DE102008048586A1 - Insight device for vacuum plant, comprises a disk movably arranged in a process chamber on interior side directly before a sight glass in an adjustable defined distance, where bristles of resilient materials are directed on the disk - Google Patents
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Abstract
Die meist bekannten Einblickvorrichtungen arbeiten nach dem Prinzip, dass Schlitzblenden vor dem Schauglas in der Prozesskammer rotieren. Diese Ausführungen haben den Nachteil, dass die Durchblickdauer sehr begrenzt ist. Auch der Einlass von Gas und das Heizen des Schauglases können das Kondensieren von Teilchen nicht verhindern.
Es besteht die Aufgabe, eine Vorrichtung zu schaffen, die einfach und mit geringem apparativen Aufwand die Durchblickdauer wesentlich verlängert.
Erfindungsgemäß ist eine Scheibe, deren Rand auf der der Prozesskammer zugewandten Seite mit mindestens einer Reihe eng aneinander liegender Borsten aus Federstahldraht schwenkbar vor dem Schauglas angeordnet. Der Abstand der Scheibe (Tellerbürste) ist verstellbar, damit die Borsten an der Oberfläche der Wand der Prozesskammer anliegend und beim Vorüberschwenken kondensierte Teilchen entfernen.
Die Einblickeinrichtung ist für alle Arten von Vakuumanlagen zur Durchführung vakuumtechnologischer Prozesse einsetzbar.The most well-known glare devices work on the principle that slit diaphragms rotate in front of the sight glass in the process chamber. These designs have the disadvantage that the viewing time is very limited. Also, the inlet of gas and the heating of the sight glass can not prevent the condensation of particles.
It is the task of creating a device that extends the viewing time considerably and simply with little equipment.
According to the invention, a disc whose edge is arranged on the side facing the process chamber with at least one row of closely spaced bristles made of spring steel wire pivotally arranged in front of the sight glass. The distance of the disc (plate brush) is adjustable, so that the bristles on the surface of the wall of the process chamber adjacent and remove the Vorschwinging condensed particles.
The inspection device can be used for all types of vacuum systems for carrying out vacuum technological processes.
Description
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung, um vakuumtechnologische Prozesse, vorzugsweise Beschichtungsprozesse in evakuierten Prozesskammern zu beobachten.The Invention relates to an apparatus for vacuum technological processes, preferably coating processes in evacuated process chambers to observe.
Da diese Vakuumprozesse oft über lange Zeit laufen, werden die Beobachtungseinrichtungen durch die beim Prozess entstehenden Teilchen zugesetzt, sodass die Durchblickzeit begrenzt ist. Ebenso dringen beim Belüften Staubteilchen ein. Alle diese störenden Teilchen schlagen in der Regel auf dem meist kälteren Schauglas nieder. Dieser Niederschlag muss in bestimmten Zeitabständen entfernt werden, was eine Unterbrechung des Prozesses erfordert, denn dazu muss die Einrichtung belüftet werden, damit das Glas gereinigt oder durch ein neues ersetzt wird.There These vacuum processes are often run for a long time the observation devices by the process resulting from the process Added particles, so the viewing time is limited. Likewise penetrate when aerating dust particles. All these disturbing Particles usually hit the usually colder sight glass low. This rainfall must be at certain intervals be removed, which requires an interruption of the process, because the device must be ventilated so that the Glass is cleaned or replaced with a new one.
Es
sind verschiedene Konstruktionen von Schaugläsem bekannt,
die alle darauf abgestellt sind, die Durchblickzeit zu verlängern,
und fast alle nach dem Prinzip eines Stroboskopes arbeiten. Es rotieren
eine oder mehrere Scheiben mit mindestens einem schmalen zentrisch
verlaufenden Schlitz mit hoher Geschwindigkeit, auch gegenläufig
vor der Glasscheibe in einem Gehäuse. Diese Einblickvorrichtung
wird vor der mit einem Glas versehenen Öffnung in der Wand
der Prozesskammer angeordnet. Die Einrichtung selbst kann auch evakuiert
werden. (
Diese Einrichtungen haben den Nachteil, dass die Durchblickzeit doch durch das nicht zu verhindernde Kondensieren von Teilchen auf der Glasscheibe begrenzt ist. Außerdem besteht der Nachteil, dass der mechanische Aufwand relativ hoch ist, denn es sind Motoren und Antriebselemente erforderlich, die Strom verbrauchen, auch verschmutzen und dem Verschleiß unterliegen. Die rotierenden Teile sind zu schmieren und insgesamt ist eine relativ kostenaufwendige Wartung der Einrichtung erforderlich.These Facilities have the disadvantage that the Durchblickzeit but by the unavoidable condensation of particles on the glass pane is limited. There is also the disadvantage that the mechanical Effort is relatively high, because they are motors and drive elements necessary, which consume electricity, also pollute and are subject to wear. The rotating parts are to be lubricated and overall one is relative costly maintenance of the equipment required.
Es ist weiterhin bekannt, vor dem Schauglas eine schwenkbare Blende anzuordnen, die nur während der Zeit des Durchblickens geöffnet wird. Auch diese Ausführung hat Nachteile, denn es ist eine weitere Mechanik erforderlich, die zu Warten ist, und das Beschlagen des eigentlichen Schauglases wird nicht verhindert, sondern nur reduziert.It is still known, in front of the sight glass a hinged aperture to arrange only during the time of peering is opened. This embodiment also has disadvantages because it requires another mechanic that is to wait and the fogging of the sight glass is not prevented but only reduced.
Es
ist auch bekannt, in das Gehäuse der Einblickeinrichtung
während der Rotation der Scheiben ein Gas einzulassen,
um das Eindringen und Kondensieren von Teilchen zu verhindern. (
Diese Ausführung hat den Nachteil, dass zusätzlich Bauteile für die Gaszuleitung und Gasführung erforderlich sind. Die Durchblickdauer wird auch nicht wesentlich erhöht.These Design has the disadvantage that in addition components required for the gas supply and gas supply are. The viewing time is not significantly increased.
Es ist auch bekannt, die Glasscheibe zu heizen, weil dadurch die Kondensation der Teilchen verhindert wird. Die Temperatur muss so hoch gewählt werden, dass kein Temperaturgefälle entsteht.It is also known to heat the glass, because it causes condensation the particle is prevented. The temperature has to be chosen so high that no temperature gradient arises.
Diese Lösung ist auch mit Mängeln behaftet, denn es muss eine zusätzliche Heizung installiert werden, die neben dem mechanischen Aufwand erhebliche Energie erfordert. Außerdem wird die Wärme auf andere Bauteile übertragen, sodass wieder Isolationen erforderlich werden. Es hat sich auch erwiesen, dass trotzdem noch relativ viele Teilchen auf die Glasscheibe gelangen.These Solution is also flawed, because it An additional heater must be installed next to it the mechanical effort requires considerable energy. Furthermore the heat is transferred to other components, so isolation will be required again. It has too proved that still relatively many particles on the glass pane reach.
Alle
bekannten Lösungen bringen keine befriedigende Verlängerung
der Durchblickdauer, da es nicht möglich ist, durch die
erforderlichen mechanischen Elemente eine vollkommene Abdichtung
zwischen dem Prozessraum und dem Schauglas zu realisieren. Es bestehen
noch Spalten, durch welche die störenden Teilchen auf das
Schauglas gelangen. (
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Einblickvorrichtung für Vakuumanlagen zu schaffen, die eine fast unbegrenzte Beobachtungsdauer gewährleistet, einen sehr geringen mechanischen Aufwand erfordert, einfach und Kosten sparend in der Herstellung und Montage ist.Of the Invention is based on the object, an insight device for Vacuum systems create an almost unlimited observation period ensures a very low mechanical effort requires, simple and cost-saving in the manufacture and assembly is.
Das notwendige Auswechseln der Einrichtung soll ohne hohen und zeitlichen Aufwand möglich sein. Weiterhin soll die Einrichtung an jeder beliebigen Stelle der Anlage einsetzbar sein, und eine Kombination mit an sich bekannten Einblickvorrichtungen soll problemlos möglich sein.The necessary replacement of the device should be without high and temporal Effort be possible. Furthermore, the device should be used anywhere in the plant, and a combination with known per se devices should be easily possible be.
Erfindungsgemäß wird die Aufgabe dadurch gelöst, dass eine Scheibe, deren Fläche größer als die Fläche des in der Wand der Prozesskammer eingesetzten Schauglases ist.According to the invention solved the problem by having a disc whose area larger than the area of the wall the process chamber used sight glass is.
Die Scheibe beliebiger Geometrie besitzt auf der dem Schauglas zugewandten Seite auf dem Umfang mehrere Reihen Borsten aus einem vorzugsweise wärmebeständigen Material, die eine Bürste, eine sogenannte Tellerbürste bilden, angeordnet sind. Diese in der Vakuumkammer befindliche vor dem Schauglas angeordnete Scheibe ist von außen bewegbar, sodass in einer Stellung das Schauglas am Rand von den Bürsten abgedeckt ist und in der anderen Stellung dieses frei gibt. Dabei ist der Abstand der Bürsten so eingestellt, dass diese definiert gegen die das Schauglas umgebende Wand der Prozesskammer drücken, und eine Art teilchenfreien Raum bilden.The Disc of any geometry has on the sight glass facing Side on the perimeter several rows of bristles from a preferably heat-resistant material, which is a brush, form a so-called disc brush, are arranged. These located in the vacuum chamber located in front of the sight glass disc is movable from the outside, so that in one position the sight glass is covered on the edge of the brushes and in the other Position this freely there. Here is the distance between the brushes set so that this defines against the sight glass surrounding Press wall of process chamber, and a kind of particle-free Make room.
Die Wirkungsweise der Einrichtung besteht darin, dass die ringförmig angeordneten Bürsten das Schauglas umgebend in der geschlossenen Stellung umschließen. Die Borsten sind in mehreren Reihen nebeneinander so dicht zueinander der Geometrie der Scheibe entsprechend angeordnet, damit sie keine Teilchen, selbst geringster Größe durchlassen. Sie schirmen das eigentliche Schauglas ab.The operation of the device exists in that the annularly arranged brushes surround the sight glass in the closed position. The bristles are arranged in several rows next to each other so close to each other the geometry of the disc, so they do not let particles, even the smallest size. They shield the actual sight glass.
Es ist vorteilhaft, die Scheibe rund auszuführen und diese in einer Drehbewegung vor das Schauglas zu schwenken.It is beneficial to run the disc around and this to pivot in a rotational movement in front of the sight glass.
Es ist weiterhin vorteilhaft, die Borsten vorzugsweise Federstahl (CrNi), der prozessabhängig weich sein soll, und gerade oder gewellt ist, herzustellen.It is also advantageous, the bristles preferably spring steel (CrNi), which should be soft depending on the process, and straight or wavy is to manufacture.
Es ist auch vorteilhaft, die Scheibe mittels eines durch die Prozesskammer geführten Hebels von außerhalb zu bewegen. Diese Bewegung ist von Hand, oder auch durch einen separaten mechanischen Antrieb (Elektromotor, magnetisch, pneumatisch) ausführbar. Dadurch ist eine Steuerung in Abhängigkeit von bestimmten Parametern möglich.It is also advantageous, the disc by means of a through the process chamber guided levers from outside to move. These Movement is by hand, or by a separate mechanical Drive (electric motor, magnetic, pneumatic) executable. This is a control depending on certain Parameters possible.
Weiterhin ist es zweckmäßig, den Abstand der Borsten von deren Auflagefläche durch eine axiale Verstellmöglichkeit zu variieren. Dadurch kann der Druck der Borsten auf der Wand der Prozesskammer und/oder der Glasscheibe in Abhängigkeit von der Dichtheit und eventuellen Verschleiß ein- bzw. nachgestellt werden.Farther it is appropriate to the distance of the bristles of the bearing surface by an axial adjustment to vary. This allows the pressure of the bristles on the wall of the Process chamber and / or the glass depending on the tightness and eventual wear adjusted or adjusted become.
Eine weitere Ausgestaltung der Vorrichtung besteht darin, dass die Scheibe eine andere Geometrie als rund aufweist, und geradlinig an dem Schauglas vorüber bewegt wird.A Another embodiment of the device is that the disc has a geometry other than round, and rectilinear to the sight glass is moved past.
Weiterhin ist es für bestimmte Ausgestaltungen der Vorrichtung auch zweckmäßig, das Schauglas in der Wand der Prozesskammer so einzubauen, dass die Glasscheibe mit der Innenwand der Prozesskammer eine Ebene bildet, und die Bürsten in der Scheibe so angeordnet sind, dass sie bei dem Vorüberbewegen auf der Glasscheibe haftende Teilchen abstreift. Diese Ausgestaltung erhöht die Durchblickdauer noch wesentlich.Farther It is also for certain embodiments of the device appropriate, the sight glass in the wall of the process chamber To install so that the glass pane with the inner wall of the process chamber forms a plane, and the brushes are arranged in the disk so are that when moving on the glass sticking particles off. This embodiment increases the viewing time is still essential.
Es ist auch möglich, diese erfindungsgemäße Einblickvorrichtung mit einer an sich bekannten Einrichtung zu kombinieren, indem diese zwischen dem Schauglas in der Prozesskammer und dem, Gehäuse der bekannten Einblickvorrichtung, z. B. mit Schlitzblenden arbeitende Einrichtung angeordnet ist.It is also possible, this inventive Insight device to combine with a known device, by placing them between the sight glass in the process chamber and the, Housing of the known insight device, z. B. with slit diaphragms working device is arranged.
Die erfindungsgemäße Einblickvorrichtung hat die Vorteile, dass diese in der Herstellung einfach, ist und geringe Kosten für die Herstellung erfordert. Die Vorrichtung ist wartungsarm und leicht auswechselbar. Die Vorrichtung besitzt die bisherigen Einblickeinrichtungen übertreffende Beobachtungsdauer. Sie ist für jeden vakuumtechnologischen Prozess, an jedem Prozessort der gesamten Vakuumanlage und unabhängig von der Einbaulage einsetzbar. Das Wirkprinzip der Vorrichtung ermöglicht, diese in jeder Geometrie auszuführen.The Insight device according to the invention has the advantages That this is easy to manufacture, and low in cost the production requires. The device is low maintenance and lightweight replaceable. The device has the previous vision devices surpassing Observation period. It is for every vacuum technological Process, at any process location of the entire vacuum system and independent can be used from the installation position. The operating principle of the device allows to do this in any geometry.
An einem Ausführungsbeispiel wird die Erfindung beschrieben. In der zugehörigen Zeichnung zeigen:At An embodiment of the invention will be described. In the accompanying drawing show:
Die
Einblickeinrichtung in
In
Vor
einer Öffnung
Die
runde Scheibe
An
der Scheibe
- 11
- Scheibedisc
- 22
- Borstebristle
- 33
- Schauglassight glass
- 44
- Öffnungopening
- 55
- Wandwall
- 66
- Hebellever
- 77
- DrehdurchführungRotary union
- 88th
- GriffHandle
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNGQUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION
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