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Die Erfindung betrifft eine Montagekonstruktion für einen Linearmotor, wie er in einer Industriemaschine wie einer Werkzeugmaschine verwendet wird.
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Linearmotoren wurden in Industriemaschinen wie Werkzeugmaschinen dazu verwendet, hohe Geschwindigkeit und hohe Genauigkeit zu erzielen. In einem Linearmotor sind Permanentmagnete in einem beweglichen Element oder in einem Stator vorhanden, so dass zwischen dem beweglichen Element und dem Stator eine magnetische Anziehungskraft wirkt, die mehrmals stärker als eine Abstoßungskraft ist. Die magnetische Anziehungskraft kann die Werkzeugmaschine in nachteiliger Weise verformen, wobei die Bearbeitungsgenauigkeit abnimmt. Um dieses Problem zu lösen, wird ein Linearmotor verwendet, bei dem die magnetische Anziehungskraft aufgehoben wird. Ein derartiger Linearmotor ist beispielsweise in der japanischen Patentoffenlegung Nr.
2005-137140 (Patentdokument 1) beschrieben. Dieser Linearmotor besteht aus einem beweglichen Element und zwei Statoren, die in solcher Weise parallel zueinander angeordnet sind, dass sie das bewegliche Element zwischen sich einbetten. Eine derartige Konfiguration ermöglicht es, dass zwischen jedem der zwei Statoren und dem beweglichen Element eine magnetische Anziehungskraft entsteht, wobei diese Anziehungskräfte in zueinander entgegengesetzten Richtungen wirken, wodurch sie sich aufheben. Dadurch ist die gesamte magnetische Anziehungskraft minimiert, was dazu beiträgt, dass sie den Betrieb einer Werkzeugmaschine nachteilig beeinflusst.
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JP 2001- 54 274 A zeigt einen Linearmotor, der eine zerklüftete Form an herausragenden Polzähnen eines Magnetkerns mit einem elektrischen Winkel von 360 Grad bildet.
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US 7 312 540 B2 zeigt Verbinder zum elektrischen Verbinden von Zuleitungsdrähten von Ankerwicklungen, die um Ankerblöcke gewickelt sind, die an den jeweiligen Enden einer Vielzahl der Ankerblöcke vorgesehen sind, so dass die Verbindungen der in den jeweiligen Ankerblöcken zu Parallelverbindungen werden.
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Nun wird ein Beispiel eines herkömmlichen Linearmotors unter Bezugnahme auf die 5 bis 8 beschrieben. Die 5 ist ein Diagramm, das die allgemeine Konfiguration des herkömmlichen Linearmotors zeigt. Die 6 ist eine Schnittansicht entlang einer Linie C-C in der 5. Die 7 ist ein Diagramm, das um den Linearmotor gewickelte Wicklungen zeigt. Die 8 ist eine perspektivische Ansicht eines Stators.
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Der Linearmotor verfügt über zwei sich linear zueinander erstreckende Statoren 52a und 52b sowie ein bewegliches Element 51, das entlang der Richtung, in der sie sich erstrecken, zwischen ihnen beweglich ist.
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Jeder der Statoren 52a und 52b besteht aus aufeinander geschichteten elektromagnetischen Stahlplatten. Jeder der Statoren 52a und 52b verfügt über mit einer Schrittweite P angeordnete vorstehende Pole 50. Wie es in der 8 dargestellt ist, ist jeder der Statoren 52a und 52b so hergestellt, dass er eine vorbestimmte Länge aufweist. Die mehreren Stücke jedes Stators sind über die Hublänge des beweglichen Elements 51 in der Richtung, in der sich dieses bewegt, angeordnet. Die Statoren 52a und 52b werden beispielsweise am Sockel 72 (in der 6 dargestellt) einer Werkzeugmaschine befestigt. Genauer gesagt wird, wie es in den 6 und 8 dargestellt ist, jeder der Statoren 52a und 52b durch Schrauben 71 in solcher Weise am Sockel 72 befestigt, dass die Unterseite 74 des Stators mit dem Sockel 72 in Kontakt steht.
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Andererseits ist das bewegliche Element 51 auf solche Weise gelagert, dass es sich in der Richtung einer X-Achse in der 5 aufgrund einer Rollenführung oder dergleichen, die zwischen dem Sockel 72 und einem Tisch (in den Zeichnungen nicht dargestellt) vorhanden ist und am Tisch befestigt ist, bewegen kann. Das bewegliche Element 51 besteht aus Bewegliche-Element-Blöcken 53, 54 und 55, von denen jeder aus aufeinander geschichteten ausgerichteten elektromagnetischen Stahlplatten besteht, die in der Richtung einer Z-Achse, die orthogonal zur Richtung der X-Achse verläuft, in der sich das bewegliche Element 51 vorwärts bewegt, eine hervorragende magnetische Charakteristik zeigen. Der Bewegliche-Element-Block 53 dient für eine Phase U, der Bewegliche-Element-Block 54 dient für eine Phase W und der Bewegliche-Element-Block 55 dient für eine Phase V. Die Bewegliche-Element-Blöcke 53, 54 und 55 sind so angeordnet, dass jeder derselben um 120° versetzt ist, d. h. um ein Drittel der Schrittweite P der magnetischen Pole der Statoren 52a und 52b und zwar in Bezug auf die Richtung der X-Achse, in der sich das bewegliche Element 51 vorwärts bewegt. Um jeden der Bewegliche-Element-Blöcke 53, 54 und 55 ist eine Wicklung für eine dreiphasige Wechselspannung gewickelt. D. h., dass eine Wicklung für eine dreiphasige Wechselspannung für die Phase U den Bewegliche-Element-Block 53 gewickelt ist. Eine Wicklung 57 für eine dreiphasige Wechselspannung für die Phase W ist um den Bewegliche-Element-Block 54 gewickelt. Eine Wicklung 58 für eine dreiphasige Wechselspannung für die Phase V ist um den Bewegliche-Element-Block 55 gewickelt. Die Phasen U, W und V der Wicklungen 56, 57 und 58 für eine dreiphasige Wechselspannung sind in Y-Form miteinander verbunden, wie es in der 7 dargestellt ist. Die Bewegliche-Element-Blöcke 53, 54 und 55, um die die Wicklungen 56, 57 und 58 für eine dreiphasige Wechselspannung gewickelt sind, sind durch ein Gießharz 76 miteinander integriert.
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Auf einer Fläche jedes der Bewegliche-Element-Blöcke 53, 54 und 55 sind Permanentmagnete 59 und 64 so angeordnet, dass sich N- und S-Pole abwechseln. Genauer gesagt, sind, wie es in der 5B und 5C dargestellt ist, drei Paare aus jeweils einem Permanentmagnet mit einem N-Pol und einem Permanentmagnet mit einem S-Pol mit der Schrittweite P angeordnet. Hierbei sind, wie es in der 5 dargestellt ist, wenn die Seite des Stators 52a als Seite A definiert wird und die Seite des Stators 52b als Seite B definiert wird, die Permanentmagnete 59 auf der Seite A und die Permanentmagnete 64 auf der Seite B in solcher Weise angeordnet, dass die Polarität auf der Seite A entgegengesetzt zu der auf der Seite B ist.
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Wie oben beschrieben, sind die Wicklungen 56, 57 und 58 für eine dreiphasige Wechselspannung in Y-Form miteinander verbunden. Wenn den Wicklungen 56, 57 und 58 für eine dreiphasige Wechselspannung in der Richtung von U nach V und W ein Strom zugeführt wird, wird im Linearmotor ein Magnetfluss 62 erregt.
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Nun wird ein Beispiel für den Betrieb dieses Linearmotors beschrieben. Wenn den Wicklungen 56, 57 und 58 für eine dreiphasige Wechselspannung ein Strom zugeführt wird, werden die Bewegliche-Element-Blöcke 53, 54 und 55 entlang der Richtung der Y-Achse in der Plus- oder der Minus-Richtung erregt. Im Ergebnis verstärkt sich der Magnetfluss in denjenigen der Permanentmagnete 59 und 64, die in der Magnetisierungsrichtung angeordnet sind, die mit der Richtung übereinstimmen, in der die Wechselspannungswicklung erregt wird, während der Magnetfluss in den restlichen Permanentmagneten geschwächt wird, also denjenigen, die in einer Magnetisierungsrichtung entgegengesetzt zur Erregungsrichtung angeordnet sind. So wird jeder der Permanentmagnete 59 und 64 mit einer der zwei entgegengesetzten Polaritäten erregt, d. h. in solcher Weise, dass er entweder als N- oder S-Pol dient. Der durch die Bewegliche-Element-Blöcke 53, 54 und 55 und die Seite der Statoren 52a und 52b verlaufende Magnetfluss bildet einen Magnetpfad, der in der 5A mit der Bezugszahl 62 gekennzeichnet ist. Dabei wird eine magnetische Anziehungskraft abhängig von den Positionen des beweglichen Elements 51 und der Statoren 52a und 52b erzeugt. So wird im beweglichen Element 51 eine Schubkraft erzeugt, wodurch es sich bewegt.
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Nun wird der Verlauf des Flusses unter Verwendung eines Beispiels genauer beschrieben, bei dem ein Strom von der Phase U zu den Phasen V und W gerichtet ist, d. h., bei dem er durch die Wicklung 56 für eine dreiphasige Wechselspannung in der in der 5A dargestellten Wicklungsrichtung und durch die Wicklungen 57 und 58 für eine dreiphasige Wechselspannung in der Richtung entgegengesetzt zu der 5A dargestellten Wicklungsrichtung fließt. Dann wird die Seite A des Bewegliche-Element-Blocks 53 zum S-Pol, und seine Seite B wird zum N-Pol. Demgegenüber wird die Seite A der Bewegliche-Element-Blöcke 54 und 55 zum N-Pol, während ihre Seite B zum S-Pol wird. So entsteht, wie es in der 5A dargestellt ist, ein Magnetpfad 62 in solcher Weise, dass der Magnetfluss vom Bewegliche-Element-Block 53 durch den Stator 52b zu den Bewegliche-Element-Blöcken 54 und 55 fließt und dann durch den Stator 52a zum Bewegliche-Element-Block 53 zurückkehrt. Dann wirkt die magnetische Anziehungskraft in der Richtung der X-Achse auf das bewegliche Element 51, um so eine Schubkraft in diesem zu erzeugen.
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Bei der oben beschriebenen Konfiguration werden die Statoren 52a, 52b des Linearmotors, bei dem eine magnetische Anziehungskraft aufgehoben wird, am Sockel 72 befestigt. Genauer gesagt, werden, wie es in der 6 dargestellt ist, die Statoren 52a und 52b in solcher Weise befestigt, dass die Statorunterseite 74, die der Unterseite jedes der Statoren 52a und 52b entspricht, mit dem Sockel 72 in Kontakt steht. Jedoch ist eine Statoroberseite 73, die der Oberseite jedes der Statoren 52a und 52b entspricht, nicht befestigt. So zeigen die Statoren 52a und 52b in nachteiliger Weise geringe Steifigkeit. Insbesondere werden beim in den 5 und 6 dargestellten herkömmlichen Linearmotor, bei dem jeder der Statoren 52a und 52b aus den aufeinander geschichteten elektromagnetischen Stahlplatten besteht, dieselben in der Richtung orthogonal zur Richtung aufgestapelt, in der die magnetische Anziehungskraft wirkt. So wirkt die Kraft in einer lateralen Richtung, in der die elektromagnetischen Stahlplatten verschiebbar sind, was in nachteiliger Weise die Steifigkeit der Statoren 52a und 52b deutlich verringert.
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Ferner wird bei den oben beschriebenen Statoren 52a und 52b nur die Statoroberseite 73 durch die magnetische Anziehungskraft umgebogen. So wird ein Luftspalt zwischen dem beweglichen Element 51 und jedem der Statoren 52a und 52b nur an der Statoroberseite 73 verringert. Darüber hinaus sind die Stücke jedes der Statoren 52a und 52b in der Bewegungsrichtung des beweglichen Elements 51 angeordnet. So variiert die Steifigkeit jedes der Statoren 52a und 52b zwischen den Statorstücken abhängig vom Aufschichtungszustand der elektromagnetischen Stahlplatten. Demgemäß variiert der Luftspalt zwischen dem beweglichen Element 51 und jedem der Statoren 52a und 52b abhängig von der Position des Stators. Im Ergebnis kann der Motorschub in nachteiliger Weise abhängig von der Position jedes der Statoren 52a und 52b variieren.
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Ferner werden beim herkömmlichen Linearmotor, wie er oben beschrieben ist, die Wicklungen 56, 57 und 58 für eine dreiphasige Wechselspannung, die seitens des beweglichen Elements 51 vorhanden sind, mit Strom versorgt, um die Statoren 52a und 52b über den Luftspalt, der einen hohen magnetischen Widerstand bildet, zu erregen. So nimmt der Schub mit abnehmendem Luftspalt zu. Der Luftspalt muss unter Berücksichtigung des Ausmaßes, gemäß dem eine Verbiegung der Statoren 52a und 52b zu erwarten ist, vorbestimmt werden. Dann muss der Luftspalt größer als der gewünschte Wert sein, was in nachteiliger Weise zu einem verringerten Motorschub führt.
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Darüber hinaus muss zur Motorregelung die Verstärkung erhöht werden, um die Kontrollierbarkeit der Rückkopplung zu verbessern. Jedoch führt eine erhöhte Verstärkung dazu, dass die Statoren mit geringer Steifigkeit vibrieren. Dies verhindert es, die Verstärkung auf den gewünschten Wert zu erhöhen, was zu einem deutlichen Positionsfehler führt. So können die Genauigkeit der Werkzeugmaschine und die Qualität einer bearbeiteten Fläche in nachteiliger Weise beeinträchtigt sein.
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Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Linearmotor zu schaffen, der so ausgebildet ist, dass bei ihm verhindert ist, dass der Motorschub abhängig von der Statorposition variiert.
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Diese Aufgabe ist durch den Linearmotor gemäß dem beigefügten Anspruch 1 gelöst. Beim erfindungsgemäßen Linearmotor ist auch der Motorschub verbessert. Ferner sind Verbesserungen der Genauigkeit einer Werkzeugmaschine, an der der Linearmotor montiert wird, und einer bearbeiteten Fläche erzielbar.
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Vorteilhafte Ausgestaltungen und Weiterbildungen sind Gegenstand abhängiger Ansprüche. Wenn die Basis und die zwei Statormontageelemente eines erfindungsgemäßen Linearmotors so miteinander integriert sind, dass sie einen U-förmigen Querschnitt aufweisen, kann die Unterseite jedes der Statoren an einem Bodenabschnitt des U-förmigen Querschnitts der Basis befestigt werden. Die Oberseite des Stators kann über das entsprechende plattenartige Halteelement an der Oberseite des U-förmigen Querschnitts befestigt werden.
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Wie bereits erwähnt, können bei Verwendung eines erfindungsgemäßen Linearmotors Variationen des Motorschubs aufgrund der relativen Statorposition verhindert werden. Ferner kann der Motorschub verbessert werden, da die Statoren und das bewegliche Element so montiert werden können, dass der Luftspalt zwischen jeder der Statoren und dem beweglichen Element auf einen vorbestimmten Wert eingestellt ist. Darüber hinaus ist für die Motorregelung die Steifigkeit verbessert, wodurch die Verstärkung erhöht werden kann, was wiederum die Kontrollierbarkeit der Rückkopplung verbessert und Positionsfehler verringert. Demgemäß können die Genauigkeit einer Werkzeugmaschine und die Qualität einer bearbeiteten Fläche verbessert werden.
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Die Ausführungsform wird nachfolgend anhand von durch Figuren veranschaulichten Ausführungsformen näher erläutert.
- 1 ist ein Diagramm, das eine Linearmotor-Montagekonstruktion gemäß einer Ausführungsform der Erfindung zeigt;
- 2 ist eine perspektivische Ansicht eines Stators;
- 3 ist ein Diagramm, das eine Linearmotor-Montagekonstruktion gemäß einer anderen Ausführungsform der Erfindung zeigt;
- 4 ist ein Diagramm, das eine Linearmotor-Montagekonstruktion zeigt, die auf einem anderen Prinzip beruht;
- 5A ist ein Diagramm, das eine übliche Konfiguration eines Linearmotors zeigt, und die 5B und 5C sind Diagramme, die die Anordnung von Permanentmagneten zeigen;
- 6 ist eine Schnittansicht des Linearmotors entlang einer Linie C-C in der 5A;
- 7 ist ein Diagramm von um den Linearmotor gewickelten Wicklungen; und
- 8 ist eine perspektivische Ansicht eines Stators.
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Wie es aus den 1 und 2 erkennbar ist, verfügt der Linearmotor gemäß einer Ausführungsform der Erfindung über zwei sich parallel erstreckende Statoren 52a und 52b, zwischen denen in ihrer Erstreckungsrichtung ein bewegliches Element 51 beweglich ist. Die Statoren 52a und 52b sind an einem Sockel 72 befestigt. Hierbei sind, was das bewegliche Element 51 und die Statoren 52a und 52b betrifft, Komponenten, die solchen beim oben beschriebenen herkömmlichen Linearmotor entsprechen, mit denselben Bezugszahlen gekennzeichnet, und sie werden nachfolgend nicht mehr erläutert.
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Der Sockel 72 ist mit U-förmigem Querschnitt ausgebildet. In der 1 kennzeichnen Bezugszahlen für den Sockel 72 die folgenden Komponenten. Die Bezugzahl 85 kennzeichnet einen im Sockel 72 ausgebildeten, U-förmigen Graben. Die Bezugszahl 82 kennzeichnet eine Seitenwand in Form eines U-förmigen Grabens, die als Seitenwand des Sockels 72 ausgebildet ist. Die Bezugszahl 84 kennzeichnet ein Ende der U-Form, anders gesagt, eine Sockeloberseite, die einer Oberseite des Sockels 72 entspricht. Die Sockeloberseite 84 ist mit einer Höhe ausgebildet, die im Wesentlichen derjenigen der Statoroberseite 73 entspricht. Ein flaches, plattenartiges Halteelement 81 ist so positioniert, dass es die Sockeloberseite 84 und die Statoroberseite 73 überbrückt. Wie es in der 2 dargestellt ist, sind im plattenartigen Halteelement 81 mehrere Schraubenlöcher 77 ausgebildet. Das plattenartige Halteelement 81 wird durch Schrauben 83 an der Sockeloberseite 84 befestigt, und es wird durch Schrauben 71 an der Statoroberseite 73 befestigt. So werden die Statoren 52a und 52b über die Schrauben 71 an einem Bodenabschnitt des U-förmigen Grabens 85 befestigt, und sie werden über das an der Statoroberseite 73 befestigte plattenartige Halteelement 81 an der Sockeloberseite 84 des Sockels 72 befestigt.
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Bei den auf die oben beschriebene Weise konfigurierten Statoren 52a und 52b wird die Statoroberseite über das plattenartige Halteelement durch die Sockeloberseite 84 gehalten. Dies verhindert, dass sich die Statoren 52a und 52b zum beweglichen Element 51 hin verbiegen. So kann der Luftspalt zwischen dem beweglichen Element 51 und jedem der Statoren zwischen der Statoroberseite 73 und der Statorunterseite 74 konstant gehalten werden. Ferner ist die Steifigkeit der Statoren 52a und 52b verbessert, da die Statoroberseite 73 durch das bewegliche Element 81 am Sockel 72 befestigt ist. Im Ergebnis können Variationen des Motorschubs aufgrund der Positionen der Statoren 52a und 52b verhindert werden. Außerdem können die Statoren 52a und 52b und das bewegliche Element 51 in solcher Weise montiert werden, dass zwischen jedem der Statoren 52a und 52b und dem beweglichen Element 51 ein vorbestimmter Luftspalt vorhanden ist. Infolgedessen kann das Erfordernis dahingehend beseitigt werden, den Luftspalt auf einen größeren Wert einzustellen, um das erwartete Verbiegen der Statoren 52a und 52b zu ermöglichen. So ist der Motorschub verbessert. Darüber hinaus ist die Steifigkeit zur Motorregelung verbessert, was eine Erhöhung der Verstärkung ermöglicht. So ist die Kontrollierbarkeit der Rückkopplung verbessert, wodurch Positionsfehler verringert werden. Demgemäß können die Genauigkeit einer Werkzeugmaschine und die Qualität einer bearbeiteten Fläche verbessert werden.
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Nun wird die optimale Plattendicke des plattenartigen Halteelements 81 bei der vorliegenden Ausführungsform beschrieben. Jeder der Statoren 52a und 52b besteht, wie beim oben beschriebenen herkömmlichen Linearmotor, aus aufeinander geschichteten elektromagnetischen Stahlplatten. So ist es, aufgrund der aufsummierten Dimensionsfehler, schwierig, die gewünschte, spezifizierte Stapeldicke zu erzielen. Im Ergebnis unterscheidet sich die Höhe der Statoroberseite 73 von derjenigen der Sockeloberseite 84. Über das plattenartige Halteelement 81 wird ein Druck auf die Statoren 52a und 52b ausgeübt. Dieser Druck verbiegt die Statoren 52a und 52b zum beweglichen Element 51 hin, wodurch sich der Spalt ändert. Hierbei wird, wenn die maximal zulässige Verstellung des Luftspalts als δx definiert ist, die Plattendicke des plattenartigen Halteelements 81 als t definiert, und ein gemessener Koeffizient wird als K definiert, wodurch sich die maximal zulässige Verstellung zu δx = Kt
3 ergibt. So ist die maximale Plattendicke des plattenartigen Halteelements
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Genauer gesagt, wird die maximale Plattendicke des plattenartigen Halteelements 81 wie folgt bestimmt. Die Pegeldifferenz zwischen der Statoroberseite 73 und der Sockeloberseite 84 wird auf einen angenommenen Maximalwert eingestellt. Das plattenartige Halteelement 81 mit der Plattendicke t wird zum Befestigen der Statoren 52a und 52b verwendet. Es wird die aktuelle Verstellung des Luftspalts ermittelt, und auf Grundlage des Ergebnisses wird der Koeffizient K bestimmt. Abhängig von der oben beschriebenen Beziehung (maximal zulässige Verstellung δx/Kt3) wird die der maximal zulässigen Plattendicke entsprechende Plattendicke t bestimmt.
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Hierbei muss die minimale Plattendicke des plattenartigen Halteelements 81 so eingestellt werden, dass eine wiederholte Belastung, zu der es durch eine magnetische Anziehungskraft kommt, der zulässigen Belastung des Materials entspricht oder kleiner ist. Hierbei ist, wenn die auf die Statoroberseite 73 ausgeübte magnetische Anziehungskraft als Fm definiert ist, die Breite des plattenartigen Halteelements 81 als W definiert ist und die zulässige Belastung des Materials als σ definiert ist, die minimale Plattendicke t = Fm/ (Wσ). So kann die optimale Plattendicke des plattenartigen Halteelements 81 innerhalb des wie folgt bestimmten Bereichs eingestellt werden:
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Es ist bevorzugt, dass zwischen jedem der Statoren 52a und 52b und der Seitenwandfläche 82 mit U-förmigem Graben ein Spalt gebildet ist, wie er in der 1 dargestellt ist. Wenn die Höhe der Statoroberseite 73 von der der Sockeloberseite 84 verschieden ist, kann ein Verbiegen der Statoren 52a und 52b dadurch minimiert werden, dass der Abstand zwischen den Schrauben 71 und 83 verringert wird, um die Biegesteifigkeit des plattenartigen Halteelements 81 zu verringern und so den Druck zu verringern, der über dasselbe auf die Statoren 52a und 52b ausgeübt wird.
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Die 3 ist ein Diagramm, das eine Linearmotor-Montagekonstruktion gemäß einer anderen Ausführungsform der Erfindung zeigt. Die in der 1 dargestellte Seitenwandfläche 81 mit U-förmigem Graben wird durch Ausschneiden eines Teils des Sockels 72 hergestellt. Demgegenüber wird in der 3 ein Statormontageelement 90 durch Schrauben so am Sockel 72 befestigt, dass ein U-förmiger Querschnitt gebildet ist. Im Ergebnis werden die Statoren 52a und 52b über das plattenartige Halteelement 81 an der Oberseite des Statormontageelements 90 montiert. So können Effekte ähnlich denen der obigen Ausführungsform erzielt werden.
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Die 4 ist ein Diagramm, das eine Linearmotor-Montagekonstruktion zeigt, die auf einem anderen Prinzip beruht. Der Linearmotor in der 4 ist ein solcher vom Typ mit einer Fläche zum Aufheben einer magnetischen Anziehungskraft, wie er üblicherweise für Werkzeugmaschinen verwendet wird. Zwei Statoren 95a und 95b, die sich in der Bewegungsrichtung des beweglichen Elements 51 parallel zueinander erstrecken, bestehen aus rechteckigen, quaderförmigen Stahlplatten. An jeder der entgegengesetzten Flächen der Statoren 95a und 95b sind Permanentmagnete 56 mit vorbestimmten Intervallen in Bewegungsrichtung des beweglichen Elements 51 angeordnet. Andererseits verfügt das sich zwischen den Statoren 95a und 95b bewegende bewegliche Element 51 über kammartige Zahnabschnitte 98, die auf Flächen eines Eisenkerns 57 des beweglichen Elements ausgebildet sind, der den Statoren 95a und 95b gegenübersteht. Das bewegliche Element 51 verfügt über die um die Zahnabschnitte 98 gewickelte Wicklung 57 für eine dreiphasige Wechselspannung. Durch Zuführen eines Stroms zur Wicklung 57 für eine dreiphasige Wechselspannung kann sich das bewegliche Element 51 zwischen den zwei Statoren 95a und 95b bewegen. Wie beim in der 1 offenbarten Linearmotor erzeugt der auf diesem Prinzip beruhende Linearmotor zwischen jedem der Statoren 95a und 95b und dem beweglichen Element 51 eine magnetische Anziehungskraft.
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Die Statoren 95a und 95b dieses Linearmotors mit Oberflächenmagnet zeigen eine höhere Steifigkeit als die in der 1 angegebenen Statoren 52a und 52b, da sie aus Stahlplatten bestehen. Jedoch können bei der herkömmlichen Montagestruktur, bei der nur einer der rechteckigen, quaderförmigen Statoren 95a und 95b befestigt wird, dieselben durch die magnetische Anziehungskraft eine Verbiegung erfahren, wodurch sich der Spalt ändert. So ermöglicht auch bei diesem Motor das Anwenden einer Linearmotorkonstruktion gemäß der obigen Ausführungsform ähnliche Effekte wie bei dieser.
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Für den Linearmotor gemäß der obigen Ausführungsform ist die Struktur des beweglichen Elements 51 in den 1 und 4 dargestellt. Jedoch ist die Erfindung nicht hierauf eingeschränkt. Vielmehr ist sie auch bei einem Linearmotor von einem Typ anwendbar, bei dem sich die Struktur des beweglichen Elements 51 von der in den 1 und 4 dargestellten unterscheidet, vorausgesetzt, dass die Form des Stators ähnlich derjenigen ist, wie sie in den 1 und 4 dargestellt ist.