DE102009029673A1

DE102009029673A1 - Manipulator zur Positionierung eines optischen Elementes in mehreren räumlichen Freiheitsgraden

Info

Publication number: DE102009029673A1
Application number: DE200910029673
Authority: DE
Inventors: Alexander Vogler
Original assignee: Carl Zeiss SMT GmbH
Current assignee: Carl Zeiss SMT GmbH
Priority date: 2009-09-22
Filing date: 2009-09-22
Publication date: 2010-11-25

Abstract

Die Erfindung betrifft einen Manipulator zur Positionierung eines optischen Elementes in mehreren räumlichen Freiheitsgraden, wobei der Manipulator mehrere Aktuatoren zur Bewegung des optischen Elementes in jeweils mindestens einem räumlichen Freiheitsgrad und Sensoren zur Bestimmung der Position des optischen Elementes bezüglich der räumlichen Freiheitsgrade beinhaltet. Der Manipulator zeichnet sich dadurch aus, dass einer der Aktuatoren ein mit dem optischen Element fest verbundenes Kopplungselement enthält und die Position des optischen Elementes bezüglich der räumlichen Freiheitsgrade durch die Bestimmung der Position des Kopplungselementes bezüglich der räumlichen Freiheitsgrade durch die Sensoren bestimmbar ist.

Description

Die Erfindung betrifft einen Manipulator zur Positionierung eines optischen Elementes in mehreren räumlichen Freiheitsgraden, wobei der Manipulator mehrere Aktuatoren zur Bewegung des optischen Elementes in jeweils einem räumlichen Freiheitsgrad und mehrere Sensoren zur Bestimmung der Position des optischen Elementes in jeweils einem räumlichen Freiheitsgrad enthält.
Weiter betrifft die Erfindung eine Projektionsbelichtungsanlage für die Mikrolithographie, welche einen Manipulator obiger Art enthält.
Aktuelle Projektionsbelichtungsanlagen für die Mikrolithographie, im weiteren kurz:
Projektionsbelichtungsanlagen, sind mit Manipulationsmöglichkeiten ausgestattet, welche gewährleisten, dass die Funktionstüchtigkeit der Anlage über Ihre Lebensdauer erhalten bleibt. So führt beispielsweise die Beaufschlagung der optischen Elemente einer in der Projektionsbelichtungsanlage beinhalteten Projektionsoptik mit Projektionslicht zur Erwärmung dieser optischen Elemente und damit zur Veränderung der optischen Eigenschaften dieser optischen Elemente. Diese Veränderung der optischen Eigenschaften führt im Allgemeinen zu einer Verschlechterung der Abbildungsleistung der Projektionsoptik und damit der Projektionsbelichtungsanlage.
Daher sind einige der optischen Elemente der Projektionsoptik mit Manipulationsmöglichkeiten ausgestattet, welche entweder Ihre relative Lage bezüglich anderer optischer Elemente der Projektionsoptik oder ihre Form oder, im Falle eines refraktiven optischen Elementes, ihren Brechungsindex global oder lokal verändern.
Beispielsweise wird in der EP 678768 A2 eine Linse in ihrer Form verändert oder durch Wärmebeaufschlagung in ihren Brechungsindex verändert, so dass Sie eine, von Ihrer ursprünglichen Wirkung abweichende, optische Wirkung zeigt. In der EP 851304 A2 ist ein Paar von asphärisierten Planplatten vorgesehen, sogenannten Alvarez-Platten, welche in einer vorgegebenen, räumlichen Nullstellung zueinander keine optische Wirkung zeigen, welche jedoch bei einer translatorischen Relativbewegung zueinander eine vorher berechnete, optische Wirkung zeigen. Weiter zeigen US 2003/0063268 A1 , sowie US 6191898 B1 die Manipulation optischer Elemente in Projektionsoptiken, wobei die optischen Elemente durch Manipulatoren in Richtung einer optischen Achse oder orthogonal dazu verschoben werden, so das sich durch diese Relativbewegung zu weiteren optischen Elementen, welche der Projektionsoptik angehören, eine optische Wirkung einstellt. Schließlich zeigt die WO 2007/062794 A1 die Manipulation eines optischen Elementes einer Projektionsoptik, wobei die Projektionsoptik eine optische Achse enthält. Hierbei wird das optische Element in fünf räumlichen Freiheitsgraden bewegt: Verschiebung in Richtung der optischen Achse, zwei Verschiebungen senkrecht dazu, und zwei Rotationsbewegungen um Achsen, welche nicht der optischen Achse entsprechen.
Beispielsweise die hochgenaue Positionierung eines optischen Elementes wird in der Regel durch einen Manipulator bewerkstelligt, welcher einen oder mehrere Aktuatoren enthält. Typen von derartigen Aktuatoren sind Lorenz-Aktuatoren, man vergleiche US 20090086177 A1 , insbesondere den dortigen Abschnitt [0005], magnetische Aktuatoren, man vergleiche WO 2006079537 A2 , Piezo-Aktuatoren, man vergleiche WO 2008022797 A1 , oder US 6229657 B1 und kapazitive Aktuatoren, man vergleiche US 7304718 B2 .
Bei einigen Typen von Manipulatoren, wie beispielsweise den Piezo-Elementen aus WO 2008022797 A1 , sind diese Piezo-Elemente sowohl als Aktuatoren als auch als Sensoren einsetzbar.
Bei Aktuatoren, welche die Lage des optischen Elementes bezüglich eines räumlichen Freiheitsgrades (Translation oder Rotation) verändern, entsteht das Problem, der Positionsbestimmung des optischen Elementes nach Betätigung des Manipulators bzw. seiner Aktuatoren. Generell gibt es hierzu drei Lösungen des Problems: (i) man misst die Auslenkung der Aktuatoren an diesen selbst und schließt dadurch auf die Position des optischen Elementes, (ii) man schließt aus der Ansteuerung der Aktuatoren auf deren Auslenkung und dadurch wiederum auf die Position des optischen Elementes, (iii) man verwendet, unabhängig von den Aktuatoren, Sensoren, welche die räumliche Lage des optischen Elementes nach seiner Auslenkung durch den Manipulator neu bestimmen.
Bei der Lösung (i) stellt sich das Problem, dass Aktuatoren wie Lorenz-Aktuatoren, magnetische Aktuatoren, Piezo-Aktuatoren, und kapazitive Aktuatoren in einer sehr feinen Auflösung ausgelenkt werden können. Eine direkte Messung Ihrer Position am Aktuator selbst erreicht hingegen in der Regel nicht die gleiche Auflösung, oder diese zu erzielen ist sehr aufwendig und teuer. Weiter muss bei dieser Lösung der Sensor, welcher die Auslenkung des Aktuators misst, mindestens den gleichen Messbereich haben wie der Aktuator maximal ausgelenkt werden kann. Bei der Lösung (ii) stehen Hysteresereffekte einem genauen Rückschluss von Ansteuerung der Aktuatoren auf deren Auslenkung im Wege. Diese werden beispielsweise durch Hysterese im elektromagnetischen Sinne oder durch Setzung einzelner Bauteile des Manipulators verursacht. Bei der Lösung (iii) sind Sensoren, die eine entsprechend den Aktuatoren genaue Auflösung leisten, entweder sehr teuer oder die Lösung verbietet sich durch den zusätzlich zu den Aktuatoren zu beanspruchenden Bauraum.
Es besteht daher der Bedarf an einer baulich einfachen Anordnung von Sensoren innerhalb eines Manipulators, so dass diese die Lage des optischen Elementes nach der Auslenkung des Manipulators bestimmen.
Erfindungsgemäß wird dies durch die folgenden Manipulatoren geleistet.
Der Einfachheit halber sind die Erfindung und Ihre untergeordneten Ausführungsformen als Sätze formuliert. Nach jedem Satz wird der Vorteil der diesem zugrunde liegender Ausführungsform erläutert.

1. Manipulator zur Positionierung eines optischen Elementes in mehreren räumlichen Freiheitsgraden, der Manipulator beinhaltend mehrere Aktuatoren zur Bewegung des optischen Elementes in jeweils mindestens einem räumlichen Freiheitsgrad, Sensoren zur Bestimmung der Position des optischen Elementes bezüglich der obigen räumlichen Freiheitsgrade, wobei einer der Aktuatoren ein mit dem optischen Element fest verbundenes Kopplungselement enthält, und die Position des optischen Elementes bezüglich der obigen räumlichen Freiheitsgrade durch die Bestimmung der Position des Kopplungselementes bezüglich der obigen räumlichen Freiheitsgrade durch die Sensoren bestimmbar ist. Durch diese Anordnung der Sensoren zur Bestimmung der Position des optischen Elementes bezüglich der räumlichen Freiheitsgrade an dem Kopplungselement, welches mit dem optische Element fest verbunden ist, kann durch die Lagebestimmung des Kopplungselementes auf die Lage des optischen Elementes bzgl. der räumlichen Freiheitsgrade rückgeschlossen werden. Da das Kopplungselement ein Teil eines Aktuators ist, ergibt sich so eine baulich einfache Integration der Sensoren in den Manipulator.
2. Manipulator nach Satz 1, wobei die obigen räumlichen Freiheitsgrade mindestens einen translatorischen und mindestens einen rotatorischen Freiheitgrad beinhalten. Satz 2 zeigt, dass die Integration der Sensoren gemäß Satz 1 für die Klasse von Manipulatoren, welche mindestens einen translatorischen und mindestens einen rotatorischen räumlichen Freiheitsgrad beinhalten, wie beispielsweise in der WO 2007/062794 A1 gezeigt, einsetzbar ist.
3. Manipulator nach einem der obigen Sätze, wobei es sich bei den Aktuatoren um mindestens zwei verschiedene Typen aus der Menge: Lorentz-Aktuatoren, magnetische Aktuatoren, Piezo-Aktuatoren oder kapazitive Aktuatoren handelt. Satz 3 zeigt, dass die Integration der Sensoren gemäß Satz 1 oder Satz 2 für die Typen von Aktuatoren, die für die Bewegung von optischen Elementen in Projektionsoptiken vorzugsweise verwendet werden, unabhängig vom Typ einsetzbar ist.
4. Manipulator nach einem der obigen Sätze, wobei mindestens ein Aktuator passiver Natur ist, insbesondere ein Gravitationkompensator oder Schwingungskompensator ist. Das erfindungsgemäße Aktuator/Sensorkonzept ist sowohl für aktive Aktuatoren, welchen ein optisches Element explizit bezüglich einer räumlichen Dimension eines räumlichen Freiheitsgrades auslenken sollen geeignet, wie es auch für passive Aktuatoren geeignet ist, welche lediglich zur Kompensation der Gravitation, man vergleiche US 2009066168 A1 oder zur Kompensation von Schwingungen, man vergleiche US 6700715 B2 , vorgesehen sind, und welche nicht zu einer aktiven, d. h. beliebig festlegbaren Bewegung des optischen Elementes in einem räumlichen Freiheitsgrad vorgesehen sind.
5. Manipulator nach einem der obigen Sätze, wobei die Sensoren absolut messende oder inkrementell messende sind. Der erfindungsgemäße Manipulator hat die Variabilität, sowohl mit absolut messenden als auch mit inkrementell messenden Sensoren ausgestattet werden zu sein.
6. Manipulator nach einem der obigen Sätze, wobei es sich bei mindestens einem Sensor um einen vom Typ: Piezo-Sensor, kapazitiver Sensor, Encoder, oder Hall Sensor, oder Taster, oder Wirbelstromsensor handelt. Ebenso wie die Aktuatoren kann es sich auch bei den Sensoren um sehr fein auflösende vom Typ: Piezo-Sensor, kapazitiver Sensor, Encoder, man vergleiche US 2008062432 A1 , Hall-Sensoren, oder Taster, oder Wirbelstromsensoren, man vergleiche WO 200200115 A1 , handeln. Alle diese können erfindungsgemäß eingesetzt werden, was die Variabilität der Erfindung zeigt.
7. Manipulator nach einem der obigen Sätze, wobei mindestens ein Sensor ein Referenzelement enthält, welches fest mit dem Kopplungselement verbunden ist. Enthält mindestens ein Sensor ein Referenzelement, welches fest mit dem Kopplungselement verbunden ist, so lässt sich a priori die Ungenauigkeit der Lagebestimmung bzgl. der räumlichen Freiheitsgrade vermeiden, die durch eine Fehljustage dieses Sensors relativ zum Kopplungselement von Natur aus gegeben wäre.
8. Manipulator nach dem obigen Satz 7, wobei es sich bei dem Referenzelement um eine Strichplatte, einen Magneten, oder einen Kondensator, oder eine metallische Targetfläche für einen Wirbelstromsensor handelt. Handelt es sich bei einem Sensor um einen kapazitiven Sensor, so ist als Referenzelement ein Kondensator, bzw. eine Kondensatorplatte geeignet. Handelt es sich um einen Encoder, so ist eine Strichplatte als Referenzelement geeignet, handelt es sich um einen Hall-Sensor, so ist ein als Referenzelement ein Magnet geeignet, handelt es sich um einen Wirbelstromsensor, so ist als Referenzelement eine metallische Targetfläche geeignet. Daher ist der Vorteil der Ausführung nach Satz 8 für eine große Menge von erfindungsgemäß verwendbaren Sensoren gegeben.
9. Manipulator nach einem der obigen Sätze, wobei das optische Element ein Spiegel ist.
10. Manipulator nach dem Satz 9, wobei der Spiegel aus einem reflektierenden Schichtsystem und einem Träger besteht, und wobei das Kopplungselement mit dem Träger einstückig ausgebildet, oder das Kopplungslement an den Träger angesprengt, oder geklebt, oder geschraubt ist. Besteht das optische Element aus einem Spiegel, welcher wiederum aus einem reflektierenden Schichtsystem und einem Träger besteht, so ist die einstückige Ausbildung des Kopplungselementes mit dem Träger, oder seine Ansprengung, Klebung oder Schraubung an den Träger vorteilhaft, da dadurch die Lageposition des Kopplungselementes zu dem optischen Element bei der Manipulation des optischen Elementes unverändert bleibt.
11. Manipulator nach dem obigen Satz 10, wobei das Kopplungselement an die von dem reflektierenden Schichtsystem abgewandte Seite des Trägers angebunden ist.

Durch die Anordnung des Kopplungselement auf die von dem reflektierenden Schichtsystem abgewandte Seite des Trägers ist eine Beeinträchtigung der optischen Eigenschaften des Spiegels durch das Kopplungselement ausgeschlossen.
Die Erfindung erstreckt sich von dem erfindungsgemäßen Manipulator auf die Projektionsbelichtungsanlage für die Mikrolithographie, welche einen erfindungsgemäßen Manipulator enthält.
Die Erfindung wir anhand der nachfolgenden Ausführungsbeispiele mit den begleitenden Zeichnungen erläutert.
1 zeigt einen Manipulator mit zwei translatorischen und einem rotatorischen Freiheitsgrad und drei aktiven Aktuatoren und drei Sensoren.
2 zeigt einen Manipulator mit drei translatorischen Freiheitsgraden, zwei aktiven Aktuatoren, einem passiven Aktuator und drei Sensoren.
3 zeigt einen Ausschnitt von 2 in einer anderen Perspektive als 2.
4 zeigt einen weiteren Ausschnitt von 2 in einer anderen Perspektive als 2.
5 zeigt eine zu 4 alternative Ausführungsform.
1 zeigt einen erfindungsgemäßen Manipulator 10, welcher das optische Element 11, welches als Spiegel ausgeführt ist, in zwei translatorischen und einem rotatorischen Freiheitsgrad bewegen kann. Die relative räumliche Lageposition zu anderen Elementen der Projektionsoptik ist durch ein Koordinatensystem 120 mit den Koordinatenachsen x, y und z dargestellt. Die Darstellung des Manipulators 10 und des Spiegels 11 ist ein Schnitt in der (x, z)-Ebene. Der Spiegel 11 besteht aus einem System von nicht-äquidistanten Schichten 12. Dieses System von Schichten befindet sich auf einem Träger 13. Der Manipulator enthält drei aktive Aktuatoren 14, 15, 16, welche insgesamt die räumliche Position des Spiegels in drei Freiheitsgraden verändern können. Der Manipulator 14 übt eine Kraft 18 in Richtung z auf den Träger 13 aus, der Manipulator 16 übt eine Kraft 19 in Richtung x auf den Träger 13 aus. Der Aktuator 15 enthält das erfindungsgemäße Kopplungselement 110 und in ihm wird eine Kraft 17 auf das Kopplungselement 110 ausgeübt, welches an der Stelle 111 an den Träger 13 angesprengt ist. An dem Kopplungselement 110 sind zwei kapazitive Sensoren 112, 114 und ein Encoder 113 angeordnet, welche die Position des Kopplungselementes 110 und damit die des Trägers 13 bzw. Spiegels 11 zusammen in drei räumlichen Freiheitsgraden bestimmen. Wird der Aktuator 16 angesteuert, so findet eine Translation des Spiegels 11 in Richtung x statt, welche durch einen kapazitiven Sensor 112 oder 114 ermittelt werden kann. Werden die Aktuatoren 14 und 15 gleichartig aktuiert, so findet eine Translation des Spiegels 11 in Richtung z statt. Diese kann durch den Encoder 113 inkrementell ermittelt werden. Werden die Aktuatoren 14 und 15 nicht gleichartig angesteuert, so findet zusätzlich zu einer z-Verschiebung eine Rotation um die Achse y statt, welche durch die kapazitiven Sensoren 112 und 114 gemeinsam in ihrer Größe bestimmt werden kann. Das Kopplungselement 110 ist hierbei auf der Seite des Trägers angeordnet, welche dem Schichtsystem und damit dem optisch wirksamen Teil des Spiegels abgewandt ist, so dass sich keine optische Beeinflussung des Spiegels 11 durch das Kopplungselement 110 ergibt.
2 zeigt einen erfindungsgemäßen Manipulator 20, bei dem das optische Element 21 ebenfalls als Spiegel ausgeführt ist. Die relative räumliche Lageposition zu anderen Elementen der Projektionsoptik ist ebenfalls durch ein Koordinatensystem 220 mit den Koordinatenachsen x, y und z dargestellt. Die Darstellung des Manipulators 20 und des Spiegels 21 ist ein Schnitt in der (x, z)-Ebene. Der Spiegel 21 besteht aus einem System von äquidistanten Schichten 22. Dieses System von Schichten 22 befindet sich auf einem Träger 23. Der Manipulator 20 enthält zwei aktive Aktuatoren 24, 25 und einen weiteren, hier nicht dargestellten, aktiven Manipulator welche insgesamt die räumliche Position des Spiegels in den drei translatorischen Freiheitsgraden x, y, und z verändern. Ein weiterer, passiver Manipulator 26 dient zur Kompensation der Schwerkraft, welche z entgegen gerichtet ist. Der Manipulator 24 übt eine Kraft 228 in Richtung auf den Träger 23 aus, welche eine x-, eine y, und eine z-Komponente enthält, wobei die z-Komponente in Verhältnis zu der x- als auch zu der y-Komponente relativ gering ist. Der Manipulator 25 übt eine Kraft 229 in Richtung auf den Träger 23 aus, welche eine x-, eine y, und eine z-Komponente enthält, wobei die z-Komponente in Verhältnis zu der x- als auch zu der y-Komponente relativ gering ist. Das gleiche gilt für den nicht dargestellt, dritten Aktuator. Der Aktuator 26 enthält das erfindungsgemäße Kopplungselement 211 und in ihm wird eine Kraft 227 auf das Kopplungselement 211 ausgeübt, welches einstückig mit dem Träger 13 ausgeführt ist. An dem Kopplungselement 211 sind drei Hall-Sensoren 212, 213 und 214 angeordnet, welche die Position des Kopplungselementes 211 und damit die des Trägers 23 bzw. Spiegels 21 zusammen in den drei translatorischen räumlichen Freiheitsgraden x, y, und z bestimmen. Durch die Aktuatoren 24 und 25 und den nicht dargestellten Aktuator ist eine beliebige Translation des Spiegels 21 in Richtung x und in Richtung y möglich, welche mit einer parasitären Translation des Spiegels in Richtung z überlagert wird. Gleichzeitig wird die Gewichtskraft des Spiegels in Richtung -z durch den Aktuator 26 kompensiert. Durch die drei Hall-Sensoren wird die Bewegung in x-Richtung und in y-Richtung, sowie die parasitäre Bewegung in z-Richtung, die nicht durch den passiven Gravitationskompensator 26 kompensiert wird, gemessen. Das Kopplungselement 110 ist hierbei auf der Seite des Trägers angeordnet, welche dem Schichtsystem und damit dem optisch wirksamen Teil des Spiegels abgewandt ist.
3 zeigt eine Aufsicht des Manipulators 20 aus 2 zusammen mit dem Spiegel 21 der 2 in einem Schnitt in der (x, y)-Ebene. Die Aktuaoren 24, 25 und der nicht dargestellte Aktuator der 2 entsprechen hier den Aktuatoren 324 und 325, sowie 328. Diese sind jeweils 120° versetzt und teilweise unterhalb des Spiegels 321 angeordnet.
4 zeigt die Anordnung der Hall-Sensoren 412, 413 und 414 um das Kopplungselement 411 aus 2 in einem Schnitt in der (x, y)-Ebene.
5 zeigt eine alternative Anordnung der Hall-Sensoren 512, 513 und 514, welche auch innerhalb des Kopplungselementes 511 angeordnet sein können, wobei letzteres in diesem Fall als Zylinder ausgeführt ist.
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur

- EP 678768 A2 [0005]
- EP 851304 A2 [0005]
- US 2003/0063268 A1 [0005]
- US 6191898 B1 [0005]
- WO 2007/062794 A1 [0005, 0012]
- US 20090086177 A1 [0006]
- WO 2006079537 A2 [0006]
- WO 2008022797 A1 [0006, 0007]
- US 6229657 B1 [0006]
- US 7304718 B2 [0006]
- US 2009066168 A1 [0012]
- US 6700715 B2 [0012]
- US 2008062432 A1 [0012]
- WO 200200115 A1 [0012]

Claims

Manipulator zur Positionierung eines optischen Elementes in mehreren räumlichen Freiheitsgraden, der Manipulator beinhaltend – mehrere Aktuatoren zur Bewegung des optischen Elementes in jeweils mindestens einem räumlichen Freiheitsgrad – Sensoren zur Bestimmung der Position des optischen Elementes bezüglich der räumlichen Freiheitsgrade dadurch gekennzeichnet, dass – einer der Aktuatoren ein mit dem optischen Element fest verbundenes Kopplungselement enthält – die Position des optischen Elementes bezüglich der räumlichen Freiheitsgrade durch die Bestimmung der Position des Kopplungselementes bezüglich der räumlichen Freiheitsgrade durch die Sensoren bestimmbar ist.
Manipulator nach Anspruch 1 dadurch gekennzeichnet, dass die räumlichen Freiheitsgrade mindestens einen translatorischen und mindestens einen rotatorischen beinhalten.
Manipulator nach einem der obigen Ansprüche dadurch gekennzeichnet, dass es sich bei den Aktuatoren um mindestens zwei verschiedene Typen aus der Menge: Lorentz-Aktuatoren, magnetische Aktuatoren, Piezo-Aktuatoren, oder kapazitive Aktuatoren handelt.
Manipulator nach einem der obigen Ansprüche dadurch gekennzeichnet, dass mindestens ein Aktuator passiver Natur ist, insbesondere ein Gravitationkompensator oder Schwingungskompensator ist.
Manipulator nach einem der obigen Ansprüche dadurch gekennzeichnet, dass die Sensoren absolut messende oder inkrementell messende sind.
Manipulator nach einem der obigen Ansprüche dadurch gekennzeichnet, dass es sich bei mindestens einem Sensor um einen vom Typ: Piezo-Sensor, kapazitiver Sensor, Encoder oder Hall-Sensor, oder Taster, oder Wirbelstromsensor handelt.
Manipulator nach einem der obigen Ansprüche dadurch gekennzeichnet, dass mindestens ein Sensor ein Referenzelement enthält, welches fest mit dem Kopplungselement verbunden ist.
Manipulator nach dem obigen Anspruch 7 dadurch gekennzeichnet, dass es sich bei dem Referenzelement um eine Strichplatte, einen Magneten, oder einen Kondensator, oder eine metallische Targetfläche für einen Wirbelstromsensor handelt.
Manipulator nach einem der obigen Ansprüche dadurch gekennzeichnet, dass das optische Element ein Spiegel ist.
Manipulator nach dem obigen Anspruch 9 dadurch gekennzeichnet, dass der Spiegel aus einem reflektierenden Schichtsystem und einem Träger besteht und das Kopplungselement mit dem Träger einstückig ausgebildet, oder das Kopplungslement an den Träger angesprengt, oder geklebt oder geschraubt ist.
Manipulator nach dem obigen Anspruch 10 dadurch gekennzeichnet, dass das Kopplungselement an die von dem reflektierenden Schichtsystem abgewandte Seite des Trägers angebunden ist.
Projektionsbelichtungsanlage für die Mikrolithographie dadurch gekennzeichnet, dass diese einen Manipulator nach einem der obigen Ansprüche enthält.