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Die
vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Steuerung eines
Gasflusses zwischen zumindest zwei voneinander getrennten Rezipienten, umfassend
ein Gasrezipienten-Verbindungselement mit
mindestens einer Öffnung
für den
Gasfluß zwischen
den beiden Re zipienten, eine Einrichtung zum Erzeugen eines elektrischen
Feldes und eine Einrichtung zum Erzeugen eines magnetischen Feldes,
wobei die Einrichtungen so ausgestaltet sind, daß das elektrische Feld sowie
das magnetische Feld in der Öffnung
erzeugbar sind.
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Ventile
zur Steuerung oder Regulierung von Strömungen von Gasen sind aus dem
Stand der Technik allgemein bekannt. Dabei werden meist mechanische
Lösungen
verwendet, bei denen beispielsweise durch Verschrauben oder Verschieben
zweier Teile eine Öffnung
zwischen zwei Rezipienten oder Kammern vergrößert bzw. verkleinert werden
kann. Der Querschnitt der Öffnung
bestimmt die Anzahl der das Ventil durchdringenden Gasteilchen pro
Zeiteinheit in Abhängigkeit
von einer Druckdifferenz zwischen den zwei ansonsten voneinander
getrennten Kammern. Der Nachteil solcher mechanisch variierbarer
Durchflußregelungen,
wie z.B. mittels Küken, Tellerventilen
oder Nadelventilen, ist deren hohe mechanische Trägheit, die
sich vor allem bei Anwendungen, bei denen es auf schnelles und impulsförmiges An-
und Abschalten von Gasdurchflüssen
ankommt, unvorteilhaft auswirkt.
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Zum
Einkoppeln von Teilchenstrahlen jeglicher Art von einem Ultrahochvakuum(UHV)-Rezipienten in einen
Rezipienten mit Gasballast sind mechanische Ventilsysteme vollkommen
ungeeignet. Hierbei wird bislang auf ein sogenanntes differenzielles
Pumpen zurückgegriffen,
bei dem zwischen zwei Rezipienten mit unterschiedlichen Gasdrücken leistungsfähige Pumpsysteme
geschaltet werden, um den korrespondierenden Druckgradienten aufrechtzuerhalten.
Eine solche technisch aufwendige Vorrichtung ist mit hohen Kosten
und mit einem großen Platzbedarf
verbunden. Nachteilig ist auch der hohe Energieverbrauch der differenziellen
Pumpstände.
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Eine
weitere Methode zur permeablen Trennung von Rezipienten basiert
auf der Verwendung von sehr dünnen
Metall- oder Siliziummembranen. Eine solche Membran muß dabei
einerseits stabil genug sein, um einen Druckunterschied zwischen
den beiden Rezipienten aushalten und aufrechterhalten zu können, andererseits
aber dünn
genug sein, um den Transfer einer ausreichenden Anzahl von beispielsweise
hochenergetischen Partikeln vom UHV-Rezipienten in einen Target-Rezipienten
mit Gasballast zu ermöglichen.
Die Haltbarkeit einer solchen aufwendig hergestellten Membran ist
aufgrund der Wechselwirkungen zwischen dem Teilchenstrahl und der
Membran sehr kurz. Bei vorzeitigem Versagen der Membran kann es
zu einem unbeabsichtigten Fluten des UHV-Rezipienten kommen. Zudem muß zum Austausch
der Membran das Vakuumsystem stets geflutet und anschließend wieder
abgepumpt werden.
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Eine
neue Technologie nutzt das so genannte Plasmafenster. Bei einem
Plasmafenster wird innerhalb eines zylinderförmigen Durchgangssegments zwischen
einem UHV-Rezipienten und einem Gasballast-Rezipienten entlang der
Strömungsrichtung
des Gases eine Bogenentladung gezündet. Die resultierende Temperaturerhöhung bewirkt
eine Verringerung der Gasdichte in dem Durchgangssegment. Da der
Gasfluß proportional
zur Dichte des Mediums ist, wird der damit verbundene Gasdurchsatz im
Segment um einige Größenordnungen
reduziert. Der Gasdurchfluß ist
desweiteren abhängig
von der Temperatur des Plasmas im korrespondierenden Durchgangssegment
und kann entsprechend durch Justage der Temperatur geregelt werden.
Eine vollständige
Unterbindung des Gasflusses ist hierbei jedoch nicht möglich, weswegen
man stets auf ein UHV-Pumpsystem angewiesen bleibt. Im Gegensatz zum
differenziellen Pumpen kann man sich allerdings mit wesentlich kleineren
Pumpsystemen begnügen.
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Aus
der
WO 00/00741 ist
eine gattungsgemäße Vorrichtung
in Form einer Plasmapumpe bekannt, bei der das elektrisch geladene
Plasma mit Hilfe eines elektrischen Feldes von einer ersten Kammer
durch Öffnungen
in eine zweite Kammer befördert
wird, wobei das Plasma entlang der Feldlinien eines magnetischen
Hexopolfeldes durch die Öffnungen
geleitet wird. Ziel der Plasmapumpe ist es, in der ersten Kammer
einen außerordentlich
niedrigen Gasdruck zu erreichen, und nicht einen inhärenten Gasfluß zu steuern.
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Der
vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zur Grunde, die gattungsgemäße Vorrichtung
derart weiterzuentwickeln, daß der
Gasfluß zwischen
den beiden Rezipienten bei möglichst
kurzer Reaktionszeit steuerbar oder regelbar ist, dabei aber stets
für Teilchenstrahlen
grundsätzlich
durchlässig
bleibt.
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Diese
Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch
gelöst,
daß in
der Öffnung
die Bewegungsrichtung des Gasflusses, das elektrische Feld und das magnetische
Feld jeweils senkrecht zueinander stehen, und
in der Öffnung geladene
Teilchen eines über
das elektrische Feld gezündeten
Plasmas in dem magnetischen Feld mit einer Lorenzkraft zur Beschleunigung
parallel sowie entgegengesetzt der Bewegungsrichtung des Gasflusses
zur Regulierung desselben beaufschlagbar sind.
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Dabei
kann vorgesehen sein, daß der
eine Rezipient einen Gasballast und der andere Rezipient ein Ultrahochvakuum
(UHV) beherbergt.
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Erfindungsgemäß kann dabei
wiederum vorgesehen sein, daß in
dem Gasballast-Rezipienten zumindest ein Target für mindestens
einen Teilchenstrahl, der über
den UHV-Rezipienten und das Rezipienten-Verbindungselement in den
Gasballast-Rezipienten gelangt, anordbar ist.
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Erfindungsgemäß bevorzugt
ist, daß die
Einrichtung zum Erzeugen des elektrischen Feldes zwei sich gegenüberliegende
Elektroden umfaßt,
wobei die an die Elektrode zum Erzeugen des elektrischen Feldes
anzulegende Spannung vorzugsweise über eine erste Steuer- oder
Regeleinheit steuerbar oder regelbar ist.
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Dabei
kann vorgesehen sein, daß die
Elektroden zur Begrenzung der Öffnung
des Rezipienten-Verbindungselements angeordnet sind.
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Ausführungsform
der Erfindung sind ferner dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung
zum Erzeugen des magnetischen Feldes zumindest einen Permantmagneten
mit zwei einander gegenüberliegenden
Polen und/oder zumindest einen Elektromagneten umfaßt, wobei
der Elektromagnet vorzugsweise wenigstens eine elektrische Spule
umfaßt,
insbesondere in Kooperation mit einem sich durch das Innere der
Spule erstreckenden magnetisierbaren Joch mit zwei einander gegenüberliegenden
Polen.
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Dabei
kann vorgesehen sein, daß die
Stromstärke
durch die Spule zur Erzeugung des magnetischen Feldes über eine
zweite, insbesondere mit der ersten Steuer- oder Regeleinheit ausgeführte, Steuer-
oder Regeleinheit steuerbar oder regelbar ist, wobei das Magnetfeld
vorzugsweise zumindest bereichsweise, insbesondere in der Umgebung
des geometrischen Zentrums der Öffnung,
im wesentlichen homogen ausbildbar ist.
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Erfindungsgemäß bevorzugt
ist weiterhin, daß die
Pole zur Begrenzung der Öffnung
des Rezipienten-Verbindungselements angeordnet sind, senkrecht zu
den Elektroden, insbesondere jeweils unter Zwischenschaltung zumindest
eines Isolators.
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Ausführungsformen
der Erfindung können auch
gekennzeichnet sein, durch zumindest einen Sensor, insbesondere
zur Erfassung der Gasdichte in zumindest einem der Rezipienten,
vorzugsweise in Wirkverbindung mit der ersten und/oder zweiten Steuer-
oder Regeleinheit.
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Mit
der Erfindung wird ferner vorgeschlagen, daß das Rezipienten-Verbindungselement
beidseits seiner Öffnung
mit einem Rezipienten, insbesondere jeweils über einen anschraubbaren Flansch,
vorzugsweise in Form eines Conflat (CF)-Flansches, verbindbar ist.
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Auch
kann vorgesehen sein, daß ein
Teilchenstrahl durch einen UHV-Rezipienten und ein Rezipienten-Verbindungselement
in einen Gasballast-Rezipienten, vorzugsweise auf zumindest ein Target
in dem Gasballast-Rezipienten, richtbar ist.
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Des
weiteren wird vorgeschlagen, daß zwei Rezipienten-Verbindungselemente
zwischen drei Rezipienten angeordnet sind.
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Dabei
kann vorgesehen sein, daß ein
Teilchenstrahl durch einen UHV-Rezipienten unter Aufteilung des
Teilchenstrahls in zwei Rezipienten-Verbindungselemente und zwei
Gasballast-Rezipienten, vorzugsweise
jeweils auf zumindest ein Target in einem Gasballast-Rezipienten,
richtbar ist.
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Mit
der Erfindung wird vorgeschlagen, daß die Vorrichtung ein Plasmaventil,
eine Einkoppelvorrichtung, eine Anregungsvorrichtung und/oder ein Durchgangsfenster
für einen
hochenergetischen Teilchenstrahl darbietet.
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Die
Erfindung liefert des weiteren ein Verfahren zur Steuerung eines
Gasflusses mittels einer erfindungsgemäßen Vorrichtung; das seinerseits
weitere Kennzeichen ist, daß aufgrund
einer Druckdifferenz zwischen zwei Rezipienten Gas von dem einen Rezipienten
zu dem anderen Rezipienten über
ein dazwischen angeordnetes Rezipienten-Verbindungselement längs einer
Gasströmungsrichtung
I strömt,
zwischen
zwei Elektroden des Rezipienten-Verbindungselements ein Plasma erzeugt
wird, die positiv geladenen Teilchen des Plasmas sich zur Kathode und
die negativ geladenen Teilchen des Plasmas sich zur Anode bewegen,
so daß ein
Strom J von der Anode zur Kathode fließt,
während der Bewegung der geladenen
Teilchen dieselben durch ein senkrecht auf die Stromrichtung J stehendes
Magnetfeld B mit einer Lorenzkraft F beaufschlagt wurden, die der
Gasströmungsrichtung
I entgegenwirkt, und
die durch die Lorenzkraft F beschleunigten
geladenen Teilchen des Plasmas in Wechselwirkung mit dem Gasfluß durch
Stöße kommen,
wodurch der Gasfluß reguliert
wird.
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Dabei
kann vorgesehen sein, daß über die Variation
des Magnetfelds B der Gasfluß von
dem einen Rezipienten zu dem anderen Rezipienten eingestellt wird
ist, selbst die beiden Rezipienten ohne materielle Wand voneinander
getrennt werden können.
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Schließlich wird
mit der Erfindung auch vorgeschlagen, daß das Magnetfeld B in Abhängigkeit von
Messdaten, insbesondere der in zumindest einen der beiden Rezipienten
erfaßten
Gasdichte, vorzugsweise bei Verwendung eines Elektromagneten zum
Erzeugen des Magnetfeldes B durch Variation der an diesen angelegten
Stromstärken,
geregelt wird.
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Der
Erfindung liegt die überraschende
Erkenntnis zur Grunde, daß in
einer Gasströmung durch
Anlegen eines elektrischen Feldes ein Plasma zündbar ist, dessen geladene
Bestandteile über
ein zum elektrischen Feld senkrecht stehendes magnetisches Feld
und die dadurch wirkende Lorenzkraft beschleunigbar ist, und zwar
in die der intrinsischen Gasströmung
entgegen gesetzten Richtung. Demnach wird zunächst, wie bei einem Plasmafenster,
in einer Öffnung
eines Gasrezipienten-Verbindungselements zwischen zwei Rezipienten
mit unterschiedlichen Gasdrücken
durch eine elektrische Entladung zwischen zwei Elektroden ein Plasma
erzeugt. Sowohl den positiv geladenen Ionen als auch den Elektronen
dieses sich bewegenden Plasmas werden dann durch ein geeignet orientiertes
magnetisches Feld über
die Lorenzkraft ein Impuls gegeben, der senkrecht sowohl zum elektrischen
Feld als auch zum magnetischen Feld orientiert ist. So gelingt es, die
Ionen sowie Elektronen des Plasmas entgegen der durch die Druckdifferenz
in den beiden Rezipienten entstehenden Strömung zu beschleunigen. Der Impuls
des so beschleunigten Plasmas überträgt sich durch
Stöße der Ionen
des Plasmas auf die strömenden
Gasteilchen und kann so der Strömung
entgegenwirken, selbst die Rezipienten gänzlich voneinander trennen,
ohne materielle Wände.
Somit stellt die erfindungsgemäße Vorrichtung
ein Plasmaventil (Magneto-Hydrodynamisches-Plasmaventil) dar, das auch
als Einkopplungsvorrichtung fungieren kann. Zudem erfüllt es die
Funktion eines Durchgangsfensters für hochenergetische Teilchenstrahlen.
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Wird
das magnetische Feld in einer erfindungsgemäßen Vorrichtung mit Hilfe einer
Spule und eines Eisenkerns erzeugt, kann die Magnetfeldstärke durch
Variationen des Spulenstroms eingestellt werden. Das Verstärken des
Magnetfelds bewirkt eine Verstärkung
der auf das Plasma wirkenden Lorenzkraft und damit eine Erhöhung des
Impulses des Plasmas parallel, aber entgegengesetzt zum eigentlichen
Gasfluß durch
die Vorrichtung. Die Regelung der Gasströmung erfolgt also über elektrische
und magnetische Felder, was eine hohe Regelungsschnelligkeit der
Steuerung sicherstellt, da die Reaktionszeit auf externe Steuersignale
sehr kurz ist, selbst im Bereich von μs liegt. Ist das Magnetfeld ausreichend
stark und die Strömung
der Gasteilchen ausreichend schwach, gelingt es bei geeigneter Feldstärke sogar,
die Strömung
völlig
zu unterbinden. Dies gelingt nämlich
genau dann, wenn die durch das Magnetfeld auf das Plasma übertragene
Energie genauso groß ist
wie die kinetische Energie der Gasteilchen. Damit sind die beiden
Rezipienten mit unterschiedlichen Druckbereichen ohne materielle
Wände voneinander
getrennt, wie bereits erwähnt.
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Die
Erfindungsgemäße Vorrichtung
kann demnach in der Hochvakuumtechnik, insbesondere zur Trennung
von Rezipienten unterschiedlicher Gasdrücke, als schnell schaltbares
Ventilsystem beispielsweise für
den Beschleunigerbereich, als Koppelfenster insbesondere für hochenergetische
Teilchenstrahlen, zum Anregen von Excimer-Lasern oder zur Anregung
von VUV-Emittern (Vakuum-Ultraviolett-Emittern) genutzt werden.
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Weitere
Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden
Beschreibung, in der ein Ausführungsbeispiel
der Erfindung anhand von schematischen Zeichnungen im Einzelnen
erläutert
ist. Dabei zeigt:
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1 eine
Teillängsschnittansicht
einer erfindungsgemäßen Vorrichtung;
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2 eine
perspektivische Ansicht der Vorrichtung von 1;
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3 eine
perspektivische Ansicht eines Teils der Vorrichtung von 1;
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4 eine
Explosionsdarstellung des Teils von 3;
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5 eine
perspektivische Ansicht der Vorrichtung von 1, angeschlossen
an zwei Rezipienten; und
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6 eine
Explosionsansicht zweier erfindungsgemäßer Vorrichtungen von 1 und
drei damit verbindbare Rezipienten.
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1 zeigt
einen Schnitt durch eine erfindungsgemäße Vorrichtung in Form eines
Gasrezipienten-Verbindungselements 1. Das Gasrezipienten-Verbindungselement 1 verbindet
zwei Rezipienten 2 und 3 über Flansche 4 mit
Hilfe von Schrauben 5 und Muttern 6. Mittels einer
Anode 7 und einer Kathode 8 ist im Innern des
Gasrezipienten-Verbindungselements 1 bei Strömung eines
Gases (nicht gezeigt) dadurch über
eine Gasentladung ein Plasma 9 zündbar. Die Anode 7 und
die Kathode 8 fungieren gleichzeitig als begrenzende Flächen des
Gasrezipienten-Verbindungselements 1. Eine stromdurchflossene
Spule 10 dient dem Erzeugen eines Magnetfelds, das mit
Hilfe eines Eisenjochs 11 über zwei magnetische Pole 12,
in 1 in der Bildebene vor- und hinter dem Plasma 9, übertragen
wird.
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2 zeigt
das Gasrezipienten-Verbindungselement 1 in einer räumlichen
Darstellung zur Verdeutlichung der Position der beiden magnetischen
Pole 12, wobei die beiden Rezipienten 2 und 3 nicht
dargestellt sind. Die der Anode 7 gegenüberliegende Kathode 8 ist
in dieser Figur ebenso nicht zu sehen, läßt sich jedoch als Bodenfläche einer Öffnung 13 im
Flansch 4 erahnen. Die Elektroden darstellende Anode 7 und
Kathode 8 sind jeweils über
einen elektrischen Isolator 14 mechanisch mit einem magnetischen
Pol 12 verbunden, aber galvanisch von den magnetischen
Polen 12 derart getrennt, daß nur die Öffnung 13 zwischen
den beiden Re zipienten 2 und 3 verbleibt. Zudem
sind elektrische Anschlüsse 15 zu
der Spule 10 auf dem Eisenjoch 11 vorgesehen.
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In 3 ist
das Funktionsprinzip der erfindungsgemäßen Vorrichtung als Plasmaventil 1 veranschaulicht. 4 verdeutlicht
als Explosionszeichnung von 3 hierbei
lediglich die Anordnung der Anode 7, der Kathode 8,
der magnetischen Pole 12 und der Isolationsschicht 14,
wobei die Elektroden 7, 8 parallel zueinander
und senkrecht zu den Polen 12 verlaufen. Das Plasma 9 wird
danach beim Durchströmen
der Öffnung 13 von
einem Gas aus einem Rezipienten 2 in den anderen Rezipienten 3 durch eine
Gasentladung zwischen den zwei Elektroden 7 und 8 gezündet. Die
positiv geladenen Ionen (nicht gezeigt) des Plasmas 9 werden
dabei von der Kathode 8 angezogen, während die Elektronen (nicht
gezeigt) von der Anode 7 angezogen werden, und sowohl die
Ionen als auch die Elektronen bewegen sich dabei im Magnetfeld B
der Pole 12. Genauer gesagt bewegen sich die positiven
Ionenrümpfe
als Strom J in Richtung der Kathode 8, und das senkrecht
zur Bewegungsrichtung J stehende Magnetfeld B läßt eine Kraft F auf die geladenen
Teilchen wirken, nämlich die
so genannte Lorenzkraft:
F → = ∫dV J → × B →, mit
dV als dem Differential des Volumens V des Plasmas 9.
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Die
Lorenzkraft F wirkt demnach senkrecht zur Bewegungsrichtung J der
Ionen und senkrecht zur Richtung des Magnetfelds B.
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Sind
also das elektrische und magnetische Feld sowie die inhärente Strömung J des
Gases durch das Plasmaventil 1 orthogonal zueinander ausgerichtet,
so läßt sich
bei geeigneter Polung des elektrischen und magnetischen Feldes durch
die Lorenzkraft F ein Impuls auf die Ionen des Plasmas 9 übertragen,
der der eigentlichen Richtung der Strömung I des Gases von dem Rezipienten
mit dem höheren Druck,
z.B. von dem Rezipienten 2, zu dem Rezipienten mit dem
niedrigeren Druck, z.B. dem Rezipienten 3, entgegen wirkt.
Ist das Magnetfeld B stark genug, so läßt sich bei geeigneter Dichte
des Plasmas 9 die Strömung
des Gases selbst vollständig
aufhalten. Physikalisch ist dies genau dann erreicht, wenn der durch
die Lorenzkraft F induzierte Impuls genauso groß ist wie der Impuls der strömenden Gasteilchen, der
durch die Druckdifferenz zwischen den beiden Rezipienten 2, 3 und
die Querschnittsfläche
der Öffnung 13 gegeben
ist.
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Wird
der Strom durch die Spule 10, die zusammen mit dem Eisenjoch 11 und
den Polen 12 einen Elektromagneten bildet, reduziert, so
verringert sich in gleichem Maße
die Feldstärke
des Magnetfelds B, das auf das Plasma 9 einwirkt. Die Lorenzkraft
F verringert sich daher und somit auch der Impuls der Ionen im Plasma 9.
Ist der Impuls der Ionen im Plasma 9 kleiner als der Impuls
der strömenden Gasteilchen,
so verbleibt eine Strömung
von dem Rezipienten 2 zu dem Rezipienten 3, die
der Impulsdifferenz der strömenden
Gasteilchen und der Ionen direkt proportional ist.
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So
gelingt es, mit Hilfe des als Plasmaventil ausgebildeten Gasrezipienten-Verbindungselements 1 den
Gasfluß zwischen
den beiden Rezipienten 2, 3 schnell, effizient
und genau über
den an die Anschlüsse 15 angelegten
Strom, also den Spulenstrom, zu steuern. Um die hohe Geschwindigkeit
dieser Regelung möglichst
effizient zu nutzen, kann die Steuerung des Spulenstroms und der
Elektrodenspannung einem Mikroprozessor (nicht gezeigt) überlassen
werden. Dieser Prozessor kann aufgrund von Sensordaten (Sensor ebenfalls
nicht gezeigt) den Gasfluß von
dem einen Rezipienten zu dem anderen Rezipienten mit hoher Geschwindigkeit
steuern.
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Da
ein Plasma 9 eine ähnliche
Dichte wie Gas hat, kann ein hochenergetischer Ionenstrahl (nicht
gezeigt) die Öffnung 13 des
Plasmaventils praktisch ungehindert durchlaufen.
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Die 5 und 6 zeigen
in einer räumlichen
Darstellung mögliche
Konfigurationen zum Anschließen
eines erfindungsgemäßen Gasrezipienten-Verbindungselements 1 an
verschiedene Rezipienten 2 und 3.
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Beispielsweise
kann ein hochenergetischer Teilchenstrahl 16 durch eine
Leitung 17 mit einer Beschleunigerstruktur 18 in
einen UHV-Rezipienten, hier Rezipient 3, gelangen. Der
Teilchenstrahl 16 kann anschließend durch ein Gasrezipienten-Verbindungselemente 1 in
einen Rezipienten mit einem Gasballast, hier Rezipient 2,
geleitet werden, in dem sich ein Target (nicht gezeigt) für den Teilschenstrahl 16 befindet,
wie in 5 dargestellt. Alternativ kann aber der Teilchenstrahl 16 auch
in dem UHV-Rezipienten 3 aufgeteilt werden, so daß ein erster
Teilchenstrahl zu einem ersten Gasballast-Rezipienten 2 und ein
zweiter Teilchenstrahl zu einem zweiten Gasballast-Rezipienten 2 gelangt,
wie 6 zu entnehmen ist.
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Mit
Hilfe jeder als Plasmaventil ausgebildeten Gasrezipienten-Verbindungselements 1 ist
es bei den Einsatzbeispielen der 5 und 6 möglich, den
für das
jeweilige Target notwendigen Gasdruck aufrechtzuerhalten, ohne das
UHV der Beschleunigerstruktur 18 zu verschlechtern.
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Die
in der vorstehenden Beschreibung, den anliegenden Ansprüchen sowie
der zugefügten Zeichnungen
offenbarten Merkmale der Erfindung können sowohl einzeln als auch
in jeder beliebigen Kombination für die Verwirklichung der Erfindung
in ihren verschiedenen Ausführungsformen
wesentlich sein.
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- 1
- Gasrezipient-Verbindungselement/Plasmaventil
- 2
- Rezipient
A
- 3
- Rezipient
B
- 4
- Flansch
- 5
- Schraube
- 6
- Mutter
- 7
- Anode/Elektrode
- 8
- Kathode/Elektrode
- 9
- Plasma
- 10
- Spule
- 11
- Eisenjoch
- 12
- magnetischer
Pol
- 13
- Öffnung/Transferelement
- 14
- Isolator
- 15
- elektrische
Anschlüsse
der Spule
- 16
- Teilchenstrahl
- 17
- Teilchenstrahlzuleitung
- 18
- Beschleunigerstruktur
- B
- Magnetfeld
- F
- Lorenzkraft
- J
- Ionenstrom
- I
- Gasstrom