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DE102007028335B4 - Kapazitives Messsystem mit Autokalibration - Google Patents

Kapazitives Messsystem mit Autokalibration Download PDF

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DE102007028335B4
DE102007028335B4 DE102007028335.2A DE102007028335A DE102007028335B4 DE 102007028335 B4 DE102007028335 B4 DE 102007028335B4 DE 102007028335 A DE102007028335 A DE 102007028335A DE 102007028335 B4 DE102007028335 B4 DE 102007028335B4
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Abstract

Kapazitives Messsystem nach dem Dreielektroden-Messprinzip mit einer Struktur zur Stabilisierung eines Generators (1), um eine im Wesentlichen stabile und von allen Beeinflussungen unabhängige Generatorausgangsspannung (2, 3) bereitzustellen, und mit wenigstens einem Messsensor (5) zur Messung einer in dessen Wirkungsbereich auftretenden Kapazitätsänderung sowie mit einer elektronischen Auswerteeinrichtung, die eine Schaltungsstruktur zur Ermittlung der bei der Messung dieses Messsensors (5) auftretenden absoluten Kapazitätsänderung aufweist, wobei das Ausgangssignal dieses Messsensors (5) einem Verstärkerkanal (8) mit wenigstens einer Verstärkerstufe zugeführt wird, dadurch gekennzeichnet, dass die elektronische Auswerteeinrichtung ferner eine Schaltungseinrichtung (12; 27, 29, 30, 31; 29, 36, 37) besitzt, die innerhalb der Schaltungsstruktur in einem Regelkreis zur Autokalibration der Schaltungsstruktur integriert und angepasst ist zum Verarbeiten eines Eingabesignals (10, 13; 11, 28, 25, 30; 11, 28, 37, 36), welches von der Messung unabhängig ist, jedoch örtlich (25) und/oder zeitlich (37) in eindeutig definiertem Zustand zur Messung steht und/oder welches ein aus einem weiteren internen Signal (10, 13; 28, 37) des Messsystems nach einem vorgegebenen funktionellem Zusammenhang (4, 7; 36) abgeleitetes Signal ist, und zur Generierung einer übergeordneten Stellgröße (9, 23), und zwar zur Veränderung des Ausgangssignals (11) des Verstärkerkanals (8) ohne Änderung der Messempfindlichkeit bezüglich der absoluten Kapazitätsänderung, wobei die generierte Stellgröße (9, 23) mittels der Regelkreisintegration wenigstens einer Verstärkerstufe des Verstärkerkanals (8) zugeführt wird, um eine Offsetverschiebung für diese zu bewirken.

Description

  • Die Erfindung betrifft ein kapazitives Messsystem nach dem Dreielektroden-Messprinzip mit wenigstens einer Sensoreinheit zur Messung einer in deren Wirkungsbereich auftretenden Kapazitätsänderung sowie einer elektronischen Auswerteeinrichtung, die eine Schaltungsstruktur zur Ermittlung der absoluten Kapazitätsänderung während der Messung dieser Sensoreinheit aufweist.
  • Das Dreielektroden-Messprinzip beruht im Wesentlichen darauf, dass ein Generator zunächst zwischen zwei unterschiedlichen Bezugspotentialen eine Wechselspannung einspeist. Zusätzlich wird eine Messelektrode daraufhin durch ein zu detektierendes Messobjekt unterschiedlich an das elektrische Feld zwischen den beiden anderen Potentialen angekoppelt und die hierbei hervorgerufenen Kapazitätsänderungen werden absolut erfasst.
  • Ein solches Dreielektroden-Messprinzip, welches einem Fachmann auf diesem Gebiet an und für sich bekannt ist und daher nachfolgend im Wesentlichen nicht weiter ausgeführt wird, ermöglicht bekanntermaßen ferner eine weite räumliche Trennung zwischen den rein passiven Sensorstrukturen und der Auswerteelektronik. Damit können die Sensoren bei entsprechender Ausführung in einem großen Temperaturbereich betrieben werden, bei einigen Applikationen z. B. bis 800°C.
  • Das Gesamt-Temperaturverhalten eines solchen Messsystems wird letztlich durch das Temperaturverhalten der Einzelkomponenten und deren Zusammenwirken bestimmt. Dabei ist es möglich, die Temperaturabhängigkeit der Elektronik durch entsprechende Schaltungsstrukturen weitestgehend zu eliminieren. Diesbezüglich wird die DE 100 27 507 C1 in Bezug genommen und inhaltlich auch zum Offenbarungsgehalt der vorliegenden Erfindung miteinbezogen. So ermöglicht es die dort beschriebene Schaltungsanordnung, extrem kleine Kapazitätsänderungen zu erfassen. Die Grenzen der Erfassbarkeit werden bestimmt einerseits u. A. durch das Eigenrauschen der Wechselspannungsverstärker, und in weitaus stärkerem Maße jedoch andererseits durch das Temperaturverhalten der passiven Bauelemente im Sensorbereich. So sind die wenigstens zwei Elektroden eines Sensors üblicherweise zwangsläufig durch Isolationswerkstoffe mechanisch miteinander verbunden und besitzen zumeist noch eine Schutzhülle für den Einsatz unter Industriebedingungen. Bei räumlicher Trennung von passiven Sensoren und den elektronischen Komponenten sind üblicherweise Koaxial- oder Triaxialkabel erforderlich, deren Isolationswerkstoffe ebenfalls temperaturabhängige Kennwerte aufweisen. Selbst das für höchste Ansprüche allgemein in der Elektrotechnik eingesetzte PTFE weist für die hier zu stellenden Anforderungen zu große Temperaturabhängigkeiten auf.
  • Somit ist es also nur möglich, mit bestimmten Gestaltungseinschränkungen solche Messsysteme mit extrem hohen Empfindlichkeiten zu realisieren. Bei den Sensoren bedeutet das z. B. die Einbeziehung von Luftstrecken im Isolationsbereich, wodurch jedoch eine geringere Robustheit der Sensoren in Kauf genommen werden muss. Ein Verzicht auf längere Kabelverbindungen hingegen bedeutet einen Kompaktaufbau, wobei jedoch die Elektronik am Einsatzort der dort herrschenden Temperatur ausgesetzt ist, so dass sich höhere Umgebungstemperaturen somit verbieten.
  • Die DE 25 08 033 A1 beschreibt eine Messanordnung zur allgemeinen Kapazitätsbestimmung von Kondensatoren, bei der Ströme durch den Kondensator und ein Vergleichsnormal mittels Stromwandler in proportionale Spannungen umgewandelt werden. Die DE 35 18 186 A1 beschreibt eine Vorrichtung zur Erfassung der effektiven Dielektrizitätskonstanten eines Mediums, bei der einer Empfangselektrode felderzeugende erste und zweite Sendeelektroden zugeordnet sind, die über erste und zweite Ansteuerverstärker mit gegenphasigen Wechselspannungen beaufschlagt sind. Die DE 10 2006 020 301 A1 beschreibt ebenfalls ein Verfahren und eine Schaltung zur allgemeinen Kapazitätsbestimmung von Kondensatoren, wobei eine zu messende Kapazität aufgeladen und über einen Widerstand entladen und die Auf- oder die Entladezeit bis zu einem vorgegebenen Spannungswert. Die drei vorgenannten Druckschriften beziehen sich jedoch nicht auf kapazitive Messverfahren nach dem Dreielektroden-Messprinzip.
  • Die DE 100 27 507 C1 beschreibt eine Vorrichtung zur Erfassung von Kapazitätsänderungen eines Kondensators nach dem Dreielektroden-Messprinzip bei der in einem ersten Brückenzweig einer mit einer Wechselspannung beaufschlagten Brückenschaltung der Kondensator und in einem elektrisch parallelen zweiten Brückenzweig ein Referenzwiderstand vorgesehen sind, wobei beide Brückenzweige für das Ausgangssignal eines Wechselspannungsgenerators gleiche Übertragungseigenschaften haben, das verstärkte und gleichgerichtete Referenzwiderstands-Ausgangssignal von dem verstärkten und gleichgerichteten Kondensator-Ausgangssignal subtrahiert und das sich aus der Subtraktion ergebende Änderungssignal einer Anzeigeschaltung zugeführt wird.
  • Die EP 0 723 339 B1 beschreibt ein Verfahren und eine entsprechende Schaltungsanordnung zur Auswertung einer Sensorkapazität in einem kapazitiven Sensorschalter, wobei ein Aufladungszeitmaß zur Aufladung mit einem Ladestrom einer Summenkapazität, die aus Sensorkapazität und statischer Kapazität gebildet wird, bis auf eine Referenzspannung erfasst wird. Das Aufladungszeitmaß wird von einem Zeitmaß in einem Zeitvergleicher subtrahiert, wobei sich ein Differenzzeitmaß ergibt, das zur dynamischen Kompensation der statischen Kapazität eine Speichergröße verändert, deren Wert die Größe des Ladestroms so regelt, dass das Differenzzeitmaß gegen Null ausgeregelt wird. In einem weiteren Zeitvergleicher wird ein Ausgangssignal abgegeben, wenn das Aufladungszeitmaß größer als das Zeitmaß zuzüglich eines weiteren, einstellbaren Zeitmaßes wird.
  • Die US 4 093 915 A beschreibt ein kapazitives Messsystem, zur Ermittlung einer Sensorkapazität über eine Differenzmessung mit einer Referenzkapazität, wobei zwei parallele kapazitive Netzwerke vorgesehen sind. Eine Sensorkapazität ist gegenüber äußeren Einflüssen stabil ausgebildet, sodass sich aufgrund des sich einstellenden Differenzsignals externe Einflüsse bestimmen lassen.
  • Eine wesentliche Aufgabe der Erfindung ist, ein kapazitives, das Dreielektroden-Messprinzip anwendendes Messsystem mit einer gegenüber dem dargestellten Stand der Technik nochmals gesteigerten Messempfindlichkeit für den allgemeinen industriellen Einsatz zu realisieren.
  • Eine erfindungsgemäße Lösung ist bereits durch einen Gegenstand mit den Merkmalen des unabhängigen Anspruchs gegeben. Vorteilhafte und/oder bevorzugte Ausführungsformen und Weiterbildungen sind Gegenstand der abhängigen Ansprüche.
  • Die Erfindung eines kapazitiven Messsystems nach dem Dreielektroden-Messprinzip mit einer im Wesentlichen stabilen und von allen Beeinflussungen unabhängigen Generatorausgangsspannung und mit wenigstens einer Sensoreinheit zur Erfassung einer in deren Wirkungsbereich auftretenden Kapazitätsänderung sowie einer elektronischen Auswerteeinrichtung, die eine Schaltungsstruktur zur Ermittlung der absoluten Kapazitätsänderung dieser Sensoreinheit aufweist, zeichnet sich somit insbesondere dadurch aus, dass in der elektronischen Auswerteeinheit eine zusätzliche übergeordnete Schaltungseinrichtung zur Generierung eines Stellsignals zur Veränderung des Ausgangssignals aus einer nicht unmittelbar aus der Messung resultierenden Größe vorhanden ist, wobei diese Schaltungseinrichtung sowohl mit schaltungsinternen als auch mit externen Komponenten zu einem Regelkreis geschlossen werden kann und damit eine Autokalibration ermöglicht wird.
  • Diese übergeordnete Regelung bei einem das Dreielektroden-Messprinzip anwendenden Messsystem, bei welcher ein in praktischer Ausführung am Ausgang einer Verstärkerkette anliegendes Messsignal der Sensoreinheit als Istwert einer Stellgrößengenerierungseinrichtung zugeführt wird und die zur Stellgrößengenerierung ferner einen in Abhängigkeit von der Applikation mit unterschiedlichen Methoden gebildeten Sollwert einsetzt, führt als generierte Stellgröße in bevorzugter Ausführung zur Beeinflussung des Übertragungsfaktors der Verstärkerkette eine Spannung für die Offsetverschiebung des Arbeitspunktes einer oder mehrerer Glieder dieser Verstärkerkette zurück.
  • Die Erfindung hat sich insbesondere für Sonden mit einem Temperatureinsatzbereich von ca. –100°C bis ca. +250°C, bei speziellen Ausführungen sogar bis ca. 800°C als besonders vorteilhaft bewiesen, wobei die Messungen im Wesentlichen vollständig unabhängig von Verschmutzungen der Sensoren waren. Die dem Dreielektroden-Messprinzip mögliche Applikationsbreite, wie Mehrkanalmessungen, Differenzmessungen als auch die freien Gestaltungsmöglichkeiten für die Sensoren bleiben erhalten und werden folglich von der Erfindung mit abgedeckt.
  • Weitere, mit unmittelbar aus der Messung entstehenden Größen beaufschlagte Regelschaltungen zur Arbeitspunktstabilisierung sind bekanntermaßen von Vorteil und können bei vorliegender Anordnung im Wesentlichen beliebig angeordnet werden. Bei der Erfindung ist ferner von Vorteil, dass das verwendete Stellsignal das Ausgangssignal ohne Änderung der Messempfindlichkeit bezüglich der absoluten Kapazitätsänderung beeinflussen kann.
  • Applikationsspezifisch wird ferner zweckmäßig das übergeordnete Stellsignal aus einem von der Messung unabhängigen, jedoch örtlich oder zeitlich eindeutig definiertem Zustand gebildet. Hierbei wird das übergeordnete Stellsignal bevorzugt aus einem Führungssignal generiert, welches aus dem Ausgangssignal und/oder einem weiteren internen Signal der zugrundeliegenden Messungsvorgaben nach einem vorgegebenen funktionellem Zusammenhang abgeleitet ist.
  • So hat sich bewährt, dass der funktionelle Zusammenhang zur Ableitung des Führungssignals eine Mittelwertbildung des Ausgangssignals über eine wesentlich größere Zeit als die Messzeit ist. Ergänzend oder alternativ kann die übergeordnete Stellgröße auch unter Verwendung eines zum Messsensor identischen Referenzsensors mit konstanter, nicht objektabhängiger Ankopplung sowie einem nachfolgenden zum Messkanal identischen Verstärkerkanal abgeleitet werden.
  • Zweckmäßig kann ferner sein, wenn zwischen den identischen Verstärkerkanälen ein Symmetrieabgleich für den von den angeschlossenen Sensoren definierten Arbeitspunkt ermöglicht wird.
  • Von Vorteil ist ferner, dass die übergeordnete Stellgröße modulierend auf eine für einen extrem großen Stellbereich geeignete Schaltung einwirken kann, der Modulationsgrad frei wählbar ist und damit resultierend ein Grob-Fein-Stellverhalten erzielbar ist.
  • In praktische Weiterbildung wird die Stellgröße zudem einer Schaltungsvorrichtung zugeführt, die zur Ableitung von Warnsignalen geeignet ist.
  • Insbesondere mit dem Einsatz eines Mikrocontrollers lässt sich eine leistungsfähige und variable Regelungsstruktur aufbauen und die Stellgröße leicht erzeugen, z. B. durch Verwendung von Digitalpotentiometern. Besonders bedeutsam ist ferner die Vielfalt eines Mikrocontrollers bei der Ermittlung von Sollgrößen bzw. -werten.
  • Nachfolgend werden drei bevorzugte Ausführungsbeispiele der Erfindung anhand der beigefügten Figuren beschrieben, wobei die Figuren zeigen:
  • 1 ein erstes erfindungsgemäßes Ausführungsbeispiel eines Messsystems mit einem Referenzsensor und einem Messsensor,
  • 2 ein zweites erfindungsgemäßes Ausführungsbeispiel eines Messsystems mit einem beweglich angeordneten Messsensor, und
  • 3 ein drittes erfindungsgemäßes Ausführungsbeispiel eines Messsystems mit einem stationär angeordneten Messsensor und daran vorbeibewegten Messobjekten.
  • Bevor auf die in den Figuren dargestellten Ausführungsbeispiele erfindungsgemäßer Messsysteme im Einzelnen Bezug genommen wird, sei angenommen, dass die Empfindlichkeit eines jeden solchen nach dem Dreielektroden-Messprinzip arbeitenden Messsystems bei vorgegebener Sensorgeometrie im Wesentlichen durch die Gesamtverstärkung der Auswerteelektronik bestimmt wird. Unter Anwendung der Lehre von DE 100 27 507 C1 , gemäß welcher die Sättigung des Verstärkers bei hohem Verstärkungsfaktor durch Mischen der Signalspannung mit einer invertierten Vergleichsspannung verhindert wird, wird gemäß der in den Figuren dargestellten Ausführungsbeispiele der Erfindung eine Offsetverschiebung für die Signalspannung durchgeführt, welche darüber hinaus auch mehrfach hintereinander durchgeführt werden kann.
  • Durch die hierdurch mehrfach anwendbare Offsetverschiebung ermöglicht es die Erfindung folglich, den Verstärkungsfaktor der Verstärkerkette im Wesentlichen beliebig groß zu machen ohne die Sättigung zu erreichen. Die praktische Obergrenze wird durch das Verstärkerrauschen erreicht und die Temperaturstabilität wird mit wachsender Verstärkung vor allem bei DC-Verstärkern immer aufwendiger.
  • Da es schwierig ist, Verstärkerketten mit extrem hoher Verstärkung stabil bezüglich Änderung von Temperatur und anderer Betriebsparameter zu gestalten sowie identisches Übertragungsverhalten mehrerer Verstärkerketten bei gleichzeitiger Offsetverschiebung durch Parallelansteuerung zu erzielen und die temperaturabhängigen Parameter der passiven Sensorperipherie ohnehin vorgegeben sind, werden Stabilität und Identität zumindest in einem benötigten Arbeitspunkt durch eine in den Figuren nicht dargestellte weitere, z. B. der Lehre von DE 100 27 507 C1 folgende, Regelung bewirkt.
  • Außerdem berücksichtigt die Erfindung auch Möglichkeiten der Abstimmung der Verstärkerketten in einer Grob-/Feinabgleich-Aufteilung, wobei das Verhältnis zwischen Grob-/Feinbereich auch variabel sein kann.
  • Ein erstes Ausführungsbeispiel ist in 1 dargestellt. In diesem Blockschaltbild sind, ebenso wie in den weiteren Blockschaltbildern, Strukturen zur Stabilisierung eines Generators 1, bevorzugt die in der DE 100 27 507 C1 erläuterten Strukturen zur Stabilisierung des Generators, nicht dargestellt. Für die nachfolgende Beschreibung aller in den Figuren dargestellten Ausführungsbeispiele wird jedoch grundsätzlich bei allen Ausführungsbeispielen davon ausgegangen, dass die Ausgangsgröße des Generators 1 eine Wechselspannung zwischen einem schaltungsinternen Bezugspunkt 2 und einem Schutzleiterpotential bzw. Umgebungspotential 3 ist und im Wesentlichen stabil und von allen Beeinflussungen unabhängig ist. Auf die Darstellung des Generators ist aus Gründen der Übersichtlichkeit bei 2 und bei 3 verzichtet.
  • Gemäß Ausführungsbeispiel nach 1 integriert das Messsystem zwei Sensoreinheiten, einen Referenzsensor 4 und einen Messsensor 5, die identisch aufgebaut sind, bis auf den Unterschied, dass der Referenzsensor 4 eine feste Ankopplung an das Schutzleiterpotential 3 besitzt und sich im Wirkungsbereich des Messsensors 5 ein zu detektierendes Messobjekt 6 befindet, welches eine veränderliche Ankopplung bewirkt.
  • Die Ausgangssignale der beiden Sensoren 4 und 5 werden zwei identischen Verstärkerkanälen 7 und 8 zugeführt. Die Verstärkerkanäle umfassen eine Verstärkereinheit oder eine Kette von Verstärkereinheiten, und im vorliegenden Fall wenigstens eine AC-Verstärkerstufe, einen Gleichrichter und eine DC-Verstärkerstufe, wobei einzelne oder mehrere Verstärkerstufen von einer äußeren Stellgröße 9, bevorzugt von einer Offsetspannung, abhängige Arbeitspunkte besitzen.
  • Das Ausgangssignal 10 der Verstärkerkette des Referenzkanals 7 wäre somit bei fester Stellgröße 9 sowie idealen Eigenschaften aller seiner Komponenten konstant, ist in der Praxis jedoch abhängig von der Gesamtwirkung aller einzelnen Driftgrößen.
  • Gleiches gilt für das Ausgangssignal 11 der Verstärkerkette des Messkanals 8, allerdings wird hier zusätzlich die Beeinflussung durch das Messobjekt 6 wirksam.
  • Das Ausgangssignal 10 der Verstärkerkette des Referenzkanals 7 wird einer Funktionseinheit 12 zur Generierung der Stellgröße 9 als Istwert zugeführt, wobei die Einheit 12 zur Stellgrößengenerierung zusätzlich mit einem Sollwert 13 beaufschlagt wird. Mittels der am Eingang der Einheit 12 anliegenden Signale 10 und 13 wird das Stellgrößensignal 9 generiert und am Ausgang der Einheit 12 bereitgestellt, von dem aus das Stellgrößensignal 9 wiederum an einander entsprechende Verstärker beider Verstärkerkanäle 7 und 8 gelegt wird. Selbstverständlich kann die Einheit 12 auch eine weitere Signalverstärkungsfunktionalität besitzen.
  • Der Regelkreis, der den Referenzsensor 4, den die Referenzverstärkerkette umfassenden Kanal 7 und die Einheit 12 integriert, bewirkt, dass der durch den Sollwert 13 vorgegebene Arbeitspunkt der Referenzverstärkerkette des Kanals 7 konstant bleibt und die Gesamtwirkung aller Einzeldriften, z. B. verursacht durch Verschmutzung oder temperaturbasiert, eliminiert werden. Im Wesentlichen werden somit alle Drifterscheinungen, also insbesondere sowohl der passiven Bestandteile des Referenzsensors 4 und der hier nicht explizit dargestellten Kabel- und Steckverbindungen zwischen Sensor und Elektronik, als auch aller Bestandteile der Verstärkerkette ausgeregelt. Die einzig verbleibende Größe, deren Drift nicht ausgeregelt wird, ist der Sollwert 13.
  • Der Messkanal 8 wird durch parallele Ansteuerung zum Referenzkanal 7 mit der gleichen Stellgröße 9 auf den gleichen Arbeitspunkt eingestellt. Bei fehlendem Messobjekt 6 entspricht folglich das Ausgangssignal 11 des Messkanals 8 dem Ausgangssignal 10 des Referenzkanals und bei im Wesentlichen idealer Regelung somit dem Sollwert 13. Die Empfindlichkeit der Messung bezüglich der absoluten Kapazitätsänderung am Messsensor 5 wird durch diese übergeordnete Regelung nicht beeinflusst.
  • Durch gleichzeitige Zuführung des Ausgangssignals 11 des Messkanals 8 sowie des Sollwertes 13 zu einem Differenzverstärker 14 wird ein Ausgangssignal 15, beim vorliegenden Beispiel ein analoges Ausgangssignal, gebildet, das im Wesentlichen driftfrei ist und nur durch das Messobjekt 6 bestimmt wird.
  • Mit einem Trigger 19 z. B., lässt sich auf einfachste Weise aus dem Analogsignal 15 ein Grenzwertsignal 20 bilden.
  • Die erzielbare Messauflösung sowie die Konstanz der Messung werden in der beschriebenen Schaltungsstruktur nach weitgehender Eliminierung aller Driftgrößen somit nur noch durch die Identität der Verstärkerkanäle 7 und 8 bestimmt. Vorteilhaft ist hier die Integration der Verstärkerkanäle auf einem Chip.
  • Ferner lässt sich mit einer zweckmäßigen Weiterbildung das Verhalten der erfindungsgemäßen Anordnung noch weiter verbessern. Um die Palette der anschließbaren Sensoren sowie den Wertebereich für den Sollwert 13 sehr groß zu halten, sieht die Erfindung bevorzugt zusätzliche Maßnahmen vor, welche auch ohne die Notwendigkeit der Sicherstellung einer Identität der Verstärkerkanäle 7 und 8 über den gesamten Arbeitsbereich auskommt.
  • In zweckmäßiger Ausführung ist hierzu zusätzlich die Möglichkeit eines Symmetrieabgleichs vorgesehen, mittels welchem die Unsymmetrie beider Kanäle für einen durch die Sensorauswahl erforderlichen Arbeitspunkt minimiert werden kann. Basierend auf 1 werden dazu einer Symmetrieerfassungsschaltung 16 die Ausgangssignale 10 und 11 der beiden Verstärkerkanäle 7 und 8 zugeführt und die aktuelle Differenz über einen Symmetrieindikator 17, z. B. in Form eines tolerierbaren Fensters, angezeigt. Bei nicht vorhandenem Messobjekt 6 kann dann bereits mit Handabgleich 18 dieser Toleranzbereich eingestellt werden. Es wird angemerkt, dass hauptsächlich wegen der Sensorvariabilität ein großer Einstellbereich für die Arbeitspunkte erforderlich ist und der Symmetrieabgleich in der Regel also nur einmalig bei der Inbetriebnahme durchgeführt werden muss. Der Aussteuerbereich durch das Messobjekt 6 ist bei hochempfindlichen Messungen vernachlässigbar klein und hat damit keinen nennenswerten Einfluss auf das Symmetrieverhalten mehr.
  • Ein weiteres Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Messsystems für eine hochempfindliche selbstjustierende bzw. autokalibrierende kapazitive Messung ist in 2 dargestellt. Es sei angenommen, es handelt sich hierbei um ein Messsystem für eine Kollisionsschutzüberwachung für einen Roboter.
  • Gemäß Ausführungsbeispiel nach 2 integriert das erfindungsgemäße Messsystem im vorliegenden Fall lediglich einen Sensor 5, der zweckmäßig auf einem beweglichen Roboterteil, beispielsweise auf dessen Arm, angeordnet ist und in der Bewegung die Umgebung abtastet. Bei Annäherung eines fremden Objekts im Wirkungsbereich des Messsensors 5 stellt sich somit eine sprunghafte Änderung der Ankopplung an ein Schutz- oder Umgebungspotential 3 ein. Das Signal des Messsensors 5 kann z. B. über ein bewegliches Kabel 21 mit der stationären Elektronik verbunden sein, wobei die Schnittstelle zwischen beweglichen und stationären Elementen im Rahmen der Erfindung im Wesentlichen an jeder Stelle des Systems angeordnet sein könnte.
  • Das Signal des Messsensors 5 wird wiederum einem Verstärkerkanal 8 zugeführt und mittels diesem verstärkt. Das Ausgangssignal 11 dieses Messkanals wird einem ADU (Analog-Digital-Umformer) 27 zugeführt, wobei der ADU in diesem Beispiel als Bestandteil eines Mikrocontrollers 26 dargestellt ist. Die aktuelle Position des Roboterarmes wird als Lagesignal 25 aus einer parallel durchgeführten, nicht näher dargestellten Messung, ebenfalls dem Mikrocontroller 26 zugeführt. Das Ausgangssignal 11 des Messkanals nach digitaler Umformung ist mit dem Bezugszeichen 28 belegt.
  • Die praktische Umsetzung einer Schaltungseinrichtung zur Generierung einer übergeordneten Stellgröße 23 sieht gemäß 2 vor, dass in einem Sollwertspeicher 31 des Mikrocontrollers 26, z. B. in einem teach-in Lauf, die zu bestimmten Position zugehörigen Werte bei ungestörter Umgebung eingegeben und abgespeichert sind. Das geschieht vorteilhafterweise in ausgesuchten Positionen des Roboters, wo die Anwesenheit fremder Objekte sicher ausgeschlossen werden kann.
  • Im laufenden Betrieb wird jedes Mal beim Erreichen einer solchen bestimmten bzw. ausgesuchten Position im Funktionsblock 30, der einen Sollwertabgleich durchführt, ein Vergleich des entsprechenden aktuell verstärkten und umgeformten Messwertes 28 mit dem im Speicher 31 zu der Position abgelegten Wert durchgeführt. Im Funktionsblock 29 wird daraus eine Stellgröße 23 für ein Digitalpotentiometer 22 gebildet und das Signal 11 auf den abgelegten Wert angeglichen. Damit werden wiederum alle die Messungen verfälschenden Einflüsse eliminiert, also neben den bereits erwähnten Drifterscheinungen auch Ablagerungen oder andere Veränderungen am Messsensor 5. Je langsamer die durch diese Einflüsse verursachten Veränderungen gegenüber echten Signaländerungen durch zu erfassende Messobjekte ablaufen, desto größere Zeitintervalle reichen aus, diese Korrekturen vorzunehmen. Der Messwert 28 wird ferner einem Funktionsblock 32 zur Bildung eines Ausgangssignals 24 zugeführt, der somit wiederum ein im Wesentlichen driftfreies und nur durch fremde Objekte bei gestörter Umgebung des Wirkbereichs des Messsensors 5 beeinflusstes Ausgangssignal 24 ausgibt.
  • Für den Fall, dass z. B. durch mechanische Beschädigungen am Messsensor 5 ein Abgleich nicht mehr möglich ist, wird zweckmäßig mit einer Funktionseinheit 33 zur Überwachung der Stellgröße 23 zusätzlich ermittelt, ob ein vorgegebener Stellbereich verlassen wird und gegebenenfalls über einen Alarmausgang einer Funktionseinheit 34 zur Generierung eines Alarms ein Alarmsignal 35 ausgegeben.
  • Eine weitere vorteilhafte, bei den Figuren jedoch nicht dargestellte Ausgestaltung für das Stellverhalten ist die Parallelschaltung eines normalen Potentiometers zum Digitalpotentiometer 22. Damit ist eine Aufteilung in einen Grobabgleich, im Wesentlichen für die Anpassung an den Messsensor 5, sowie ein Feinabgleich möglich, wobei der Feinabgleich die Aussteuerung durch den Messsensor 5 sowie die Gesamtwirkung aller Drifterscheinungen umfasst. Da die Parallelschaltung zweier Potentiometer herkömmlicherweise zu nichtlinearem Stellverhalten führt, ist es in diesem Fall ferner vorteilhaft, über anwendungsspezifisch geeignet angepasste Schaltungsanordnungen sowohl eine Linearisierung als auch eine Wichtung des Anteiles des Digitalpotentiometers 22 zu bewirken.
  • Ein weiteres Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Messsystems für eine hochempfindliche selbstjustierende kapazitive Messung ist in 3 dargestellt. Eine solche eignet sich beispielsweise für eine Fließ- oder Bewegungsüberwachung, z. B. ob Material 6 auf einem Förderband bewegt wird oder das Band leer bzw. verstopft ist.
  • Gemäß Ausführungsbeispiel nach 3 integriert das erfindungsgemäße Messsystem im vorliegenden Fall einen Messsensor 5, dessen verstärktes Messsignal 11 und anschließend über den ADU 27 digitalisiertes Signal 28 gleichzeitig den Funktionseinheiten 36 und 38 zugeführt wird. Die Funktionseinheit 36 bildet periodisch den Mittelwert des Signals 28 über eine längere Zeit, z. B. über 10 s. Hierfür ist gemäß 3 ein Taktgeber 37 mit der Funktionseinheit 36 entsprechend gekoppelt. Damit wird der Gleichanteil des Signals 28 ermittelt, der von der Funktionseinheit 29 zur Stellgröße 23 weiterverarbeitet wird. Über das Digitalpotentiometer 22 wird in bereits beschriebener Weise die Offsetspannung des Verstärkerkanals 8 verändert. Dieser damit geschlossene Regelkreis bewirkt die Ausregelung aller gegenüber den zu überwachenden Fließ- und Bewegungsvorgängen niederfrequenteren Drift- und Störgrößen. Besonders vorteilhaft ist dabei die erzielbare Ausregelung der Wirkung von Ablagerungen am Messsensor 5, z. B. auch bei staubabsondernden Produkten oder Materialien.
  • Die Funktionseinheit 38 wertet hingegen den höherfrequenten Anteil (bei 3 mit AC-Anteil bezeichnet) des Signals 28 aus. Die durch die Materialbewegungen hervorgerufenen und durch den Messsensor 5 erfassten AC-Signalanteile weisen ein charakteristisches Frequenzspektrum auf, wohingegen bei Materialstillstand nur noch das vernachlässigbare Eigenrauschen der Verstärker auftritt. Somit kann über die Funktionseinheit bzw. den Funktionsblock 32 wiederum ein Ausgangssignal 24 gebildet werden, welches die gewünschte Aussage darstellt. Die Überwachung des Stellbereiches erfolgt in der bereits in Bezug auf 2 geschilderten Weise.
  • Diese Ausführungsbeispiele lassen erkennen, dass die Verwendung der erfindungsgemäßen übergeordneten Regelung bei vielen weiteren Applikationen möglich ist und darüber hinaus besonders günstig dann, wenn zu erfassende Abläufe, insbesondere auch periodische Abläufe, mit eindeutig definierten Zuständen auftreten. Dann sind extrem empfindliche Messungen bei höchster Konstanz sowie im Wesentlichen keinerlei Beeinflussung des Zeitverhaltens möglich, da die zu eliminierenden Driftgrößen immer in wesentlich größeren Zeiträumen als die Messzeiträume wirken.
  • Die unter Bezugnahme auf die Figuren beschrieben Ausführungsbeispiele eines erfindungsgemäßen kapazitiven Messsystems nach dem Dreielektroden-Messprinzip sind nicht einschränkend sondern lediglich beispielhaft. So lassen sich die einzelnen Merkmale, soweit nicht ausdrücklich anders hervorgehoben auch miteinander in vielfältiger Weise kombinieren.
  • Bezugszeichenliste
  • 1
    Generator
    2
    internes Bezugspotential
    3
    Schutzleiterpotential
    4
    Referenzsensor
    5
    Messsensor
    6
    Messobjekt
    7
    Referenz-Verstärkerkanal
    8
    Mess-Verstärkerkanal
    9
    Stellgröße
    10
    Ausgangssignal Referenzkanal
    11
    Ausgangssignal Messkanal
    12
    Funktionseinheit zur Generierung einer Stellgröße
    13
    Sollwert
    14
    Differenzverstärker
    15
    Analogsignal
    16
    Symmetrieerfassungsschaltung
    17
    Symmetrieindikator
    18
    Symmetrie-Handabgleich
    19
    Trigger
    20
    Grenzwertsignal
    21
    flexibles Sensorkabel
    22
    Digitalpotentiometer
    23
    Stellgröße
    24
    Ausgangssignal
    25
    Lagesignal
    26
    Mikrocontroller
    27
    ADU
    28
    digitalisiertes Messsignal
    29
    Funktionseinheit zur Stellgrößenbildung
    30
    Funktionseinheit zur Sollwertabgleichung
    31
    Funktionseinheit zur Sollwertspeicherung
    32
    Funktionseinheit zur Bildung des Ausgangssignals
    33
    Funktionseinheit zur Überwachung der Stellgröße
    34
    Funktionseinheit zur Generierung eines Alarms
    35
    Alarmsignal
    36
    Funktionseinheit zur Mittelwertbildung
    37
    Taktgeber
    38
    Funktionseinheit zur Auswertung hoher Frequenzen

Claims (9)

  1. Kapazitives Messsystem nach dem Dreielektroden-Messprinzip mit einer Struktur zur Stabilisierung eines Generators (1), um eine im Wesentlichen stabile und von allen Beeinflussungen unabhängige Generatorausgangsspannung (2, 3) bereitzustellen, und mit wenigstens einem Messsensor (5) zur Messung einer in dessen Wirkungsbereich auftretenden Kapazitätsänderung sowie mit einer elektronischen Auswerteeinrichtung, die eine Schaltungsstruktur zur Ermittlung der bei der Messung dieses Messsensors (5) auftretenden absoluten Kapazitätsänderung aufweist, wobei das Ausgangssignal dieses Messsensors (5) einem Verstärkerkanal (8) mit wenigstens einer Verstärkerstufe zugeführt wird, dadurch gekennzeichnet, dass die elektronische Auswerteeinrichtung ferner eine Schaltungseinrichtung (12; 27, 29, 30, 31; 29, 36, 37) besitzt, die innerhalb der Schaltungsstruktur in einem Regelkreis zur Autokalibration der Schaltungsstruktur integriert und angepasst ist zum Verarbeiten eines Eingabesignals (10, 13; 11, 28, 25, 30; 11, 28, 37, 36), welches von der Messung unabhängig ist, jedoch örtlich (25) und/oder zeitlich (37) in eindeutig definiertem Zustand zur Messung steht und/oder welches ein aus einem weiteren internen Signal (10, 13; 28, 37) des Messsystems nach einem vorgegebenen funktionellem Zusammenhang (4, 7; 36) abgeleitetes Signal ist, und zur Generierung einer übergeordneten Stellgröße (9, 23), und zwar zur Veränderung des Ausgangssignals (11) des Verstärkerkanals (8) ohne Änderung der Messempfindlichkeit bezüglich der absoluten Kapazitätsänderung, wobei die generierte Stellgröße (9, 23) mittels der Regelkreisintegration wenigstens einer Verstärkerstufe des Verstärkerkanals (8) zugeführt wird, um eine Offsetverschiebung für diese zu bewirken.
  2. Messsystem nach Anspruch 1, welches eine Regelschaltung zur Arbeitspunktstabilisierung unter Verwendung zumindest eines unmittelbar aus der Messung abgeleiteten Signals besitzt.
  3. Messsystem nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der funktionelle Zusammenhang (4, 7; 36) des aus dem weiteren internen Signal (10, 13; 28, 37) des Messsystems durch ein aus einer vorgegebenen Korrelation abgeleiteten Signals eine Mittelwertbildung (36) des Ausgangssignals (11) über eine wesentlich größere Zeit als die korrespondierende Messzeit ist.
  4. Messsystem nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass der funktionelle Zusammenhang (4, 7; 36) des aus dem weiteren internen Signal (10, 13; 28, 37) des Messsystems durch ein aus einer vorgegebenen Korrelation abgeleiteten Signals unter Verwendung eines Referenzsignals (10) von einem zum Messsensor (5) identischen Referenzsensor (4) mit konstanter, nicht objektabhängiger Ankopplung sowie einem dem Messsensor (5) nachfolgenden Verstärkerkanal (8) identischen Verstärkerkanal (7) abgeleitet ist.
  5. Messsystem nach vorstehendem Anspruch, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen den identischen Verstärkerkanälen (7, 8) ein Symmetrieabgleich der Verstärkung für den von den angeschlossenen Sensoren (4, 5) definierten Arbeitspunkt gegeben ist.
  6. Messsystem nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Schaltungsstruktur für einen Stellbereich angepasst ist und die übergeordnete Stellgröße (9, 23) modulierend auf diese Schaltungsstruktur einwirkt, wobei der Modulationsgrad zur Einstellung eines Grob-/Fein-Stellverhaltens einstellbar ist, und wobei ein im Wesentlichen beliebig großer Verstärkungsfaktor des Verstärkerkanals (7, 8) wählbar ist, ohne die Sättigung zu erreichen und die praktische Obergrenze durch das Verstärkerrauschen erreicht wird.
  7. Messsystem nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Stellgröße (9, 23) ferner einer Funktionseinheit zur Überwachung der Stellgröße (33) zur Ableitung von Warnsignalen (35) zugeführt wird.
  8. Messsystem nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Schaltungseinrichtung Teil eines Mikrocontrollers (26) ist.
  9. Messsystem nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, wobei im Fall eines von der Messung unabhängigen, jedoch örtlich in eindeutig definiertem Zustand zur Messung stehenden Eingabesignals in einem teach-in Lauf, die zu bestimmten Positionen zugehörigen Werte bei ungestörter Umgebung eingegeben und abgespeichert werden und im laufenden Betrieb jedes Mal beim Erreichen einer solchen bestimmten ausgesuchten Position ein Abgleich auf die eingespeicherten Werte durchführt wird.
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