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DE102008016923A1 - Vorrichtung zur Plasmabehandlung von Werkstücken - Google Patents

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DE102008016923A1
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Abstract

Die Vorrichtung dient zur Plasmabehandlung von Werkstücken. Das Werkstück wird in eine zumindest teilweise evakuierbare Kammer einer Behandlungsstation eingesetzt. Die Plasmakammer ist von einem Kammerboden, einem Kammerdeckel sowie einer seitlichen Kammerwandung begrenzt. Im Bereich der Plasmakammer ist eine Dichtung zur Beaufschlagung eines Mündungsrandes des in die Plasmakammer eingesetzten Werkstückes angeordnet. Die Dichtung ist mindestens im Bereich ihrer dem Werkstück zuwendbaren Ausdehnung aus Metall ausgebildet. In mindestens einem vom Werkstück beaufschlagbaren Bereich ist die Dichtung als ein elastisch federndes Blech ausgebildet.

Description

  • Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Plasmabehandlung von Werkstücken, die mindestens eine evakuierbare Plasmakammer zur Aufnahme der Werkstücke aufweist und bei der die Plasmakammer im Bereich einer Behandlungsstation angeordnet ist, sowie bei der die Plasmakammer von einem Kammerboden, einem Kammerdeckel sowie einer seitlichen Kammerwandung begrenzt ist und eine Dichtung zur Beaufschlagung eines Mündungsrandes des in die Plasmakammer eingesetzten Werkstückes aufweist.
  • Derartige Vorrichtungen werden beispielsweise eingesetzt, um Kunststoffe mit Oberflächenbeschichtungen zu versehen. Insbesondere sind auch bereits derartige Vorrichtungen bekannt, um innere oder äußere Oberflächen von Behältern zu beschichten, die zur Verpackung von Flüssigkeiten vorgese hen sind. Darüber hinaus sind Einrichtungen zur Plasmasterilisation bekannt.
  • In der PCT-WO 95/22413 wird eine Plasmakammer zur Innenbeschichtung von Flaschen aus PET beschrieben. Die zu beschichtenden Flaschen werden durch einen beweglichen Boden in eine Plasmakammer hineingehoben und im Bereich einer Flaschenmündung mit einem Adapter in Verbindung gebracht. Durch den Adapter hindurch kann eine Evakuierung des Flascheninnenraumes erfolgen. Darüber hinaus wird durch den Adapter hindurch eine hohle Gaslanze in den Innenraum der Flaschen eingeführt, um Prozeßgas zuzuführen. Eine Zündung des Plasmas erfolgt unter Verwendung einer Mikrowelle.
  • Aus dieser Veröffentlichung ist es auch bereits bekannt, eine Mehrzahl von Plasmakammern auf einem rotierenden Rad anzuordnen. Hierdurch wird eine hohe Produktionsrate von Flaschen je Zeiteinheit unterstützt.
  • In der EP-OS 10 10 773 wird eine Zuführeinrichtung erläutert, um einen Flascheninnenraum zu evakuieren und mit Prozeßgas zu versorgen. In der PCT-WO 01/31680 wird eine Plasmakammer beschrieben, in die die Flaschen von einem beweglichen Deckel eingeführt werden, der zuvor mit einem Mündungsbereich der Flaschen verbunden wurde.
  • Die PCT-WO 00/58631 zeigt ebenfalls bereits die Anordnung von Plasmastationen auf einem rotierenden Rad und beschreibt für eine derartige Anordnung eine gruppenweise Zuordnung von Unterdruckpumpen und Plasmastationen, um eine günstige Evakuierung der Kammern sowie der Innenräume der Flaschen zu unterstützen. Darüber hinaus wird die Beschichtung von mehreren Behältern in einer gemeinsamen Plasmastation bzw. einer gemeinsamen Kavität erwähnt.
  • Eine weitere Anordnung zur Durchführung einer Innenbeschichtung von Flaschen wird in der PCT-WO 99/17334 beschrieben. Es wird hier insbesondere eine Anordnung eines Mikrowellengenerators oberhalb der Plasmakammer sowie eine Vakuum- und Betriebsmittelzuleitung durch einen Boden der Plasmakammer hindurch beschrieben.
  • In der DE 10 2004 020 185 A1 wird bereits eine Gaslanze beschrieben, die in den Innenraum eines zu beschichtenden Vorformlings einfahrbar ist und zur Zuleitung von Prozeßgasen dient. Die Gaslanze ist in der Längsrichtung des Behälters positionierbar.
  • Bei der überwiegenden Anzahl der bekannten Vorrichtungen werden zur Verbesserung von Barriereeigenschaften des thermoplastischen Kunststoffmaterials durch das Plasma erzeugte Behälterschichten aus Siliziumoxiden mit der allgemeinen chemischen Formel SiOx verwendet. Derartige Barriereschichten verhindern ein Eindringen von Sauerstoff in die verpackten Flüssigkeiten sowie ein Austreten von Kohlendioxid bei CO2-haltigen Flüssigkeiten.
  • Die bislang bekannten Vorrichtungen sind noch nicht in ausreichender Weise dafür geeignet, für eine Massenproduktion eingesetzt zu werden, bei der sowohl ein geringer Beschichtungspreis je Werkstück als auch eine hohe Produktionsgeschwindigkeit erreicht werden muß.
  • Bei einer Beschichtung einer Innenseite von flaschenartigen Behältern wird in der Regel im Innenraum des Behälters ein anderer Unterdruck als in einem den Behälter umgebenden Bereich der Plasmakammer erzeugt. Es ist deshalb erforderlich, den Behälter im Mündungsbereich abzudichten. Hierzu wird typischerweise in ein Halterungselement für den Behälter eine Dichtung eingesetzt, gegenüber der ein die Mündung des Behälters umgebender Rand verspannt wird. Als Material für diese Dichtung wird üblicherweise ein Silikon verwendet.
  • Die Verwendung derartiger Dichtungen aus Silikon weist den Vorteil auf, daß auch bei Riefen oder anderen Vertiefungen oder Erhebungen im Bereich des Mündungsrandes eine zuverlässige Abdichtung erreicht werden kann. Die Silikondichtungen besitzen jedoch den Nachteil, daß durch eine Einwirkung des Plasmas und der verwendeten reaktiven Gase sehr schnell eine Erosion der Oberfläche der Dichtung stattfindet und hierdurch ein häufiges Auswechseln erforderlich ist. In Abhängigkeit von dem jeweiligen Anwendungsbedingungen kann es hierdurch erforderlich sein, täglich die betreffenden Dichtungen auszuwechseln, was zu Produktionsunterbrechungen und damit verbundenen Kosten führt.
  • Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, eine Vorrichtung der einleitend genannten Art derart zu verbessern, daß ein störungsarmer Betrieb bei vermindertem Wartungsaufwand unterstützt wird.
  • Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß die Dichtung mindestens im Bereich ihrer dem Werkstück zuwendbaren Ausdehnung aus Metall ausgebildet ist und daß die Dichtung mindestens in einem vom Werkstück beaufschlagbaren Bereich als ein elastisch federndes Blech ausgebildet ist.
  • Die erfindungsgemäße metallische Dichtung besitzt eine erhebliche Widerstandsfähigkeit gegenüber einer Einwirkung des Plasmas und von reaktiven Gasen. Ein verschleißbedingter Austausch kann hierdurch vermieden werden. Es ist le diglich erforderlich, in gewissen zeitlichen Abständen eine Reinigung der Dichtung vorzunehmen, wobei derartige Reinigungsarbeiten ohnehin hinsichtlich der weiteren Bauelemente auch erfolgen müssen. Durch die elastisch federnden Eigenschaften wird eine ausreichende Abdichtung bei einem im wesentlichen glattflächigen Rand des Mündungsabschnittes gewährleistet.
  • Ein dichtender Ausgleich von größeren Riefen oder anderen Unebenheiten im Rand des Mündungsabschnittes kann durch die metallische Dichtung zwar nicht erfolgen, dies ist aber auch nicht erforderlich, da entsprechende Behälter vor einer Befüllung ohnehin aussortiert werden, da kein ausreichend dichtes späteres Verschließen gewährleistet werden kann. Für derartige Behälter ist somit auch keine ordnungsgemäße Beschichtung erforderlich, so daß die gemäß dem Stand der Technik für erforderlich gehaltenen nachgiebigen Eigenschaften von Silikondichtungen entbehrlich sind.
  • Dauerelastische federnde Eigenschaften können dadurch bereitgestellt werden, daß die Dichtung mindestens bereichsweise aus einem Federstahl ausgebildet ist.
  • Eine Beschichtung von flaschenartigen Werkstücken wird dadurch unterstützt, daß die Dichtung ringartig ausgebildet ist.
  • Zur Vermeidung eines Aufbaues unterschiedlicher elektrischer Potentiale wird vorgeschlagen, daß die metallische Dichtung in einem metallischen Haltelement angeordnet ist.
  • Eine ausreichende Beweglichkeit der Dichtung kann dadurch unterstützt werden, daß zwischen einer Auflagefläche des Halteelementes und der Dichtung ein Distanzelement angeordnet ist.
  • Eine preiswerte Fertigung der Bauteile wird dadurch unterstützt, daß das Distanzelement ringartig ausgebildet ist.
  • Resultierende elastische Eigenschaften können dadurch gesteigert werden, daß das Distanzelement aus Kunststoff ausgebildet ist.
  • Eine hohe Materialbeständigkeit kann dadurch erreicht werden, daß das Distanzelement aus Metall ausgebildet ist.
  • Eine zuverlässige Positionierung der verwendeten Bauteile wird dadurch unterstützt, daß die Dichtung in eine Halterungsausnehmung des Halteelementes eingesetzt ist.
  • Eine federnde Beweglichkeit der Dichtung wird dadurch unterstützt, daß sich die Dichtung ausgehend von einer seitlichen Begrenzung der Halterungsausnehmung weiter in Richtung einer Ausnehmung des Halteelementes erstreckt als das Distanzelement.
  • In den Zeichnungen sind Ausführungsbeispiele der Erfindung schematisch dargestellt. Es zeigen:
  • 1 Eine Prinzipskizze einer Mehrzahl von Plasmakammern, die auf einem rotierenden Plasmarad angeordnet sind und bei der das Plasmarad mit Eingabe- und Ausgaberädern gekoppelt ist.
  • 2 eine Anordnung ähnlich zu 1, bei der die Plasmastation jeweils mit zwei Plasmakammern ausgestattet sind,
  • 3 eine perspektivische Darstellung eines Plasmarades mit einer Vielzahl von Plasmakammern,
  • 4 eine perspektivische Darstellung einer Plasmastation mit einer Kavität,
  • 5 eine Vorderansicht der Vorrichtung gemäß 4 mit geschlossener Plasmakammer,
  • 6 einen Querschnitt gemäß Schnittlinie VI-VI in 5,
  • 7 eine vergrößerte geschnittene Darstellung eines Anschlußelementes zur Halterung des Werkstückes in der Plasmakammer sowie einer in das Werkstück einführbaren Gaslanze und
  • 8 eine geschnittene vergrößerte Darstellung einer Dichtung mit zugeordneter Behältermündung.
  • Aus der Darstellung in 1 ist ein Plasmamodul (1) zu erkennen, das mit einem rotierenden Plasmarad (2) versehen ist. Entlang eines Umfanges des Plasmarades (2) sind eine Mehrzahl von Plasmastationen (3) angeordnet. Die Plasmastationen (3) sind mit Kavitäten (4) bzw. Plasmakammern (17) zur Aufnahme von zu behandelnden Werkstücken (5) versehen.
  • Die zu behandelnden Werkstücke (5) werden dem Plasmamodul (1) im Bereich einer Eingabe (6) zugeführt und über ein Vereinzelungsrad (7) an ein Übergaberad (8) weitergeleitet, das mit positionierbaren Tragarmen (9) ausgestattet ist. Die Tragarme (9) sind relativ zu einem Sockel (10) des Übergaberades (8) verschwenkbar angeordnet, so daß eine Abstandsveränderung der Werkstücke (5) relativ zueinander durchgeführt werden kann. Hierdurch erfolgt eine Übergabe der Werkstücke (5) vom Übergaberad (8) an ein Eingaberad (11) mit einem relativ zum Vereinzelungsrad (7) vergrößerten Abstand der Werkstücke (5) relativ zueinander. Das Eingaberad (11) übergibt die zu behandelnden Werkstücke (5) an das Plasmarad (2). Nach einer Durchführung der Behandlung werden die behandelten Werkstücke (5) von einem Ausgaberad (12) aus dem Bereich des Plasmarades (2) entfernt und in den Bereich einer Ausgabestrecke (13) überführt.
  • Bei der Ausführungsform gemäß 2 sind die Plasmastationen (3) jeweils mit zwei Kavitäten (4) bzw. Plasmakammern (17) ausgestattet. Hierdurch können jeweils zwei Werkstücke (5) gleichzeitig behandelt werden. Grundsätzlich ist es hierbei möglich, die Kavitäten (4) vollständig voneinander getrennt auszubilden, grundsätzlich ist es aber auch möglich, in einem gemeinsamen Kavitätenraum lediglich Teilbereiche derart gegeneinander abzugrenzen, daß eine optimale Beschichtung aller Werkstücke (5) gewährleistet ist. Insbesondere ist hierbei daran gedacht, die Teilkavitäten zumindest durch separate Mikrowelleneinkopplungen gegeneinander abzugrenzen.
  • 3 zeigt eine perspektivische Darstellung eines Plasmamoduls (1) mit teilweise aufgebautem Plasmarad (2). Die Plasmastationen (3) sind auf einem Tragring (14) angeordnet, der als Teil einer Drehverbindung ausgebildet und im Bereich eines Maschinensockels (15) gelagert ist. Die Plasmastationen (3) weisen jeweils einen Stationsrahmen (16) auf, der Plasmakammern (17) haltert. Die Plasmakammern (17) weisen zylinderförmige Kammerwandungen (18) sowie Mikrowellengeneratoren (19) auf.
  • In einem Zentrum des Plasmarades (2) ist ein Drehverteiler (20) angeordnet, über den die Plasmastationen (3) mit Betriebsmitteln sowie Energie versorgt werden. Zur Betriebsmittelverteilung können insbesondere Ringleitungen (21) eingesetzt werden.
  • Die zu behandelnden Werkstücke (5) sind unterhalb der zylinderförmigen Kammerwandungen (18) dargestellt. Unterteile der Plasmakammern (17) sind zur Vereinfachung jeweils nicht eingezeichnet.
  • 4 zeigt eine Plasmastation (3) in perspektivischer Darstellung. Es ist zu erkennen, daß der Stationsrahmen (16) mit Führungsstangen (23) versehen ist, auf denen ein Schlitten (24) zur Halterung der zylinderförmigen Kammerwandung (18) geführt ist. 4 zeigt den Schlitten (24) mit Kammerwandung (18) in einem angehobenen Zustand, so daß das Werkstück (5) freigegeben ist.
  • Im oberen Bereich der Plasmastation (3) ist der Mikrowellengenerator (19) angeordnet. Der Mikrowellengenerator (19) ist über eine Umlenkung (25) und einen Adapter (26) an einen Kopplungskanal (27) angeschlossen, der in die Plasmakammer (17) einmündet. Grundsätzlich kann der Mikrowellengenerator (19) sowohl unmittelbar im Bereich des Kammerdeckels (31) als auch über ein Distanzelement an den Kammerdeckel (31) angekoppelt mit einer vorgebbaren Entfernung zum Kammerdeckel (31) und somit in einem größeren Umgebungsbereich des Kammerdeckels (31) angeordnet werden. Der Adapter (26) hat die Funktion eines Übergangselementes und der Kopplungskanal (27) ist als ein Koaxialleiter ausgebildet. Im Bereich einer Einmündung des Kopplungskanals (27) in den Kammerdeckel (31) ist ein Quarzglasfenster angeordnet. Die Umlenkung (25) ist als ein Hohlleiter ausgebildet.
  • Das Werkstück (5) wird von einem Halteelement (28) positioniert, das im Bereich eines Kammerbodens (29) angeordnet ist. Der Kammerboden (29) ist als Teil eines Kammersockels (30) ausgebildet. Zur Erleichterung einer Justage ist es möglich, den Kammersockel (30) im Bereich der Führungsstangen (23) zu fixieren. Eine andere Variante besteht darin, den Kammersockel (30) direkt am Stationsrahmen (16) zu befestigen. Bei einer derartigen Anordnung ist es beispielsweise auch möglich, die Führungsstangen (23) in vertikaler Richtung zweiteilig auszuführen.
  • 5 zeigt eine Vorderansicht der Plasmastation (3) gemäß 3 in einem geschlossenen Zustand der Plasmakammer (17). Der Schlitten (24) mit der zylinderförmigen Kammerwandung (18) ist hierbei gegenüber der Positionierung in 4 abgesenkt, so daß die Kammerwandung (18) gegen den Kammerboden (29) gefahren ist. In diesem Positionierzustand kann die Plasmabeschichtung durchgeführt werden.
  • 6 zeigt in einer Vertikalschnittdarstellung die Anordnung gemäß 5. Es ist insbesondere zu erkennen, daß der Kopplungskanal (27) in einen Kammerdeckel (31) einmündet, der einen seitlich überstehenden Flansch (32) aufweist. Im Bereich des Flansches (32) ist eine Dichtung (33) angeordnet, die von einem Innenflansch (34) der Kammerwandung (18) beaufschlagt wird. In einem abgesenkten Zustand der Kammerwandung (18) erfolgt hierdurch eine Abdichtung der Kammerwandung (18) relativ zum Kammerdeckel (31). Eine weitere Dichtung (35) ist in einem unteren Bereich der Kammerwan dung (18) angeordnet, um auch hier eine Abdichtung relativ zum Kammerboden (29) zu gewährleisten.
  • In der in 6 dargestellten Positionierung umschließt die Kammerwandung (18) die Kavität (4), so daß sowohl ein Innenraum der Kavität (4) als auch ein Innenraum des Werkstückes (5) evakuiert werden können. Zur Unterstützung einer Zuleitung von Prozeßgas ist im Bereich des Kammersockels (30) eine hohle Gaslanze (36) angeordnet, die in den Innenraum des Werkstückes (5) hineinverfahrbar ist. Zur Durchführung einer Positionierung der Gaslanze (36) wird diese von einem Lanzenschlitten (37) gehaltert, der entlang der Führungsstangen (23) positionierbar ist. Innerhalb des Lanzenschlittens (37) verläuft ein Prozeßgaskanal (38), der in der in 6 dargestellten angehobenen Positionierung mit einem Gasanschluß (39) des Kammersockels (30) gekoppelt ist. Durch diese Anordnung werden schlauchartige Verbindungselemente am Lanzenschlitten (37) vermieden.
  • In der in 7 dargestellten Positionierung ist ein an der Gaslanze (36) montierter Schubteller (45) gegen den Außenflansch (44) geführt und drückt das Halteelement (28) in seine obere Endpositionierung. In dieser Positionierung ist ein Innenraum des Werkstückes (5) gegenüber dem Innenraum der Kavität (4) isoliert. In einem abgesenkten Zustand der Lanze (36) verschiebt die Druckfeder (43) das Halteelement (28) relativ zur Führungshülse (41) derart, daß eine Verbindung zwischen dem Innenraum des Werkstückes (5) und dem Innenraum der Kavität (4) geschaffen ist.
  • Alternativ zur vorstehend erläuterten Konstruktion der Plasmastation ist es aber erfindungsgemäß aber auch möglich, das Werkstück (5) in eine relativ zur zugeordneten Tragstruktur unbewegliche Plasmakammer (17) einzuführen.
  • Ebenfalls ist es möglich, alternativ zur dargestellten Beschichtung der Werkstücke (5) mit ihren Mündungen in lotrechter Richtung nach unten eine Beschichtung der Werkstücke mit ihren Mündungen in lotrechter Richtung nach oben durchzuführen. Insbesondere ist daran gedacht, eine Beschichtung von flaschenförmigen Werkstücken (5) durchzuführen. Derartige Flaschen sind ebenfalls bevorzugt aus einem thermoplastischen Kunststoff ausgebildet. Vorzugsweise ist an die Verwendung von PET oder PP gedacht. Gemäß einer weiteren bevorzugten Ausführungsform dienen die beschichteten Flaschen zur Aufnahme von Getränken.
  • Ein typischer Behandlungsvorgang wird im folgenden am Beispiel eines Beschichtungsvorganges erläutert und derart durchgeführt, daß zunächst das Werkstück (5) unter Verwendung des Eingaberades (11) zum Plasmarad (2) transportiert wird und daß in einem hochgeschobenen Zustand der hülsenartigen Kammerwandung (18) das Einsetzen des Werkstückes (5) in die Plasmastation (3) erfolgt. Nach einem Abschluß des Einsetzvorganges wird die Kammerwandung (18) in ihre abgedichtete Positionierung abgesenkt und zunächst gleichzeitig eine Evakuierung sowohl der Kavität (4) als auch eines Innenraumes des Werkstückes (5) durchgeführt.
  • Nach einer ausreichenden Evakuierung des Innenraumes der Kavität (4) wird die Lanze (36) in den Innenraum des Werkstückes (5) eingefahren und durch eine Verschiebung des Halteelementes (28) eine Abschottung des Innenraumes des Werkstückes (5) gegenüber dem Innenraum der Kavität (4) durchgeführt. Ebenfalls ist es möglich, die Gaslanze (36) bereits synchron zur beginnenden Evakuierung des Innenraumes der Kavität in das Werkstück (5) hinein zu verfahren. Der Druck im Innenraum des Werkstückes (5) wird anschließend noch weiter abgesenkt. Darüber hinaus ist auch daran gedacht, die Positionierbewegung der Gaslanze (36) wenigstens teilweise bereits parallel zur Positionierung der Kammerwandung (18) durchzuführen. Nach Erreichen eines ausreichend tiefen Unterdruckes wird Prozeßgas in den Innenraum des Werkstückes (5) eingeleitet und mit Hilfe des Mikrowellengenerators (19) das Plasma gezündet. Insbesondere ist daran gedacht, mit Hilfe des Plasmas sowohl einen Haftvermittler auf eine innere Oberfläche des Werkstückes (5) als auch die eigentliche Barriereschicht aus Siliziumoxiden abzuscheiden.
  • Nach einem Abschluß des Beschichtungsvorganges wird die Gaslanze (36) wieder aus dem Innenraum des Werkstückes (5) entfernt und die Plasmakammer (17) sowie der Innenraum des Werkstückes (5) werden belüftet. Nach Erreichen des Umgebungsdruckes innerhalb der Kavität (4) wird die Kammerwandung (18) wieder angehoben, um eine Entnahme des beschichteten Werkstückes (5) sowie eine Eingabe eines neuen zu beschichtenden Werkstückes (5) durchzuführen.
  • Eine Positionierung der Kammerwandung (18), des Dichtelementes (28) und/oder der Gaslanze (36) kann unter Verwendung unterschiedlicher Antriebsaggregate erfolgen. Grundsätzlich ist die Verwendung pneumatischer Antriebe und/oder elektrischer Antriebe, insbesondere in einer Ausführungsform als Linearmotor, denkbar. Insbesondere ist aber daran gedacht, zur Unterstützung einer exakten Bewegungskoordinierung mit einer Rotation des Plasmarades (2) eine Kurvensteuerung zu realisieren. Die Kurvensteuerung kann beispielsweise derart ausgeführt sein, daß entlang eines Umfanges des Plasmarades (2) Steuerkurven angeordnet sind, entlang derer Kurvenrollen geführt werden. Die Kurvenrollen sind mit den jeweils zu positionierenden Bauelementen gekoppelt.
  • 7 zeigt in einem Übergangsbereich vom Halteelement (28) zu einem Mündungsbereich (46) des Werkstückes (5) eine Dichtung (47). Der Mündungsbereich (46) des behälterartigen Werkstückes (5) ragt ausgehend von der Kavität (4) in eine Halterungsausnehmung (48) des Halteelementes (48) hinein, in die auch die Dichtung (47) eingesetzt ist. Der Mündungsbereich (46) grenzt mit einem Mündungsrand (49) gegen die Dichtung (47). Die Dichtung (47) ist mindestens im Bereich ihrer dem Mündungsrand (49) zugewandten Ausdehnung aus Metall, vorzugsweise aus Edelstahl, ausgebildet.
  • 8 zeigt eine vergrößerte Darstellung eines Querschnittes durch die Dichtung (47) mit zugeordnetem Mündungsbereich (46). Es ist zu erkennen, daß die Dichtung (47) ringartig und in Richtung einer Längsachse (50), die sich durch die Ausnehmung (40) im Bereich des Halteelementes (28) hindurch erstreckt, relativ dünn ausgebildet ist. Darüber hinaus ragt die Dichtung (47) in einem vom Mündungsabschnitt (46) beaufschlagten Auflagebereich in die Ausnehmung (40) derart hinein, daß bei einer Kraftbeaufschlagung der Dichtung (47) durch den Mündungsbereich (46) in Richtung der Längsachse (50) eine elastische Biegeverformung der Dichtung (47) möglich ist.
  • Gemäß der Ausführungsform in 8 liegt die Dichtung (47) auf einem Distanzelement (51) auf, das vorzugsweise ringartig ausgebildet ist. Durch das Distanzelement (51) wird gewährleistet, daß die Dichtung zu einer Auflagefläche (52) der Halterungsausnehmung (48) einen ausreichenden Abstand aufweist, um die elastische Verformung der Dichtung (47) zu ermöglichen. Grundsätzlich ist es denkbar, die Dichtung (47) und das Distanzelement (51) einteilig auszubilden. Beispielsweise ist auch daran gedacht, das Distanzelement (51) als umgebogenen Flansch der Dichtung (47) zu realisieren oder keine ringartige Ausbildung des Distanzelementes (51) vorzusehen, sondern lediglich einzelne Segmentbereiche der Dichtung (47) umzubiegen.
  • Als Material für das Distanzelement (51) kommt beispielsweise Silikon in Frage. Es ist aber auch möglich, das Distanzelement (51) aus Metall auszubilden, insbesondere ist auch hier an eine Verwendung von Edelstahl gedacht.
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Claims (10)

  1. Vorrichtung zur Plasmabehandlung von Werkstücken, die mindestens eine evakuierbare Plasmakammer zur Aufnahme der Werkstücke aufweist und bei der die Plasmakammer im Bereich einer Behandlungsstation angeordnet ist, sowie bei der die Plasmakammer von einem Kammerboden, einem Kammerdeckel sowie einer seitlichen Kammerwandung begrenzt ist und eine Dichtung zur Beaufschlagung eines Mündungsrandes (49) des in die Plasmakammer (17) eingesetzten Werkstückes (5) aufweist, dadurch gekennzeichnet, daß die Dichtung (47) mindestens im Bereich ihrer dem Werkstück (5) zuwendbaren Ausdehnung aus Metall ausgebildet ist und daß die Dichtung (47) mindestens in einem vom Werkstück (5) beaufschlagbaren Bereich als ein elastisch federndes Blech ausgebildet ist.
  2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Dichtung (47) mindestens bereichsweise aus einem Federstahl ausgebildet ist.
  3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Dichtung (47) ringartig ausgebildet ist.
  4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die metallische Dichtung (47) in einem metallischen Haltelement (28) angeordnet ist.
  5. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen einer Auflagefläche (52) des Halteelementes (28) und der Dichtung (47) ein Distanzelement (51) angeordnet ist.
  6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß das Distanzelement (51) ringartig ausgebildet ist.
  7. Vorrichtung nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, daß das Distanzelement (51) aus Kunststoff ausgebildet ist.
  8. Vorrichtung nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, daß das Distanzelement (51) aus Metall ausgebildet ist.
  9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Dichtung (47) in eine Halterungsausnehmung (48) des Halteelementes (28) eingesetzt ist.
  10. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß sich die Dichtung (47) ausgehend von einer seitlichen Begrenzung (53) der Halterungsausnehmung (48) weiter in Richtung einer Ausnehmung (40) des Halteelementes (28) erstreckt als das Distanzelement (51).
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