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DE102007054064A1 - Verfahren zum Herstellen einer Halbleitervorrichtung - Google Patents

Verfahren zum Herstellen einer Halbleitervorrichtung Download PDF

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DE102007054064A1
DE102007054064A1 DE102007054064A DE102007054064A DE102007054064A1 DE 102007054064 A1 DE102007054064 A1 DE 102007054064A1 DE 102007054064 A DE102007054064 A DE 102007054064A DE 102007054064 A DE102007054064 A DE 102007054064A DE 102007054064 A1 DE102007054064 A1 DE 102007054064A1
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DE
Germany
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silicide
contact
layer
structured
silicon substrate
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Ceased
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DE102007054064A
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English (en)
Inventor
Matthias Goldbach
Dietmar Henke
Sven Schmidbauer
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Qimonda AG
Original Assignee
Qimonda AG
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Publication date
Application filed by Qimonda AG filed Critical Qimonda AG
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    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10D—INORGANIC ELECTRIC SEMICONDUCTOR DEVICES
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  • Electrodes Of Semiconductors (AREA)
  • Internal Circuitry In Semiconductor Integrated Circuit Devices (AREA)
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Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen einer Halbleitervorrichtung. Ein Siliziumsubstrat, wenigstens einen strukturierten Bereich aufweist, in welchem ein Dotierstoff implantiert ist, wird bereitgestellt. Ein Kontakt modifizierendes Material wird auf der Oberfläche des wenigstens einen strukturierten Bereichs bereitgestellt. Eine Silizid Schicht wird auf der Oberfläche des wenigstens einen strukturierten Bereichs gebildet, wobei die Silizid Schicht wenigstens eines aus Titan Silizid, Titannitrid Silizid und Kobalt Silizid aufweist.

Description

  • Hintergrund der Technik
  • Gebiet der Technik
  • Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen einer Halbleitervorrichtung. Ferner betrifft die vorliegende Erfindung eine Halbleitervorrichtung, die durch das erfinderische Verfahren hergestellt ist.
  • Beschreibung des technischen Gebiets
  • Obwohl sie grundsätzlich auf beliebige integrierte Halbleiterstrukturen anwendbar ist, wird die vorliegende Erfindung und das ihr zu Grunde liegende Problem bezüglich auf integrierte DRAM Speicherschaltungen in Siliziumtechnologie erläutert.
  • Eine DRAM Speichervorrichtung weist eine Mehrzahl von Speicherzellen auf, in welchen Information in der Form von elektrischen Ladungen in Kondensatoren gespeichert ist. Ein Zugriff auf die elektrische Ladung wird durch Auswahltransistoren gesteuert.
  • Es gibt ein großes Interesse daran, die Zeit zu reduzieren, die benötigt wird, um Ladungen, das heißt die Information, in dem Kondensator mittels des Auswahltransistors zu speichern. Eine untere Grenze für die Zugriffszeit ist durch die Tiefpass-Filter Charakteristik (RC Charakteristik) des Auswahltransistors und der Kontakte gegeben, die den Auswahltransistor kontaktieren.
  • Es ist von Interesse den Spannungsabfall über Kontakten und Schnittstellen zu reduzieren. Daher wird ein geringer spezifischer Widerstand der Schnittstellen und Kontakte gefordert.
  • Die Auswahltransistoren werden im Allgemeinen als n-FET Transistoren hergestellt. Daher sind die Drain/Source Bereiche der Auswahltransistoren stark n-dotiert. Die Drain/Source Bereiche sind mittels eines metallischen Vertikalkontakts (plug) kontaktiert.
  • An der Schnittstelle des metallischen Vertikalkontakts und des Silizium Drain Bereichs wird ein Metall Silizid hergestellt.
  • Die Schnittstelle des stark dotierten Drain/Source Bereichs und des Metall Silizids weist eine Schottky Potenzialbarriere aufgrund der unterschiedlichen Fermi Niveaus von Metall Silizid und dotierten Silizium auf. Die Schottky Potenzialbarriere trägt zu dem spezifischen Widerstand des Auswahltransistors bei und erhöht die untere Grenze für die Verzögerungszeit eines Zugriffs auf Ladungen in dem Kondensator.
  • Kurzzusammenfassung der Erfindung
  • Die vorliegende Erfindung schafft ein Verfahren zum Herstellen eines Kontaktbereichs, wobei der Kontaktbereich eine geringe Potenzialbarriere aufweist.
  • Das erfindungsgemäße Verfahren zum Herstellen einer Halbleitervorrichtung umfasst die Schritte:
    • (a) Bereitstellen eines Siliziumsubstrats, das mindestens einen strukturierten Bereich aufweist, in welchem ein Dotierstoff implantiert ist;
    • (b) Bereitstellen eines Kontakt modifizierenden Materials auf der Oberfläche des mindestens einen strukturierten Bereichs;
    • (c) Bilden einer Silizid Schicht auf der Oberfläche des mindestens einen strukturierten Bereichs, wobei die Silizid Schicht wenigstens eines aufweist aus: Titan Silizid, Titannitrid Silizid, Kobalt Silizid, Nickel Silizid, Ytterbium Silizid, Erbium Silizid, Platin Silizid, Palladium Silizid und Rhenium Silizid.
  • Die Vorrichtung, die durch das erfindungsgemäße Verfahren hergestellt ist, beinhaltet:
    einen Source/Drain Bereich,
    einen Kontakt, der mindestens einen unteren Teil aufweist, der aus Metall Silizid gebildet ist,
    eine leitfähige Schicht, die ein Kontakt modifizierendes Material aufweist, wobei eine obere Seite der Schicht an das Metall Silizid des Kontakts angrenzt und eine untere Seite der Schicht an den Source/Drain Bereich angrenzt.
  • Das Kontakt modifizierende Material reduziert die Schottky Barrierenhöhe. Somit wird der spezifische Widerstand des Kontakts reduziert und die RC-Konstante verringert. DRAM Vorrichtungen und logische Vorrichtungen, die solche Kontakte beinhalten weisen das Potenzial auf, die Zugriffszeit auf Daten zu verbessern und der Spannungsabfall in der Vorrichtung sinkt.
  • Die Konzentration des Dotierstoff Materials kann wenigstens 5 1018 Atome pro Kubikzentimeter betragen.
  • Der strukturierte Bereich kann ein Source/Drain Bereich eines Transistor sein, z.B. ein Transistor einer logischen Vorrichtung, oder ein Kontaktbereich zum Kontaktieren eines Source/Drain Bereichs einer Speicherzelle.
  • Titan Silizid, Titannitrid Silizid, Kobalt Silizid, Ytterbium Silizid und Erbium Silizid eignen sich insbesondere gut für n-dotierte strukturierte Bereich. Platin Silizid, Palladium Silizid und Rhenium Silizid werden vorzugsweise für p-dotierte strukturierte Bereiche verwendet.
  • Das Siliziumsubstrat, das die Dotierstoffe beinhaltet, kann einem Hochtemperatur Aktivierungsverfahren zum Aktivieren der Dotierstoffe unterzogen werden. In einem nächsten Schritt wird das Kontakt modifizierende Material in den strukturierten Bereich des dotierten Siliziumsubstrats implantiert oder auf dem strukturierten Bereich des dotierten Siliziumsubstrats abgeschieden. Die Siliziumsschicht wird auf dem modifizierten und dotierten strukturierten Bereich gebildet. Diese Art der Herstellung ist von besonderem Interesse für die Herstellung von Halbleiterspeicher Vorrichtungen, z.B. DRAM.
  • Das Kontakt modifizierende Material kann zuerst in die strukturierten Bereiche implantiert werden und nachträglich können die Dotierstoffe durch einen Hochtemperaturschritt aktiviert werden. Die Silizid Schicht wird auf dem modifizierten und dotierten strukturierten Bereich gebildet. Diese Art der Herstellung ist von besonderem Interesse für die Herstellung von logischen Vorrichtungen.
  • Die Silizid Schicht kann zuerst gebildet werden und nachfolgend kann das Kontakt modifizierende Material durch die Silizid Schicht auf die Oberfläche zumindest eines strukturierten Bereichs implantiert werden. Da es keinen Bedarf für einen Aktivierungsschritt des Kontakt modifizierenden Materials gibt, kann das Kontakt modifizierende Material bei einem späteren Stadium des Verfahrens angewandt werden.
  • Das Passivierungsmaterial kann auf der Oberfläche des mindestens einen Kontaktbereichs abgeschieden werden und die Silizid Schicht kann auf der Oberfläche gebildet werden, die mit dem Passivierungsmaterial versehen ist.
  • Das Kontakt modifizierende Material kann in eine Reaktionkammer während des Herstellens der Silizid Schicht eingebracht werden.
  • Das Kontakt modifizierende Material kann Schwefel aufweisen.
  • Das Kontakt modifizierende Material kann Silizium, Lanthan, Strontium, Gadolinium, Tellur, seltene Erden Metalle, insbesondere für n-dotierte strukturierte Bereiche aufweisen. Aluminium, Indium und Gallium können für p-dotierte strukturierte Bereiche verwendet werden. Ferner kann Germanium, Silizium, Xenon und Argon zum Implantieren eines Kontakt modifizierenden Materials verwendet werden.
  • Die Konzentration des Kontakt modifizierenden Materials übersteigt vorzugsweise 1013 Atome pro Kubikzentimeter. Eine geringere Konzentration zeigt ein unerwünschtes Ansteigen der Schottky Barriere, z.B. wenn Schwefel als Kontakt modifizierendes Material für stark p-dotierte strukturierte Bereiche verwendet wird, wenn ebenso in die p-dotierten strukturierten Bereiche implantiert wird.
  • Das Siliziumsubstrat kann mit vorgefertigten Halbleitervorrichtungen versehen sein, die mittels der strukturierten Bereiche kontaktiert sind und wobei eine Isolationsschicht über dem Siliziumsubstrat zum Bedecken der vorgefertigten Halbleitervorrichtungen vorgesehen werden und Öffnungen in die Isolationsschicht gebildet werden. Das Kontakt modifizierende Material wird durch die Öffnung zugeführt und die Silizid Schicht wird in der Öffnung gebildet.
  • Der untere Teil des Kontakts kann sich in den Source/Drain Bereich erstrecken.
  • Der untere Teil des Kontakts kann planar sein und die obere Oberfläche des Source/Drain Bereichs bedecken.
  • Eine Halbleitervorrichtung weist einen der obigen Transistoren auf.
  • Beschreibung der Zeichnungen
  • Bevorzugte Ausführungsformen des Verfahrens zum Herstellen von Kondensatorstrukturen gemäß der vorliegenden Erfindung werden nachfolgend mit Bezug auf die beigefügten Figuren zum Erläutern der Merkmale der Erfindung beschrieben.
  • In den Figuren:
  • 1 bis 4 zeigen Teilquerschnitte eines Siliziumsubstrats, um ein Verfahren zum Herstellen eines Kontaktes gemäß einer ersten Ausführungsform zu illustrieren;
  • 5 bis 8 zeigen Teilquerschnitte eines Siliziumsubstrats, um ein Verfahren zum Herstellen eines Kontakts gemäß einer zweiten Ausführungsform zu illustrieren;
  • 9 zeigt eine Teilquerschnitte eines Transistor; und
  • 10 zeigt eine Teilquerschnitte eines Transistor
  • Kurzbeschreibung der bevorzugten Ausführungsformen
  • Identische Bezugszeichen bezeichnen identische oder ähnliche Elemente in den 1 bis 10.
  • Die erste Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens zum Herstellen eines Kontakts wird zusammen mit 1 bis 4 illustriert. 1 zeigt einen Teilquerschnitt eines Siliziumsubstrats 1. Der Teil des Siliziumsubstrats 1, der in 1 gezeigt ist, kann n-dotiert sein, zum Beispiel falls dieser Teil einen Source/Drain Bereich eines MOSFET Transistors bildet. Eine Maske 2 wird auf das Siliziumsubstrat 1 angewandt, um einen strukturierten Bereich 3 zu definieren. Der strukturierte Bereich kann ein Kontaktbereich auf oder in einem Source/Drain Bereich sein oder der Source/Drain Bereich selbst.
  • In einem ersten aber optionalen Schritt wird dotiertes Material 4 in einer hohen Dosis in das Siliziumsubstrat 1 deponiert. Der starke dotierte Bereich 5, das heißt mit einer Konzentration von wenigstens 5 1018 Atomen pro Kubikzentimeter, erstreckt sich vorzugsweise bis zu der Oberfläche 6 des Siliziumsubstrats 1. Die Polarität des stark dotierten Bereichs 5 ist die gleiche, wie die der Umgebung oder des teilweise umgebenden Siliziumsubstrats 1. Das bedeutet in dem obigen Beispiel eines n-dotierten Source/Drain Bereichs ist der stark dotierte Bereichs 5 ebenfalls n-dotiert.
  • Die Dotierstoffe werden durch einen Hochtemperatur Aktivierungsschritt aktiviert, der typischerweise für eine Dotierstoff-Aktivierung (Spike-/Laser-/Flashheilen) für wenige Millisekunden bis Sekunden angewandt wird.
  • In einem nächsten Schritt wird ein Kontakt modifizierende Material 7 in oder auf die Oberfläche 6 des Siliziumsubstrats 1 in dem strukturierten Bereich 3 abgeschieden. Die Ausführungsform wird mit Schwefel als dem am meisten bevorzugten Beispiel für ein Kontakt modifizierendes Material 7 erläutert, aber es ist zu beachten, dass andere Kontakt modifizierende Materialien 7, die nachfolgend aufgeführt werden, Schwefel ersetzen können oder zusätzlich zu Schwefel verwendet werden können.
  • An der Oberfläche 6 des Siliziumsubstrats 1 wird eine sehr dünne Schnittstellenschicht 8 von wenigen Nanometer Dicke 9 gebildet, die vorzugsweise stark dotiertes Siliziumsubstrat und Schwefelatome 7 aufweist (2). Die Konzentration des Schädels ist beispielsweise in dem Bereich von 1013–1015, vorzugsweise 0,5 1014–1,0 1014 Schwefelatome pro Quadratzentimeter. Eine bevorzugte Implantationstiefe 9 von etwa fünf bis 10 nm kann durch Implantieren der Schwefelatome mit einer kinetischer Energie von etwa 3 bis 6 keV erhalten werden.
  • In einem nächsten Schritt (3) wird das Siliziumsubstrat 1 an seiner Oberfläche 6 in dem strukturierten Bereich 3 silizidiert. Ein bevorzugtes Metall für das Silizid ist Titan oder Kobalt. Eine Schicht 10 aus Titan Silizid oder Kobalt Silizid 10 wird gebildet oder auf dem Siliziumsubstrat aufgewachsen und auf der Schicht 8 mit den Schwefelatomen.
  • Die Schicht mit den Schwefelatomen 8 bildet eine Schnittstellenschicht zwischen dem stark dotierten Siliziumsubstrat 5 und der Titan Silizid Schicht oder der Kobalt Silizid Schicht 10. An der Schnittstelle wird eine Schottky Barriere gebildet. Die Schwefelatome 7 an der Schnittstellenschicht 8 werden den spezifischen Widerstand des Kontakts verringern. Es wurde gezeigt, dass mittels Verwenden von Schwefel die spezifische Leitfähigkeit zwischen dem hoch dotierten Bereich 5 und der Silizid Schicht 10 um etwa 20 bis 50% erhöht wurde.
  • Die Herstellung des Kontakts wird durch Abscheiden eines Metalls abgeschlossen, insbesondere von Titan, Titannitrid oder Wolfram auf der Silizid Schicht 10 (4).
  • Die Abscheidung der Siliziumsatome 7 und das Aufwachsen auf den Silizid 10 kann in einem einzigen Schritt durchgeführt werden. Während dem Hinzufügen des Metalls können die Schwefelatome 7 ebenso in eine Reaktionskammer eingebracht werden.
  • Ein Hochtemperatur-Aktivierungsschritt zum Aktivieren der Schwefelatome ist nicht notwendig und wird daher nicht ausgeführt.
  • Eine zweite Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens zum Herstellen eines Kontakts wird zusammen mit den 5 bis 8 illustriert. Zuerst wird eine Siliziumsubstrat 1 bereitgestellt, welches mittels einer Maske 2 zum Definieren eines strukturierten Bereichs 3 strukturiert wird. Der strukturierte Bereich 3 wird mit einem hoch dotierten Bereich 5 präpariert, wie in der ersten Ausführungsform.
  • Eine Silizid Schicht 12 wird unmittelbar auf die Oberfläche 6 des Siliziumsubstrats 1 aufgewachsen (6). Die Silizid Schicht kann aus einem der Materialien Titan Silizid und Kobalt Silizid oder anderen hierin aufgeführten bestehen.
  • Ein Kontakt modifizierende Material 13 wird durch die Silizid Schicht 12 implantiert, so dass eine Schnittstellen Schicht 14 zwischen der Silizid Schicht 12 und dem Siliziumsubstrat oder dem stark dotierten Bereich 5 des Siliziumsubstrats 1 gebildet wird. Das Kontakt modifizierende Material ist vorzugsweise Schwefel. Die Implantation kann mittels einer genetischer Energie der Schwefelatome von 3–6 keV durchgeführt werden.
  • Die Herstellung des Kontakts wird durch Abscheiden eines Metalls, vorzugsweise einem Metall entsprechend dem Metall, das die Silizid Schicht 12 bildet, oder durch Wolfram abgeschlossen.
  • Die Implantation der Schwefelatome oder andere Kontakt modifizierende Materialien kann durch die Silizid Schicht 12 angewandt werden, nachdem das dotierte Material in der Schicht 5 aktiviert wird und Kristalldefekte in dem hoch dotierten Bereich 5 durch einen Hochtemperatur Schritt ausgeheilt werden. Es gibt keinen Bedarf für eine Aktivierung des Kontakt modifizierenden Materials 13, um die Schottky Barrierenhöhe zu reduzieren.
  • Die Schottky Barrierenhöhe wird reduziert, wenn der hoch dotierte Bereich 5 mit einem n-dotierten Material dotiert wird. In dem Fall, dass der hoch dotierte Bereich 5 mit einem p-dotierten Material dotiert wird, wird die Schottky Barrierenhöhe nicht erhöht, sondern bleibt im wesentlichen konstant.
  • Dies ist erstaunlich, da ein theoretisches Standardmodell vorhersagen würde, dass das Fermi Niveau der Silizid Schicht durch den Schwefelgehalt verschoben werden würde. Solch eine Verschiebung würde vorteilhaft für entweder n-dotierte Bereiche oder p-dotierte Bereiche durch Verringern der Schottky Barrierenhöhe sein. Die Schottky Barrierenhöhe des entsprechenden gegensätzlich dotierten Bereichs (entweder p-dotierten Bereich oder n-dotierten Bereich in der obigen Reihenfolge) würde jedoch erhöht werden.
  • 9 illustriert einen Auswahltransistor, der in einem logischen oder Beschaltungsbereich einer DRAM Speichervorrichtung verwendet wird. Diese Transistoren 19 werden verwendet, um die Bit- und Wortleitungen der Speichervorrichtung zu adressieren. In dem logischen Bereich werden beide Typen von n-MOSFET und p-MOSFET verwendet. Beispielhaft zeigt 9 einen n-MOSFET. In dem Substrat 20 wird eine p-dotierte Wanne 21 gebildet. Ein Gateoxid 22 und eine Gateelektrode 23, 24 werden auf der p-Wanne 21 gebildet. Source/Drain Bereiche 25, die n-dotiertes Material aufweisen, werden in der p-Wanne 21 gebildet.
  • Eine Schnittstellenschicht 26, die Schwefelatome aufweist und ein Metall Silizid werden auf den Source/Drain Bereichen 25 gebildet. Das Metall Silizid ist vorzugsweise eines aus Titan Silizid und Kobalt Silizid. Während des Herstellens des Metall Silizids werden Schwefelatome oder andere Kontakt modifizierende Materialien in die Reaktionskammer eingeführt. Oder die Atome werden mittels einer Ionenimplantation in dem Metall Silizid abgeschieden.
  • Auf der Schnittstellenschicht 26 wird eine im Wesentlichen reine Metall Silizid Schicht 27 angewandt. Eine metallische Vertikalverbindung (plug) 28 wird auf der Oberseite des Silizids 27 gebildet, um die Kontakte fertig zustellen.
  • Die Schnittstellenschicht 26, die Silizid Schicht 27 und die metallische Vertikalverbindung 28 werden vorzugsweise gebildet, nachdem ein dielektrisches Material 29 auf der Transistorstruk tur 19 abgeschieden ist und Öffnungen in den strukturierten Bereichen 30 gebildet sind.
  • Die Herstellung der Schnittstellenschicht und der Silizid Schicht kann durch eines der Verfahren, die in Zusammenhang mit den 1 bis 8 illustriert sind, durchgeführt werden.
  • Zusammen mit 10 ist ein zweiter Typ eines Transistors 31 in einem Teil Querschnitt gezeigt, der mit einem der erfindungsgemäßen Verfahren hergestellt ist, die mit den 1 bis 8 illustriert sind. Im Gegensatz zu dem Transistor 19, der für Logik Bereiche der DRAM Vorrichtungen oder für eine reine Logik Vorrichtung verwendet werden, ist der Kontakt in der Source/Drain Bereiche 32 unterschiedlich gebildet. In ersten Schritten wird der Transistor 31, der aus den Source/Drain Bereichen 32 und dem Gateoxid 33 und der Gateelektrode 34 besteht, auf oder in dem Siliziumsubstrat 35 gebildet. In einem nächsten Schritt wird die Transistorstruktur 31 durch ein dielektrisches Material 36 bedeckt. Öffnungen 37 werden in das dielektrische Material 36 in dem Bereich der Source/Drain Bereiche 32 gebildet, die zu kontaktieren sind.
  • Ein silizidierter Bereich 38 wird in dem Source/Drain Bereiche 32 gebildet. Das Metall und die Reaktionsgase werden durch die Öffnung transportiert. Die Implantation der Schwefelatome 39 findet durch die bereitgestellten Öffnungen 37 in dem dielektrischen Material 36 statt. Die Reihenfolge der Schritte: Silizidieren des Source/Drain Bereichs und Implantieren der Schwefelatome kann ausgetauscht werden oder zur gleichen Zeit durchgeführt werden. Auf der Oberseite des silizidierten Bereichs wird eine metallische Vertikalverbindung zum Bilden eines CS-Kontakts abgeschieden.
  • Obwohl die vorliegende Erfindung mit Bezug auf eine bevorzugte Ausführungsform beschrieben wurde, ist sie nicht darauf beschränkt, sondern kann in vielfältiger Weise abgeändert werden, die einem Fachmann offensichtlich sind. Daher ist beabsichtigt, dass die vorliegende Erfindung nur durch den Umfang der hier beigefügten Ansprüche beschränkt ist.
  • Anstelle von Schwefel kann als Kontakt modifizierende Material Selen, Lanthan, Strontium, Gadolinium, Tellur, seltene Erden ebenso für Schnittstellen von n-dotiertem Silizium und wenigstens eines von Kobalt Silizid und Titan Silizid verwendet werden. Aluminium, Indium und Gallium eignen sich für Schnittstellen von p-dotiertem Silizium. Germanium, Silizium, Xenon und Argon können auch als Kontakt modifizierende Materialen verwendet werden.

Claims (16)

  1. Verfahren zum Herstellen einer Halbleitervorrichtung mit den Schritten: (a) Bereitstellen eines Siliziumsubstrats, das wenigstens einen strukturierten Bereich aufweist, in welchem Dotierstoff Material implantiert ist; (b) Bereitstellen eines Kontakt modifizierende Materials auf der Oberfläche des wenigstens einen strukturierten Bereichs und (c) Bilden einer Silizid Schicht auf der modifizierten Oberfläche des wenigstens einen strukturierten Bereichs, wobei die Silizid Schicht wenigstens eines aus enthält: Titan Silizid, Titannitrid Silizid, Kobalt Silizid, Nickel Silizid, Ytterbium Silizid, Erbium Silizid, Platin Silizid, Palladium Silizid und Rhenium Silizid.
  2. Verfahren nach Anspruch 1, wobei das Kontakt modifizierende Material in eine Reaktionskammer während des Bildens der Silizid Schicht eingeführt wird.
  3. Verfahren zum Herstellen einer Halbleitervorrichtung mit den Schritten: (a) Bereitstellen eines Siliziumsubstrats, das wenigstens einen strukturierten Bereich aufweist, in welchem ein Dotierstoff Material implantiert ist; (b) Bilden einer Silizid Schicht auf der Oberfläche des wenigstens einen strukturierten Bereichs, wobei die Silizid Schicht wenigstens eines aufweist aus: Titan Silizid, Titannitrid Silizid, Kobalt Silizid, Nickel Silizid, Ytterbium Silizid, Erbium Silizid, Platin Silizid, Palladium Silizid und Rhenium Silizid und (c) Implantieren eines Kontakt modifizierenden Materials durch die Silizid Schicht auf die Oberfläche des wenigstens einen strukturierten Bereichs.
  4. Verfahren nach Anspruch 1, wobei das Kontakt modifizierende Material Schwefel aufweist.
  5. Verfahren nach Anspruch 3, wobei das Kontakt modifizierende Material Schwefel aufweist.
  6. Verfahren nach Anspruch 1, wobei die Kontakt modifizierenden Materialien für n-dotierte strukturierte Bereiche aus wenigstens einem von Selen, Lanthan, Strontium, Gadolinium, Tellur, seltenen Erden sind und für p-dotierte Strukturen aus wenigstens einem von Aluminium, Indium und Gallium sind oder wenigstens eines aus Germanium, Silizium, Xenon und Argon sind.
  7. Verfahren nach Anspruch 3, wobei die Kontakt modifizierenden Materialien für n-dotierte strukturierte Bereiche aus wenigstens einem von Selen, Lanthan, Strontium, Gadolinium, Tellur, seltenen Erden sind und für p-dotierte Strukturen aus wenigstens einem von Aluminium, Indium und Gallium sind oder wenigstens eines aus Germanium, Silizium, Xenon und Argon sind.
  8. Verfahren nach Anspruch 1, wobei das Siliziumsubstrat mit vorgefertigten Halbleitervorrichtungen versehen ist, die mittels der strukturierten Bereichen kontaktiert sind; wobei eine Isolationsschicht über dem Siliziumsubstrat zum Bedecken der vorgefertigten Halbleitervorrichtungen bereitgestellt wird; Öffnungen in die Isolationsschicht gebildet werden; das Kontakt modifizierende Material durch die Öffnungen bereitgestellt wird und die Silizid Schicht in der Öffnung gebildet wird.
  9. Verfahren nach Anspruch 3, wobei das Siliziumsubstrat mit vorgefertigten Halbleitervorrichtungen versehen ist, die mittels der strukturierten Bereichen kontaktiert sind; wobei eine Isolationsschicht über dem Siliziumsubstrat zum Bedecken der vorgefertigten Halbleitervorrichtungen bereitgestellt wird; Öffnungen in die Isolationsschicht gebildet werden; das Kontakt modifizie rende Material durch die Öffnungen bereitgestellt wird und die Silizid Schicht in der Öffnung gebildet wird.
  10. Verfahren zum Herstellen einer Halbleitervorrichtung mit den Schritten in folgender Reihenfolge: (a) Bereitstellen eines Siliziumsubstrats, das wenigstens einen strukturierten Bereich aufweist, in welchem ein Dotierstoff Material in einer Konzentration von wenigstens 5 1018 Atomen pro Kubikzentimeter implantiert ist; (b) Implantieren von Schwefel in die Oberfläche des wenigstens einen strukturierten Bereichs in einer Oberflächen Konzentration von 1013–1015 Atomen pro Quadratzentimeter; (c) Aktivieren des Dotierstoff Materials mittels eines Hochtemperatur Ausheilungsschrittes; (d) Bilden einer Silizid Schicht auf der modifizierten Oberfläche des wenigstens einen strukturierten Bereichs, wobei die Silizid Schicht wenigstens eines aufweist aus: Titan Silizid, Titannitrid Silizid, Kobalt Silizid, Nickel Silizid, Ytterbium Silizid, Erbium Silizid, Platin Silizid, Palladium Silizid und Rhenium Silizid.
  11. Verfahren zum Herstellen einer Halbleitervorrichtung mit den Schritten in der folgenden Reihenfolge: (a) Bereitstellen eines Siliziumsubstrats, das wenigstens einen strukturierten Bereich aufweist, in welchem ein Dotierstoff Material in einer Konzentration von wenigstens 5 1018 Atomen pro Kubikzentimeter implantiert ist; (b) Aktivieren des Dotierstoff Materials mittels eines Hochtemperatur Ausheilungsschritts; (c) Implantieren von Schwefel in die Oberfläche des wenigstens einen strukturierten Bereichs in einer Oberflächen Konzentration von 1013–1015 Atomen pro Quadratzentimeter; (d) Bilden einer Silizid Schicht auf der modifizierten Oberfläche des wenigstens einen strukturierten Bereichs, wobei die Silizid Schicht wenigstens eines aufweist aus: Titan Silizid, Titannitrid Silizid, Kobalt Silizid, Nickel Silizid, Ytterbium Silizid, Erbium Silizid, Platin Silizid, Palladium Silizid und Rhenium Silizid.
  12. Halbleitertransistor mit: einem Source/Drain Bereich, einem Kontakt, der einen unteren Teil aufweist, der aus wenigstens einem von Titan Silizid, Titannitrid Silizid und Kobalt Silizid gebildet ist, einer leitfähige Schicht, die Schwefel an einer unteren Seite der Schicht aufweist, die angrenzend an das Metall Silizid ist, und eine untere Seite der Schicht angrenzend an den Source/Drain Bereich ist.
  13. Halbleitertransistor nach Anspruch 12, wobei der untere Teil des Kontakts sich in den Source/Drain Bereich erstreckt.
  14. Halbleitertransistor nach Anspruch 12, wobei der untere Teil des Kontakts planar ist und eine obere Oberfläche des Source/Drain Bereichs bedeckt.
  15. Halbleiterspeichervorrichtung, die einen Transistor gemäß Anspruch 12 in einem Beschaltungsbereich und/oder einem Speicherzellebereich aufweist.
  16. Halbleitertransistor mit: einem Source/Drain Bereich, einem Kontakt, der einen unteren Teil aufweist, der wenigstens aus Titan Silizid, Titannitrid Silizid und/oder Kobalt Silizid gebildet ist; einer leitfähigen Schicht, die Schwefel an einer unteren Seite der Schicht aufweist, die angrenzend an das Metall Silizid des Kontakts ist, und eine untere Seite der Schicht angrenzend an den Source/Drain Bereich ist.
DE102007054064A 2006-11-20 2007-11-13 Verfahren zum Herstellen einer Halbleitervorrichtung Ceased DE102007054064A1 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US11/602,066 2006-11-20
US11/602,066 US20080116494A1 (en) 2006-11-20 2006-11-20 Method for manufacturing a semiconductor device

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