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DE102007037812A1 - Verfahren und Vorrichtung zur Detektion von Oberflächenfehlern eines Bauteils - Google Patents

Verfahren und Vorrichtung zur Detektion von Oberflächenfehlern eines Bauteils Download PDF

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Horst Winterberg
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Abstract

Ein Verfahren dient zur Detektion von Oberflächenfehlern eines Bauteils. Die Oberfläche des Bauteils (5) wird von der Seite mit Licht aus einer Lichtquelle (4, 4') bestrahlt. Das von der Oberfläche des Bauteils (5) zurückgestrahlte Licht wird von einem Sensor erfaßt. Um ein derartiges Verfahren zu verbessern, wird nur ein hinterer Bereich (19, 19') der Oberfläche des Bauteils (5) mit Licht aus der Lichtquelle (4, 4') bestrahlt und/oder wird nur das von einem hinteren Bereich (19, 19') der Oberfläche des Bauteils (5) zurückgestrahlte Licht von dem Sensor erfaßt und/oder von einer Auswerteeinrichtung ausgewertet (Fig. 3).

Description

  • Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Detektion von Oberflächenfehlern eines Bauteils oder sonstigen Objekts und eine Vorrichtung zur Durchführung eines derartigen Verfahrens.
  • Zur Detektion von Oberflächenfehlern von Bauteilen sind bereits verschiedene Verfahren bekannt. Bei der sogenannten Dunkelfeldbeleuchtung wird die Oberfläche des Bauteils von der Seite mit Licht aus einer Lichtquelle bestrahlt. Das von der Oberfläche des Bauteils zurückgestrahlte Licht wird von einem Sensor oder einer Kamera erfaßt, beispielsweise einer CCD-Kamera. Das vom Sensor erfaßte Bild kann ausgewertet und/oder gespeichert werden. Die Dunkelfeldbeleuchtung wird insbesondere zur Detektion von Kratzern oder ähnlichen Oberflächenfehlern eingesetzt. Dabei wird die Oberfläche des Bauteils so beleuchtet, daß nur vom Ort des Fehlers, also des Kratzers, Licht in den optischen Sensor gelangt.
  • Zur Veranschaulichung des bekannten Verfahrens der Dunkelfeldbeleuchtung zeigt
  • 1 eine Vorrichtung zur Detektion von Oberflächenfehlern eines Bauteils in einer schematischen Seitenansicht und
  • 2 eine abgewandelte Vorrichtung nach 1.
  • Die Vorrichtung gemäß 1 umfaßt zwei Lichtquellen 4, 4' zum Bestrahlen der Oberfläche eines Bauteils 5 aus einer jeweils seitlichen Richtung und eine CCD-Kamera 2 mit einem Sensor zum Erfassen des von der Oberfläche des Bauteils 5 zurückgestrahlten Lichts. Die Lichtquellen 4, 4' liegen einander gegenüber. Sie sind symmetrisch zur Mittenachse der CCD-Kamera 2 angeordnet. Aus den Lichtquellen 4, 4' trifft gerichtetes Licht auf die Oberfläche des Bauteils 5.
  • Der Meßbereich A wird durch die Apertur 6 der CCD-Kamera 2 und den Abstand der CCD-Kamera 2 von dem Bauteil 5 bestimmt. Die Lichtquellen 4, 4' sind so angeordnet, daß durch die Reflexion auf der Oberfläche des Bauteils 5 kein Licht in die CCD-Kamera 2 gelangt. Die Lichtquelle 4 strahlt gerichtetes Licht von der linken Seite unter einem Öffnungswinkel α auf den Meßbereich A. Der untere Grenzstrahl 7 trifft im linken Endpunkt 8 des Meßbereichs A unter einem Winkel β auf die Oberfläche des Bauteils 5 und wird von dort als Strahl 9 gespiegelt. Die Anordnung ist dabei derart getroffen, daß der gespiegelte Strahl 9 nicht in die CCD-Kamera 2 fällt, sondern unter der CCD-Kamera 2 abgestrahlt wird.
  • Der obere Grenzstrahl 10 aus der Lichtquelle 4 führt zum rechten Ende 8' des Meßbereichs A und wird von dort in einem Winkel γ, der kleiner ist als der Winkel β, in den Strahl 11 gespiegelt, der ebenfalls nicht in die CCD-Kamera 2 fällt, sondern unter der CCD-Kamera 2 abgestrahlt wird.
  • Die Lichtquelle 4' liegt auf der gegenüberliegenden Seite des Meßbereichs A. Auch das von dieser Lichtquelle 4' auf den Meßbereich A gestrahlte Licht fällt bei der Reflexion auf der Oberfläche des Bauteils 5 nicht in die CCD-Kamera 2.
  • Verfahren und Vorrichtungen nach 1 sind aus verschiedenen Vorveröffentlichungen bekannt, beispielsweise aus der DE 20 2005 011 807 U1 , der DE 10 2004 026 375 A1 , der DE 10 2004 058 778 A1 und der DE 10 2005 031 490 A1 .
  • Bei der Dunkelfeldbeleuchtung nach 1 wird das von den Lichtquellen 4, 4' ausgestrahlte Licht bei einer fehlerfreien Oberfläche des Bauteils 5 in der aus 1 ersichtlichen Weise am optischen Sensor in der CCD-Kamera 2 vorbei reflektiert. Aus der Sicht der CCD-Kamera 2 erscheint der Meßbereich A bei einer fehlerfreien Oberfläche des Bauteils 5 dunkel.
  • Wenn sich auf der Oberfläche des Bauteils 5 ein Kratzer oder ein ähnlicher Fehler befindet, wird das von den Lichtquellen 4 und/oder 4' abgestrahlte Licht in die CCD-Kamera 2 zurückgestrahlt. Auf diese Weise können Kratzer auf der Oberfläche des Bauteils 5 erkannt werden.
  • Die Empfindlichkeit der Messung ist umso größer, je kleiner die Winkel β bzw. γ sind, unter denen die Strahlen 7, 10 bzw. 7', 10' und die dazwischen liegenden Strahlen auf den Meßbereich A auftreffen. Aus mechanischen Gründen ist es allerdings oftmals erforderlich, daß die Lichtquellen 4, 4' einen bestimmten Mindestabstand zur Oberfläche des Bauteils 5 einhalten müssen. Hierdurch werden die Winkel β und γ und die dazwischen liegenden Winkel vergrößert.
  • Ein Beispiel hierfür ist in 2 gezeigt. Durch die Vergrößerung des Abstandes der Lichtquellen 4, 4' von der Oberfläche des Bauteils 5 vergrößern sich die Winkel β und γ. Die reflektierten Strahlen 9, 9' der unteren Grenzstrahlen 7, 7' gelangen in die CCD-Kamera 2 und auf deren Sensor.
  • Um dies zu verhindern und um die Empfindlichkeit zu steigern können die Winkel β und γ dadurch verkleinert werden, daß der seitliche Abstand der Lichtquellen 4, 4' vom Meßbereich A vergrößert wird. Hierdurch wird allerdings auch die gesamte Anordnung vergrößert bzw. die Vorrichtung, in der sich die Lichtquellen 4, 4' befinden. Dadurch, daß ein gewisser Abstand der Lichtquellen 4 von der Oberfläche des Bauteils 5 eingehalten werden muß, nimmt also entweder die Empfindlichkeit ab, oder die Baugröße der Vorrichtung bzw. Prüfanordnung nimmt zu.
  • Aufgabe der Erfindung ist es, ein Verfahren und eine Vorrichtung der eingangs angegebenen Art zu verbessern.
  • Nach einem ersten Vorschlag wird diese Aufgabe bei einem Verfahren zur Detektion von Oberflächenfehlern eines Bauteils nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1 durch die kennzeichnenden Merkmale des Anspruchs 1 gelöst. Es wird nur ein hin terer Bereich der Oberfläche des Bauteils mit Licht aus der Lichtquelle bestrahlt und/oder es wird nur das von einem hinteren Bereich der Oberfläche des Bauteils zurückgestrahlte Licht von dem Sensor erfaßt und/oder von einer Auswerteeinrichtung ausgewertet. Dadurch, daß nur ein – von der Lichtquelle her betrachtet – hinterer Bereich der Oberfläche des Bauteils mit Licht aus der Lichtquelle bestrahlt wird, wird der Einfallswinkel des unteren Grenzstrahls gegenüber der Oberfläche des Bauteils kleiner, so daß die Empfindlichkeit gesteigert werden kann. Alternativ kann bei gleichbleibender Empfindlichkeit der seitliche Abstand der Lichtquelle von dem Bauteil verringert werden.
  • Vorteilhafte Weiterbildungen sind in den Unteransprüchen beschrieben.
  • Die Oberfläche des Bauteils kann mit Licht aus mehreren Lichtquellen bestrahlt werden. Insbesondere kann die Oberfläche des Bauteils mit Licht aus zwei Lichtquellen bestrahlt werden. Die zwei Lichtquellen liegen vorzugsweise einander gegenüber. Es ist allerdings auch möglich, mehrere Lichtquellen zu verwenden, die ringförmig um das Bauteil herum angeordnet sind. Besonders geeignet sind stabförmige Lichtquellen oder Lichtquellen mit einer sonstigen Längserstreckung.
  • Bei einer Vorrichtung zum Detektieren von Oberflächenfehlern eines Bauteils nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1 wird die der Erfindung zugrundeliegende Aufgabe nach einem ersten Vorschlag durch die kennzeichnenden Merkmale des Anspruchs 6 gelöst.
  • Vorteilhafte Weiterbildungen sind in den Unteransprüchen 7 bis 10 beschrieben.
  • Bei einem Verfahren zur Detektion von Oberflächenfehlern eines Bauteils nach dem Oberbegriff des Anspruchs 11 wird die der Erfindung zugrundeliegende Aufgabe nach einem weiteren Vorschlag, für den selbständig Schutz beansprucht wird, durch die kennzeichnenden Merkmale des Anspruchs 11 gelöst. Nach diesem Vorschlag wird die Oberfläche des Bauteils von der Seite mit Licht aus einer Streifenprojektionseinheit bestrahlt. Das von der Oberfläche des Bauteils zurückgestrahlte Licht wird von dem Sensor erfaßt. Durch die Verformung der Streifen auf der Oberfläche des Bauteils können flächige Verformungen dieser Oberfläche wie insbesondere Dellen oder Beulen erkannt werden. Ferner können durch die Bestrahlung der Oberfläche des Bauteils von der Seite mit Licht aus einer Lichtquelle, also durch diese Dunkelfeldbeleuchtung, auch Oberflächenfehler wie insbesondere Kratzer erkannt werden.
  • Die beiden erfindungsgemäßen Verfahren können miteinander kombiniert werden.
  • Die der Erfindung zugrundeliegende Aufgabe wird bei einer Vorrichtung zur Detektion von Oberflächenfehlern eines Bauteils nach dem Oberbegriff des Anspruchs 14 nach einem weiteren Vorschlag, für den selbständig Schutz beansprucht wird, durch die Merkmale des Anspruchs 14 gelöst. Die Vorrichtung umfaßt eine Streifenprojektionseinheit zum Projizieren eines Streifenmusters aus einer seitlichen Richtung auf die Oberfläche des Bauteils.
  • Die beiden erfindungsgemäßen Vorrichtungen können miteinander kombiniert werden.
  • Ausführungsbeispiele der Erfindung werden nachstehend anhand der beigefügten Zeichnung im einzelnen erläutert. In der Zeichnung zeigt
  • 3 eine Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Vorrichtung zur Detektion von Oberflächenfehlern eines Bauteils in einer schematischen Seitenansicht und
  • 4 ein weiteres Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Vorrichtung mit einer Streifenprojektionseinheit.
  • Bei der in 3 gezeigten Ausführungsform sind Bauteile, die denjenigen der 1 und 2 entsprechen, mit denselben Bezugszeichen versehen, so daß sie nicht erneut beschrieben werden müssen.
  • Der Lichtkegel aus der Lichtquelle 4 ist derart eingestellt, daß der untere Grenzstrahl 17 an dem Punkt 18 in der Mitte des Meßbereichs A auf die Oberfläche des Bauteils 5 auftrifft. Gleiches gilt für den unteren Grenzstrahl 17' aus der gegenüberliegenden Lichtquelle 4'. Die oberen Grenzstrahlen 10, 10' der Lichtquellen 4, 4' treffen, wie auch bei den vorbekannten Ausführungsformen nach 1 und 2, auf den jeweiligen hinteren Endpunkten 8', 8 auf der Oberfläche des Bauteils 5 auf. Auf diese Weise wird – von der Lichtquelle her betrachtet – nur der hintere Bereich 19 der Oberfläche des Bauteils 5 mit Licht aus der Lichtquelle 4 bestrahlt. In entsprechender Weise wird nur der hintere Bereich 19' der Oberfläche des Bauteils 5 mit Licht aus der Lichtquelle 4' bestrahlt.
  • Bei der Ausführungsform nach 3 wird die Oberfläche des Bauteils 5 bzw. der Meßbereich A mit Licht aus zwei einander gegenüberliegenden Lichtquellen 4, 4' bestrahlt. Es wäre allerdings auch möglich, meherere Lichtquellen ringförmig um das Bauteil 5 bzw. den Meßbereich A herum anzuordnen (in der Zeichnung nicht dargestellt). Die Lichtquellen 4, 4' können im wesentlichen punktförmig sein. Es ist allerdings auch möglich, stabförmige Lichtquellen zu verwenden, wobei die Richtung der Längserstreckung vorzugsweise senkrecht zur Zeichenebene der 3 liegt.
  • Ferner ist es möglich, zur Verwirklichung der Erfindung die Anordnung nach 2 zu verwenden und nur das von dem jeweiligen hinteren Bereich der Oberfläche des Bauteils 5 zurückgestrahlte Licht von dem Sensor in der CCD-Kamera 2 zu erfassen und/oder von einer Auswerteeinrichtung auszuwerten. Hierzu kann das Verfahren in der Weise durchgeführt werden, daß jeweils nur eine der Lichtquellen 4, 4' leuchtet. Wenn beispielsweise die Lichtquelle 4 eingeschaltet ist, kann der linke Bereich des Objektivs der CCD-Kamerra 2 von einer Abdeckung abgedeckt werden (in der Zeichnung nicht dargestellt), so daß vom Sensor in der CCD-Kamera nur das vom hinteren Bereich 19 der Oberfläche des Bauteils 5 zurückgestrahlte Licht erfaßt wird. Zur Überprüfung des linken Bereichs 19' des Meßbereichs A kann die Lichtquelle 4 ausgeschaltet und die Lichtquelle 4' eingeschaltet werden, und eine Abdeckung verdeckt den rechten Teil des Objektivs der CCD-Kamera 2. Bei diesem zweiten Teil der Messung wird dann nur das von dem hinteren Bereich 19' der Oberfläche des Bauteils 5 zurückgestrahlte Licht von dem Sensor in der CCD-Kamera 2 erfaßt.
  • Ferner kann folgendes Verfahren durchgeführt werden: Zunächst wird die Lichtquelle 4 eingeschaltet, die den gesamten Meßbereich A beleuchtet, wie in 2 gezeigt. Es wird allerdings nur das von dem hinteren Bereich 19 der Oberfläche des Bauteils 5 zurückgestrahlte Licht ausgewertet. In einem zweiten Schritt wird die Lichtquelle 4 ausgeschaltet und die Lichtquelle 4' eingeschaltet, und es wird nur das von dem hinteren Bereich 19' zurückgestrahlte Licht ausgewertet.
  • Bei der Ausführungsform nach 4 ist zusätzlich zu den stabförmigen Lichtquellen 4, 4' noch eine Streifenprojektionseinheit 3 vorhanden. Die Streifenprojektionseinheit 3 liegt in etwa auf derselben Höhe wie die Lichtquellen 4, 4' und die CCD-Kamera 2. Sie liegt allerdings zwischen den Lichtquellen 4, 4' und dem Abstand von der CCD-Kamera 2. In Umfangsrichtung betrachtet ist die Streifenprojektionseinheit 3 gegenüber den Lichtquellen 4, 4' jeweils um 90° versetzt. Durch die Streifenprojektionseinheit 3 wird gerichtetes Licht unter einem bestimmten Winkel, nämlich dem Triangulationswinkel, auf die Oberfläche des Bauteils 5 geworfen. Die Streifenprojektionseinheit 3 projiziert ein Streifenmuster auf die Oberfläche des Bauteils 5.
  • Beim Betrieb der Vorrichtung nach 3 können die Lichtquellen 4, 4' abgeschaltet und die Streifenprojektionseinheit 3 eingeschaltet werden, wie in 4a gezeigt. Die von der Streifenprojektionseinheit 3 auf die Oberfläche des Bauteils 5 projizierten Streifen werden durch flächige Verformungen dieser Oberfläche wie beispielsweise Dellen oder Beulen verformt. Durch die Verformung der Streifen können diese flächigen Verformungen von der CCD-Kamera 2 erkannt und ausgewertet werden.
  • Ferner ist es möglich, die Streifenprojektionseinheit 3 auszuschalten und die Lichtquellen 4, 4' einzuschalten, wobei diese Lichtquellen 4, 4' gleichzeitig leuchten können oder abwechselnd eingeschaltet werden können. Die Lichtquellen 4, 4' erzeugen eine Dunkelfeldbeleuchtung, durch die es möglich ist, scharfkantige Fehlstellen wie insbesondere Kratzer zu erkennen. Bei der Dunkelfeldbeleuchtung mit den Lichtquellen 4, 4' kann das verbesserte Verfahren gemäß 3 durchgeführt werden. Es ist allerdings auch möglich, die konventionellen Verfahren nach 1 und 2 anzuwenden.
  • Durch die Erfindung kann die Baugröße der Prüfvorrichtung minimiert werden, ohne den Einfallswinkel der Lichtstrahlen von den Lichtquellen 4, 4' zu erhöhen und damit an Empfindlichkeit zu verlieren. Dieser Winkel beschreibt im wesentlichen die Empfindlichkeit der Messung. Wenn aus mechanischen Gründen ein gewisser Abstand der Lichtquellen 4, 4' von der Oberfläche des Bauteils 5 eingehalten werden muß, ist bei einer geforderten Meßempfindlichkeit und damit einem geforderten maximalen Einstrahlwinkel der Abstand einer Lichtquelle 4, 4' von der Mittenachse der CCD-Kamera 2 bzw. der Abstand der Lichtquellen 4, 4' voneinander und damit die Baugröße der Prüfeinheit vorgegeben. Um die Baugröße der Prüfeinheit zu minimieren, ohne den Auftreffwinkel der Strahlung zu erhöhen und damit an Empfindlichkeit zu verlieren, beleuchten die Lichtquellen 4, 4' nicht jeweils gemeinsam den gesamten Meßbereich A, sondern jeweils nur den hinteren Teil bzw. den gegenüberliegenden Teil. Der Abstand zwischen den Lichtquellen 4, 4' kann auf diese Weise reduziert werden, ohne daß sich der Auftreffwinkel der Strahlung auf der Oberfläche des Bauteils 5 und damit die Meßempfindlichkeit ändern.
  • Die Erfindung kann in der Weise realisiert werden, daß die Lichtquellen 4, 4' nur die jeweils gegenüberliegende Seite des Meßbereichs A beleuchten, so daß bei fehlerfreiem Bauteil das Licht größtenteils am Sensor der CCD-Kamera vorbei reflektiert wird. Es ist auch eine Beleuchtung von mehr als zwei Seiten, bis hin zu einer Ringbeleuchtung, möglich. Es ist ebenfalls möglich, mit den Lichtquellen nacheinander jeweils das gesamte Bildfeld zu beleuchten und bei der Bildauswertung nur die jeweils gegenüberliegende Bildhälfte zu berücksichtigen.
  • Bei einem Streifenprojektionssensor fällt in der Regel von der Streifenprojektionseinheit 3 gerichtetes Licht unter einem bestimmten Winkel (Triangulationswinkel) auf das zu prüfende Bauteil. Durch die Verformung der Streifen lassen sich flächige Verformungen der Oberfläche wie beispielsweise Dellen und Beulen erkennen. Die Detektion von scharfkantigen Fehlstellen wie beispielsweise Kratzern ist mit einer Streifenprojektionseinheit jedoch nur bedingt möglich, da das Licht von der Streifenprojektionseinheit nur aus einer Richtung kommt. Dementsprechend wird eine zusätzliche Aufnahme mit einer Beleuchtungsrichtung senkrecht zur Streifenprojektion aus den Lichtquellen 4, 4' vorgenommen. Um die Baugröße der Vorrichtung so kompakt wie möglich zu halten kann das Verfahren nach 3 durchgeführt werden, bei dem jeweils nur der hintere Bereich des Meßbereichs bestrahlt wird.
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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    • - DE 102005031490 A1 [0010]

Claims (16)

  1. Verfahren zur Detektion von Oberflächenfehlern eines Bauteils (5), bei dem die Oberfläche des Bauteils (5) von der Seite mit Licht aus einer Lichtquelle (4, 4') bestrahlt wird und das von der Oberfläche des Bauteils (5) zurückgestrahlte Licht von einem Sensor erfaßt wird, dadurch gekennzeichnet, daß nur ein hinterer Bereich (19, 19') der Oberfläche des Bauteils (5) mit Licht aus der Lichtquelle (4, 4') bestrahlt wird und/oder daß nur das von einem hinteren Bereich (19, 19') der Oberfläche des Bauteils (5) zurückgestrahlte Licht von dem Sensor erfaßt und/oder von einer Auswerteeinrichtung ausgewertet wird.
  2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Oberfläche des Bauteils (5) mit Licht aus mehreren Lichtquellen (4, 4') bestrahlt wird.
  3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Oberfläche des Bauteils (5) mit Licht aus zwei einander gegenüberliegenden Lichtquellen (4, 4') bestrahlt wird.
  4. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Oberfläche des Bauteils (5) mit Licht aus mehreren ringförmig um das Bauteil (5) herum angeordneten Lichtquellen bestrahlt wird.
  5. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Oberfläche des Bauteils (5) mit Licht aus einer stabförmigen Lichtquelle (4, 4') bestrahlt wird.
  6. Vorrichtung zur Detektion von Oberflächenfehlern eines Bauteils mit einer Lichtquelle (4, 4') zum Bestrahlen der Oberfläche des Bauteils (5) aus einer seitlichen Richtung und mit einem Sensor zum Erfassen des von der Oberfläche des Bauteils (5) zurückgestrahlten Lichts, dadurch gekennzeichnet, daß nur ein hinterer Bereich (19, 19') der Oberfläche des Bauteils (5) mit Licht aus der Lichtquelle (4, 4') bestrahlt wird und/oder daß nur das von einem hinteren Bereich (19, 19') der Oberfläche des Bauteils (5) zurückgestrahlte Licht von dem Sensor erfaßt und/oder von einer Auswerteeinrichtung ausgewertet wird.
  7. Vorrichtung nach Anspruch 6, gekennzeichnet durch mehrere Lichtquellen (4, 4') zum Bestrahlen der Obefläche des Bauteil (5).
  8. Vorrichtung nach Anspruch 7, gekennzeichnet durch zwei gegenüberliegende Lichtquellen (4, 4') zum Bestrahlen der Oberfläche des Bauteils (5).
  9. Vorrichtung nach Anspruch 7, gekennzeichnet durch mehrere ringförmig um das Bauteil herum angeordnete Lichtquellen zum Bestrahlen der Oberfläche des Bauteils (5).
  10. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 6 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Lichtquellen (4, 4') stabförmig sind.
  11. Verfahren zur Detektion von Oberflächenfehlern eines Bauteils (5), bei dem die Oberfläche des Bauteils (5) von der Seite mit Licht aus einer Lichtquelle (4, 4') bestrahlt wird und das von der Oberfläche des Bauteils (5) zurückgestrahlte Licht von einem Sensor erfaßt wird, dadurch gekennzeichnet, daß die Oberfläche des Bauteils (5) von der Seite mit Licht aus einer Streifenprojektionseinheit (3) bestrahlt wird.
  12. Verfahren nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß nur ein hinterer Bereich (19, 19') der Oberfläche des Bauteils (5) mit Licht aus der Lichtquelle (4, 4') bestrahlt wird und/oder daß nur das von einem hinteren Bereich (19, 19') der Oberfläche des Bauteils (5) zurückgestrahlte Licht von dem Sensor erfaßt und/oder von einer Auswerteeinrichtung ausgewertet wird.
  13. Verfahren nach Anspruch 11 oder 12, gekennzeichnet durch die weiteren Merkmale eines oder mehrerer der Ansprüche 2 bis 5.
  14. Vorrichtung zur Detektion von Oberflächenfehlern eines Bauteils (5) mit einer Lichtquelle (4, 4') zum Bestrahlen der Oberfläche des Bauteils (5) aus einer seitlichen Richtung und mit einem Sensor zum Erfassen des von der Oberfläche des Bauteils (5) zurückgestrahlten Lichts, gekennzeichnet durch eine Streifenprojektionseinheit (3) zum Projizieren eines Streifenmusters aus einer seitlichen Richtung auf die Oberfläche des Bauteils (5).
  15. Vorrichtung nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß nur ein hinterer Bereich (19, 19') der Oberfläche des Bauteils (5) mit Licht aus der Lichtquelle (4, 4') bestrahlt wird und/oder daß nur das von einem hinteren Bereich (19, 19') der Oberfläche des Bauteils (5) zurückgestrahlte Licht von dem Sensor erfaßt und/oder von einer Auswerteeinrichtung ausgewertet wird.
  16. Vorrichtung nach Anspruch 14 oder 15, gekennzeichnet durch die Merkmale eines oder mehrerer der Ansprüche 6 bis 10.
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