Polishing (AREA)

Abstract

Es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Klebstoffschicht bildende Flüssigkeit zur Verfügung zu stellen, bei welcher die Beeinträchtigung der Klebstoffschichtbildungsfähigkeit im Verlauf der Zeit verzögert werden kann und weiterhin die Glattheit einer Klebstoffschichtoberfläche sicher aufrecht erhalten werden kann. Die Kkebstoffschicht bildende Flüssigkeit der vorliegenden Erfindung ist eine Klebstoffschicht bildende Flüssigkeit, die eine Flüssigkeit ist, um eine Klebstoffschicht zu bilden, um Kupfer und ein Harz miteinander zu verbinden, und die eine wässrige Lösung ist, aufweisend eine Säure, ein Zinn(IV)-Salz, ein Komplexierungsmittel, einen Stabilisator und einen Komplexierungsverzögerer, um eine Komplexierungsreaktion zwischen dem Komplexierungsmittel und Kupfer zu verzögern.

Description

  • HINTERGRUND DER ERFINDUNG
  • Gebiet der Erfindung
  • Die vorliegende Erfindung betrifft eine Klebstoffschicht bildende Flüssigkeit zur Bildung einer Klebstoffschicht, um Kupfer und ein Harz miteinander zu verbinden.
  • Beschreibung des Standes der Technik
  • Gewöhnliche mehrschichtige Schaltverbindungsplatten werden jeweils durch Laminieren und Pressen eines inneren Substrats hergestellt, welches auf seiner Oberfläche eine aus Kupfer hergestellte elektrisch leitfähige Schicht hat, und ein oder mehreren unterschiedlichen inneren Substraten und/oder einer oder mehreren Kupferfolienschichten, um ein oder mehrere Prepregs sandwichartig dazwischen zu legen. Die elektrisch leitfähigen Schichten sind miteinander über offene Löcher, die Durchgangslöcher genannt werden, elektrisch verbunden, wobei deren Lochwände mit Kupfer plattiert sind. Auf der Oberfläche der elektrisch leitfähigen Schicht von jedem der inneren Substrate kann eine Zinnplattierungsschicht aus einer Zinnplattierungslösung hergestellt werden, wie sie in der Japanischen Patentanmeldungsveröffentlichung ( JP-B) Nr. 6-66553 und der übersetzten Version der nationalen Japanischen Patentanmeldungsveröffentlichung Nr. 2004-536220 , sowie an anderer Stelle beschrieben sind, um die Klebeeigenschaft der Schichtoberfläche auf dem benachbarten Prepreg zu verbessern.
  • In der Japanischen Patentanmeldungsveröffentlichung ( JP-B) Nr. 6-66553 und der übersetzten Version der nationalen Japanischen Patentanmeldungsveröffentlichung Nr. 2004-536220 wird ein Zinn(II)-Salz als Zinnquelle verwendet. Dabei wird ein zweiwertiges Zinnion (Sn2+) durch Luftoxidation oder ähnliches zu einem dreiwertigen Zinnion (Sn4+) oxidiert, wenn die Lösung verwendet wird. Als ein Ergebnis wird das Problem verursacht, dass die Plattierungsklebeeigenschaft verringert wird, so dass die Eigenschaft der engen Verklebung zwischen Zinn und Harz verringert wird.
  • Gegen dieses Problem schlagen die japanischen Patentanmeldungsoffenlegungen ( JP-A) Nr. 5-222540 und JP-A Nr. 5-263258 ein Verfahren zur Regeneration eines zweiwertigen Zinnions aus einem vierwertigen Zinnion durch Verwendung von metallischem Zinn vor. Nach diesem Verfahren ist jedoch das Einstellen der Komponenten in der Zinnplattierungslösung schwierig. Somit ist dieses Verfahren in der Durchführbarkeit mangelhaft.
  • Indessen schlagen JP-A Nr. 2004-349693 und JP-A Nr. 2005-23301 ein Verfahren zur Verwendung eines Zinn(IV)-Salzes als Zinnquelle vor und weiterhin die Verwendung einer Klebstoffschicht bildenden Flüssigkeit, zu welcher ein drittes Metallion, welches sich von Kupfer- und Zinnionen unterscheidet, zugegeben wird, um eine stabile Klebstoffschicht zu bilden.
  • Wenn jedoch eine Klebstoffschicht bildende Flüssigkeit, enthaltend ein Zinn(IV)-Salz als eine Zinnquelle verwendet wird, verursacht ein Komplexierungsmittel, welches ein in der Flüssigkeit enthaltener Bestandteil ist, dass die Oberfläche der erhaltenden Klebstoffschicht aufgeraut wird, so dass die Glattheit der Klebstoffschichtoberfläche beschädigt werden kann. In dem in JP-A Nr. 2004-349693 und JP-A Nr. 2005-23301 beschriebenen Verfahren hat das dritte Metallion, welches in der Klebstoffschicht bildenden Flüssigkeit enthalten ist, in der gleichen Art und Weise wie das oben erwähnte Komplexierungsmittel ebenfalls die Funktion des Aufrauens der Klebstoffschichtoberfläche. Somit können feine Unregelmäßigkeiten in einer korallenartigen Form leicht in der Klebstoffschichtoberfläche gebildet werden. Demzufolge besteht bei dem Verfahren ein Problem darin, dass die Klebstoffschicht bildende Flüssigkeit nicht für die Bildung einer Verdrahtungsplatte verwendet werden kann, in welcher ein hochfrequenter Stromfluss zum Fließen gebracht wird.
  • ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
  • Im Licht der oben erwähnten derzeitigen Situation ist es eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Klebstoffschicht bildende Flüssigkeit zur Verfügung zu stellen, in welcher die Beeinträchtigung der Klebstoffschichtbildungsfähigkeit im Verlauf der Zeit einge schränkt werden kann und weiterhin die Glattheit der Klebstoffschichtoberfläche sicher beibehalten werden kann.
  • Die Klebstoffschicht bildende Flüssigkeit der vorliegenden Erfindung ist eine Klebstoffschicht bildende Flüssigkeit, welche eine Flüssigkeit ist, um eine Klebstoffschicht zu bilden, um Kupfer und ein Harz miteinander zu verbinden, und die eine wässrige Lösung ist, aufweisend eine Säure, ein Zinn(IV)-Salz, ein Komplexierungsmittel, einen Stabilisator und einen Komplexierungsverzögerer, um eine Komplexierungsreaktion zwischen dem Komplexierungsmittel und Kupfer zu verzögern.
  • In der vorliegenden Erfindung kann „Kupfer” reines Kupfer oder irgendeine Kupferlegierung sein. In der vorliegenden Beschreibung bezeichnet das Wort „Kupfer” reines Kupfer oder irgendeine Kupferlegierung.
  • Gemäß der erfindungsgemäßen Klebstoffschicht bildenden Flüssigkeit kann die Beeinträchtigung bei der Klebstoffschichtbildungsfähigkeit der Flüssigkeit im Verlauf der Zeit verzögert werden und weiterhin die Glattheit der Klebstoffschichtoberfläche sichergestellt werden.
  • EINGEHENDE BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN
  • Die vorliegende Erfindung ist auf eine Klebstoffschicht bildende Flüssigkeit zur Bildung einer Klebstoffschicht gerichtet, die hauptsächlich aus einer Kupfer-Zinn-Legierung auf einer Oberfläche aus Kupfer hergestellt wurde, um das Kupfer und ein Harz miteinander zu verbinden. Die Kupferoberfläche ist zum Beispiel eine Oberfläche einer Kupferfolienschicht (wie zum Beispiel eine elektrolytische Kupferfolienschicht oder aufgerollte Kupferfolienschicht), wie sie für einen Halbleiterwafer verwendet wird, ein elektronisches Substrat, ein elektronisches Bauteil, wie zum Beispiel ein Leitungsrahmen, ein Ornament oder ein Bauelement, eine Oberfläche eines kupferplattierten Films (wie zum Beispiel einem stromlos plattierten Kupferfilm oder einem elektroplattierten Kupferfilm) oder eine Oberfläche eines Kupferbauteils, welches in verschiedenen Formen vorliegen kann, wie zum Beispiel in linearen, stabförmigen, rohrförmigen und tafelförmigen Formen. Hier im Folgenden werden Komponenten, die in der erfindungsgemäßen Klebstoffschicht bildenden Flüssigkeit enthalten sind, im Einzelnen beschrieben.
  • (Säure)
  • Die in der erfindungsgemäßen Klebstoffschicht bildenden Flüssigkeit enthaltene Säure dient zum Einstellen des pH und als Zinnionenstabilisator. Beispiele für die Säure beinhalten anorganische Säuren, wie zum Beispiel Salzsäure, Schwefelsäure, Salpetersäure, Fluorborsäure und Phosphorsäure, sowie wasserlösliche organische Säuren, wie zum Beispiel Carbonsäuren, wie zum Beispiel Ameisensäure, Essigsäure, Propionsäure und Buttersäure, Alkansulfonsäuren, wie zum Beispiel Methansulfonsäure und Ethansulfonsäure, sowie aromatische Sulfonsäuren, wie zum Beispiel Benzolsulfonsäure, Phenolsulfonsäure und Kresosulfonsäure. Von den Säuren sind Schwefelsäure und Salzsäure vom Gesichtspunkt der Geschwindigkeit der Bildung der Klebstoffschicht, der Löslichkeit des Zinn(IV)-Salzes darin und ähnlichem bevorzugt. Die Konzentration der Säure ist vorzugsweise von 0,1 bis 20,0 Gew.-%, stärker bevorzugt von 0,5 bis 10,0 Gew.-%, noch stärker bevorzugt von 1,0 bis 5,0 Gew.-%. Wenn die Konzentration in diesem Bereich liegt, kann eine Klebstoffschicht, die eine ausgezeichnete enge Klebeigenschaft hat, leicht gebildet werden.
  • (Zinn(IV)-Salz)
  • In der erfindungsgemäßen Klebstoffschicht bildenden Flüssigkeit wird ein Zinn(IV)-Salz als Zinnquelle verwendet. Zinn(IV)-Salze haben eine höhere Stabilität in einer Flüssigkeit als Zinn(II)-Salze. Somit kann gemäß der erfindungsgemäßen Klebstoffschicht bildenden Flüssigkeit die Beeinträchtigung ihrer Klebstoffschichtbildungsfähigkeit im Verlauf der Zeit verzögert werden. Das Zinn(IV)-Salz kann ohne jegliche spezielle Einschränkung aus Zinn(IV)-Salzen, die in einer säuren Lösung löslich sind, ausgewählt werden. Vom Gesichtspunkt der Löslichkeit her ist ein Salz von Zinn mit irgendeiner der oben erwähnten Säuren bevorzugt. Beispiele für das Salz beinhalten Zinn(IV)-sulfat, Zinn(IV)-borfluorid, Zinn(IV)-fluorid, Zinn(IV)-nitrat, Zinn(IV)-chlorid, Zinn(IV)-formiat und Zinn(IV)-acetat. Die Konzentration des Zinn(IV)-Salzes ist eine Konzentration, die vorzugsweise eine Zinnkonzentration von 0,05 bis 10,0 Gew.-%, stärker bevorzugt 0,1 bis 5,0 Gew.-%, noch stärker bevorzugt diejenige von 0,5 bis 3,0 Gew.-% ergibt. Wenn die Konzentration in dem Bereich liegt, kann eine Klebstoffschicht, die ausgezeichnet in ihrer engen Klebeigenschaft ist, leicht gebildet werden.
  • (Komplexierungsmittel)
  • Das in der erfindungsgemäßen Klebstoffschicht bildenden Flüssigkeit enthaltene Komplexierungsmittel ist ein Mittel, welches an die Kupferschicht als eine darunterliegende Schicht koordiniert ist, um ein Chelat zu bilden, wobei es erleichtert, dass sich die Klebstoffschicht auf der Oberfläche der Kupferschicht bildet. Zum Beispiel können Thioharnstoffe, wie zum Beispiel Thioharnstoff, 1,3-Dimethylthioharnstoffund 1,3-Diethyl-2-thioharnstoff, sowie Thioharnstoffderivate, wie zum Beispiel Thioglykolsäure, verwendet werden. Die Konzentration des Komplexierungsmittels liegt im Bereich von vorzugsweise 1,0 bis 30,0 Gew.-%, stärker bevorzugt von 1,0 bis 20,0 Gew.-%. Wenn die Konzentration in diesem Bereich liegt, kann eine Klebstoffschicht, die in ihrer engen Klebeigenschaft ausgezeichnet ist, leicht erhalten werden, ohne die Geschwindigkeit der Bildung der Klebstoffschicht zu verringern. Darüber hinaus kann die Wirkung des Komplexierungsverzögerers, welcher im Detail später beschrieben wird, wirksam eingebracht werden, wenn die Konzentration in diesem Bereich liegt. Somit kann eine Klebstoffschicht mit guter Glattheit gebildet werden.
  • (Stabilisator)
  • Der in der erfindungsgemäßen Klebstoffschicht bildenden Flüssigkeit enthaltene Stabilisator ist ein Additiv, um die Konzentrationen der jeweiligen Bestandteile, die für die Reaktion in der Nähe der Oberfläche der Kupferschicht notwendig sind, aufrecht zu erhalten. Beispiele dafür beinhalten zum Beispiel Glykole, wie zum Beispiel Ethylenglykol, Diethylenglykol, Propylenglykol und Tripropylenglykol, sowie Glykolester, wie zum Beispiel Cellosolve, Carbitol und Butylcarbitol. Die Konzentration des Stabilisators liegt im Bereich von 1,0 bis 80,0 Gew.-%, stärker bevorzugt von 5,0 bis 80,0 Gew.-%, und noch stärker bevorzugt von 10,0 bis 80,0 Gew.-%. Wenn die Konzentration in diesem Bereich liegt, können die Konzentrationen der jeweiligen Bestandteile, die für die Reaktion notwendig sind, in der Umgebung der Oberfläche der Kupferschicht leicht aufrecht erhalten werden.
  • (Komplexierungsverzögerer)
  • Die erfindungsgemäße Klebstoffschicht bildende Flüssigkeit enthält einen Komplexierungsverzögerer, um eine Komplexierungsreaktion zwischen dem Komplexierungsmittel und Kupfer zu verzögern. Das Komplexierungsmittel hat die Funktion, die Bildung einer Klebstoffschicht auf einer Kupferoberfläche wie oben beschrieben zu erleichtern, während das Mittel sich mit Kupfer, welches in der Oberfläche der Klebstoffschicht vorhanden ist verbindet, um einen Komplex zu bilden, wobei die Glattheit der Klebstoffschichtoberfläche beschädigt wird. Somit wird, um die Glattheit der Klebstoffschichtoberfläche sicher beizubehalten, der Komplexierungsverzögerer in die Flüssigkeit eingebracht. Der Grund, warum das Einbringen des Komplexierungsverzögerers es ermöglicht, die Glattheit der Klebstoffschichtoberfläche sicher aufrecht zu erhalten, ist unklar. Der Grund dürfte jedoch auf der Tatsache basieren, dass der Komplexierungsverzögerer mit einem Teil des Komplexierungsmittels und Zinn kombiniert wird, um einen Komplex zu bilden, wobei verzögert wird, dass die Komplexierungsreaktion zwischen dem Komplexierungsmittel und Kupfer übermäßig fortschreitet.
  • Beispiele für den Komplexierungsverzögerer beinhalten Phosphorsäuren, phosphorige Säuren und hypophosphorige Säuren. Beispiele für die Phosphorsäuren beinhalten Phosphorsäure, Natriumphosphat, Kaliumphosphat, Natriumtripolyphosphat, Kaliumtripolyphosphat, Natriumpyrophosphat und Kaliumpyrophosphat. Beispiele für die phosphorigen Säuren beinhalten phosphorige Säure, Natriumphosphit, Kaliumphosphit, Kalziumphosphit, Magnesiumphosphit, Ammoniumphosphit und Bariumphosphit. Beispiele für die hypophosphorigen Säuren beinhalten, hypophosphorige Säure, Natriumhypophosphit, Kaliumhypophosphit, Kalziumhypophosphit, Lithiumhypophosphit, Ammoniumhypophosphit, Nickelhypophosphit und Natriumhydrogenhypophosphit.
  • Die Konzentration des Komplexierungsverzögerers beträgt vorzugsweise von 0,1 bis 30,0 Gew.-%, stärker bevorzugt von 1,0 bis 20,0 Gew.-%, noch stärker bevorzugt von 3,0 bis 10,0 Gew.-%. Wenn die Konzentration in diesem Bereich liegt, kann leicht eine Klebstoffschicht gebildet werden, die eine hohe Glattheit und enge Klebeigenschaft hat.
  • Um leicht eine erfindungsgemäße Klebstoffschicht zu bilden, die höher in ihrer Glattheit und in ihrer engen Klebeigenschaft ist, beträgt die Konzentration des Komplexierungsmittels vorzugsweise von 0,5 bis 10,0 mal diejenige des Komplexierungsverzögerers, stärker bevorzugt von 0,8 bis 6,0 mal die des Verzögerers.
  • Die Klebstoffschicht bildende Flüssigkeit kann neben den oben erwähnten Bestandteilen Additive, wie zum Beispiel ein Tensid, enthalten. Beispiele für das Tensid beinhalten zum Beispiel nichtionische Tenside, anionische Tenside, kationische Tenside und ampholytische Tenside.
  • Die erfindungsgemäße Klebstoffschicht bildende Flüssigkeit kann leicht hergestellt werden durch Auflösen der oben erwähnten einzelnen Bestandteile in Wasser. Das Wasser ist vorzugsweise Wasser, aus welchem ionische Materialien und Verunreinigungen entfernt wurden und bevorzugte Beispiele dafür beinhalten innenausgetauschtes Wasser, reines Wasser und ultrareines Wasser.
  • Im Fall der Verwendung der Klebstoffschicht bildende Flüssigkeit, um eine Klebstoffschicht zu bilden, kann die Bildung unter den unten beschriebenen Bedingungen erreicht werden.
  • Als erstes wird die Oberfläche der Kupferschicht mit einer Säure oder ähnlichem gewaschen. Als nächstes wird die Kupferschicht in die Klebstoffschicht bildende Flüssigkeit eingetaucht und dann für 5 Sekunden bis 5 Minuten Schwingungstauchbehandlung unterzogen. Während dieser Zeit ist es empfehlenswert, dass die Temperatur der Klebstoffschicht bildenden Flüssigkeit von 20 bis 70°C beträgt (vorzugsweise 20 bis 40°C). Danach wird die behandelte Oberfläche mit Wasser abgespült und getrocknet, wobei sich die Klebstoffschicht bildet.
  • Weiterhin kann die Oberfläche der Klebstoffschicht mit einer Zinn-Abziehlösung behandelt werden. Wenn die Zinn-Abziehlösung in Kontakt mit der Klebstoffschichtoberfläche gebracht wird, kann die Schicht zu einer glatteren und dünneren Klebstoffschicht gemacht werden.
  • Die oben angegebene Zinn-Abziehlösung kann irgendeine Lösung sein, die dazu fähig ist, Zinn zu ätzen. Zum Beispiel kann eine saure Lösung oder ähnliches verwendet werden, wobei Beispiele dafür solche beinhalten, wie zum Beispiel wässrige Salpetersäurelösung, Salzsäure, eine wässrige Schwefelsäurelösung, sowie gemischte Lösungen daraus. Die Konzentration der Säure in der sauren Lösung liegt im Bereich von vorzugsweise 0,1 bis 10,0 Gew.-%, stärker bevorzugt von 0,3 bis 5,0 Gew.-%. Wenn die Konzentration in die sem Bereich liegt, kann die Dicke der Klebstoffschicht leicht in einem geeigneten Bereich eingestellt werden. Eine wässrige Salpetersäurelösung ist insbesondere bevorzugt, da die Lösung eine große Abziehgeschwindigkeit ergibt.
  • In dem Oberflächenabziehschritt beträgt der Zeitraum, in welchem die Klebstoffschichtoberfläche und die Zinn-Abziehlösung (vorzugsweise eine wässrige Salpetersäurelösung) miteinander in Kontakt sind, vorzugsweise von 5 bis 120 Sekunden, stärker bevorzugt von 10 bis 30 Sekunden. Wenn der Zeitraum in diesem Bereich liegt, kann die Dicke der Klebstoffschicht leicht in einem geeigneten Bereich eingestellt werden. Das Verfahren, um die Zinn-Abziehlösung in Kontakt mit der Oberfläche zu bringen, kann Eintauchen oder Flüssigkeitskontaktbehandlung unter Verwendung eines Sprays oder ähnlichem sein. Die Temperatur der Zinn-Abziehlösung in dem Verfahren beträgt von etwa 25 bis 35°C.
  • Die Dicke der Klebstoffschicht ist geeigneterweise 0,02 μm oder weniger und beträgt vorzugsweise von 0,001 bis 0,02 μm, stärker bevorzugt von 0,003 bis 0,02 μm. Wenn die Dicke der Klebstoffschicht auf 0,02 μm oder weniger eingestellt ist, kann die Klebstoffschicht leicht in dem Fall entfernt werden, wenn es erforderlich ist, die Klebstoffschicht in einem nachfolgenden Schritt zu entfernen. Auf der anderen Seite kann, wenn die Dicke auf 0,001 μm oder mehr eingestellt ist, die Klebeeigenschaft auf eine Harzschicht mit Leichtigkeit sicher eingehalten werden.
  • Das eine Harzschicht bildende Harz, welches mit der Klebstoffschicht verbunden werden soll, ist nicht besonders eingeschränkt. Beispiele für das Harz beinhalten thermoplastische Harze, wie zum Beispiel Acrylnitril/Styrol-Copolymer-Harze (AS-Harze), Acrylnitril/Butadien/Styrol-Terpolymer-Harze (ABS-Harze), Fluor enthaltende Harze, Polyamid, Polyethylen, Polyethylenterephthalat, Polyvinylidenchlorid, Polyvinylchlorid, Polycarbonat, Polystyrol, Polysulfon, Polypropylen, sowie Flüssigkristallpolymere, wärmehärtbare Harze, wie zum Beispiel Epoxyharze, Phenolharze, Polyimid, Polyurethan, Bismaleimid/Triazin-Harze, modifizierten Polyphenylenether und Cyanatester, sowie ultraviolett härtbare Harze, wie zum Beispiel ultraviolett härtbare Epoxyharze und ultraviolett härtbare Acrylharze. Diese Harze können mit einer funktionellen Gruppe modifiziert werden oder können mit Glasfaser, Aramidfaser, einigen anderen Fasern oder ähnlichem verstärkt werden.
  • Die aus der erfindungsgemäßen Klebstoffschicht bildenden Flüssigkeit erhaltene Klebstoffschicht kann die Klebeeigenschaft der Schicht auf ein Isolationsharz, einen Ätzschutzlack, einen Lötschutzlack, ein elektrisch leitfähiges Harz, eine elektrisch leitfähige Paste, einen elektrisch leitfähigen Klebstoff, ein dielektrisches Harz, ein lochfüllendes Harz, einen flexiblen Überzugsfilm oder ähnliches sicherstellen. Somit kann gemäß der vorliegenden Erfindung die Klebeeigenschaft zwischen einer Kupferschicht und einer Harzschicht sichergestellt werden. Demzufolge kann beispielsweise eine Verdrahtungsplatte, die eine hohe Zuverlässigkeit hat, zur Verfügung gestellt werden.
  • BEISPIELE
  • Beispiele der Erfindung werden zusammen mit Vergleichsbeispielen im Folgenden beschrieben. Die Erfindung sollte nicht als auf die Beispiele eingeschränkt angesehen werden.
  • (Behandlung mit frischen Flüssigkeiten)
  • Klebstoffschicht bildende Flüssigkeiten (Temperatur: 30°C), welche die in Tabelle 1 beschriebenen Zusammensetzungen haben, werden jeweils zu 1 Liter hergestellt. In jeder der Klebstoffschicht bildenden Flüssigkeiten besteht der Rest außer den in Tabelle 1 gezeigten Komponenten aus innenausgetauschtem Wasser. Elektroplattierte Kupferfolienstücke (Handelsname: 3EC-III, hergestellt von Mitsui Mining Co., Ltd., Dicke: 35 μm) werden jeweils zu einer Größe von 100 mm × 100 mm geschnitten und als Teststücke hergestellt. Jedes der Teststücke wird jeweils in eine der Flüssigkeiten (frische Flüssigkeiten) eingetaucht und dann wird das Stück für 30 Sekunden einer Schwingungstauchbehandlung unterzogen. Danach wird das behandelte Teststück mit Wasser gewaschen und das Stuck wird sofort für 20 Sekunden einer Schwingungstauchbehandlung mit einer 0,7 gew.-%igen wässrigen Salpetersäurelösung (Temperatur: 30°C) unterzogen. Danach wird das Stück mit Wasser gewaschen und getrocknet.
  • (Behandlung mit gebrauchten Flüssigkeiten)
  • Getrennt von dem obigen werden Klebstoffschicht bildende Flüssigkeiten (Temperatur: 30°C) mit den entsprechenden Zusammensetzungen wie in Tabelle 1 unten beschrieben jeweils zu 1 Liter hergestellt. Während jede der Klebstoffschicht bildenden Flüssigkeiten gerührt wird, werden 500 Stücke der gleichen Teststücke wie oben beschrieben kontinuierlich damit unter den gleichen Bedingungen wie oben beschrieben über 24 Stunden behandelt. Als nächstes wird jedes der gleichen Teststücke, wie sie oben beschrieben wurden, jeweils in eine der Flüssigkeiten (gebrauchte Flüssigkeiten), die für die Behandlung verwendet wurden, gegeben und dann unter den gleichen Bedingungen wie oben beschrieben, behandelt. Danach werden die behandelten Teststücke jeweils mit Wasser gewaschen und das Stück wird sofort für 20 Sekunden einer Schwingungstauchbehandlung mit einer 0,7 gew.-%igen wässrigen Salpetersäurelösung (Temperatur: 30°C) unterzogen. Danach wird das Stück mit Wasser gewaschen und getrocknet.
  • (Bewertung der Haftung)
  • Ein fotoempfindlicher wässriger Lötschutzlack (Handelsname: SR-7200, hergestellt von Hitachi Chemical Co., Ltd.) wird in einer Dicke von etwa 20 μm über jedes der behandelten Teststücke aufgebracht, so dass sich die Klebstoffschicht dazwischen befindet, und dann gehärtet. Danach wird in Übereinstimmung mit JIS C 6471 die Abzugsfestigkeit (N/mm) gemessen. Die Ergebnisse sind in Tabelle 1 gezeigt.
  • (Glattheitsbewertung)
  • Die Oberfläche von jedem der behandelten Teststücke wird mit einem Rasterelektronenmikroskop (Vergrößerungsleistung: 3500) begutachtet und die Glattheit wird bewertet. Von den Teststücken wird jedes Teststück, bei dem die mittlere Anzahl von Lochfraßkorrosionen pro Fläche von 100 μm2 0, von 1 bis 4, von 5 bis 9, oder 10 oder mehr ist, als sehr gut (⊙), gut (O), zulässig (Δ) bzw. unzulässig (x) bewertet. Die mittlere Anzahl an Lochfraßkorrosionen ist die mittlere Anzahl von Werten die erhalten wurden, indem irgendwelche fünf Punkte auf jedem der Teststücke begutachtet wurden. Die Ergebnisse sind in Tabelle 1 gezeigt.
    Figure 00110001
    Figure 00120001
  • Wie in Tabelle 1 gezeigt werden in den Beispielen 1 bis 11 der vorliegenden Erfindung gute Ergebnisse sowohl bei der Abzugsfestigkeit als auch bei Glattheit erreicht.
  • Auf der anderen Seite wird in den Vergleichsbeispielen 1 und 2, in welchen ein Zinn(II)-Salz als Zinnquelle verwendet wird, die Abzugsfestigkeit in dem Fall der Behandlung mit gebrauchter Flüssigkeit verringert. In Vergleichsbeispielen 3 und 4, in welchen kein Komplexierungsverzögerer enthalten ist, ist, obwohl ein Zinn(IV)-Salz als eine Zinnquelle verwendet wird, die Glattheit beeinträchtigt. Aus den Ergebnissen der Vergleichsbeispiele 1 und 2 wird entnommen, dass wenn ein Zinn(II)-Salz verwendet wird, die vorteilhafte Wirkung eines Komplexierungsverzögerers nur schwer erzeugt wird.
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
  • Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
  • Zitierte Patentliteratur
    • - JP 6-66553 B [0002, 0003]
    • - JP 2004-536220 [0002, 0003]
    • - JP 5-222540 A [0004]
    • - JP 5-263258 A [0004]
    • - JP 2004-349693 A [0005, 0006]
    • - JP 2005-23301 A [0005, 0006]
  • Zitierte Nicht-Patentliteratur
    • - SR-7200 [0033]
    • - JIS C 6471 [0033]

Claims (6)

  1. Klebstoffschicht bildende Flüssigkeit, welche eine Flüssigkeit zur Bildung einer Klebstoffschicht ist, um Kupfer und ein Harz miteinander zu verbinden, und die eine wässrige Lösung ist, aufweisend eine Säure, ein Zinn(IV)-Salz, ein Komplexierungsmittel, einen Stabilisator und einen Komplexierungsverzögerer, um eine Komplexierungsreaktion zwischen dem Komplexierungsmittel und Kupfer zu verzögern.
  2. Klebstoffschicht bildende Flüssigkeit gemäß Anspruch 1, wobei der Komplexierungsverzögerer zumindest einer ist, ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus Phosphorsäuren, phosphorigen Säuren und hypophosphorigen Säuren.
  3. Klebstoffschicht bildende Flüssigkeit gemäß Anspruch 1 oder 2, wobei der Komplexierungsverzögerer in einer Menge von 0,1 bis 30,0 Gew.-% enthalten ist.
  4. Klebstoffschicht bildende Flüssigkeit gemäß irgend einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei das Komplexierungsmittel zumindest eines ist, ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus Thioharnstoffen und Thioharnstoffderivaten.
  5. Klebstoffschicht bildende Flüssigkeit gemäß irgend einem der Ansprüche 1 bis 4, wobei der Stabilisator zumindest einer ist, ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus Glykolen und Glykolestern.
  6. Klebstoffschicht bildende Flüssigkeit gemäß irgend einem der Ansprüche 1 bis 5, wobei die Konzentration des Komplexierungsmittels von 0,5 bis 10,0 mal diejenige des Komplexierungsverzögerers ist.
DE102009031015A 2008-07-02 2009-06-29 Klebstoffschicht bildende Flüssigkeit Ceased DE102009031015A1 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008-173086 2008-07-02
JP2008173086A JP5317099B2 (ja) 2008-07-02 2008-07-02 接着層形成液

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE102009031015A1 true DE102009031015A1 (de) 2010-01-07

Family

ID=41396941

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE102009031015A Ceased DE102009031015A1 (de) 2008-07-02 2009-06-29 Klebstoffschicht bildende Flüssigkeit

Country Status (6)

Country Link
US (1) US20100000971A1 (de)
JP (1) JP5317099B2 (de)
KR (1) KR20100004060A (de)
CN (1) CN101619450B (de)
DE (1) DE102009031015A1 (de)
TW (1) TWI467050B (de)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102797001A (zh) * 2012-07-11 2012-11-28 常州大学 基于氯化胆碱的化学镀锡溶液及其使用方法
JP6522425B2 (ja) 2015-05-28 2019-05-29 石原ケミカル株式会社 銅表面処理用の置換ニッケルメッキ浴、当該メッキ浴を用いた銅張り部品の製造方法並びに当該銅張り部品
JP6232605B2 (ja) * 2016-05-10 2017-11-22 メック株式会社 被膜形成用組成物、表面処理金属部材の製造方法、および金属‐樹脂複合体の製造方法

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05222540A (ja) 1991-11-27 1993-08-31 Mcgean Rohco Inc 置換めっき浴の寿命を延長させる方法
JPH05263258A (ja) 1991-11-27 1993-10-12 Mcgean Rohco Inc 置換すずめっき用錯化剤
JPH0666553B2 (ja) 1987-10-01 1994-08-24 マクジーン―ローコ・インコーポレイテツド 多層印刷回路板構成体
JP2004536220A (ja) 2000-07-27 2004-12-02 アトテック・ドイチュラント・ゲーエムベーハー 金属表面への高分子材料の接着性改善
JP2004349693A (ja) 2003-04-30 2004-12-09 Mec Kk 銅表面の対樹脂接着層
JP2005023301A (ja) 2003-04-30 2005-01-27 Mec Kk 接着層形成液、その液を用いた銅と樹脂の接着層の製造方法及びその積層体

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5211831A (en) * 1991-11-27 1993-05-18 Mcgean-Rohco, Inc. Process for extending the life of a displacement plating bath
US5217751A (en) * 1991-11-27 1993-06-08 Mcgean-Rohco, Inc. Stabilized spray displacement plating process
JP3347867B2 (ja) * 1994-03-15 2002-11-20 三井金属鉱業株式会社 疑似ウィスカーの発生しない無電解めっき液
JP3776566B2 (ja) * 1997-07-01 2006-05-17 株式会社大和化成研究所 めっき方法
JP2000017477A (ja) * 1998-07-06 2000-01-18 Nkk Corp 不連続錫めっき鋼板の製造方法
JP3871018B2 (ja) * 2000-06-23 2007-01-24 上村工業株式会社 錫−銅合金電気めっき浴及びそれを使用するめっき方法
JP4025981B2 (ja) * 2002-05-23 2007-12-26 石原薬品株式会社 無電解スズメッキ浴
US7029761B2 (en) * 2003-04-30 2006-04-18 Mec Company Ltd. Bonding layer for bonding resin on copper surface
US7156904B2 (en) * 2003-04-30 2007-01-02 Mec Company Ltd. Bonding layer forming solution, method of producing copper-to-resin bonding layer using the solution, and layered product obtained thereby
JP4935295B2 (ja) * 2005-10-20 2012-05-23 Jfeスチール株式会社 錫めっき鋼板およびその製造方法
JP2007146205A (ja) * 2005-11-25 2007-06-14 Japan Techno Mate Corp 黒色めっき膜の形成方法

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0666553B2 (ja) 1987-10-01 1994-08-24 マクジーン―ローコ・インコーポレイテツド 多層印刷回路板構成体
JPH05222540A (ja) 1991-11-27 1993-08-31 Mcgean Rohco Inc 置換めっき浴の寿命を延長させる方法
JPH05263258A (ja) 1991-11-27 1993-10-12 Mcgean Rohco Inc 置換すずめっき用錯化剤
JP2004536220A (ja) 2000-07-27 2004-12-02 アトテック・ドイチュラント・ゲーエムベーハー 金属表面への高分子材料の接着性改善
JP2004349693A (ja) 2003-04-30 2004-12-09 Mec Kk 銅表面の対樹脂接着層
JP2005023301A (ja) 2003-04-30 2005-01-27 Mec Kk 接着層形成液、その液を用いた銅と樹脂の接着層の製造方法及びその積層体

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
JIS C 6471
SR-7200

Also Published As

Publication number Publication date
CN101619450B (zh) 2013-01-02
CN101619450A (zh) 2010-01-06
TWI467050B (zh) 2015-01-01
JP5317099B2 (ja) 2013-10-16
JP2010013516A (ja) 2010-01-21
KR20100004060A (ko) 2010-01-12
TW201002862A (en) 2010-01-16
US20100000971A1 (en) 2010-01-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE10165046B4 (de) Verfahren zum Herstellen einer Schaltungsplatte unter Anwendung einer Zusammensetzung zum Mikroätzen
DE69534804T2 (de) Beschichtung von Kupfer
DE102009037855B4 (de) Verfahren zur Oberflächenbehandlung von Aluminium oder Aluminiumlegierungen
DE69602104T2 (de) Elektroplattierte kupferfolie und verfahren zu deren herstellung
DE3889155T2 (de) Elektroplattierverfahren und hergestellter Gegenstand.
DE68908488T2 (de) Verfahren zur Vorbereitung von Polymeroberflächen für eine nachfolgende Plattierung, und daraus hergestellte metallplattierte Kunststoffartikel.
EP1614771B1 (de) Zinnbeschichtete Leiterplatten mit geringer Neigung zur Whiskerbildung
DE2610470C3 (de) Verfahren zur stromlosen Abscheidung von Kupferschichten
DE3016132C2 (de) Verfahren zur Herstellung von gegen Hitzeschockeinwirkung widerstandsfähigen gedruckten Schaltungen
DE10313517B4 (de) Lösung zum Ätzen von Kupfer, Verfahren zum Vorbehandeln einer Schicht aus Kupfer sowie Anwendung des Verfahrens
DE69218892T2 (de) Komplexierungsmittel für das Zinnplattieren nach der Austauschmethode
DE102009005691A1 (de) Elektrisch leitfähige Schicht, Laminat, welches diese verwendet und Herstellungsverfahren dafür
DE102007045794A1 (de) Haftvermittler für Harz und Verfahren zur Erzeugung eines Laminates, umfassend den Haftvermittler
DE3116743A1 (de) "verfahren zum vorbehandeln eines nicht leitfaehigen substrats fuer nachfolgendes galvanisieren"
DE2854588A1 (de) Metallverbund, insbesondere gedruckte schaltungen, und verfahren zur herstellung
DE112015005823T5 (de) Waschlösung für die oberfläche eines stromlosen zinnplattierungsüberzugs, ergänzungslösung für die waschlösung und verfahren für die erzeugung einer zinnplattierungsschicht
DE69705650T2 (de) Cyanidfreies Messungplattierungsbad und Verfahren zur Herstellung einer Metallfolie mit einer Messungbeschichtung unter Verwendung dieses Bades
DE19511380A1 (de) Verfahren zur Elektroplattierung einer nichtleitenden Oberfläche
DE102004019877B4 (de) Haftschicht zum Kleben von Harz auf eine Kupferoberfläche
DE69217183T2 (de) Verfahren zur Verlängerung der Benutzbarkeit eines Metallisierungsbades nach der Austauschmethode
KR20140034698A (ko) 동박의 표면처리 방법 및 그 방법으로 표면처리된 동박
DE60100834T2 (de) Zusammensetzung für die Leiterplattenherstellung
DE102004019878B4 (de) Verfahren zur Herstellung einer Haftschicht auf einer Kupferoberfläche durch Abscheiden einer Zinnlegierung und daraus gebildetes schichtförmiges Produkt
EP1055355B1 (de) Verfahren zum vorbehandeln von kupferoberflächen
DE102009031015A1 (de) Klebstoffschicht bildende Flüssigkeit

Legal Events

Date Code Title Description
R082 Change of representative

Representative=s name: MAI DOERR BESIER PATENTANWAELTE, DE

Representative=s name: MAI DOERR BESIER EUROPEAN PATENT ATTORNEYS - E, DE

R012 Request for examination validly filed
R002 Refusal decision in examination/registration proceedings
R003 Refusal decision now final